JPS58147644A - 超音波検査装置 - Google Patents
超音波検査装置Info
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- JPS58147644A JPS58147644A JP58018262A JP1826283A JPS58147644A JP S58147644 A JPS58147644 A JP S58147644A JP 58018262 A JP58018262 A JP 58018262A JP 1826283 A JP1826283 A JP 1826283A JP S58147644 A JPS58147644 A JP S58147644A
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- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 23
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 6
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 18
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 239000002800 charge carrier Substances 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229920002620 polyvinyl fluoride Polymers 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0688—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction with foil-type piezoelectric elements, e.g. PVDF
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H3/00—Measuring characteristics of vibrations by using a detector in a fluid
- G01H3/005—Testing or calibrating of detectors covered by the subgroups of G01H3/00
-
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- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H3/00—Measuring characteristics of vibrations by using a detector in a fluid
- G01H3/10—Amplitude; Power
- G01H3/12—Amplitude; Power by electric means
- G01H3/125—Amplitude; Power by electric means for representing acoustic field distribution
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- Remote Sensing (AREA)
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は超音波送波器と、圧電フォイルを具える超音波
受波器とを有する超音波検査装置に関する。
受波器とを有する超音波検査装置に関する。
超音波検査用装置は特にウエルス（Ｗｅｌｌｇ ）着の
文献： 「Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｐｒ１ｎｃｉｐｌｅｓ
ｏｆ Ｕｌｔｒａ８０ｎｉＯＤｉａｇｎｏｓｉｓ Ｊ
（１９６９年、第８８貞）の記載から公知である。そこ
に開示されている装置は超音波の送波と受波とを同一の
超音波変換装置を用い・て行なうものである。このよう
な装置は、例えば。
文献： 「Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｐｒ１ｎｃｉｐｌｅｓ
ｏｆ Ｕｌｔｒａ８０ｎｉＯＤｉａｇｎｏｓｉｓ Ｊ
（１９６９年、第８８貞）の記載から公知である。そこ
に開示されている装置は超音波の送波と受波とを同一の
超音波変換装置を用い・て行なうものである。このよう
な装置は、例えば。
西ドイツ公開１１８０ｇ４９９５号によれば、送波方向
