JPS58108131A - 金属蒸着複合体 - Google Patents
金属蒸着複合体Info
- Publication number
- JPS58108131A JPS58108131A JP20618081A JP20618081A JPS58108131A JP S58108131 A JPS58108131 A JP S58108131A JP 20618081 A JP20618081 A JP 20618081A JP 20618081 A JP20618081 A JP 20618081A JP S58108131 A JPS58108131 A JP S58108131A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、基板上4Cl11層として全以上の蒸気圧を
有し、且つ密着性、耐蝕性、耐熱性に優れ、更に金との
拡散が少ない金属層を設け、第2層として第1層となる
金属と金との複合物の層を設け、Is3層が金である事
を特徴とする多層金属蒸着複合体に関する。
有し、且つ密着性、耐蝕性、耐熱性に優れ、更に金との
拡散が少ない金属層を設け、第2層として第1層となる
金属と金との複合物の層を設け、Is3層が金である事
を特徴とする多層金属蒸着複合体に関する。
I!に詳しく社、フィルムや成臘品等の基板に、第1層
として金の融点である1063℃に於いて1 X 10
−’TOrr以上の蒸気圧を有し、密着性、耐蝕性に優
れ、融点が2oo t:以上であシ、且り金との拡散が
少な−、rルミニウム、シリコン、銀、アルミニウム、
ベリリュウムの内の1111の金属層を設け、第2層と
して線、第1鳩となる金属と金との複合物層が少なくと
も2001以上であり、第3層金属が金で構成する事を
特徴とする多層金属複合体に関するものである。
として金の融点である1063℃に於いて1 X 10
−’TOrr以上の蒸気圧を有し、密着性、耐蝕性に優
れ、融点が2oo t:以上であシ、且り金との拡散が
少な−、rルミニウム、シリコン、銀、アルミニウム、
ベリリュウムの内の1111の金属層を設け、第2層と
して線、第1鳩となる金属と金との複合物層が少なくと
も2001以上であり、第3層金属が金で構成する事を
特徴とする多層金属複合体に関するものである。
従来より装飾や耐蝕t−目的として多くの分野で金メッ
キが用いられている。しかしながら金メッキはコスト高
につながゐため、金層を薄くするとか、代替品の検討が
盛んであるが、問題点として金属の中で最も密着性が乏
しいといわれている金層を薄くした場合、一層密着の不
安定性中、金の拡散等によ)耐蝕性膜としては使用が―
L v” a又、代替品では全本来の光沢1再現性良く
出し、且つ耐蝕性に優れたものは艶出せず、信頼性のた
めには高価な金を厚化する必費があつ九。
キが用いられている。しかしながら金メッキはコスト高
につながゐため、金層を薄くするとか、代替品の検討が
盛んであるが、問題点として金属の中で最も密着性が乏
しいといわれている金層を薄くした場合、一層密着の不
安定性中、金の拡散等によ)耐蝕性膜としては使用が―
L v” a又、代替品では全本来の光沢1再現性良く
出し、且つ耐蝕性に優れたものは艶出せず、信頼性のた
めには高価な金を厚化する必費があつ九。
金の形成法としては、湿式法や蒸着法があるが、前者に
よるものが大半である。この理由として蒸着法で形成し
た金と基板間の密着力が不足して、本来の耐蝕の目的に
は使用し得ないからである。この欠点を補う丸めに蒸着
法による金メッキでは、基板がガラスやセラミックスの
場合、鳩知の如く密着力向上の丸め、密着性良好な下地
金属を蒸着後、その上に金蒸着する2層構造となってい
る。しかしながら下地金属として用いられるものは、湿
式の場合と同様、ニッケルが主流な丸め、確かに基板と
の密着力は金のみに比べ数段向上する拳が唸められるが
、逆にrツタ作用の強いニッケルは、酸素を吸着して表
面に保m膜である線化ニッケルを生成し、上層とな、る
金との間での均一な密着性を得る事が困−であつ九。そ
の上、基板がグラスチックの場合は基板との密着性にも
間聰が生じていた。
よるものが大半である。この理由として蒸着法で形成し
た金と基板間の密着力が不足して、本来の耐蝕の目的に
は使用し得ないからである。この欠点を補う丸めに蒸着
法による金メッキでは、基板がガラスやセラミックスの
場合、鳩知の如く密着力向上の丸め、密着性良好な下地
金属を蒸着後、その上に金蒸着する2層構造となってい
る。しかしながら下地金属として用いられるものは、湿
式の場合と同様、ニッケルが主流な丸め、確かに基板と
の密着力は金のみに比べ数段向上する拳が唸められるが
、逆にrツタ作用の強いニッケルは、酸素を吸着して表
面に保m膜である線化ニッケルを生成し、上層とな、る
金との間での均一な密着性を得る事が困−であつ九。そ
の上、基板がグラスチックの場合は基板との密着性にも
間聰が生じていた。
これは、ニッケルは金に比べて蒸気圧が1063℃に於
いて申分以下である事から、ニッケルを蒸着するli!
