JPS58103624A - 光学測定装置 - Google Patents
光学測定装置Info
- Publication number
- JPS58103624A JPS58103624A JP20280181A JP20280181A JPS58103624A JP S58103624 A JPS58103624 A JP S58103624A JP 20280181 A JP20280181 A JP 20280181A JP 20280181 A JP20280181 A JP 20280181A JP S58103624 A JPS58103624 A JP S58103624A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- image
- plane
- measured
- optical system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/59—Transmissivity
- G01N21/5907—Densitometers
- G01N21/5911—Densitometers of the scanning type
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明は被測定面の呻度分布等を簡易に且つ正確に測定
することのできる実用性の高い光学測定装置に関する。
することのできる実用性の高い光学測定装置に関する。
発明の技術的背景
発光面や反射面等の各種被測定面の輝ヅ分布や色度分布
を測定する場合、従来では専らテレビジ目ン（ＴＶ）カ
メラや色彩１１［［計の測定スイットを用いて１配液測
定面を走査することにより行われている。また近年では
光ファイｊ４を用いて微小領域の光を選択的に抽出する
ようにし、と配光ファイバの受光端面を被測定面の全域
に亘って走査（スキャン）することにより１記測定を行
う装置も開発されている。
を測定する場合、従来では専らテレビジ目ン（ＴＶ）カ
メラや色彩１１［［計の測定スイットを用いて１配液測
定面を走査することにより行われている。また近年では
光ファイｊ４を用いて微小領域の光を選択的に抽出する
ようにし、と配光ファイバの受光端面を被測定面の全域
に亘って走査（スキャン）することにより１記測定を行
う装置も開発されている。
背景技術の問題点
ところがＴＶカメラを用いた測定１［にあっては、ＴＶ
カメラの撮像面における感闇むらや。
カメラの撮像面における感闇むらや。
リニアリティ、更には色再現性３の点で間層があり、１
ｌｉｌｉ精度な測定が甚だ困−であった。また色彩綽賀
針の測定ス４ットを用いたｇｉＭＩｉｆにあってはｌＩ
！に光ファイ／嗜を用いた装置にあっては被測定面の走
査位置の精度、およびその位置の再現性に問題があった
。更にまた。特に光ファイ／４を用いたものにあっては
光ファイバに対する光の入射角度領域の問題や、使用劣
化の問題等について一点があった。
ｌｉｌｉ精度な測定が甚だ困−であった。また色彩綽賀
針の測定ス４ットを用いたｇｉＭＩｉｆにあってはｌＩ
！に光ファイ／嗜を用いた装置にあっては被測定面の走
査位置の精度、およびその位置の再現性に問題があった
。更にまた。特に光ファイ／４を用いたものにあっては
光ファイバに対する光の入射角度領域の問題や、使用劣
化の問題等について一点があった。
また１記した位置再現性の問題を解決すべく、測定装置
の光学系全体を被測定面に対して移動させることも考え
られているが、装置Ｉｆ構成が相当複雑化し、文書りな
ものとなる不具合があった１特に被測定面が広くて大き
い鳩舎、測定に必要な上記光学系の移動空間が非常に大
きくなると云う問題があった。
の光学系全体を被測定面に対して移動させることも考え
られているが、装置Ｉｆ構成が相当複雑化し、文書りな
ものとなる不具合があった１特に被測定面が広くて大き
い鳩舎、測定に必要な上記光学系の移動空間が非常に大
きくなると云う問題があった。
発明の目的
本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、そ
の目的とするところは、簡易にして位置精イ良く被測定
面の輝度分布等を測定することのできる実用性の高い光
学測定装置を提供することにある。
の目的とするところは、簡易にして位置精イ良く被測定
面の輝度分布等を測定することのできる実用性の高い光
学測定装置を提供することにある。
本発明は光学系を介して入力された被測定面の結像位置
に移動自在に設けら終た遮光板の微小孔を介して上記結
像面の像の光を選択的に抽出し、これを積分球にて積分
したのち受光検出するよう（二したものであり、上記遮
光板を移動制御して微小孔にて結像面内の走査を行わし
めるようにしたことを特徴とする光学測定＊＊にある。
に移動自在に設けら終た遮光板の微小孔を介して上記結
像面の像の光を選択的に抽出し、これを積分球にて積分
