JPH1186597A - Semiconductor memory - Google Patents

Semiconductor memory

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JPH1186597A
JPH1186597A JP9240892A JP24089297A JPH1186597A JP H1186597 A JPH1186597 A JP H1186597A JP 9240892 A JP9240892 A JP 9240892A JP 24089297 A JP24089297 A JP 24089297A JP H1186597 A JPH1186597 A JP H1186597A
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JP
Japan
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memory cell
memory
normal operation
bit lines
cells
Prior art date
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Pending
Application number
JP9240892A
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Japanese (ja)
Inventor
Shigeru Yamaoka
茂 山岡
Kazuhiro Sakami
和弘 酒見
Isato Ikeda
勇人 池田
Yutaka Ikeda
豊 池田
Masahiro Orito
匡広 折戸
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Engineering Co Ltd
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Engineering Co Ltd
Mitsubishi Electric Corp
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Publication of JPH1186597A publication Critical patent/JPH1186597A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To efficiently execute a burn-in test by providing a circuit which applys a mutually different potential in a bit line of a memory cell which executes reading/writing of data at the time of an ordinary operation and the bit line of a memory cell which is adjacent to the memory cell and is not used at the time of the ordinary operation. SOLUTION: When a signal S2 of L is applied to gate electrodes of switching transistor 12, 13 at the time of the burn-in test, a gate is opened and a negative voltage S1 is applied to the bit lines 6, 8. The bit lines 7, 9 are grounded and becomes zero potential, a prescribed potential difference is provided between mutually adjacent bit lines, a stress is loaded between the memory cells positioned between respective bit lines. Therefore, the generation of a defect between respective memory cells is accelerated, whereby a defect detecting ability at the time of executing the test is improved. Also, since the potential of respective bit lines are switched at one time by the use of wirings 10, 11, the time required for the burn-in test is reduced.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体メモリ、特
にDRAMに施すバーンインテストに関するものであ
る。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a burn-in test performed on a semiconductor memory, particularly a DRAM.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、DRAM等の半導体メモリの
製造の最終工程には、製品の検査及び信頼性の試験など
を行う検査工程が設けられている。この検査工程の中
で、固有の欠陥及び潜在的な不良原因を持った半導体メ
モリを除去するためのスクリーニング試験として、バー
ンインテストが実行されている。このバーンインテスト
は、固有欠陥のある半導体デバイス、あるいは製造上の
ばらつきから、時間とストレスに依存する故障を起こす
デバイスを取り除く為に行われるテストである。
2. Description of the Related Art Conventionally, the final step of manufacturing a semiconductor memory such as a DRAM includes an inspection step for inspecting a product and a reliability test. In this inspection process, a burn-in test is performed as a screening test for removing a semiconductor memory having an inherent defect and a potential cause of failure. The burn-in test is a test performed to remove a semiconductor device having an intrinsic defect or a device that causes a failure depending on time and stress from manufacturing variations.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】DRAM等の半導体メ
モリのバーンインテストの実行時には、外部より温度及
び電圧ストレスを加えてテスト時間の短縮を図ることが
行われている。しかし、従来の半導体メモリにおいて、
隣接するメモリセル間、及び、ビットライン間に電位差
を与えてテストを加速するには、半導体メモリの型別に
バーンイン装置を改造したり、テストの処理プログラム
を細工する等の手間を要するといった問題がある。上記
問題を解決するため、SRAMの加速試験時に、隣接す
るビット線間に外部から直接電位ストレスを与えるスタ
ティック型のメモリが提案されている(特開昭62−2
02396号公報)。しかし、当該メモリでは、チップ
内部のビット線に外部より直接電位を印加するため特別
な外部端子を設ける必要が生じ、回路構成が複雑になる
といった問題がある。
When a burn-in test is performed on a semiconductor memory such as a DRAM, a test time is shortened by applying an external temperature and voltage stress. However, in a conventional semiconductor memory,
In order to accelerate the test by giving a potential difference between adjacent memory cells and between bit lines, there is a problem that a burn-in device needs to be modified for each type of semiconductor memory, and a troublesome work such as modifying a test processing program is required. is there. In order to solve the above problem, there has been proposed a static memory in which a potential stress is directly applied from the outside between adjacent bit lines during an acceleration test of an SRAM (Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 62-2).
02396). However, such a memory has a problem that a special external terminal needs to be provided for directly applying a potential to the bit line inside the chip from the outside, and the circuit configuration is complicated.

【0004】また、従来のDRAM等の半導体メモリに
は、通常の動作時にデータの読み書きを行うメモリセル
(以下、単にメモリセルという)の隣に、ダミーセルや
スペアセルを設けたレイアウトを採用するものが知られ
ている。ダミーセルは、ワードラインが”L”に固定さ
れている等、実際には使用されないセルである。また、
スペアセルは、メモリセルアレイ中に存在する欠陥セル
の代替セルとして用意されるセルである。当該レイアウ
トを採用する半導体メモリのバーンインテストでは、メ
モリセルアレイの端に位置するメモリセルと、当該メモ
リセルの隣にあるダミーセルとの間の不良も検出するの
が望ましい。
[0004] Some conventional semiconductor memories such as DRAMs adopt a layout in which dummy cells and spare cells are provided next to memory cells (hereinafter simply referred to as memory cells) for reading and writing data during normal operation. Are known. A dummy cell is a cell that is not actually used, such as a word line fixed at “L”. Also,
The spare cell is a cell prepared as a substitute cell for a defective cell existing in the memory cell array. In a burn-in test of a semiconductor memory employing the layout, it is desirable to detect a defect between a memory cell located at an end of a memory cell array and a dummy cell adjacent to the memory cell.

【0005】しかし、上記するように、ダミーセルは、
ワードラインが”L”に固定されているため、データの
書き込みを行うことができない。また、欠陥セルの検出
等を目的とするバーンインテストの実行前の段階では、
スペアセルにはアドレスが与えられていないため、任意
のスペアセルにデータの書き込みを行うことはできな
い。このため、ダミーセルとスペアセルとの間、又は、
ダミーセルとメモリセルとの間には適切な電位差、即
ち、ストレスをかけることができず、十分なバーンイン
テストを行うことができなかった。
[0005] However, as described above, the dummy cell is
Since the word line is fixed at "L", data cannot be written. Before the burn-in test for detecting defective cells, etc.,
Since no address is given to the spare cell, data cannot be written to any spare cell. Therefore, between the dummy cell and the spare cell, or
An appropriate potential difference, that is, stress cannot be applied between the dummy cell and the memory cell, and a sufficient burn-in test cannot be performed.

