JPS5813319Y2 - 感圧センサ− - Google Patents

感圧センサ−

Info

Publication number
JPS5813319Y2
JPS5813319Y2 JP9735577U JP9735577U JPS5813319Y2 JP S5813319 Y2 JPS5813319 Y2 JP S5813319Y2 JP 9735577 U JP9735577 U JP 9735577U JP 9735577 U JP9735577 U JP 9735577U JP S5813319 Y2 JPS5813319 Y2 JP S5813319Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
piezoelectric element
sensitive
temperature
sensitive sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP9735577U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5424385U (ja
Inventor
山添敏博
大西雅雄
谷健六
Original Assignee
松下電器産業株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 松下電器産業株式会社 filed Critical 松下電器産業株式会社
Priority to JP9735577U priority Critical patent/JPS5813319Y2/ja
Publication of JPS5424385U publication Critical patent/JPS5424385U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS5813319Y2 publication Critical patent/JPS5813319Y2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は力が加わった時、電気信号を発生し、圧力の有
無を検知する無接点式感圧センサーに関し、特に温度特
性を改善し、動作の安定化を目的とするものである。
従来の感圧センサーは第1,2図に示すように感圧用圧
電素子1をケース2に入れ、端子板3゜4を介して感圧
部材5および受は金部材6によって挾持し、さらに、フ
レーム7ネ・よび受はネジ8によって螺合してユニット
化しである。
なか、感圧部材5は保護被覆としてゴム9でモールドさ
れている。
また、端子板4は雑音保護のために絶縁板10によって
感圧部材5訃よび受は金6より絶縁されている。
さらに端子板3,4にはリード線11が接続されている
そして、感圧用圧電素子1の普わりは耐湿保護等の目的
でエポキシ樹脂等の樹脂でモールドされている。
上記構成の従来の感圧センサーは圧電素子からの焦電流
の影響を受け、湿度の変化によって誤信号が発生すると
いう欠点を有していた。
本考案は上記従来の感圧センサーの欠点を解消し、圧力
にはほとんど感じないが逆極性の焦電流を発生させ相殺
させる圧電素子を設けることによって所期の目的を達成
するものであり、以下に本考案の一実施例について第3
,4図とともに説明する。
第3図は本考案の一実施例を示す感圧センサーの水平断
面図であり、第4図は第3図のAOA線における垂直断
面図である。
この第3,4図において、第1.2図と同一構成物に対
しては同一番号が付しである。
12は温度補償用の圧電素子であり、前記感圧用圧電素
子1とは逆極性に配置されている。
この温度補償用圧電素子12は焦電流の大きさが厚さに
関係なく断面積に比例するので断面積を感圧用圧電素子
1とほぼ同じくし厚みを薄くしである。
13は温度保償用圧電素子12と端子板3との電気的接
続を保つためのリング状の導電ゴムである。
上記構成から明らかなように、感圧用圧電素子1から発
生される焦電流は、逆極性に配置された温度保償用圧電
素子12から発生される焦電流によって相殺されるので
温度変化が生じない。
従って、誤信号の発生が無くなる。
なお、導電ゴム13は円柱状でもよく、リング状または
円柱状とすることにより、温度保償用圧電素子11の1
わりに耐湿保護等の目的でエポキシ樹脂等の樹脂を注型
しても導電ゴム13内に樹脂が注入されず、導電ゴム1
3は弾性を失わないので電気的接触が確実となる。
また、感圧部材5に加えられた力はこの導電ゴム13を
介して温度保償用圧電素子12に加えられるが、この温
度保償用圧電素子12は感圧用圧電素子1と逆極性の向
きに配置されているので感圧センサーとしては温度保償
用圧電素子12に力が加えられる分だけ感度が低下する
こととなる。
このため、温度保償用圧電素子12に加えられる力を小
さくするために、導電ゴム13をリング状としてやわら
かクシ、力を吸収することが望ましい。
以上の説明から明らかなように本考案の感圧センサーは
感圧用圧電素子と逆極性に温度保慣用圧電素子を配置し
であるのでこの温度保慣用圧電素子から発生される焦電
流によって感圧用圧電素子から発生される焦電流を相殺
することができ、従って温度特性に優れ、誤信号の発生
を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の感圧センサーの水平断面図、第2図は同
感圧センサーの垂直断面図、第3図は本考案の一実施例
を示す感圧センサーの水平断面図、第4図は第3図のA
OA線における垂直断面図である。 1・・・・・・感圧用圧電素子、3,4・・・・・・端
子板、5・・・・・・感圧用抑圧部材、6・・・・・・
受は金部材、7・・・・・・フレーム、8・・・・・・
受はネジ、12・・・・・・温度保償用圧電素子、13
・・・・・・導電ゴム。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. (1)感圧用圧電素子を端子板を介して感圧押圧用部材
    および受は金部材で挾持し、フレームおよび受はネジで
    螺合してなるとともに、前記感圧用圧電素子とほぼ等し
    い断面積を有する温度補償用圧電素子をその感圧用圧電
    素子とは逆極性の向きに前記端子板間に導電ゴムを介し
    て設けてなることを特徴とする感圧センサー。
  2. (2)導電ゴムがリング状であることを特徴とする実用
    新案登録請求の範囲第(1)項に記載の感圧センサー。
JP9735577U 1977-07-20 1977-07-20 感圧センサ− Expired JPS5813319Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9735577U JPS5813319Y2 (ja) 1977-07-20 1977-07-20 感圧センサ−

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9735577U JPS5813319Y2 (ja) 1977-07-20 1977-07-20 感圧センサ−

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5424385U JPS5424385U (ja) 1979-02-17
JPS5813319Y2 true JPS5813319Y2 (ja) 1983-03-15

Family

ID=29032108

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9735577U Expired JPS5813319Y2 (ja) 1977-07-20 1977-07-20 感圧センサ−

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5813319Y2 (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60248217A (ja) * 1984-02-10 1985-12-07 ル−ワ アクチエンゲゼルシヤフト ろ過用媒体の清浄方法及び自己清浄フィルタ装置
JP2580115B2 (ja) * 1985-12-16 1997-02-12 日本電装株式会社 圧力検出器
JPH0715486B2 (ja) * 1988-08-01 1995-02-22 松下電器産業株式会社 加速度センサ
JP5884456B2 (ja) * 2011-12-09 2016-03-15 セイコーエプソン株式会社 介在センサー、およびロボット

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5424385U (ja) 1979-02-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5150275A (en) Capacitive pressure sensor
US4380041A (en) Capacitor pressure transducer with housing
JPS62191730A (ja) 圧力センサ
SE7503078L (sv) Kapacitivt kraftavkenningsorgan.
JPS5813319Y2 (ja) 感圧センサ−
JPH0743625Y2 (ja) 静電容量式荷重センサ
CN2162654Y (zh) 压电复合加速度传感器
JPH0447244A (ja) 半導体圧力センサ
JP2660517B2 (ja) 静電容量型レベルセンサー
JPH0229651Y2 (ja)
JPH053984Y2 (ja)
JP3297887B2 (ja) 静電容量式センサー
JPS5813318Y2 (ja) 感圧センサ−
JPH0355918Y2 (ja)
JPS6367537A (ja) 半導体圧力センサ
JPS58164271A (ja) Mis型圧力センサ
JPS60152949U (ja) セラミツク圧力センサ
JPS5820910Y2 (ja) 感圧センサ−
JPH0295232A (ja) 圧電型圧力センサ
JPH03135739A (ja) 赤外線検出装置
JP2599307B2 (ja) 防液型圧力検出器
JPH0650773Y2 (ja) 剪断形加速度検出器
JP2889646B2 (ja) 静電容量型検出器
JPS59111032A (ja) ワツシヤ型圧力センサ
JPH07902Y2 (ja) 振動センサ