と受波方向とが同一であるようなある検査方法に望まし
い特性をもっている。しかしながら送波効率と受渡感度
とに関して妥協を計りながら周波数特性とか空間分解能
とかを考慮する必要がある。
と受波方向とが同一であるようなある検査方法に望まし
い特性をもっている。しかしながら送波効率と受渡感度
とに関して妥協を計りながら周波数特性とか空間分解能
とかを考慮する必要がある。
別個の超音波送波器と別個の超音波受波器とを有する本
明細書の最初の部分に説明した種類の装置においてはこ
のような妥協を回避することが出来る。西ドイツ出願公
告第２４１７７４８号から公知の装置のような場合には
、スコロ７（８０ｋＯＩＯＶ ）管が超音波受波器とし
て作動し、そこでは超音波場の空間分布を圧電重合体の
機械的及び電気的に予め処運されたフォイルによって電
荷分布に変換する＃Ｓ威となっている。そしてこの電荷
分布を電子ビームによって走査する。このような装置に
おいては、ａｔ波を受波する方向を超音波送波方向と一
致させることが出来ない。
明細書の最初の部分に説明した種類の装置においてはこ
のような妥協を回避することが出来る。西ドイツ出願公
告第２４１７７４８号から公知の装置のような場合には
、スコロ７（８０ｋＯＩＯＶ ）管が超音波受波器とし
て作動し、そこでは超音波場の空間分布を圧電重合体の
機械的及び電気的に予め処運されたフォイルによって電
荷分布に変換する＃Ｓ威となっている。そしてこの電荷
分布を電子ビームによって走査する。このような装置に
おいては、ａｔ波を受波する方向を超音波送波方向と一
致させることが出来ない。
本発明の目的は送受波特性に妥協する必要なくして送波
方向と受波方向とを一致するように構成した、この明細
書の最超の部分に記載したような種類の超音波検査製電
を提供することにある。
方向と受波方向とを一致するように構成した、この明細
書の最超の部分に記載したような種類の超音波検査製電
を提供することにある。
この目的の達成を図るため、本発明によれば、超音波送
波器と圧ＩＥ７オイルを具える超音波受波器とを有する
超音波検査製蓋において、該圧電フォイルの動作領域上
に超音波によって発生された電圧及び電荷をピックアッ
プするための電極を備え、前記超音波送波器及び前記超
音波受波器は該超音波送波器によって発生された超音波
が前記圧電フォイルを通過するように互いに関して配置
されて成ることを特鹸とする。
波器と圧ＩＥ７オイルを具える超音波受波器とを有する
超音波検査製蓋において、該圧電フォイルの動作領域上
に超音波によって発生された電圧及び電荷をピックアッ
プするための電極を備え、前記超音波送波器及び前記超
音波受波器は該超音波送波器によって発生された超音波
が前記圧電フォイルを通過するように互いに関して配置
されて成ることを特鹸とする。
これに関連し留意すべきことは、超音波受波器は文献＝
「Ｊ、ムｏｃｏｕｓｔ、Ｊｏｃ、Ａｍ、 ６９ （８）
Ｊ（１９８１年８月第８６８〜８５９号）の記載から公
知であり、この従来の超音波受波器はポリ弗化ビニル又
はポリ弗化ビニリデンのような、ある牛結晶性重・合体
の圧電フォイルを具えてｔｌて、該フォイルのＮ−械的
及び電気的前処理によって活性化された領域上に超音波
によって発生された電圧及び電荷をピックアップするた
めの電極を有している。
「Ｊ、ムｏｃｏｕｓｔ、Ｊｏｃ、Ａｍ、 ６９ （８）
Ｊ（１９８１年８月第８６８〜８５９号）の記載から公
知であり、この従来の超音波受波器はポリ弗化ビニル又
はポリ弗化ビニリデンのような、ある牛結晶性重・合体
の圧電フォイルを具えてｔｌて、該フォイルのＮ−械的
及び電気的前処理によって活性化された領域上に超音波
によって発生された電圧及び電荷をピックアップするた
めの電極を有している。
本発明は斯様な超音波受波器は超音波場を実質的に変え
ないので、この受波器をそれ□自体、超音波送波器の送
波方向に配置出来るという事実を用いている。従って、
この受波器は放射された超音波パルスと反射超音波パル
スとを測定することが出来る。放射超音波によって電極
に生じた電荷を反射超音波の測定の開始時に、例えばこ
の測定に先立って電極ｒｔｆｉ４１１１させることによ
って、確実に泥出させるようにする。
ないので、この受波器をそれ□自体、超音波送波器の送
波方向に配置出来るという事実を用いている。従って、
この受波器は放射された超音波パルスと反射超音波パル
スとを測定することが出来る。放射超音波によって電極
に生じた電荷を反射超音波の測定の開始時に、例えばこ
の測定に先立って電極ｒｔｆｉ４１１１させることによ
って、確実に泥出させるようにする。
以下％図面につき本発明を説明する。
嬉１８１１に示すように、超音波送波器８を右側が開い
ている回転対称のハウジング１に配設する。
ている回転対称のハウジング１に配設する。
この超音波送波器８によってハウジ“ング１が振動・を
起すのを防止するため音響絶縁体８を設ける。
起すのを防止するため音響絶縁体８を設ける。
この超音波送波器２をいずれかの任意の構成のものとし
得る。例えばこの送波器をウエルス（ｆｅｌｌｓ）の文
献「’Ｐｈｙｓｉｃａｌ ｐｒｉｎｃ：ｔｐｌｅｓ Ｏ
ｆ Ｕｌｔｒａｓｏｎｉ。
得る。例えばこの送波器をウエルス（ｆｅｌｌｓ）の文
献「’Ｐｈｙｓｉｃａｌ ｐｒｉｎｃ：ｔｐｌｅｓ Ｏ
ｆ Ｕｌｔｒａｓｏｎｉ。
ＤｉａｇｎＯ８ｉＢ Ｊ （１９６９年）の第８８頁、
第２゜４図に記載の送波器としてもよい。
第２゜４図に記載の送波器としてもよい。
好適な結晶重合′体、例えばポリ弗化ビリニデンから成
るフォイル４を超音波受波器として図面及び回転軸に直
交する方向にこのハウジング１に適切に緊張させて設け
る。そしてこのフォイルの両側部に互いに対向させて点
状電極６を備える。フォイルを伸張させかつこの７オイ
ルの電極の領域に高温で強い電界強度を与えるようにし
て、７゛オイル上の活性（又は動作）領域を発生させる
。その際文献「Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ａｃｃｏｕｓｔ
ｉｃａｌ ５ｏｏｉｅｔｙムｍｅｒｉｏａ Ｊから既知
のように電極に直流電圧を印加し電極間に約Ｉ ＨｖＡ
ｆｌの電界強度が形成されるようにする。電極の形状及
び大きさによって超音波受波器の空間分解能が決まる。
るフォイル４を超音波受波器として図面及び回転軸に直
交する方向にこのハウジング１に適切に緊張させて設け
る。そしてこのフォイルの両側部に互いに対向させて点
状電極６を備える。フォイルを伸張させかつこの７オイ
ルの電極の領域に高温で強い電界強度を与えるようにし
て、７゛オイル上の活性（又は動作）領域を発生させる
。その際文献「Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ａｃｃｏｕｓｔ
ｉｃａｌ ５ｏｏｉｅｔｙムｍｅｒｉｏａ Ｊから既知
のように電極に直流電圧を印加し電極間に約Ｉ ＨｖＡ
ｆｌの電界強度が形成されるようにする。電極の形状及
び大きさによって超音波受波器の空間分解能が決まる。
電極はもとより給電用リード線を７オイル上に蒸着する
が、その・場合り゛−ド纏が互いに重なり合わないよう
にする。
が、その・場合り゛−ド纏が互いに重なり合わないよう
にする。
単層フォイルを使用する代わりに、前述の文献の特にＶ
ＳＳ図に示されているような二個の相互接続された７オ
イルの檀層体を使用してもよい。
ＳＳ図に示されているような二個の相互接続された７オ
イルの檀層体を使用してもよい。
ハウジングｌの右側を薄いフォイルの形態の音響ｇｓに
よって閉成する。この窓はその内側と外側との間の圧力
差を受信する。この窓５と７才イル番との間並びに７オ
イル４と超音波送波器２との間の中間の空間に好適な液
体、例えば水とか或いはシリコン・オイルを入れておく
。
よって閉成する。この窓はその内側と外側との間の圧力
差を受信する。この窓５と７才イル番との間並びに７オ
イル４と超音波送波器２との間の中間の空間に好適な液
体、例えば水とか或いはシリコン・オイルを入れておく
。
Ｉｌｉ雪波送波送波器って送出される超ｆ波パルスはこ
の薄いフォイル（１０μｌｌ程度の厚さの７オイル）及
び音響窓によっては実質的な影響を受けず、従って何ら
Ｌされることなく被検体に達するこ、とが出来る。との
趙ｆ波パルスの強度をパルスの送出の聞フォイル番で構
成された超音波受波器によって常に測定することが出来
る。超音波送波パルスによって７オイルの鎖環に発生し
た圧力は被検体からの反射エコーパルスによって発生し
た圧力より本質的に大であるので、適切に例えば電極６
゜・を短絡することによって、エコーパルスがフォイル
４に到達し得る前に超音波送波パルスによって電極６に
発生した電荷キャリアが流れ去るように確実になすこと
が必要である。フォイル番に電極６を設けた構成を有す
る超音波受波器のすぐれた送波特性に基づいて、著しく
広い周波数範囲にわたり正確な測定がｏＪ能となる。
の薄いフォイル（１０μｌｌ程度の厚さの７オイル）及
び音響窓によっては実質的な影響を受けず、従って何ら
Ｌされることなく被検体に達するこ、とが出来る。との
趙ｆ波パルスの強度をパルスの送出の聞フォイル番で構
成された超音波受波器によって常に測定することが出来
る。超音波送波パルスによって７オイルの鎖環に発生し
た圧力は被検体からの反射エコーパルスによって発生し
た圧力より本質的に大であるので、適切に例えば電極６
゜・を短絡することによって、エコーパルスがフォイル
４に到達し得る前に超音波送波パルスによって電極６に
発生した電荷キャリアが流れ去るように確実になすこと
が必要である。フォイル番に電極６を設けた構成を有す
る超音波受波器のすぐれた送波特性に基づいて、著しく
広い周波数範囲にわたり正確な測定がｏＪ能となる。
超音波送受波装置を、液体充満タンク中又は、この装置
が常に液体で取り囲まれているような状態で使用する場
合には、ハウジング１を使用する１０代わりに適切な取
り付は装置を用いることも出来るし、音響窓５を省略す
ることも出来る０第２図は別の電極構造を示し、この場
合には中央の点状電極をこれと同心的に数個の環状電極
によって取り凹み、これら［６へのリード線が互いに交
差しないように構成している。この電極構造によって回
転対称に分布した圧力をピックアップすることが＠能と
なる。
が常に液体で取り囲まれているような状態で使用する場
合には、ハウジング１を使用する１０代わりに適切な取
り付は装置を用いることも出来るし、音響窓５を省略す
ることも出来る０第２図は別の電極構造を示し、この場
合には中央の点状電極をこれと同心的に数個の環状電極
によって取り凹み、これら［６へのリード線が互いに交
差しないように構成している。この電極構造によって回
転対称に分布した圧力をピックアップすることが＠能と
なる。
第８図は液体内で定常的に使用するのに適したように構
成した超音波送受波装置ｔｒｉ：示すＩＩＡ図であ、・
・・る。どの装置はフレーム８を具え、このフレームを
取り付は装置ｏに結合すると某にこのフレームには圧電
フォイル番を張って設けている。このフォイル上には共
通線上に位置する複数個の電極６が存在しているので、
少なくとも一方向の超音波場をピックアップすることが
出来るｏＭｉ音波送波器Ｓなこれら電極の背後に配設し
、この送波器２を第１ＷＪの送波器と同一構成とし得る
が、これを複数個のｆＩＩｉ青波送波器”を−列に配置
させて構成してもよい。両側向上に互いに対向させて設
けた電極６ｒｔ有する単層７オイルを使用する場合には
、電極に対するリード線は交差したり互いに重なり合っ
たりしないようにし得る。このようにするため、電極が
形成する！！線に対しある角度例えば直角にリード線を
設ける必要がある。すなわち、一方の側面上のリード線
は破＠７ａで示すように下側から電［Ｉ６に至り、他方
のｆＩＡｒＩＩＪ上のリード線は実ＩＩ！で示すように
上側から電極６に至るようにすることが出来る。第８ａ
図に示すように、点状電極パターンを用いる代わりに、
帯状電極パターン・を使用することも出来る。
成した超音波送受波装置ｔｒｉ：示すＩＩＡ図であ、・
・・る。どの装置はフレーム８を具え、このフレームを
取り付は装置ｏに結合すると某にこのフレームには圧電
フォイル番を張って設けている。このフォイル上には共
通線上に位置する複数個の電極６が存在しているので、
少なくとも一方向の超音波場をピックアップすることが
出来るｏＭｉ音波送波器Ｓなこれら電極の背後に配設し
、この送波器２を第１ＷＪの送波器と同一構成とし得る
が、これを複数個のｆＩＩｉ青波送波器”を−列に配置
させて構成してもよい。両側向上に互いに対向させて設
けた電極６ｒｔ有する単層７オイルを使用する場合には
、電極に対するリード線は交差したり互いに重なり合っ
たりしないようにし得る。このようにするため、電極が
形成する！！線に対しある角度例えば直角にリード線を
設ける必要がある。すなわち、一方の側面上のリード線
は破＠７ａで示すように下側から電［Ｉ６に至り、他方
のｆＩＡｒＩＩＪ上のリード線は実ＩＩ！で示すように
上側から電極６に至るようにすることが出来る。第８ａ
図に示すように、点状電極パターンを用いる代わりに、
帯状電極パターン・を使用することも出来る。
第４ａ図及び第４ｂ図に示す電極の配置と第８図に示す
電極の配置との相違は、第８図の場合には７レー五８に
張られたフォイル上の電極は互いに平行な［ｌ［上に位
置しているが、第４ａ図に示す配置における直線は一個
のフレーム側片と平行であり、第４ｂ図に示す配置にお
ける直線はフレーム側片とθ〜９０９内のある角度をな
しでいることにある。従って、第４ａ図の配置において
は、リード線はフレーム側片及び電極６を結ぶｆｉｌに
対し夫＆θ°以外の角度をなして延在しており、第４ｂ
図の配置においては、リード線はフレーム側片に対し平
行に延在することか出来る。第４ｃ図及び第４ｄ図は第
４ｂ図及び第４ａ図に夫々対応する電極配置を示すが、
電極に対するリード線は１個の電極に対するリード線が
常にフレームの一万の側片で終端するように設けである
。
電極の配置との相違は、第８図の場合には７レー五８に
張られたフォイル上の電極は互いに平行な［ｌ［上に位
置しているが、第４ａ図に示す配置における直線は一個
のフレーム側片と平行であり、第４ｂ図に示す配置にお
ける直線はフレーム側片とθ〜９０９内のある角度をな
