JPS5815136A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
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- JPS5815136A JPS5815136A JP56113216A JP11321681A JPS5815136A JP S5815136 A JPS5815136 A JP S5815136A JP 56113216 A JP56113216 A JP 56113216A JP 11321681 A JP11321681 A JP 11321681A JP S5815136 A JPS5815136 A JP S5815136A
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- G—PHYSICS
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- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/16—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in the magnetic properties of material resulting from the application of stress
-
- G—PHYSICS
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- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
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- G01L9/0004—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using variations in inductance
-
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- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/007—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in inductance
Landscapes
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は流体圧力を電気信号に変換する圧力センサーに
関し、特に、流体圧を可動体で受けて可動体の変位を電
気信号に変換するタイプの圧力センサーに」τる。
関し、特に、流体圧を可動体で受けて可動体の変位を電
気信号に変換するタイプの圧力センサーに」τる。
この種の従来のものの１つに、流体圧を受けるダイアフ
ラム、このダイアフラムを流体圧に抗する方向に付勢す
るコイルスプリング、およびダイアフラムにスライダー
が連結されたポテンショメータを備えるものがある。こ
れにおいては流体圧に応じてダイアフラムが移動し、ダ
イアフラムの移動量に対応したアナログ電圧がポテンシ
ョメータよシ得られる。この圧力センサーにおいては、
ポテンショメータの薄膜抵抗の耐摩耗性が高くしかもス
ライダーポジションに対する出力電圧レベルが安定して
いることが望まれており、更には、可動体とスライダー
の連結機構におけるガタが少なく、シかも振動や衝撃に
対しても、スライダーと薄膜抵抗との接触が十分に安定
していることが望まねている。
ラム、このダイアフラムを流体圧に抗する方向に付勢す
るコイルスプリング、およびダイアフラムにスライダー
が連結されたポテンショメータを備えるものがある。こ
れにおいては流体圧に応じてダイアフラムが移動し、ダ
イアフラムの移動量に対応したアナログ電圧がポテンシ
ョメータよシ得られる。この圧力センサーにおいては、
ポテンショメータの薄膜抵抗の耐摩耗性が高くしかもス
ライダーポジションに対する出力電圧レベルが安定して
いることが望まれており、更には、可動体とスライダー
の連結機構におけるガタが少なく、シかも振動や衝撃に
対しても、スライダーと薄膜抵抗との接触が十分に安定
していることが望まねている。
しかしながら、ポテンショメータにおけるスライダーと
薄膜抵抗との接続は圧接であるため、摩耗。
薄膜抵抗との接続は圧接であるため、摩耗。
振動等により、流体圧に対していずれは不安定な出力電
圧を生ずるようになる。 。
圧を生ずるようになる。 。
最近は半導体基板に圧力を加えて基板上のストレインゲ
ージ抵抗体で圧力を検出する半導体圧力センサも進歩し
ている。これはきわめて小形である。しかし、検出電圧
