JPS58156825A - 光学圧力トランスジユ−サ - Google Patents
光学圧力トランスジユ−サInfo
- Publication number
- JPS58156825A JPS58156825A JP58027106A JP2710683A JPS58156825A JP S58156825 A JPS58156825 A JP S58156825A JP 58027106 A JP58027106 A JP 58027106A JP 2710683 A JP2710683 A JP 2710683A JP S58156825 A JPS58156825 A JP S58156825A
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- JP
- Japan
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- light guide
- diaphragm
- light
- pair
- reflective
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0076—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using photoelectric means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0076—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using photoelectric means
- G01L9/0077—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using photoelectric means for measuring reflected light
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、少くとも一部分が反射性のダイヤフラノ−金
具え、このダイヤプラムに対し一対の光導体の端部を、
元発生器によりその第１光導体に供給されその端部から
出射する光ビームが前記ダイヤフラムから反射きれた後
にその第２光導体の端・・・部に受光されるよう配置し
てその光ビームが第２′光導体を経て、評価回路に電気
的に接続された比較用受光器に供給されるようにした光
学圧カドランスジューサに関するものである。
具え、このダイヤプラムに対し一対の光導体の端部を、
元発生器によりその第１光導体に供給されその端部から
出射する光ビームが前記ダイヤフラムから反射きれた後
にその第２光導体の端・・・部に受光されるよう配置し
てその光ビームが第２′光導体を経て、評価回路に電気
的に接続された比較用受光器に供給されるようにした光
学圧カドランスジューサに関するものである。
光学圧カドランスジューサは爆発性のガスや液体の圧力
を測定する装置に使用されている。ドイツ国特許出願公
開第２４５０ ’８０号により、光導体を経て入力した
光を反射性ダイヤフラムで反射した後に別の光導体を経
て再び出力きせるようにした光学圧カドランスジューサ
が既知である。ゲイト・ヤフラムは弾性であって、出力
光量はダイヤフラムの圧力変位に依存する。この光学ト
ランスジューサは圧力変化に対し比較的感度が低い。
を測定する装置に使用されている。ドイツ国特許出願公
開第２４５０ ’８０号により、光導体を経て入力した
光を反射性ダイヤフラムで反射した後に別の光導体を経
て再び出力きせるようにした光学圧カドランスジューサ
が既知である。ゲイト・ヤフラムは弾性であって、出力
光量はダイヤフラムの圧力変位に依存する。この光学ト
ランスジューサは圧力変化に対し比較的感度が低い。
発明の概要
本発明の目的は光学圧カドランスジューサの感・度をそ
の測定レンジを減少することなく向−ヒさせることにあ
る。
の測定レンジを減少することなく向−ヒさせることにあ
る。
この目的のために、本発明光学圧カドランスジューサに
おいては、ダイヤフラムの両面をそれぞれ少くとも一部
分反射性とし、ダイヤフラムの各、。
おいては、ダイヤフラムの両面をそれぞれ少くとも一部
分反射性とし、ダイヤフラムの各、。
側に一対の光導体を配置し、両射の光導体と共通゛の発
光器及び共通の評価回路と共働させたことを特徴とする
。このトランスシューサバ、タイヤフラムの変位に応答
してダイヤフラムの一方の側の第２光導体の端部が増大
した光量を受光すると共にダイヤプラムの反対側の第２
光導体の端部が減少した光量を受光するため、その感度
が増大する。
光器及び共通の評価回路と共働させたことを特徴とする
。このトランスシューサバ、タイヤフラムの変位に応答
してダイヤフラムの一方の側の第２光導体の端部が増大
した光量を受光すると共にダイヤプラムの反対側の第２
光導体の端部が減少した光量を受光するため、その感度
が増大する。
即ち、ダイヤフラムの変位に応じて互に反対方向に変化
する２つの測定値が評価回路に供給されるため、評価回
路はダイヤフラムの変位に極く小さ・・・な変化を生ず
るだけである圧力変化でも計算することができる。この
圧カドランスジューサは流量測定にも好適である。その
理由はこのトランスジューサによれば所要の差圧測定を
行なうことができるためである。
する２つの測定値が評価回路に供給されるため、評価回