したのち受光検出するよう（二したものであり、上記遮
光板を移動制御して微小孔にて結像面内の走査を行わし
めるようにしたことを特徴とする光学測定＊＊にある。
発明の効果
従って本発明装置によれば、光学系や受光噴出系等の装
置本体部を移動させることなしＣ。
置本体部を移動させることなしＣ。
単に微小孔を有する遮光板を゛結像面内で移動走査する
ことだけにより１位置ＷＩｌ！および位置再現性良く高
安定に且つ正確に被測定面の輝度分布を測定することが
可能となる。また、光学系等を移動させることなしに、
単に微小孔を有する遮光板を移動走査するだけでよいの
で機構的に簡単であり、大きな移動空間を必要とするこ
ともない、従って、簡易にして篩安定な測定が可−とな
り、実用上絶大なる効果を奏する。
ことだけにより１位置ＷＩｌ！および位置再現性良く高
安定に且つ正確に被測定面の輝度分布を測定することが
可能となる。また、光学系等を移動させることなしに、
単に微小孔を有する遮光板を移動走査するだけでよいの
で機構的に簡単であり、大きな移動空間を必要とするこ
ともない、従って、簡易にして篩安定な測定が可−とな
り、実用上絶大なる効果を奏する。
発明の実施例
以下１図面を参照して本発明の一実施例につき説明する
。
。
第１図は実施例装置の概−略構成図である。
アクロマートの望遠系レンズ６二より構成された入力光
学系１は被測定面２の像を入力し、その結像［ｆｉｌに
結像するものである。この入力光学系１の結像面３には
、中央部に微小孔１例えばピンホール４を設けた遮光板
５が上記結像面１内を移動自在に設けられている。遮光
板５は。
学系１は被測定面２の像を入力し、その結像［ｆｉｌに
結像するものである。この入力光学系１の結像面３には
、中央部に微小孔１例えばピンホール４を設けた遮光板
５が上記結像面１内を移動自在に設けられている。遮光
板５は。
その移動機構８（二より移動制御されるもので。
これによって前記ピンホール４が結像面１の全域に亘っ
て移動走査されるように′なっている。
て移動走査されるように′なっている。
即ち、ａ先板５は第２図にその平面構成を示すようＣ，
被測定面２の像の結像面１の大きさに比して略４倍の面
積を有し、その中央位置にピンホール４を設けたものと
なっている。そして。
被測定面２の像の結像面１の大きさに比して略４倍の面
積を有し、その中央位置にピンホール４を設けたものと
なっている。そして。
図中人に示す結像１ｉｉＪの領域人に対して図中二点−
線Ｂで示す範Ｈに亘って１光板５が移動制御され、これ
によりピンホール４が上記領域ムの全゛域に亘って走査
移動され、且つ他の全ての領域は遮光されるようになっ
ている。
線Ｂで示す範Ｈに亘って１光板５が移動制御され、これ
によりピンホール４が上記領域ムの全゛域に亘って走査
移動され、且つ他の全ての領域は遮光されるようになっ
ている。
さて、このようにして移動される遮光板５の前記げンホ
ール４を介して選択的に抽出される前記結像１ｉｉＪの
像の部分的な光は、結像面後方に設けられた光学的積分
球ＩＣ：導入されるようＣ；なっている。この積分球１
は、入力した光をその内部で多重反射して拡散平均化す
るものである。そして、この積分球１を介して拡散平均
化された光は、積分球１の一部領域（二対向して設けら
れた受光器８にて受光検知され、その光の強闇に対応し
た電気信号に変換されて出力されるようになっている。
ール４を介して選択的に抽出される前記結像１ｉｉＪの
像の部分的な光は、結像面後方に設けられた光学的積分
球ＩＣ：導入されるようＣ；なっている。この積分球１
は、入力した光をその内部で多重反射して拡散平均化す
るものである。そして、この積分球１を介して拡散平均
化された光は、積分球１の一部領域（二対向して設けら
れた受光器８にて受光検知され、その光の強闇に対応し
た電気信号に変換されて出力されるようになっている。
また、この受光器８と積分球１との間には後述する色分
解フィルタ９が介在されるようになっている。この色分
解フィルタ９は１色透過特性な異１；する複数種類のフ
ィルタを第３因（二示すように回転板１０に配置した構
造を有し、／豐ルスモータ１１の回転１！Ｍ勅ε；より
、と記受光面に挿入されるフィルターが１択設定される
ようになっている。
解フィルタ９が介在されるようになっている。この色分
解フィルタ９は１色透過特性な異１；する複数種類のフ
ィルタを第３因（二示すように回転板１０に配置した構
造を有し、／豐ルスモータ１１の回転１！Ｍ勅ε；より
、と記受光面に挿入されるフィルターが１択設定される
ようになっている。
かくして受光器８は、積分球ｒを介した光のうち、フィ
ルタ９によって選択的に透過抽出された色成分の光を受
光検出することになる。
ルタ９によって選択的に透過抽出された色成分の光を受
光検出することになる。
さて、Ｎ配属先板５および１先板駆動機構６は１例えば
４４Ｓｊ二示す如（構成される。即ち。