が小さく、温度ドリフトが大きいのでセンサ部又はその
周辺で増幅と温度補償をおこなう必要があシそのための
回路ならびに回路装着がかえって複雑になるという問題
があり、また、振動や衝撃に弱いという面もある。
ージ抵抗体で圧力を検出する半導体圧力センサも進歩し
ている。これはきわめて小形である。しかし、検出電圧
が小さく、温度ドリフトが大きいのでセンサ部又はその
周辺で増幅と温度補償をおこなう必要があシそのための
回路ならびに回路装着がかえって複雑になるという問題
があり、また、振動や衝撃に弱いという面もある。
本発明の第１の目的は、機械的変位を電気信号に変換す
る機械−電気変換系に機械的な接触機構を有しない、非
接触変換手段を備える圧力センサー管提供することであ
る。
る機械−電気変換系に機械的な接触機構を有しない、非
接触変換手段を備える圧力センサー管提供することであ
る。
本発明の第２の目的は、耐振動、耐衝撃性が高い堅牢な
圧力センサーを提供することである。
圧力センサーを提供することである。
本発明の第３の目的は、圧力検出信号の電気処理が比較
的に簡単な圧力センサーを提供することである。
的に簡単な圧力センサーを提供することである。
本発明の第４の目的は、最近目覚しい進歩をとげたマイ
クロコンピュータなどのＬＳＩにて、比較的に単純な読
取ロジックで圧力データを読み取り得る圧力センサーを
提供することで′ある。
クロコンピュータなどのＬＳＩにて、比較的に単純な読
取ロジックで圧力データを読み取り得る圧力センサーを
提供することで′ある。
本発明によれば、ケーシングの内空間は可動体で、圧力
が測定される流体が供給される第１の空気）が封入もし
くは通流する第２の空間に区分され、一方の空間に電気
コイルが巻回されたアモーファス磁性体が配置され、こ
のアモーファス磁性体の一端は可動体に、他端はテンシ
ョン調整部材に結合される。
が測定される流体が供給される第１の空気）が封入もし
くは通流する第２の空間に区分され、一方の空間に電気
コイルが巻回されたアモーファス磁性体が配置され、こ
のアモーファス磁性体の一端は可動体に、他端はテンシ
ョン調整部材に結合される。
アモーファス磁性体の飽和磁束密度はそわに加わるテン
ションにより変動し、テンションが大きいときには高く
、テンションが小さいときＫは低い。それ放電気コイル
のインピーダンスは高テンシ・ヨンで大きく、低テンシ
ョンで小さい。可動体には流体圧が加わシ゛これにより
流体圧に応じたテンションがアモーファス磁性体に加わ
り、結局電気コイルは流体圧に応じたインピーダンスを
示す。
ションにより変動し、テンションが大きいときには高く
、テンションが小さいときＫは低い。それ放電気コイル
のインピーダンスは高テンシ・ヨンで大きく、低テンシ
ョンで小さい。可動体には流体圧が加わシ゛これにより
流体圧に応じたテンションがアモーファス磁性体に加わ
り、結局電気コイルは流体圧に応じたインピーダンスを
示す。
本発明の一実施例においては電気コイルのインピーダン
スを電圧に変換して圧力を検出する。
スを電圧に変換して圧力を検出する。
一方、前記電気コイルにパルス電圧を印加すると、電気
コイルを流れる電流は始めは低レベルであるが、アモー
ファス磁性体の磁束が飽和磁束密度に達するものになる
と電気コイルのインピーダンスが急減するため電流が高
レベルとなる。飽和磁束密度が前述のようにアモーファ
ス磁性体のテンションつ壕シは流体圧力で定まるので、
流体圧に応じて電気コイル通電電流の立上り時間が変わ
る。本発明のもう一つの実施例においては、電気コイル
への電圧印加からコイル電流の立上シまでの時間を計数
して流体圧対応のデータを得る。
コイルを流れる電流は始めは低レベルであるが、アモー
ファス磁性体の磁束が飽和磁束密度に達するものになる
と電気コイルのインピーダンスが急減するため電流が高
レベルとなる。飽和磁束密度が前述のようにアモーファ
ス磁性体のテンションつ壕シは流体圧力で定まるので、
流体圧に応じて電気コイル通電電流の立上り時間が変わ
る。本発明のもう一つの実施例においては、電気コイル
への電圧印加からコイル電流の立上シまでの時間を計数
して流体圧対応のデータを得る。
第１図に本発明の一実施例を示す。第１図において、可
動体として用いた薄リン青銅円板１がケーシング主幹２
の一端とケーシングキャップ３の間に配置されて、主幹
２の端面にリング状の突起３ａで押圧されている。キャ
ップ３の内面のリング状の溝にＯリング４が挿入されて
おり、このＯリング４がキャップ３で円板１に圧接され
ており、これによりキャップ３の内空間（第１の空間）
３ｂが気密にされている。キャップ３には内空間３ｂに
連通する流体圧印加ポー）３ｃが形成されている。
動体として用いた薄リン青銅円板１がケーシング主幹２
の一端とケーシングキャップ３の間に配置されて、主幹
