JPH1168187A - Piezoelectric transformer and manufacturing method therefor - Google Patents
Piezoelectric transformer and manufacturing method thereforInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電トランスとそ
の製造方法に関するものである。The present invention relates to a piezoelectric transformer and a method for manufacturing the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば液晶のバックライト用に用いられ
る圧電トランスは、３Ｖの電圧をその１００倍の３００
Ｖに昇圧することによってバックライトの点灯を行うよ
うになっているものであって、その構成として圧電板
と、この圧電板に設けた入力用の第１、第２の外部電極
と、これらの第１、第２の外部電極に接続されるととも
に前記圧電板内において交互に積層されている第１、第
２の内部電極と、前記圧電板に出力用の外部電極とを備
えた構成となっていた。2. Description of the Related Art For example, a piezoelectric transformer used for a backlight of a liquid crystal has a voltage of 3 V which is 100 times as large as 300.
The backlight is turned on by boosting the voltage to V. The configuration includes a piezoelectric plate, first and second input external electrodes provided on the piezoelectric plate, and First and second internal electrodes connected to first and second external electrodes and alternately stacked in the piezoelectric plate, and an external electrode for output is provided on the piezoelectric plate. I was
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】上記従来の圧電トラン
スにおいては、加工時や駆動時に圧電板内の第１、第２
の内部電極と圧電板との間に剥離が生じ、出力電圧の低
下を生じるという問題点を有していた。In the above-mentioned conventional piezoelectric transformer, the first and second piezoelectric transformers in the piezoelectric plate are processed or driven.
However, there is a problem that separation occurs between the internal electrode and the piezoelectric plate and the output voltage decreases.
【０００４】そこで本発明は、圧電板と第１、第２の内
部電極との剥離を防止することにより、出力電圧の低下
を防ぐことのできる圧電トランスを提供することを目的
とするものである。Accordingly, an object of the present invention is to provide a piezoelectric transformer capable of preventing the output voltage from lowering by preventing the piezoelectric plate from separating from the first and second internal electrodes. .
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の圧電トランスは、前記従来の第１、第２の内
部電極中に圧電板を構成する共粉を混在させたものであ
る。すなわちこのように第１、第２の内部電極中に圧電
板を構成する共粉を混在させれば、その共粉がその第
１、第２の内部電極の上下にある圧電板と連結すること
により圧電板と第１、第２の内部電極と剥離が生じなく
なるので、その結果として出力電圧の低下は生じなくな
るのである。In order to achieve this object, a piezoelectric transformer according to the present invention is obtained by mixing a co-powder constituting a piezoelectric plate in the first and second internal electrodes of the prior art. . That is, if the co-powders constituting the piezoelectric plate are mixed in the first and second internal electrodes as described above, the co-powder is connected to the piezoelectric plates above and below the first and second internal electrodes. As a result, separation between the piezoelectric plate and the first and second internal electrodes does not occur, and as a result, the output voltage does not decrease.
【０００６】[0006]
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、圧電板と、この圧電板に設けられた入力用の第１、
第２の外部電極と、これらの第１、第２の外部電極に接
続されるとともに前記圧電板内において交互に積層され
ている第１、第２の内部電極と、前記圧電板に設けられ
た出力用の外部電極とを備え、前記第１、第２の内部電
極中には、前記圧電板を構成する共粉を混在させた圧電
トランスである。すなわちこのように第１、第２の内部
電極に共粉を混在させることにより第１、第２の内部電
極と圧電板とが連結し剥離が生じなくなるのである。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The invention according to claim 1 of the present invention is directed to a piezoelectric plate and a first input device provided on the piezoelectric plate.
A second external electrode, first and second internal electrodes connected to the first and second external electrodes and alternately laminated in the piezoelectric plate, and provided on the piezoelectric plate. An output external electrode is provided, and the first and second internal electrodes are piezoelectric transformers in which a co-powder constituting the piezoelectric plate is mixed. That is, by mixing the co-powder into the first and second internal electrodes in this way, the first and second internal electrodes are connected to the piezoelectric plate, and peeling does not occur.
【０００７】請求項２に記載の発明は、共粉あるいは、
この共粉の凝集粉の平均粒径を１ミクロン以上とした請
求項１に記載の圧電トランスであって、共粉あるいは、
この共粉の凝集粉の平均粒径があまりにも小さいと第
１、第２の内部電極とその上下の圧電板と連結すること
がないため当初期待した剥離防止の効果が得られないの
である。[0007] The invention described in claim 2 is characterized in that co-powder or
The piezoelectric transformer according to claim 1, wherein the average particle size of the coagulated powder of the co-powder is 1 micron or more.
If the average particle size of the co-agglomerated powder is too small, the first and second internal electrodes will not be connected to the upper and lower piezoelectric plates, and the effect of preventing peeling expected at first cannot be obtained.
