JPH117032A - 反射型液晶表示装置及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 つなぎ合わせた部分に視覚的なスジ状の表示
ムラが発生しない、表示品位の良い大画面の反射型液晶
表示装置及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 レチクルＡおよびレチクルＢにおけるつ
なぎ合わせる部分の形状は、レチクルＡの２画素分の抜
部（凹状部）にレチクルＢの２画素分の非抜部（凸状
部）に入り、かつ、レチクルＡの２画素分の非抜部（凸
状部）がレチクルＢの２画素分の抜部（凹状部）に入る
ようになっている。そして、レチクルＡを用いて露光
し、その残りの未露光部分に、レチクルＢを用いて露光
する。次に、現像を行ない、形成した感光性樹脂を熱処
理を行って最適な形状にして凸部を得る。よって、本発
明のように画素単位で互い違いにつなぎ合わせること
で、スジ状の表示ムラを見え難くできる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばコンピュー
タやワードプロセッサ等の表示装置に用いられる反射型
液晶表示装置及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータ等のＯＡ
（Ｏｆｆｉｃｅ Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ）機器のポータ
ブル化が推進されている。それに用いられる表示装置と
しては、電気光学特性を有する表示媒体を挟んで、各々
電極が形成された一対の基板が設けられ、その電極間に
電圧を印加することによって表示を行う構成であり、そ
の低コスト化が重要な課題となってきている。

【０００３】ところで、上述したような表示媒体として
は、液晶、エレクトロルミネッセンス、プラズマ、エレ
クトロクロミック等が使用されており、特に、液晶を用
いた液晶表示装置（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄ
ｉｓｐｌａｙ；ＬＣＤ）は、低消費電力で表示が可能で
あるために、最も実用化が進んでいる。この液晶表示装
置の表示モードおよび駆動方法については、超捩れネマ
ティック（ＳｕｐｅｒＴｗｉｓｔｅｄ Ｎｅｍａｔｉ
ｃ；ＳＴＮ）を初めとする単純マトリクス方式が、最も
低コスト化を実現できる部類に属する。

【０００４】しかし、今後、情報のマルチメディア化が
進むにつれ、ディスプレイの高解像度化、高コントラス
ト化、多階調（マルチカラー、フルカラー）化および広
視野角化が要求されるようになるので、単純マトリクス
方式では対応が困難であると考えられる。

【０００５】そこで、個々の画素にスイッチング素子
（アクティブ素子）を設けて、駆動可能な走査電極の本
数を増加させるアクティブマトリクス方式が提案されて
いる。この技術により、ディスプレイの高解像度化、高
コントラスト化、多階調化および広視野角化が達成され
つつある。アクティブマトリクス方式の液晶表示装置に
おいては、マトリクス状に設けられた画素電極と、該画
素電極の近傍を通る走査線とが、アクテイブ素子を介し
て電気的に接続された構成となっている。このアクティ
ブ素子としては、２端子の非線形素子、あるいは３端子
の非線形素子があり、現在採用されているアクティブ素
子の代表格は、３端子素子の薄膜トランジスタ（Ｔｈｉ
ｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ；ＴＦＴ）であ
る。

【０００６】また、近年、より低消費電力化の要求が高
まり、通常バックライトを必要とする消費電力の多い透
過型液晶表示装置に代わり、反射型液晶表示装置の開発
が盛んに行われている。反射型液晶表示装置として明る
い表示を得るためには、あらゆる角度からの入射光に対
し、表示画面に垂直な方向へ散乱する光の強度を増加さ
せる必要がある。そのためには、最適な反射特性を有す
る反射板を作製することが必要となり、その実現化に
は、ガラス等からなる基板の表面に、最適な反射特性を
有するように形状が制御された凹凸を形成し、その上に
銀などの薄膜を形成した反射板を形成する必要がある。

【０００７】ところで、基板上に感光性樹脂を塗布し、
円形の遮光領域が配列された遮光手段を介して感光性樹
脂を露光及び現像した後に熱処理を行うことにより、平
面視が円形の複数の凸部を形成し、この凸部の上に、凸
部の形状および凸部間形状に応じた凹凸状の絶縁体保護
膜を形成し、更にその絶縁体保護膜上に金属薄膜などの
反射板を形成する技術が提案されている（特開平６−７
５２３８号）。また、この提案においては、反射板が画
素電極を兼ねる構成とすることにより、つまり反射板を
基板より表示媒体側に配した構成とすることにより、基
板の表示媒体側とは反対側に反射板を形成した場合に間
題となるガラス厚みの影響による二重映りの発生を解決
している。

【０００８】ここで、従来の反射型液晶表示装置につい
て説明する。

【０００９】反射型液晶表示装置は、一般に、液晶層を
挟んで一方に素子側基板が、他方に対向基板が配設され
た構造をとる。

【００１０】図１１はアクティブ素子を有する素子側基
板の一画素分の平面図であり、図１２は図１１のＡ−
Ａ’断面図である。図中、１０１はガラス基板であり、
１０２はゲート配線およびゲート電極、１０３はソース
配線およびソース電極、１０４は３端子非線形抵抗素子
（アクティブ素子）、１０５は反射板を兼ねた画素電極
（反射電極）である。

【００１１】この素子側基板においては、ガラス基板１
０１の上に形成した導電薄膜からなるゲート電極１０２
の上に、絶縁体層１０８、半導体層１０６およびコンタ
クト層１０６ａ、１０６ｂが形成され、その上にソース
電極１０３およびドレイン電極１０９が形成されてお
り、これにより３端子非線形抵抗素子１０４が形成され
ている。

【００１２】この３端子非線形抵抗素子１０４の上には
絶縁体保護層１１１が形成され、この絶縁体保護層１１
１にはドレイン電極１０９の引き回し電極１０９’上部
にコンタクトホール１０７がパターン形成されている。
その上に、さらに、アルミニウムなどから形成された反
射電極１０５が、ドレイン電極１０９の引き回し電極１
０９’に前記コンタクトホール１０７を介して電気的に
接続されている。

【００１３】また、反射電極１０５が形成された部分の
絶縁体保護層１１１の下部には、感光性樹脂よりなる複
数の凸部１１０が形成されている。この凸部１１０は、
あらゆる角度からの入射光に対し、表示画面に垂直な方
向へ散乱する光の強度を増加させるような最適な反射特
性を有する反射板を形成するためのものである。この凸
部１１０の上に設けられた絶縁体保護層１１１は、凸部
１１０の上が凸状、凸部１１０間の上が凹状となった表
面を有し、この凹凸状の絶縁体保護層１１１の上に設け
られた反射電極１０５も、絶縁体保護層１１１の表面状
態と同様に凹凸状となっている。以上のようにして、反
射型液晶表示装置が構成されている。

