KR0185643B1 - Stress voltage forcing apparatus of a semiconductor memory - Google Patents
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Abstract
본 발명은 여분의 트랜지스터(Transistor)로서 워드라인(Word Line)의 인에이블(Enable)과 디세이블(Disable)을 제어함으로써 최소의 핀(Pin)수로 다양한 모드(Mode)의 테스트(Test)를 실시할 수 있는 스트레스전압(Stress Voltage) 인가장치에 관한 것이며, 본 발명의 목적은 최소한의 핀을 이용하여 레이아웃 면적의 손실없이 메모리 셀에 스트레스전압을 인가하여 위크 비트를 스크린할 수 있는 스트레스전압 인가장치 및 그 인가방법을 제공함에 있다. 이러한 목적을 달성하기 위한 기술적 사상에 따르면, 다수개의 비트라인 또는 상보비트라인에 연결된 메모리 셀들과, 상기 메모리 셀에 데이타를 기입 또는 독출하는 동작을 제어하기 위한 메모리 셀 트랜지스터들과, 상기 메모리 셀들의 게이트에 각기 접속된 다수개의 워드라인들과, 상기 비트라인과 상보비트라인을 센싱 증폭하여 디벨롭하기 위한 다수의 비트라인 센스앰프들과, 상기 비트라인과 상보비트라인을 프리차아지하기 위한 다수의 등화트랜지스터들을 구비하는 반도체 메모리 장치의 스트레스전압 인가장치는 상기 등화트랜지스터들의 일측에 접속된 패드와, 상기 게이트 신호들을 조합하여 웨이퍼 번인모드와 노말모드에 대한 제어신호를 출력하는 논리회로를 구비하여 웨이퍼상태에서 워드라인들중 짝수번째 워드라인과 홀수번째 워드라인을 번갈아 가며 상기 게이트신호를 통해 인에이블하고 상기 패드를 통해 스트레스전압을 상기 메모리 셀에 인가하는 것을 특징으로 한다.The present invention performs various mode tests with a minimum number of pins by controlling the enable and disable of word lines as redundant transistors. The present invention relates to a stress voltage applying device capable of applying a stress voltage, and an object of the present invention is to apply a stress voltage to a memory cell without loss of layout area using a minimum number of pins, thereby allowing a weak bit to be screened. And an application method thereof. According to an aspect of the present invention, memory cells connected to a plurality of bit lines or complementary bit lines, memory cell transistors for controlling an operation of writing data to or reading data from the memory cells, and the memory cells A plurality of word lines connected to the gates of the plurality of gate lines, a plurality of bit line sense amplifiers for sensing and amplifying the bit line and the complementary bit line, and precharging the bit line and the complementary bit line A stress voltage applying device of a semiconductor memory device having a plurality of equalization transistors includes a pad connected to one side of the equalization transistors, and a logic circuit combining the gate signals to output control signals for a wafer burn-in mode and a normal mode. Even word lines and odd number words among the word lines in the wafer state Alternating drive is enabled by the gate signal, and the voltage stress over the pad characterized in that it is applied to the memory cell.
Description
본 발명은 반도체 메모리 장치에 관한 것으로, 특히 여분의 트랜지스터(Transistor)로서 워드라인(Word Line)의 인에이블(Enable)과 디세이블(Disable)을 제어함으로써 최소의 핀(Pin)수로 다양한 모드(Mode)의 테스트(Test)를 실시할 수 있는 스트레스전압(Stress Voltage) 인가장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to semiconductor memory devices, and in particular, to enable and disable word lines as redundant transistors, thereby controlling various modes with a minimum number of pins. The present invention relates to a stress voltage applying device capable of performing a test of.
