JPS58101869U - 真空蒸着装置 - Google Patents

真空蒸着装置

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JPS58101869U
JPS58101869U JP19409481U JP19409481U JPS58101869U JP S58101869 U JPS58101869 U JP S58101869U JP 19409481 U JP19409481 U JP 19409481U JP 19409481 U JP19409481 U JP 19409481U JP S58101869 U JPS58101869 U JP S58101869U
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JP
Japan
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vacuum deposition
deposition equipment
evaporation source
vacuum
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Application number
JP19409481U
Other languages
English (en)
Inventor
渡部　六郎
Original Assignee
株式会社リコー
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例を示す真空蒸着装置の縦断
面図、第２図はガラス板に金属膜が蒸着□により形成さ
れたときの膜厚と透過率の関係を示−すグラフ、第３図
はガラス板に金属膜と透明膜が蒸着−より形成されたと
きの膜厚と反射率の関係を示すグラフである。 １・・・真空槽、４・・・抵抗加熱蒸発源、５・・・電
子ビーム蒸発源、１０・・・覗き窓、１１・・・交換用
ガラス、１３・・・反射鏡、１４・・・蒸発物遮蔽板。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 蒸発源を有する真空槽に交換用ガラスが嵌め込まれた覗
    き窓を備えてなる真空蒸着装置において、前記真空槽内
    に前記覗き窓から前記蒸発源が目視できる位置に少なく
    とも一枚の反射鏡を設けると共に前記覗き窓から該反射
    鏡を見通せ、前記交換用ガラスの近傍で前記蒸発源を遮
    って見通せない位置に蒸発物遮蔽板を設けて構成したこ
    とを特徴とする真空蒸着装置。
JP19409481U 1981-12-30 1981-12-30 真空蒸着装置 Pending JPS58101869U (ja)

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JP19409481U JPS58101869U (ja) 1981-12-30 1981-12-30 真空蒸着装置

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JPS58101869U true JPS58101869U (ja) 1983-07-11

Family

ID=30107425

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5836476A (ja) * 1981-08-25 1983-03-03 Canon Inc 印字装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5836476A (ja) * 1981-08-25 1983-03-03 Canon Inc 印字装置

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