JPH1194181A - 脈動減衰装置 - Google Patents
脈動減衰装置Info
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- JPH1194181A JPH1194181A JP27334097A JP27334097A JPH1194181A JP H1194181 A JPH1194181 A JP H1194181A JP 27334097 A JP27334097 A JP 27334097A JP 27334097 A JP27334097 A JP 27334097A JP H1194181 A JPH1194181 A JP H1194181A
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- JP
- Japan
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- damping device
- hollow cylindrical
- porous body
- pulsation damping
- cylindrical porous
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- Pending
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L55/00—Devices or appurtenances for use in, or in connection with, pipes or pipe systems
- F16L55/04—Devices damping pulsations or vibrations in fluids
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Pipe Accessories (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 送液ポンプの吐出側に生じる脈動を良好に減
衰し、かつ濾過手段としてのフィルタの性能をも兼備
し、全体として小さいスペースで設置することができ、
しかも少ない工数でメンテナンスができる簡便な脈動減
衰装置を提供する。 【解決手段】 薬液あるいは処理液を入れる処理槽の排
液部と給液部とを配管類により接続した循環経路内に配
設される送液ポンプＰの吐出側に配設される脈動減衰装
置11であって、該脈動減衰装置11を熱可塑性プラスチッ
ク材を焼結成形してなる多孔質層よりなる中空筒状多孔
質体13で構成する。
衰し、かつ濾過手段としてのフィルタの性能をも兼備
し、全体として小さいスペースで設置することができ、
しかも少ない工数でメンテナンスができる簡便な脈動減
衰装置を提供する。 【解決手段】 薬液あるいは処理液を入れる処理槽の排
液部と給液部とを配管類により接続した循環経路内に配
設される送液ポンプＰの吐出側に配設される脈動減衰装
置11であって、該脈動減衰装置11を熱可塑性プラスチッ
ク材を焼結成形してなる多孔質層よりなる中空筒状多孔
質体13で構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、吐出側に脈動を生
じやすい送液ポンプの吐出側に配設され、脈動を減衰す
る機能を有するとともに、流体中の微粒子物質を分離濾
過する機能を有する脈動減衰装置に関するものである。
じやすい送液ポンプの吐出側に配設され、脈動を減衰す
る機能を有するとともに、流体中の微粒子物質を分離濾
過する機能を有する脈動減衰装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば、半導体装置を製造する薬
液槽、送液ポンプ、脈動減衰装置、フィルタ、循環・搬
送するための配管類、必要に応じて流量計、加熱ヒータ
等から構成されるウエハー処理システム等の送液処理装
置においては、その処理に弗酸や硝酸等の薬液あるいは
純水等の処理液が使用され、通常、この薬液は、性能に
影響がでない範囲で繰り返し使用されている。
液槽、送液ポンプ、脈動減衰装置、フィルタ、循環・搬
送するための配管類、必要に応じて流量計、加熱ヒータ
等から構成されるウエハー処理システム等の送液処理装
置においては、その処理に弗酸や硝酸等の薬液あるいは
純水等の処理液が使用され、通常、この薬液は、性能に
影響がでない範囲で繰り返し使用されている。
【０００３】上記のような装置においては、薬液等をウ
エハー処理システム等の送液処理装置の循環経路内に循
環させるために、ベローズポンプ等のエアー駆動式ポン
プが送液ポンプとして使用されている。
エハー処理システム等の送液処理装置の循環経路内に循
環させるために、ベローズポンプ等のエアー駆動式ポン