２の端面にリング状の突起３ａで押圧されている。キャ
ップ３の内面のリング状の溝にＯリング４が挿入されて
おり、このＯリング４がキャップ３で円板１に圧接され
ており、これによりキャップ３の内空間（第１の空間）
３ｂが気密にされている。キャップ３には内空間３ｂに
連通する流体圧印加ポー）３ｃが形成されている。
円板１の中心部には連結台５が固着されておシ、この連
結台５にアモーファス磁性体６の一端が固着されている
。アモーファス磁性体６は、電気コイル７０．７２に同
一方向に連続に巻回したコイルボビン８の中心を貫通し
ており、その他端においてもう１つの連結台９に固着さ
れている。ケーシング主幹２の他端はケーシングベース
１０で閉じられているが、ベース１０はケーシング主幹
２の他端の折り曲げ（かしめ）で主幹２に固着されてい
るので、かしめ部において空気が通流しやすく、円板１
．主幹２およびベース１０で囲まれた第２の空間１１は
大気と連通である。テンション調整ねじ１２のねじ脚は
ベース１０を貫通し、内空間１１において連結台９に螺
合している。したがってねじ１２を締め込むとアモーフ
ァス磁性体６のテンション（初期値）が高くなり、ねじ
１２をゆるめると低くなる。このねじ１２ｕ、アモーフ
ァス磁性体６の初期テンション設定ならびに校正調整に
利用されるー。
結台５にアモーファス磁性体６の一端が固着されている
。アモーファス磁性体６は、電気コイル７０．７２に同
一方向に連続に巻回したコイルボビン８の中心を貫通し
ており、その他端においてもう１つの連結台９に固着さ
れている。ケーシング主幹２の他端はケーシングベース
１０で閉じられているが、ベース１０はケーシング主幹
２の他端の折り曲げ（かしめ）で主幹２に固着されてい
るので、かしめ部において空気が通流しやすく、円板１
．主幹２およびベース１０で囲まれた第２の空間１１は
大気と連通である。テンション調整ねじ１２のねじ脚は
ベース１０を貫通し、内空間１１において連結台９に螺
合している。したがってねじ１２を締め込むとアモーフ
ァス磁性体６のテンション（初期値）が高くなり、ねじ
１２をゆるめると低くなる。このねじ１２ｕ、アモーフ
ァス磁性体６の初期テンション設定ならびに校正調整に
利用されるー。
電気コイル７、と７□は巻回方向が同方向で連続にされ
て、それらの中点（計４００ターンの中央の２００タ一
ン部）電圧印加端とされてリード１３１に共通接続され
、アース端がそれぞれリード】３２／および１３．に接
続されている。
て、それらの中点（計４００ターンの中央の２００タ一
ン部）電圧印加端とされてリード１３１に共通接続され
、アース端がそれぞれリード】３２／および１３．に接
続されている。
第２図に電気コイル７１．７□に接続された信号処理回
路の構成を示す。第２図において１４けスイッチング回
路であり、これは、２分割された電気コイルの一方７□
に接続されたオープンコレクタタイプのインバータＩＮ
１．電気コイルの他方７□に接続されたオープンコレク
タタイプのインバータＩＮ２およびＩＮ３で構成されて
いる。電気コイル７８，７□の他端は共通接続されて平
滑化回路１５と共に、限流抵抗Ｒ２を介して定電圧Ｖｃ
ｃラインに接続されている。インバータＩＮＩおよびｌ
Ｎ２Ｋｋ−１、この実施例では、５０ｋＨｚのデユーテ
ィが５０％のパルスが印加される。該パルスの高しペ。
路の構成を示す。第２図において１４けスイッチング回
路であり、これは、２分割された電気コイルの一方７□
に接続されたオープンコレクタタイプのインバータＩＮ
１．電気コイルの他方７□に接続されたオープンコレク
タタイプのインバータＩＮ２およびＩＮ３で構成されて
いる。電気コイル７８，７□の他端は共通接続されて平
滑化回路１５と共に、限流抵抗Ｒ２を介して定電圧Ｖｃ
ｃラインに接続されている。インバータＩＮＩおよびｌ
Ｎ２Ｋｋ−１、この実施例では、５０ｋＨｚのデユーテ
ィが５０％のパルスが印加される。該パルスの高しペ。
ル「１」区間ではインバータＩＮＩが導通して電気コイ
ル７、の一端をアースに接続するが、インバータＩＮ２
が導通しＩＮ３が非導通となるのでもう１個の電気コイ
ル７２の一端は開放である。それ放入力パルスの高レベ
ル「１」ではコイル７□に電流が流れるが、コイル７□
には電流は流れない。入力パルスの低レベル「０」区間
ではこの逆となり、コイル７、には電流が流れず、コイ
ル７□に電流が流れる。
ル７、の一端をアースに接続するが、インバータＩＮ２
が導通しＩＮ３が非導通となるのでもう１個の電気コイ
ル７２の一端は開放である。それ放入力パルスの高レベ
ル「１」ではコイル７□に電流が流れるが、コイル７□
には電流は流れない。入力パルスの低レベル「０」区間
ではこの逆となり、コイル７、には電流が流れず、コイ
ル７□に電流が流れる。
このように、コイル７□と７２が交互に導通する。