しでいることにある。従って、第４ａ図の配置において
は、リード線はフレーム側片及び電極６を結ぶｆｉｌに
対し夫＆θ°以外の角度をなして延在しており、第４ｂ
図の配置においては、リード線はフレーム側片に対し平
行に延在することか出来る。第４ｃ図及び第４ｄ図は第
４ｂ図及び第４ａ図に夫々対応する電極配置を示すが、
電極に対するリード線は１個の電極に対するリード線が
常にフレームの一万の側片で終端するように設けである
。
第５図に示す実施例によれば、第４ａ図及び第４ｂ図に
示す電極配置を使用して二次元フィールドを検出するこ
とが出来る。この場合、測定中）・オイ＃；４を有する
７レーム９を７オイル平面内を電極を結ぶ直線方向とは
異なる一方向に移動させる。超音波送波器２から繰返し
く同様の）パルスな送出し及び電極はこれが偶然に存在
する領域で戻り超音波を濶定する。しかしながらこの方
法は液体で満たされているタンク中においてのみ使用す
ることが出来る。
示す電極配置を使用して二次元フィールドを検出するこ
とが出来る。この場合、測定中）・オイ＃；４を有する
７レーム９を７オイル平面内を電極を結ぶ直線方向とは
異なる一方向に移動させる。超音波送波器２から繰返し
く同様の）パルスな送出し及び電極はこれが偶然に存在
する領域で戻り超音波を濶定する。しかしながらこの方
法は液体で満たされているタンク中においてのみ使用す
ることが出来る。
嬉ＩＩＩは本発明による超ｆ波検査装置の縦軸を含む酸
ｍ図、 嬉ｓｌ！１は電極の特定構成を示す線図、嬉８図、１ｌ
ｓａ図・、第４ａ図〜第４ｄ図は電極の他の実施例を示
すＳ図、 嬉ｓｖ！！Ｉは二次元領域内の超音波場を走査するため
の実施例を示す線図である。 ｌ−ハウジング ２・・・超ｆｒＩｌ送波器Ｓ・−
音響絶縁体 ４・・・フォイル５・・・音響窓
６・・・点状電極！・−リードｓ１ Ｂ
・・・フレーム・−取り付は装置 Ｆｉｇ、３ Ｆｉｇ、３ａ℃
ｍ図、 嬉ｓｌ！１は電極の特定構成を示す線図、嬉８図、１ｌ
ｓａ図・、第４ａ図〜第４ｄ図は電極の他の実施例を示
すＳ図、 嬉ｓｖ！！Ｉは二次元領域内の超音波場を走査するため
の実施例を示す線図である。 ｌ−ハウジング ２・・・超ｆｒＩｌ送波器Ｓ・−
音響絶縁体 ４・・・フォイル５・・・音響窓
６・・・点状電極！・−リードｓ１ Ｂ
・・・フレーム・−取り付は装置 Ｆｉｇ、３ Ｆｉｇ、３ａ℃
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Ｌ 超音波送波器と、圧電フォイルを具える超音波受波
器とを有する超音波検査装置において、該圧電フォイル
の動作領域上に超音波によって発生された電圧及び電荷
をピックアップするための電極を備え、前記超音波送波
器及び前記超音波受波器は＃超音波送波器によって発生
された超音波が前記圧電′フォイルを通過するように互
いに関して配置されて成ることを特徴とする超音波検査
装置。 ｌ ｆｓ記圧電フォイルの支持電極の動作領域は二次
元パターンを形成して成ることを特徴とする特許請求の
範囲１記載の超音波検査袋ぽ。 ＆ 前記電極を少なくとも一本の直線上に配置し及び前
記圧電フォイルをその平面内で該直線の方向からずれた
方向に移動出来るようにして成ることを特徴とする特許
請求の範囲２記載の超音波検査装置。 前記電極を少なくとも一本の１ｆｌＩ上に配置し及び前
記圧電フォイル上のこれら電極に金るリード線は、前記
直線と０９以外のある角度で延在して成ることを特徴と
する特許請求の範囲２記載の超音波検査装置ｔ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19823204829 DE3204829A1 (de) | 1982-02-11 | 1982-02-11 | Anordnung zur untersuchung mit ultraschall |
| DE3204829.7 | 1982-02-11 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58147644A true JPS58147644A (ja) | 1983-09-02 |
| JPH0221746B2 JPH0221746B2 (ja) | 1990-05-16 |
Family
ID=6155426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58018262A Granted JPS58147644A (ja) | 1982-02-11 | 1983-02-08 | 超音波検査装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0086531B1 (ja) |