【００１４】ところで、上記複数の凸部１１０は、図１
３に示すようにして形成されている。

【００１５】まず、図１３（ａ）に示すように、素子側
基板１２１の表面に感光性樹脂１２２を塗布する。

【００１６】次に、図１３（ｂ）に示すように、遮光領
域１２３と透光領域１２４とを設けられた遮光手段（レ
チクル）１２５を介して露光を行なう。遮光手段（レチ
クル）１２５としては、図１４に示すような円形の遮光
領域１２３が配列された遮光手段、あるいは図１５に示
すような円形の透光領域１２４が配列された遮光手段を
用いることができる。

【００１７】次に、現像して、図１３（ｃ）に示す円柱
状をした感光性樹脂１２２を形成する。

【００１８】次に、熱処理を行うことにより、図１３
（ｄ）に示すような最適な形状の凸部１２２’を得る。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記凸部１
１０（又は１２２’）は、円形のものがランダムに配置
されて形成されており、その直径φは１μｍ〜３０μｍ
であり、また、それらの隣接する間隔も同様に１μｍ〜
３０μｍと非常に微小である。このため、フォトリソグ
ラフィ技術としては、高精細であることが要求される。
また、感光性樹脂からなる円形凸部の形成の際に、感光
性樹脂膜を露光するための露光装置としては、解像度が
高く、しかもスループット、タクトタイム、生産性およ
び大画面化に有利なステッパが一般的に用いられる。

【００２０】しかし、上述したステッパは投影レンズを
用いることから、レンズの精度によって歪み（ディスト
ーション）が生じ、図１６（ｂ）に示すように、本来の
レチクルの像（破線にて示す）に対して投影された像
（実線にて示す）が異なったものとなる。このため、図
１６（ｃ）に示すように、露光範囲内の中央部では凸部
の平面形状が真円となっても、露光範囲内の周辺部では
凸部の平面形状が真円ではない、例えば楕円状のような
形状となる。また、ステッパでは一度の露光で可能な露
光範囲は、現在、図１６（ａ）に示すように、対角１６
９ｍｍ（画面の縦寸法：画面の横寸法＝３：４で６．
７”画面）が最大である。よって、それ以上の表示画面
の面積を有する液晶表示装置を形成するためには、複数
回のショット露光（以下、これを複数ショット露光とも
いう）を行なうと共に、各ショット露光での露光範囲端
部を精度よくつなぎ合わせる必要がある。

【００２１】例えば、従来においては、図１７（ａ）に
示すように、第１ショット画面を内部とする第１ショッ
ト露光範囲に対して第１ショット露光を行い、また、第
２ショット画面を内部とする第２ショット露光範囲に対
して第２ショット露光を行っている。このとき、レチク
ルとしては、図１８（ａ）に示す矩形のレチクルＡと図
１８（ｂ）に示す矩形のレチクルＢとを用い、これらを
図１８（ｃ）に示すように組み合わせている。または、
１枚のレチクルを２つのショット露光範囲に対して繰り
返し使用し、各ショット露光範囲毎にショット露光を行
う。

【００２２】このようにして複数ショット露光を行う場
合においても、ステッパが投影レンズを用いた構成であ
ることから、レンズの精度によって発生する歪み（ディ
ストーション）により、図１７（ｂ）に示すように、各
ショット露光範囲のつなぎ合わせ部分の凸部の平面形状
が歪んだ円形（例えば楕円）となる。

【００２３】このとき、反射板に形成された凸部につい
ての光学特性としては、図１９に示すようになる。図１
９（ａ−１）に示すように凸部の平面形状が真円である
場合、そのｘ方向における反射特性｛図１９（ａ−２）
参照｝とｙ方向における反射特性図｛図１９（ａ−３）
参照｝とは反射強度がほぼ同一になり、図１９（ｂ−
１）に示すように凸部の平面形状が楕円である場合、そ
の長軸方向（ｘ方向）における反射特性図｛図１９（ｂ
−２）参照｝は反射強度が小さく、短軸方向（ｙ方向）
における反射特性図｛図１９（ｂ−３）参照｝は反射強
度が高くなる。ここで、反射強度が高くなる短軸方向を
明るい方向と呼ぶ。

【００２４】したがって、このように反射特性がｘ方向
とｙ方向とで大きく異なる状態となる、各ショット露光
範囲のつなぎ合わせ部分では、図２０に示すように、前
記明るい方向である矢印の向く方向が、つなぎ目の両側
の各々において共に連続的に揃った状態となるため、つ
なぎ目に視覚的なスジ状の表示ムラが生じてしまう。よ
って、従来においては、つなぎ合わせた部分では、最適
な反射特性を有するように形状が制御された凸部を均一
に形成することが困難であった。また、このことは、反
射板の下地に凸部の代わりに凹部を形成して、反射板に
凹凸形状を設ける場合にも、同様に起こる。

【００２５】また、光源ランプの照射面内での不均一性
や光源ランプの不安定な保持等によっても、円形の凹凸
部の形状がつなぎ合わせた部分で異なってしまう場合が
ある。この場合も、同様に、最適な反射特性を有するよ
うに形状が制御された凹部または凸部を均一に形成する
ことが困難である。そのことから同様に液晶表示装置と
して画像を表示した場合、つなぎ合わせた部分に視覚的
なスジ状の表示ムラが発生し、表示品位の劣化となる。

【００２６】本発明は、このような従来技術の課題を解
決すべくなされたものであり、つなぎ合わせた部分に視
覚的なスジ状の表示ムラが発生しない、表示品位の良い
大画面の反射型液晶表示装置及びその製造方法を提供す
ることを目的とする。

【００２７】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１の反射
型液晶表示装置は、液晶層を挟持する一対の基板の一方
が透光性のある電極を有するものからなり、他方の基板
が複数の凹部または複数の凸部の上に反射電極を各画素
毎に形成したものからなる反射型液晶表示装置におい
て、該凹部または該凸部が、表示領域を複数に分割した
各領域毎の露光を経て形成されており、隣合う領域にお
ける１列または２列以上の画素列からなる境界部分に、
画素単位で異なる露光を受けた画素が混在すると共に各
画素内の該凹部または該凸部が同一の露光を受けて形成
され、そのことにより上記目的が達成される。

【００２８】本発明の請求項２の反射型液晶表示装置
は、液晶層を挟持する一対の基板の一方が透光性のある
電極を有するものからなり、他方の基板が複数の凹部ま
たは複数の凸部の上に反射電極を各画素毎に形成したも
のからなる反射型液晶表示装置において、該凹部または
該凸部が、表示領域を複数に分割した各領域毎の露光を
経て形成されており、隣合う領域における１列または２
列以上の画素列からなる境界部分に、画素内で異なる露
光を受けて形成された該凹部または該凸部が混在し、そ
のことにより上記目的が達成される。