コイル７□および７□は、通電レベルが飽和磁束密度相
当値に達するまでは高いインピーダンスを示すが、飽和
磁束密度相当値を越すと低いインピーダンスを示す。し
たがって、アモーファス磁性体６のテンションが小さい
ときけ飽和磁束密度が小さく（第３ａ図）、電気コイル
７８．７２の電圧ｄは低いが、張力が太きいとき（第３
ｂ図）は電気コイル７０．７□の電圧ｄは高い。これら
の電圧はインバータＩＮＩ、ＩＮ３のオンオフに同期し
てパルス状に現われる。コイル７１．７□に現われる電
圧ｄけ平滑化回路１５で平滑化されて安定直流レベルと
なる。第４ａ図に低張力のときの各部の電圧を、第４ｂ
図に高張力のときの各部の電圧を示し、第４、Ｃ図に実
測データを示す。なお、第４Ｃ図は一例でちゃ、ねじ１
２の調整により回転角度に対する出力（ＯＵＴ）電圧の
相□関が変化（シフト）する。
当値に達するまでは高いインピーダンスを示すが、飽和
磁束密度相当値を越すと低いインピーダンスを示す。し
たがって、アモーファス磁性体６のテンションが小さい
ときけ飽和磁束密度が小さく（第３ａ図）、電気コイル
７８．７２の電圧ｄは低いが、張力が太きいとき（第３
ｂ図）は電気コイル７０．７□の電圧ｄは高い。これら
の電圧はインバータＩＮＩ、ＩＮ３のオンオフに同期し
てパルス状に現われる。コイル７１．７□に現われる電
圧ｄけ平滑化回路１５で平滑化されて安定直流レベルと
なる。第４ａ図に低張力のときの各部の電圧を、第４ｂ
図に高張力のときの各部の電圧を示し、第４、Ｃ図に実
測データを示す。なお、第４Ｃ図は一例でちゃ、ねじ１
２の調整により回転角度に対する出力（ＯＵＴ）電圧の
相□関が変化（シフト）する。
ｊ（７）ｊｊ％合Ｖｃｃ ＝＋５Ｖ、 Ｒ２＝５０Ω、
Ｒ１＝３０にΩおよびＣＩ＝０．３μｆとした。第４Ｃ
図の黒丸で示すデータはアモーファス磁性体６を５０μ
ｍ厚の薄板一枚としたときのもので、白丸で示すデータ
は５０μｍ厚の薄板３枚の積層としたときのものである
。
Ｒ１＝３０にΩおよびＣＩ＝０．３μｆとした。第４Ｃ
図の黒丸で示すデータはアモーファス磁性体６を５０μ
ｍ厚の薄板一枚としたときのもので、白丸で示すデータ
は５０μｍ厚の薄板３枚の積層としたときのものである
。
上記実施例において、連続巻きしたコイルを中間で２区
分７０，７□としてそれらに交互に電圧を印加してアモ
ーファス磁性体６に印加する磁界を交互に反転させるよ
うにしているのけ、地磁気およびその他の、外部磁界に
よる測定誤差を防止するためである。たとえばアモーフ
ァス磁性体６にある外部磁界が加わっている場合、アモ
ーファス磁性体６にバイアス磁界が加わっていることに
なるので、仮にコイＡ／７１，７□で同方向の磁界を磁
性体６に印加するようにしていると、電気コイル７、。
分７０，７□としてそれらに交互に電圧を印加してアモ
ーファス磁性体６に印加する磁界を交互に反転させるよ
うにしているのけ、地磁気およびその他の、外部磁界に
よる測定誤差を防止するためである。たとえばアモーフ
ァス磁性体６にある外部磁界が加わっている場合、アモ
ーファス磁性体６にバイアス磁界が加わっていることに
なるので、仮にコイＡ／７１，７□で同方向の磁界を磁
性体６に印加するようにしていると、電気コイル７、。
７、のインピーダンスはバイアス磁界分シフトしたもの
となり、検出電圧ＯＵＴのレベルＡＩその分シフトする
。しかしながらコイル７、と７□で逆向きの磁界を加え
ることにより、バイアス磁界は一方のコイル（たとえば
７、）のインピーダンスを高めるが、他方のコイル（７
２） のインピーダンスを低くするので、両インピー
ダンスの平均相当の出力電圧ＯＵＴはバイアス磁界の影
響を相殺したものとなシ、出力ＯＵＴは実質上外部磁界
の影響を受けない。
となり、検出電圧ＯＵＴのレベルＡＩその分シフトする
。しかしながらコイル７、と７□で逆向きの磁界を加え
ることにより、バイアス磁界は一方のコイル（たとえば
７、）のインピーダンスを高めるが、他方のコイル（７
２） のインピーダンスを低くするので、両インピー
ダンスの平均相当の出力電圧ＯＵＴはバイアス磁界の影
響を相殺したものとなシ、出力ＯＵＴは実質上外部磁界
の影響を受けない。
第５図にもう１つの信号処理装置を示す。これにおいて
はマイクロコンピュータＣＰＵで電気コイル７１．７□
に交互に電圧を印加し、電圧印加から通電電流の立上り
までの時間をカウントして、コイルア１電圧印加時とコ
イル７、電圧印加時の時間カウント値を平均して測定デ
ータを得る。コイル７１と７□の共通端子（１３１）は
定電流接続とした接合形ＮチャンネルＦＢＴＩを介して
アースされており、これにより、コイル７０．７２が印
加する磁界がアモーファス磁性体の飽和磁束密度相当値
以」二になるときに端子１３、の電位が急上昇する。端
子１３□には抵抗Ｒ３とコンデンサ、Ｃ２でなるフィル
タ（ローパスフィルタ）が接続されており、こねが高周