【0006】そこで本発明は、通常の動作時にデータの
読み書きを行うメモリセルの隣に、スペアセルやダミー
セルを備えるレイアウトを採用する半導体メモリであっ
て、バーンインテストをより効率良く行うことのできる
構成を採用した半導体メモリを提供することを目的とす
る。
Accordingly, the present invention is directed to a semiconductor memory employing a layout having a spare cell and a dummy cell next to a memory cell for reading and writing data during a normal operation, and which is capable of performing a burn-in test more efficiently. An object of the present invention is to provide a semiconductor memory that has been adopted.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明の第1の半導体メ
モリは、通常の動作時にデータの読み書きを行うメモリ
セルの隣に、通常の動作時には使用しないメモリセルが
存在するレイアウトを採用する半導体メモリにおいて、
上記通常の動作時にデータの読み書きを行うメモリセル
のビットラインと、当該メモリセルの隣にある上記通常
の動作時には使用しないメモリセルのビットラインに、
互いに異なる電位を与える回路を設けることを特徴とす
る。
A first semiconductor memory according to the present invention employs a layout in which a memory cell not used during normal operation exists next to a memory cell for reading and writing data during normal operation. In memory,
A bit line of a memory cell that reads and writes data during the normal operation, and a bit line of a memory cell that is adjacent to the memory cell and is not used during the normal operation,
A circuit for providing different potentials is provided.

【0008】本発明の第2の半導体メモリは、上記第1
の半導体メモリであって、上記回路は、上記隣り合うメ
モリセルのビットラインの一方を基板に接続することを
特徴とする。
[0008] The second semiconductor memory of the present invention comprises the first semiconductor memory.
Wherein the circuit connects one of bit lines of the adjacent memory cells to a substrate.

【0009】本発明の第3の半導体メモリは、上記第1
の半導体メモリであって、上記回路は、上記隣り合うメ
モリセルのビットラインの一方をI/O線に接続するこ
とを特徴とする。
A third semiconductor memory according to the present invention includes the first semiconductor memory.
Wherein the circuit connects one of the bit lines of the adjacent memory cell to an I / O line.

【0010】本発明の第4の半導体メモリは、通常の動
作時にデータの読み書きを行うメモリセルの隣に、通常
の動作時には使用しないメモリセルが存在するレイアウ
トを採用する半導体メモリにおいて、上記通常の動作時
には使用しないメモリセルのワードラインに”H”の信
号を出力すると共に、当該メモリセルに接続されている
ビットラインに”H”及び”L”のデータ信号を出力す
る回路を備えることを特徴とする。
A fourth semiconductor memory according to the present invention is a semiconductor memory adopting a layout in which a memory cell not used during normal operation exists next to a memory cell for reading and writing data during normal operation. A circuit is provided which outputs an "H" signal to a word line of a memory cell that is not used during operation and outputs "H" and "L" data signals to a bit line connected to the memory cell. And

【0011】本発明の第5の半導体メモリは、通常の動
作時にデータの読み書きを行うメモリセルの隣に、通常
の動作時には使用しないメモリセルが存在するレイアウ
トを採用する半導体メモリにおいて、上記通常の動作時
には使用しないメモリセルのビットラインを所定の電位
に固定し、当該メモリセルの隣に存在する上記通常の動
作時にデータの読み書きを行うメモリセルのビットライ
ンに上記所定の電位とは異なる値の信号を書き込む回路
を備えることを特徴とする。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a semiconductor memory adopting a layout in which a memory cell not used during a normal operation exists next to a memory cell for reading and writing data during a normal operation. During operation, a bit line of a memory cell which is not used is fixed at a predetermined potential, and a bit line of a memory cell adjacent to the memory cell, which reads and writes data during the normal operation, has a different value from the predetermined potential. A circuit for writing a signal is provided.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION

(1)実施の形態1 図1は、実施の形態1にかかる半導体メモリであるDR
AMのメモリセルアレイ1周辺の構成を示すブロック図
である。データの書き込み又は読み出しを行うため、外
部よりアドレスの指定がなされると、行アドレスデコー
ダ2は、指定されたアドレスに基づいて所定のワードラ
インWLを選択する。また、列アドレスデコーダ3は、
指定されたアドレスに基づいて所定のビットラインBL
を選択する。各々選択されたワードラインWLとビット
ラインBLにより特定されるメモリセルMCがアクティ
ブになり、データの読み書きが行われる。データの読み
出し時には、メモリセルMCより読み出されたデータ
は、センスアンプ4により増幅された後に、I/Oライ
ン5を介して外部に出力される。
(1) First Embodiment FIG. 1 is a diagram showing a DR which is a semiconductor memory according to a first embodiment.
FIG. 2 is a block diagram illustrating a configuration around an AM memory cell array 1; When an address is specified from outside to write or read data, the row address decoder 2 selects a predetermined word line WL based on the specified address. Also, the column address decoder 3
A predetermined bit line BL based on a designated address
Select The memory cells MC specified by the respectively selected word line WL and bit line BL become active, and data read / write is performed. When reading data, the data read from the memory cell MC is amplified by the sense amplifier 4 and then output to the outside via the I / O line 5.

【0013】図2は、メモリセルアレイ1の内部構成を
示す図である。メモリセルアレイ1内には、センスアン
プ4a,4b,…、各センスアンプの両側に延在する各
一対のビットライン6と7,8と9,…、上記各ビット
ラインに交差する2本のダミーワードラインDWL1,
DWL2、及び、複数のワードラインWL1,WL2,
…を備える。なお、ダミーワードラインDWL1,DW
L2は接地されている。各ビットラインとダミーワード
ラインDWL1,DWL2とが交差する箇所には、ダミ
ーセルMC0,MC1,…が設けられており、各ビット
ラインとワードラインWL1,WL2,…が交差する箇
所には、通常の動作時にデータの読み書きを行うメモリ
セル(以下、単にメモリセルという)MC2,MC3,
…が順に配置されている。なお、複数のワードラインW
L1,WL2,…の一部をスペアセル用のワードライン
として使用する構成を採用しても良い。ここで、スペア
セルとは、メモリセルアレイ中に存在する欠陥セルの代
替セルとして用意されるセルである。また、ビットライ
ン6及び7をダミーのビットラインとしても良い。
FIG. 2 is a diagram showing the internal configuration of the memory cell array 1. In the memory cell array 1, sense amplifiers 4a, 4b,..., A pair of bit lines 6 and 7, 8, 9 and. Word lines DWL1,
DWL2 and a plurality of word lines WL1, WL2,
... Note that the dummy word lines DWL1, DW
L2 is grounded. Dummy cells MC0, MC1,... Are provided at locations where the respective bit lines intersect with the dummy word lines DWL1, DWL2, and at locations where the respective bit lines intersect with the word lines WL1, WL2,. Memory cells for reading and writing data during operation (hereinafter simply referred to as memory cells) MC2, MC3
... are arranged in order. Note that a plurality of word lines W
A configuration may be employed in which a part of L1, WL2,... Is used as a word line for a spare cell. Here, the spare cell is a cell prepared as a substitute cell for a defective cell existing in the memory cell array. Further, the bit lines 6 and 7 may be dummy bit lines.

【0014】本半導体メモリでは、上記構成のメモリセ
ルアレイに、図面左より奇数番目のビットラインに所定
の負の電圧S1を印加する配線10と、偶数番目のビッ
トラインを接地する配線11を備える。図示するビット
ライン6及び8への負の電圧S1の印加は、スイッチン
グトランジスタ12により制御される。また、図示する
ビットライン7及び9の接地は、スイッチングトランジ
スタ13により制御される。スイッチングトランジスタ
12及び13のゲート電極に印加される信号S2の値
は、通常、”H”の値をとり、バーンインテストの実行
時に、内部の制御回路又はバーンイン装置により”L”
に切り換えられる。
In the present semiconductor memory, the memory cell array having the above configuration is provided with a wiring 10 for applying a predetermined negative voltage S1 to odd-numbered bit lines from the left in the drawing and a wiring 11 for grounding even-numbered bit lines. The application of a negative voltage S1 to the illustrated bit lines 6 and 8 is controlled by a switching transistor 12. The grounding of the bit lines 7 and 9 shown in the figure is controlled by the switching transistor 13. The value of the signal S2 applied to the gate electrodes of the switching transistors 12 and 13 usually takes a value of “H”, and when a burn-in test is executed, the value of “L” is set by an internal control circuit or a burn-in device.
Is switched to.

