JPH1182631A - 磁気カップリングの振動低減方法とこれに使用するダンパ - Google Patents

磁気カップリングの振動低減方法とこれに使用するダンパ

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JPH1182631A
JPH1182631A JP26515497A JP26515497A JPH1182631A JP H1182631 A JPH1182631 A JP H1182631A JP 26515497 A JP26515497 A JP 26515497A JP 26515497 A JP26515497 A JP 26515497A JP H1182631 A JPH1182631 A JP H1182631A
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JP
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case
damper
magnetic coupling
driven
magnetic
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JP26515497A
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Yoshimi Imamoto
善美 今本
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Nok Corp
Original Assignee
Nok Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 磁気カップリングの応用途を狭める要因とな
っている駆動時における磁気カップリングの従動側回転
軸4の振動的挙動および停止時における軸4の残留振動
を低減する比較的安価な方法を提供する。 【解決手段】 磁気カップリング2の従動側回転軸4に
ダンパ6を装着し、このダンパ6が奏する吸振作用によ
って、軸4に発生する振動的挙動および残留振動を低減
させることにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空機器分野等に
おける磁気カップリングの振動低減方法と、この方法の
実施に使用されるダンパとに関する。
【0002】
【従来の技術】磁気カップリングは、磁石の磁気吸引力
によって隔壁を介しても非接触で動力を伝達することが
できるという利点を有していることから、漏れの発生が
問題視される真空容器や水槽中への動力伝達要素として
様々な分野で用いられている。
【0003】しかしながら、その反面、磁気カップリン
グは駆動側回転軸と従動側回転軸とが直接機械的に繋が
っていないために、駆動時に従動側回転軸が振動的挙動
を示して脱調を起こしたり、停止時に大きな残留振動が
発生して軸の制動時間が長引く等の欠点を有している。
【0004】このため、磁気カップリングの応用途とし
て大きな市場が見込まれる真空機器分野においても、例
えば真空ロボットへの動力伝達要素のように高速性が要
求される場合には、磁気カップリングが使用されること
は少なく、また磁気カップリングが使用される際にも、
磁気カップリングの性能に合わせて駆動速度を制御した
り、対象とする機構の負荷等に合わせて磁気カップリン
グを新たに設計しているのが実情であって、コストの上
昇が避けられない。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の問題
点を解決するためになされたものであって、磁気カップ
リングの応用途を狭める要因となっている駆動時におけ
る磁気カップリングの従動側回転軸の振動的挙動および
停止時における軸の残留振動を低減する比較的安価な方
法を提供することを目的とし、併せて、この方法の実施
に使用されるのに適したダンパを提供することを目的と
する。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の請求項1による磁気カップリングの振動低
減方法は、磁気カップリングの従動側回転軸にダンパを
装着することにした。ダンパは慣性体(質量体、慣性質
