JPH1177458A - 三軸微調整クロステーブルおよびその使用方法 - Google Patents
三軸微調整クロステーブルおよびその使用方法Info
- Publication number
- JPH1177458A JPH1177458A JP27927997A JP27927997A JPH1177458A JP H1177458 A JPH1177458 A JP H1177458A JP 27927997 A JP27927997 A JP 27927997A JP 27927997 A JP27927997 A JP 27927997A JP H1177458 A JPH1177458 A JP H1177458A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rollers
- jack
- screw
- present
- adjustment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 大型精密機器の据え付けを少人数で，しかも
短時間で効率的に行うための三軸微調整クロステーブル
およびその使用方法に関するものである。 【解決手段】 基盤上に，スクリューにより前後方向に
移動可能なＹテーブルを設け，かつ該基盤の上面に，前
記Ｙテーブルを基盤上を前後方向に移動させる複数個の
ローラーを設け，さらに該Ｙテーブル上に，スクリュー
により左右方向に移動可能なＸテーブルを設け，かつ，
該Ｘテーブルの下面に，Ｘテーブルが前記Ｙテーブル上
を左右方向に移動させる複数個のローラーを設けるとと
もに，該Ｘテーブル上に，上下方向に昇降可能なジャッ
キを設けたことを特徴とする三軸微調整クロステーブル
およびその使用方法で，据え付け位置の微調整を一人の
作業者で容易に行い得るようにして，上記の課題の解決
を図った。
短時間で効率的に行うための三軸微調整クロステーブル
およびその使用方法に関するものである。 【解決手段】 基盤上に，スクリューにより前後方向に
移動可能なＹテーブルを設け，かつ該基盤の上面に，前
記Ｙテーブルを基盤上を前後方向に移動させる複数個の
ローラーを設け，さらに該Ｙテーブル上に，スクリュー
により左右方向に移動可能なＸテーブルを設け，かつ，
該Ｘテーブルの下面に，Ｘテーブルが前記Ｙテーブル上
を左右方向に移動させる複数個のローラーを設けるとと
もに，該Ｘテーブル上に，上下方向に昇降可能なジャッ
キを設けたことを特徴とする三軸微調整クロステーブル
およびその使用方法で，据え付け位置の微調整を一人の
作業者で容易に行い得るようにして，上記の課題の解決
を図った。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は，大型精密機器の据
え付けを少人数で，しかも短時間で効率的に行うための
三軸微調整クロスナーブルおよびその使用方法に関する
ものである。
え付けを少人数で，しかも短時間で効率的に行うための
三軸微調整クロスナーブルおよびその使用方法に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】近年，半導体の製造機器は，各社の競争
が激化し，その結果，機器の大型化が主流となってい
る。また，それに伴って機器の据え付け作業の時間の短
縮，さらにはコストの低減が求められている。
が激化し，その結果，機器の大型化が主流となってい
る。また，それに伴って機器の据え付け作業の時間の短
縮，さらにはコストの低減が求められている。
【０００３】例えば，半導体製造用の精密機器をクリー
ンルーム内に設置する場合のように，大重量の大型精密
機器を所定箇所に据え付けるときには，従来は，数人の
作業員が，ジャッキを用いて微調整を行いつつ据え付け
作業を行っている。そのため，作業に相当の時間を必要
とし，効率的ではなかった。
ンルーム内に設置する場合のように，大重量の大型精密
機器を所定箇所に据え付けるときには，従来は，数人の
作業員が，ジャッキを用いて微調整を行いつつ据え付け
作業を行っている。そのため，作業に相当の時間を必要
とし，効率的ではなかった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のような理由によ
り，大型精密機器の据え付け作業を，短時間で効率的に
行うことが要求されているが，適宜な装置がなく，作業
の簡易化，時間の短縮のための適当な器具の開発が課題
となっている。
り，大型精密機器の据え付け作業を，短時間で効率的に
行うことが要求されているが，適宜な装置がなく，作業
の簡易化，時間の短縮のための適当な器具の開発が課題
となっている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は，基盤上に，ス
クリューにより前後方向に移動可能なＹテーブルを設
け，かつ該基盤の上面に，前記Ｙテーブルを基盤上を前
後方向に移動させる複数個のローラーを設け，さらに該
Ｙテーブル上に，スクリューにより左右方向に移動可能
なＸテーブルを設け，かつ，該Ｘテーブルの下面に，Ｘ
テーブルが前記Ｙテーブル上を左右方向に移動させる複
数個のローラーを設けるとともに，該Ｘテーブル上に，
