JPS58108173U - レジスト塗布装置 - Google Patents
レジスト塗布装置Info
- Publication number
- JPS58108173U JPS58108173U JP313582U JP313582U JPS58108173U JP S58108173 U JPS58108173 U JP S58108173U JP 313582 U JP313582 U JP 313582U JP 313582 U JP313582 U JP 313582U JP S58108173 U JPS58108173 U JP S58108173U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flange portion
- resist coating
- deviation
- sensors
- magnets
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図はこの考案の一実施例を示すもので、第１図は全体の
概略構成図、第２図は非接触スラスト軸受を示す平面図
、紹３図はセ、ンサの配置状態を示す平面図、第４図は
作用を説明するための側面図、である。 ５・・・・・・回転軸、６・・・・・・チャック機構、
７・・・・・・フランジ部、１０・・・・・・ウェハ、
１１．１２・・・・・・静圧ジャーナル軸受（静圧軸受
）、１６・・・・・・軸受片（マグネット）、１７・・
・・・・センサ、１９・・・・・・制御部。
概略構成図、第２図は非接触スラスト軸受を示す平面図
、紹３図はセ、ンサの配置状態を示す平面図、第４図は
作用を説明するための側面図、である。 ５・・・・・・回転軸、６・・・・・・チャック機構、
７・・・・・・フランジ部、１０・・・・・・ウェハ、
１１．１２・・・・・・静圧ジャーナル軸受（静圧軸受
）、１６・・・・・・軸受片（マグネット）、１７・・
・・・・センサ、１９・・・・・・制御部。
Claims (1)
- 半導体のウェハを保持するチャック機構が一端部に設け
られるとともに中間部にフランジ部が設けられた回転軸
と、この回転軸を非接触状態で回転可能に支持する静圧
軸受と、前記回転軸のフランジ部と対向配置され磁力に
よって前記フランジ部を非接触状態で支持する複数のマ
グネットと、回転時に軸方向への前起ウェハの偏位量を
検出する複数のセンサと、これらのセンサからの出力信
号を入力して前記各偏位量を小さくするための補正信号
を出力し前記各マグネットの磁力によって前記フランジ
部を偏位量が小さくなる方向に移動−する制御を行なう
制御部とを具備したことを特徴どするレジスト塗布装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP313582U JPS58108173U (ja) | 1982-01-13 | 1982-01-13 | レジスト塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP313582U JPS58108173U (ja) | 1982-01-13 | 1982-01-13 | レジスト塗布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58108173U true JPS58108173U (ja) | 1983-07-23 |
Family
ID=30016084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP313582U Pending JPS58108173U (ja) | 1982-01-13 | 1982-01-13 | レジスト塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58108173U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015058404A (ja) * | 2013-09-19 | 2015-03-30 | 株式会社東芝 | スパイラル塗布装置 |
-
1982
- 1982-01-13 JP JP313582U patent/JPS58108173U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015058404A (ja) * | 2013-09-19 | 2015-03-30 | 株式会社東芝 | スパイラル塗布装置 |
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