【0015】”L”の信号S2がスイッチングトランジ
スタ12及び13のゲート電極に印加されると、ゲート
が開き、負の電圧S1がビットライン6及び8に与えら
れる。また、ビットライン7及び9は、接地され、零電
位となる。これにより互いに隣り合うビットライン間に
所定の電位差が設けられ、各ビットラインで挟まれる位
置にあるメモリセル間、例えば、ダミーセルMC0とダ
ミーセルMC1との間、ダミーセルMC1とメモリセル
MC2(メモリセルMC2がスペアセルの場合も同じで
ある。)との間、メモリセルMC2とMC3との間等に
ストレスがかけられる。これにより、各メモリセル間に
おける不良の発生が加速して、バーンインテストの実行
時における不良検出能力が向上する。また、本半導体メ
モリでは、配線10及び11を用いて各ビットラインの
電位を一度に切り換えるため、例えば、各ビット毎に順
にテストパターンのデータを書き込んでストレスを与え
る場合に比べて、バーンインテストに要する時間を短く
することができる。
When an "L" signal S2 is applied to the gate electrodes of the switching transistors 12 and 13, the gate opens and a negative voltage S1 is applied to the bit lines 6 and 8. Also, the bit lines 7 and 9 are grounded and become zero potential. As a result, a predetermined potential difference is provided between the adjacent bit lines, and between the memory cells located between the bit lines, for example, between the dummy cell MC0 and the dummy cell MC1, between the dummy cell MC1 and the memory cell MC2 (the memory cell MC2). Is the same as in the case of a spare cell.), Stress is applied between the memory cells MC2 and MC3 and the like. As a result, the occurrence of defects between the memory cells is accelerated, and the capability of detecting defects during execution of the burn-in test is improved. Further, in the present semiconductor memory, since the potential of each bit line is switched at a time using the wirings 10 and 11, for example, a test pattern data is sequentially written for each bit and a stress is applied to the bit line in comparison with a burn-in test. The required time can be shortened.

【0016】上記構成を採用することで、上記メモリセ
ルアレイの全てのメモリセル、即ち、メモリセル間だけ
でなく、メモリセルアレイの端に位置するメモリセル
(スペアセルを含む)とダミーセルとの間にもストレス
をかけることができ、適切なバーンインテストを行うこ
とができる。
By employing the above configuration, not only all the memory cells of the memory cell array, that is, not only between the memory cells but also between the memory cells (including the spare cells) located at the ends of the memory cell array and the dummy cells. Stress can be applied, and an appropriate burn-in test can be performed.

【0017】以下、上記の実施の形態1の半導体メモリ
の構成について、より具体的に説明する。図3は、図2
に示したダミーセルMC1及びメモリセルMC2のセル
構造を示す図である。DRAMのダミーセルMC1は、
一つのコンデンサ20と、一つのスイッチングトランジ
スタ21から構成される。ダミーセルMC1を構成する
スイッチングトランジスタ21のゲート電極には、ダミ
ーワードラインDWL2が接続されている。ダミーワー
ドラインDWL2は接地され、”L”レベルに維持され
ている。また、トランジスタ21のソース電極には、ビ
ットライン6が接続されている。一方、メモリセルMC
2は、一つのコンデンサ22と、一つのスイッチングト
ランジスタ23から構成される。メモリセルMC2を構
成するスイッチングトランジスタ23のゲート電極に
は、ワードラインWL1が接続されている。ワードライ
ンWL1は接地され、”L”レベルに維持されている。
また、トランジスタ23のソース電極には、ビットライ
ン7が接続されている。
Hereinafter, the configuration of the semiconductor memory of the first embodiment will be described more specifically. FIG. 3 shows FIG.
FIG. 3 is a diagram showing a cell structure of a dummy cell MC1 and a memory cell MC2 shown in FIG. The dummy cell MC1 of the DRAM is
It comprises one capacitor 20 and one switching transistor 21. The dummy word line DWL2 is connected to the gate electrode of the switching transistor 21 forming the dummy cell MC1. The dummy word line DWL2 is grounded and maintained at "L" level. The bit line 6 is connected to the source electrode of the transistor 21. On the other hand, the memory cell MC
2 includes one capacitor 22 and one switching transistor 23. The word line WL1 is connected to the gate electrode of the switching transistor 23 forming the memory cell MC2. Word line WL1 is grounded and maintained at "L" level.
The bit line 7 is connected to the source electrode of the transistor 23.

【0018】既に図2を用いて説明したように、ビット
ライン6には、負の電圧S1を印加する配線10が接続
されており、ビットライン7には、零電位を与える配線
11が接続されている。バーンインテストの実行時に
は、内部の制御回路又はバーンイン装置より”L”の信
号S2がスイッチングトランジスタ12及び13のゲー
ト電極に印加され、ビットライン6に負の電圧S1が印
加されると共に、ビットライン7の電位が零に設定され
る。これにより、ビットライン6及び7の間に電位差が
設けられ、ダミーセルMC1とメモリセルMC2との間
にストレスがかけられる。
As already described with reference to FIG. 2, the wiring 10 for applying the negative voltage S1 is connected to the bit line 6, and the wiring 11 for applying zero potential is connected to the bit line 7. ing. When the burn-in test is performed, an "L" signal S2 is applied to the gate electrodes of the switching transistors 12 and 13 from the internal control circuit or burn-in device, a negative voltage S1 is applied to the bit line 6, and a bit line 7 is applied. Is set to zero. As a result, a potential difference is provided between the bit lines 6 and 7, and stress is applied between the dummy cell MC1 and the memory cell MC2.

【0019】図3に示すように、製造工程において、ダ
ミーセルMC1及びメモリセルMC2の間に異物25が
挟まり、ダミーセルMC1及びメモリセルMC2がショ
ートすると、ビットライン6及び7に電流Iが流れる。
バーンインテストの実行時には、メモリセル間に流れる
電流Iの値をモニタすることで不良個所の検出を行うこ
とができる。
As shown in FIG. 3, in the manufacturing process, when foreign matter 25 is interposed between the dummy cell MC1 and the memory cell MC2 and the dummy cell MC1 and the memory cell MC2 are short-circuited, a current I flows through the bit lines 6 and 7.
During execution of the burn-in test, a defective portion can be detected by monitoring the value of the current I flowing between the memory cells.

