JPS5812355A - カラ−用固体撮像装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、力２−用園体＊像義置の―造方鹸に関し、特
に自体偉＊Ｘ子上に直接的に色分論フィルタを形成した
カッ−用一体操ｇＩＩ装欺の級造力法に係わる。

一１′Ｌ：Ｊへ、ＣＣＤ用一体俤像素子上に直接的に色
分離フィルタを形成したカッー用固体撮曹装蝋としては
、第１図に示すものが知られている。

図中ＩＦ′ｉ、内部が階段状の凹部を有するセラミック
パッケージである。このパッケージ１の内部Ｊ＆面上に
は、導電性の接着１１１ｉ１Ｊ　Ｊを介して固体操像木
子３がマウントさｎｌこれにより図示しないダイヤタッ
チ部に嫉続されてりる。この素子Ｓの上面（受光面）の
中央には色分離フィルタ４が形成され、該フィルタ４の
周辺には複数のホンディング・パッド部５Ｉ・・・が露
出して形成されている◇このボンディング・バッド部Ｊ
？・・・は、アルミニウム又は余勢のボンディング・ワ
イヤ６・・・を介してパッケージ１内の平坦な階段ＩＩ
ｃ＆ｌ’られたボスト部１に接＠され、かっこのボスト
部７はパッケージ１の外部に娠シ付けら３７’（端子（
図示せず）にスルホール尋を介して縁続さｎている。更
に、パッケージ１の一口端には、前記素子Ｉを戴置に陶
土するｆｃめの元手窓ガラス体８が封止材９を介してｔ
Ｉ！１１足ざルている。

ところで、上紀固体撮像鯨電において、囲体撮像素子と
色分−フィルタからなるＣＣＤテップは、固体撮像素子
上に色分離フィルタを直接形成するとともに、ワイヤ・
ボンディングの九めにボンディング・パッド部が露出し
て−る必要がＴｏ！Ｄ、！米その製造は次のようにして
行なわれている。まず、シリコンウェハ上に通常のクエ
ハプロセスである気相成長、不純物拡散、与＾蝕刻尋に
よｐ固体撮像素子を形成する。次に前記各素子上に適宜
ｔζムノ勢の金−を蒸着してシリコン基板との；ンタク
トやボンディング・パッドを形成する０次−で、ウニへ
食体ニバッシベーション膜を形成する◎この後、該パッ
シベーション展の一部を選択的にエツチングしてボンデ
インク・パッド部を露出させる。以上のような工程の後
、色分離フィルタを素子上に形成し、最後にダイシング
・ラインに沿って壺素子を割断してＣＣＤチップを造る
。

しかしながら、上述し良方法にあっては、色分−フィル
タの形成に給して、麺出するボンディング・パッド部上
のフィルタ形成被膜をアルｉＩす系の一剤で＃ｌｌ１ｍ
する良め、ボンデイン！・バッド部が該アルカリ系の溶
剤で洗われて侵食暮れ良夛、或いはフィルタ形成被膜の
成分材料がボンディング・パッド部上に残シ、汚染され
＋Ｃして、ボンディング・ワイヤとのボンディング性が
晶化するという欠点があった。また、ボンデインダ、Ａ
ツド部上のパッジページ田ン膜＃ｃ＃パッド部を露出ζ
せゐ穴があ−て−るえめ、色分離フィルタを形成時ボン
ディングφパッド部近辺の色分離フィルタは、ＣＣＤチ
ップの中心部のフィルタに対して舊ち込み、鋏フィルタ
の厚みを均一にできず、ＣＣＤチップの中心部とボンデ
ィング・パッド部近辺における分光特性が異なるという
問題点があった。なお、上記の教養策として、穴あけし
えボンディング・ＡツドＩｌに詰め物をした少、レジス
Ｆ膜をかぶせ九夛することが行なわれている・仁うした
方法によれば、色分離フィルタの均一化は達せられるも
のの、前記同様に残留物によるボンディング・パッドへ
の島影４１は解消できず、しかも詰め物で埋めるという
工程が増え、ＩＭ造効率の低下要因と座る。