IKは金蒸着以上の温度に上げる必要があり、この丸め
ルツがからの輻射熱によシ基板であるプラスチックから
の放出ガスも多く、密着力に悪影響金与えてい九からで
ある。つt9基板がプラスチックのフィルム中成製品で
は、下地金属としては、出来る限9蒸気圧が高い事が!
ltL<、少なくても表面層となる全以上の蒸気圧を有
する事が密着性には必要である。
いて申分以下である事から、ニッケルを蒸着するli!
IKは金蒸着以上の温度に上げる必要があり、この丸め
ルツがからの輻射熱によシ基板であるプラスチックから
の放出ガスも多く、密着力に悪影響金与えてい九からで
ある。つt9基板がプラスチックのフィルム中成製品で
は、下地金属としては、出来る限9蒸気圧が高い事が!
ltL<、少なくても表面層となる全以上の蒸気圧を有
する事が密着性には必要である。
立方、従来よシ多く用いられている湿式による金メッキ
で杜、シアン浴勢を用いるため、公害問題があるばかり
か、湿式メッキに於いても同様に強固な密着性を得るた
めには、下地メッキトシてニッケルを用いているが、基
板並びに金に対する均一な密着性を得る事は難かしい。
で杜、シアン浴勢を用いるため、公害問題があるばかり
か、湿式メッキに於いても同様に強固な密着性を得るた
めには、下地メッキトシてニッケルを用いているが、基
板並びに金に対する均一な密着性を得る事は難かしい。
又基板がプラスチック等の絶縁物では、無電解メッキに
よる核付け、更に密着力向上のためニッケルメッキ*t
−行なった後、金メッキを施す等の工程を経る必要があ
る。j!血各メッキに於ける工楊管mt−充分に行なわ
なければ基板並びに各層との密着性千金メツ中の光沢等
に大きな影畳を及ぼすといった問題を抱えている。
よる核付け、更に密着力向上のためニッケルメッキ*t
−行なった後、金メッキを施す等の工程を経る必要があ
る。j!血各メッキに於ける工楊管mt−充分に行なわ
なければ基板並びに各層との密着性千金メツ中の光沢等
に大きな影畳を及ぼすといった問題を抱えている。
以上の様な理由により金メッキとしては、湿式に比べ無
公害で光沢等4安定してお)、工程4簡略化出来る蒸着
法が望ましいが、前述し丸裸に充分な密着力會有する金
メッキが行なえなiのが現状であつ九。本発明は上記欠
点を補うべく鋭意検討を重ね、蒸着法によp金の薄化に
伴なう密着の不安定性や金の拡散を防止し、低コストな
金メツキ物を発明したものである、以下に本発明を更に
詳しく述べる。
公害で光沢等4安定してお)、工程4簡略化出来る蒸着
法が望ましいが、前述し丸裸に充分な密着力會有する金
メッキが行なえなiのが現状であつ九。本発明は上記欠
点を補うべく鋭意検討を重ね、蒸着法によp金の薄化に
伴なう密着の不安定性や金の拡散を防止し、低コストな
金メツキ物を発明したものである、以下に本発明を更に
詳しく述べる。
本発明に於ける第1層金輌は、基板がプラスチックであ
っても充分な密着力管得るために、基板からの放出ガス
を極力防げる様な蒸気圧が出来るだけ高く、更に金に比
べ大きな密着力を有する金属である必要がある。又表面
に2耐蝕性に優れた金属が存在するからと云って蒸着法
ではミクロなピンホールは避けられず、長期にわたる場
合この部分より腐食が進行する。従って第1層金属とし
ては化学的に安定でなけれはならない。I!に基板がフ
ィルム等の場合の様に蒸着後加熱成形を伴なう際には、
一般に成形温度F1100〜200℃の軸回になる九め
、融点が2(30℃以下の金属では成形不可能になる。
っても充分な密着力管得るために、基板からの放出ガス
を極力防げる様な蒸気圧が出来るだけ高く、更に金に比
べ大きな密着力を有する金属である必要がある。又表面
に2耐蝕性に優れた金属が存在するからと云って蒸着法
ではミクロなピンホールは避けられず、長期にわたる場