量体またはマスとも称し、環状の場合には、振動リング
とも称する)を備えた振動低減装置であって、イナーシ
ャダンパ(後記する実施形態参照)、トーショナルダン
パまたはビスカスラバーダンパ等が含まれる。
【0007】また本発明の請求項2による磁気カップリ
ングの振動低減方法は、磁気カップリングの従動側回転
軸にダンパを装着し、前記ダンパとして、前記従動側回
転軸に対して同心状に装着されて前記従動側回転軸とと
もに回転する中空のケースと、前記ケースの内部に収容
されるとともに前記ケースの内面との間に間隙を設定す
る慣性体と、前記間隙に介在せしめられた粘性流体とを
備えたダンパを用いることにした。
【0008】また本発明の請求項3による磁気カップリ
ングの振動低減方法は、磁気カップリングの従動側回転
軸にダンパを装着し、前記ダンパとして、前記従動側回
転軸に対して同心状に装着されて前記従動側回転軸とと
もに回転する中空のケースと、前記ケースの内部に収容
されるとともに前記ケースの内面との間に間隙を設定す
る慣性体と、前記間隙に介在せしめられた粘性流体と、
前記ケースの内面に設けられた凹凸部と、前記凹凸部と
非接触の噛合い関係になるように前記慣性体の表面に設
けられた凹凸部とを備えたダンパを用いることにした。
【0009】また本発明の請求項4による磁気カップリ
ングの振動低減方法は、上記した請求項2または3の磁
気カップリングの振動低減方法において、ケースが非磁
性材料、慣性体が磁石等の磁性材料、粘性流体が磁性流
体により構成されたダンパを用いることにした。
【0010】また本発明の請求項5によるダンパは、回
転軸に対して同心状に装着されて前記回転軸とともに回
転する中空のケースと、前記ケースの内部に収容される
とともに前記ケースの内面との間に間隙を設定する慣性
体と、前記間隙に介在せしめられた粘性流体と、前記ケ
ースの内面に設けられた凹凸部と、前記凹凸部と非接触
の噛合い関係になるように前記慣性体の表面に設けられ
た凹凸部とを備えることにした。
【0011】また本発明の請求項6によるダンパは、上
記した請求項5のダンパにおいて、ケースが非磁性材
料、慣性体が磁石等の磁性材料、粘性流体が磁性流体に
より構成されていることにした。
【0012】上記構成を備えた本発明の請求項1による
磁気カップリングの振動低減方法のように、磁気カップ
リングの従動側回転軸にダンパが装着されると、このダ
ンパが奏する吸振作用によって、軸に発生する振動的挙
動および残留振動を低減させることが可能となる。
【0013】また上記構成を備えた本発明の請求項2に
よる磁気カップリングの振動低減方法のように、磁気カ
ップリングの従動側回転軸にダンパが装着され、このダ
ンパとして、従動側回転軸に対して同心状に装着されて
従動側回転軸とともに回転する中空のケースと、ケース
の内部に収容されるとともにケースの内面との間に間隙
を設定する慣性体と、間隙に介在せしめられた粘性流体
とを備えたダンパが用いられると、このダンパが奏する
吸振作用、就中、粘性流体の粘性抵抗による吸振作用に
よって、軸に発生する振動的挙動および残留振動を有効
に低減させることが可能となる。
【0014】また上記構成を備えた本発明の請求項3に
よる磁気カップリングの振動低減方法のように、磁気カ
ップリングの従動側回転軸にダンパが装着され、このダ
ンパとして、従動側回転軸に対して同心状に装着されて
従動側回転軸とともに回転する中空のケースと、ケース
の内部に収容されるとともにケースの内面との間に間隙
を設定する慣性体と、間隙に介在せしめられた粘性流体
と、ケースの内面に設けられた凹凸部と、この凹凸部と
噛合い関係になるように慣性体の表面に設けられた凹凸
部とを備えたを備えたダンパが用いられると、このダン
パが奏する吸振作用、就中、凹凸部の組合せにおける広
面積に亙っての粘性流体の粘性抵抗による吸振作用によ
って、粘性流体が低粘度のものであっても、軸に発生す
る振動的挙動および残留振動を効果的に低減させること
が可能となり、温度変化の大きな環境下で使用する場合
においても、常に安定した振動低減効果が得られる。
【0015】また上記構成を備えた本発明の請求項4に
よる磁気カップリングの振動低減方法のように、請求項
2または3による磁気カップリングの振動低減方法にお
いて、ケースが非磁性材料、慣性体が磁石等の磁性材