４４Ｓｊ二示す如（構成される。即ち。
中央部にピンホール４を設けた１光板５は、第１の枠体
１２中を一方向に移動可能Ｃ二股けられた＃４２の枠体
１３１；嵌め込まれて設けられている１、上記第２の枠
体１３は、）譬ルスモータ１４の輪に連設された駆動ね
じ１５６；螺合する突起部１＃を備え、上記Δルスモー
タ１４の回転駆動によって図中Ｘ方向？；移動駆動され
るものである。尚、ノ譬ルスモータ１４は、第１の枠体
１２に固定されている。また第１の枠体１２は、ｌＩＩ
定部１ｒの移動＃ Ｊ ｒ ａに嵌合して、前記第２の
枠体ＩＪの移動方向Ｘと直交するＹ方向Ｃ；移動自在に
絆けられている。そして、第１の枠体１２は固定部１１
に設けられたノ譬ルスモータ１ａの軸暑二連設した駆動
ねじ１９に螺合する突起部２Ｆを備え、／量ルスモータ
１８の回転によってＹ軸方向に移動駆動される。かくし
て、＠１の枠体１２および＠２の枠体ＩＪを介して支持
された遮光板５゛は゛、ノルスモータ１４．Ｉｇの駆動
により、Ｘ方向、Ｙ方向に任意に移動制御され、これに
より平面的に移動走査されるようになっている。
１２中を一方向に移動可能Ｃ二股けられた＃４２の枠体
１３１；嵌め込まれて設けられている１、上記第２の枠
体１３は、）譬ルスモータ１４の輪に連設された駆動ね
じ１５６；螺合する突起部１＃を備え、上記Δルスモー
タ１４の回転駆動によって図中Ｘ方向？；移動駆動され
るものである。尚、ノ譬ルスモータ１４は、第１の枠体
１２に固定されている。また第１の枠体１２は、ｌＩＩ
定部１ｒの移動＃ Ｊ ｒ ａに嵌合して、前記第２の
枠体ＩＪの移動方向Ｘと直交するＹ方向Ｃ；移動自在に
絆けられている。そして、第１の枠体１２は固定部１１
に設けられたノ譬ルスモータ１ａの軸暑二連設した駆動
ねじ１９に螺合する突起部２Ｆを備え、／量ルスモータ
１８の回転によってＹ軸方向に移動駆動される。かくし
て、＠１の枠体１２および＠２の枠体ＩＪを介して支持
された遮光板５゛は゛、ノルスモータ１４．Ｉｇの駆動
により、Ｘ方向、Ｙ方向に任意に移動制御され、これに
より平面的に移動走査されるようになっている。
このように構成された装置によれば、ノ譬ルスモータ１
４．ＩＩＩを駆動して、ａ先板５を結像面１の成る位置
Ｃ二位置決めすれば、その位置決めされた位置において
結像面３に結ばれた被測定面１の像の成る部分領域の光
だけが黴小枢ピンホール）４を介して抽出され、積分球
１に導入される。そして、この積分球１を介した光をｉ
１１配色分解フィルタ９を介して抽出し、受光器１にて
受光すれば、上記部分領域の光の色分解フィルターに対
応した色の光成分の強度が検出されることになる。！た
このとき１色分解フィルタ９を異ならせば、同様Ｃ二し
て他の色成分の光強度が検出される。このようにして、
前記遮光板りを移動させながら順次測定を行い、結像（
Ｈｚの全域Ｃ二亘って走査すれば、ここに被測定ｒＪＢ
１の輝度分布を、また上記色分解フィルタ９を併用して
色度分布を求めることが可能となる。
４．ＩＩＩを駆動して、ａ先板５を結像面１の成る位置
Ｃ二位置決めすれば、その位置決めされた位置において
結像面３に結ばれた被測定面１の像の成る部分領域の光
だけが黴小枢ピンホール）４を介して抽出され、積分球
１に導入される。そして、この積分球１を介した光をｉ
１１配色分解フィルタ９を介して抽出し、受光器１にて
受光すれば、上記部分領域の光の色分解フィルターに対
応した色の光成分の強度が検出されることになる。！た
このとき１色分解フィルタ９を異ならせば、同様Ｃ二し
て他の色成分の光強度が検出される。このようにして、
前記遮光板りを移動させながら順次測定を行い、結像（
Ｈｚの全域Ｃ二亘って走査すれば、ここに被測定ｒＪＢ
１の輝度分布を、また上記色分解フィルタ９を併用して
色度分布を求めることが可能となる。
この場合１例えば１１５図（畠）〜（Ｃ） Ｉ：示すよ
うに。
うに。
ノ４ルスモータ１４．１８を駆動して１光板９の結像１
ｉｉｓに対する位置決めを行い（第５図（ａ））。
ｉｉｓに対する位置決めを行い（第５図（ａ））。
その位置決めの６閾期間にパルス七−夕１１を駆動して
フィルタ９の選択的挿入を行わしめて（１！［図（ｂ）
） 、同図（ｅ）に示すタイ“−ミンダで受光器１で
得られた光信号をサンプリングするようにすれば、極め
て効率良（、結像面１の全域に亘る。また各色成分毎の
強賓測定を行うことが可能となる。尚、単に輝度分布だ
けを測定する場合には一１色分解フィルタ９を用いる必
要がないことは云うまでもない。
フィルタ９の選択的挿入を行わしめて（１！［図（ｂ）
） 、同図（ｅ）に示すタイ“−ミンダで受光器１で
得られた光信号をサンプリングするようにすれば、極め
て効率良（、結像面１の全域に亘る。また各色成分毎の
強賓測定を行うことが可能となる。尚、単に輝度分布だ
けを測定する場合には一１色分解フィルタ９を用いる必
要がないことは云うまでもない。
