JPS58127103A - 目合せマ−ク検出装置 - Google Patents
目合せマ−ク検出装置Info
- Publication number
- JPS58127103A JPS58127103A JP894882A JP894882A JPS58127103A JP S58127103 A JPS58127103 A JP S58127103A JP 894882 A JP894882 A JP 894882A JP 894882 A JP894882 A JP 894882A JP S58127103 A JPS58127103 A JP S58127103A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- optical axis
- camera
- alignment mark
- servo motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
- G01B11/27—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
- G01B11/272—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes using photoelectric detection means
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は目合せマーク検出装置に係り、特ζこ液晶表示
素子ガラス基板の組立作業の加熱圧着組立方式における
目合せ作業の時間短縮ζこ好適な目合せマーク検出装置
に関する。
素子ガラス基板の組立作業の加熱圧着組立方式における
目合せ作業の時間短縮ζこ好適な目合せマーク検出装置
に関する。
従来、電極パターンが印刷されたガラス基板を重ね合せ
、目合せマークを基準に目視により重ね合せる場合、圧
着テーブルにガラス基板をセットし、上方から投影スク
リーンで目合せマークを見ながら操作し重ね合せていた
。この方法は投影スクリーンを用いているため、拡大倍
率が低く、組立精度が２０〜３０μｍと悪い。しかも品
種により異なる目合せマーク上に合せ投影スクリーンを
移動する必要があるため、組立作業の自動化が困難であ
り、作業時間の短縮も図れないという欠点があった。
、目合せマークを基準に目視により重ね合せる場合、圧
着テーブルにガラス基板をセットし、上方から投影スク
リーンで目合せマークを見ながら操作し重ね合せていた
。この方法は投影スクリーンを用いているため、拡大倍
率が低く、組立精度が２０〜３０μｍと悪い。しかも品
種により異なる目合せマーク上に合せ投影スクリーンを
移動する必要があるため、組立作業の自動化が困難であ
り、作業時間の短縮も図れないという欠点があった。
本発明の目的は、検出装置を小型化し、自動組立機に取
付可能で、組立作業時間の短縮と拡大倍率を上げ、組立
精度を向上できる目合せマーク検出装置を提供するこき
にある。
付可能で、組立作業時間の短縮と拡大倍率を上げ、組立
精度を向上できる目合せマーク検出装置を提供するこき
にある。
上記目的を達成するため、本発明は目合せ検出装置にお
いて反射型顕微鏡の先端にオプティカルパラレルを士数
度傾けて置き、かつオプティカルパラレルを支えている
台をサーボモータにより組立装置の外部から任意の角度
光軸を中心に回転できるようにすることにより、品種に
より異なる位置にある目合せマークの光軸を顕微鏡の光
軸に合せ移動する。顕微鏡は１ケ所に固定し、カメラに
よりモニター上に拡大した目合せマークを写す。
いて反射型顕微鏡の先端にオプティカルパラレルを士数
度傾けて置き、かつオプティカルパラレルを支えている
台をサーボモータにより組立装置の外部から任意の角度
光軸を中心に回転できるようにすることにより、品種に
より異なる位置にある目合せマークの光軸を顕微鏡の光
軸に合せ移動する。顕微鏡は１ケ所に固定し、カメラに
よりモニター上に拡大した目合せマークを写す。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。１は
板厚０３〜１．１ｍｍの目合せマークの印刷されたガラ
ス基板、２はオプティカルパラレル、３はレノズ４およ
びハーフミラ−５を内蔵する顕微鏡、６は光源、７はカ
メラ、８はモニター、９はオプティカルパラレル２の台
座につながる歯車、１０は駆動させるサーボモータであ
る。前記ガラス基板１１こは、第２図（こ示すように上
方から見ると端辺に目合せマーク１ａが印刷されている
。第２図は目合せマークの光軸が移動されカメラ７の光
軸に一致される様子を示している。
板厚０３〜１．１ｍｍの目合せマークの印刷されたガラ
ス基板、２はオプティカルパラレル、３はレノズ４およ
びハーフミラ−５を内蔵する顕微鏡、６は光源、７はカ
メラ、８はモニター、９はオプティカルパラレル２の台
座につながる歯車、１０は駆動させるサーボモータであ
る。前記ガラス基板１１こは、第２図（こ示すように上
方から見ると端辺に目合せマーク１ａが印刷されている
。第２図は目合せマークの光軸が移動されカメラ７の光
軸に一致される様子を示している。
次番こ検出方法ζこついて説明すると、１ａの位置にあ
る目合せマークはカメラ７Ｉこ写し出される前にオプテ
ィカルパラレル２１こより光軸が移動され、あたかも１
ｂの位置にあるかのよう（こカメラ７に写る。また、オ