そこで、本出願人は上記欠点を改畳したカラー用園体撮
像装置の製造方法を提案した。かかるカラー用同体撮曽
装置の製造方法について、１１１Ｌ２Ｅｈ）〜（・）に
基づいて以下に説明する。

〔１〕　　まず、ｐ形シリ；ン基板（ウニ八）２１に全
知の所定の方法により選択拡散、エツチング処場、開孔
等を行ない、ＣＣＤ動作に必要な置め込みチャネル用の
１１＋層ＸＺ　　、出力回路のソースやドレインの鳳＋
層Ｊ　Ｊ　−００、及びチャネルカット用ｐ　層２４・
・・等を形威し、一方、前記基板１１よには絶縁膜を介
して例えにゲート電極等のポリシリコン電極（図示せず
）が形成される。次にこの電極を含む全面に層間絶縁属
２１を堆積し、更に曽記鳳令層１１・・・及びＩＩＩ記
ボリシ′９；ン電極取出部（図示せず）等に対応する層
間絶縁膜２Ｊ鄭分にコンタクトホール２６・・・を開孔
し、同時に各チップ間のダイシング・ライン形成予定部
に沿う層間絶縁属１５部分を選択的にエツチング除去す
る・東に絶縁膜２Ｉ上にムｊ膜を真空蒸着し、パターニ
ングして一端が前記コンタクトホール２＃・・・を介し
て鳳１層１１・・・と接続し、他端が層間絶縁膜１５上
［１１出してボンディング・バッド２ｒ・・・とした配
線を形成する。次いで、前記絶縁膜２５上ＫＣＶＤ法に
よ）リン珪酸ガラス（Ｐｌ）からなるバッジページ冒ン
膜２１を堆積する。

絖−て、鋏パッジベージ冒ン膜２８上に感光性のある被
着色層を塗布し、所定形状のマスＩを介して鋏被着色層
を露光し、例えに赤色用Ｉｔ會を行なって着色させ、赤
フィルタ郁２＃羞を形成した後、同様に、他の被着色層
領域を露光しフィルム色に対応する現像＃！＆通を行な
−、馳次緑フィルタ部２＃童、青フィルタ郁２＃１、黒
フィルタ部２９４と形成して色分離フィルタＵを作成す
る。その後、この色分離フィル／、、Ｕ上にカえばエビ
ナスートクリア（東東化学工業（株）ａ商品名）を被覆
して保険ｒｉｓｓｏを形成する（第２図（ａ）図示）。

（Ｕ）　　次いで保−Ｗ＆３９上にフォトレジスト膜３
１を全面に塗布し、乾燥後、露光、現像を行な―ボンデ
ィング会パッド部２２′・・・及びダイシング会ライン
形成予定部に対応するフォトレジスト膜３１の部分を開
孔する（ｊｋ　２　Ｉｔ（ｂａｌｌ示）。続いて、前記
フォトレジスト膜１１をマスクとして、ＩＩＩａｉする
保−膜Ｓ０をエツチング除去し、更に色分離フィルタ（
晶フィルタ＠ＩＩ４’）　も同様にエツチング除去すゐ
（第２図（ｃ）図示）。

ＤＩ）　　次−で、フォトレジストｊ［１１をマスクと
してｊｌ出し九バッジベージ曹ンｊ［２１１１分をＣＦ
、等のドライエツチングで処理し、ボンディング・バッ
ド部１１′・・・をＳ出させ、岡崎にダイシング・ツイ
ン１１・・・を形成する（菖２−（（転）−示）。統ｉ
て、フォトレジスト績１１をＯｌガス中でドライエツチ
ングして灰化させ、ｉ＆、ル除く　（亀２−（・）Ｎ示
）。このような方法でウェハ上に複数のチップを形成螢
、ダイシング・２イン１１・・・に沿って割断し、得ら
れ九ＣＯＤテッグをパッケージに組み込み、ｌ／Ｍ１＃
Ａと同様な■体操像装置を製造する。