また零＊＊によれば、簡単な機構によって遮光板１を走
査移動させることがマき、またその移動空間もさほど必
要としない。従って装置構成の大幅な簡、略化とコンノ
９クト化を図ることが可能゛となる。また従来ｆ！置の
ように被測定面１の走査機構が文書りでない為、またそ
の走査を遮光板５の移動だけシーよって行い得るので１
位置再現性が嵐く％更にはその。制＃ｌ？＃度も高い等
の従来ｆ！置には期待することのできない効果を奏する
。
査移動させることがマき、またその移動空間もさほど必
要としない。従って装置構成の大幅な簡、略化とコンノ
９クト化を図ることが可能゛となる。また従来ｆ！置の
ように被測定面１の走査機構が文書りでない為、またそ
の走査を遮光板５の移動だけシーよって行い得るので１
位置再現性が嵐く％更にはその。制＃ｌ？＃度も高い等
の従来ｆ！置には期待することのできない効果を奏する
。
尚１本発明は上記実施例に限定されるものではない０例
えば遮光板５に設ける微小孔はピンホールのみならず、
スリット孔や長方形状のものであればよい。また入力光
学系のレンズ構成を変えて入力結像倍率を変えるように
すれば。
えば遮光板５に設ける微小孔はピンホールのみならず、
スリット孔や長方形状のものであればよい。また入力光
学系のレンズ構成を変えて入力結像倍率を変えるように
すれば。
遮光板５の移動範囲を変えることなしに被測定面の走査
範囲を変えることが可能どなり、その効果ｉ絶大である
。また測定対叡に応じて測定分解能を変えるべく、微小
孔４の大きさのの興なる遮光板５を選択的に用いるよう
にしてもよい。更には１光板５の移動機構も種々変形し
て構成することができる。
範囲を変えることが可能どなり、その効果ｉ絶大である
。また測定対叡に応じて測定分解能を変えるべく、微小
孔４の大きさのの興なる遮光板５を選択的に用いるよう
にしてもよい。更には１光板５の移動機構も種々変形し
て構成することができる。
以上要するＣ二本発明はその要旨を逸脱しない範ｓ５種
々変形して実施することができ、従来１ｉｉ ｌｆ ｇ
：゛おける問題点を解消した実用性の高い光学測定ｌｉ
ｔをここに提供することができる。
々変形して実施することができ、従来１ｉｉ ｌｆ ｇ
：゛おける問題点を解消した実用性の高い光学測定ｌｉ
ｔをここに提供することができる。
図は本発明の一実施例を示すもので、第１図は実施例ｆ
！置の概略構成図、１８２図は籠先板砿二よる砿測定Ｅ
ｌ（結像面）の走査概念を示す図。 第３図は色分解フィルタの構成例を示す図、第４図は１
光板と移動機構の一例を示す斜視図。 ＠ ５ ｉ１！１ｌ（ａ）−（Ｃ）は本装置の動作タイ
ミングを示す図である。 ｌ・・・入力光学系、４・・・微小孔、ｌ・・・１光板
。 Ｃ・・・籠先板移動機構、ｒ・・・積分球、Ｉ・・・受
光器。 ９・・・色分解フィルタ。 出−人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 第２図 第３図 第５図
！置の概略構成図、１８２図は籠先板砿二よる砿測定Ｅ
ｌ（結像面）の走査概念を示す図。 第３図は色分解フィルタの構成例を示す図、第４図は１
光板と移動機構の一例を示す斜視図。 ＠ ５ ｉ１！１ｌ（ａ）−（Ｃ）は本装置の動作タイ
ミングを示す図である。 ｌ・・・入力光学系、４・・・微小孔、ｌ・・・１光板
。 Ｃ・・・籠先板移動機構、ｒ・・・積分球、Ｉ・・・受
光器。 ９・・・色分解フィルタ。 出−人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 第２図 第３図 第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｔｔ）被測定面の像を入力する光学系と、この光学系の
結像面１二移動自在に設けられた微小孔を有する嶋先板
と、この−先板を移動制御して１紀歇小孔を前記結像面
内で移動走査する移動機構と、前記籠先板の微小孔を介
して前記結像面から選択的に抽出される光を入力して積
分する積分球と、この積分球を介した光を受光検知する
受光器とを員備したことを特徴とする光学測定装置。 （２） 受光器は、受光面に選択的に挿入される色分
解フィルタを備えたものである特許請求の範囲＠１項記
載の光学測定装置。 （３） 光学系は、被測定面の像の入力結像倍率を任
意Ｃ：可変設定可能なものである特許請求の範囲嘱１項
記載の光学測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20280181A JPS58103624A (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | 光学測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20280181A JPS58103624A (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | 光学測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58103624A true JPS58103624A (ja) | 1983-06-20 |
