JPS58124209A - レ−ザトリミング装置 - Google Patents
レ−ザトリミング装置Info
- Publication number
- JPS58124209A JPS58124209A JP57006945A JP694582A JPS58124209A JP S58124209 A JPS58124209 A JP S58124209A JP 57006945 A JP57006945 A JP 57006945A JP 694582 A JP694582 A JP 694582A JP S58124209 A JPS58124209 A JP S58124209A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- trimming
- resistor
- stage
- laser
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はレーザ光線によってハイブリッドＩＣや抵抗モ
ジー−ル中の抵抗体のトリミング全行うレーザトリミン
グ装置に関するものである。
ジー−ル中の抵抗体のトリミング全行うレーザトリミン
グ装置に関するものである。
ハイブリッドＩＣや抵抗モジュール中の抵抗素子は、厚
膜回路の場合、酸化ルテニウムなどの印刷膜によって形
成されているが、これらの抵抗値を設定した直に完全に
一致させて製作することは極めて困難である。又、抵抗
以外の素子、特にＩＣ，トランジスタなど半導体素子の
バラツキ？含め抵抗値を調整する心安がある。このため
１通常モジュールの製作Ｌｉミングによって設定呟への
調整が行われる。トリミングにレーザ光線を使用すると
、従来のサンドブラスト法などを比較して加工径が小さ
く、微小パターンの抵抗に対して高精度、高速度のトリ
ミングが可能であること。
膜回路の場合、酸化ルテニウムなどの印刷膜によって形
成されているが、これらの抵抗値を設定した直に完全に
一致させて製作することは極めて困難である。又、抵抗
以外の素子、特にＩＣ，トランジスタなど半導体素子の
バラツキ？含め抵抗値を調整する心安がある。このため
１通常モジュールの製作Ｌｉミングによって設定呟への
調整が行われる。トリミングにレーザ光線を使用すると
、従来のサンドブラスト法などを比較して加工径が小さ
く、微小パターンの抵抗に対して高精度、高速度のトリ
ミングが可能であること。
モジュール會動作状態にしての機能トリミングが可能で
あることなど多くの利点？有している。
あることなど多くの利点？有している。
レーザトリミング装置は、通常Ｎｄ：ＹＡＧレーザ発振
器と超音波Ｑスイッチからなるレーザ発振器部、レーザ
光＠’ｔ）！Ｊミングすべき抵抗体の位置まで移動させ
、かつレーザ光線全照射しながら抵抗体上？移動させる
ビームポジショナ部、抵抗匝、電圧匝などを計測する計
６１１部、トリミングすべきモジー−ルを搬送するＸＹ
テーブルパーツハンドラ部、これら全プログラム制御す
るコンピュータ部などから構成される。トリミング動作
は ゛例えば抵抗トリミングの場合にはトリミング
しようとする抵抗の切込み位置にレーザ光が照射される
ようポジショニングし１次にＱスイッチパルス全発生さ
せ抵抗ｔｔｉｉ−ｅ計測しながら抵抗体上音移動させ切
断し、抵抗値が設定直に達した時に、Ｑスイッチパルス
とレーザ光線の移動？停止させて行われる。トリミング
されるモジュールはＸＹテーブルパーツハンドラ部によ
ってステップアンドリヒート動作を含み搬送される。
器と超音波Ｑスイッチからなるレーザ発振器部、レーザ
光＠’ｔ）！Ｊミングすべき抵抗体の位置まで移動させ
、かつレーザ光線全照射しながら抵抗体上？移動させる
ビームポジショナ部、抵抗匝、電圧匝などを計測する計
６１１部、トリミングすべきモジー−ルを搬送するＸＹ
テーブルパーツハンドラ部、これら全プログラム制御す
るコンピュータ部などから構成される。トリミング動作
は ゛例えば抵抗トリミングの場合にはトリミング
しようとする抵抗の切込み位置にレーザ光が照射される
ようポジショニングし１次にＱスイッチパルス全発生さ
せ抵抗ｔｔｉｉ−ｅ計測しながら抵抗体上音移動させ切
断し、抵抗値が設定直に達した時に、Ｑスイッチパルス
とレーザ光線の移動？停止させて行われる。トリミング
されるモジュールはＸＹテーブルパーツハンドラ部によ
ってステップアンドリヒート動作を含み搬送される。
上述したレーザトリミング装置において、近年モジュー
ルの複雑さにともない、絶縁基板上に印刷された抵抗の
他チップ抵抗、チップコンデンサ。