【０００８】請求項３に記載の発明は、共粉の添加量を
内部電極材料の４０重量部以上としたものであって、共
粉の添加量が４０重量部より少ないと共粉により第１、
第２の内部電極とその上下の圧電板と連結することがな
いため、当初期待した剥離防止の効果が得られないので
ある。According to a third aspect of the present invention, the amount of the co-powder is set to 40 parts by weight or more of the internal electrode material. ,
Since the second internal electrode is not connected to the upper and lower piezoelectric plates, the effect of preventing peeling expected at the beginning cannot be obtained.
【０００９】請求項４に記載の発明は、圧電体をＰｂＴ
ｉＺｒＯ3系を主成分とする材料で形成し、第１、第２
の内部電極は、パラジウムを含む材料で形成された請求
項１から請求項３のいずれか一つに記載の圧電トランス
であり、ＰｂＴｉＺｒＯ3系の圧電板は、焼成温度が１
０００℃以上と高く、第１、第２の内部電極にパラジウ
ムを含有するものにすることにより内部電極が溶融する
ことなく当初期待した通りの効果が得られるものであ
る。According to a fourth aspect of the present invention, the piezoelectric body is made of PbT
The first and second layers are made of a material containing iZrO 3 as a main component.
The internal electrode of the piezoelectric transformer according to any one of claims 1 to 3, wherein the internal electrode is formed of a material containing palladium, and the PbTiZrO 3 -based piezoelectric plate has a firing temperature of 1%.
Since the temperature is as high as 000 ° C. or more and the first and second internal electrodes contain palladium, the effects expected at first can be obtained without melting the internal electrodes.
【００１０】請求項５に記載の発明は、圧電トランスに
おける第１、第２の内部電極を作製するにあたり、圧電
板を構成する共粉を混在させた内部電極ペーストを使用
するものであって、共粉を混在させることにより第１、
第２の内部電極の上下にある圧電板と連結することによ
り、圧電板と第１、第２の内部電極と剥離が生じなくな
るので、出力電圧の低下は生じない。According to a fifth aspect of the present invention, in manufacturing the first and second internal electrodes of the piezoelectric transformer, an internal electrode paste in which a co-powder constituting a piezoelectric plate is mixed is used, First, by mixing co-powder,
By connecting to the piezoelectric plates above and below the second internal electrode, separation between the piezoelectric plate and the first and second internal electrodes does not occur, so that the output voltage does not decrease.
【００１１】請求項６に記載の発明は、第１の工程にお
いて、圧電シートは、ＰｂＴｉＺｒＯ3系を主成分とす
る材料で形成するとともに、第１、第２の内部電極は、
パラジウムを含む内部電極ペーストを用いて形成する請
求項５に記載の圧電トランスの製造方法であり、ＰｂＴ
ｉＺｒＯ3系の圧電板は焼成温度が１０００℃以上と高
く、第１、第２の内部電極にパラジウムを含有するもの
にすることにより内部電極が溶融することなく当初期待
した通りの効果が得られるものである。According to a sixth aspect of the present invention, in the first step, the piezoelectric sheet is formed of a material containing PbTiZrO 3 as a main component, and the first and second internal electrodes are
6. The method for manufacturing a piezoelectric transformer according to claim 5, wherein the piezoelectric transformer is formed using an internal electrode paste containing palladium.
The firing temperature of the iZrO 3 -based piezoelectric plate is as high as 1000 ° C. or more, and by using palladium for the first and second internal electrodes, the effect expected at first can be obtained without melting the internal electrodes. Things.
【００１２】請求項７に記載の発明は、第１の工程にお
いて、共粉あるいはこの共粉の凝集粉の平均粒子径が１
ミクロン以上のものを用いる請求項５あるいは請求項６
に記載の圧電トランスの製造方法であり、共粉あるい
は、この共粉の凝集粉の平均粒径があまりにも小さいと
第１、第２の内部電極とその上下の圧電板と連結するこ
とがないため当初期待した剥離防止の効果が得られない
のである。[0012] According to a seventh aspect of the present invention, in the first step, the average particle diameter of the co-powder or the aggregated powder of the co-powder is 1
7. The method according to claim 5, wherein a material having a diameter of at least one micron is used.
Wherein the co-powder or the coagulated powder of the co-powder has too small an average particle size, the first and second internal electrodes are not connected to the upper and lower piezoelectric plates. Therefore, the effect of preventing peeling expected at the beginning cannot be obtained.