Family
ID=16463415
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20280181A Pending JPS58103624A (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | 光学測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58103624A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62298728A (ja) * | 1986-06-18 | 1987-12-25 | Fujitsu Ltd | 照度測定装置 |
| JPS63167234A (ja) * | 1986-12-29 | 1988-07-11 | Tamura Seisakusho Co Ltd | 露光用光学系測定器 |
| WO1997040353A1 (fr) * | 1996-04-25 | 1997-10-30 | Nishimoto Sangyo Co., Ltd. | Detecteur de niveaux de gris des pixels |
| JP2003287462A (ja) * | 2002-03-27 | 2003-10-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光源ユニット輝度検出装置、アライメント装置、光源ユニット輝度の検出方法および光源ユニットの製造方法 |
| ITTV20080169A1 (it) * | 2008-12-29 | 2010-06-30 | Gmi S R L | Dispositivo per l'incremento della precisione di taglio di una macchina dotata di un primo telaio di supporto per una testa galvanometrica comprendente una sorgente e mezzi per il controllo di un raggio laser. |
-
1981
- 1981-12-16 JP JP20280181A patent/JPS58103624A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62298728A (ja) * | 1986-06-18 | 1987-12-25 | Fujitsu Ltd | 照度測定装置 |
| JPS63167234A (ja) * | 1986-12-29 | 1988-07-11 | Tamura Seisakusho Co Ltd | 露光用光学系測定器 |
| JPH0473735B2 (ja) * | 1986-12-29 | 1992-11-24 | ||
| WO1997040353A1 (fr) * | 1996-04-25 | 1997-10-30 | Nishimoto Sangyo Co., Ltd. | Detecteur de niveaux de gris des pixels |
| US6078041A (en) * | 1996-04-25 | 2000-06-20 | Nishimoto Sangyo Co., Ltd. | Integrating cylindrical pixel density detector |
| JP2003287462A (ja) * | 2002-03-27 | 2003-10-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光源ユニット輝度検出装置、アライメント装置、光源ユニット輝度の検出方法および光源ユニットの製造方法 |
| ITTV20080169A1 (it) * | 2008-12-29 | 2010-06-30 | Gmi S R L | Dispositivo per l'incremento della precisione di taglio di una macchina dotata di un primo telaio di supporto per una testa galvanometrica comprendente una sorgente e mezzi per il controllo di un raggio laser. |
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