プティカルパラレル２は歯車９を通してサーボモータ１
０により光軸を中心ζこ回転できるため、任意の位置の
マークをカメラ７の光軸に合せることができる。
る目合せマークはカメラ７Ｉこ写し出される前にオプテ
ィカルパラレル２１こより光軸が移動され、あたかも１
ｂの位置にあるかのよう（こカメラ７に写る。また、オ
プティカルパラレル２は歯車９を通してサーボモータ１
０により光軸を中心ζこ回転できるため、任意の位置の
マークをカメラ７の光軸に合せることができる。
本実施例１こよれば、±５ｍｍの範囲の目合せマークを
カメラ７の光軸に合せることが可能であり、顕微鏡３に
より拡大することができるため、拡大倍率を１００倍以
上にすることができ、組立精度を１〜Ｚ、ｃｔｍまで向
上させることが可能である。
カメラ７の光軸に合せることが可能であり、顕微鏡３に
より拡大することができるため、拡大倍率を１００倍以
上にすることができ、組立精度を１〜Ｚ、ｃｔｍまで向
上させることが可能である。
本発明によれば、電極パターンが印刷されたガラス基板
を重ね合せ、目合せマークを基準に組立てる場合、目合
せマークを検出する作業において、顕微鏡を移動せずに
光軸を移動できるので、装置がコンパクトで自動組立機
への取付が可能となり、マルチガラス基板を従来の数分
の１の工数で、かつ高い組立精度で製造できる効果があ
る。
を重ね合せ、目合せマークを基準に組立てる場合、目合
せマークを検出する作業において、顕微鏡を移動せずに
光軸を移動できるので、装置がコンパクトで自動組立機
への取付が可能となり、マルチガラス基板を従来の数分
の１の工数で、かつ高い組立精度で製造できる効果があ
る。
第１図は本発明の一実施例を示す目合せマーク検出装置
の正面図、第２図は第１図の光軸系の説明図である。 １・・・ガラス基板、 １ａ、１ｂ・・・目合せマ
ーク、２・・・オプティカルパラレル、 ３・・・顕
微鏡、９・・・歯車、 １０・・・サーボモータ。
の正面図、第２図は第１図の光軸系の説明図である。 １・・・ガラス基板、 １ａ、１ｂ・・・目合せマ
ーク、２・・・オプティカルパラレル、 ３・・・顕
微鏡、９・・・歯車、 １０・・・サーボモータ。
Claims (1)
- 組立機の目合せ装置ζこおいて、オプティカルパラレル
とサーボモータよりなる光軸移動装置を顕微鏡とガラス
基板の間に設置することを特徴とする目合せマーク検出
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP894882A JPS58127103A (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | 目合せマ−ク検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP894882A JPS58127103A (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | 目合せマ−ク検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58127103A true JPS58127103A (ja) | 1983-07-28 |
Family
ID=11706891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP894882A Pending JPS58127103A (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | 目合せマ−ク検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58127103A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5081590A (en) * | 1988-02-29 | 1992-01-14 | Westinghouse Electric Corp. | Computer aided technique for post production tuning of microwave modules |
| JP2008145268A (ja) * | 2006-12-11 | 2008-06-26 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | 焦点面傾斜型共焦点表面形状計測装置 |
-
1982
- 1982-01-25 JP JP894882A patent/JPS58127103A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5081590A (en) * | 1988-02-29 | 1992-01-14 | Westinghouse Electric Corp. | Computer aided technique for post production tuning of microwave modules |
| JP2008145268A (ja) * | 2006-12-11 | 2008-06-26 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | 焦点面傾斜型共焦点表面形状計測装置 |
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