【0020】なお、メモリセルアレイを構成する複数の
メモリセルの内、互いに隣接するメモリセルの少なくと
も一方のスイッチングトランジスタのゲート電極に印加
する電圧VGの値を、接地電位から0.2〜0.4V程
高めに設定することが好ましい。例えば、図4に示すよ
うに、ノーマリオン形のスイッチングトランジスタ23
のゲート電極に接続されているワードラインWL2の電
圧VGを接地電位から0.2〜0.4V程度高めに設定
する。これによりスイッチングトランジスタ23がオン
し易くなる。即ち、異物等によるメモリセル間のショー
ト時に電流Iが流れ易くなり、バーンインテストの実行
時における不良の検出精度を向上することができる。
The value of the voltage VG applied to the gate electrode of at least one of the switching transistors of the memory cells adjacent to each other among the plurality of memory cells constituting the memory cell array is 0.2 to 0.4 V from the ground potential. It is preferable to set a higher value. For example, as shown in FIG.
The voltage VG of the word line WL2 connected to the gate electrode is set to be higher than the ground potential by about 0.2 to 0.4 V. Thereby, the switching transistor 23 is easily turned on. That is, the current I easily flows when a short circuit occurs between the memory cells due to foreign matter or the like, and the accuracy of detecting a defect during execution of the burn-in test can be improved.

【0021】(2)実施の形態2 図5は、実施の形態2にかかる半導体メモリであるDR
AMのメモリセルの構成を示す図である。メモリセルア
レイ内には、センスアンプ40a,40b,…、これら
センスアンプより伸びる各一対のビットライン41と4
2,ビットライン43と44,…、上記各ビットライン
に交差する2本のダミーワードラインDWL3,DWL
4、及び、複数のワードラインWL3,WL4,…を備
える。なお、ダミーワードラインDWL3,DWL4は
接地されている。各ビットラインとダミーワードライン
DWL3,DWL4とが交差する箇所には、ダミーセル
MC0,MC1,…が設けられており、各ビットライン
とワードラインWL3,WL4が交差する箇所には、通
常の動作時にデータの読み書きを行うメモリセル(以
下、単にメモリセルという)MC6,MC7,…が順に
配置されている。なお、複数のワードラインWL3,W
L4,…の内の一部をスペアセル用のワードラインとし
て使用する構成を採用しても良い。ここで、スペアセル
とは、メモリセルアレイ中に存在する欠陥セルの代替セ
ルとして用意されるセルである。また、ビットライン4
1及び42をダミービットラインとしても良い。
(2) Second Embodiment FIG. 5 shows a semiconductor memory DR according to a second embodiment.
FIG. 3 is a diagram showing a configuration of an AM memory cell. In the memory cell array, a pair of bit lines 41 and 4 extending from the sense amplifiers 40a, 40b,.
2, two dummy word lines DWL3 and DWL intersecting the bit lines 43 and 44,.
4 and a plurality of word lines WL3, WL4,. The dummy word lines DWL3 and DWL4 are grounded. Dummy cells MC0, MC1,... Are provided at locations where each bit line intersects with the dummy word lines DWL3, DWL4, and at locations where each bit line intersects with the word lines WL3, WL4 during normal operation. Memory cells (hereinafter simply referred to as memory cells) MC6, MC7,... For reading and writing data are arranged in order. Note that a plurality of word lines WL3, W
A configuration may be adopted in which a part of L4,... Is used as a word line for a spare cell. Here, the spare cell is a cell prepared as a substitute cell for a defective cell existing in the memory cell array. Also, bit line 4
1 and 42 may be dummy bit lines.

【0022】図6は、センスアンプ40aの構成を示す
図である。センスアンプ40aは、通常のセンスアンプ
40より伸びるビットライン41及び42に、ノーマリ
オン型のスイッチングトランジスタ43及び44を介し
て基板に接続する配線45及び46を設けたものであ
る。スイッチングトランジスタ43及び44のゲート電
極に印加する信号φ1及びφ2は、内部の制御回路又は
バーンイン装置により制御される。
FIG. 6 is a diagram showing a configuration of the sense amplifier 40a. The sense amplifier 40a has bit lines 41 and 42 extending from a normal sense amplifier 40, and wirings 45 and 46 connected to a substrate via normally-on switching transistors 43 and 44, respectively. The signals φ1 and φ2 applied to the gate electrodes of the switching transistors 43 and 44 are controlled by an internal control circuit or a burn-in device.

【0023】バーンインテストの実行時、内部の制御回
路又はバーンイン装置は、上記スイッチングトランジス
タ43及び44の何れか一方のゲート電極に印加する信
号φ1又はφ2を”H”から”L”に切り換えてゲート
を開き、ビットライン21又は22の電位を基板電位V
BBと同じにする。DRAMでは、通常、基板電位VB
Bは負の値である。このため、ビットライン41及び4
2間に電位差が生じ、当該ビットライン41及び42で
挟まれる位置にあるメモリセル間、例えば、ダミーセル
MC4とダミーセルMC5との間、ダミーセルMC5と
メモリセルMC6との間、メモリセルMC6とメモリセ
ルMC7との間等にストレスがかけられ、各メモリセル
間における不良の発生を加速することができる。これに
より、バーンインテストの実行時における不良の検出精
度を向上することができる。
When the burn-in test is executed, the internal control circuit or the burn-in device switches the signal φ1 or φ2 applied to one of the gate electrodes of the switching transistors 43 and 44 from “H” to “L” to switch the gate. And set the potential of the bit line 21 or 22 to the substrate potential V
Same as BB. In a DRAM, the substrate potential VB is usually
B is a negative value. Therefore, the bit lines 41 and 4
2, a potential difference is generated between the memory cells at positions between the bit lines 41 and 42, for example, between the dummy cells MC4 and MC5, between the dummy cells MC5 and MC6, between the memory cells MC6 and MC6. Stress is applied to the memory cells and the like, and the occurrence of defects between the memory cells can be accelerated. As a result, it is possible to improve the accuracy of detecting a defect during execution of the burn-in test.

【0024】上記構成を採用することで、上記メモリセ
ルアレイの全てのメモリセル、即ち、メモリセル間だけ
でなく、メモリセルアレイの端に位置するメモリセル
(スペアセルを含む)とダミーセルとの間にもストレス
をかけることができ、適切なバーンインテストを行うこ
とができる。
By adopting the above configuration, not only between all the memory cells of the memory cell array, that is, between the memory cells, but also between the dummy cells and the memory cells (including the spare cells) located at the ends of the memory cell array. Stress can be applied, and an appropriate burn-in test can be performed.