波電圧振動を遮断する。なお、ＦＥＴＩを抵抗にかえて
、その抵抗でコイル通電電流レベルを電圧に変換し、コ
イルへの電圧印加からこの抵抗の電圧の立上シまでの時
間をカウントするようにしてもよい。
はマイクロコンピュータＣＰＵで電気コイル７１．７□
に交互に電圧を印加し、電圧印加から通電電流の立上り
までの時間をカウントして、コイルア１電圧印加時とコ
イル７、電圧印加時の時間カウント値を平均して測定デ
ータを得る。コイル７１と７□の共通端子（１３１）は
定電流接続とした接合形ＮチャンネルＦＢＴＩを介して
アースされており、これにより、コイル７０．７２が印
加する磁界がアモーファス磁性体の飽和磁束密度相当値
以」二になるときに端子１３、の電位が急上昇する。端
子１３□には抵抗Ｒ３とコンデンサ、Ｃ２でなるフィル
タ（ローパスフィルタ）が接続されており、こねが高周
波電圧振動を遮断する。なお、ＦＥＴＩを抵抗にかえて
、その抵抗でコイル通電電流レベルを電圧に変換し、コ
イルへの電圧印加からこの抵抗の電圧の立上シまでの時
間をカウントするようにしてもよい。
以上の通り本発明のセンサは、機械的には簡単かつ耐久
性が高い構造となっておシ、電気処理装置も簡単となる
。
性が高い構造となっておシ、電気処理装置も簡単となる
。
なお、上記実施例（第１図）においては流体圧検出ポー
）３ＣＫＦｉ負圧を印加し、電気コイル７、。
）３ＣＫＦｉ負圧を印加し、電気コイル７、。
７□ を用いて負圧を検出するようにしているが、第２
の内空間１１を気密とし、ペース１０又は主幹２に流体
圧検出ポート全形成してそれに正圧を加えてポー）３ｃ
を大気連通として正圧を検出する形にしてもよく、また
第１の内空間３ｂＫある流体圧を、第２の内空間１１に
他の流体圧全印加して両者の差圧全検出するようにして
もよい。
の内空間１１を気密とし、ペース１０又は主幹２に流体
圧検出ポート全形成してそれに正圧を加えてポー）３ｃ
を大気連通として正圧を検出する形にしてもよく、また
第１の内空間３ｂＫある流体圧を、第２の内空間１１に
他の流体圧全印加して両者の差圧全検出するようにして
もよい。
第１図は本発明の一実施例の縦断面図、第２図はその電
気コイルに接続された電気回路を示す回路図、第３ａ図
および第３ｂ図はアモーファス磁性体６の磁気特性を示
す、グラフ、第４ａ図および第４ｂ図は第２図に示す電
気回路各部の信号を示すタイムチャート、第４Ｃ図は実
測データを示す第５図はもう１つの電気処理装置を示す
ブロック図である。 １ニリン青銅円板（可動体） ２：ケーシング主幹３：
キャップ ３ｂ：第１の内空間４：０リング
５，９：連結台６：アモーフアス磁性体
７．．７．、：電気コイル８：コイルボビン ｌ
Ｏ−ベース１１：第２の内空間
気コイルに接続された電気回路を示す回路図、第３ａ図
および第３ｂ図はアモーファス磁性体６の磁気特性を示
す、グラフ、第４ａ図および第４ｂ図は第２図に示す電
気回路各部の信号を示すタイムチャート、第４Ｃ図は実
測データを示す第５図はもう１つの電気処理装置を示す
ブロック図である。 １ニリン青銅円板（可動体） ２：ケーシング主幹３：
キャップ ３ｂ：第１の内空間４：０リング
５，９：連結台６：アモーフアス磁性体
７．．７．、：電気コイル８：コイルボビン ｌ
Ｏ−ベース１１：第２の内空間
Claims (2)
- （１） ケーシングの内部を第１と第２の空間に区分
する可動体；アモーファス磁性体；アモーファス磁性体
を周回する電気コイル；およびテンション調整部材を備
え、アモーファス磁性体の一端を可動体に、他端をテン
ション調整部材に結合した圧力センサ。 - （２）電気コイルは、アモーファス磁性体に互に逆向き
の磁界を与える２組又は２区分とした前記特許請求の範
囲第（１）項記載の圧力センサ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56113216A JPS5815136A (ja) | 1981-07-20 | 1981-07-20 | 圧力センサ |
| DE3223307A DE3223307C2 (de) | 1981-07-20 | 1982-06-22 | Druckmeßfühler |
| US06/397,263 US4453412A (en) | 1981-07-20 | 1982-07-12 | Pressure sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56113216A JPS5815136A (ja) | 1981-07-20 | 1981-07-20 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5815136A true JPS5815136A (ja) | 1983-01-28 |