上下方向に昇降可能なジャッキを設けたことを特徴とす
る三軸微調整クロステーブル。および，前記テーブルお
よびジャッキを分解可能としたこと，さらには，クロス
テーブルを請求項１に記載の三軸微調整クロステーブル
１個を含めて４個準備し，重量物機器を該クロステーブ
ル上に保持し，前記請求項１記載の三軸微調整クロステ
ーブルの位置調整により，重量物機器を所定箇所に設置
することを特徴とする三軸微調整クロステーブルの使用
方法で，これらの特徴により，重量物機器の据え付け作
業を容易かつ効率的に行い得るようにしたものである。
クリューにより前後方向に移動可能なＹテーブルを設
け，かつ該基盤の上面に，前記Ｙテーブルを基盤上を前
後方向に移動させる複数個のローラーを設け，さらに該
Ｙテーブル上に，スクリューにより左右方向に移動可能
なＸテーブルを設け，かつ，該Ｘテーブルの下面に，Ｘ
テーブルが前記Ｙテーブル上を左右方向に移動させる複
数個のローラーを設けるとともに，該Ｘテーブル上に，
上下方向に昇降可能なジャッキを設けたことを特徴とす
る三軸微調整クロステーブル。および，前記テーブルお
よびジャッキを分解可能としたこと，さらには，クロス
テーブルを請求項１に記載の三軸微調整クロステーブル
１個を含めて４個準備し，重量物機器を該クロステーブ
ル上に保持し，前記請求項１記載の三軸微調整クロステ
ーブルの位置調整により，重量物機器を所定箇所に設置
することを特徴とする三軸微調整クロステーブルの使用
方法で，これらの特徴により，重量物機器の据え付け作
業を容易かつ効率的に行い得るようにしたものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下，添付図面により本発明につ
いて詳細に説明する。図１は本発明の正面図，図２は平
面図，図３は側面図，図４は本発明の構成を示す説明図
である。
いて詳細に説明する。図１は本発明の正面図，図２は平
面図，図３は側面図，図４は本発明の構成を示す説明図
である。
【０００７】図１乃至図３において，１は基盤，２は該
基盤１上の前後方向（Ｙ方向）に並列に設けたガイド
で，その上面には複数個のローラー６を配置してある。
３は前記基盤１上に載置したＹテーブル，５は該Ｙテー
ブル３に設けたスクリューで，その回転により，該Ｙテ
ーブル３を前記ローラー６上を前後方向（Ｙ方向）に移
動可能に構成しである。なお，４は基盤１に設けたガイ
ド２と接触して移動方向を規制するガイドである。８は
Ｙテーブル３上に載置したＸテーブルで，その上面には
ジャッキ１２を搭載している。また，該Ｘテーブル８の
下面（Ｙテーブルとの接触面）には左右方向（Ｘ方向）
に複数個のローラー１１を配置してあり，該Ｘテーブル
７の両端に設けた支持部９により支持されているスクリ
ュー１０の回転により，Ｙテーブル８を，前記複数個の
ローラー１１により左右方向（Ｘ方向）に移動可能に構
成してある。なお，７はＸテーブル３上に前記Ｙテーブ
ル３上に左右方向（Ｘ方向）に並列に設けたガイドであ
る。１３はジャッキ１２の上面，１４は該ジャッキ１２
を垂直方向（Ｚ方向）に昇降させるための操作桿であ
る。なお，上記のローラー６および１１は市販のＬＲＭ
型ローラー（キャタピラ形式）を使用すると好適であ
る。
基盤１上の前後方向（Ｙ方向）に並列に設けたガイド
で，その上面には複数個のローラー６を配置してある。
３は前記基盤１上に載置したＹテーブル，５は該Ｙテー
ブル３に設けたスクリューで，その回転により，該Ｙテ
ーブル３を前記ローラー６上を前後方向（Ｙ方向）に移
動可能に構成しである。なお，４は基盤１に設けたガイ
ド２と接触して移動方向を規制するガイドである。８は
Ｙテーブル３上に載置したＸテーブルで，その上面には
ジャッキ１２を搭載している。また，該Ｘテーブル８の
下面（Ｙテーブルとの接触面）には左右方向（Ｘ方向）
に複数個のローラー１１を配置してあり，該Ｘテーブル
７の両端に設けた支持部９により支持されているスクリ
ュー１０の回転により，Ｙテーブル８を，前記複数個の
ローラー１１により左右方向（Ｘ方向）に移動可能に構
成してある。なお，７はＸテーブル３上に前記Ｙテーブ
ル３上に左右方向（Ｘ方向）に並列に設けたガイドであ
る。１３はジャッキ１２の上面，１４は該ジャッキ１２
を垂直方向（Ｚ方向）に昇降させるための操作桿であ
る。なお，上記のローラー６および１１は市販のＬＲＭ
型ローラー（キャタピラ形式）を使用すると好適であ
る。
【０００８】本発明は上記のように構成しているので，
使用に際しては，本発明のクロステーブル１個を含め４
個のテーブルを大型重量物機器の設置箇所に配置し，各
テーブルのジャッキの上面に該大型重量物機器（図示せ
ず）を載置し４点で受け止める。そこで，本発明クロス
テーブルのスクリュー５を回転させて，Ｙテーブル３を
ローラー６上を移動させ，前後方向（Ｙ方向）の微調整
を行う。このようにして前記大型重量物機器を前後方向
（Ｙ方向）の所定位置に調定した後，スクリュー１０を
回転させて，Ｘテーブル８をローラー１１により左右方
向（Ｘ方向）に移動させ，Ｘ方向の位置の微調整を行
う。この操作によりＸ方向の所定位置への調定を終了し
た後，本発明テーブルのジャッキ１２を含め，各テーブ
ルに設けたジャッキを操作して垂直方向（Ｚ方向）の微