しかして、上記方法によれに、ボンディング−パッド２
ｒ・・・上のパッジページ旨７１１　Ｊ　＃　ヲ色分１
ＩＩｌフィルタυを形成後に穴明けしてボンディング・
バッドｓ２１′・・・を露出させる丸め、従来の如くア
ルカリ系の溶剤や色分離フィルタＵ形成時の成分材料に
よるボンディング拳パット＠２１’への侵食、汚染を防
止し、ボンディング性能を着しく向上できる。また、色
分離フィルタＪＪ形成用の被着色層をボンディング・パ
ッド部２１′・・・を露出する前に被覆するから、被着
色〜は平坦なパッシベーション膜２１に被ａ１されるこ
とにな９、この一層色廟を無欠、れ像処ｍ勢を行なうこ
とによって均一膜で分光特性の良好な色分離フィルタＬ
ｊ！を形成できる。

したがって、上記方法は従来の欠点を解消することがで
きたが、ｉｌＴ次に別の欠点が生ずる恐れがあることが
判明した。即ち、第２図（ｄ）に示す如く、ボンディン
グ・パッドＴｈＪ７’−？タイシングーライン１２を露
出した彼の開孔部円周面に色分離フィルタＬ」の１１＆
が算出するため、ダイシング時あるいはその後の洗沙工
程において、色分離フィルタυにｅＩｃ浄水が侵入して
、該フィルタＵがｗ満し変色、退色或いは骸フィルＩＬ
ｉがパッジページ曹ンＭ２８から剥離するという問題が
あった。

本発明は上記の事情に−みてなされたもので、アルカリ
系の溶剤による処理や色分廟フィルタの成分材料の勿留
によるボンディング・パッド部への＃１影曽を防止し、
かつ色分離フィルタが直接的に一様に形成することＦｉ
＃Ｉｉｍのこと、ボンディング・バッド部やダイシング
・ラインを總出後、洗浄工程にお−て色分離フィルタが
羨色、退色、剥離するのを肪止し得るカラー用一体操像
装置の製造方法を提供することをＩ的とする。

卸ち、本発明はボンディング・パッドを有する複数の固
体撮像素子がダイシング・ツインに沿って形成ざｔした
ウェハ上に、パッジベージ望ン膜を被覆する工程と、こ
のパッシベーション膜上に色分離フィルタを、５ＩＩｌ
ｌＳ素子のボンディング・パッド部及びダイシンク・２
インに対応する部分を含む周辺を除いて形成する工程と
、前記パッシベーション膜上にボンディング・パッド部
及びダイシング・ラインに対応する部分が除去されたレ
ジストパターンを形成する工程と、このレジストパター
ンをマスクとして前記パッシベーション膜をエラテン／
［ｉしてホンディング・パッド部及びダイシング・ライ
ンを露出させること１−特徴とする。

本発明で用いられる色分離フィルタの形成手段としては
、パッジページ画ン膜全面に被着色層を形成し、この被
着色層をパターニングして、例えにある色部分のみ残し
、こむにその色を染色すると−う工程を各色〈９返すこ
とによって毫ダイタ状、市松状、あるいはストライプ状
等の所属の色分離フィルタを形成する方法、あるりはパ
ッジページ曹ン膜念面に被着色層を形成し、仁の被着色
層のバタ一二ンダを行なう九征、露光、ｉＫ像をく夛返
すことによｐ１色分離フィルタを形成する方法、或−は
パツシペーＳ／ｉン膜全面に被着色層を形成し、これを
膝元、１ＩＩＩ処理して所望のフィルタ部を形成した後
、これをパターニングして色分離フィルタを形成する方
法等を採用し得る。ここに用いる被着色層としては、ゼ
ラチン等の材料を主体とした有−材料からなるもの、写
真アイルムと同様の乳剤からなるもの勢が挙げられる。

更に前記色分離フィルタの色には、歩、青、縁の３原色
の他、補色、或−は光シールドの黒色＊が挙がることが
でき、その着色層厚は−ずれの色から行なってもよ−。

本発明におりて、次のような方法で色分離フィルＩ上に
保ＷＩｉ属を形畝１．てもよ−・■　色分離フィルタを
含む盆画に保険膜を被覆しえ彼、レジストパターンをｈ
いてパッシベーション膜のホンディング・パッド部及び
ダイシング・ラインに対応する部分をエツチング除去す
る前に、四パターンをマスクとして腋保鍮属を除去する
ことにより所望の保譲膜を形成する方法。

