JPS58152352A - X線発生装置 - Google Patents

X線発生装置

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Publication number
JPS58152352A
JPS58152352A JP3495282A JP3495282A JPS58152352A JP S58152352 A JPS58152352 A JP S58152352A JP 3495282 A JP3495282 A JP 3495282A JP 3495282 A JP3495282 A JP 3495282A JP S58152352 A JPS58152352 A JP S58152352A
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JP
Japan
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coil
coils
vacuum
container
current
Prior art date
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Pending
Application number
JP3495282A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuo Yudasaka
一夫 湯田坂
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Suwa Seikosha KK
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Suwa Seikosha KK
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Publication date
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Priority to DE19833307906 priority patent/DE3307906A1/de
Publication of JPS58152352A publication Critical patent/JPS58152352A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05GX-RAY TECHNIQUE
    • H05G2/00Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
    • H05G2/001X-ray radiation generated from plasma
    • H05G2/003X-ray radiation generated from plasma being produced from a liquid or gas

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • X-Ray Techniques (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、X線発生装re vc関する。
従来のX 線発生装置は、宙、子を加速し対陰極となる
金属ターゲットVC@突させる構造のものが主流である
が、X線の強度が弱く、高いX線強度が必要となるンス
テムのX線源として使用する場合には、1回のX線照射
時間が長くなると云う問題があっに0従って本発明の目
的は、強度の高いX線か必要となるンステムのためのX
線源を提供することにある。
本発明の詳細全具体セ用によって、以下に説明すゐ。
第1図は本発明の一実施例である。電流を流すべfi円
Hのコイル(2,2’、3.4)が真空容器1(例えば
石英管)の外形に巻かれている。5はガスの導入口、6
は真空ポンプに接続されている。
7は、真空容器1の中央部に設けられfcX線取出口で
ある。コイル端2及び2′は、例えばスイッチを介して
大容量コンデンサに接続される。コイルの中央m3の径
は、両端のコイル(’ + ” )の径より太きくしで
ある。
第2図r丁、第1図の中央部の断面を示したものである
。101はコイル3の部分に相当し、円形のコイルを示
し、9(d真空容器ケ示し、8は最も内側に位置する金
属依全示す。金属板8はなくてもよいが、ある方がX線
発生の効率が向」二する。その効果は後で説明する。
第3図は、本発明に拘わる第1図と異なる構造を示す。
真空容器11には、同−巻き径を有するコイル(14,
15,16)が3つの部分に分かれて巻かれている。核
コイルの両端のコイル14゜16は1本のコイルで、構
成これ、コイルの両端12.12’は1つの電源Vr−
接続(図示せず)される。中央部のコイルIJd:、両
端のコイル14゜16とは電気的に絶縁きれた別々コイ
ルで構成され、該:’ (/し17)両415 、15
’は*H己12,12/が接続される電源と(は異なる
市、源に接続(図ボせず)される。第5図の構造におい
ては、、12.12’が接続される電源のパワーが15
,13’が接続される電源のパワーより大きいこと、即
ちコイル14.16に流れる電流が、コイル15に流れ
る電流より太^いと云う条件と、前記3つのコイル14
、+5.ISには同時に電流が流れると云う条件の2つ
の条件が満だはれる必要がある。第3図の断面構造も、
第1図の断面構造と(〜で示した第2図と同じであり、
最も内側に位置する金属板80才、Xm発生の効率を高
める役割を持つものである。
つぎに、本発明によるX線発生のメカニズムについて、
第1図を参照しながら述べる。
5からのガス導入と6からの真空引きによって、真空容
器1の内部は適当な真空度が保たれる。コイル端2,2
′に、例えば高、速スイッチ(図示せず)を介して大容
量コンデンサ(図示せず)に接続される4、大容量コン
デンサは、コ・(ル2,2’に数iK、AC7′)電流
を流し得る容量のものが望ましく、従ってコイル2r 
2’ + 5 、4 、4t  もそのような電流に耐
え、しかも低抵抗であることが必要である。初で前記コ
イルに瞬時に大電流が流れると、その電2磁気学的エネ
ルギによって、真空容器内部の気体(r:r、イオン化
され、プラズマが発生する。
プラズマには、外′m111流(コイルによる電流)と
ちょうど逆向きのプラズマ表面市、流が流れ、両者の雷
、流による電磁力により、プラズマは真空容器1の中央
部に密集し、高密度のプラズマが形成される。コイル4
,4′はコイル5よシ巻き径が小さいため、形成される
磁界は真空容器1の両端で強く、中央部で弱い。荷電粒
子であるプラズマは磁界の弱い方向に電黴気学的力を受
けるため、発生したプラズマは真空容器1の中央部に閉
じ込められることになる。
このように局所的に高エネルギーの荷電粒子が密集する
と、そこから種々の輻射エネルギーが発生する。輻射に
は、プラズマ同志の衝突による制動輻射、イオンと電子
の再結合による輻射、励起イオンが基底状態せで変化す
る時の輻射などがあるが、プラズマの湯度が十分高いと
、これらの輻 5− 射機構により多量のX線が発生する。通常は、X線と同
時に可視光など波長の長い市、磁波も多量に発生するた
め、X線だけをとり出すためVCは、窓7を適当な材質
(ベリリウムなど)で形成するようにすればよい。
第2図に示した金属板8は、真空容器9乃至1の中心部
に出来たプラズマが膨張したυ偏心した位置に勤いた時
、金属板8に過電、流が発生し、プラズマを元の位置に
押し戻すような力が発生するようにする役割を果たす。
従ってプラズマはその分だけ長い時間安定に存在するこ
とが出来、それ故、X tOもより強く、シかも長い時
間発生させることが可能となる。
第3図の構造によるX線発生のメカニズムは、第1図に
よる前記説明と同様である。この場合のプラズマの安定
性は、コイル14乃至16に形成、される磁界が、コイ
ル15によって形成される磁界より強いことに依ってい
る。又、第3図の断面構造も、第1図の断面図である第
2図と同様であり、金属1fi8の効果も前記説明と同
様である。
 6−
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明のX線発生装置の一実施例を示す図、
第2図は第1図の断面図、第5図は、本発明の他の実施
例を示す図である。 i 、9.11・・・・・・真空容器 2.2’、3,4.4’、1(If、f2.t2’、1
3.[’。 14.15.1/l ・・・・・・コイル5・・・・・
・ガス導入口 6・・・・・・真空ポンプへの接続ロ ア・・・・・・X線取出窓 8・・・・・・金属板 以   上 出願人 株式会社 諏訪精工台 代理人 弁理士 最上  務  7− 第2図 第3区 手続補正書(自発) ■、事件の表示 昭和57年特許願第 54952号 2、発明の名称 X線発生装置 3、補正をする者 (256)株式会社 諏訪精工台 〒150東京都渋谷区神宮前2丁目6番8号6、補正の
対象 明細書 7゜補正の内容 別紙の通り 手続補正(自発) 1、 特許請求の範囲を別紙の如く補正する。 2 明細書 2頁下から5竹目〜同3行目[一実施例で
ある。電流を流すべき円形のコイル(2,2’l  ’
I  4)が真空容器1(例えば石英管)の外形に巻か
れている。5は」とあるを、 「一実施例である。円筒状の真空容器1(例えば石英)
のQ方向にラセン状のコイル(2゜2’、  5. 4
. 4’)が巻かれている。5は」に補正する。 & 明細書 2貞下から2行目〜同1竹目[接続されて
いる。7は、」 とあるを[接続されており、容器1の
真空度を自由に調整できる。7は、] に補正する。 4 明細書 6真12竹目〜同15行目[同−巻き径を
有するコイル」 とあるを、「同−巻き径を有するラセ
ン状コイル」 に補止する。  2− 以     −に 一 6− 2、特許請求の範囲 (2、特許請求の範囲第1yA記載のコイルにおいて、
両端部のコイルの巻き径が中央部のコイルの巻き径より
小なる形状を有することを%徴とするX純発生装置。 (3)特許請求の範囲第1項記載のコイルにおいて、コ
イルが両端部と中9z部の5つの同−巻き径コイルに分
かれ、且つ両端部のコイルは1つの電流径路で接続され
、該両端部のコイルは1つの電源に接続され、中央部の
コイルは前記埴源とは別な電源に接続され、両端部のコ
イルには中央部のコイルより犬なる硫流を流すことを特
徴とするX線発生装置。 (4)特許請求の範囲第1項記載の装置において、コイ
ルの内1則に金属板を有することを%黴とするX線発生
装置。  1− いて、該円筒容器が適当な真空度に保持された密 2−

