JPH1187989A - Shield - Google Patents

Shield

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JPH1187989A
JPH1187989A JP24091097A JP24091097A JPH1187989A JP H1187989 A JPH1187989 A JP H1187989A JP 24091097 A JP24091097 A JP 24091097A JP 24091097 A JP24091097 A JP 24091097A JP H1187989 A JPH1187989 A JP H1187989A
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magnetic
amorphous
thin
present invention
ribbon
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JP24091097A
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Inventor
Shunsuke Arakawa
Yoshio Bizen
Atsushi Sunakawa
嘉雄 備前
淳 砂川
俊介 荒川
Original Assignee
Hitachi Metals Ltd
日立金属株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enhance shielding characteristics by arranging a plurality of thin magnetic bands made of an amorphous alloy or a nano-crystal alloy in parallel, while overlapping the end part thereof partially, and integrating them with resin and then arranging a conductor on one side. SOLUTION: A thin amorphous magnetic body is produced by liquid quenching method, e.g. single roll method, and heat treated at a temperature of crystallization point or above, thus microcrystallizing the thin amorphous magnetic body. In order to magnetically and electrically couple the thin magnetic band of amorphous alloy or nano-crystal alloy thus produced, a plurality of rows of thin magnetic bands are arranged in parallel, while overlapping the end part thereof partially and a resin sheet is bonded to one end thereof. Furthermore, a conductor of copper or aluminum is arranged on one side of the sheet. According to the arrangement, magnetic shielding and electromagnetic shielding characteristics can be exhibited sufficiently.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電子機器等に使用される磁気シールドおよび電磁波シールドとして用いることができるシールド部材に関するものである。 BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a shield member which can be used as a magnetic shield and electromagnetic shield are used in electronic equipment.

【0002】 [0002]

【従来の技術】近年電子機器が高度化し、かつ多数用いられるようになったために、漏れ磁界や電磁雑音等による機器の誤動作等が問題となっている。 And In recent years electronic devices have advanced, and for now many used, malfunction of equipment caused by a leakage magnetic field and electromagnetic noise and the like has become a problem. これを防止するためのシールド材としては、鉄箔あるいはパーマロイ等が有効であることが知られている。 The shielding material for preventing this, iron foil or permalloy and the like are known to be effective. これは軟磁性体の透磁率を利用したものであり、その値が大きいものほど効果が高い。 This is obtained by utilizing the permeability of the soft magnetic material, it is highly effective as those that value is large. これに対し、軟磁性体にアモルファス材料を用いることで、より大きな磁気シールド効果が得られることが、特開昭52−10660号、同55−2119 In contrast, by using an amorphous material in the soft magnetic material, that the larger magnetic shielding effect can be obtained, JP 52-10660, the 55-2119
6号等で示されている。 It is shown in No. 6 or the like. また特公平4−4393においては、Fe−Cu−Nb−Si−B系に代表されるようなナノ結晶合金が優れた軟磁性を示し、経時変化も小さいためシールド材等に適することが示されている。 In the KOKOKU 4-4393, Fe-Cu-Nb-Si-B system indicates nanocrystalline alloy excellent soft magnetic typified, to be suitable for aging is also small because the shielding material such as shown ing.

【0003】また登録特許公報第2591586号あるいは第2591585号に記載されるように、お互いに並行に配置したアモルファスリボンの端面を突き合わせ平面積を確保し、さらに銅等の金属箔を積層して、シールド材も提案されている。 [0003] As described in the registration Patent Publication Nos 2591586 or No. 2591585, to ensure planar area abutting the end surface of the amorphous ribbon arranged in parallel to each other, and further stacking a metal foil such as copper, shielding material has also been proposed.