料、粘性流体が磁性流体により構成されたダンパが用い
られると、磁性流体が付与する磁気浮揚力によって慣性
体がケースの中で浮揚した状態に置かれて、慣性体とケ
ースの内面とが接触することがないために、常に安定し
た振動低減効果を得ることが可能となる。
【0016】
【発明の実施の形態】つぎに本発明の実施形態を図面に
したがって説明する。
【0017】図1は、当該実施形態に係る磁気カップリ
ングの振動低減方法の説明図であって、図2はこの方法
の実施に使用されるダンパの断面図である。
【0018】図1において、符号1はモータ等の駆動源
であり、この駆動源1において発生する動力が、駆動側
回転軸3および従動側回転軸4を備えた磁気カップリン
グ2を介して位置決め機構等の負荷5に伝達されるよう
になっており、このような磁気カップリング2の従動側
回転軸4にダンパ6を装着することにより、従動側回転
軸4に発生する振動的挙動および残留振動を低減させる
ようになっている。
【0019】ダンパ6はイナーシャタイプのダンパであ
って、以下のような構成を備えている。
【0020】すなわち図2に示すように、先ず、磁気カ
ップリング2の従動側回転軸4の外周に環状を呈する中
空のケース7が同心状に固定されており、このケース7
が従動側回転軸4と一体となって回転するようになって
いる。ケース7の中に環状の慣性体8が間隙(隙間とも
称する)9を介して収容されており、この慣性体8がケ
ース7の中で回転自在となっている。また間隙9に粘性
油等の粘性流体10が封入されており、慣性体8とケー
ス7との間に相対運動が起こると、この粘性流体10に
よって両者間に粘性摩擦が作用する。ダンパ6の振動低
減作用は、磁気カップリング2の従動側回転軸4がその
駆動時または停止時に振動を発生したときに、慣性体8
が自身の慣性により運動しようとして、ケース7との間
に相対運動を生じ、その運動エネルギーが粘性流体10
により付与される粘性摩擦によって熱エネルギーに変換
され、消費されることによってなされる。
【0021】上記ダンパ6の製作に当たっては、負荷と
なるケース7の慣性モーメントが小さくなるように、ケ
ース7の材料には比重の小さいプラスチック類を用いる
ことが望ましいが、磁気カップリング2を真空雰囲気中
への動力伝達要素として使用する場合等には、ステンレ
ス鋼等を薄肉加工して用いる。また慣性体8の材料には
比重の大きい金属材料を用い、粘性流体10にはシリコ
ンオイル等を用いる。尚、ダンパ6の構成材料として
は、上記の他にも、ケース7に非磁性材料、慣性体8に
永久磁石等の磁性材料、粘性流体10に磁性流体をそれ
ぞれ用いることも可能であって、このような材料ないし
流体を用いると、磁性流体が付与する磁気浮揚力によっ
て慣性体8がケース7の中で浮揚した状態に置かれて、
慣性体8とケース7の内壁面とが接触することがなくな
るために、常に安定した振動低減効果を得ることができ
る。
【0022】慣性体8の慣性モーメントの大きさ、慣性
体8とケース7の内壁面との間に設定する間隙9の大き
さ等については、磁気カップリング2および負荷5の慣
性モーメント、粘性流体10の粘度等の値から、実験ま
たは計算によって最適な値を決定する。
【0023】つぎに本願発明者らは、当該方法による振
動低減効果を確認するために、比較試験を行なったの
で、その内容を説明する。
【0024】資料は、以下のとおりとした。
【0025】ダンパ6について 慣性体8 ・材質 (株)マグナ製リング型異方性フェライト磁石 ・形状 外径52.5mm、内径20mm、幅5mmの
形状で幅方向に着磁したものを6個重ねて使用 ・慣性モーメント 1.1kgcm2 ケース7 ・材質 SUS304 ・慣性モーメント 1.0kgcm2 慣性体8およびケース7間の間隙9 ・大きさ 1.0mm 粘性流体10 ・種類 磁性流体(飽和磁化300G、粘度0.9Pa
・s)
【0026】磁気カップリング2について ・種類 アネルバ(株)製954−7603 ・最大伝達トルク 0.5Nm ・磁極数 8 駆動源1について ・種類 オリエンタルモーター製5相ステッピングモー
タUPD569B ・トルク 0.3Nm ・ステップ角 0.72deg 系の負荷条件・運転条件 ・負荷条件 駆動側慣性モーメント 1.8kgcm2 従動側慣性モーメント 2.7kgcm2 ・運転条件 60rpmから急停止