【００２９】本発明の請求項３の反射型液晶表示装置の
製造方法は、請求項１に記載の反射型液晶表示装置を製
造する方法であって、前記他方の基板上に感光性樹脂膜
を形成する工程と、該感光性樹脂膜における表示領域を
複数に分割した各領域の隣合う領域同士の一方に、該隣
合う領域における１列または２列以上の画素列からなる
境界部分に対応する部分おいて１または２以上の画素単
位で抜けている抜部を有すると共に、非抜部に前記凹部
または前記凸部を形成するための遮光領域または透光領
域を有する第１の遮光手段を用いて露光し、該隣合う領
域同士の他方に、タイミングを異ならせ、該境界部分に
対応する部分おいて１または２以上の画素単位で抜けて
いる抜部およびそれ以外の非抜部を、該第１の遮光手段
の非抜部および抜部にそれぞれ対応して有すると共に、
非抜部に前記凹部または前記凸部を形成するための遮光
領域または透光領域を有する第２の遮光手段を用いて露
光し、該境界部分の一方の領域の一部に、他方の領域に
対して露光を行って形成された画素が存在し、かつ、該
境界部分の他方の領域の一部に、一方の領域に対して露
光を行って形成された画素が存在する状態に、複数の領
域を重ね合わせる工程と、露光後に該感光性樹脂膜を現
像する工程とを具備し、そのことにより上記目的が達成
される。

【００３０】本発明の請求項４の反射型液晶表示装置の
製造方法は、前記第１の遮光手段および前記第２の遮光
手段の露光または遮光部分が凹凸状となっている場合
に、その凹凸状の窪みまたは突起の幅を１画素以上であ
って１０ｍｍ以下となし、かつ、凹凸状の窪みまたは突
起の長さを１画素以上であって露光領域横幅の９０％以
下となるようにした第１の遮光手段および第２の遮光手
段を用いることを特徴とする。

【００３１】本発明の請求項５の反射型液晶表示装置の
製造方法は、請求項２に記載の反射型液晶表示装置を製
造する方法であって、前記他方の基板上に感光性樹脂膜
を形成する工程と、該感光性樹脂膜における表示領域を
複数に分割した各領域の隣合う領域同士の一方に、隣合
う領域における１列または２列以上の画素列からなる境
界部分に対応する部分において前記凹部または凸部を形
成するための遮光領域または透光領域を各画素内の全数
に対して一部だけ有する遮光手段を用いて露光し、該隣
合う領域同士の他方に、タイミングを異ならせ、該境界
部分に対応する部分において前記凹部または凸部を形成
するための遮光領域または透光領域を各画素内の全数に
対して残り分を有する別の遮光手段を用いて露光し、該
境界部分の各画素内の凹部または凸部となる部分の一部
が一方の領域に対する露光にて形成され、かつ、該境界
部分の各画素内の残りの凹部または凸部となる部分が他
方の領域に対する露光にて形成されている状態に、複数
の領域を重ね合わせる工程と、露光後に感光性樹脂膜を
現像する工程とを具備し、そのことにより上記目的が達
成される。

【００３２】本発明の請求項６の反射型液晶表示装置の
製造方法は、前記境界部分の各画素内の凹部または凸部
を、一方の領域に対する露光にて形成されているものに
対し、他方の領域に対する露光にて形成されているもの
の割合が１割以上９割以下となるように形成することを
特徴とする。

【００３３】本発明の請求項７の反射型液晶表示装置の
製造方法は、前記表示領域を複数に分割した各領域の隣
合う領域同士の一方を露光する際に用いた遮光手段を露
光後に回転させ、その回転後の遮光手段を用いて他方の
領域を露光し、遮光手段を共用することを特徴とする。

【００３４】以下に、本発明の作用について説明する 本発明にあっては、まず、反射電極が設けられる基板上
に感光性樹脂膜を形成し、その後、該感光性樹脂膜にお
ける表示領域を複数に分割した各領域の隣合う領域同士
の一方に、該隣合う領域における１列または２列以上の
画素列からなる境界部分に対応する部分おいて１または
２以上の画素単位で抜けている抜部を有すると共に、非
抜部に前記凹部または前記凸部を形成するための遮光領
域または透光領域を有する第１の遮光手段を用いて露光
し、該隣合う領域同士の他方に、タイミングを異なら
せ、該境界部分に対応する部分おいて１または２以上の
画素単位で抜けている抜部およびそれ以外の非抜部を、
該第１の遮光手段の非抜部および抜部にそれぞれ対応し
て有すると共に、非抜部に前記凹部または前記凸部を形
成するための遮光領域または透光領域を有する第２の遮
光手段を用いて露光し、該境界部分の一方の領域の一部
に、他方の領域に対して露光を行って形成された画素が
存在し、かつ、該境界部分の他方の領域の一部に、一方
の領域に対して露光を行って形成された画素が存在する
状態に、複数の領域を重ね合わせる。そして、露光後に
該感光性樹脂膜を現像する。

【００３５】すると、隣合う領域における１列または２
列以上の画素列からなる境界部分に、例えば図２１に示
すように、画素単位で異なる露光を受けた画素が混在す
る。なお、各画素内の該凹部または該凸部が同一の露光
を受けて形成されている。よって、図２２に示すよう
に、例えば楕円形の凸部（または凹部）の短軸方向であ
る明るい方向が矢印にて示すように種々の方向を向き、
大型の反射型液晶表示装置を形成する時につなぎ合わせ
た部分に発生するスジ状の表示ムラが解消できる。

【００３６】このとき、第１の遮光手段および第２の遮
光手段の露光または遮光部分が凹凸状となっている場合
に、その凹凸状の窪みまたは突起の幅を１画素以上であ
って１０ｍｍ以下となした第１の遮光手段および第２の
遮光手段を用いると、それを超える場合にスジ状の表示
ムラが発生するのを抑制することができる。また、凹凸
状の窪みまたは突起の長さを１画素以上であって露光領
域横幅の９０％以下とするようになした第１の遮光手段
および第２の遮光手段を用いると、それを超える場合に
おいて、最も良好な表示が得られる表示領域が小さくな
るのを、抑制することができる。

【００３７】また、本発明にあっては、まず、反射電極
が設けられる基板上に感光性樹脂膜を形成し、その後、
該感光性樹脂膜における表示領域を複数に分割した各領
域の隣合う領域同士の一方に、隣合う領域における１列
または２列以上の画素列からなる境界部分に対応する部
分において前記凹部または凸部を形成するための遮光領
域または透光領域を各画素内の全数に対して一部だけ有
する遮光手段を用いて露光し、該隣合う領域同士の他方
に、タイミングを異ならせ、該境界部分に対応する部分
において前記凹部または凸部を形成するための遮光領域
または透光領域を各画素内の全数に対して残り分を有す
る別の遮光手段を用いて露光し、該境界部分の各画素内
の凹部または凸部となる部分の一部が一方の領域に対す
る露光にて形成され、かつ、該境界部分の各画素内の残
りの凹部または凸部となる部分が他方の領域に対する露
光にて形成されている状態に、複数の領域を重ね合わせ
る。そして、露光後に感光性樹脂膜を現像する。