【0025】図7は、上記実施の形態2にかかる半導体
メモリであるDRAMが備えるセンスアンプ回路40a
の変形例の構成を示す図である。本変形例では、通常の
センスアンプ回路40より伸びるビットライン41及び
42に、I/Oスイッチ53及び54を介してI/O線
が接続されている。即ち、I/Oスイッチ53及び54
を制御してビットライン41及び42をI/O線と接続
し、I/Oピンに入力する信号によりビットライン41
及び42に与える電圧を制御する。バーンインテストの
実行時には、ビットライン41及び42の何れか一方に
負の電圧を与える。これにより、ビットライン41と4
2との間にストレスをかけて、当該ビットライン41及
び42で挟まれる位置にあるメモリセル間、例えば、ダ
ミーセルMC4とダミーセルMC5との間、ダミーセル
MC5とメモリセルMC6との間、メモリセルMC6と
メモリセルMC7との間における不良の発生を加速する
ことができる。これにより、バーンインテストの実行時
における不良の検出精度を向上することができる。ま
た、上記メモリセルアレイの全てのメモリセル、即ち、
メモリセル間だけでなく、メモリセルアレイの端に位置
するメモリセル(スペアセルを含む)とダミーセルとの
間にもストレスをかけることができ、適切なバーンイン
テストを行うことができる。
FIG. 7 shows a sense amplifier circuit 40a provided in a DRAM which is a semiconductor memory according to the second embodiment.
It is a figure showing the composition of the modification of. In this modification, I / O lines are connected to bit lines 41 and 42 extending from a normal sense amplifier circuit 40 via I / O switches 53 and 54. That is, the I / O switches 53 and 54
To connect the bit lines 41 and 42 to the I / O line, and the signal input to the I / O pin
And 42 are controlled. During execution of the burn-in test, a negative voltage is applied to one of the bit lines 41 and 42. Thereby, the bit lines 41 and 4
2 between the memory cells at positions between the bit lines 41 and 42, for example, between the dummy cells MC4 and MC5, between the dummy cells MC5 and the memory cell MC6, and between the memory cells MC6 and Generation of a defect between the memory cell MC7 and the memory cell MC7 can be accelerated. As a result, it is possible to improve the accuracy of detecting a defect during execution of the burn-in test. Further, all the memory cells of the memory cell array, that is,
Stress can be applied not only between the memory cells but also between the dummy cells and the memory cells (including the spare cells) located at the ends of the memory cell array, and an appropriate burn-in test can be performed.

【0026】(3)実施の形態3 図8は、実施の形態3にかかる半導体メモリのDRAM
のメモリセルの要部の構成を示す図である。図示しない
センスアンプより伸びるビットライン601,610,
…の内、図面左側にあるビットライン601は、ダミー
のビットラインである。また、各ビットラインに交差し
て備えるワードライン600,611,612,61
3,…の内、図面一番上に位置するワードライン600
は、ダミーのワードラインである。なお、ワードライン
611,612,613,…の一部をスペアセルのワー
ドラインとしても良い。当該構成のメモリセルアレイに
おいて、メモリセル604,605,606,607
は、ダミーセルであり、メモリセル608,609は、
通常の動作時にデータの読み書きを行う通常のメモリセ
ルアレイの端に位置するメモリセルである。本半導体メ
モリは、バーンインテストの実行時に、ダミーセルのワ
ードライン600に”H”の電圧を供給するスイッチ6
02、及び、ダミーセルのビットライン601に対し
て”L”及び”H”のデータを書き込み可能にするスイ
ッチ603を備える。スイッチ602及び603は、内
部の制御回路又はバーンイン装置より出力される制御信
号S3に基づいて切り換えられる。
(3) Third Embodiment FIG. 8 shows a DRAM of a semiconductor memory according to a third embodiment.
3 is a diagram showing a configuration of a main part of the memory cell of FIG. Bit lines 601, 610, extending from a sense amplifier (not shown)
The bit line 601 on the left side of the drawing is a dummy bit line. Also, word lines 600, 611, 612, 61 provided to cross each bit line
Word line 600 located at the top of the drawing among 3,.
Is a dummy word line. Note that part of the word lines 611, 612, 613,... May be used as word lines for spare cells. In the memory cell array having this configuration, the memory cells 604, 605, 606, 607
Are dummy cells, and the memory cells 608 and 609 are
This is a memory cell located at an end of a normal memory cell array for reading and writing data during a normal operation. This semiconductor memory has a switch 6 for supplying a voltage of “H” to the word line 600 of the dummy cell when the burn-in test is performed.
02 and a switch 603 that enables writing of “L” and “H” data to the bit line 601 of the dummy cell. Switches 602 and 603 are switched based on a control signal S3 output from an internal control circuit or a burn-in device.

【0027】バーンインテストの実行時には、各スイッ
チをオンに切り換え、ダミーワードライン600を”
H”とすると共に、ダミービットライン601に”
L”,”H”,”L”,…のデータを入力して、メモリ
セル604,605,606に順に”0”,”1”,”
0”のデータを書き込む。また、ビットライン610
に、”H”,”L”,”H”,…のデータを入力して、
メモリセル607,608,609に順に”1”,”
0”,”1”のデータを書き込む。これにより、メモリ
セルアレイの端にある注目メモリセル608と、その周
辺にあるメモリセル(ダミーセルを含む)605,60
7,609との間にストレスがかけられ、上記注目メモ
リセル608と、その周辺にあるメモリセル(ダミーセ
ルを含む)605,607,609との間に存在する不
良の発生が加速されてバーンインテストの実行時におけ
る不良の検出能力が向上する。
At the time of executing the burn-in test, each switch is turned on and the dummy word line 600 is set to "
H ”and the dummy bit line 601 has“
L "," H "," L ",... Are input, and" 0 "," 1 ",""are sequentially stored in the memory cells 604, 605, and 606.
The data of "0" is written.
Input the data of “H”, “L”, “H”,.
"1", "1" are sequentially stored in the memory cells 607, 608, and 609.
The data “0” and “1” are written, whereby the target memory cell 608 at the end of the memory cell array and the memory cells (including dummy cells) 605 and 60 around the target memory cell 608 are provided.
7, 609, and the occurrence of defects existing between the memory cell of interest 608 and its surrounding memory cells (including dummy cells) 605, 607, 609 is accelerated, and the burn-in test is performed. And the ability to detect a defect at the time of execution is improved.

【0028】上記構成を採用することで、上記メモリセ
ルアレイの全てのメモリセル、即ち、メモリセル間だけ
でなく、メモリセルアレイの端に位置するメモリセル
(スペアセルを含む)とダミーセルとの間にもストレス
をかけることができ、適切なバーンインテストを行うこ
とができる。
By adopting the above configuration, not only between all the memory cells of the memory cell array, that is, between the memory cells, but also between the memory cells (including the spare cells) located at the ends of the memory cell array and the dummy cells. Stress can be applied, and an appropriate burn-in test can be performed.

【0029】なお、スイッチ602及び603を設ける
ことなく、ノーマルのメモリセルと同様に、スペアのメ
モリセル及びダミーセルに対してI/O線(Read/Write
線)を接続して、任意のアドレスへのデータの書き込み
を可能にしても良い。
Incidentally, without providing the switches 602 and 603, I / O lines (Read / Write) are applied to spare memory cells and dummy cells in the same manner as normal memory cells.
Line) may be connected to enable writing of data to an arbitrary address.