【0004】 [0004]

【発明が解決しようとする課題】アモルファス合金およびナノ結晶合金は、リボン状もしくは粉末に製造されるため、そのままでは大面積のシールド部材を直接得ることができない。 [0005] Amorphous alloys and nanocrystalline alloys, because it is produced in ribbon or powder, it can not be obtained shielding member having a large area directly as it is. 面積を大きくする技術としては、上述したリボンを並行に配置する方法や粉末を樹脂で固めてシート状に成形する方法がある。 As a technique for increasing the area, there is a method of forming into a sheet or a method powder of placing in parallel a ribbon described above with hardened with resin. しかし、粉末と樹脂とで成形する方法は、磁性材料を粒子化したことによって、 However, a method of molding by the powder and the resin, by the particles of the magnetic material,
各粒子における反磁界の影響が高くなり、磁気シールド特性は十分でない。 Effect of the demagnetizing field is increased in each particle, magnetic shielding properties are not sufficient.

【0005】また,リボンを並行につき合わせて配置する方法は、リボンの幅の寸法精度およびリボンの端面が完全な垂直断面ではないことから、並行につき合わせたリボン同士はほとんど接触しておらず、各リボンの磁気的あるいは電気的なつながりが弱いため、十分なシールド効果が得られないという問題が生ある。 Further, a method of placing the combined per parallel ribbon, since the dimensional accuracy and the end face of the ribbon width of the ribbon is not a complete vertical cross-section, the ribbon between the combined per concurrently hardly contact, is weak magnetic or electrical connection of the ribbon, there is raw problem that sufficient shielding effect can not be obtained. 本発明の目的は、上述した問題点に鑑み、アモルファスおよびナノ結晶合金のシールド特性を充分に発揮できる新しい構成のシールド部材を提供することである。 An object of the present invention is to provide a shield member of a new structure in view of the problems described above, it can be sufficiently exhibited shielding properties of amorphous and nanocrystalline alloys.

【0006】 [0006]

【課題を解決するための手段】本発明者は、並行に配したリボン状のアモルファスあるいはナノ結晶合金を、単純につき合わせるのではなく、一部重ね合わせる構成とし樹脂により一体化すれば、従来リボン間に存在した空隙により発生した磁気的あるいは電気的なギャップのために劣化したシールド特性を改善できることを見いだし本発明に到達した。 The present inventors SUMMARY OF THE INVENTION may, ribbon like amorphous or nanocrystalline alloy arranged in parallel, instead of simply butted, if integrated by a structure of superimposing part resin, conventional ribbon have reached the finding present invention can improve the shielding properties degraded because of the magnetic or electrical gap generated by voids that existed between.

【0007】すなわち本発明は、アモルファス合金もしくはナノ結晶合金よりなる複数条の磁性薄帯同士が、端部を部分的に重ね合わされ、かつ並行に配置され、樹脂により一体化しており、その少なくとも一方に、導電体を有することを特徴とするシールド部材である。 That is, the present invention provides magnetic ribbon between the plural rows consisting of an amorphous alloy or nanocrystalline alloy, partially overlapped ends, and are arranged in parallel, are integrated by the resin, the at least one to a shield member and having a conductor.

【0008】 [0008]

【発明の実施の形態】上述したように、本発明において重要な特徴の一つは、リボン同士を重ね合わせたことにある。 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION As discussed above, an important feature in the present invention is that the superposition of the ribbon together. 重ねられたリボンは、磁気的および電気的に接触している。 Ribbon superimposed are magnetically and electrically contact. したがって、磁気シールドおよび電磁シールドとして、とらえた磁束あるいは電磁波の漏洩部がなくなるという利点がある。 Therefore, as the magnetic shield and electromagnetic shield, there is an advantage that leakage of the captured flux or electromagnetic waves is eliminated. 特に100μm以下の薄帯であるアモルファスおよびナノ結晶材は、磁気シールドの用途では、薄いためにシールドとして磁束を通す有効断面積を確保し難く、空間が有ると磁束が漏洩しやすいため,重ね合わせ部分の存在は必要である。 In particular, amorphous and nanocrystalline materials are the following ribbon 100 [mu] m, the magnetic shield applications, difficult to secure the effective cross-sectional area through which magnetic flux as a shield for thin, and is easily leaked magnetic flux when space is present, the overlay the presence of the part is required. なお重ね合わせ形態としては、図2に示すように、波状に重ね合わせると、リボンを一方向から順に並べやすい。 Note The overlay mode, as shown in FIG. 2, when superimposed on the wave, easily arranged ribbon from one direction in order. また、図3 In addition, FIG. 3
に示すように千鳥状に重ね合わせても良い。 It may be superimposed in a staggered manner as shown in FIG.