【0027】上記資料を用いて、磁気カップリング2の
従動側回転軸4の停止時における残留振動を測定したと
ころ、ダンパ6を装着した当該振動低減方法によると、
図3における実線パターンのような測定結果を得た。こ
れに対して、比較例として従動側回転軸4からダンパ6
を取り外して上記資料の作動を同一条件で繰り返したと
ころ、図3における点線パターンのような測定結果を得
た。
【0028】したがって、この測定結果の比較から分か
るように、当該振動低減方法によれば、磁気カップリン
グ2の従動側回転軸4の振動を効果的に低減させること
ができる。
【0029】上記したイナーシャタイプのダンパについ
ては、更に以下のように、その構成を付加変更すること
が可能である。
【0030】すなわち、ケースの内壁面に凹凸部を設け
るとともに、この凹凸部と非接触の噛合い関係になるよ
うに慣性体の表面に凹凸部を設け、これによりケースの
内壁面と慣性体の表面との対向面積を増大させて、粘性
流体の流動抵抗を大きくする。このような構成の下で回
転軸が加速度をもって回転すると、大きな粘性抵抗が回
転軸に対して制動力として作用し、回転軸の振動を低減
させる。したがって磁性流体が低粘度のものであって
も、効果的な振動低減効果を得ることができ、温度変化
の大きな環境下で使用する場合においても、常に安定し
た振動低減効果を得ることができる。
【0031】つぎに、この凹凸部を設けたダンパ6の具
体例を図面にしたがって説明する。
【0032】すなわち図4に示すように、先ず、回転軸
4の外周に環状を呈する中空のケース7が同心状に固定
されており、このケース7が回転軸4と一体となって回
転するようになっている。ケース7の中に環状の慣性体
8が間隙(隙間とも称する)9を介して収容されてお
り、この慣性体8がケース7の中で回転自在となってい
る。また間隙9に粘性油等の粘性流体10が封入されて
おり、慣性体8とケース7との間に相対運動が起こる
と、この粘性流体10によって両者間に粘性摩擦が作用
する。
【0033】中空のケース7の外周側周壁の内周面に、
複数(図では2本)の環状凸部11aを軸方向に並べて
設けた凹凸部11が設けられており、この凹凸部11と
非接触の噛合い関係になるように慣性体8の外周面に、
複数(図では2本)の環状凹部12aを軸方向に並べて
設けた凹凸部12が設けられており、この凹凸部11,
12の組合せによってケース7の内面と慣性体8の表面
との対向面積が増大せしめられている。
【0034】凹凸部11,12は、以下のようにして形
成するのが好適である。
【0035】すなわち先ず、ケース7側の凹凸部11に
ついては、このケース7の外周側周壁の内周側に筒状体
13を固定することにし、この筒状体13の内周面に予
め環状凸部11aを形成しておく。また慣性体8側の凹
凸部12については、外径寸法が比較的大径の環状プレ
ート状の分割体14と、外径寸法が比較的小径の環状プ
レート状の分割体15とを複数枚ずつ(図では前者が3
枚、後者が2枚)同心状に交互に並べて、これらを一体
化し(内径寸法は同じ)、これにより外径寸法が比較的
小径の環状プレート状の分割体14の外周に環状凹部1
2aを形成する。筒状体13の内周面に形成する環状凸
部11aの内径寸法が、外径寸法が比較的大径の環状プ
レート状の分割体14の外径寸法より小さい場合は、組
立てを容易にするために、筒状体13を周方向に分割形
成する(例えば2つ割り)。このようにすれば、比較的
容易に凹凸部11,12を形成することができる。
【0036】尚、この例では、ケース7の外周側周壁の
内周面とこれに対向する慣性体8の外周面とに凹凸部1
1,12の組合せを設けているが、これに代えてまたは
これと同時に、ケース7の内周側周壁の外周面とこれに
対向する慣性体8の内周面とに凹凸部の組合せを設ける
ようにしても良い。また軸方向端面に凹凸部の組合せを
形成することも考えられる。
【0037】また上記したように、ケース7に非磁性材
料、慣性体8に永久磁石等の磁性材料、粘性流体10に
磁性流体を用いると、磁性流体が付与する磁気浮揚力に
よって慣性体8がケース7の中で浮揚した状態に置かれ
て、慣性体8とケース7の内壁面とが接触することがな
くなるために、常に安定した振動低減効果を得ることが
できる。
【0038】
【発明の効果】本発明は、以下の効果を奏する。