【００３８】すると、隣合う領域における１列または２
列以上の画素列からなる境界部分に、今度は画素毎にで
はなく、画素内で異なる露光を受けて形成された該凹部
または該凸部が混在する。よって、大型の反射型液晶表
示装置を形成する時につなぎ合わせた部分に発生するス
ジ状の表示ムラが解消できる。

【００３９】このとき、境界部分の各画素内の凹部また
は凸部を、一方の領域に対する露光にて形成されている
ものに対し、他方の領域に対する露光にて形成されてい
るものの割合が１割以上９割以下となるように形成する
のが好ましい。このようにすると、大型の反射型液晶表
示装置を形成する時につなぎ合わせた部分に発生するス
ジ状の表示ムラの解消が可能となる。

【００４０】また、本発明にあっては、複数露光する際
に用いる遮光手段の遮光部または透光部が、隣合う領域
を露光する際に、点対称であるものを使用する場合は、
２種類の遮光手段を使用せずともよく、一方の遮光手段
を回転させることにより、他方の遮光手段を使用するこ
となく、露光することが可能となる。

【００４１】

【発明の実施の形態】まず、本発明の概要を説明する。

【００４２】反射型液晶表示装置においては、あらゆる
角度からの入射光に対し表示画面に垂直な方向へ散乱す
る光の強度を増加させるような最適な反射特性を有する
反射板を形成することが求められる。そのためには、反
射電極が形成される部分の絶縁体保護層の下部に、感光
性樹脂からなる複数の凹凸部を形成する必要がある。

【００４３】反射電極が形成される部分の絶縁体保護層
の下部に形成する複数の凹凸部は、素子側基板の表面に
感光性樹脂を塗布し、円形の遮光領域あるいは円形の透
光領域が配列された遮光手段（レチクル）を介して露光
を行い、続いて現像を行なう。このままでは、角張った
孔状または角張った柱状であるため、それを丸くすべ
く、熱処理を行って最適な形状にして凹部または凸部を
得る。

【００４４】以下に、本発明の実施形態について説明す
る。

【００４５】（実施形態１）図１は、本発明の実施形態
１に係る反射型液晶表示装置の製造方法を説明するため
の図である。

【００４６】本実施形態では、素子側基板の表面にネガ
型の感光性樹脂を塗布して複数ショット露光を行う際
に、図１（ａ）のレチクルＡと、図１（ｂ）のレチクル
Ｂとを用いる。

【００４７】レチクルＡおよびレチクルＢにおけるつな
ぎ合わせる部分の形状は、レチクルＡの２画素分の抜部
（凹状部）にレチクルＢの２画素分の非抜部（凸状部）
に入り、かつ、レチクルＡの２画素分の非抜部（凸状
部）がレチクルＢの２画素分の抜部（凹状部）に入るよ
うになっている。なお、レチクルＡおよびレチクルＢ
は、各々、図に示す非抜部の各画素において、円形の透
光領域が同じように配列されており、また、非抜部の外
側は総て遮光部となっている。

【００４８】そして、図１（ｃ）に示すようにレチクル
Ａを用いて露光し、その残りの未露光部分に、レチクル
Ｂを用いて露光する。

【００４９】次に、上記レチクルＡおよびレチクルＢを
使用して露光する方法について、具体的に説明する。

【００５０】まず、素子側基板の表面に感光性樹脂を塗
布し、まずレチクルＡを用いて露光を行った後、レチク
ルＢをレチクルＡとのつなぎ合わせる側にレチクルＡの
２画素分の互い違いに対応するようにつなぎ合わせて露
光する。

【００５１】次に、現像を行ない、形成した感光性樹脂
を熱処理を行って最適な形状にして凸部を得る。

【００５２】図１（ｃ）は、レチクルＡ、レチクルＢを
同一画面領域内につなぎ合せて露光したものを示す。複
数のレチクルを直線的につなぎ合わせた場合に、露光装
置のステッパが投影レンズを用いることからレンズの精
度によって発生する歪み（ディストーション）によって
円形の凸部の形状がつなぎ合わせた部分で異なることか
ら発生していたスジ状の表示ムラが、本発明のように画
素単位で互い違いにつなぎ合わせることで見え難くな
る。なお、液晶表示装置の他の部分は、従来と同様に行
うことで、本実施形態に係る反射型液晶表示装置が製造
される。

【００５３】（実施形態２、３、４、５、６）図２、
３、４、５、６のそれぞれは、本発明に係る反射型液晶
表示装置の実施形態２、３、４、５、６を説明するため
の構成図である。各図の（ａ）と（ｂ）とは、用いるレ
チクルＡ、Ｂを示す平面図であり、（ｃ）は素子側基板
の反射電極が形成される部分の絶縁体保護層の下部に感
光性樹脂により形成する凸部の複数ショット露光を行う
為のレチクルのつなぎ合わせ部分の一部分を示す平面図
である。

【００５４】実施形態２で用いるレチクルは、図２に示
すように、実施形態１において互い違いな凹凸形状とな
した画素を４画素分としたものである。実施形態３で用
いるレチクルは、図３に示すように、実施形態１におい
て互い違いな凹凸形状となした画素を８画素分としたも
のである。

【００５５】また、実施形態４、５、６で用いるレチク
ルは、図４、５、６に示すように、それらのつなぎ合わ
せ部分をさらに複雑な形状としたものである。つまり、
実施形態４で用いるレチクルは、図４に示すように、画
素単位で抜けている抜部を適当な複数の箇所に設けたも
のであり、まっすぐな端部を有すると共に端部の内側に
正味の抜部と、端部の外側に櫛歯状に周りを抜部にして
なる島状部とを有する状態にしてある。ここで、抜部と
は、この例の場合は、遮光部のみとなっている箇所であ
り、凸部を形成するための透光部が無い箇所である。

【００５６】また、実施形態５および６で用いるレチク
ルは、それぞれ図５および図６に示すように、画素単位
での抜部を適当な複数の箇所に設けることにより、最終
的に、実施形態１と同様に凹凸状の端部を有すると共
に、その端部より内側に正味の抜部と、端部の外側に櫛
歯状に周りを抜部にしてなる島状部とを有する状態にし
てある。

【００５７】以上のように、つなぎ合わせ部分の画素数
をより大きく、さらにより複雑にすることで、境界部分
において明るい方向の特性が異なる凸部の混在領域が広
くなる。よって、複数のレチクルを用いて複数ショット
露光を行ってつなぎ合わせた場合の露光装置のステッパ
が投影レンズを用いることからレンズの精度によって発
生する歪み（ディストーション）によって円形の凸部の
形状がつなぎ合わせた部分で異なることから発生してい
たスジ状の表示ムラを、見えなくすることが可能とな
る。なお、液晶表示装置の他の部分は、従来と同様に形
成することで、本実施形態に係る反射型液晶表示装置が
製造される。