調整を行い，大型重量物機器を所定箇所にセットする。
使用に際しては，本発明のクロステーブル１個を含め４
個のテーブルを大型重量物機器の設置箇所に配置し，各
テーブルのジャッキの上面に該大型重量物機器（図示せ
ず）を載置し４点で受け止める。そこで，本発明クロス
テーブルのスクリュー５を回転させて，Ｙテーブル３を
ローラー６上を移動させ，前後方向（Ｙ方向）の微調整
を行う。このようにして前記大型重量物機器を前後方向
（Ｙ方向）の所定位置に調定した後，スクリュー１０を
回転させて，Ｘテーブル８をローラー１１により左右方
向（Ｘ方向）に移動させ，Ｘ方向の位置の微調整を行
う。この操作によりＸ方向の所定位置への調定を終了し
た後，本発明テーブルのジャッキ１２を含め，各テーブ
ルに設けたジャッキを操作して垂直方向（Ｚ方向）の微
調整を行い，大型重量物機器を所定箇所にセットする。
【０００９】このとき，本発明においては，大型重量物
機器の所定箇所への設置のための微調整を本発明テーブ
ルの１箇所のみで行うことが可能であり，従って作業者
が一人で位置の調整を行うことができ，作業の効率化を
図ることができる。
機器の所定箇所への設置のための微調整を本発明テーブ
ルの１箇所のみで行うことが可能であり，従って作業者
が一人で位置の調整を行うことができ，作業の効率化を
図ることができる。
【００１０】また，作業終了後は，基盤１，Ｘテーブル
８，Ｙテーブル３およびジャッキ１２をそれぞれ分割す
ることができるので，運搬および保管等が容易である。
８，Ｙテーブル３およびジャッキ１２をそれぞれ分割す
ることができるので，運搬および保管等が容易である。
【００１１】
【実施例】つぎに，本発明の実施例を示す。重量８０，
０００ｋｇの大型重量物機器（４点受け，受圧荷重１点
当たり２，０００ｋｇ）の所定箇所への設置を，調整に
必要なストローク，Ｘ軸（左右）１４０ｍｍ，Ｙ軸（前
後）２００ｍｍ，Ｚ軸（垂直）２０ｍｍの本発明クロス
テーブルを使用して行った。このとき作業時間は１時間
であった。これに対し，本発明クロステーブルを使用し
ない従来の方法では，作業時間は３時間を要した。しか
も，本発明においては，Ｘ，Ｙ軸方向の調整を作業者が
一人で片手で行うことができた。なお，このとき，作業
の安全を考慮して，Ｚ軸のみ４点調整を行った。
０００ｋｇの大型重量物機器（４点受け，受圧荷重１点
当たり２，０００ｋｇ）の所定箇所への設置を，調整に
必要なストローク，Ｘ軸（左右）１４０ｍｍ，Ｙ軸（前
後）２００ｍｍ，Ｚ軸（垂直）２０ｍｍの本発明クロス
テーブルを使用して行った。このとき作業時間は１時間
であった。これに対し，本発明クロステーブルを使用し
ない従来の方法では，作業時間は３時間を要した。しか
も，本発明においては，Ｘ，Ｙ軸方向の調整を作業者が
一人で片手で行うことができた。なお，このとき，作業
の安全を考慮して，Ｚ軸のみ４点調整を行った。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように，本発明は，クリー
ンルーム内における半導体の製造機器の組立て，据え付
け等，大型重量物機器の所定箇所への据え付けを，少人
数で，しかも短時間に容易かつ安全に行うことができる
ので，極めて効率的であり，しかも，作業コストの低減
を図ることができる。
ンルーム内における半導体の製造機器の組立て，据え付
け等，大型重量物機器の所定箇所への据え付けを，少人
数で，しかも短時間に容易かつ安全に行うことができる
ので，極めて効率的であり，しかも，作業コストの低減
を図ることができる。
【００１３】また，不使用時には，それぞれを分割する
ことができるので，運搬・保管等も容易に行える，等々
の優れた効果を有する。
ことができるので，運搬・保管等も容易に行える，等々
の優れた効果を有する。
【図１】本発明の正面図。
【図２】本発明の平面図。
【図３】本発明の側面図。
【図４】本発明の構成を示す説明図。
１ 基盤 ２ ガイド ３ Ｙテーブル ４ ガイド ５ スクリュー ６ ローラー ７ ガイド ８ Ｘテーブル ９ 支持部 １０ スクリュー １１ ローラー １２ ジャッキ １３ ジャッキの上面 １４ 操作桿
Claims (3)
- 【請求項１】 基盤上に，スクリューにより前後方向に
移動可能なＹテーブルを設け，かつ該基盤の上面に，前
記Ｙテーブルを基盤上を前後方向に移動させる複数個の
ローラーを設け，さらに該Ｙテーブル上に，スクリュー
により左右方向に移動可能なＸテーブルを設け，かつ，
該Ｘテーブルの下面に，Ｘテーブルが前記Ｙテーブル上
を左右方向に移動させる複数個のローラーを設けるとと
もに，該Ｘテーブル上に，上下方向に昇降可能なジャッ
キを設けたことを特徴とする三軸微調整クロステーブ
ル。 - 【請求項２】 テーブルおよびジャッキを分解可能とし
たことを特徴とする請求項１記載の三軸微調整クロステ
ーブル。 - 【請求項３】 クロステーブルを，請求項１に記載の三
軸微調整クロステーブル１個を含めて４個準備し，重量
物機器を該クロステーブル上に保持し，前記請求項１記
載の三軸微調整クロステーブルの位置調整により，重量
物機器を所定箇所に設置することを特徴とする三軸微調