최근, 반도체 메모리 장치에 대한 전반적인 기술의 발전으로 인하여 회로의 디자인 룰(Design Rule)등이 점점 작아지게 되었고, 작은 면적 내에 더 많은 메모리 쎌(Memory Cell)들을 배치하게 되었다. 이러한 디자인 룰의 축소로 인해, 상기 모든 메모리 쎌이 올바른 동작을 수행하는 최고 양질의 다이(Prime Good Die)의 비율이 적어지게 되었고, 이에 리던던시 쎌(Redundancy Cell)을 준비하여 페일(Fail)된 메모리 쎌과 대치하는 방법을 사용하고 있다. 상기 최고 양질의 다이 또는 치유가능한 양질의 다이(Repairable Good Die)는 여러가지 테스트를 거쳐 하나의 완성된 패키지(Package)로 만들어지는데, 이때, 웨이퍼(Wafer)상태에서 양질의 다이(Good Die)가 테스트된 후 불량 다이(Bad Die)가 되는 경우가 종종 발생하게 된다. 이러한 패키지를 분석하여보면 주로 발생되는 페일의 원인이 워드라인과 워드라인, 비트라인(Bit Line)과 비트라인, 비트라인쌍(Bit Line Pair)과 비트라인쌍, 쎌과 쎌간에 단락(Short) 또는 마이크로 브리지(Micro Bridge)등으로 인한 페일이 주종을 이루고 있다.In recent years, due to the development of overall technology for semiconductor memory devices, design rules of circuits have become smaller and smaller, and more memory cells have been arranged in a small area. Due to the reduction of the design rule, the ratio of the prime good die for all the memory chips to perform the correct operation is reduced, and thus the redundancy cells are prepared and failed. You are using the opposite method. The highest quality die or repairable good die is subjected to various tests to make a complete package, in which a good die is tested in a wafer state. Often, the die becomes a bad die. When analyzing these packages, the main causes of failures are word lines, word lines, bit lines and bit lines, bit line pairs and bit line pairs, and shorts between lines. Or, due to the micro bridge (Micro Bridge) is mainly dominated.
전술한 패키지 단계 이후에 양질의 셀이 불량 셀(Bad Cell)로 판명되는 것을 미리 스크린하기 위한 방법이 연구되고 있는데, 그 중의 하나가 웨이퍼 번인(Wafer Burn-in)으로써, 이 웨이퍼 번인은 모든 워드라인을 동시에 인에이블 또는 디세이블함으로써 패키지 번인에 비해 짧은 시간에 메모리 셀에 스트레스를 가해 위크 비트(Weak Bit)를 스크린(Screen)하는 방법이 사용되어지고 있다.A method for screening ahead of time that a good cell turns out to be a bad cell after the above-described package step has been studied. One of them is wafer burn-in, and this wafer burn-in is used for all words. By enabling or disabling the lines at the same time, a method of stressing a memory cell in a shorter time than a package burn-in and screening a weak bit is used.
그러나, 웨이퍼상에서 테스트를 수행하기 위해서는 테스트전에 미리 메모리 셀에 백그라운드 라이트(Background Write)를 수행해야하므로 모든 핀(Pin)이 필요하게되어 일정 시간내에 많은 양의 다이(Die)를 테스트하지 못하게 된다.However, in order to perform the test on the wafer, a background write must be performed on the memory cell before the test, and thus all the pins are required, so that a large amount of die cannot be tested within a predetermined time.
도 1은 종래 기술에 따라 메모리 쎌을 테스트하기 위해 구성된 스트레스 전압 인가장치의 구성도이다.1 is a configuration diagram of a stress voltage applying device configured to test a memory chip according to the prior art.