【0009】さらに本発明においては、樹脂にて一体化する。 [0009] Further, in the present invention it is integrated with the resin. 100μm以下の薄帯においては、重ね合わせ部分があっても、ポリエチレンテレフタレート(PET) In the following ribbon 100 [mu] m, even with overlapping portions, polyethylene terephthalate (PET)
や塩化ビニルなどの可塑性の樹脂で覆うことによって、 By covering a plastic resin, such as and vinyl chloride,
重ね合わせの段差を緩和して、十分な可撓性を有することができる。 To relax the step of superposition can have sufficient flexibility. もちろん、磁性薄帯と樹脂の間に接着剤を介しても良い。 Of course, it may be via an adhesive between the magnetic ribbon and a resin. また、本発明で使用する樹脂の厚さは、 The thickness of the resin used in the present invention,
可撓性を確保するためには、500μm以下の厚さであることが好ましく、重ね合わせの段差を吸収するには、 To ensure flexibility is preferably a thickness of less than 500 [mu] m, to absorb the level difference of superposition,
磁性薄帯の厚さより厚いことが望ましい。 It is desirable thicker than the thickness of the magnetic ribbon.

【0010】本発明でいうナノ結晶材というのは、実質的に100nm以下の微細結晶で構成される材料である。 [0010] because nanocrystalline material in the present invention is a material composed of substantially 100nm or less fine crystals. 具体的には、Fe−Cu−Nb−Si−B系に代表されるbccFeの微細結晶でなる材料である。 Specifically, a material made of fine crystals of bccFe typified by Fe-Cu-Nb-Si-B system. このようなナノ結晶材は、熱処理により結晶化しているため、 Since such nanocrystals material is crystallized by heat treatment,
アモルファス材より脆く、取り扱いが難しいという問題がある。 Brittle than amorphous material, there is a problem that it is difficult to handle. 本発明のように、樹脂と一体化することにより、ナノ結晶材に可撓性を持たせることができ、シールド材としての曲げ加工等の取り扱いを改善することができる。 As in the present invention, by integrating a resin, can have flexibility in nanocrystalline material, it is possible to improve the handling of the bending or the like as the shielding material.

【0011】本発明のシールド部材は、次のような方法で製造することができる。 [0011] The shield member of the present invention can be produced by the following method. まず、単ロール法などの液体急冷法によりアモルファス薄帯を作製する。 First, a amorphous ribbon by a liquid quenching method such as single roll method. 次いでアモルファス合金はこのままの状態で使用することができるが、より優れた軟磁性を得るために、結晶化温度以下で熱処理しても良い。 Then Amorphous alloys can be used in this state, in order to obtain a better soft magnetism may be heat-treated at the crystallization temperature or less. 一方、ナノ結晶材では、アモルファス薄帯を作製した後、結晶化温度以上で熱処理し微結晶化させる。 On the other hand, the nanocrystalline material, after forming the amorphous ribbon, are finely crystallized heat-treated at the crystallization temperature or higher. このようにして得られたアモルファス合金もしくはナノ結晶合金の磁性薄帯を磁気的および電気的に結合できるように、端部を部分的に重ね合わせて、並列に複数条ならべ、その少なくとも一方に樹脂製のシートを接着する。 In this way, the magnetic ribbon of an amorphous alloy or nano-crystalline alloy obtained to allow magnetic and electrically coupled by an end portion partially overlapping, base if multiple conditions in parallel, at least one of the resin bonding the manufacturing of the sheet. また、本発明において樹脂は一層である必要はなく、接着剤となる樹脂と補強のための樹脂の組み合わせのように、多層化しても良い。 Further, in the present invention resin need not be more, as in the combination of resins for reinforcing a resin as a bonding agent may be multilayered.