整クロステーブルの使用方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27927997A JPH1177458A (ja) | 1997-09-05 | 1997-09-05 | 三軸微調整クロステーブルおよびその使用方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27927997A JPH1177458A (ja) | 1997-09-05 | 1997-09-05 | 三軸微調整クロステーブルおよびその使用方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1177458A true JPH1177458A (ja) | 1999-03-23 |
Family
ID=17608960
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27927997A Pending JPH1177458A (ja) | 1997-09-05 | 1997-09-05 | 三軸微調整クロステーブルおよびその使用方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1177458A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101076161B1 (ko) | 2011-07-25 | 2011-10-21 | 제이엔엠코리아 주식회사 | 기계 설비 세팅장치 |
| JP2011235971A (ja) * | 2010-04-30 | 2011-11-24 | Hirata Corp | 移動装置および移動方法 |
-
1997
- 1997-09-05 JP JP27927997A patent/JPH1177458A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011235971A (ja) * | 2010-04-30 | 2011-11-24 | Hirata Corp | 移動装置および移動方法 |
| KR101076161B1 (ko) | 2011-07-25 | 2011-10-21 | 제이엔엠코리아 주식회사 | 기계 설비 세팅장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4896869A (en) | Moving table apparatus | |
| JPH1177458A (ja) | 三軸微調整クロステーブルおよびその使用方法 | |
| JP3638436B2 (ja) | ラビング装置 | |
| CN220305069U (zh) | 一种全自动织物起毛起球测试仪 | |
| US4059162A (en) | Drilling unit for stadium seats | |
| JP2000263749A (ja) | 印刷回路基板用のスクリーン印刷機 | |
| JPH10160796A (ja) | Ｉｃテスタのテストヘッド用接続台 | |
| JP4761091B2 (ja) | 自動水平補正作業装置 | |
| CN212848351U (zh) | 一种集成电路生产用定位装置 | |
| JPS62242812A (ja) | 自動計測装置 | |
| CN223043850U (zh) | 一种超短脉冲紫外皮秒pcb电路板激光切割设备 | |
| CN223368256U (zh) | 一种用于装载机铲斗孔加工设备 | |
| CN113390609A (zh) | 一种车载屏兼容治具载台 | |
| CN224129896U (zh) | 一种装饰材料裁切装置 | |
| CN220446431U (zh) | 一种检修用升降平台 | |
| CN223766527U (zh) | 电脑横机支撑机构 | |
| JPH06246561A (ja) | ベッドの支持方法 | |
| CN223071355U (zh) | 一种可调多角度大件机加工操作台 | |
| CN220427930U (zh) | 一种金属板材表面抛光设备 | |
| CN221039788U (zh) | 手动单面单曝光光刻机 | |
| JPH0632311Y2 (ja) | ロボット用作業台 | |
| CN218452573U (zh) | 用于轴承锻造的原料切段工作台 | |
| CN116559007B (zh) | 一种全自动织物起毛起球测试仪 | |
| CN116079634B (zh) | 治具 | |
| CN223223281U (zh) | 一种用于环境监测的拆装辅助装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040618 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041221 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20050510 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |