JPS58140637A - 光音響探触装置 - Google Patents
光音響探触装置Info
- Publication number
- JPS58140637A JPS58140637A JP57022106A JP2210682A JPS58140637A JP S58140637 A JPS58140637 A JP S58140637A JP 57022106 A JP57022106 A JP 57022106A JP 2210682 A JP2210682 A JP 2210682A JP S58140637 A JPS58140637 A JP S58140637A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- laser light
- light
- optical fiber
- sample surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/24—Probes
- G01N29/2418—Probes using optoacoustic interaction with the material, e.g. laser radiation, photoacoustics
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、レーザ光により超音波を発生させ。
かつレーザ光によシ超音波を検知するようにした非接触
式の光音響探触装置に関する。
式の光音響探触装置に関する。
試料に・母ルスレーザ光を照射し、該試料に音響信号を
発生させ、この音響信号を検出することによシ該試料の
特性を測定するという方法は、光音響分光法という名で
知られ、物理、化学、生物。
発生させ、この音響信号を検出することによシ該試料の
特性を測定するという方法は、光音響分光法という名で
知られ、物理、化学、生物。
医学、工学等の幅広い分野で、新しい分光計測法として
用いられている。従来の光音響分光法では音響信号を検
出するのに、マイクロホンやＰＺＴなどの圧電振動子が
用いられていた。しかし、マイクロフォンは応答速度が
遅いため、たかだか数十ｋＨｚのオーディオ周波数の検
出にしか適さず、高速応答を必要とする超音波の検出用
としては適さないという欠点がある。一方、 ＰＺＴ々
どの圧電振動子は、数ＭＨ２以上の超音波の検出用とし
て用いることができるが、これは試料の表面に接着させ
て使用しなければならないため、高温物体、腐蝕性物体
、その他汚染を嫌う清浄物体等の測定には用いることが
できないという欠点があった。
用いられている。従来の光音響分光法では音響信号を検
出するのに、マイクロホンやＰＺＴなどの圧電振動子が
用いられていた。しかし、マイクロフォンは応答速度が
遅いため、たかだか数十ｋＨｚのオーディオ周波数の検
出にしか適さず、高速応答を必要とする超音波の検出用
としては適さないという欠点がある。一方、 ＰＺＴ々
どの圧電振動子は、数ＭＨ２以上の超音波の検出用とし
て用いることができるが、これは試料の表面に接着させ
て使用しなければならないため、高温物体、腐蝕性物体
、その他汚染を嫌う清浄物体等の測定には用いることが
できないという欠点があった。
このため、最近、超音波の検出にもレーザ光を用いる新
しい光音響探触法が開発され、製造プロセス上における
鉄鋼等の探傷等に応用されるようになった。例えば、特
開昭５６−５３４５７号公報の「レーザー光による超音
波の発受信法」では、試料の一面に大出力のパルスレー
ザ光を照射して該試料にパルス状の超音波を発生させ、
該超音波が該試料内部を伝播し、試料他面に到達すると
き該試料他面に生ずる機械的変位を、該試料他面に計測
用レーザ光を照射することによシ検出するようにした非
接触式の超音波受信法について記載している。しかし、
この方法では、試料をはさんで両側に・ぐルスレーザ光
照射光学系と計測用レーザ光照射光学系とを配置しなけ
ればならず、液体試料等、測定目的によっては測定が非
常に困難となるほか、配置上に制約が生じて不便である
という欠点があった。
しい光音響探触法が開発され、製造プロセス上における
鉄鋼等の探傷等に応用されるようになった。例えば、特
開昭５６−５３４５７号公報の「レーザー光による超音
波の発受信法」では、試料の一面に大出力のパルスレー
ザ光を照射して該試料にパルス状の超音波を発生させ、
該超音波が該試料内部を伝播し、試料他面に到達すると
き該試料他面に生ずる機械的変位を、該試料他面に計測
用レーザ光を照射することによシ検出するようにした非
接触式の超音波受信法について記載している。しかし、
この方法では、試料をはさんで両側に・ぐルスレーザ光
照射光学系と計測用レーザ光照射光学系とを配置しなけ
ればならず、液体試料等、測定目的によっては測定が非
常に困難となるほか、配置上に制約が生じて不便である
という欠点があった。
この発明の目的は上述した欠点を除去し、試料の任意の
位置から探触でき、かつフレキシブルに探触できるよう
にした光音響探触装置を提供することにある。
位置から探触でき、かつフレキシブルに探触できるよう
にした光音響探触装置を提供することにある。
この発明によれば、試料の表面にノＥルスレーザ光を照
射して該試料に・ぐルス状の超音−波を発生させ、該試
料表面に診断用レーザ光を照射することによシ前記超音
波が前記試料を伝播するときの前記試料表面に生ずる機
械的変位を検出する光音響探触装置に於て、前記・母ル
スレーザ光を伝送する第１の光ファイバと、前記診断用
レーザ光及び該診断用レーザ光の前記試料表面からの反
射による戻り光を伝送する第２の光ファイバと、前記第
１の光ファイバからの前記・ぐルスレーザ光を前記試料
表面の一点に照射し、又前記第２の光ファイバからの前
記診断用レーザ光を前記試料表面の他の点に照射するた
めの集光レンズ系と、前記戻シ光に重畳された前記機械
的変位に対応する光信号を検出する光検出手段とを有す
ることを特徴とする光音響探触装置が得られる。
射して該試料に・ぐルス状の超音−波を発生させ、該試
料表面に診断用レーザ光を照射することによシ前記超音
波が前記試料を伝播するときの前記試料表面に生ずる機
械的変位を検出する光音響探触装置に於て、前記・母ル
スレーザ光を伝送する第１の光ファイバと、前記診断用
レーザ光及び該診断用レーザ光の前記試料表面からの反
射による戻り光を伝送する第２の光ファイバと、前記第
１の光ファイバからの前記・ぐルスレーザ光を前記試料
表面の一点に照射し、又前記第２の光ファイバからの前
記診断用レーザ光を前記試料表面の他の点に照射するた
めの集光レンズ系と、前記戻シ光に重畳された前記機械
的変位に対応する光信号を検出する光検出手段とを有す
ることを特徴とする光音響探触装置が得られる。
以上この発明について図面を参照して詳細に説明する。
第１図は、この発明の一実施例の構成をブロック図によ
シ示したものである。図において、１は大出力の・母ル
スレーザ光源であシ、この実施例ではパルス幅約２０ｎ
ｓ、出力１００ ｍＪのＱスイッチＹＡＧレーザを使用
している。この大出力の７４ルスレーザ光源からの出力
光は第１のビームスグリツタ２を用いてその一部を第１
の光検出器３で受光し、ノ９ルスレーザ光源１からの出
射のタイミングを検出している。第１のビームスシリツ
タ２を透過したパルスレーザ光は第１の結合レンズ４を
介して第１の光ファイバ６に導入され、第１の光ファイ
バ６を伝搬して出射した光は集光レンズ系７を介して試
料表面８上の一地点Ｐを照射する。第１の光ファイバ６
にはコア径１００μｍのマルチモードファイバを用い、
十分高出力な光・ぐルスが伝送できるようにしている。
シ示したものである。図において、１は大出力の・母ル
スレーザ光源であシ、この実施例ではパルス幅約２０ｎ
ｓ、出力１００ ｍＪのＱスイッチＹＡＧレーザを使用
している。この大出力の７４ルスレーザ光源からの出力
光は第１のビームスグリツタ２を用いてその一部を第１
の光検出器３で受光し、ノ９ルスレーザ光源１からの出
射のタイミングを検出している。第１のビームスシリツ
タ２を透過したパルスレーザ光は第１の結合レンズ４を
介して第１の光ファイバ６に導入され、第１の光ファイ
バ６を伝搬して出射した光は集光レンズ系７を介して試
料表面８上の一地点Ｐを照射する。第１の光ファイバ６
にはコア径１００μｍのマルチモードファイバを用い、
十分高出力な光・ぐルスが伝送できるようにしている。
一方、９は連続発振高安定度の診断用レーザ光源であシ
、この実施例では直線偏光単一発振モードのＨｅ−Ｎｅ
レーザを用いている。診断用レーザ光源９からの出射光
は第２のビームスシリツタ１０と第２の結合レンズ１１
を介して第２の光ファイバ１２に導入され、この第２の
光ファイバ１２を伝搬して出射した光は集光レンズ系７
を介して試料表面８上の前記パルスレーザ光の照射地点
Ｐとは異なる他の一地点Ｑを照射する。この実施例では
第２の光ファイバ１２には偏光保存単一モード光ファイ
バを用いている。
、この実施例では直線偏光単一発振モードのＨｅ−Ｎｅ
レーザを用いている。診断用レーザ光源９からの出射光
は第２のビームスシリツタ１０と第２の結合レンズ１１
を介して第２の光ファイバ１２に導入され、この第２の
光ファイバ１２を伝搬して出射した光は集光レンズ系７
を介して試料表面８上の前記パルスレーザ光の照射地点
Ｐとは異なる他の一地点Ｑを照射する。この実施例では
第２の光ファイバ１２には偏光保存単一モード光ファイ
バを用いている。
また、この実施例では、・母ルスレーザ光と診断用レー
ザ光のうち少なくとも一方は１個のレンズからなる集光
レンズ系７の光軸からずらされるようにして集光レンズ
系７に入射されるようにしているため、パルスレーザ光
と診断用レーザ光は試料表面８上のそれぞれ相異なる地
点Ｐ、Ｑを照射できるようになっている。光速度に比べ
て超音波の速度ははるかに遅いために、該・ぐルスレー
ザ光を照射することによって照射地点Ｐで発生した超音
波が、該診断用レーザ光の照射地点Ｑまで到達するには
若干の遅延時間が生じる。この伝搬遅延時間は試料媒質
の音速度に依存し、該音速度は試料の温度や試料の種類
等に依存するので、ＰＱの間隔を一定に保った場合、こ
の伝搬遅延時間の変化から該試料の特性の変化を検出す
ることができる。
ザ光のうち少なくとも一方は１個のレンズからなる集光
レンズ系７の光軸からずらされるようにして集光レンズ
系７に入射されるようにしているため、パルスレーザ光
と診断用レーザ光は試料表面８上のそれぞれ相異なる地
点Ｐ、Ｑを照射できるようになっている。光速度に比べ
て超音波の速度ははるかに遅いために、該・ぐルスレー
ザ光を照射することによって照射地点Ｐで発生した超音
波が、該診断用レーザ光の照射地点Ｑまで到達するには
若干の遅延時間が生じる。この伝搬遅延時間は試料媒質
の音速度に依存し、該音速度は試料の温度や試料の種類
等に依存するので、ＰＱの間隔を一定に保った場合、こ
の伝搬遅延時間の変化から該試料の特性の変化を検出す
ることができる。
・にルスレーザ光の照射によシ発生した超音波が地点Ｑ
を通過するときには地点Ｑに機械的変位を生じる。この
ため、地点Ｑで反射して再び第２の光ファイバ１２に結
合される診断用レーザ光の戻り光は、その位相および振
幅に関し瞬間的に変調されている。このため、この変調
された戻り光を検出することによシ、該試料面８上の地
点Ｑに生じた機械的変位を検出することができる。一般
にこの機械的変位は数μｍ以下であるため、振幅変調に
よる強度変化はそれほど大きくない。このため。
を通過するときには地点Ｑに機械的変位を生じる。この
ため、地点Ｑで反射して再び第２の光ファイバ１２に結
合される診断用レーザ光の戻り光は、その位相および振
幅に関し瞬間的に変調されている。このため、この変調
された戻り光を検出することによシ、該試料面８上の地
点Ｑに生じた機械的変位を検出することができる。一般
にこの機械的変位は数μｍ以下であるため、振幅変調に
よる強度変化はそれほど大きくない。このため。
ヘテロダイン方式によシ位相変化を検出する方が高感度
に機械的変位を検出できる。
に機械的変位を検出できる。
第２の光ファイバ１２を出射した戻シ光は第２のビーム
スシリツタ１０で一部反射し光検出部２０に導かれる。
スシリツタ１０で一部反射し光検出部２０に導かれる。
この際、第２のビームスノリツタ１０で分岐され２反射
鏡１３で反射された診断用レーザ光源９からの光と第２
の光ファイバ１２を出射した戻シ光とは第２のビームス
プリッタ１０上で平行ビームとなるように合成されてい
る。
鏡１３で反射された診断用レーザ光源９からの光と第２
の光ファイバ１２を出射した戻シ光とは第２のビームス
プリッタ１０上で平行ビームとなるように合成されてい
る。
該合成された平行ビームは、高速の光偏向器２１を介し
て第２の光検出器２２で受光され、これによシ、該試料
表面８．．からの戻シ光が受けた変調をホモダイン方式
によシ検出される。検出された電気信号は信号処理系２
３に導かれ解析される。
て第２の光検出器２２で受光され、これによシ、該試料
表面８．．からの戻シ光が受けた変調をホモダイン方式
によシ検出される。検出された電気信号は信号処理系２
３に導かれ解析される。
ところで、・クルスレーザ光源１から出射されるパルス
レーザ光は非常に強力なため、集光レンズ系７や試料表
面８で生じた散乱光が、第２の光ファイバ１２に迷光と
して結合され、第２の光検出器２２の動作を不安定にす