【００５８】また、実施形態１、２、３、４、５、６に
おいては、つなぎ合わせる境界部分において、端部の凹
凸状の窪みまたは突起の幅を図示の縦方向に１画素とし
ているが、これを複数画素となしてもスジ状の表示ムラ
を見えなくする効果は得ることが可能である。但し、端
部の凹凸状の窪みまたは突起の幅は少なくとも１０ｍｍ
以下であることが望ましい。そを超えると目視でつなぎ
合わせている部分が確認可能となるからである。また、
境界部分を横方向に大きくする、つまり端部の凹凸状の
窪みまたは突起を長くすることによって、その効果は大
きくなるが、境界部分が大きくなってしまい、最終的に
最も良好な表示が得られる表示領域が小さくなってしま
う。よって、前記端部の凹凸状の窪みまたは突起の長さ
は、１画素または２以上の画素であって、図１６（ａ）
に示す露光領域の横幅ｌの９０％以下とするのがよい。

【００５９】また、実施形態１、２、３、４、５、６で
各々用いる、図１、２、３、４、５、６のレチクルは、
全てレチクルＡを１８０度回転させることによりレチク
ルＢとすることが可能なつなぎ合わせのパターンとなっ
ており、１枚分のレチクルを用いてもよい。つまり、１
枚のレチクルで２枚分として用いることが可能となる。
このとき、ステッパの機能としてレチクルを１８０度回
転させる事が可能なような構成にしておけば、容易につ
なぎ合わせることができる。

【００６０】なお、上述した実施形態１〜６では凸部を
形成する場合について説明してきるが、本発明にあって
は、これに限らず、感光性樹脂のポジ型、ネガ型特性を
選択することにより、凹部を形成する場合にも同様にし
て適用することができる。

【００６１】また、本発明は、感光性樹脂のポジ型、ネ
ガ型特性と、その感光性樹脂への遮光または露光とを選
択することにより、凸部を形成してもよい。

【００６２】（実施形態７）図７および図８は、本発明
に係る反射型液晶表示装置の実施形態７を説明するため
の構成図である。

【００６３】各図の（ａ）は用いるレチクルＡのつなぎ
合わせ側１画素列を示す平面図、同じく（ｂ）はレチク
ルＢのつなぎ合わせ側１画素列を示す平面図、（ｃ）
は、素子側基板の反射電極が形成される部分の絶縁体保
護層の下部に感光性樹脂により形成する凹凸部の複数シ
ョット露光を行う為のレチクルの一画素のつなぎ合わせ
部分を示す平面図である。なお、図７は素子側基板の表
面に感光性樹脂を塗布し、露光を行う時に円形の透光領
域を用いた場合のレチクルの一画素内のつなぎ合わせ部
分を示すものであり、図８は露光を行う時に円形の遮光
領域を用いた場合のレチクルの一画素内のつなぎ合わせ
部分を示すものである。

【００６４】まず、図７の場合に用いるレチクルについ
て説明する。

【００６５】素子側基板の表面に感光性樹脂を塗布し、
レチクルのつなぎ合わせ部分における一画素内に、図７
（ａ）、（ｂ）に示すような円形の透光領域が両者異な
る位置に配列された２枚のレチクルＡ、レチクルＢを用
いる。なお、レチクルＡにおける、この画素以外の画素
部分は、図７（ａ）に示す円形の透光領域の数に対して
約２倍の数の円形の透光領域が設けられている。また、
レチクルＢにおいても、同様になっている。

【００６６】そして、複数ショット露光を行う時、つな
ぎ合わせる部分の形状はレチクルＡは、図７（ａ）に示
すように１画素分の透光領域がつなぎ合わせる側のつな
ぎ合わせる画素内において、図７（ｃ）に示す透光領域
の全部の一部、この図示例では約半分の透光領域を有す
る。一方、レチクルＢは、レチクルＡとのつなぎ合わせ
る側のつなぎ合わせる画素内において、図７（ｃ）に示
す透光領域の残りの透光領域を露光する透光領域を有す
る。

【００６７】次に、図７のレチクルを用いて凹部を形成
する場合について説明する。

【００６８】素子側基板の表面に、この場合はポジ型の
感光性樹脂を塗布し、まずレチクルＡを用いて露光を行
う。その後、レチクルＢを使用し、レチクルＡとのつな
ぎ合わせる側のつなぎ合わせる画素内においてレチクル
Ａで１画素分の内の一部しか露光されなかった透光領域
の残りの部分についての透光領域を露光して、１画素分
の透光領域に相当するようにつなぎ合わせて露光する。

【００６９】そして、現像を行ない、形成した感光性樹
脂を熱処理を行って最適な形状にして凹部を得る。凹部
が形成されたものを図７（ｃ）に示す。なお、液晶表示
装置の他の部分は、従来と同様に形成することで、本実
施形態に係る反射型液晶表示装置が製造される。

【００７０】したがって、本実施形態に係る反射型液晶
表示装置は、境界部分の１画素内において、異なる明る
い方向の凹部が混在することとなる。よって、従来にお
いて、複数のレチクルを画素単位で直線的につなぎ合わ
せた場合、露光装置のステッパが投影レンズを用いるこ
とからレンズの精度によって発生する歪み（ディストー
ション）によって円形の凹部の形状がつなぎ合わせた部
分で異なることから発生していたスジ状の表示ムラが、
本発明による場合には見え難くなった。

【００７１】図８は、図７の場合と同様に、境界部分の
１画素内において、異なる明るい方向の凸部を混在させ
る他の例の場合である。

【００７２】レチクルＡとレチクルＢとは、図８（ａ）
に示すレチクルＡにおける円形の遮光領域を内側に有す
る透光領域が、図８（ｂ）に示すレチクルＢにおける円
形の遮光領域を内側に有する透光領域の外側の、全体が
遮光領域の部分に相当するようになっており、また、図
８（ａ）に示すレチクルＡにおける円形の遮光領域を内
側に有する透光領域の外側の、全体が遮光領域の部分
が、図８（ｂ）に示すレチクルＢにおける円形の遮光領
域を内側に有する透光領域の部分に相当するようになっ
ている。また、レチクルＡおよびレチクルＢの境界部分
以外は、各画素に図８（ａ）や（ｂ）で示した円形の遮
光領域の数の約２倍の円形の遮光領域が設けられてお
り、円形の遮光領域を必要としない部分、つまり露光対
象としない部分は総て透光領域としている。

【００７３】そして、レチクルＡを用いて露光した後
に、レチクルＢを用いて露光し、その後、現像して熱を
付与することにより、図８（ｃ）に示すように、境界部
分の１画素内において、異なる明るい方向の凸部が混在
するようにしている。なお、図８（ｃ）において、円形
の太枠で周囲を囲んだものがレチクルＡを用いた露光に
て形成された凸部であり、太枠で周囲を囲んでいないも
のがレチクルＢを用いた露光にて形成された凸部であ
る。なお、液晶表示装置の他の部分は、従来と同様に形
成することで、本実施形態に係る反射型液晶表示装置が
製造される。