【0012】本発明のもう一つの重要な特徴は、シートの少なくとも一方の面に、銅またはアルミ等の導電体を配置することである。 [0012] Another important feature of the present invention, on at least one surface of the sheet, is to place a conductor such as copper or aluminum. これは、アモルファス合金もしくはナノ結晶合金の電気抵抗は大きく、高周波数帯域での電磁波に対し、上述した磁性薄帯だけでは十分なシールド効果が得られにくい場合がある。 This electrical resistance of the amorphous alloy or nano-crystalline alloy are large, relative to the electromagnetic waves in a high frequency band, only magnetic ribbon described above in some cases sufficient shielding effect is difficult to obtain. そのため本発明では、高周波数帯域での電磁シールド特性に優れた良導体を複合化することで、磁気シールド特性と電磁シールド特性をより高める構成としたものである。 Therefore, in the present invention, by compounding a good conductor to the electromagnetic shielding characteristics at high frequency band, is obtained by a more increase a magnetic shielding characteristics and the electromagnetic shielding characteristics. また、本発明で使用する導電体の厚さは、可撓性を確保するためには、200μm以下の厚さであることが好ましい。 The thickness of the conductor used in the present invention, in order to ensure the flexibility is preferably a thickness of less than 200 [mu] m.

【0013】 [0013]

【実施例】 【Example】

(実施例1)単ロール法により幅25mm、厚さ20μ (Example 1) 25mm wide by a single roll method, a thickness of 20μ
mのCu 1 −Nb 3 −Si 15 −B 6 (at%)、残部Fe Cu 1 -Nb 3 -Si 15 -B 6 of m (at%), the balance Fe
からなるアモルファスリボンを作製し、これを550℃ To prepare an amorphous ribbon consisting of, this 550 ℃
で1時間熱処理して、100nm以下のbccFeの微細結晶でなるナノ結晶材リボンを得た。 In heat treated for 1 hour to obtain a nanocrystalline material ribbons made in the following bccFe microcrystalline 100 nm. ついで、磁気的、電気的に結合するように、図2に示すように重ね合わせて複数条並列にならべ、接着剤を用いて、片面全体に厚さ75μmの塩化ビニル製の樹脂シートを接着し、 Then, as magnetically, electrically coupled, by overlapping as shown in FIG. 2 lined in plural rows parallel, using an adhesive, to adhere the resin sheet made of vinyl chloride having a thickness of 75μm one entire surface ,
もう一方の面全体を覆うように、広幅の厚さ35μmの銅箔を接着し、300mm×300mmの大きさのシールド部材となるシートを作製した。 So as to cover the entire other surface, bonding a copper foil of wide thickness 35 [mu] m, to prepare a sheet comprising a shield member in the size of 300 mm × 300 mm. このシートの断面構造の模式図を図1に示す。 It shows a schematic diagram of a cross sectional structure of the sheet in FIG. 1. このシートから内径33m An inner diameter of 33m from the sheet
m、外径45mmのリング試料を採取し、磁気シールド材の主要な周波数帯域である50Hzから10kHzにおける初透磁率を測定した。 m, were taken ring samples having an outer diameter of 45 mm, was measured initial permeability at 10kHz from 50Hz is the primary frequency band of the magnetic shield material.

【0014】また比較例として、上述した実施例のナノ結晶材リボンを用い、図4に示すようにつき合わせて複数条並列にならべ、実施例と同様に接着剤を用いて、片面全体に厚さ75μmの塩化ビニル製のシートを接着し、もう一方の面全体を覆うように、広幅の厚さ35μ [0014] As a comparative example, using a nanocrystalline material ribbons of the above-described embodiment, arranging the plural rows parallel butted as shown in FIG. 4, with an adhesive in the same manner as in Example, the thickness of the entire one surface adhering a 75μm sheet made of vinyl chloride, so as to cover the entire other surface, wide thickness 35μ
mの銅箔を接着し、300mm×300mmの大きさのシートを作製した。 Bonding a copper foil of m, to prepare a sheet size of 300 mm × 300 mm. このシートから同様のリング試料を採取し初透磁率を測定した。 It was measured collected initial permeability similar ring samples from this sheet. また、実施例、比較例ともに、コイルによって上記300mm×300mmのシートに、1Gの直流磁界を印可した際、接合部に発生する漏洩磁束をガウスメーターを用いて測定した。 In Examples, in both Comparative Examples, the sheet of the 300 mm × 300 mm by a coil, when the application of a DC magnetic field of 1G, and the leakage magnetic flux generated at the junction was measured using a gauss meter. 結果を表1に付記する。 The results are appended to Table 1. さらに伝達インピーダンス法によって、 The further transfer impedance method,
1MHzから1GHzまでの電磁波シールド効果を測定した結果を図5に示す。 The results of measurement of the electromagnetic wave shielding effect to 1GHz from 1MHz shown in FIG.