る恐れがある。このため、この実施例では、該・ぞルス
レーザ光の戻シ光が強く受光されるのを阻止するために
光偏向器２１を用いてマスキングを行なわせている。す
なわち。
レーザ光は非常に強力なため、集光レンズ系７や試料表
面８で生じた散乱光が、第２の光ファイバ１２に迷光と
して結合され、第２の光検出器２２の動作を不安定にす
る恐れがある。このため、この実施例では、該・ぞルス
レーザ光の戻シ光が強く受光されるのを阻止するために
光偏向器２１を用いてマスキングを行なわせている。す
なわち。
第１の光検出器３で該・母ルスレーザ光の出射時刻が検
出されると、タイマー２４が作動し、所望の待ち時間が
経過したのちに光偏向器コントローラ２５を作動して光
偏向器２２のマスキングを解除するようにし、該・やル
スレーザ光の戻シ光よりも後に第２の光検出部２０に到
達する所望の時間帯の信号光を選択的に検出するように
している。
出されると、タイマー２４が作動し、所望の待ち時間が
経過したのちに光偏向器コントローラ２５を作動して光
偏向器２２のマスキングを解除するようにし、該・やル
スレーザ光の戻シ光よりも後に第２の光検出部２０に到
達する所望の時間帯の信号光を選択的に検出するように
している。
第２の光ファイバ１２と第１の光ファイバ６はフレキシ
ブルであるため、集光レンズ系７からなる探触子を試料
表面８上の任意の位置に自由に移動させて測定すること
ができる。また、第２の光ファイバ１２と第１の光ファ
イバ６とを束ねることもできるので２重げらないで光を
伝送させることができる。
ブルであるため、集光レンズ系７からなる探触子を試料
表面８上の任意の位置に自由に移動させて測定すること
ができる。また、第２の光ファイバ１２と第１の光ファ
イバ６とを束ねることもできるので２重げらないで光を
伝送させることができる。
マスキングに用いる光偏向器２１として超高速のスイッ
チング時間を有するものを用いれば、試料表面８上の２
地点ＰＱの間隔を敷部以下まで狭めることができるので
、非常に軽量でコン・ぞクトな探触子を構成することが
でき、極めて狭い場所での光音響法による測定ができる
ようになる。これによシ２例えば内視鏡と組み合わせる
ことにより、胃や食道等の人体の診断などにも応用でき
るようになる。また、試料ないしは探触子を走査するこ
とにより、走査顕微鏡として用いるようにすることもで
きる。
チング時間を有するものを用いれば、試料表面８上の２
地点ＰＱの間隔を敷部以下まで狭めることができるので
、非常に軽量でコン・ぞクトな探触子を構成することが
でき、極めて狭い場所での光音響法による測定ができる
ようになる。これによシ２例えば内視鏡と組み合わせる
ことにより、胃や食道等の人体の診断などにも応用でき
るようになる。また、試料ないしは探触子を走査するこ
とにより、走査顕微鏡として用いるようにすることもで
きる。
なお、この発明は、上述の実施−゛に見られる構成のみ
に限定されることなく、いくつかの変形が考えられる。
に限定されることなく、いくつかの変形が考えられる。
例えば、試料表面における機械的変位が十分に大きい場
合には、ヘテロダイン検出をしないで直接検波によシ信
号を検出することもできる。また、・母ルスレーザ光源
１として２色素レーサヤノクラメトリックレーザのよう
な波長可変の・ぞルスレーザを用いれば、該試料の吸収
特性の波長依存性などのスペクトル測定を行なうことが
できるようになる。更に、２１の光偏向器を漏洩してき
た該パルスレーザ光の照射地点Ｐからの戻シ光を検出し
、これをトリが一信号として該診断用レーザ光の照射地
点Ｑからの戻シ光の時間変化を検出し、これより地点Ｐ
Ｑ間の超音波の伝搬遅延時間を測定するようにすること
もできる。
合には、ヘテロダイン検出をしないで直接検波によシ信
号を検出することもできる。また、・母ルスレーザ光源
１として２色素レーサヤノクラメトリックレーザのよう
な波長可変の・ぞルスレーザを用いれば、該試料の吸収
特性の波長依存性などのスペクトル測定を行なうことが
できるようになる。更に、２１の光偏向器を漏洩してき
た該パルスレーザ光の照射地点Ｐからの戻シ光を検出し
、これをトリが一信号として該診断用レーザ光の照射地
点Ｑからの戻シ光の時間変化を検出し、これより地点Ｐ
Ｑ間の超音波の伝搬遅延時間を測定するようにすること
もできる。
上記の実施例では集光レンズ系として１個のレンズを使
用しているが、ファイバごとに１個ずつ設けてもよいの
は勿論である。その場合、試料４の任意の位置から探触