도 1을 참조하면, 메모리 셀 어레이내에 구비되는 메모리 쎌들 (106)(110)은 워드라인 WL1WLn과 비트라인쌍 BLm,이 교차하는 곳에 각각 게이트(Gate)와 드레인(Drain)이 접속된 트랜지스터 T1과, 상기 트랜지스터 T1의 소오스에 접속된 캐패시터 C1를 가진다. 또한 상기 캐패시터 C1의 타단에는 플레이트 전압(Plate Voltage)가 인가된다. 그리고 상기 메모리 셀들을 구동하기 위한 회로는 비트라인쌍 BLm과사이에 위치하고, 상기 메모리 쎌들(106)(110)로 부터 독출(Read)된 데이타 또는 외부에서 상기 메모리 쎌들에 기입(Write)하기 위한 데이타를 센싱하기 위한 피형 센스앰프(104) 및 엔형 센스앰프(105)와, 전술한 센싱동작후 비트라인 BLm과 상보비트라인을 프리차아지(Precharge) 하기위한 등화 트랜지스터(Equalize Transistor, 103)를 구비하고 있다. 이때, 상기 비트라인 BLm과 상보비트라인을 프리차아지 하기위한 트랜지스터(103)와, 상기 비트라인쌍 BLm,의 전압레벨(Voltage Level)을 프리차아지 하기 위한 프리차아지 전압 VBL 즉 외부전원전압의 절반정도의 전압레벨로 설정하기 위한 트랜지스터들(101,102)의 게이트에 인가되는 신호(Gate Signal)로써 등화제어신호 PEQ가 사용되며, 상기 신호 PEQ가 인에이블되면 상기 비트라인쌍 BLm,에 제공되는 프리차아지 전압 VBL에 의하여 상기 비트라인 BLm 및 상보비트라인 BLmB는 상기 프리차아지 전압 VBL의 레벨로 프리차아지하게 된다.Referring to FIG. 1, memory cells 106 and 110 included in a memory cell array include a word line WL1WLn and a bit line pair BLm, A transistor T1 connected to a gate and a drain, respectively, and a capacitor C1 connected to the source of the transistor T1 are provided at the intersection. In addition, a plate voltage is applied to the other end of the capacitor C1. And a circuit for driving the memory cells includes a bit line pair BLm and A type sense amplifier 104 and an n-type sense amplifier positioned between each other, and configured to sense data read from the memory cells 106 and 110 or data to be written to the memory cells from the outside. 105) and the bit line BLm and the complementary bit line after the above-described sensing operation. An equalization transistor 103 is provided for precharging the capacitor. At this time, the bit line BLm and the complementary bit line A transistor 103 for precharging and the bit line pair BLm, Equalization control using a precharge voltage VBL for precharging the voltage level of the voltage level, that is, a signal applied to the gates of the transistors 101 and 102 for setting the voltage level to about half of the external power supply voltage. A signal PEQ is used, and if the signal PEQ is enabled, the bit line pair BLm, The bit line BLm and the complementary bit line BLmB are precharged to the level of the precharge voltage VBL by the precharge voltage VBL provided at.
또한, 각 워드라인 WL의 일측에는 트랜지스터들(111)∼(115)을 구비하여, 상기 각 트랜지스터들(111)∼(115)의 게이트와 소오스에는 외부 패드(Extra Pad)에 인가되는 스트레스전압 Vstress와 게이트 신호 Vg가 입력됨에 의해 동시에 전 워드라인 WL을 선택한다.In addition, transistors 111 to 115 are provided at one side of each word line WL, and a stress voltage Vstress applied to an external pad to gates and sources of the transistors 111 to 115. And the gate signal Vg are input to select all word lines WL at the same time.
전술한 구조에서 자주 발생하는 페일로서는 쎌과 쎌, 워드라인과 워드라인, 비트라인과 비트라인간의 쇼트 브리지(Short Bridge)이다. 종래 기술에 따른 구성방법에서는 테스트 전에 메모리 쎌에 데이타 1 또는 데이타 0을 백그라운드 기입하기 위하여 모든 핀을 사용하여야 하므로 일정한 시간내에 많은 양의 다이를 웨이퍼 번인 테스트를 통하여 수행하는데는 제약이 따르게 된다. 이러한 제약을 해결하기 위해 제안된 기술이 도 2에 도시되어 있다.Frequently occurring failures in the above-described structure are short bridges between V and V, word lines and word lines, bit lines and bit lines. In the prior art configuration method, since all pins must be used for background writing of data 1 or data 0 into the memory pin before the test, there is a limitation in performing a large amount of die through a wafer burn-in test within a predetermined time. The proposed technique to solve this constraint is shown in FIG.
도 2는 종래의 기술에 따라 메모리 셀들을 테스트하기 위해 구성된 스트레스전압 인가장치를 나타낸 도면이다.2 is a diagram illustrating a stress voltage applying device configured to test memory cells according to the related art.