■　色分離フィルタを會む全面に保険膜を被覆した彼、
ボンディング・パッド部及びダイシング・ライン部分を
含む周辺の保談展を除去して所論の保−腹を形成する方
法０ 本１１羽に用ｉるパッシベーション族としては、例えは
リン珪酸ガラス腹（ＰＥＧ膜）ホク珪酸ガラス属（Ｂ１
０膜）、↓素珪酸ガラス膜（ムＳ８Ｇ換）、シリ；ン窪
化膜（ＳｉｓＮ番膜）等が挙げられる・を良、その形成
手段としては、例えばＣＶＤ法、ケイ素化合物あるいは
リン、ボーｙ等の化合物を含むケイ素化合物をアルコー
ル等に１１Ｎ解した無機材料等をスピンナー勢で回転塗
布する方法、或％Ａは歓粒子状ガラスを有機バインダー
、溶剤でインキ化後、スクリーン印刷法で形成する方法
等を麹用し得る。

次に本発−のｗ４１１＃Ａ例をｍ　３　Ｎ　（ａ）　〜
（ｆ）、第４図〜第６劃−）〜（ｅ）に基づいて詳細に
胱明する。

実施例１゜ 〔１〕　　まず、ｐ形シリクン基板（ウェハ）１ｏ１に
全知の所定の方法によル遇択拡散、エツチング処理、一
孔尋を行ない、ＣＣＤ動作に必要な瀧め込みチャネル用
のｎ＋層１ｏｚ・・・、出力回路のソースやドレインの
１１”＠ｘｏｚ・・・、及びチャネルカット用ｐ＋層１
０４・・・を形成すると同時に、前記基＠１ａＸ上に絶
縁膜を介して例えばゲート電極等のポリシリコン電＆　
（ｍｌ示せず）を形成する。次にこの電極な會む全面に
層間絶縁＊１ｏｉを堆積し、更に前記力　層１０１・・
・及び前記ボリシＷ−ン電極取出し１１　（ｖＡ示せず
）尋に対応する層間絶縁ｊ１１０６部分にコンタクトホ
ールハＩ・・・を開孔し、同時に各チップ間のダイシン
ク・ライン形成予定部に沿う層関絶＊１４ｘｇｔｔｚ部
分を選択的にエツチング除去する。更に、肥縁撫１＃１
上にＡｊ膜を真空島看し、バターニングして一端が前記
コンタクトホール１０ｇ・・・を介してｎ＋鳩１０Ｊ−
・・とＩｌ’ｔｅＬ、他端がＭ＠１１３縁＊ｉｏｉ上に
地山してボンディング・パッド１ｏｒ・・・とした配線
を形成する・次−で、前配肥ＩＩ＆展ＩＱ＆上にＣＶＤ
法によ〕リン＊酸１１ラス（Ｐ２Ｏ）からなるパッジベ
ージ冒ン農１１ｊａを堆積する０続いて、皺パッジペー
ジ曹ン膜１０ａ上に、ボンディング・Ａｙドｘｏｖ・・
・及びダイシング・？イ／形成予定部に対応する部分を
含む周辺を除くようにして乳剤からなる被着色Ｍ１０９
を形成する（１１８図−）−示）。

〔麺〕　　続−て、所定形状のマスクを介して前記被着
色層１ｏ＃を露光し、例えば参色用現像を行なって着色
させ、赤フイルタ部１１ｏ１を形成し良後、同様に他の
被着色領域を露光しフィルム色に対応する３Ｉ像処薯を
行ない、順次縁フィルタ部Ｊ　Ｊ　＃、　、青フィルタ
番Ｉ　Ｊ　Ｏ＠　、黒フィルタ＠ｘｘｏ４と形成して色
分離フィル／ＬＬｔを作ａする。その後、この色分−フ
ィルタＬユ」を含むウニへ全体に例えはエビナコートク
リア（東京化学工業１株）＃商品名）を被覆して保＠腹
１１１を形成する（第ａ−（ｂ）ＩＩ示）。