【0015】 [0015]

【表1】 [Table 1]

【0016】表1から明らかなように、本発明のシールド部材は、重ね合わせ部を形成することにより、比較例よりも高い透磁率と低い漏洩磁束を有しており、磁気シールド材として優れたものとなった。 As apparent from Table 1, the shield member of the present invention, by forming the overlay part has a high magnetic permeability and low leakage flux than Comparative Example was excellent as a magnetic shield material It became a thing. 加えて、図5から本発明品は比較例に比べ、電磁波シールド材としても優れたものとなった。 In addition, the present invention product from 5 compared with the comparative example became also excellent as an electromagnetic wave shielding material. また、本発明のシールド部材は、重ね合わせ部により、電気的に結合した一体のシートとなっていることを確認した。 The shield member of the present invention, the superposed section, it was confirmed that together sheets electrically coupled. 本発明に係るシールド部材は、曲げや切断が可能である。 Shielding member according to the present invention is capable of bending or cutting. 必要に応じて粘着層を表面に設けると、容易に装置等に電子機器等の必要箇所に貼り付けることが可能である。 When providing an adhesive layer on the surface if necessary, it can be pasted to the necessary portions, such as an electronic device to easily apparatus.

【0017】(実施例2)単ロール法により幅25m [0017] The width 25m (Example 2) a single roll method
m、厚さ25μmのFe 2 −Mn 2 −Cr 3 −Si 13 −B 9 m, a thickness of 25μm Fe 2 -Mn 2 -Cr 3 -Si 13 -B 9
(at%)、残部Coからなるアモルファスリボンを作製し、450℃で1時間熱処理した。 (At%), to prepare an amorphous ribbon and the balance Co, was heat-treated for 1 hour at 450 ° C.. これを図2に示すように、磁気的、電気的に結合するように複数条並列にならべ、その片面に上記ポリエチレンテレフタレートを接着し、もう片方の面全体を覆うように、広幅の厚さ3 This, as shown in FIG. 2, magnetically, to electrically couple lined in plural rows parallel, adhered to the polyethylene terephthalate on one side, to cover the entire other surface, wide thickness 3
5μmのアルミ箔を接着し、400mm×800mmの大きさのシールド部材となるシートを作製した。 Bonding the aluminum foil 5 [mu] m, to prepare a sheet as the size of the shield member of 400 mm × 800 mm. このシートから内径33mm、外径45mmのリング試料を採取し、周波数50Hzから10kHzにおける初透磁率を測定した。 Inside diameter from the sheet 33 mm, the ring samples were taken of the outer diameter of 45 mm, it was measured initial permeability at 10kHz from the frequency 50 Hz.

【0018】また比較例として、上述した実施例のアモルファスリボンを用い、図4に示すようにつき合わせて複数条並列にならべ、上述の実施例と同様接着剤を用い、片面にポリエチレンテレフタレート、もう一方の面全体を覆うように、広幅の厚さ35μmのアルミ箔を張り合わせ、400mm×800mmの大きさのシートを作製し、同様のリング試料を採取し、50Hzから10 [0018] As a comparative example, an amorphous ribbon of the above-described embodiment, butted as shown in FIG. 4 lined in plural rows parallel, using the same adhesive as in the above example, polyethylene terephthalate on one side and the other on the other hand so as to cover the entire surface, laminated aluminum foil wide thickness 35 [mu] m, to prepare a sheet size of 400 mm × 800 mm, were taken the same ring samples, 10 from 50Hz
kHzにおける初透磁率を測定した。 The initial permeability in kHz was measured. また、実施例、比較例ともに、コイルによって発生直流磁界を印可した場合の接合部に発生する漏洩磁束を測定した。 In Examples, in both comparative examples, it was measured the leakage magnetic flux generated at the junction of the case of applying a generated DC magnetic field by the coils. 結果を表2 The results in Table 2
に付記する。 It is appended to. さらに伝達インピーダンス法によって、1 The further transfer impedance method, 1
MHzから1GHzまでの電磁波シールド効果を測定した結果を図6に示す。 The results of measurement of the electromagnetic wave shielding effect to 1GHz from MHz shown in FIG.