도 2의 구성을 살펴보면, 도 1에서 설명된 회로와 동일한데, 다른점은 상기 워드라인 WL들의 일측에 접속된 상기 트랜지스터들(111)∼(115)의 소오스들은 각기 다른 라인들 L1L4에 접속되며, 이 라인들 L1L4을 통해 게이트신호 PWBE0PWBE4가 유기된다. 또한 상기 트랜지스터들(111)∼(115)의 게이트는 신호 WLC에 접속된다.Referring to the configuration of FIG. 2, the circuits described in FIG. 1 are the same except that the sources of the transistors 111 to 115 connected to one side of the word lines WL are connected to different lines L1L4. The gate signal PWBE0PWBE4 is induced through these lines L1L4. In addition, the gates of the transistors 111 to 115 are connected to a signal WLC.
도 2에서의 메모리 셀에 백그라운드 데이타 1을 인가하는 방법은 하이레벨의 신호 WLC를 인가하여 전 워드라인들 WL의 일측에 연결되어 있는 트랜지스터들(111)∼(115)을 모두 인에이블시키고 등화제어신호 PEQ는 계속 로우레벨을 유지하게 한다. 상기 게이트 신호 PWBE0, PWBE3는 하이레벨로 상기 게이트 신호 PWBE1, PWBE2는 로우레벨로 인가함으로써 상기 트랜지스터들(111)∼(115)과 연결된 전 워드라인들 WL을 하이레벨과 로우레벨로 각기 차아지시킨다. 이어서 등화제어신호 PEQ를 인에이블시켜서 비트라인쌍 BLm,에 연결된 등화트랜지스터들(101,102)을 통하여 전압 VBL에 하이레벨의 바이어스를 인가함으로써 메모리 셀들(106,109,110)에 데이타 1이 기입되도록 한후 피형 센스앰프(104)와 엔형 센스앰프(105)를 구동시켜 비트라인 BLm이 하이레벨이 되고 상보비트라인이 로우레벨이 되게 하여 비트라인 BLm에 연결되어 있는 메모리 셀에 대하여 셀 스트레스를 수행하게 되며, 아울러 이렇게 함으로써 비트라인쌍 BLm,간의 전압 레벨이 큰 차이를 보이게 되어 바트라인쌍 BLm,간에 존재할 수 있는 단락 브리지등을 발견할 수 있으며, PWBE1PWBE4의 여러가지 조합에 의하여 종래의 방식에서 수행할 수 없었던 다양한 패턴의 테스트를 적은 수의 핀으로 가능하게 된다.In the method of applying background data 1 to the memory cell in FIG. 2, the transistors 111 to 115 connected to one side of all word lines WL are enabled and equalized by applying a high level signal WLC. The signal PEQ keeps low level. The gate signals PWBE0 and PWBE3 are at a high level, and the gate signals PWBE1 and PWBE2 are at a low level, thereby charging all word lines WL connected to the transistors 111 to 115 to a high level and a low level, respectively. . Subsequently, enable equalization control signal PEQ so that bit line pair BLm, A high level bias is applied to the voltage VBL through the equalization transistors 101 and 102 connected to the data cell 1 to allow the data sense 1 to be written to the memory cells 106, 109 and 110, and then drives the type sense amplifier 104 and the type sense amplifier 105 to drive the bit line. BLm goes high and complementary bitline This low level causes cell stress to be performed on the memory cells connected to the bit line BLm. The voltage level between them will show a big difference, Short-circuit bridges and the like can be found, and various combinations of PWBE1PWBE4 enable testing of various patterns with a small number of pins that could not be performed in the conventional manner.
하지만, 도 2에 도시된 회로도에서도 5개의 더미 패드가 요구되며, 4개의 부가적인 라인 L1L4이 필요하게 되는등 레이아웃의 면적에 있어 크나큰 손실이 아닐수 없다. 특히 스플릿(Splited) 워드라인 구동방식에서는 칩 사이즈의 증가가 커서 네트 다이(Net Die)의 감소를 초래하게 된다.However, even in the circuit diagram shown in Fig. 2, five dummy pads are required, and four additional lines L1L4 are required, which is a great loss in the layout area. In particular, in the split word line driving method, an increase in chip size causes a decrease in a net die.