合この部分より腐食が進行する。従って第1層金属とし
ては化学的に安定でなけれはならない。I!に基板がフ
ィルム等の場合の様に蒸着後加熱成形を伴なう際には、
一般に成形温度F1100〜200℃の軸回になる九め
、融点が2(30℃以下の金属では成形不可能になる。
その他低シスト化の丸めに金の薄化が必要となるため、
第1層金属としては金との拡散が少ない事が必擬条件と
なる。
第1層金属としては金との拡散が少ない事が必擬条件と
なる。
wL2層としての役目は、11g1層金属と金の密着性
を完全にする友めのものである。つまり従来の様にニッ
ケルを下地に使用した場合には、酸化ニッケルのために
ニッケルと金の間で均−且つ強固な密着力を持つ事は困
難で6つ九が、本発明ではこの欠点を完全に補ったもの
である。
を完全にする友めのものである。つまり従来の様にニッ
ケルを下地に使用した場合には、酸化ニッケルのために
ニッケルと金の間で均−且つ強固な密着力を持つ事は困
難で6つ九が、本発明ではこの欠点を完全に補ったもの
である。
本発明による@2層は、第1層金属と金の複合体でTo
り、且つ0〜100 %の連続的な鎖度勾配を有し、膜
厚として祉信頼性の点から連続膜の限界である200X
以上が必要となる。ζこで第2層の形成方法としてはま
ずルッが内に!l!1層とする金属と金を入れ加熱する
。この際まず第1段階として金の融点1063℃以下に
して、181層金属を蒸着させ、所望のl1li犀に達
した後、第2段階として1063℃以上の亀・度に上げ
金の割合を除々に増加させ第2層の複合体を形成させる
。
り、且つ0〜100 %の連続的な鎖度勾配を有し、膜
厚として祉信頼性の点から連続膜の限界である200X
以上が必要となる。ζこで第2層の形成方法としてはま
ずルッが内に!l!1層とする金属と金を入れ加熱する
。この際まず第1段階として金の融点1063℃以下に
して、181層金属を蒸着させ、所望のl1li犀に達
した後、第2段階として1063℃以上の亀・度に上げ
金の割合を除々に増加させ第2層の複合体を形成させる
。
ここでルツl内の第1層金属の消滅と共に第3層の金が
形成される。この際、第1!R階に於ける温度と蒸着時
間並びに第2段階でq)温度によって、各層O膜厚比率
emu−出来、艮にルツが代 i充てんする第1層金属と金の量によって各層の膜厚が
制御出来る。但し第1層金属が金に比べ余am気圧が高
過ぎると、第1段階から第2段階ヘルツ5iitは瞬間
的に上昇させる事社不可能なため、連続的に蒸着出来ず
、第2層の複合体を形成する事が因難になり、均一で*
固な密着力が得られない。そこで以上の欠点を補うため
、鋭意検討を行なった所、第1層金属としては、金との
蒸気圧差tllJ’以内に押える必要があり、即ち金の
融点である1063℃に於ける蒸気圧が、I X 10
−’Torrからl X 10−’Torr f 有す
る金属が望ましい。
形成される。この際、第1!R階に於ける温度と蒸着時
間並びに第2段階でq)温度によって、各層O膜厚比率
emu−出来、艮にルツが代 i充てんする第1層金属と金の量によって各層の膜厚が
制御出来る。但し第1層金属が金に比べ余am気圧が高
過ぎると、第1段階から第2段階ヘルツ5iitは瞬間
的に上昇させる事社不可能なため、連続的に蒸着出来ず
、第2層の複合体を形成する事が因難になり、均一で*
固な密着力が得られない。そこで以上の欠点を補うため
、鋭意検討を行なった所、第1層金属としては、金との
蒸気圧差tllJ’以内に押える必要があり、即ち金の
融点である1063℃に於ける蒸気圧が、I X 10
−’Torrからl X 10−’Torr f 有す
る金属が望ましい。
従って第1層金属の必喪条件としては、化学的に安定な
耐蝕性、更に加熱成形に耐える200℃以上の融点゛を
持つ金属であり、たつ金の薄化に耐え得る様に拡散が少