プが送液ポンプとして使用されている。
【０００４】そして、薬液等を連続的に略一定の流量で
所望の場所まで送り込む場合、送液ポンプと配管類から
なる循環経路内において処理液の脈動が被処理物の品質
や循環経路内に配設した備品に悪影響を与えないよう、
処理液等の脈動を減衰あるいは防止することが重要であ
り、従来、図４に示すように送液ポンプＰの吐出側配管
にガスサージタンク方式やダンパ方式の脈動減衰装置１
１が配設されている。
所望の場所まで送り込む場合、送液ポンプと配管類から
なる循環経路内において処理液の脈動が被処理物の品質
や循環経路内に配設した備品に悪影響を与えないよう、
処理液等の脈動を減衰あるいは防止することが重要であ
り、従来、図４に示すように送液ポンプＰの吐出側配管
にガスサージタンク方式やダンパ方式の脈動減衰装置１
１が配設されている。
【０００５】同時に、これらの送液処理装置の循環経路
内には、処理によって生ずる種々のスラッジ、微細なゴ
ミ等の微粒子物質によって処理液槽、送液ポンプ、脈動
減衰装置等が汚染されるのを防ぐために、微粒子物資を
除去する濾過手段としてフィルタ装置３１が設けられて
いる。
内には、処理によって生ずる種々のスラッジ、微細なゴ
ミ等の微粒子物質によって処理液槽、送液ポンプ、脈動
減衰装置等が汚染されるのを防ぐために、微粒子物資を
除去する濾過手段としてフィルタ装置３１が設けられて
いる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、送液処
理装置の循環経路内に処理液の脈動を減衰あるいは防止
するための減衰装置及び濾過手段としてフィルタ装置を
配設した場合、これらの装置を設置するスペースを各々
確保する必要があると同時にこれらのメンテナンスにも
工数が必要である。
理装置の循環経路内に処理液の脈動を減衰あるいは防止
するための減衰装置及び濾過手段としてフィルタ装置を
配設した場合、これらの装置を設置するスペースを各々
確保する必要があると同時にこれらのメンテナンスにも
工数が必要である。
【０００７】本発明は、従来の減衰装置と遜色のない減
衰効果を奏するとともに、濾過手段としてのフィルタの
性能をも兼備し、全体として小さいスペースで設置する
ことができ、しかも少ない工数でメンテナンスができる
簡便な脈動減衰装置を提供することを目的とするもので
ある。
衰効果を奏するとともに、濾過手段としてのフィルタの
性能をも兼備し、全体として小さいスペースで設置する
ことができ、しかも少ない工数でメンテナンスができる
簡便な脈動減衰装置を提供することを目的とするもので
ある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記のような
課題を解決するもので、その要旨とするところは、 （１） 送液ポンプの吐出側に配設される脈動減衰装置
であって、該脈動減衰装置を熱可塑性プラスチック材を
焼結成形してなる多孔質層よりなる中空筒状多孔質体で
構成したことを特徴とする脈動減衰装置である。
課題を解決するもので、その要旨とするところは、 （１） 送液ポンプの吐出側に配設される脈動減衰装置
であって、該脈動減衰装置を熱可塑性プラスチック材を
焼結成形してなる多孔質層よりなる中空筒状多孔質体で
構成したことを特徴とする脈動減衰装置である。
【０００９】（２） 薬液あるいは処理液を入れる処理
槽の排液部と給液部とを配管類により接続した循環経路
内に配設される送液ポンプの吐出側に配設されることを
特徴とする（１）項記載の脈動減衰装置である。薬液あ
るいは処理液とは、上記したようなウエハー処理システ
ム等の送液処理装置に用いられる弗酸や硝酸等の薬液あ
るいは純水等の処理液である。送液ポンプは、ウエハー
処理システム等の送液処理装置の循環経路内に処理液等
を循環させるために使用されるものであって、ベローズ
ポンプ等のエアー駆動式ポンプが代表的である。
槽の排液部と給液部とを配管類により接続した循環経路
内に配設される送液ポンプの吐出側に配設されることを
特徴とする（１）項記載の脈動減衰装置である。薬液あ
るいは処理液とは、上記したようなウエハー処理システ
ム等の送液処理装置に用いられる弗酸や硝酸等の薬液あ
るいは純水等の処理液である。送液ポンプは、ウエハー
処理システム等の送液処理装置の循環経路内に処理液等
を循環させるために使用されるものであって、ベローズ
ポンプ等のエアー駆動式ポンプが代表的である。
【００１０】（３） 平均粒径が３０〜７００μｍの粒
子の熱可塑性プラスチック材を焼結成形してなる多孔質
層よりなる中空筒状多孔質体で構成したことを特徴とす
る（１）又は（２）項記載の脈動減衰装置である。
子の熱可塑性プラスチック材を焼結成形してなる多孔質
層よりなる中空筒状多孔質体で構成したことを特徴とす
る（１）又は（２）項記載の脈動減衰装置である。