【0030】(4)実施の形態4 図9は、実施の形態4にかかる半導体メモリのメモリセ
ルアレイの構成を示す図である。各センスアンプ90〜
93からは、各々一対のビットライン94と95,96
と97,98と99,100と101が伸びている。ビ
ットライン94及び95は、ダミーのビットラインであ
る。また、ビットライン96及び97をスペアセル用の
ビットラインとしても良い。周知の技術により各ワード
ラインとビットラインが交差する箇所には、それぞれメ
モリセルが設けられている。本半導体メモリでは、ダミ
ービットライン95とビットライン96との間に所定の
電位差を設けるために、ダミーのビットライン94及び
95を、スイッチングトランジスタ102を介して、所
定の電位、例えば零電位に設定する配線103を備え
る。スイッチングトランジスタ102のゲート電極に
は、信号S4が入力される。この信号S4の電位レベル
は、通常は”H”であり、バーンインテストの実行時
に、内部の制御回路又はバーンイン装置により”L”に
切り換えられる。
(4) Fourth Embodiment FIG. 9 is a diagram showing a configuration of a memory cell array of a semiconductor memory according to a fourth embodiment. Each sense amplifier 90 ~
93, a pair of bit lines 94 and 95, 96 respectively.
And 97, 98 and 99, and 100 and 101 are extended. Bit lines 94 and 95 are dummy bit lines. Further, the bit lines 96 and 97 may be used as bit lines for spare cells. A memory cell is provided at a position where each word line and bit line intersect by a known technique. In this semiconductor memory, the dummy bit lines 94 and 95 are set to a predetermined potential, for example, zero potential, via the switching transistor 102 in order to provide a predetermined potential difference between the dummy bit line 95 and the bit line 96. Wiring 103 to be provided. The signal S4 is input to a gate electrode of the switching transistor 102. The potential level of this signal S4 is normally "H", and is switched to "L" by an internal control circuit or a burn-in device during execution of a burn-in test.

【0031】”L”の信号S4の入力により、スイッチ
ングトランジスタ102がオンに切り換わり、ビットラ
イン94及び95が接地される。これにより、隣のビッ
トライン96との間に電位差が生じ、ダミーのビットラ
イン95に接続されているセル、即ちダミーセルと、ビ
ットライン96に接続されているメモリセルとの間にス
トレスがかかり、これらのセルの間における不良の発生
が加速されてバーンインテストの実行時における不良の
検出能力を高めることができる。
The switching transistor 102 is turned on by the input of the signal S4 of "L", and the bit lines 94 and 95 are grounded. As a result, a potential difference occurs between the adjacent bit line 96 and a stress is applied between the cell connected to the dummy bit line 95, that is, the dummy cell and the memory cell connected to the bit line 96, The occurrence of defects between these cells is accelerated, and the capability of detecting defects during execution of the burn-in test can be improved.

【0032】上記構成を採用することで、上記メモリセ
ルアレイの全てのメモリセル、即ち、メモリセル間だけ
でなく、メモリセルアレイの端に位置するメモリセル
(スペアセルを含む)とダミーセルとの間にもストレス
をかけることができ、適切なバーンインテストを行うこ
とができる。
By adopting the above configuration, not only between all the memory cells of the memory cell array, that is, between the memory cells, but also between the memory cells (including the spare cells) located at the ends of the memory cell array and the dummy cells. Stress can be applied, and an appropriate burn-in test can be performed.

【0033】(5)実施の形態5 図10は、実施の形態5にかかる半導体メモリのDRA
Mのメモリセルの構成を示す図である。本半導体メモリ
では、ダミーのセルアレイ150と隣り合う位置に、ス
ペアのセルアレイ151,152、及び、通常の動作時
にデータの読み書きを行うメモリセルアレイ153がレ
イアウトされている。本半導体メモリは、ダミーのセル
アレイ150の全ビットラインの値と、スペアのセルア
レイ151,152の全ビットラインの値、及び、ダミ
ーのセルアレイ150の全ビットラインの値と、メモリ
セルアレイ153の全ビットラインの値を互いに異なる
値となるように、ダミーのセルアレイ150の全ビット
ラインの値を所定の電位、例えば零電位に設定する配線
155を備える。ダミーのセルアレイ150の全ビット
ラインの接地は、スイッチングトランジスタ154によ
り制御される。スイッチングトランジスタ154は、ノ
ーマリオン型のトランジスタであり、そのゲート電極に
は、通常の動作時には、”H”の制御信号S5が入力さ
れている。この制御信号S5は、バーンインテストの実
行時に、内部の制御回路又はバーンイン装置により”
L”に切り換えられる。
(5) Fifth Embodiment FIG. 10 shows a DRA of a semiconductor memory according to a fifth embodiment.
FIG. 3 is a diagram showing a configuration of M memory cells. In the present semiconductor memory, spare cell arrays 151 and 152 and a memory cell array 153 for reading and writing data during normal operation are laid out at positions adjacent to the dummy cell array 150. In this semiconductor memory, the values of all the bit lines of the dummy cell array 150, the values of all the bit lines of the spare cell arrays 151 and 152, the values of all the bit lines of the dummy cell array 150, and the values of all the bits of the memory cell array 153 A wiring 155 is provided for setting the values of all bit lines of the dummy cell array 150 to a predetermined potential, for example, zero potential, so that the values of the lines are different from each other. The grounding of all the bit lines of the dummy cell array 150 is controlled by the switching transistor 154. The switching transistor 154 is a normally-on type transistor, and a control signal S5 of “H” is input to a gate electrode of the switching transistor 154 during a normal operation. The control signal S5 is supplied by an internal control circuit or a burn-in device during a burn-in test.
L ".

【0034】バーンインテストの実行時には、内部の制
御回路又はバーンイン装置により、制御信号が”L”に
切り換えられてスイッチングトランジスタ152のゲー
トが開き、ダミーのセルアレイ150の全ビットライン
が零電位に設定される。これにより、ダミーのセルアレ
イ150とメモリセルアレイ153との間、及び、ダミ
ーのセルアレイ150とスペアのセルアレイ151及び
152との間にストレスがかけられて、各アレイの端に
並ぶセル間における不良の発生が加速され、バーンイン
テストの実行時における不良の検出能力が向上する。
At the time of execution of the burn-in test, the control signal is switched to "L" by an internal control circuit or a burn-in device, the gate of the switching transistor 152 is opened, and all the bit lines of the dummy cell array 150 are set to zero potential. You. As a result, stress is applied between the dummy cell array 150 and the memory cell array 153 and between the dummy cell array 150 and the spare cell arrays 151 and 152, thereby causing a defect between cells arranged at the end of each array. Is accelerated, and the ability to detect a defect during execution of the burn-in test is improved.

【0035】上記構成を採用することで、メモリセルア
レイ153内のメモリセル間だけでなく、メモリセルア
レイ153の端に位置するメモリセルとダミーセルとの
間、スペアセルとダミーセルとの間にもストレスをかけ
ることができ、適切なバーンインテストを行うことがで
きる。
By employing the above configuration, stress is applied not only between the memory cells in the memory cell array 153, but also between the memory cells located at the ends of the memory cell array 153 and the dummy cells, and between the spare cells and the dummy cells. And an appropriate burn-in test can be performed.