【0019】 [0019]

【表2】 [Table 2]

【0020】表2から明らかなように、本発明のアモルファス材を用いたシールド部材は、重ね合わせ部を形成することにより、実施例1のナノ結晶材よりもやや劣るものの優れた初透磁率と少ない漏洩磁束を有しており、 [0020] As is clear from Table 2, the shield member using an amorphous material of the present invention, by forming the overlapping portions, and the initial permeability was good although slightly poorer than nanocrystals material of Example 1 has a small leakage magnetic flux,
磁気シールド材として優れたものとなった。 It became excellent as a magnetic shield material. さらに図6 Furthermore, FIG. 6
から電磁波シールド材としても優れたものとなった。 It became but also excellent as an electromagnetic wave shielding material from. また、本発明のシールド部材は、重ね合わせ部により、電気的に結合した一体のシートとなっていることを確認した。 The shield member of the present invention, the superposed section, it was confirmed that together sheets electrically coupled.

【0021】上述したように、アモルファス材を用いた本発明のシールド材は、上述したナノ結晶材を用いた場合と同様に高い透磁率と漏洩磁束の少なさに加えて、電気的に一体となっているため、比較例に比べて、磁気シールドおよび電磁波シールド特性は優れたものとなる。 [0021] As described above, the shielding material of the present invention using an amorphous material, in addition to lack of leakage flux between as in the case of using the nano-crystal material described above high magnetic permeability, electrically integral since the ringing, as compared with the comparative example, the magnetic shield and electromagnetic shielding properties becomes excellent.
また本発明に係るシールド部材は、曲げや切断が可能である。 The shielding member according to the present invention is capable of bending or cutting. 必要に応じて粘着層を表面に設けると、容易に装置等に電子機器等の必要箇所に貼り付けることが可能である。 When providing an adhesive layer on the surface if necessary, it can be pasted to the necessary portions, such as an electronic device to easily apparatus.

【0022】 [0022]

【発明の効果】本発明によれば、重ね合わせ部を形成することにより、アモルファスおよびナノ結晶材料のシールド特性を充分に発揮できる新しい構成のシールド部材を提供することができ、その工業的価値は大きい。 According to the present invention, by forming the overlapping portions, shielding properties of amorphous and nanocrystalline materials can provide a sufficiently shield member of a new structure which can exert, its industrial value large.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明のシールド部材の構成を説明するための模式図である。 Is a schematic diagram for explaining the configuration of a shielding member of the present invention; FIG.

【図2】本発明のシールド部材の重ね合わせ部の一例を示す図である。 Is a diagram illustrating an example of a superposed section of the shielding member of the present invention; FIG.

【図3】本発明のシールド部材の重ね合わせ部の別の例を示す図である。 3 is a diagram showing another example of the superposed section of the shielding member of the present invention.

【図4】比較例のシールド部材の構成例を示す図である。 4 is a diagram showing a configuration example of a shield member of a comparative example.

【図5】本発明例および比較例の実施例を示す図である。 5 is a diagram showing an embodiment of the present invention examples and comparative examples.

【図6】本発明例および比較例の実施例を示す図である。 6 is a diagram showing an embodiment of the present invention examples and comparative examples.

Claims (1)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 アモルファス合金もしくはナノ結晶合金よりなる複数条の磁性薄帯同士が、端部を部分的に重ね合わされ、かつ並行に配置され、樹脂により一体化しており、その少なくとも一方の面に導電体を配置したことを特徴とするシールド部材。 1. A magnetic ribbon between the plural rows consisting of an amorphous alloy or nanocrystalline alloy, partially overlapped ends, and are arranged in parallel, are integrated by a resin, on at least one surface shielding member, characterized in that a conductor.
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