（ｉｉｉ）　　次に、保Ｉｌ膜１１１上に７オトレジス
ト膜７７７を全面に撒布し、乾燥抜、露光、現像を行な
い、ボンディング・パラ）”　％　ｒ　（７１’・・及
びダイシング・２イン形成予定部に対応するフォトレジ
スト膜１１２の部分を１孔する（第３図（ｃ）図示）０
りづいて、前記フォトレジスト膜１１２をマスクとして
、−出する保麺膜１１１をエツチング除去する（第３図
（ｄ）図示）。

〔１ｖ〕　　次いで、フォトレジストＩＩ！　Ｊ　Ｊ　
Ｊをマスクとして、露出したパッシベーション膜ｉｏｎ
部分をＣＦ、等のドライエツチングで処理し、ボンディ
ング−パッドｌｉｔ　ｚ　ｏ　ｒ′・・・を露ａ１８せ
、同時にダイシング・ライフ１１１を形成する（ｓ８１
１１（・）図示）。つづいて、フォトレジスト膜１１１
を０意ガス中でドライエツチングして灰化δせ、ＮＲシ
除く　（第８ｋ（ｆ）、第４図及びｍｓ図−示）。なお
、第４図はＣＣＤテップ１１４が形成されたり千ハ１０
１の平面内、第５図は第４−の部分拡大図を示す。この
ようにウェハ１０１にチップ１１４を形成後、ダイシン
グ・ツイン１１１に沿って割断し、得られ九ＣＯＤテッ
プ１１４をパッケージに組み込み、第１図と同様な固体
撮像装置を製造する。

しかして、上記実Ｊｌｉ）ＩＮ−よｎは、アルカリ系の
溶剤中色分離フィルタ形成時の成分材料によるボンディ
ング・パッド部Ｊ　＃　Ｆ’・・・への侵食、汚麹を防
止して、ボンディング性能を著しく向上暮せるとともに
、均一膜で分光特性の良好な色分離フィルタＬ↓」を形
成できる・ 壜た、色分離フィルタＬＬ」が、パッジベージ曹ン膜１
ｅｇ上にボンディング・パッド部１０１′・・・及びダ
イシング・ライン１１１・・・に対応する部分を含む周
辺を除りて形成され、かつ＠フィルタＬＬｌ上擾とフォ
トレジストＭｌｌｌがボンディング・パッド部Ｊ　ｏ　
ｒ’・・・及びダイシング・２イン１１１に対応する部
分を除いて形成されている良め、−レジスト膜１１２を
！スクトシてパッジベージ冒ン１ａｘｏａ’ｔｒエツチ
ング除去して一孔され九部分に色分緑フィルタ１１０の
側面が露出せず、その結果洗浄工程では色フィルタＬＬ
ｇは保−１１ｋｚｚｘによ〕洗浄水から隔ｍされておシ
、＃フィルタＬよ」が洗浄水により変色、退色し良シ、
或いはｈ魅するのを防止できる。

更に前述し九位置関係で形成された色分１１１フイルタ
ロノ上は保＠！１４１１１がボンディング・パッド部ｘ
　ｅ　Ｆ７・・・及びダイシング・ジイン１１１・・・
に対応する部分を除ｉて被覆すれに。

眩フィルタＬ工」の側面１１部は保ｉｌｉ膜Ｉ’ｌｌの
側面端部より十分な距離をおいて後退して−るため、ダ
イシング後の洗浄１相においても保−ＩＩ　Ｊ　Ｊ　Ｊ
　４こよシ、洗浄水が侵入するのを防ぎ該フィルタム工
」の変色、退色、剥離等を防止できる。

また、上記実施例によれは、ボンディング魯パッド部１
０１１・・・中ダイシング・ラインＪＪＪ・・・をＩＩ
出するためのエツチング工程と同時に保−膜１１１の除
去を行なうため、ダイシング・ツイン１１１・・・が保
護膜１１１で覆われるのを１道でき、その結果ウェハ１
０１の切断工程での熱によって保護膜１１１が粘着性を
帯び、この粘着性を帯びた保−膜１１１により色分離フ
ィルタＬユＪが引張られ、損傷するのを防止で龜る。