【0036】[0036]

【発明の効果】本発明の第1の半導体メモリでは、通常
の動作時にデータの読み書きを行うメモリセルの端に位
置するメモリセルのビットラインと、当該メモリセルの
隣にある通常の動作時には使用しないメモリセルのビッ
トラインとの間に、所定の電位差を設け、ストレスを与
えることができる。これにより、当該半導体メモリのメ
モリセルアレイの全てのメモリセル、即ち、通常の動作
時にデータの読み書きを行うメモリセル間だけでなく、
当該メモリセルアレイの端に位置するメモリセル(スペ
アセルを含む)と、通常の動作時には使用しないメモリ
セル(ダミーセル)との間にもストレスをかけることが
でき、適切なバーンインテストを行うことができる。
According to the first semiconductor memory of the present invention, the bit line of the memory cell located at the end of the memory cell for reading and writing data during normal operation and the bit line used during normal operation adjacent to the memory cell are used. A predetermined potential difference is provided between the memory cell and the bit line of the memory cell not to be stressed. Thereby, not only between all the memory cells of the memory cell array of the semiconductor memory, that is, between memory cells for reading and writing data during normal operation,
Stress can also be applied between a memory cell (including a spare cell) located at an end of the memory cell array and a memory cell (dummy cell) not used during normal operation, and an appropriate burn-in test can be performed.

【0037】本発明の第2の半導体メモリでは、通常の
動作時にデータの読み書きを行うメモリセルの端に位置
するメモリセルのビットラインと、当該メモリセルの隣
にある通常の動作時には使用しないメモリセルのビット
ラインの何れか一方を基板に接続して基板電位にして、
所定の電位差を設け、ストレスを与えることができる。
これにより、当該半導体メモリのメモリセルアレイの全
てのメモリセル、即ち、通常の動作時にデータの読み書
きを行うメモリセル間だけでなく、当該メモリセルアレ
イの端に位置するメモリセル(スペアセルを含む)と、
通常の動作時には使用しないメモリセル(ダミーセル)
との間にもストレスをかけることができ、適切なバーン
インテストを行うことができる。
In the second semiconductor memory of the present invention, a bit line of a memory cell located at an end of a memory cell for reading and writing data in a normal operation, and a memory adjacent to the memory cell and not used in a normal operation Either one of the cell bit lines is connected to the substrate and brought to the substrate potential,
A predetermined potential difference can be provided to apply stress.
Thereby, not only between all the memory cells of the memory cell array of the semiconductor memory, that is, between memory cells for reading and writing data during normal operation, but also for memory cells (including spare cells) located at the end of the memory cell array,
Memory cells not used during normal operation (dummy cells)
Stress can be applied between them, and an appropriate burn-in test can be performed.

【0038】本発明の第3の半導体メモリでは、通常の
動作時にデータの読み書きを行うメモリセルの端に位置
するメモリセルのビットラインと、当該メモリセルの隣
にある通常の動作時には使用しないメモリセルのビット
ラインの何れか一方をI/O線に接続し、当該I/O線
より所定の電圧を印加することで、各ビットライン間に
所定の電位差を設け、ストレスを与えることができる。
これにより、当該半導体メモリのメモリセルアレイの全
てのメモリセル、即ち、通常の動作時にデータの読み書
きを行うメモリセル間だけでなく、当該メモリセルアレ
イの端に位置するメモリセル(スペアセルを含む)と、
通常の動作時には使用しないメモリセル(ダミーセル)
との間にもストレスをかけることができ、適切なバーン
インテストを行うことができる。
In the third semiconductor memory of the present invention, a bit line of a memory cell located at an end of a memory cell for reading and writing data in a normal operation, and a memory adjacent to the memory cell and not used in a normal operation By connecting one of the cell bit lines to an I / O line and applying a predetermined voltage from the I / O line, a predetermined potential difference can be provided between the bit lines to apply stress.
Thereby, not only between all the memory cells of the memory cell array of the semiconductor memory, that is, between memory cells for reading and writing data during normal operation, but also for memory cells (including spare cells) located at the end of the memory cell array,
Memory cells not used during normal operation (dummy cells)
Stress can be applied between them, and an appropriate burn-in test can be performed.

【0039】本発明の第4の半導体メモリでは、通常の
動作時には使用しないメモリセルのワードラインに”
H”の信号を出力すると共に、ビットラインに”H”及
び”L”のデータ信号を交互に出力することで、通常の
動作時には使用しないメモリセルに所望する値のデータ
を書き込むことが可能になる。これにより、通常の動作
時にデータの読み書きを行うメモリセルの端に位置する
メモリセルと、当該メモリセルの隣にある通常の動作時
には使用しないメモリセルとの間に、所定の電位差を設
け、ストレスを与えることができる。これにより、当該
半導体メモリのメモリセルアレイの全てのメモリセル、
即ち、通常の動作時にデータの読み書きを行うメモリセ
ル間だけでなく、当該メモリセルアレイの端に位置する
メモリセル(スペアセルを含む)と、通常の動作時には
使用しないメモリセル(ダミーセル)との間にもストレ
スをかけることができ、適切なバーンインテストを行う
ことができる。
In the fourth semiconductor memory of the present invention, the word line of the memory cell not used during the normal operation
By outputting the "H" signal and alternately outputting the "H" and "L" data signals to the bit lines, it is possible to write desired value data to memory cells not used during normal operation. As a result, a predetermined potential difference is provided between a memory cell located at an end of a memory cell for reading and writing data during normal operation and a memory cell adjacent to the memory cell and not used during normal operation. This can provide a stress on all the memory cells of the memory cell array of the semiconductor memory,
That is, not only between memory cells for reading and writing data during normal operation, but also between memory cells (including spare cells) located at the end of the memory cell array and memory cells (dummy cells) not used during normal operation. Can also put stress and perform an appropriate burn-in test.

【0040】本発明の第5の半導体メモリでは、通常の
動作時には使用しないメモリセルと、当該メモリセルに
隣接して存在する上記メモリセルアレイの端に位置する
メモリセルとに所定の電位差を設け、ストレスを与える
ことができる。これにより、当該半導体メモリのメモリ
セルアレイの全てのメモリセル、即ち、通常の動作時に
データの読み書きを行うメモリセル間だけでなく、当該
メモリセルアレイの端に位置するメモリセル(スペアセ
ルを含む)と、通常の動作時には使用しないメモリセル
(ダミーセル)との間にもストレスをかけることがで
き、適切なバーンインテストを行うことができる。
In the fifth semiconductor memory of the present invention, a predetermined potential difference is provided between a memory cell not used during normal operation and a memory cell located adjacent to the memory cell and located at an end of the memory cell array. Can give stress. Thereby, not only between all the memory cells of the memory cell array of the semiconductor memory, that is, between memory cells for reading and writing data during normal operation, but also for memory cells (including spare cells) located at the end of the memory cell array, Stress can be applied to a memory cell (dummy cell) not used during normal operation, and an appropriate burn-in test can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 実施の形態1にかかる半導体メモリであるD
RAMのメモリセルアレイ周辺の構成を示す図である。
FIG. 1 is a diagram illustrating a semiconductor memory according to a first embodiment;
FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration around a memory cell array of a RAM.

【図2】 メモリセルアレイの内部構成を示す図であ
る。
FIG. 2 is a diagram showing an internal configuration of a memory cell array.

【図3】 ダミーセル及びメモリセルの構成を示す図で
ある。
FIG. 3 is a diagram showing a configuration of a dummy cell and a memory cell.

【図4】 実施の形態1にかかる半導体メモリのセル構
造の変形例の構成を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a configuration of a modification of the cell structure of the semiconductor memory according to the first exemplary embodiment;

【図5】 実施の形態2にかかる半導体メモリであるD
RAMのメモリセルの構成を示す図である。
FIG. 5 is a diagram illustrating a semiconductor memory according to a second embodiment;
FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of a memory cell of a RAM.