なく、父金に比べ密着性が良好である事が必要となる。
耐蝕性、更に加熱成形に耐える200℃以上の融点゛を
持つ金属であり、たつ金の薄化に耐え得る様に拡散が少
なく、父金に比べ密着性が良好である事が必要となる。
そして蝦後に第1層と金の完全な密着性を保持させるた
めticは、第2層t 200 X以上形成する必喪が
69、この条件として金の融点1063℃に於ける蒸気
圧がI X lO”Torrからl X IQ−’To
rr @;有する事が望まし−。
めticは、第2層t 200 X以上形成する必喪が
69、この条件として金の融点1063℃に於ける蒸気
圧がI X lO”Torrからl X IQ−’To
rr @;有する事が望まし−。
以上の条件を満す金属を鋭意検討し、本発明に至つ九も
のである。即ち、rルマニウム、シリコン、銀、アル建
ニウム、ベリリュウムのみが上記条件を全て満足するも
のでメ〕、上述し丸裸に各層管連続的に形成しているた
めに、従来から蒸着法で行った二層構造あるいは湿式メ
ツΦで行なう二層構造と異なp、第1層と金の間の密着
性は合金の破断強度に等しくなった。
のである。即ち、rルマニウム、シリコン、銀、アル建
ニウム、ベリリュウムのみが上記条件を全て満足するも
のでメ〕、上述し丸裸に各層管連続的に形成しているた
めに、従来から蒸着法で行った二層構造あるいは湿式メ
ツΦで行なう二層構造と異なp、第1層と金の間の密着
性は合金の破断強度に等しくなった。
以上O橡に懺飾、耐蝕展として金メッキを行なう場合、
金のみでは非常に高価にな9、且つ密着性の乏しい膜に
なるが、本発明を用いた三層構造の金属蒸着膜では、書
着力が優れ、金の使用量を大巾に削減出来、全本来の装
飾用や耐蝕性膜として使用出来る1のになる。
金のみでは非常に高価にな9、且つ密着性の乏しい膜に
なるが、本発明を用いた三層構造の金属蒸着膜では、書
着力が優れ、金の使用量を大巾に削減出来、全本来の装
飾用や耐蝕性膜として使用出来る1のになる。
以下実施例により本発明を罠に詳細に説明する。
実施例
基板として25%厚ポリエステルフ4ルムに第1層金属
と、して蒙會市いる丸め、ルツかに銀、金をそれぞれ0
.7 t、 0.3 fづつ充填した。第1R階としチ
ル:/ dt f 5 X 10−’Torrの減圧下
で1000℃に加熱して第1m金属として*を蒸着させ
、謳2段階としてルツが温度を1400℃に上げ、纂2
層の金、銅の複合体を形成した。爽に金のみの第3層を
蒸着して得られた膜の厚みは、第1層が2100!、第
2層が2400 !であり、第3層は5001であった
。この様にして得られた5000 !の膜について密着
性tlIIべるために粘着チーブによる引龜社がしテス
トを行ない、又、耐蝕性を藺べるために塩水噴鏝テスト
を行なった結果を第1表に示す。Malは本発明による
実施例を示し、又随2は比較例として金のみ會ルツかに
充填して5 X 10−Torrの減圧下で1400
Lで同一の50001まで蒸着し九ものを示す。第im
lより明らかな様に本実施例による三層構造膜では密着
性に優れ、化学的に安定であるために、塩水噴勝テスト
に於いても全本来の防食性を示している事が判かる。父
、同一膜厚を得るための金の使用量は約25%で済み大
巾な低コストイヒ111針れた。
と、して蒙會市いる丸め、ルツかに銀、金をそれぞれ0
.7 t、 0.3 fづつ充填した。第1R階としチ
ル:/ dt f 5 X 10−’Torrの減圧下
で1000℃に加熱して第1m金属として*を蒸着させ
、謳2段階としてルツが温度を1400℃に上げ、纂2
層の金、銅の複合体を形成した。爽に金のみの第3層を
蒸着して得られた膜の厚みは、第1層が2100!、第
2層が2400 !であり、第3層は5001であった
。この様にして得られた5000 !の膜について密着