【００７４】したがって、この反射型液晶表示装置にお
いても、図７による場合と同様の効果がある。

【００７５】なお、図８による場合には、ポジ型の感光
性樹脂を用いるとき、最初のレチクルＡを用いて円形の
遮光領域を露光したとき、また、これに続きレチクルＢ
を用いて円形の遮光領域を露光したときにおいては、該
当するレチクルにて露光する部分以外をあらかじめ遮光
しておく必要がある。その理由は、ポジ型感光性樹脂を
用いる場合は、露光された部分の感光性樹脂が除去され
てしまうからである。

【００７６】また、本実施形態においてはつなぎ合わせ
る境界部分を１画素としているが、本発明はこれに限ら
ず、境界部分を複数画素とすることも可能であり、その
ようにした場合には、スジ状の表示ムラをより見え難く
できる。

【００７７】また、本実施形態においては、ポジ型感光
性樹脂におけるレチクルの遮光領域に凹部を形成してい
るが、本発明はこれに限らず、ネガ型感光性樹脂におけ
るレチクルの透光領域に凹部または凸部を形成するよう
にしてもよい。

【００７８】（実施形態８）図９は、本発明に係る反射
型液晶表示装置の実施形態８を説明するための構成図で
ある。

【００７９】上述した実施形態７においては、素子側基
板の反射電極が形成される部分の絶縁体保護層の下部
に、感光性樹脂により形成する凹部（または凸部）を、
レチクルＡ、Ｂによりつなぎ合わせる境界部分で、レチ
クルＡにおける円形の遮光領域（または円形の透光領
域）と、レチクルＢにおける円形の遮光領域（または円
形の透光領域）とをほぼ均等に配分していた。これに対
して、本実施形態８においては、これらを、つなぎ合わ
せる境界部分において段階的に変化させ、これによりつ
なぎ合わせ部分を見え難くするものである。

【００８０】図９（ａ）に示すレチクルＡにおいては、
レチクルＡにて凹部（または凸部）を１００％全て形成
する部分と、レチクルＢにてそれを３０％形成し、残り
の７０％を形成する部分と、レチクルＢにてそれを７０
％形成し、残りの３０％を形成する部分とからなる。つ
まり、レチクルＡは、レチクルＢとのつなぎ合わせる部
分において、レチクルＢ側に寄るに従って、そのつなぎ
合わせる部分の１画素内の透光領域（または遮光領域）
の密度を７０％、３０％と段階的に変化させている。よ
り具体的には、透光領域（または遮光領域）の密度が７
０％と３０％となっている部分が１画素内に混在する。

【００８１】一方、図９（ｂ）に示すレチクルＢにおい
ては、レチクルＢにて凹部（または凸部）を１００％全
て形成する部分と、レチクルＡにてそれを３０％形成
し、残りの７０％を形成する部分と、レチクルＡにてそ
れを７０％形成し、残りの３０％を形成する部分とから
なる。つまり、レチクルＢは、レチクルＡとのつなぎ合
わせる部分において、レチクルＡ側に寄るに従って、そ
のつなぎ合わせる部分の１画素内の透光領域（または遮
光領域）の密度を７０％、３０％と段階的にその数量を
変化させている。より具体的には、レチクルＢにおいて
も透光領域（または遮光領域）の密度が７０％と３０％
となっている部分が１画素内に混在する。

【００８２】これらレチクルＡ、Ｂによる凹部（または
凸部）の形成は、以下のように行う。

【００８３】まず、レチクルＡを用いて露光する。

【００８４】続いて、レチクルＢを、レチクルＡの透光
領域（または遮光領域）の密度７０％の部分にレチクル
Ｂの透光領域（または遮光領域）の密度３０％の部分を
対応させ、かつ、レチクルＡの透光領域（または遮光領
域）の密度３０％の部分にレチクルＢの透光領域（また
は遮光領域）の密度７０％の部分を対応させてセット
し、露光する。

【００８５】その後、現像することにより、境界部分の
１画素における凹部（または凸部）の形成状態は以下の
ようになる。つまり、図９（ｃ）に示すように、レチク
ルＡにて形成された密度３０％の凹部（または凸部）の
存在する領域に、レチクルＢにて形成された密度７０％
の凹部（または凸部）が存在し、レチクルＡにて形成さ
れた密度７０％の凹部（または凸部）の存在する領域
に、レチクルＢにて形成された密度３０％の凹部（また
は凸部）が存在する状態となる。なお、液晶表示装置の
他の部分は、従来と同様に形成することで、本実施形態
に係る反射型液晶表示装置が製造される。

【００８６】本実施形態に係る反射型液晶表示装置にお
いては、上述したような境界部分では、１画素内におい
ても、レチクルＡにて形成された凹部（または凸部）
と、レチクルＢにて形成された凹部（または凸部）との
数が段階的に変化するので、つなぎ合わせた境界部分を
より見え難くすることができる。

【００８７】なお、本実施形態では、図９（ｃ）に示す
ように、凹部（または凸部）の密度７０％と密度３０％
の混合する境界部分を１画素としているが、本発明はこ
れに限らず、密度７０％と密度３０％の混合する境界部
分を２画素以上としてもよい。

【００８８】また、本実施形態では、境界部分における
凹部（または凸部）の密度が７０％と３０％とで混合さ
せているが、本発明はこれに限らず、混合割合は７０％
と３０％との割合以外にしてもよい。但し、混合割合の
一方が１０％未満となると、境界部分をより見え難くす
ることができる効果が少なくなるため、混合割合は１０
％以上９０％以下にするのが好ましい。

【００８９】また、本発明は、密度７０％と密度３０％
との２段階よりも、より多くの段階で割合を変化させて
いってもよい。その場合には、境界部分をより見え難く
することができる効果を大きくできる。

【００９０】（実施形態９）図１０は、本発明に係る反
射型液晶表示装置の実施形態９を説明するための構成図
である。

【００９１】上述した実施形態８においては、素子側基
板の反射電極が形成される部分の絶縁体保護層の下部
に、感光性樹脂により形成する凹部（または凸部）を、
つなぎ合わせる境界部分で、レチクルＡにおける円形の
遮光領域（または円形の透光領域）と、レチクルＢにお
ける円形の遮光領域（または円形の透光領域）との混合
割合を段階的に変化させているその区分けを直線状とし
ていた。これに対して、本実施形態９においては、混合
割合を段階的に変化させているその区分けを、前述した
実施形態１のように凹凸状になるように混在させてい
る。

【００９２】図１０（ａ）に示すレチクルＡは、レチク
ルＡにて凹部（または凸部）を１００％全て形成する部
分と、レチクルＢにてそれを３０％形成し、残りの７０
％を形成する部分と、レチクルＢにてそれを７０％形成
し、残りの３０％を形成する部分とからなる。つまり、
レチクルＡは、レチクルＢとのつなぎ合わせる部分にお
いて、図の横方向に関して、そのつなぎ合わせる部分の
１画素内の透光領域（または遮光領域）の密度を１００
％、７０％、３０％と段階的に変化させている箇所と、
密度を７０％、３０％と段階的に変化させている箇所と
がある。したがって、図の縦方向においては、密度が１
００％の部分が凹凸状になっており、また、密度が７０
％の部分も密度が３０％の部分も同様に凹凸状になって
いる。