路はダイヤフラムの変位に極く小さ・・・な変化を生ず
るだけである圧力変化でも計算することができる。この
圧カドランスジューサは流量測定にも好適である。その
理由はこのトランスジューサによれば所要の差圧測定を
行なうことができるためである。
本発明の好適例では、−万の光導体対の第１光導体の端
部を他対の第２光導体の端部の延長線上に位置させると
共に、−万の対の第２光導体の端部を他対の第１光導体
の端部の延長線上に位置きせ、両射の第１光導体又は第
２光導体に近接して。
部を他対の第２光導体の端部の延長線上に位置させると
共に、−万の対の第２光導体の端部を他対の第１光導体
の端部の延長線上に位置きせ、両射の第１光導体又は第
２光導体に近接して。
位置するダイヤフラムの半部を少くとも一部分反射性に
すると共に、他方の半部を少くとも一部分透明とし、且
つ全ての光導体の端部をダイヤフラムの反射部分と透明
部分の境界に向は配置する。
すると共に、他方の半部を少くとも一部分透明とし、且
つ全ての光導体の端部をダイヤフラムの反射部分と透明
部分の境界に向は配置する。
このようにすると圧カドランスジューサの感度は一層向
上する。
上する。
以下図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。
第１図は本発明元学圧カドランスジューサ］を１示し、
その測定スペース２は両面が反射性のダイヤフラム８に
より仕切られている。圧カドランスジューサの開口部４
及び５は測定スペース２を導管６及び７を経て管９の狭
搾部８の両側に連結するものである。第１光導体１０．
１１と第２を導１体１２．１８の端部が対をなして両面
とも反射性のダイヤフラム８の両側に配置されている。
その測定スペース２は両面が反射性のダイヤフラム８に
より仕切られている。圧カドランスジューサの開口部４
及び５は測定スペース２を導管６及び７を経て管９の狭
搾部８の両側に連結するものである。第１光導体１０．
１１と第２を導１体１２．１８の端部が対をなして両面
とも反射性のダイヤフラム８の両側に配置されている。
ダイヤフラム３の休止位置では、同一の光量が第２光導
体１２及び１８により受光されて受光器Ｉ５及び１６に
供給されるようになっている。この場合、・・増幅器１
７及び１８により評価回路１９に供給さ□れる電圧は互
に等しく、両電圧の差をとる評価回路１９の出力電圧は
零になる。
体１２及び１８により受光されて受光器Ｉ５及び１６に
供給されるようになっている。この場合、・・増幅器１
７及び１８により評価回路１９に供給さ□れる電圧は互
に等しく、両電圧の差をとる評価回路１９の出力電圧は
零になる。
光導体１０及び１１は例えば発光ダイオードとして形成
した発光器１４と光学的に結合される。
した発光器１４と光学的に結合される。
受光器１５及び１６はフォトダイオードとして形成する
ことができる。
ことができる。
第１図では圧カドランスジューサｌを用いて管９内を流
れる液体の流量を測定する。この目的のために管９内に
は狭搾部８が設けられている。こ］“□の狭搾部８の両
側の差圧から流量を測定することができるため、圧カド
ランスジューサ１の測定スペース２を開口部４及び５並
びに導管６及び７を経て管９の狭搾部８の両側に連結し
て狭搾部８の両側の液圧が導管６及び７を経てダイヤフ
ラム３゛−・に直接作用し得るようにする。液体が管内
９を矢印の方向に流れると、狭搾部８の前側（矢万の方
向に見て）の圧力が狭搾部８の後側の圧力より高くナル
。この場合、導管６を経てダイヤフラム３に作用する圧
力が導管７を経てダイヤフラム３に２・・作用する圧力
より高くなり、ダイヤフラノ、３は矢′印２０の方向に
変位するため、第１光導体１０を経て入力されターイヤ
フラム３で反射された光が第２光導体１３１／Ｃ−１−
多く結合されると共に第１光導体１１ｉ経て入力されダ
イヤフラム３で反射された光が第２光導体１２に一層少
なく結合される。
れる液体の流量を測定する。この目的のために管９内に
は狭搾部８が設けられている。こ］“□の狭搾部８の両
側の差圧から流量を測定することができるため、圧カド
ランスジューサ１の測定スペース２を開口部４及び５並
びに導管６及び７を経て管９の狭搾部８の両側に連結し
て狭搾部８の両側の液圧が導管６及び７を経てダイヤフ
ラム３゛−・に直接作用し得るようにする。液体が管内
９を矢印の方向に流れると、狭搾部８の前側（矢万の方
向に見て）の圧力が狭搾部８の後側の圧力より高くナル
。この場合、導管６を経てダイヤフラム３に作用する圧
力が導管７を経てダイヤフラム３に２・・作用する圧力
より高くなり、ダイヤフラノ、３は矢′印２０の方向に
変位するため、第１光導体１０を経て入力されターイヤ
フラム３で反射された光が第２光導体１３１／Ｃ−１−
多く結合されると共に第１光導体１１ｉ経て入力されダ
イヤフラム３で反射された光が第２光導体１２に一層少
なく結合される。
このとき増幅器１８により評価回路１９に供給される電
圧は増幅器１７により供給される電圧より市いため、評
価回路１９の出力信号はダイヤフラム３が矢印２０の方
向に変位するときは正値にな１・・る。
圧は増幅器１７により供給される電圧より市いため、評
価回路１９の出力信号はダイヤフラム３が矢印２０の方
向に変位するときは正値にな１・・る。
第２図は本発明光学圧カドランスジユーザの他の実施例
を示し、本例の圧カドランジュース２１は下半部が両面
とも反射性で、下半部が透明の弾性ダイヤフラム２２を
具える。また、−万の対の・・第１光導体２８の端部を