実施例２゜ 〔１〕　　まず、実施例１．と同様にしてウェハ１０１
上に層間絶縁膜１０５、ボンディングのパッドｉｏｒ・
・・、パッシベーション膜ｉｏｓ、被着色層１０９等を
順次形成する（第６図−）図示）０ 〔謔〕　　次いで、前記被着色Ｈｉｏｎ上に所定形状の
マスクを介してＦｌ光、現体を行なって色分離フィルタ
１１０を形成した後、仁の色分［７（ル）ｆｌｕ！を含
むパッシベーション膜１０８の全面に例えばエビナコー
トクリア（東京化学工業（株）製画品名）を被蝋して保
護膜を形成し、この後ボンディング・パッド部やダイシ
ング・ラインの形成予定部に対応する部分を含む周辺の
保ｌｉＩｍを除去して色分ｍフィルタム工」が露出しな
いように被覆保護膜１１１′を形成する（［６図缶）図
示）。

（ｌｆｔ）　　次に、保−膜Ｊ　Ｊ　１′１ｒ官むウニ
へ全面にフォトレジスト膜１１２を塗布し、乾燥後、露
光、８！像を行ないボンディング※パット部やダイシン
グ・ラインの形成予定部に対応するフォトレジスト膜１
１２の部分を開孔する（＃ＩＡ６図（ｅ）図示）９つづ
―て、前記フォトレジスト膜１１２をマスクとして、露
出するパッシベーションｇ１０ＢをＣＦ４のドライエツ
チングで処理し、ボンディング・パッド部１０１１・・
・１）露出ざぜ、同時にダイシング１１クイン１１１・
・・を形成する（第６図（ｄｌ−示）。

（ｌｖ）　　次いで、フォトレジスト族１１２をｏ。

βス中でドライエツチングして灰化δぜ、取り除く　（
鉋６凶（ｅ）図示）。また、ウェハＩｔ）１にチックを
彫Ｍ、後も実施例１と同体にして第１図に示すカラー周
囲体撮倫装置を龜造する。

しかして、上記実凡例によれは、Ｉ＆ｔｒ記笑施例りの
ようにダイシング・ラインＩＩＩ・・・付近のパッシベ
ーション膜１０８上に＆１１Ｗ４ｘｘ１ｆｉないため、
ウェハの切断時に生ずる熱によって保Ｓ膜ｉ１ｉが粘着
性を帯び、この粘着性を帝ひ友株Ｓ換１１１によシ色分
離フィルタ１１０が引張られ、損愉するのを防止できる
。また、８８Ｍ１１１がバンシペーション膜ｉｏＢ上に
ボンディング・パッド部ＩＱ１′・・・やダイシング・
２イン１１１・・・に対応する部分を含む周辺を除いて
形成され、かつ該保Ｍ＆展１１１上にボンディング・パ
ッド部１０　Ｆｌ・・・やダイシング−ライン１１３・
・・に対応したフォトレジスト族１１１ｉ１１４Ｉｌわ
れているため、実施例１のようにフォトレジスト族１１
２の開口ｔｔに保護膜１１ノの餉壁面が露出せす、その
結果パッシベーション績１０８のエツチングに１して保
護膜１１１のはがれや浮上りを防止し、その仮の洗浄時
においても水の侵入による色分離フィルタｍの変色、退
色、＠離等の現像を防止できる。

なお、上記実施例ではウェハ１０１のダイシングを７オ
トレジスト膜１１２を取シ除いた後に行なったが、これ
に限らず、フォトレジスト膜１０ｇを被覆した１壕ダイ
シングを行ない、フオトレジス）Ｍの除去によりウェハ
の破片を取り除いてもよい・この他、ダイシング時の切
やぐず防止には、全面に上記実施例とは異なる保護膜を
様う方法もある。

また、本発明に係る固体撮像ｉ飯に用いられる固体撮像
電子は、上記実施例の如＜ＣＯＤに眠らず、ＭＯ６形撮
像素子等にも過用できる。

以上峠述した如く本発明によｔしは、ボンディング・ワ
イヤのボンディング性が良好でかっ色分離フィルタをウ
ェハ全体に直接的に均−膜廖で形成でき、しかもウェハ
の洗渉工相の際、色分離フィルタが裟色、退色、剥離、
損傷するのを防止でき、もって島＃Ｉ留夛、良好な分光
特性１１′ｒ６”２−ｉ″一体操像装置０製造方法を提
供で龜るものである。