【００９３】一方、図１０（ｂ）に示すレチクルＢは、
レチクルＢにて凹部（または凸部）を１００％全て形成
する部分と、レチクルＡにてそれを３０％形成し、残り
の７０％を形成する部分と、レチクルＡにてそれを７０
％形成し、残りの３０％を形成する部分とからなる。つ
まり、レチクルＢは、レチクルＡとのつなぎ合わせる部
分において、図の横方向に関して、そのつなぎ合わせる
部分の１画素内の透光領域（または遮光領域）の密度を
１００％、７０％、３０％と段階的に変化させている箇
所と、密度を７０％、３０％と段階的に変化させている
箇所とがある。したがって、図の縦方向においては、密
度が１００％の部分が凹凸状になっており、また、密度
が７０％の部分も密度が３０％の部分も同様に凹凸状に
なっている。

【００９４】このようなレチクルＡ、Ｂを用いて、以下
のように凹部（または凸部）の形成する。

【００９５】まず、レチクルＡを用いて露光する。

【００９６】次に、レチクルＢを、レチクルＡを用いた
露光状態に対して、密度が７０％の箇所に密度が３０％
の箇所を一致させてセットし、露光する。

【００９７】次に、現像を行うと、境界部分の１画素に
おける凹部（または凸部）の形成状態は以下のようにな
る。つまり、図１０（ｃ）に示すように、レチクルＡに
て形成された密度１００％の凹部（または凸部）の存在
し、レチクルＢにて形成された密度１００％の凹部（ま
たは凸部）が存在していることに加えて、レチクルＡに
て形成された密度３０％の凹部（または凸部）の存在す
る領域に、レチクルＢにて形成された密度７０％の凹部
（または凸部）が存在し、レチクルＡにて形成された密
度７０％の凹部（または凸部）の存在する領域に、レチ
クルＢにて形成された密度３０％の凹部（または凸部）
が存在する状態となる。なお、液晶表示装置の他の部分
は、従来と同様に形成することで、本実施形態に係る反
射型液晶表示装置が製造される。

【００９８】本実施形態に係る反射型液晶表示装置にお
いては、上述したような境界部分では、１画素内におい
ても、レチクルＡにて形成された凹部（または凸部）
と、レチクルＢにて形成された凹部（または凸部）との
数が段階的に変化するので、つなぎ合わせた境界部分を
より見え難くすることができる。

【００９９】なお、本実施形態９では、図１０（ｃ）に
示すように、凹部（または凸部）の密度７０％と密度３
０％の混合する部分を有する境界部分を１画素としてい
るが、本発明はこれに限らず、密度７０％と密度３０％
の混合する部分を有する境界部分を２画素以上としても
よい。また、そのときの凹凸状の突出部分の長さまたは
窪み部分の深さを、前述した実施形態２や３のようにし
てもよい。

【０１００】また、本実施形態９では、境界部分におけ
る凹部（または凸部）の密度が７０％と３０％とで混合
させているが、本発明はこれに限らず、混合割合は７０
％と３０％との割合以外にしてもよい。但し、混合割合
の一方が１０％未満となると、境界部分をより見え難く
することができる効果が少なくなるため、混合割合は１
０％以上９０％以下にするのが好ましい。

【０１０１】また、本実施形態９においては、密度７０
％と密度３０％との２段階よりも、より多くの段階で割
合を変化させていってもよい。その場合には、境界部分
をより見え難くすることができる効果を大きくできる。

【０１０２】更に、本実施形態９は、前述した実施形態
４、５、６による場合のように、つなぎ合わせる側に、
より複雑に幅を持たせて凹凸状としてもよい。このよう
にしてつなぎ合わせた場合は、スジ状の表示ムラを見え
なくすることができた。

【０１０３】上述した各実施形態１〜９においてはＴＦ
Ｔ素子を使用した場合について記載しているが、本発明
はこれに限らず、ストライプ電極を直交するように組合
せた単純マトリクス駆動の場合や、二端子素子を使用し
た場合についても同様に実施できる。

【０１０４】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明による場合
には、表示領域を複数に分割した各領域の隣合う領域に
おける１列または２列以上の画素列からなる境界部分
に、画素単位で異なる露光を受けた画素が混在すると共
に、各画素内の凹部または凸部が同一の露光を受けて形
成されているので、明るい方向が種々の方向を向き、つ
なぎ合わせた部分に発生するスジ状の表示ムラが解消で
きる。

【０１０５】また、本発明による場合には、表示領域を
複数に分割した各領域の隣合う領域における１列または
２列以上の画素列からなる境界部分に、画素内で異なる
露光を受けて形成された凹部または凸部が混在するの
で、明るい方向が種々の方向を向き、つなぎ合わせた部
分に発生するスジ状の表示ムラが解消できる。

【０１０６】したがって、本発明による場合には、つな
ぎ合わせた部分に発生するスジ状の表示ムラが解消でき
るので、表示品位の良好な対角１６９ｍｍ（画面の縦寸
法：画面の横寸法＝３：４で６．７”画面）以上の表示
画面を有する大画面の反射型液晶表示装置を得ることが
可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態１に係る反射型液晶表示装置
の製造方法を説明するための図である。

【図２】本発明の実施形態２に係る反射型液晶表示装置
の製造方法を説明するための図である。

【図３】本発明の実施形態３に係る反射型液晶表示装置
の製造方法を説明するための図である。

【図４】本発明の実施形態４に係る反射型液晶表示装置
の製造方法を説明するための図である。

【図５】本発明の実施形態５に係る反射型液晶表示装置
の製造方法を説明するための図である。

【図６】本発明の実施形態６に係る反射型液晶表示装置
の製造方法を説明するための図である。

【図７】本発明の実施形態７に係る反射型液晶表示装置
の製造方法を説明するための図である。

【図８】本発明の実施形態７に係る別の反射型液晶表示
装置の製造方法を説明するための図である。

【図９】本発明の実施形態８に係る反射型液晶表示装置
の製造方法を説明するための図である。

【図１０】本発明の実施形態９に係る反射型液晶表示装
置の製造方法を説明するための図である。

【図１１】従来の反射型液晶表示装置に備わった、アク
ティブ素子を有する素子側基板の一画素分の平面図であ
る。

【図１２】図１１のＡ−Ａ′断面図である。

【図１３】従来の技術による場合の凸部の形成工程を示
す断面図である。

【図１４】従来の技術により凸部を形成する際に用いる
レチクルを示す平面図である。

【図１５】従来の技術により凸部を形成する際に用いる
別のレチクルを示す平面図である。

【図１６】（ａ）はステッパにて一度で露光可能な露光
範囲の最大を示す図であり、（ｂ）はステッパの投影レ
ンズの精度による歪みが生じた場合において本来のレチ
クルの像に対して投影された像が異なっている状態を示
す図、（ｃ）は露光範囲内の中央部では凸部の平面形状
が真円で、露光範囲内の周辺部では凸部の平面形状が楕
円状となっている状態を示す平面図である。