따라서, 발명의 목적은 최소한의 핀을 이용하여 레이아웃 면적의 손실없이 메모리 셀에 스트레스전압을 인가하여 위크 비트를 스크린할 수 있는 스트레스전압 인가장치 및 그 인가방법을 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a stress voltage applying device and a method of applying the same, wherein a weak bit can be screened by applying a stress voltage to a memory cell without losing a layout area using a minimum number of pins.
본 발명의 다른 목적은 일정한 시간내에 많은 양의 다이를 테스트할 수 있을 뿐만아니라 다양한 모드의 테스트를 실시할 수 있는 스트레스전압 인가장치 및 그 인가방법을 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a stress voltage applying device and a method of applying the same, which can test a large amount of die within a predetermined time and can perform various modes of testing.
도 1은 종래 기술의 제1실시예에 따라 메모리 셀에 스트레스전압을 인가하기 위한 회로도.1 is a circuit diagram for applying a stress voltage to a memory cell according to a first embodiment of the prior art;
도 2는 종래 기술의 제2실시예에 따라 메모리 셀에 스트레스전압을 인가하기 위한 회로도.2 is a circuit diagram for applying a stress voltage to a memory cell according to a second embodiment of the prior art;
도 3a,3b,3c는 본 발명의 실시예에 따라 메모리 셀에 백그라운드 기입을 실시하기 위해 요구되는 제어신호들을 나타낸 회로 블록도.3A, 3B, and 3C are circuit block diagrams showing control signals required for performing a background write to a memory cell according to an embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따라 구성된 워드라인 드라이버의 구체회로도.4 is a detailed circuit diagram of a word line driver constructed in accordance with the first embodiment of the present invention;
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따라 구성된 웨이퍼 번-인 제어신호를 제공하기 위한 논리회로도.5 is a logic circuit diagram for providing a wafer burn-in control signal constructed in accordance with a second embodiment of the present invention.
도 6은 본 발명의 제3실시예에 따라 등화신호를 제공하기 위한 등화신호 발생기의 구체회로도.6 is a detailed circuit diagram of an equalization signal generator for providing an equalization signal according to a third embodiment of the present invention.
이하 본 발명의 바람직한 실시예들의 상세한 설명이 첨부된 도면들을 참조하여 설명된다.DETAILED DESCRIPTION A detailed description of preferred embodiments of the present invention will now be described with reference to the accompanying drawings.
도면들중 동일한 구성요소 및 부분들은 가능한한 어느곳에서든지 동일한 부호들을 나타내고 있음을 유의하여야 한다.It should be noted that like elements and parts in the figures represent the same numerals wherever possible.
본 발명에 대하여 설명하기 전에 우선, 메모리 셀 관점에서 어떠한 테스트 패턴이 가장 효과적으로 위크 비트(Week Bit)를 스크린할 수 있는지를 알아야 하며, 지금까지 알려진 바로는 인접 메모리 쎌의 데이타가 전부 반대인 로우 스트라이프 패턴(Row Stripe Pattern)이 가장 효과적으로 위크 비트를 스크린할 수 있다. 따라서, 본 발명에서는 어드레스 핀없이 메모리 셀에 로우 스트라이프 패턴을 기입하기 위하여 상기 프리차아지전압 VBL을 통해 메모리 셀에 데이타를 기입하는 방법을 실시예로 하여 기술할 것이다.Before describing the present invention, first of all, it is necessary to know which test pattern can most effectively screen the wick bit from the memory cell point of view. The Low Stripe Pattern can screen the weak beat most effectively. Therefore, in the present invention, a method of writing data into a memory cell through the precharge voltage VBL to write a row stripe pattern into the memory cell without an address pin will be described as an embodiment.
도 3a∼도 3c는 본 발명의 실시예에 따라 메모리 셀에 백그라운드 기입을 실시하기 위해 요구되는 제어신호들을 나타낸 회로 블록도이다.3A to 3C are circuit block diagrams showing control signals required for performing a background write to a memory cell according to an embodiment of the present invention.
도 3a,3b,3c을 참조하여 동작을 살펴보면, 홀수게이트신호 PWBE-O에 VPP가 인가되면, 홀수번째 워드라인들 WL1, WL3, WL5 ,...이 인에이블되고 등화제어신호 PEQ에 VPP가 전달되어 VBL 패드를 통하여 데이타 1을 선택된 메모리 셀에 기입하게 된다. 이후 짝수게이트신호 PWBE-E에 VPP를 인가하면 짝수번째 워드라인 WL이 인에이블되고 등화제어신호 PEQ에 VPP가 전달되어 VBL 패드를 통하여 데이타 0을 선택된 메모리 셀에 기입하게 된다. 그러면, 전체 메모리 셀에 로우 스트라이프 패턴이 기입되어 메모리 셀을 효과적으로 스크린하게 된다. 이러한 동작은 도 3A와 도 3B에 나타낸 바와 같이 홀수번째와 짝수번째 워드라인 WL을 번갈아 가며 반복적으로 인에이블하여 상기 메모리 셀에 충분히 스트레스를 가한 후 단락 브리지를 스크린하기 위해 리프레쉬(Refresh)동작을 수행시킨다.Referring to FIGS. 3A, 3B, and 3C, when VPP is applied to the odd gate signal PWBE-O, the odd-numbered word lines WL1, WL3, WL5, ... are enabled, and VPP is applied to the equalization control signal PEQ. The data is transferred to write data 1 to the selected memory cell through the VBL pad. Subsequently, when VPP is applied to the even-gate signal PWBE-E, the even-numbered word line WL is enabled and VPP is transferred to the equalization control signal PEQ to write data 0 to the selected memory cell through the VBL pad. The row stripe pattern is then written to all the memory cells, effectively screening the memory cells. As shown in FIGS. 3A and 3B, the operation is repeatedly performed to alternate odd and even word lines WL to perform a refresh operation to screen the short bridge after sufficiently stressing the memory cell. Let's do it.
전술한 바와 같이 어드레스 핀의 사용없이 메모리 셀에 로우 스트라이프 패턴을 기입하기 위해서는 더미 패드를 통해 유입되는 상기 게이트신호들 PWBE-E, PWBE-O이외에 이 신호들 PWBE-E, PWBE-O의 조합에 의한 신호들 PWBE-M, PWBE-C, PWBE-P이 요구되는데, 그것은 도 5에 도시되어 있다. 그리고 메모리 셀에 스트레스전압을 가하기 위해서는 워드라인과 비트라인을 제어하여야 하며 이를 위해 워드라인 드라이버와 등화신호 발생기와 비트라인 전압 VBL을 제공하기 위한 비트라인전압 발생기등이 요구된다. 따라서, 상기 PWBE-E, PWBE-O중 하나만이 선택되면 PWBE-M이 인에이블되고 짝수번째 혹은 홀수번째 워드라인이 인에이블되어 워드라인을 스트레스하게 되며, 비트라인 프리차아지를 제어하여 메모리 셀의 스폴리 브리지(Spoly Bridge)와 유전체 결함(Dielectric defect)를 스트레스하게 된다. 스트레스동작시 비트라인 전압 VBL 레벨의 하락(Drop)없이 메모리 셀에 전달하기 위해 프리차아지를 제어하는 등화제어신호 PEQ를 VPP-Vtn(엔모오스 트랜지스터의 문턱전압(Threshold))까지 승압하게 된다.As described above, in order to write a row stripe pattern to a memory cell without using an address pin, a combination of these signals PWBE-E and PWBE-O, in addition to the gate signals PWBE-E and PWBE-O flowing through the dummy pad, may be used. Signals PWBE-M, PWBE-C, PWBE-P are required, which is shown in FIG. In order to apply a stress voltage to a memory cell, a word line and a bit line must be controlled. For this, a word line driver, an equalization signal generator, and a bit line voltage generator for providing the bit line voltage VBL are required. Therefore, when only one of the PWBE-E and PWBE-O is selected, the PWBE-M is enabled and the even or odd word lines are enabled to stress the word lines, thereby controlling the bit line precharge of the memory cell. Spoly bridges and dielectric defects are stressed out. During the stress operation, the equalization control signal PEQ, which controls the precharge to transfer to the memory cell without dropping the bit line voltage VBL level, is boosted to VPP-Vtn (threshold voltage of the NMOS transistor).