Family
ID=14606508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56113216A Pending JPS5815136A (ja) | 1981-07-20 | 1981-07-20 | 圧力センサ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4453412A (ja) |
| JP (1) | JPS5815136A (ja) |
| DE (1) | DE3223307C2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5971627U (ja) * | 1982-11-05 | 1984-05-15 | 酒井医療株式会社 | 頭部傾斜報知器 |
| JPS60103939A (ja) * | 1983-11-11 | 1985-06-08 | 水井 睦祥 | 姿勢表示装置 |
| JPH0469822U (ja) * | 1990-10-30 | 1992-06-19 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3343885C2 (de) * | 1983-04-21 | 1996-12-12 | Wabco Gmbh | Induktiver Sensor |
| DE3510746C2 (de) * | 1984-04-04 | 1995-11-30 | Gen Electric | Vorrichtung zum Abfühlen des Druckes an einer Druckquelle |
| GB2156996B (en) * | 1984-04-04 | 1987-12-16 | Gen Electric | Sensing pressure and controlling heat transfer systems |
| US4625562A (en) * | 1984-06-08 | 1986-12-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Amorphous magnetic alloy sensor |
| US6016707A (en) * | 1998-04-29 | 2000-01-25 | Lin; Chih-Lung | Non-intrusive pressure variation monitoring device adapted to monitor abdominal pressure in pregnant women |
| US6279403B1 (en) | 1999-10-22 | 2001-08-28 | Henlex, Inc. | Differential pressure triggering device |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4339956A (en) * | 1980-08-29 | 1982-07-20 | Aisin Seiki Company, Ltd. | Pressure sensor |
-
1981
- 1981-07-20 JP JP56113216A patent/JPS5815136A/ja active Pending
-
1982
- 1982-06-22 DE DE3223307A patent/DE3223307C2/de not_active Expired
- 1982-07-12 US US06/397,263 patent/US4453412A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5971627U (ja) * | 1982-11-05 | 1984-05-15 | 酒井医療株式会社 | 頭部傾斜報知器 |
| JPS60103939A (ja) * | 1983-11-11 | 1985-06-08 | 水井 睦祥 | 姿勢表示装置 |
| JPH0151256B2 (ja) * | 1983-11-11 | 1989-11-02 | Mutsuyoshi Mizui | |
| JPH0469822U (ja) * | 1990-10-30 | 1992-06-19 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3223307C2 (de) | 1986-06-26 |
| US4453412A (en) | 1984-06-12 |
| DE3223307A1 (de) | 1983-02-03 |
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