性tlIIべるために粘着チーブによる引龜社がしテス
トを行ない、又、耐蝕性を藺べるために塩水噴鏝テスト
を行なった結果を第1表に示す。Malは本発明による
実施例を示し、又随2は比較例として金のみ會ルツかに
充填して5 X 10−Torrの減圧下で1400
Lで同一の50001まで蒸着し九ものを示す。第im
lより明らかな様に本実施例による三層構造膜では密着
性に優れ、化学的に安定であるために、塩水噴勝テスト
に於いても全本来の防食性を示している事が判かる。父
、同一膜厚を得るための金の使用量は約25%で済み大
巾な低コストイヒ111針れた。
Claims (2)
- (1) 基板よKrルマニウム、シリコン、鋼、アル
ミニウム、ベリリュウムの1樵を第1層とし、第2層と
して第1層となる金属と金の複合物からなる中間層を設
け、更に第3鳩が金である事を特徴とする金属蒸着複合
体。 - (2) 第2層の複合物の膜厚が2002以上である
特許請求の範囲第(1)項記載の金属蒸着複合体
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20618081A JPS58108131A (ja) | 1981-12-22 | 1981-12-22 | 金属蒸着複合体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20618081A JPS58108131A (ja) | 1981-12-22 | 1981-12-22 | 金属蒸着複合体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58108131A true JPS58108131A (ja) | 1983-06-28 |
JPS6147705B2 JPS6147705B2 (ja) | 1986-10-21 |
Family
ID=16519133
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20618081A Granted JPS58108131A (ja) | 1981-12-22 | 1981-12-22 | 金属蒸着複合体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58108131A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6114946A (ja) * | 1984-07-02 | 1986-01-23 | 株式会社 徳力本店 | 金系ラミネ−ト基板 |
JPS6151270U (ja) * | 1984-09-10 | 1986-04-07 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0535843Y2 (ja) * | 1989-02-27 | 1993-09-10 |
-
1981
- 1981-12-22 JP JP20618081A patent/JPS58108131A/ja active Granted
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6114946A (ja) * | 1984-07-02 | 1986-01-23 | 株式会社 徳力本店 | 金系ラミネ−ト基板 |
JPS6151270U (ja) * | 1984-09-10 | 1986-04-07 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6147705B2 (ja) | 1986-10-21 |
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