【0039】すなわち先ず、上記構成を備えた本発明の
請求項1による磁気カップリングの振動低減方法におい
ては、磁気カップリングの従動側回転軸にダンパが装着
されるために、このダンパが奏する吸振作用によって、
軸に発生する振動的挙動および残留振動を低減させるこ
とができ、磁気カップリングの応用途を狭める原因とな
っている磁気カップリングの従動側回転軸の駆動時およ
び停止時における振動を効果的に低減させることができ
る。また従来技術である磁気カップリングの性能に合わ
せて駆動速度を制御したり、対象とする機構の負荷等に
合わせて磁気カップリングを設計したりする方法に比べ
て安価に振動低減の効果を得られるという利点があり、
磁気カップリングの応用途を拡大させることができる。
【0040】また上記構成を備えた本発明の請求項2に
よる磁気カップリングの振動低減方法においては、磁気
カップリングの従動側回転軸にダンパが装着され、この
ダンパとして、従動側回転軸に対して同心状に装着され
て従動側回転軸とともに回転する中空のケースと、ケー
スの内部に収容されるとともにケースの内面との間に間
隙を設定する慣性体と、間隙に介在せしめられた粘性流
体とを備えたダンパが用いられるために、このダンパが
奏する吸振作用、就中、粘性流体の粘性抵抗による吸振
作用によって、軸に発生する振動的挙動および残留振動
を効果的に低減させることができ、磁気カップリングの
応用途を狭める原因となっている磁気カップリングの従
動側回転軸の駆動時および停止時における振動を効果的
に低減させることができる。また従来技術である磁気カ
ップリングの性能に合わせて駆動速度を制御したり、対
象とする機構の負荷等に合わせて磁気カップリングを設
計したりする方法に比べて安価に振動低減の効果を得ら
れるという利点があり、磁気カップリングの応用途を拡
大させることができる。
【0041】また上記構成を備えた本発明の請求項3に
よる磁気カップリングの振動低減方法においては、磁気
カップリングの従動側回転軸にダンパが装着され、この
ダンパとして、従動側回転軸に対して同心状に装着され
て従動側回転軸とともに回転する中空のケースと、ケー
スの内部に収容されるとともにケースの内面との間に間
隙を設定する慣性体と、間隙に介在せしめられた粘性流
体と、ケースの内面に設けられた凹凸部と、この凹凸部
と非接触の噛合い関係になるように慣性体の表面に設け
られた凹凸部とを備えたを備えたダンパが用いられるた
めに、このダンパが奏する吸振作用、就中、凹凸部の組
合せにおける広面積に亙っての粘性流体の粘性抵抗によ
る吸振作用によって、粘性流体が低粘度のものであって
も、軸に発生する振動的挙動および残留振動を効果的に
低減させることが可能となり、温度変化の大きな環境下
で使用する場合においても、常に安定した振動低減効果
が得られ、磁気カップリングの応用途を狭める原因とな
っている磁気カップリングの従動側回転軸の駆動時およ
び停止時における振動を効果的に低減させることができ
る。また従来技術である磁気カップリングの性能に合わ
せて駆動速度を制御したり、対象とする機構の負荷等に
合わせて磁気カップリングを設計したりする方法に比べ
て安価に振動低減の効果を得られるという利点があり、
磁気カップリングの応用途を拡大させることができる。
【0042】またこれに加えて、上記構成を備えた本発
明の請求項4による磁気カップリングの振動低減方法に
おいては、ケースが非磁性材料、慣性体が磁石等の磁性
材料、粘性流体が磁性流体によって構成されたダンパが
用いられるために、磁性流体が付与する磁気浮揚力によ
って慣性体がケースの中で浮揚した状態に置かれて、慣
性体とケースの内面とが接触することがないために、常
に安定した振動低減効果を得ることができる。
【0043】また上記構成を備えた本発明の請求項5に
よるダンパにおいては、回転軸に対して同心状に装着さ
れて回転軸とともに回転する中空のケースと、このケー
スの内部に収容されるとともにケースの内面との間に間
隙を設定する慣性体と、間隙に介在せしめられた粘性流
体と、ケースの内面に設けられた凹凸部と、この凹凸部
と非接触の噛合い関係になるように慣性体の表面に設け
られた凹凸部とが備えられているために、このダンパが
奏する吸振作用、就中、凹凸部の組合せにおける広面積
に亙っての粘性流体の粘性抵抗による吸振作用によっ