도 4는 본 발명의 실시예에 따라 구성된 워드라인 드라이버의 구체회로도이다.4 is a detailed circuit diagram of a word line driver constructed in accordance with an embodiment of the present invention.
도 4를 참조하여 구성을 살펴보면, 노말(Normal) 모드에서 워드라인을 그라운드레벨로 유지시키는 역할을 하는 엔모오스 트랜지스터(403)을 이용하여 워드라인 WL에 스트레스전압을 인가하게 된다. 도면중 신호 NWEi는 로우 디코딩신호이며, 신호 PXi는 부스팅된 로우 디코딩신호이고, 신호는 상기 신호 PXI의 반전된 신호이다.Referring to FIG. 4, the stress voltage is applied to the word line WL by using the NMOS transistor 403 which serves to maintain the word line at the ground level in the normal mode. In the figure, signal NWEi is a row decoded signal, signal PXi is a boosted row decoded signal, and a signal Is the inverted signal of the signal PXI.
도 5를 참조하면, 상기 두 신호 PWBE-E, PWBE-O를 입력으로 하는 배타적 논리합(501)을 통해 출력되는 신호 PWBE-M은 웨이퍼 번-인시 워드라인 드라이버와 등화제어신호 발생기 및 비트라인전압 발생기를 제어하기 위한 신호이고, 상기 두 신호 PWBE-E, PWBE-O를 입력으로 하는 앤드게이트(502)을 통해 출력되는 신호 PWBE-C는 웨이퍼 번-인시 CBR 논리를 제어하기 위한 신호이고, 상기 두 신호 PWBE-E, PWBE-O를 입력으로 하는 노아게이트(503)을 통해 출력되는 신호 PWBE-P는 웨이퍼 번-인시 컬럼 어드레스 스트로우브신호를 입력으로 하는 버퍼와 기타 DC 회로를 제어하기 위한 신호이다.Referring to FIG. 5, a signal PWBE-M output through an exclusive logical sum 501 inputting the two signals PWBE-E and PWBE-O includes a word line driver, an equalization control signal generator, and a bit line voltage during wafer burn-in. A signal for controlling the generator, and a signal PWBE-C output through the AND gate 502 which takes the two signals PWBE-E and PWBE-O as inputs is a signal for controlling the CBR logic at the time of wafer burn-in. The signal PWBE-P, which is output through the noah gate 503 that inputs the two signals PWBE-E and PWBE-O, is a signal for controlling the buffer and other DC circuits that input the column address strobe signal at wafer burn-in. to be.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따라 구성된 등화제어신호 발생기의 구체회로도이다.6 is a detailed circuit diagram of an equalization control signal generator constructed in accordance with another embodiment of the present invention.
신호 PWBE-M의 레벨이 하이레벨일때, 즉 VPP를 등화제어신호 PEQ로써 제공하기 위한 회로도이다.When the level of the signal PWBE-M is at a high level, that is, a circuit diagram for providing VPP as the equalization control signal PEQ.
상기한 바와 같이 본 발명에 따르면, 최소한의 핀을 이용하여 레이아웃 면적의 손실없이 메모리 셀에 스트레스전압을 인가하여 위크 비트를 스크린할 수 있는 이점을 가진다. 또한 본 발명은 일정한 시간내에 많은 양의 다이를 테스트할 수 있을 뿐만아니라 다양한 모드의 테스트를 실시할 수 있는 이점을 가진다.As described above, according to the present invention, a weak bit can be screened by applying a stress voltage to a memory cell without losing a layout area using a minimum number of pins. The present invention also has the advantage of being able to test a large amount of die in a certain amount of time, as well as conducting various modes of testing.
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