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)  円形に多数回巻いたコイルに電流を流すこと
    を特徴とするX線発生装置。 (2、特許請求の範囲第1項記載のコイルにおいて、両
    端部のコイルの巻き径が中央部のコイルの巻き径より小
    なる形状を有すること全特徴とするX線発生装置。 (3)特許請求の範囲第1項記載のコイルにおいて、コ
    イルが両端部と中央部の3つの同−巻き径コイルに分か
    れ、且つ両端部のコイルは1つの電流径路で接続され、
    該両端部のコイルは1つの電源に接続され、中央部のコ
    イルjd前記電源とけ別な電源に接続され、両鴻部のコ
    イルには中央部のコイルより大なる電流上流すことを特
    徴とするX線発生装置。 (4)特許請求の範囲第1項記載の装置において、コイ
    ルの内側に金属板を有することを特徴とするX戯発生装
    置。
JP3495282A 1982-03-05 1982-03-05 X線発生装置 Pending JPS58152352A (ja)

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JP3495282A JPS58152352A (ja) 1982-03-05 1982-03-05 X線発生装置
FR8303234A FR2522879B1 (fr) 1982-03-05 1983-02-28 Dispositif de generation de rayons x
GB08306064A GB2116361B (en) 1982-03-05 1983-03-04 X-ray generating device and method of generating x-rays
DE19833307906 DE3307906A1 (de) 1982-03-05 1983-03-05 Roentgenstrahlenerzeugungseinrichtung

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DE (1) DE3307906A1 (ja)
FR (1) FR2522879B1 (ja)
GB (1) GB2116361B (ja)

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GB2116361B (en) 1985-09-11
GB8306064D0 (en) 1983-04-07
FR2522879B1 (fr) 1987-04-24
GB2116361A (en) 1983-09-21
DE3307906A1 (de) 1983-09-15
FR2522879A1 (fr) 1983-09-09

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