【００１１】（４） 気孔率が１０〜６０ｖｏｌ％の多
孔質層よりなる中空筒状多孔質体で構成したことを特徴
とする（１），（２）又は（３）項記載の脈動減衰装置
である。
孔質層よりなる中空筒状多孔質体で構成したことを特徴
とする（１），（２）又は（３）項記載の脈動減衰装置
である。
【００１２】（５） 中空円筒状多孔質体の内側に、中
空ひだ付き筒状多孔質体が前記中空円筒状多孔質体の内
壁と前記中空ひだ付き筒状多孔質体の外壁との間に間隙
を設けて挿入して組み合わされていることを特徴とする
（１），（２），（３）又は（４）項記載の脈動減衰装
置である。
空ひだ付き筒状多孔質体が前記中空円筒状多孔質体の内
壁と前記中空ひだ付き筒状多孔質体の外壁との間に間隙
を設けて挿入して組み合わされていることを特徴とする
（１），（２），（３）又は（４）項記載の脈動減衰装
置である。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の脈動減衰装置の中空筒状
多孔質体を構成するために用いられる熱可塑性プラスチ
ック材としては、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポ
リオレフィン系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリエス
テル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリスチレン系樹脂、
ポリアクリル系樹脂、フッ素系樹脂等のプラスチック材
であって、メルトフローレイト（ＭＦＲ）が小さく、比
較的容易に多孔質体を得られる材料であれば、特に限定
されるものではない。この中でも、ＭＦＲが１．０以
下、好ましくは０．０１以下と特に小さい超高分子量ポ
リエチレンでは、融点以上の広範囲な温度領域で、応力
−ヒズミ曲線上にゴム状平坦部が認められ、粒子間空隙
の閉塞が起こり難く、均一な気孔径を有する多孔質体を
得る上では、特に好適である。
多孔質体を構成するために用いられる熱可塑性プラスチ
ック材としては、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポ
リオレフィン系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリエス
テル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリスチレン系樹脂、
ポリアクリル系樹脂、フッ素系樹脂等のプラスチック材
であって、メルトフローレイト（ＭＦＲ）が小さく、比
較的容易に多孔質体を得られる材料であれば、特に限定
されるものではない。この中でも、ＭＦＲが１．０以
下、好ましくは０．０１以下と特に小さい超高分子量ポ
リエチレンでは、融点以上の広範囲な温度領域で、応力
−ヒズミ曲線上にゴム状平坦部が認められ、粒子間空隙
の閉塞が起こり難く、均一な気孔径を有する多孔質体を
得る上では、特に好適である。
【００１４】熱可塑性プラスチック材の形態は、粉末状
のものが好ましく、その平均粒径は、３０〜７００μ
ｍ、好ましくは５０〜５００μｍの粒子を用いるのがよ
い。平均粒径が３０μｍ未満であると、濾過精度は向上
するものの、液体が通過するときの圧力損失が高くな
る。また、平均粒径が７００μｍを超えると、満足する
ような濾過精度が発現しにくい。
のものが好ましく、その平均粒径は、３０〜７００μ
ｍ、好ましくは５０〜５００μｍの粒子を用いるのがよ
い。平均粒径が３０μｍ未満であると、濾過精度は向上
するものの、液体が通過するときの圧力損失が高くな
る。また、平均粒径が７００μｍを超えると、満足する
ような濾過精度が発現しにくい。
【００１５】本発明の脈動減衰装置の中空筒状多孔質体
の気孔率は、１０〜６０ｖｏｌ％、好ましくは１５〜５
５ｖｏｌ％である。気孔率が１０ｖｏｌ％未満である
と、液体が通過するときの圧力損失が高くなる。一方、
気孔率が６０ｖｏｌ％を超えると圧環強度が小さくな
り、機械的強度が不足しやすい。
の気孔率は、１０〜６０ｖｏｌ％、好ましくは１５〜５
５ｖｏｌ％である。気孔率が１０ｖｏｌ％未満である
と、液体が通過するときの圧力損失が高くなる。一方、
気孔率が６０ｖｏｌ％を超えると圧環強度が小さくな
り、機械的強度が不足しやすい。
【００１６】本発明において、上記の気孔率は、次式に
よって算出される。 気孔率（ｖｏｌ％）＝〔（Ａ−Ｂ）／Ａ〕×１００
よって算出される。 気孔率（ｖｏｌ％）＝〔（Ａ−Ｂ）／Ａ〕×１００
【００１７】式中、Ａは中空筒状多孔質体を構成する熱
可塑性プラスチック材の真密度（ｇ／ｃｍ3 ）であり、
Ｂは中空筒状多孔質体の見掛けの密度（ｇ／ｃｍ3 ）で
ある。
可塑性プラスチック材の真密度（ｇ／ｃｍ3 ）であり、
Ｂは中空筒状多孔質体の見掛けの密度（ｇ／ｃｍ3 ）で
ある。