【図面の簡単な説明】

楊七参拳＃↓力２−用同体撮ｇ１装置に用埴らｎるテッ
プの羨造工８１￥ｒ示す断面図、＃！３図−）〜（ｆ）
は、本発例の一痰一例であるカラー用（支）体操Ｉ１１
装置ｔに用いられるチップの製造工程を示す断自１１、
ｊ１４＃Ａは篇３図（ｆ）に示すチップが複数個形成さ
れ良りエへの平面ａ、ａＳ図はＩＩ４−の部分拡大１、
諏６６４（＃）〜（・）は、本尭明の他の集−剰である
カラー用園体撮像装置に用りられるチップの製造工１示
す一面図である。 １・・・セラミックパッケージ、３・・・園体操像素子
、’　ｅ　ＬＪｅ　Ｌ−工」・・・色分離フィルタ、Ｊ
／。 Ｊ　Ｆ’、　ｉ　ｏ　ｙ’ｙ・ボンディング・パッド部
、８・・・光学＊ガラス体、１１・・・ｐｋシリコン基
板（つｚハ）　、！！、ＪＪ、１４７２，１　ｏ：ｔｔ
・　ｎ”Ｒａ、＋ １１４．１０４・・・ｐ　屑、２５，１０１・・・層間
絶縁ｍ、ｘｙ、１ａｒ・・・ポンチ′イング・パッド、
ｚｘ、ｘｏａ−・パツシベーＳＩ′曹ン膜、ｚ９．。 Ｊ　Ｊ　Ｏ、・・・赤フイルタ部、Ｂ９．．１１ｔＪｌ
・・・縁フィルタ部、２９ｊ、７ノ０ｍ・・・實フィル
タ、、部、１１１４，１１０．・・・黒フィルタ部、Ｊ
（／。 １１１．１１１’・・・保護膜、Ｂ１．１１１…フォト
レジスト展、ＩＩ、１１１・・・グイシングーツイン、
１１４・・・ｃｃｐテップ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）　　ボンディング・パッドを有する複数の固体撮
   像素子がダイシング・ラインに沿って形成暮れたウェハ
   上に、パッシベーション膜ヲ被覆する工程と、このバッ
   ジベージ冒ン膜上に色分離フィルタを、前記素子のボン
   ディング・パッド部及びダイシング・ラインに対応する
   部分を含む周辺を除いて形成する工１と、前記パッジペ
   ージ画ン膜上にボンディング・パッド部及びダイシング
   ・ラインに対応する部分が除去されえレジストパターン
   を形成する工程と、このレジストパターンをマスクとし
   て前記パッジページ日ン膜をエツチング除去してボンデ
   ィング・パッド部及びダイシング−ラインを嶌出させる
   工程とからなることを特徴とするカラー用同体撮儂装置
   の製造方法０ （２）パッジページ目ン族上に色分１フィルタト保ｍ膜
   の両者を前記素子のボンディング・パッド部及びダイシ
   ング・ラインに対応する部分を含む周辺を除−て形成す
   ることを特徴とする特ｉＦＦ請求の範囲の第１項配転の
   力２−用同体撮ｇＩ穀飯の製造方法０ （８）　　バッジベージロン膜上に色分−フィルタを前
   記素子のボンディング・パッド部及びダイシング・ライ
   ンに対応する部分を含む周辺をＷＩＩＸ鱒て形成し、更
   に除色分離フィルタを含む全Ｗｉに保ｌｌＩ膜を被覆し
   、レジストパターンをマスクとしたエツチング処朧に際
   して、前記保ＩＩ展とパッジベージ日ン膜の両方をエツ
   チングしてボンディング・パッド部及びダイシング・ツ
   インに対応する部分子−無出６せることを特徴とする特
   許請求の範ｌｔｌ篇（１）哀記賊のカッ−用一体操像装
   置の製造方法。