| JP (1) | JPS58147644A (ja) |
| CA (1) | CA1206587A (ja) |
| DE (2) | DE3204829A1 (ja) |
| ES (1) | ES8400862A1 (ja) |
| IL (1) | IL67859A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3437976A1 (de) * | 1984-10-17 | 1986-04-17 | Dornier System Gmbh, 7990 Friedrichshafen | Stosswellensensor |
| DE3545381C2 (de) * | 1985-12-20 | 1994-02-24 | Siemens Ag | Ultraschallwandler zur Messung der Schalleistung eines fokussierten Ultraschallfeldes |
| EP0255636B1 (de) * | 1986-07-30 | 1990-04-25 | Siemens Aktiengesellschaft | Sensor für akustische Stosswellenimpulse |
| DE3761731D1 (de) * | 1986-11-04 | 1990-03-29 | Siemens Ag | Ultraschall-sensor. |
| JP3158809B2 (ja) * | 1993-09-28 | 2001-04-23 | 株式会社村田製作所 | 超音波センサ |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3778756A (en) * | 1972-09-01 | 1973-12-11 | Gen Electric | Method and apparatus for visual imaging of ultrasonic echo signals utilizing a single transmitter |
| DE2803168C3 (de) * | 1978-01-25 | 1982-10-21 | Friedemann Dipl.-Ing. Dr. 8069 Jetzendorf Meggl | Elektromechanischer Wandler |
| DE2914031C2 (de) * | 1979-04-06 | 1981-01-15 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Ultraschallwandler |
-
1982
- 1982-02-11 DE DE19823204829 patent/DE3204829A1/de not_active Withdrawn
-
1983
- 1983-02-07 DE DE8383200189T patent/DE3371692D1/de not_active Expired
- 1983-02-07 EP EP83200189A patent/EP0086531B1/de not_active Expired
- 1983-02-08 JP JP58018262A patent/JPS58147644A/ja active Granted
- 1983-02-08 IL IL67859A patent/IL67859A/xx unknown
- 1983-02-09 ES ES519647A patent/ES8400862A1/es not_active Expired
- 1983-02-10 CA CA000421347A patent/CA1206587A/en not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| ES519647A0 (es) | 1983-11-16 |
| ES8400862A1 (es) | 1983-11-16 |
| CA1206587A (en) | 1986-06-24 |
| EP0086531B1 (de) | 1987-05-20 |
| EP0086531A1 (de) | 1983-08-24 |
| DE3204829A1 (de) | 1983-08-18 |
| IL67859A0 (en) | 1983-06-15 |
| JPH0221746B2 (ja) | 1990-05-16 |
| IL67859A (en) | 1987-03-31 |
| DE3371692D1 (en) | 1987-06-25 |
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