て、粘性流体が低粘度のものであっても、軸に発生する
振動的挙動および残留振動を効果的に低減させることが
可能となり、温度変化の大きな環境下で使用する場合に
おいても、常に安定した振動低減効果が得られる。
【0044】またこれに加えて、上記構成を備えた本発
明の請求項6によるダンパにおいては、ケースが非磁性
材料、慣性体が磁石等の磁性材料、粘性流体が磁性流体
によって構成されているために、磁性流体が付与する磁
気浮揚力によって慣性体がケースの中で浮揚した状態に
置かれて、慣性体とケースの内面とが接触することがな
いために、常に安定した振動低減効果を得ることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係る磁気カップリングの振
動低減方法の説明図であって、図2はこの方法の実施に
使用されるダンパの断面図
【図2】同振動低減方法の実施に使用されるダンパの断
面図
【図3】同振動低減方法の試験結果を示すグラフ図
【図4】ダンパの他の例を示す断面図
【符号の説明】
1 駆動源 2 磁気カップリング 3 駆動側回転軸 4 従動側回転軸(回転軸) 5 負荷 6 ダンパ 7 ケース 8 慣性体 9 間隙 10 粘性流体 11,12 凹凸部 11a 環状凸部 12a 環状凹部 13 筒状体 14,15 分割体

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 磁気カップリング(2)の従動側回転軸
    (4)にダンパ(6)を装着することを特徴とする磁気
    カップリングの振動低減方法。
  2. 【請求項2】 磁気カップリング(2)の従動側回転軸
    (4)にダンパ(6)を装着し、 前記ダンパ(6)として、前記回転軸(4)に対して同
    心状に装着されて前記回転軸(4)とともに回転する中
    空のケース(7)と、前記ケース(7)の内部に収容さ
    れるとともに前記ケース(7)の内面との間に間隙
    (9)を設定する慣性体(8)と、前記間隙(9)に介
    在せしめられた粘性流体(10)とを備えたダンパを用
    いることを特徴とする磁気カップリングの振動低減方
    法。
  3. 【請求項3】 磁気カップリング(2)の従動側回転軸
    (4)にダンパ(6)を装着し、 前記ダンパ(6)として、前記回転軸(4)に対して同
    心状に装着されて前記回転軸(4)とともに回転する中
    空のケース(7)と、前記ケース(7)の内部に収容さ
    れるとともに前記ケース(7)の内面との間に間隙
    (9)を設定する慣性体(8)と、前記間隙(9)に介
    在せしめられた粘性流体(10)と、前記ケース(7)
    の内面に設けられた凹凸部(11)と、前記凹凸部(1
    1)と非接触の噛合い関係になるように前記慣性体
    (8)の表面に設けられた凹凸部(12)とを備えたダ
    ンパを用いることを特徴とする磁気カップリングの振動
    低減方法。
  4. 【請求項4】 請求項2または3の磁気カップリングの
    振動低減方法において、 ケース(7)が非磁性材料、慣性体(8)が磁石等の磁
    性材料、粘性流体(10)が磁性流体により構成された
    ダンパを用いることを特徴とする磁気カップリングの振
    動低減方法。
  5. 【請求項5】 回転軸(4)に対して同心状に装着され
    て前記回転軸(4)とともに回転する中空のケース
    (7)と、前記ケース(7)の内部に収容されるととも
    に前記ケース(7)の内面との間に間隙(9)を設定す
    る慣性体(8)と、前記間隙(9)に介在せしめられた
    粘性流体(10)と、前記ケース(7)の内面に設けら
    れた凹凸部(11)と、前記凹凸部(11)と非接触の
    噛合い関係になるように前記慣性体(8)の表面に設け
    られた凹凸部(12)とを備えたことを特徴とするダン
    パ。
  6. 【請求項6】 請求項5のダンパにおいて、 ケース(7)が非磁性材料、慣性体(8)が磁石等の磁
    性材料、粘性流体(10)が磁性流体により構成されて
    いることを特徴とするダンパ。
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