地対の第２光導体２５の端部の延長線上に位置させると
共に、−万の対の第２光導体２６の端部を地対の第１光
導体２４の端部の延長線上に位置させ、且つ全ての端部
をダイヤフラムの反射部分と透明部分の境界に向ける。
を示し、本例の圧カドランジュース２１は下半部が両面
とも反射性で、下半部が透明の弾性ダイヤフラム２２を
具える。また、−万の対の・・第１光導体２８の端部を
地対の第２光導体２５の端部の延長線上に位置させると
共に、−万の対の第２光導体２６の端部を地対の第１光
導体２４の端部の延長線上に位置させ、且つ全ての端部
をダイヤフラムの反射部分と透明部分の境界に向ける。
−・・第２図はダイヤフラム２２の休止状態を示す。□
この状態では第１光導体２４を経て圧カドランスジュー
サ２１に入力された光の半分がダイヤフラム２２の反射
性上半部で反射されて関連する第２光導体２５の端部に
入射すると共に、この光の他の半分はダイヤフラム２２
の透明下半部を通過しで地対の第２光導体２６の端部に
入射する。これがため、この休止状態では同量の元が第
２光導体２５及び第２光導体２６に結合される。ダイヤ
フラム２２が矢印２７の方向に変位すると、第１元１・
・導体２４を経て圧カドランスジューサ２１に入力され
た元のうちダイヤフラム２２の透明部分を通過する部分
が増大し、従って第２光導体２６で受光される光量が増
大する。しかし、第１光導体２４により入力された光の
うちダイヤフラム２２で反１射される部分は減少する。
この状態では第１光導体２４を経て圧カドランスジュー
サ２１に入力された光の半分がダイヤフラム２２の反射
性上半部で反射されて関連する第２光導体２５の端部に
入射すると共に、この光の他の半分はダイヤフラム２２
の透明下半部を通過しで地対の第２光導体２６の端部に
入射する。これがため、この休止状態では同量の元が第
２光導体２５及び第２光導体２６に結合される。ダイヤ
フラム２２が矢印２７の方向に変位すると、第１元１・
・導体２４を経て圧カドランスジューサ２１に入力され
た元のうちダイヤフラム２２の透明部分を通過する部分
が増大し、従って第２光導体２６で受光される光量が増
大する。しかし、第１光導体２４により入力された光の
うちダイヤフラム２２で反１射される部分は減少する。
この圧カドランスジユーザ２１を具える圧力測定装置に
おけるこれら測定値の処理は第１図の圧カドランスジュ
ーサ１と同一の方法で行なうことができる。
おけるこれら測定値の処理は第１図の圧カドランスジュ
ーサ１と同一の方法で行なうことができる。
ダイヤフラム２２が矢印２７の方向に変位した・１゜と
きに第２光導体２６に結合される光量は、圧力１トラン
スジユーサ２１に光が第１光導体２１から供給されるだ
けでなく第１光導体２３からも供給されるときは更に増
大する。その理由は、ダイヤフラム２２の矢印２７の方
向の変位に応答して第１光導体２４から供給された光の
うちダイヤフラム２２の透明部分を通過して第２光導体
２６に入射する部分が増大するのみならず、第１光導体
２３から供給された光のうちダイヤフラム２２０反射部
分で反射されて第２光導体２６に入射する部分・・・が
増大するためである。このように第２光導体２５又は２
６で受光される九輸が増大するため、測定装置の感度が
増大する。
きに第２光導体２６に結合される光量は、圧力１トラン
スジユーサ２１に光が第１光導体２１から供給されるだ
けでなく第１光導体２３からも供給されるときは更に増
大する。その理由は、ダイヤフラム２２の矢印２７の方
向の変位に応答して第１光導体２４から供給された光の
うちダイヤフラム２２の透明部分を通過して第２光導体
２６に入射する部分が増大するのみならず、第１光導体
２３から供給された光のうちダイヤフラム２２０反射部
分で反射されて第２光導体２６に入射する部分・・・が
増大するためである。このように第２光導体２５又は２
６で受光される九輸が増大するため、測定装置の感度が
増大する。
第１図は光学式流量計の一部を構成する本発明１・によ
る光学圧カドランスジューサの一例の構成図、第２図は
半分だけその両面を反射性にしたダイヤフラム金具える
本発明による光学圧カドランスジューサの他の例の構成
図である。 ■：２１・・・光学圧カドランスジューサ２ ・測定ス
ペース ３；２２ ・ダイヤフラム □４．５・
・・開口部 ６．７・・・導管８・・狭搾部
９・・・管 １０ 、１１ ； ２３ 、２４・・・第１−ｙｔＪ導
体１２ 、１３ ； ２５ 、２６ ＝−第２光導体■
４・・・発光器 １５ 、１６・・・受光器１
７ 、１８・・増幅器 １９・・・評価回路。 特許出願人 エヌ・ベー・フィリップス・フルーイラ
ンペンファブリケン
る光学圧カドランスジューサの一例の構成図、第２図は
半分だけその両面を反射性にしたダイヤフラム金具える
本発明による光学圧カドランスジューサの他の例の構成
図である。 ■：２１・・・光学圧カドランスジューサ２ ・測定ス
ペース ３；２２ ・ダイヤフラム □４．５・
・・開口部 ６．７・・・導管８・・狭搾部
９・・・管 １０ 、１１ ； ２３ 、２４・・・第１−ｙｔＪ導
体１２ 、１３ ； ２５ 、２６ ＝−第２光導体■
４・・・発光器 １５ 、１６・・・受光器１
７ 、１８・・増幅器 １９・・・評価回路。 特許出願人 エヌ・ベー・フィリップス・フルーイラ
ンペンファブリケン
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 少くとも一部分が反射性のダイヤフラムを具え、こ