【図１７】（ａ）は従来の技術において２回のショット
露光を行う際の状態を示す平面図であり、（ｂ）はそれ
により得られた凸部を示す平面図である。

【図１８】（ａ）、（ｂ）は従来の技術において２回の
ショット露光を行う場合に用いる２つのレチクルの各々
を示す平面図であり、（ｃ）はそれらレチクルのつなぎ
合わせ除隊を示す平面図である。

【図１９】（ａ−１）は真円の凸部を示す平面図、（ａ
−２）はその真円の凸部のｘ方向の反射強度を示す図、
（ａ−３）はその真円の凸部のｙ方向の反射強度を示す
図であり、（ｂ−１）は楕円の凸部を示す平面図、（ｂ
−２）はその楕円の凸部のｘ方向の反射強度を示す図、
（ｂ−３）はその楕円の凸部のｙ方向の反射強度を示す
図である。

【図２０】従来技術による場合の境界部分における明る
い方向を示す平面図である。

【図２１】本発明による場合の境界部分に形成した凸部
を示す平面図である。

【図２２】本発明による場合の境界部分における明るい
方向を示す平面図である。

【符号の説明】

１０１ ガラス基板 １０２ ゲート配線およびゲート電極 １０３ ソース配線およびソース電極 １０４ ３端子非線形抵抗素子（アクティブ素子） １０５ 反射電極 １０６ 半導体層 １０６ａ、１０６ｂ コンタクト層 １０７ コンタクトホール １０８ 絶縁体層 １０９ ドレイン電極 １０９′ 引き回し電極 １１０ 凸部 １１１ 絶縁体保護層 １２１ 素子側基板 １２２ 感光性樹脂 １２２′凸部 １２３ 遮光領域 １２４ 透光領域 １２５ 遮光手段（レチクル）

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液晶層を挟持する一対の基板の一方が透
   光性のある電極を有するものからなり、他方の基板が複
   数の凹部または複数の凸部の上に反射電極を各画素毎に
   形成したものからなる反射型液晶表示装置において、 該凹部または該凸部が、表示領域を複数に分割した各領
   域毎の露光を経て形成されており、隣合う領域における
   １列または２列以上の画素列からなる境界部分に、画素
   単位で異なる露光を受けた画素が混在すると共に各画素
   内の該凹部または該凸部が同一の露光を受けて形成され
   ている反射型液晶表示装置。
2. 【請求項２】 液晶層を挟持する一対の基板の一方が透
   光性のある電極を有するものからなり、他方の基板が複
   数の凹部または複数の凸部の上に反射電極を各画素毎に
   形成したものからなる反射型液晶表示装置において、 該凹部または該凸部が、表示領域を複数に分割した各領
   域毎の露光を経て形成されており、隣合う領域における
   １列または２列以上の画素列からなる境界部分に、画素
   内で異なる露光を受けて形成された該凹部または該凸部
   が混在する反射型液晶表示装置。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の反射型液晶表示装置を
   製造する方法であって、 前記他方の基板上に感光性樹脂膜を形成する工程と、 該感光性樹脂膜における表示領域を複数に分割した各領
   域の隣合う領域同士の一方に、該隣合う領域における１
   列または２列以上の画素列からなる境界部分に対応する
   部分おいて１または２以上の画素単位で抜けている抜部
   を有すると共に、非抜部に前記凹部または前記凸部を形
   成するための遮光領域または透光領域を有する第１の遮
   光手段を用いて露光し、該隣合う領域同士の他方に、タ
   イミングを異ならせ、該境界部分に対応する部分おいて
   １または２以上の画素単位で抜けている抜部およびそれ
   以外の非抜部を、該第１の遮光手段の非抜部および抜部
   にそれぞれ対応して有すると共に、非抜部に前記凹部ま
   たは前記凸部を形成するための遮光領域または透光領域
   を有する第２の遮光手段を用いて露光し、該境界部分の
   一方の領域の一部に、他方の領域に対して露光を行って
   形成された画素が存在し、かつ、該境界部分の他方の領
   域の一部に、一方の領域に対して露光を行って形成され
   た画素が存在する状態に、複数の領域を重ね合わせる工
   程と、 露光後に該感光性樹脂膜を現像する工程と を具備する反射型液晶表示装置の製造方法。
4. 【請求項４】 前記第１の遮光手段および前記第２の遮
   光手段の露光または遮光部分が凹凸状となっている場合
   に、その凹凸状の窪みまたは突起の幅を１画素以上であ
   って１０ｍｍ以下となし、かつ、凹凸状の窪みまたは突
   起の長さを１画素以上であって露光領域横幅の９０％以
   下となるようにした第１の遮光手段および第２の遮光手
   段を用いる請求項３に記載の反射型液晶表示装置の製造
   方法。
5. 【請求項５】 請求項２に記載の反射型液晶表示装置を
   製造する方法であって、 前記他方の基板上に感光性樹脂膜を形成する工程と、 該感光性樹脂膜における表示領域を複数に分割した各領
   域の隣合う領域同士の一方に、隣合う領域における１列
   または２列以上の画素列からなる境界部分に対応する部
   分において前記凹部または凸部を形成するための遮光領
   域または透光領域を各画素内の全数に対して一部だけ有
   する遮光手段を用いて露光し、該隣合う領域同士の他方
   に、タイミングを異ならせ、該境界部分に対応する部分
   において前記凹部または凸部を形成するための遮光領域
   または透光領域を各画素内の全数に対して残り分を有す
   る別の遮光手段を用いて露光し、該境界部分の各画素内
   の凹部または凸部となる部分の一部が一方の領域に対す
   る露光にて形成され、かつ、該境界部分の各画素内の残
   りの凹部または凸部となる部分が他方の領域に対する露
   光にて形成されている状態に、複数の領域を重ね合わせ
   る工程と、 露光後に感光性樹脂膜を現像する工程と を具備する反射型液晶表示装置の製造方法。
6. 【請求項６】 前記境界部分の各画素内の凹部または凸
   部を、一方の領域に対する露光にて形成されているもの
   に対し、他方の領域に対する露光にて形成されているも
   のの割合が１割以上９割以下となるように形成する請求
   項５に記載の反射型液晶表示装置の製造方法。
7. 【請求項７】 前記表示領域を複数に分割した各領域の
   隣合う領域同士の一方を露光する際に用いた遮光手段を
   露光後に回転させ、その回転後の遮光手段を用いて他方
   の領域を露光し、遮光手段を共用する請求項３乃至６の
   いずれか一つに記載の反射型液晶表示装置の製造方法。