することが出来る。
用しているが、ファイバごとに１個ずつ設けてもよいの
は勿論である。その場合、試料４の任意の位置から探触
することが出来る。
以上の説明で明らかなように１本発明によれば。
試料の任意の位置から探触でき、かつフレキシブルに探
触できるようにした光音響探触装置が得られる。また、
超音波の発生地点と超音波の検出地点との間隔を任意に
近づけることができるので。
触できるようにした光音響探触装置が得られる。また、
超音波の発生地点と超音波の検出地点との間隔を任意に
近づけることができるので。
超音波の減衰の比較的大きな物体についても、光音響的
な緒特性を測定することができるという効果がある。
な緒特性を測定することができるという効果がある。
以下余日
第１図は、この発明による一実施例の構成例を示すブロ
ックダイヤグラムである。 記号の説明＝１はパルスレーザ光源、２は第１のビーム
スシリツタ、３は第１の光検出器、４は第１の結合レン
ズ、６は第１の光ファイノぐ、７は集光レンズ系、８は
試料表面、９は診断用レーザ光源、１０は第２のビーム
スシリツタ、１１は第２の結合レンズ、１２は第２の光
ファイ・マ、１３は反射鏡、２０は光検出部、２１は光
偏向器。 ２２は第２の光検出器、２３は信号処理系、２４はタイ
マー、２５は光偏向器コントローラをそれぞれあられし
ている。
ックダイヤグラムである。 記号の説明＝１はパルスレーザ光源、２は第１のビーム
スシリツタ、３は第１の光検出器、４は第１の結合レン
ズ、６は第１の光ファイノぐ、７は集光レンズ系、８は
試料表面、９は診断用レーザ光源、１０は第２のビーム
スシリツタ、１１は第２の結合レンズ、１２は第２の光
ファイ・マ、１３は反射鏡、２０は光検出部、２１は光
偏向器。 ２２は第２の光検出器、２３は信号処理系、２４はタイ
マー、２５は光偏向器コントローラをそれぞれあられし
ている。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 試料の表面にパルスレーザ光を照射して該試料に
パルス状の超音波を発生させ、該試料表面に診断用レー
ザ光を照射することにより、前記超音波が前記試料を伝
播するときの前記試料表面に生ずる機械的変位を検出す
る光音響探触装置に於て、前記Ａ？ルスレーザ光を伝送
する第１の光ファイバと、前記診断用レーザ光及び該診
断用レーザ光の前記試料表面からの反射による戻シ光を
伝送する第２の光ファイバと、前記第１の光ファイ・々
からの前記パルスレーザ光を前記試料表面の一点に照射
し、又前記第２の光ファイバからの前記診断用レーザ光
を前記試料表面の他の点に照射するための集光レンズ系
と、前記戻シ光に重畳された前記機械的変位に対応する
光信号を検出する光検出手段とを有することを特徴とす
る光音響探触装置。 ２、 前記集光レンズ系は１個のレンズで構成されてお
シ、該パルスレーザ光と該診断用レーザ光の少なくとも
一方は該集光レンズ系の光軸からずらされて該集光レン
ズ系に入射されることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の光音響探触装置。 ３、 前記光検出手段は該試料表面等からの該・ぐルス
レーザ光の反射による戻シ光が該第２の光ファイバを介
して受光されるのを阻止するためのマスキング回路を具
備していることを特徴とする特許請求の範囲第１項又は
第２項記載の光音響探触装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57022106A JPS58140637A (ja) | 1982-02-16 | 1982-02-16 | 光音響探触装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57022106A JPS58140637A (ja) | 1982-02-16 | 1982-02-16 | 光音響探触装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58140637A true JPS58140637A (ja) | 1983-08-20 |
Family
ID=12073633
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57022106A Pending JPS58140637A (ja) | 1982-02-16 | 1982-02-16 | 光音響探触装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58140637A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0271147A (ja) * | 1988-04-29 | 1990-03-09 | American Teleph & Telegr Co <Att> | 非破壊検査方法及び装置 |
-
1982
- 1982-02-16 JP JP57022106A patent/JPS58140637A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0271147A (ja) * | 1988-04-29 | 1990-03-09 | American Teleph & Telegr Co <Att> | 非破壊検査方法及び装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6839496B1 (en) | Optical fibre probe for photoacoustic material analysis | |
| KR910004225B1 (ko) | 물품 표면의 비균질성 검사방법 및 그 장치 | |
| US7474411B2 (en) | System and method to reduce laser noise for improved interferometric laser ultrasound detection | |
| US20070015992A1 (en) | System and method for optoacoustic imaging | |
| US20220050084A1 (en) | Device and method for testing a test object | |
| CN101083935A (zh) | 检测牙齿结构中的异常的方法和设备 | |
| Fomitchov et al. | Photoacoustic probes for nondestructive testing and biomedical applications | |
| JPH08285823A (ja) | 超音波検査装置 | |
| US20240077457A1 (en) | Quantum-enhanced all-optical photoacoustic signal detection device and method | |
| JP3544783B2 (ja) | レーザ超音波探傷装置 | |
| JPS58140637A (ja) | 光音響探触装置 | |
| JP2002257793A (ja) | レーザ超音波検査装置 | |
| JP2004125615A (ja) | レーザ超音波検査装置 | |
| EP0582384A2 (en) | Spectroscopic imaging system with ultrasonic detection of absorption of modulated electromagnetic radiation | |
| JPS5831872B2 (ja) | 非接触超音波探傷法 | |
| KR100733539B1 (ko) | 레이저를 이용한 고온 측정 대상물의 초음파 측정장치 및방법 | |
| JP2717600B2 (ja) | 薄膜評価装置 | |
| JPH09257755A (ja) | レーザー超音波検査装置及びレーザー超音波検査方法 | |
| Lu et al. | A new detection technique for laser-generated Rayleigh wave pulses | |
| JPH11271281A (ja) | レーザー超音波検査装置及びレーザー超音波検査方法 | |
| JPH04178538A (ja) | 試料内に超音波を発生・検出させる方法及びその装置 | |
| KR100496827B1 (ko) | 레이저 간섭법을 이용한 초음파 계측장치 | |
| JPH1183812A (ja) | レーザ光による超音波検出方法及びその装置 | |
| JPH07286993A (ja) | レーザ超音波材質測定装置 | |
| JP2003215110A (ja) | レーザ超音波検査装置及びレーザ超音波検査方法 |