のダイヤプラムに対し一対の光導体゛の端部を、発光器
によりその第１光導体に供給されその端部から出た光ビ
ーノ・が前記ダイヤフラムから反射された後にその第２
光導体の端部で受光されるように配置して、その光ビー
ムが第２尤導体を経て、評価回路に電気１・的に接続さ
れた比較用受光器に供給されるようにした光学圧カドラ
ンスジューサにおいて、前記ダイヤフラム（３）はその
両面の少くとも−Ｗ分を反射性とし、このダイヤフラム
（８）の谷側に一対の光導体を配置し、両射の光導１体
を共通の元発生器（１４）及び共通の評価回路（１９）
と共働させるようにしたことを特徴とする光学圧カドラ
ンスジューサ。 λ 特許請求の範囲ｌ記載の光学圧カドランスジューサ
において、−万の光導体対の第１元・・導体（２８）の
端部を他方の光導体対の第２元□導体（２５）の端部の
延長線−ヒに位置させると共に一方の光導体対の第２光
導体（２６）の端部を他方の光導体対の第１光導体（２
４）の端部の延長線上に位置させ、且つ両射の第１光゛
導体（２８，２４）又は第２光導体（２５，２６）に近
接するダイヤフラム（２２）の半部を少くとも一部分反
射性にすると共にこのダイヤフラムの他方の半部を少く
とも一部分透明にし１目、つ全ての光導体の端部をこの
ダイヤフラム１の反射部分と透明部分との境界に向は配
置したことを特徴とする光学圧カドランスジューサ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19823206720 DE3206720A1 (de) | 1982-02-25 | 1982-02-25 | Optische druckmessdose |
| DE32067208 | 1982-02-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58156825A true JPS58156825A (ja) | 1983-09-17 |
Family
ID=6156635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58027106A Pending JPS58156825A (ja) | 1982-02-25 | 1983-02-22 | 光学圧力トランスジユ−サ |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4543831A (ja) |
| JP (1) | JPS58156825A (ja) |
| DE (1) | DE3206720A1 (ja) |
| FR (1) | FR2522146B1 (ja) |
| GB (1) | GB2115548B (ja) |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4600836A (en) * | 1984-04-03 | 1986-07-15 | The Babcock & Wilcox Company | Diaphragm deflection sensor for fused silica diaphragm module |
| DE3586067D1 (de) * | 1984-03-30 | 1992-06-25 | Int Control Automation Finance | Hochtemperaturdruckwandler und systeme zur bestimmung der durchbiegung von druckwandlermembranen. |
| US4694159A (en) * | 1984-06-06 | 1987-09-15 | Dieterich Standard Corporation | Optic sensor with reference and detecting optic circuits |
| GB2159942A (en) * | 1984-06-09 | 1985-12-11 | Michael Roderick Oliver | Fluid valve position sensor |
| GB2193310A (en) * | 1986-08-01 | 1988-02-03 | Boc Group Plc | Pressure sensor |
| US5051360A (en) * | 1988-05-06 | 1991-09-24 | Abo, Inc. | Method for detecting microorganism activity |
| US4952498A (en) * | 1988-05-06 | 1990-08-28 | Waters John R | Method and apparatus for detecting microorganism activity |
| GB8815179D0 (en) * | 1988-06-25 | 1988-08-03 | Racal Safety Ltd | Differential pressure sensor |
| GB2221164B (en) * | 1988-07-26 | 1992-02-12 | Racal Safety Ltd | Breathing apparatus |
| US5061846A (en) * | 1989-05-11 | 1991-10-29 | Conoco Inc. | Detecting disturbance using optical gap sensing |