ルの複雑さにともない、絶縁基板上に印刷された抵抗の
他チップ抵抗、チップコンデンサ。
ＩＣ，）ランジスタなど個別部品が搭載されている。
この場合トリミングすべき個所が例えば印刷抵抗と搭載
されたチップ抵抗の両者に必要となり、トリミング面の
高さがモジー−ル内で異なる場合がある。この場合ビー
ムポジショナによって集光される集光ビームの焦点深度
内からトリミング面が離れてし筐い、完全なトリミング
は不可能となってしまう。
されたチップ抵抗の両者に必要となり、トリミング面の
高さがモジー−ル内で異なる場合がある。この場合ビー
ムポジショナによって集光される集光ビームの焦点深度
内からトリミング面が離れてし筐い、完全なトリミング
は不可能となってしまう。
したがって、この発明の目的は、高さの異なったトリミ
ング面が存在するモジー−ルに対して完全に焦点の合っ
たレーザビーム會照射し、トリミング？行うことのでき
るレーザトリミング装置會提供することにある。
ング面が存在するモジー−ルに対して完全に焦点の合っ
たレーザビーム會照射し、トリミング？行うことのでき
るレーザトリミング装置會提供することにある。
この発明によれば、絶縁基板上に印刷された抵抗の他に
収９つけられたチップ抵抗、チップコンデンサ、 Ｉ
Ｃ，）ランジスタなどから構成されるモジュール回路を
搭載するＸＹテーブルパーツハンドラの載物台に移＃旨
のプログラム制御可能な上下移動機能？付加し高さの異
なったトリミング個所毎に載物合音上下し、集光された
レーザビームの焦点深度内にトリミング面上一致させて
最適なトリミング状態を実現できる。
収９つけられたチップ抵抗、チップコンデンサ、 Ｉ
Ｃ，）ランジスタなどから構成されるモジュール回路を
搭載するＸＹテーブルパーツハンドラの載物台に移＃旨
のプログラム制御可能な上下移動機能？付加し高さの異
なったトリミング個所毎に載物合音上下し、集光された
レーザビームの焦点深度内にトリミング面上一致させて
最適なトリミング状態を実現できる。
次に、この発明について図面全参照して説明する。図は
この発明の一実施例であるレーザトリミング装置の主と
してビームポジショナ部とＸＹテーブルパーツハンドラ
部の概略構成を示したものである。トリミングされるモ
ジュール１１には印刷された抵抗１２とチップ抵抗１３
が固定され、両者に対してトリミングの必要があるもの
とする。
この発明の一実施例であるレーザトリミング装置の主と
してビームポジショナ部とＸＹテーブルパーツハンドラ
部の概略構成を示したものである。トリミングされるモ
ジュール１１には印刷された抵抗１２とチップ抵抗１３
が固定され、両者に対してトリミングの必要があるもの
とする。
チップ抵抗１３には抵抗値計測のためのプローブ１４．
１４’が接触されている。一方レーザ光源１５から出射
されるレーザビームはエキスパンダ１６とＸ軸ガルバノ
メータ１７ 、 Ｙ軸ガルバノメータ１８により高速度
のビーム移動が行われ、対物レンズ１９と９０″反射鏡
２０によりチップ抵抗１３上に集光されている。モジー
−ル１１はＸＹテーブルパーツハンドラの載物台２１に
固定され、載物台２１はＸ軸駆動源２２とＹ軸駆動源２
３により移＠可能であると共にＺ軸駆動源２４により上
下の移動が可能である。上下移動量はプログラムにより
制御されている。印刷抵抗１２とチップ抵抗１３ではト
リミング面の高さが異なるため５− Ｚ軸駆動源２４の同一高さでは一方に焦点ボケ？起こす
。これ會防止するために、チップ抵抗１３で焦点が合わ
されている場合には印刷抵抗１２のトリミング時には載
物台２１をチップ抵抗１３の焦点面まで上昇させろうこ
の操作はあらかじめトリミング面の高さの差？プログラ
ムにデータとして入力しておき、トリミングの進行にと
もないトリミング毎に２軸駆動源２４會プログラム制御
することにより、自動的に行われる。
１４’が接触されている。一方レーザ光源１５から出射
されるレーザビームはエキスパンダ１６とＸ軸ガルバノ
メータ１７ 、 Ｙ軸ガルバノメータ１８により高速度
のビーム移動が行われ、対物レンズ１９と９０″反射鏡
２０によりチップ抵抗１３上に集光されている。モジー
−ル１１はＸＹテーブルパーツハンドラの載物台２１に
固定され、載物台２１はＸ軸駆動源２２とＹ軸駆動源２
３により移＠可能であると共にＺ軸駆動源２４により上
下の移動が可能である。上下移動量はプログラムにより
制御されている。印刷抵抗１２とチップ抵抗１３ではト
リミング面の高さが異なるため５− Ｚ軸駆動源２４の同一高さでは一方に焦点ボケ？起こす
。これ會防止するために、チップ抵抗１３で焦点が合わ