【００１８】ここで、中空筒状多孔質体の見掛けの密度
Ｂは、中空筒状多孔質体から切り出した試験片の質量と
体積をそれぞれ慣用の方法により測定し、質量の値
（ｇ）を体積（ｃｍ3 ）で除することによって得られ
る。なお、体積の値は、多孔質体が一定の形状、例えば
中空円筒体である場合は、その外径、内径及び長さを測
定して、また、中空ひだ付筒体等、異形である場合は、
その外表面積、内外表面積を算出し、長さを測定して算
出することもできる。一方、中空筒状多孔質体を構成す
る熱可塑性プラスチック材の真密度Ａは、中空筒状多孔
質体を再溶融した後、冷却固化した試料について測定す
ることによっても得られる。
Ｂは、中空筒状多孔質体から切り出した試験片の質量と
体積をそれぞれ慣用の方法により測定し、質量の値
（ｇ）を体積（ｃｍ3 ）で除することによって得られ
る。なお、体積の値は、多孔質体が一定の形状、例えば
中空円筒体である場合は、その外径、内径及び長さを測
定して、また、中空ひだ付筒体等、異形である場合は、
その外表面積、内外表面積を算出し、長さを測定して算
出することもできる。一方、中空筒状多孔質体を構成す
る熱可塑性プラスチック材の真密度Ａは、中空筒状多孔
質体を再溶融した後、冷却固化した試料について測定す
ることによっても得られる。
【００１９】本発明の脈動減衰装置の中空筒状多孔質体
の気孔径は、材料粒子の形状及び粒径を調整しても、あ
る程度の分布を有する。特に、気孔径が大きい部分が存
在すると本来多孔質体表面に保存して除去すべき大きな
異物をも通過させるので、気孔径の均一化を図るか、あ
るいは比較的小さめの気孔径の発現は認めても比較的大
きな気孔径の発現を抑えるようにしてもよい。
の気孔径は、材料粒子の形状及び粒径を調整しても、あ
る程度の分布を有する。特に、気孔径が大きい部分が存
在すると本来多孔質体表面に保存して除去すべき大きな
異物をも通過させるので、気孔径の均一化を図るか、あ
るいは比較的小さめの気孔径の発現は認めても比較的大
きな気孔径の発現を抑えるようにしてもよい。
【００２０】また、中空筒状多孔質体が長期の使用に耐
えるように圧縮応力に対して充分な強度を有することが
好ましい。この中空筒状多孔質体では、圧環強度が５ｋ
ｇ／ｃｍ2 以上であることが好ましく、１０ｋｇ／ｃｍ
2 以上のものがより好ましい。
えるように圧縮応力に対して充分な強度を有することが
好ましい。この中空筒状多孔質体では、圧環強度が５ｋ
ｇ／ｃｍ2 以上であることが好ましく、１０ｋｇ／ｃｍ
2 以上のものがより好ましい。
【００２１】本発明において、中空筒状多孔質体が中空
円筒体である場合の圧環強度は、次式によって算出され
る。 圧環強度（ｋｇ／ｃｍ2 ）＝Ｐ（Ｄ−ｔ）／（Ｌ×２
ｔ）
円筒体である場合の圧環強度は、次式によって算出され
る。 圧環強度（ｋｇ／ｃｍ2 ）＝Ｐ（Ｄ−ｔ）／（Ｌ×２
ｔ）
【００２２】式中、Ｐは破壊荷重（ｋｇ）であり、Ｄは
多孔質体の外径（ｃｍ）、ｔは多孔質体の肉厚（ｃｍ）
であり、Ｌは多孔質体の長さ（ｃｍ）である。
多孔質体の外径（ｃｍ）、ｔは多孔質体の肉厚（ｃｍ）
であり、Ｌは多孔質体の長さ（ｃｍ）である。
【００２３】ここで、破壊荷重Ｐは、圧縮によって試験
片が破壊するまでの最大荷重の値（ｋｇ）である。試験
片は長さ１ｃｍとし、圧縮荷重は、試験片円筒体の中心
軸に直角の方向に一定速度で加えた。
片が破壊するまでの最大荷重の値（ｋｇ）である。試験
片は長さ１ｃｍとし、圧縮荷重は、試験片円筒体の中心
軸に直角の方向に一定速度で加えた。
【００２４】中空筒状多孔質体の焼結成形方法には、特
に制限はなく、通常は、いわゆる形内焼結法による。す
なわち、筒状等の内表面形状を有する外型とその内部に
挿入した同様の外表面形状を有する内型とからなる成形
金型を用い、外型内表面と内型外表面との間隙部に形成
されるキャビティ内に熱可塑性プラスチック材を充填し
た後、成形金型共々これを加熱する静的成形法のほか、
（１）先端部に成形型を有する温度調整が可能なシリン
ダ内に往復運動するピストン（プランジャーともいう）
を内蔵したラム式押出機を用いて行うラム押出法、
（２）先端部に成形型を有する温度調整が可能なシリン
ダ内にスクリュウを内蔵した射出成形機を用いて行う射
出成形法、（３）先端部に成形型を有する温度調整が可
能なシリンダ内にスクリュウを内蔵した押出成形機を用
いて行う押出成形法などの動的成形方法がある。
に制限はなく、通常は、いわゆる形内焼結法による。す
なわち、筒状等の内表面形状を有する外型とその内部に
挿入した同様の外表面形状を有する内型とからなる成形
金型を用い、外型内表面と内型外表面との間隙部に形成
されるキャビティ内に熱可塑性プラスチック材を充填し
た後、成形金型共々これを加熱する静的成形法のほか、
（１）先端部に成形型を有する温度調整が可能なシリン
ダ内に往復運動するピストン（プランジャーともいう）