【図6】 センスアンプの構成を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a configuration of a sense amplifier.

【図7】 センスアンプの変形例の構成を示す図であ
る。
FIG. 7 is a diagram showing a configuration of a modified example of the sense amplifier.

【図8】 実施の形態3にかかる半導体メモリの構成を
示す図である。
FIG. 8 is a diagram illustrating a configuration of a semiconductor memory according to a third embodiment;

【図9】 実施の形態4にかかる半導体メモリの構成を
示す図である。
FIG. 9 is a diagram illustrating a configuration of a semiconductor memory according to a fourth embodiment;

【図10】 実施の形態5にかかる半導体メモリの構成
を示す図である。
FIG. 10 is a diagram illustrating a configuration of a semiconductor memory according to a fifth embodiment;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 メモリセルアレイ、6,7,8,9,41,42,
43,44,94,95,96,97,98,99,1
00,101 ビットライン、12,13,43,4
4,102,154 スイッチングトランジスタ、4,
4a,4b,40,40a,40b,90,91,9
2,93 センスアンプ、53,54 I/Oスイッ
チ、602,603 スイッチ
1 memory cell array, 6, 7, 8, 9, 41, 42,
43,44,94,95,96,97,98,99,1
00, 101 bit lines, 12, 13, 43, 4
4,102,154 switching transistor,
4a, 4b, 40, 40a, 40b, 90, 91, 9
2,93 sense amplifier, 53,54 I / O switch, 602,603 switch

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 池田 勇人 兵庫県伊丹市荻野1丁目132番地 大王電 機株式会社内 (72)発明者 池田 豊 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 折戸 匡広 東京都千代田区大手町二丁目6番2号 三 菱電機エンジニアリング株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Hayato Ikeda 1-132 Ogino, Itami-shi, Hyogo Daio Electric Machine Co., Ltd. (72) Inventor Yutaka Ikeda 2-3-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Mitsui Electric (72) Inventor Masahiro Orito 2-6-1 Otemachi, Chiyoda-ku, Tokyo Mitsubishi Electric Engineering Co., Ltd.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 通常の動作時にデータの読み書きを行う
メモリセルの隣に、通常の動作時には使用しないメモリ
セルが存在するレイアウトを採用する半導体メモリにお
いて、 上記通常の動作時にデータの読み書きを行うメモリセル
のビットラインと、当該メモリセルの隣にある上記通常
の動作時には使用しないメモリセルのビットラインに、
互いに異なる電位を与える回路を設けることを特徴とす
る半導体メモリ。
1. A semiconductor memory adopting a layout in which a memory cell not used during normal operation exists next to a memory cell reading and writing data during normal operation, wherein the memory performs data reading and writing during the normal operation. The bit line of the cell and the bit line of the memory cell adjacent to the memory cell and not used during the normal operation are
A semiconductor memory provided with circuits that provide different potentials.
【請求項2】 請求項1に記載の半導体メモリであっ
て、 上記回路は、上記隣り合うメモリセルのビットラインの
一方を基板に接続することを特徴とする半導体メモリ。
2. The semiconductor memory according to claim 1, wherein said circuit connects one of bit lines of said adjacent memory cells to a substrate.
【請求項3】 請求項1に記載の半導体メモリであっ
て、 上記回路は、上記隣り合うメモリセルのビットラインの
一方をI/O線に接続することを特徴とする半導体メモ
リ。
3. The semiconductor memory according to claim 1, wherein said circuit connects one of bit lines of said adjacent memory cells to an I / O line.
【請求項4】 通常の動作時にデータの読み書きを行う
メモリセルの隣に、通常の動作時には使用しないメモリ
セルが存在するレイアウトを採用する半導体メモリにお
いて、 上記通常の動作時には使用しないメモリセルのワードラ
インに”H”の信号を出力すると共に、当該メモリセル
に接続されているビットラインに”H”及び”L”のデ
ータ信号を出力する回路を備えることを特徴とする半導
体メモリ。
4. A semiconductor memory adopting a layout in which a memory cell that is not used during normal operation exists next to a memory cell that reads and writes data during normal operation, wherein the word of the memory cell not used during normal operation is used. A semiconductor memory comprising: a circuit that outputs an “H” signal to a line and outputs “H” and “L” data signals to a bit line connected to the memory cell.
【請求項5】 通常の動作時にデータの読み書きを行う
メモリセルの隣に、通常の動作時には使用しないメモリ
セルが存在するレイアウトを採用する半導体メモリにお
いて、 上記通常の動作時には使用しないメモリセルのビットラ
インを所定の電位に固定し、当該メモリセルの隣に存在
する上記通常の動作時にデータの読み書きを行うメモリ
セルのビットラインに上記所定の電位とは異なる値の信
号を書き込む回路を備えることを特徴とする半導体メモ
リ。
5. A semiconductor memory adopting a layout in which a memory cell that is not used during normal operation exists next to a memory cell that reads and writes data during normal operation, wherein a bit of the memory cell not used during normal operation is used. A circuit for fixing a line to a predetermined potential and writing a signal having a value different from the predetermined potential to a bit line of a memory cell adjacent to the memory cell and reading and writing data during the normal operation. Characteristic semiconductor memory.
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4400689A1 (en) * 1994-01-12 1995-07-13 Koch Alexander W Prof Dr Ing H Measuring probe for determining local characteristics of gaseous medium
JP2001036033A (en) * 1999-07-16 2001-02-09 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor memory device
US6297999B2 (en) 2000-02-18 2001-10-02 Fujitsu Limited Semiconductor memory device and method for setting stress voltage
JP2005019741A (en) * 2003-06-26 2005-01-20 Renesas Technology Corp Semiconductor device and its manufacturing method
JP2005332446A (en) * 2004-05-18 2005-12-02 Fujitsu Ltd Semiconductor memory
JP2008047227A (en) * 2006-08-17 2008-02-28 Fujitsu Ltd Semiconductor memory and system
JP2010238284A (en) * 2009-03-30 2010-10-21 Kobe Univ Predictive diagnosis architecture and predictive diagnosis method of defective memory cell

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4400689A1 (en) * 1994-01-12 1995-07-13 Koch Alexander W Prof Dr Ing H Measuring probe for determining local characteristics of gaseous medium
DE4400689C2 (en) * 1994-01-12 1996-03-21 Koch Alexander W Prof Dr Ing H Device and method for determining local properties of a partially ionized gaseous medium and layer thicknesses
JP2001036033A (en) * 1999-07-16 2001-02-09 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor memory device
US6297999B2 (en) 2000-02-18 2001-10-02 Fujitsu Limited Semiconductor memory device and method for setting stress voltage
JP2005019741A (en) * 2003-06-26 2005-01-20 Renesas Technology Corp Semiconductor device and its manufacturing method
JP2005332446A (en) * 2004-05-18 2005-12-02 Fujitsu Ltd Semiconductor memory
JP2008047227A (en) * 2006-08-17 2008-02-28 Fujitsu Ltd Semiconductor memory and system
JP2010238284A (en) * 2009-03-30 2010-10-21 Kobe Univ Predictive diagnosis architecture and predictive diagnosis method of defective memory cell

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