されている場合には印刷抵抗１２のトリミング時には載
物台２１をチップ抵抗１３の焦点面まで上昇させろうこ
の操作はあらかじめトリミング面の高さの差？プログラ
ムにデータとして入力しておき、トリミングの進行にと
もないトリミング毎に２軸駆動源２４會プログラム制御
することにより、自動的に行われる。
図はこの発明の一実施例であるレーザトリミング装置の
主としてビームボジシ璽す部とＸＹテーブルパーツハン
ドラ部の斜視図である。 １１・・・・・・トリミングされるモジュール、１２・
・・・・・モジー−ル上の印刷抵抗、１３・・・・・・
チップ抵抗、１４．１４ ’・・・・・・計測用のプロ
ーブ、１５・・・・・・レーｆ光源、１６・・・・・・
エキスパンダ、１７．１８・・・・・・Ｘ軸およびＹ軸
用ガルバノメータ型ビームポジショナ、１９・・・・・
・対物レンズ、２０・・・・・・９０″反６− 射鏡、２１・・・・・・載物台、２２．２３・・・・・
・ＸＹテーブルパーツハンドラのｘＨおよびＹ軸の駆動
源、２４・・・・・・載物台のＹ軸中駆動源である。 ７−
主としてビームボジシ璽す部とＸＹテーブルパーツハン
ドラ部の斜視図である。 １１・・・・・・トリミングされるモジュール、１２・
・・・・・モジー−ル上の印刷抵抗、１３・・・・・・
チップ抵抗、１４．１４ ’・・・・・・計測用のプロ
ーブ、１５・・・・・・レーｆ光源、１６・・・・・・
エキスパンダ、１７．１８・・・・・・Ｘ軸およびＹ軸
用ガルバノメータ型ビームポジショナ、１９・・・・・
・対物レンズ、２０・・・・・・９０″反６− 射鏡、２１・・・・・・載物台、２２．２３・・・・・
・ＸＹテーブルパーツハンドラのｘＨおよびＹ軸の駆動
源、２４・・・・・・載物台のＹ軸中駆動源である。 ７−
Claims (1)
- 絶縁基板上にスクリーン印刷で形成された抵抗体？含む
印刷回路とこの印刷回路に喉りつけられたＩＣ，トラン
ジスタ、チップ抵抗、チップコンデンサなどから構成さ
れるモジュール回路の回路もしくは抵抗値？所定の唾に
自動調整するレーザトリミング装置において、モジー一
段回路を搭載するＸＹテーブルパーツハンドラの載物台
に移動量のプログラム制御可能な上下移動機能？付加し
、高さの異なったトリミング個所毎に載物台？上下し、
集光されたレーザビームの焦点深度内にトリミング面？
一致させて最適なトリミング状態全実現すること全特徴
とするレーザトリミングｆｆｌ［ｌ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57006945A JPS58124209A (ja) | 1982-01-20 | 1982-01-20 | レ−ザトリミング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57006945A JPS58124209A (ja) | 1982-01-20 | 1982-01-20 | レ−ザトリミング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58124209A true JPS58124209A (ja) | 1983-07-23 |
Family
ID=11652368
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57006945A Pending JPS58124209A (ja) | 1982-01-20 | 1982-01-20 | レ−ザトリミング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58124209A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5533171A (en) * | 1978-08-31 | 1980-03-08 | Sankyo Seiki Seisakusho Kk | Generating electronic sound |
-
1982
- 1982-01-20 JP JP57006945A patent/JPS58124209A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5533171A (en) * | 1978-08-31 | 1980-03-08 | Sankyo Seiki Seisakusho Kk | Generating electronic sound |
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