を内蔵したラム式押出機を用いて行うラム押出法、
（２）先端部に成形型を有する温度調整が可能なシリン
ダ内にスクリュウを内蔵した射出成形機を用いて行う射
出成形法、（３）先端部に成形型を有する温度調整が可
能なシリンダ内にスクリュウを内蔵した押出成形機を用
いて行う押出成形法などの動的成形方法がある。
【００２５】これらの静的成形法や動的成形法等の方法
から最終的な多孔質体の形状等、要求の応じて適宜選択
すればよいが、製造コストや生産効率の点から、シリン
ダ内にピストンを内蔵したラム式押出機を用いて行うラ
ム押出法、シリンダ内にスクリュウを内蔵した押出成形
機を用いて行う押出成形法が連続的に中空筒状多孔質体
が成形できるので好ましい。
から最終的な多孔質体の形状等、要求の応じて適宜選択
すればよいが、製造コストや生産効率の点から、シリン
ダ内にピストンを内蔵したラム式押出機を用いて行うラ
ム押出法、シリンダ内にスクリュウを内蔵した押出成形
機を用いて行う押出成形法が連続的に中空筒状多孔質体
が成形できるので好ましい。
【００２６】本発明の脈動減衰装置においては、中空筒
状多孔質体の筒状部を形成する壁部を流体が外周側から
内周側に又は内周側から外周側に通過する際、流体中の
微粒子物質がこの壁部において分離濾過される。中空筒
状多孔質体の断面形状は、特に限定されるものではな
い。例えば、円筒状に限られるものではなく、角筒状の
他、複数の屈曲部を交互に設けてひだを形成したひだ付
筒状体（花びら状、菊花状、星形状等）とすることもで
きる。中空筒状多孔質体は単層構造のほか、複数の層が
一体化した複層構造としてもよい。
状多孔質体の筒状部を形成する壁部を流体が外周側から
内周側に又は内周側から外周側に通過する際、流体中の
微粒子物質がこの壁部において分離濾過される。中空筒
状多孔質体の断面形状は、特に限定されるものではな
い。例えば、円筒状に限られるものではなく、角筒状の
他、複数の屈曲部を交互に設けてひだを形成したひだ付
筒状体（花びら状、菊花状、星形状等）とすることもで
きる。中空筒状多孔質体は単層構造のほか、複数の層が
一体化した複層構造としてもよい。
【００２７】また、中空筒状多孔質体は、単筒状のもの
の他、外側に中空円筒状多孔質体を配し、内側に中空ひ
だ付筒状多孔質体を配したもの、さらにそれの外側に中
空円筒状多孔質体を配したもの、あるいは前者にあって
中空ひだ付筒状多孔質体の内側に中空円筒状多孔質体を
配したもの等、複数の筒を内外に配置して組み合わせた
ものとしてもよい。例えば、内外の各中空筒状多孔質体
の間に間隙を設けて配置した二重管構造のものは、好ま
しい形態として挙げられる。例えば、図３に示すよう
に、中空円筒状多孔質体１３ａの内側に、中空ひだ付き
筒状多孔質体１３ｂが前記中空円筒状多孔質体１３ａの
内壁と前記中空ひだ付き筒状多孔質体１３ｂの外壁との
間に間隙１４を有するように挿入して組み合わされてい
るものは、好ましい態様の１つである。
の他、外側に中空円筒状多孔質体を配し、内側に中空ひ
だ付筒状多孔質体を配したもの、さらにそれの外側に中
空円筒状多孔質体を配したもの、あるいは前者にあって
中空ひだ付筒状多孔質体の内側に中空円筒状多孔質体を
配したもの等、複数の筒を内外に配置して組み合わせた
ものとしてもよい。例えば、内外の各中空筒状多孔質体
の間に間隙を設けて配置した二重管構造のものは、好ま
しい形態として挙げられる。例えば、図３に示すよう
に、中空円筒状多孔質体１３ａの内側に、中空ひだ付き
筒状多孔質体１３ｂが前記中空円筒状多孔質体１３ａの
内壁と前記中空ひだ付き筒状多孔質体１３ｂの外壁との
間に間隙１４を有するように挿入して組み合わされてい
るものは、好ましい態様の１つである。
【００２８】複数の筒を内外に配置する場合、内外の各
中空筒状多孔質体の孔径を異なるように構成してもよ
い。例えば、流体の流入側に比較的大きな孔径の中空筒
状多孔質体を配置することができる（その逆でもよ
い）。
中空筒状多孔質体の孔径を異なるように構成してもよ
い。例えば、流体の流入側に比較的大きな孔径の中空筒
状多孔質体を配置することができる（その逆でもよ
い）。
【００２９】上記のようにそれぞれ異なる孔径の中空筒
状多孔質体は、それぞれ平均粒径の異なる粉末の熱可塑
性プラスチック材を焼結成形することにより、得ること
ができる。例えば、比較的小さな孔径の中空筒状多孔質
体を形成するために用いられるプラスチック材の平均粒
径は、５μｍ〜９０μｍの範囲のもの、好ましくは１０
μｍ〜４０μｍとし、また、比較的大きな孔径の中空筒
状多孔質体を形成するために用いられるプラスチック材
の平均粒径は、９０〜１，０００μｍ、好ましくは１５
０〜６００μｍの範囲のものとする。
状多孔質体は、それぞれ平均粒径の異なる粉末の熱可塑
性プラスチック材を焼結成形することにより、得ること