| DE4115841B4 (de) * | 1991-05-15 | 2004-11-04 | Schölly Fiberoptic GmbH | Vorrichtung zur optischen Kontrolle von Gegenständen |
| US5252826A (en) * | 1991-12-30 | 1993-10-12 | Honeywell Inc. | Differential pressure utilizing opto-reflective sensor |
| DE4426272C2 (de) * | 1994-06-23 | 2000-08-31 | Schlattl Werner Bavaria Tech | Druckmeßdose zur Messung des Druckes eines Strömungsmediums |
| MD293G2 (ro) * | 1995-05-15 | 1995-10-31 | Victor Borisocev | Debitmetru optoelectronic şi procedeu de fabricare a captorului său de diferenţă a presiunilor |
| US7272976B2 (en) * | 2004-03-30 | 2007-09-25 | Asml Holdings N.V. | Pressure sensor |
| WO2006042012A2 (en) * | 2004-10-05 | 2006-04-20 | Airpax Corporation, Llc | Pressure sensor |
| ITMI20070191A1 (it) * | 2007-02-05 | 2008-08-06 | Abb Service Srl | Trasmettitore di pressione per il rilevamento di una variabile relativa ad un fluido di processo. |
| CN105092110A (zh) | 2014-05-06 | 2015-11-25 | 无锡华润上华半导体有限公司 | 压力传感器及其制作方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| DE2450080A1 (de) * | 1974-10-22 | 1976-04-29 | Licentia Gmbh | Verfahren und einrichtung zur druckmessung |
| JPS53133053A (en) * | 1977-04-25 | 1978-11-20 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Displacement converter |
| CH639196A5 (de) * | 1977-11-23 | 1983-10-31 | Asea Ab | Messgeraet zum messen von physikalischen groessen mittels optischer mittel. |
| US4158310A (en) * | 1978-01-30 | 1979-06-19 | University Of Southern California | Optical pressure transducer of randomly distributed fiber optics |
| DE3142164A1 (de) * | 1980-10-27 | 1982-06-16 | Rosemount Engineering Co. Ltd., Bognor Regis, Sussex | Vorrichtung zur messung von druckunterschieden |
-
1982
- 1982-02-25 DE DE19823206720 patent/DE3206720A1/de active Granted
-
1983
- 1983-02-21 GB GB08304708A patent/GB2115548B/en not_active Expired
- 1983-02-22 JP JP58027106A patent/JPS58156825A/ja active Pending
- 1983-02-22 US US06/468,225 patent/US4543831A/en not_active Expired - Fee Related
- 1983-02-23 FR FR8302957A patent/FR2522146B1/fr not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3206720C2 (ja) | 1990-03-22 |
| US4543831A (en) | 1985-10-01 |
| GB2115548B (en) | 1985-09-18 |
| FR2522146A1 (fr) | 1983-08-26 |
| DE3206720A1 (de) | 1983-09-01 |
| GB2115548A (en) | 1983-09-07 |
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