JPS5815311A - 圧電振動子の気密封止容器 - Google Patents

圧電振動子の気密封止容器

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Publication number
JPS5815311A
JPS5815311A JP11420881A JP11420881A JPS5815311A JP S5815311 A JPS5815311 A JP S5815311A JP 11420881 A JP11420881 A JP 11420881A JP 11420881 A JP11420881 A JP 11420881A JP S5815311 A JPS5815311 A JP S5815311A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
box
case
frame
sealing
piezoelectric vibrator
Prior art date
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Pending
Application number
JP11420881A
Other languages
English (en)
Inventor
Isao Shinoda
篠田 勲夫
Hideo Tabata
田畑 英男
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Instruments Inc filed Critical Seiko Instruments Inc
Priority to JP11420881A priority Critical patent/JPS5815311A/ja
Publication of JPS5815311A publication Critical patent/JPS5815311A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders; Supports
    • H03H9/10Mounting in enclosures
    • H03H9/1007Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
    • H03H9/1014Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device
    • H03H9/1021Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device the BAW device being of the cantilever type

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は腕時計などの携帯情報機器に用いられゐ圧電振
動子の気密封止容器に関する。
従来、腕時計などの携帯情報機器に用いられる圧電振動
子は携帯が容易なように小型、薄型化が要求され、小型
化を達成するために拡円筒形容器の圧電振動子が、また
落盤化t:11gするために拡セラミックを使用した箱
形の圧電振動子が使用されていた0本発明は薄型の圧電
振動子を提供するためKなされたものであ)、箱形容器
に注目し、セラミックの箱形ケースの長期信頼性の弱点
である積層部を除くために、ガラスで箱形を形成し、t
た、気密封止剤が内部に流出し薄型化達成の限界を作っ
ていた欠点を取除く九めに豊及び箱形ケースの気密封止
部に工夫全卵見tものである。
以下、本発明の詳細を図面によって説明する。
第1図は従来のセラミックによって形成した箱形ケース
の斜視図であ)、第一層の枠板11、第二層の圧電振動
子取付台を兼ねる枠板12、第三層の箱形の底を形成す
る板13と三層構造となっている。
セラ之ツクのケースは前述の第一層枠板、第二層枠板、
及び、第三属底板tプレス抜し、必要な金属層(気密封
上部、及び、電極取出し部)を印刷し積層焼成する。こ
のとき積層部の接着状態、また、積層部の巾によシ長期
間使用時に気密保持性が劣化してくるなどの信頼性の劣
化がある。
tた、七ツ(ツクの材質そのものは混合瞼で各粒子の密
度が低いという仁とから積層板の厚み、特に底板の厚み
はある値以上ないと気密を保てないというように薄型化
の限界を持っている0以上長期信頼性に劣るとともに薄
型化の限界という欠点があった。
第2図は本発明の構造を示す圧電振動子の断賀図である
ガラスによ)箱形に形成されたケース21は箱形形底時
の溶融状態のときに気密封止用の金属枠板4が箱形形成
と同時に溶層される。信号の外部取出しリード線nも箱
形成と同時に溶着されてシシ、圧電振動子列はこのリー
ド線に取付けられ、/1ンダなどの封止剤5と蓋冴が重
ねられ真空雰囲気中で加熱されて気密封止される。この
ときハンダなどの封止剤はあらかじめ蓋にメッキ、ある
い紘、浸せきなどの方法によシ付着させておいても良い
し、ltは、枠状に形成して重ねても良い。
本発明者は、ム%−8%系、!&−8鴨系、その他のハ
y/を使用し浸せき、及び、枠状に形成して積重ねての
気密封止実験を行表つ九が、ハンダの密着性を良くする
ため蓋、及び、箱形ケースの封止部<h@メッキを施し
たところ、ハンダが蓋全面に流出し、気密容器内の容積
を小さくす為、tた、気密封止時のノ為ンダから発生す
るガスによ〉気密容器内の所定の真空度に到達しない、
また、封止時に良品であったものがハンダからの脱ガス
によ〉長期的な特性維持ができないという岡題点が発生
した。そこで気密容器内に露出するハンダは極力少くし
、tた、気密封止の信頼性を確実にするために各種実験
を行ない、この間[を次の方法によ〉解決することがで
1允。
第3図は本発明の一実施例でア)、気密容器り蓋の封止
枠部の内側に溝部を設はハyI′&どの封止剤を気密容
器の内部へ流出することt極力押えるようにしたもので
ある。
気密容器の蓋31の封止枠部の内側に溝aatgけ真叩
中での加熱時にハンダが流出し容器の内部へ行くことt
この溝に留めるようにしたもので−)、箱形ケースの封
止枠と溝との寸法管適当に選ぶことによシ気密容器内部
への封止剤の露出量を特性に影響しないように押えるこ
とが可能である。
図に示す窓1s32a気智封止完了後にレーザー光線な
どによ〕圧電振動子の重)を除去し発振周波数の調整を
するようにしたもので金属蓋に窓明しガラスを充てんし
たものであるが、気密封止前に発振周波数を調整し気密
封止後に調整しないで良い状態にしたものではこの窓を
設ける必要がないことは言うまでもない。
g4ffiは本発明の他の実施例管示すもので69、第
3図と同様に気密容器の蓋41にハンダの内部流出管防
止する究めに絶縁膜43で封止枠部の内側を被覆した亀
のでToゐ、この絶縁膜はレーザー光線などに二る発振
周波数調整用の窓!考慮して透光性絶縁属を選ぶヒとが
良い0本発明者嬬絶縁属としてs (O,を選び、蓋の
成形完了後、封止枠部をマスキングしてBイOs tメ
パツ/リンダによ)付層させ、封止枠部にム襲メッキを
施し気密封止することによシ第3図と同様の効果tII
ることができた。
第5図は本発明の他の実施例を示すもので6)、ガラス
による箱形ケースの枠部の巾ムよ〉%僧正金属枠の巾B
t−細くしてハンダなどの封止剤の流出を箱形ケースの
枠部、ガラス枠と封止金属枠の段差部分に留るようKし
たものでら)、第11第4図の蓋と組合せて使用すると
その効果社よ)大暑(亀る。
第6図は本発明の他の実施例管示すものであ〉、第5図
と同様にガ・ラスの箱形ケースの枠部よ)も封止金属枠
の巾を細くしたもので封止金属枠−ガラスの中に壇って
いるものである。この場合嘔ハンダなどの封止剤はガラ
ス部分は流れにくいため封止金属枠部のみで留〉流出が
押えられる。
以上、述べ究ようにガラスの箱形ケースの封止金属枠に
金属平板のiIヲハンダなどの封止剤により封止してな
る圧電振動子の気密封止容器Kかいて、ハンダなどの封
止剤が容器内部へ流出することを防止すゐことで、容器
内部の封止剤の面積を少くし脱ガスの防止、及び、内容
積を大きく保つことができ、圧電振動子の特性劣化を防
止して超薄型で信頼性の高い圧電振動子を提供すること
がでする。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のセラミックの箱形ケースの斜視図、第2
図は本発明の構造を示す断面図、第3図は本発明の一実
施例の斜視図(一部所面で示す〕、第4図は本発明の他
の実施例の斜視図、第S図、第6図は本発明の他の実施
例の断面図である。 11 、12 、13 、 、セラミツタ積層板21.
51,61.、ガラスの箱形ケース22.52,62.
、箱形ケースの封止金属枠板る。53,63.、信号取
出しリード線24 、31 、41 、 、気密封止金
属蓋25 @ 11 * @気密封止剤 部、。。。圧電振動子 諺、42.、発振周波数調整用窓 (。。。、溝 43、。、透光性絶縁膜 以上 出願人 株式会社第二精工舎 代理人 1士最上  務 第 1 呪 11に20 第B[Sa 1451a vIP、5 ロ ココ 亮6 口 8?

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 ■・ガラスで箱形を形成し、その開口部に金属枠板を溶
    着し金属平板の蓋を接着封止してなる圧電振動子の気密
    封止容器において、金属平板の蓋に箱形ケースの開口部
    金属枠に対応する外周枠管形成するごとく溝部t−設は
    九ことを特徴とす・る圧電振動子の気密封止容器。 (2)、ガラスで箱形を形成し、その開口部に金属枠板
    を溶着し金属平板の蓋t−接層封止して壜る圧電振動子
    の気密封止容器において、金属平板の蓋の箱形ケースの
    開口部金属枠に対応する外周枠以外に絶穀皮膜を設けた
    こと′t4I徴とする圧電振動子の気密封止容器。 (湯、特許請求の範ビ第1項もしくは第2項において、
    輪形ケースの開口部金属枠板が精管形成するガラス枠中
    よシも細いこと1*徴とする圧電振動子の気密封止容器
JP11420881A 1981-07-21 1981-07-21 圧電振動子の気密封止容器 Pending JPS5815311A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02122211U (ja) * 1989-03-20 1990-10-05

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5125092A (ja) * 1974-08-27 1976-03-01 Citizen Watch Co Ltd Suishoshindoshikimitsugaiiki no fushiho
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