ができる。例えば、比較的小さな孔径の中空筒状多孔質
体を形成するために用いられるプラスチック材の平均粒
径は、５μｍ〜９０μｍの範囲のもの、好ましくは１０
μｍ〜４０μｍとし、また、比較的大きな孔径の中空筒
状多孔質体を形成するために用いられるプラスチック材
の平均粒径は、９０〜１，０００μｍ、好ましくは１５
０〜６００μｍの範囲のものとする。
【００３０】流体が流入する側に、比較的大きな孔径の
中空筒状多孔質体を配設した場合、流体内に含有する比
較的大なる微粒子を、比較的大きな孔径の中空筒状多孔
質体によっていち早く捕集し、次いで比較的小なる微粒
子を、比較的小さな孔径の中空筒状多孔質体によって捕
集する。
中空筒状多孔質体を配設した場合、流体内に含有する比
較的大なる微粒子を、比較的大きな孔径の中空筒状多孔
質体によっていち早く捕集し、次いで比較的小なる微粒
子を、比較的小さな孔径の中空筒状多孔質体によって捕
集する。
【００３１】本発明の脈動減衰装置１１は、上記のよう
な中空筒状多孔質体１３を用いて、例えば、図２に示す
ように流体の流入口１５及び流出口１７を有するケーシ
ング１９内に配設され、中空筒状多孔質体１３の筒状部
を形成する壁部を流体が通過するように構成され、使用
される。図３に示す中空円筒状多孔質体１３ａと中空ひ
だ付き筒状多孔質体１３ｂとを組み合わせたような二重
管構造の中空筒状多孔質体１３も同様に構成し得るのは
いうまでもない。なお、符号１６は中空筒状多孔質体１
３の各端部を閉じる閉塞板である。
な中空筒状多孔質体１３を用いて、例えば、図２に示す
ように流体の流入口１５及び流出口１７を有するケーシ
ング１９内に配設され、中空筒状多孔質体１３の筒状部
を形成する壁部を流体が通過するように構成され、使用
される。図３に示す中空円筒状多孔質体１３ａと中空ひ
だ付き筒状多孔質体１３ｂとを組み合わせたような二重
管構造の中空筒状多孔質体１３も同様に構成し得るのは
いうまでもない。なお、符号１６は中空筒状多孔質体１
３の各端部を閉じる閉塞板である。
【００３２】熱可塑性プラスチック材を焼結成形してな
る多孔質層よりなる中空筒状多孔質体で構成することに
より、脈動が防止あるいは減衰できる理由は定かでない
が、処理液が中空筒状多孔質体を通過する過程におい
て、流路長さが不均一になることによって、そのエネル
ギーが分散干渉されて平準化されることによるものと推
定される。したがって、多孔質体を複合した場合は、そ
の構成される多孔質体−間隙−多孔質体による流路面積
の変化と多数の小孔の存在によって一層その平準化が増
長されるものと推定される。
る多孔質層よりなる中空筒状多孔質体で構成することに
より、脈動が防止あるいは減衰できる理由は定かでない
が、処理液が中空筒状多孔質体を通過する過程におい
て、流路長さが不均一になることによって、そのエネル
ギーが分散干渉されて平準化されることによるものと推
定される。したがって、多孔質体を複合した場合は、そ
の構成される多孔質体−間隙−多孔質体による流路面積
の変化と多数の小孔の存在によって一層その平準化が増
長されるものと推定される。
【００３３】
〔実施例１〕容量７０Ｌの水槽、輸送能力２０Ｌ／ｍｉ
ｎの送液ポンプＰを準備し、水槽の下流（吐出）側に内
径２０ｍｍの配管を介在させて送液ポンプＰを設置し、
その送液ポンプＰの下流（吐出）側に、配管を介在させ
て本発明の脈動減衰装置１１を配設し、この脈動減衰装
置１１の下流（吐出）側に、配管を介在させて水槽の上
流（流入）側を連結し、図１に示すような送液処理装置
の循環経路を形成した。
ｎの送液ポンプＰを準備し、水槽の下流（吐出）側に内
径２０ｍｍの配管を介在させて送液ポンプＰを設置し、
その送液ポンプＰの下流（吐出）側に、配管を介在させ
て本発明の脈動減衰装置１１を配設し、この脈動減衰装
置１１の下流（吐出）側に、配管を介在させて水槽の上
流（流入）側を連結し、図１に示すような送液処理装置
の循環経路を形成した。
【００３４】上記の脈動減衰装置１１は、次のようにし
て準備した。平均粒径が３５０μｍで、ＭＦＲが０．０
１以下、分子量６００万の超高分子量ポリエチレンを、
先端部に中空筒状多孔質体の外径が７０．０ｍｍ、内径
が５５．０ｍｍとなるような円筒状開口を有する口金を
設けたコニカル式押出機で押し出し、溶融分散粒子の相
互間溶着をその口金で行い、気孔率２３ｖｏｌ％の中空
円筒状多孔質体を得た。
て準備した。平均粒径が３５０μｍで、ＭＦＲが０．０
１以下、分子量６００万の超高分子量ポリエチレンを、
先端部に中空筒状多孔質体の外径が７０．０ｍｍ、内径
が５５．０ｍｍとなるような円筒状開口を有する口金を
設けたコニカル式押出機で押し出し、溶融分散粒子の相
互間溶着をその口金で行い、気孔率２３ｖｏｌ％の中空
円筒状多孔質体を得た。
【００３５】この中空円筒状多孔質体１３を使用して図
２に示すような脈動減衰装置１１を作成した。この脈動
減衰装置１１の評価は、前記した循環経路の送液ポンプ
Ｐと脈動減衰装置１１間及び脈動減衰装置１１と水槽間
に各々読取り式の圧力計を設置し、送液ポンプＰで水を
輸送能力５Ｌ／ｈｒで送水して、圧力計の目盛を読取り
脈動減衰装置１１通過前の圧力と脈動減衰装置１１通過
後の圧力とから減衰率を算出して、評価した。
２に示すような脈動減衰装置１１を作成した。この脈動
減衰装置１１の評価は、前記した循環経路の送液ポンプ
Ｐと脈動減衰装置１１間及び脈動減衰装置１１と水槽間
に各々読取り式の圧力計を設置し、送液ポンプＰで水を
輸送能力５Ｌ／ｈｒで送水して、圧力計の目盛を読取り
脈動減衰装置１１通過前の圧力と脈動減衰装置１１通過
後の圧力とから減衰率を算出して、評価した。
【００３６】〔実施例２〕成形用金型として、星型筒状
の外表面を有する内型１個と、星型筒状の内表面を有す
る外型１個を準備する。その内型の外径は外型の内径よ
り３ｍｍ小さいものとする。先ず、内型を外型内に挿入
し、外型と内型との間に均一に３ｍｍの間隙が形成され
るように設置する。次いで、その間隙内に、平均粒径が
６０μｍで、ＭＦＲが０．０１以下、分子量４００万の
超高分子量ポリエチレンを充填し、これを１６０〜２２
０℃の温度の加熱炉内で３０〜６０分加熱焼結成形し、
外径が５４ｍｍ、内径が２５ｍｍの気孔率３８ｖｏｌ％
の、図３に示すのと同様な中空ひだ付き筒状多孔質体１
３ｂを得た。この中空ひだ付き筒状多孔質体１３ｂを実
施例１の中空円筒状多孔質体内に挿入して図３に示すの
と同様な中空筒状多孔質体１３を得、図２に示すのと同
様な脈動減衰装置１１を作成した。得られた脈動減衰装
置１１を実施例１と同様に図１に示す送液処理装置の循
環経路に配設した。
の外表面を有する内型１個と、星型筒状の内表面を有す
る外型１個を準備する。その内型の外径は外型の内径よ
り３ｍｍ小さいものとする。先ず、内型を外型内に挿入
し、外型と内型との間に均一に３ｍｍの間隙が形成され
るように設置する。次いで、その間隙内に、平均粒径が
６０μｍで、ＭＦＲが０．０１以下、分子量４００万の
超高分子量ポリエチレンを充填し、これを１６０〜２２
０℃の温度の加熱炉内で３０〜６０分加熱焼結成形し、
外径が５４ｍｍ、内径が２５ｍｍの気孔率３８ｖｏｌ％
の、図３に示すのと同様な中空ひだ付き筒状多孔質体１
３ｂを得た。この中空ひだ付き筒状多孔質体１３ｂを実
施例１の中空円筒状多孔質体内に挿入して図３に示すの
と同様な中空筒状多孔質体１３を得、図２に示すのと同
様な脈動減衰装置１１を作成した。得られた脈動減衰装
置１１を実施例１と同様に図１に示す送液処理装置の循
環経路に配設した。
【００３７】〔比較例〕脈動減衰装置を設けない場合
の、図１に示す循環経路における、送液ポンプＰの吐出
側圧力を圧力計の目盛で読取った。
の、図１に示す循環経路における、送液ポンプＰの吐出
側圧力を圧力計の目盛で読取った。
【００３８】
【表１】
【００３９】
【発明の効果】本発明によれば、送液ポンプの吐出側に
生じる脈動が良好に減衰され、かつ流体中の微粒子物質
を分離濾過する機能が奏され、また、全体として小さい
スペースで設置することができ、しかも少ない工数でメ
ンテナンスができるため、簡便な脈動減衰装置として、
その効果はきわめて大きいものである。
生じる脈動が良好に減衰され、かつ流体中の微粒子物質
を分離濾過する機能が奏され、また、全体として小さい
スペースで設置することができ、しかも少ない工数でメ
ンテナンスができるため、簡便な脈動減衰装置として、
その効果はきわめて大きいものである。
【図１】本発明に係る脈動減衰装置１１を用いた送液処
理装置の概略図である。
理装置の概略図である。
【図２】本発明に係る脈動減衰装置１１の実施の形態を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図３】本発明に係る脈動減衰装置１１の中空筒状多孔
質体１３の構成例を示す平断面図である。
質体１３の構成例を示す平断面図である。
【図４】従来のウエハー処理システム等の送液処理装置
の概略図である。
の概略図である。
Ｐ 送液ポンプ １１ 脈動減衰装置 １３ 中空筒状多孔質体 １３ａ 中空円筒状多孔質体 １３ｂ 中空ひだ付き筒状多孔質体 １４ 間隙
フロントページの続き (72)発明者 土田 順一 東京都葛飾区西新小岩３丁目13番15号 ツ クバ株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 送液ポンプの吐出側に配設される脈動減
衰装置であって、該脈動減衰装置を熱可塑性プラスチッ
ク材を焼結成形してなる多孔質層よりなる中空筒状多孔
質体で構成したことを特徴とする脈動減衰装置。 - 【請求項２】 薬液あるいは処理液を入れる処理槽の排
液部と給液部とを配管類により接続した循環経路内に配
設される送液ポンプの吐出側に配設されることを特徴と
する請求項１記載の脈動減衰装置。 - 【請求項３】 平均粒径が３０〜７００μｍの粒子の熱
可塑性プラスチック材を焼結成形してなる多孔質層より
なる中空筒状多孔質体で構成したことを特徴とする請求
項１又は２記載の脈動減衰装置。 - 【請求項４】 気孔率が１０〜６０ｖｏｌ％の多孔質層
よりなる中空筒状多孔質体で構成したことを特徴とする
請求項１，２又は３記載の脈動減衰装置。 - 【請求項５】 中空円筒状多孔質体の内側に、中空ひだ
付き筒状多孔質体が前記中空円筒状多孔質体の内壁と前
記中空ひだ付き筒状多孔質体の外壁との間に間隙を設け
て挿入して組み合わされていることを特徴とする請求項
１，２，３又は４記載の脈動減衰装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27334097A JPH1194181A (ja) | 1997-09-22 | 1997-09-22 | 脈動減衰装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27334097A JPH1194181A (ja) | 1997-09-22 | 1997-09-22 | 脈動減衰装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1194181A true JPH1194181A (ja) | 1999-04-09 |
Family
ID=17526537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27334097A Pending JPH1194181A (ja) | 1997-09-22 | 1997-09-22 | 脈動減衰装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1194181A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005090745A (ja) * | 2003-09-17 | 2005-04-07 | Robert Bosch Gmbh | 圧力脈動を減衰させる装置及び当該装置を具備する液圧装置 |
| JP2006300102A (ja) * | 2005-04-15 | 2006-11-02 | Tlv Co Ltd | スチームトラップ |
| FR2895059A1 (fr) * | 2005-12-20 | 2007-06-22 | Hutchinson Sa | Attenuateur de bruit pour flexible hydraulique, flexible qui en est pourvu et systeme de direction assistee l'incorporant |
| JP2010111002A (ja) * | 2008-11-06 | 2010-05-20 | Jsr Corp | 樹脂組成物溶液の製造方法、及び製造装置 |
-
1997
- 1997-09-22 JP JP27334097A patent/JPH1194181A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005090745A (ja) * | 2003-09-17 | 2005-04-07 | Robert Bosch Gmbh | 圧力脈動を減衰させる装置及び当該装置を具備する液圧装置 |
| JP2006300102A (ja) * | 2005-04-15 | 2006-11-02 | Tlv Co Ltd | スチームトラップ |
| FR2895059A1 (fr) * | 2005-12-20 | 2007-06-22 | Hutchinson Sa | Attenuateur de bruit pour flexible hydraulique, flexible qui en est pourvu et systeme de direction assistee l'incorporant |
| EP1801486A1 (fr) * | 2005-12-20 | 2007-06-27 | Hutchinson | Atténuateur de bruit pour flexible hydraulique, flexible qui en est porvu et système de direction assistée l'incorporant |
| JP2010111002A (ja) * | 2008-11-06 | 2010-05-20 | Jsr Corp | 樹脂組成物溶液の製造方法、及び製造装置 |
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