【００１３】請求項８に記載の発明は、第１の工程にお
いて、共粉は内部電極ペーストと混合する前に、熱処理
を行ったものを用いる請求項５から請求項７のいずれか
一つに記載の圧電トランスの製造方法であり、第２の工
程において焼成の際は、共粉のみは既に熱処理済みであ
るため、収縮作用はおこらない。すなわち第１、第２の
内部電極の共粉は、上下の圧電板に対し連結しやすくな
る。これにより当初期待した効果が得られるものであ
る。The invention according to claim 8 is the method according to any one of claims 5 to 7, wherein in the first step, the co-powder is subjected to a heat treatment before being mixed with the internal electrode paste. This is a method for manufacturing a piezoelectric transformer as described above, and when firing in the second step, since only the co-powder has already been heat-treated, no shrinkage action occurs. That is, the co-powders of the first and second internal electrodes are easily connected to the upper and lower piezoelectric plates. As a result, the initially expected effect can be obtained.
【００１４】請求項９に記載の発明は、共粉の熱処理温
度を第２の工程における焼成温度よりも低くする請求項
８に記載の圧電トランスの製造方法であり、共粉を完全
に焼結させずに若干反応性を残しておくことにより、第
１、第２の内部電極の共粉は、上下の圧電板に対し連結
しやすくなる。これにより当初期待した効果が得られる
ものである。According to a ninth aspect of the present invention, there is provided the piezoelectric transformer manufacturing method according to the eighth aspect, wherein the heat treatment temperature of the co-powder is lower than the firing temperature in the second step. By leaving a little reactivity without doing so, the co-powder of the first and second internal electrodes can be easily connected to the upper and lower piezoelectric plates. As a result, the initially expected effect can be obtained.
【００１５】以下本発明の実施の形態について図面を参
照しながら説明する。 （実施の形態１）図１は本実施の形態における圧電トラ
ンスの斜視図、図２は同上面図、図３は図１のＡ−Ｂ断
面図である。Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. (Embodiment 1) FIG. 1 is a perspective view of a piezoelectric transformer according to the present embodiment, FIG. 2 is a top view of the same, and FIG. 3 is a sectional view taken along a line AB in FIG.
【００１６】１はＰｂＴｉＺｒＯ3系を主成分とする材
料からなる直方体形状の圧電板であって、圧電板１の一
端側においては銀あるいは銀−パラジウムペーストによ
り形成した入力電極となる第１、第２の外部電極２，３
が設けられている。さらにこれら第１、第２の外部電極
２，３に、その一端は連結された状態で圧電板１の内部
には図３に示すように第１、第２の内部電極４，５が交
互に積層されている。すなわち図３に示すように第１、
第２の内部電極４，５は圧電板１の両側から交互に露出
する形状である。さらに圧電板１の他端側には銀あるい
は銀−パラジウムペーストにより形成した出力電極６が
設けられている。Reference numeral 1 denotes a rectangular parallelepiped piezoelectric plate made of a material containing PbTiZrO 3 as a main component. At one end of the piezoelectric plate 1, first and second input electrodes formed of silver or silver-palladium paste are used. 2 external electrodes 2 and 3
Is provided. Further, as shown in FIG. 3, first and second internal electrodes 4 and 5 are alternately provided inside the piezoelectric plate 1 with one end thereof being connected to the first and second external electrodes 2 and 3. It is laminated. That is, as shown in FIG.
The second internal electrodes 4 and 5 have a shape that is alternately exposed from both sides of the piezoelectric plate 1. Further, an output electrode 6 formed of silver or silver-palladium paste is provided on the other end of the piezoelectric plate 1.
【００１７】さてこの圧電トランスを製造するにあたっ
ては、まずＰｂＴｉＺｒＯ3系を主成分とする材料によ
り作製したスラリーをドクターブレード法によりシート
成形を行い、得られたグリーンシート上に所望の形状に
内部電極ペーストの印刷を行う。この内部電極ペースト
には、Ａｇ−ＰｄあるいはＰｄのようにパラジウムを含
むとともに、９００〜１０００℃で１時間、熱処理済み
の共粉であって、共粉の平均粒径あるいはこの共粉が凝
集した凝集粉の平均粒径が１ミクロン以上のものを４０
重量部以上含むように混在させている。ここで共粉とは
圧電板１の主成分と同じ系の化合物を意味するものであ
る。次に内部電極ペーストを印刷したグリーンシートを
第１、第２の内部電極が合わせて１０層となるように積
層を行う。そして第１、第２の内部電極４，５と圧電板
１とを一体焼成する。その後、入力用の第１、第２の外
部電極２，３と出力用の外部電極６を印刷し、外部電極
２，３、出力電極６の焼付を行う。次に入力側の分極を
行った後に、出力側の分極を行い圧電トランスを得る。To manufacture this piezoelectric transformer, first, a slurry made of a material containing PbTiZrO 3 as a main component is formed into a sheet by a doctor blade method, and the internal electrode is formed into a desired shape on the obtained green sheet. Print the paste. The internal electrode paste contains palladium such as Ag-Pd or Pd, and is a heat-treated co-powder at 900 to 1000 ° C. for 1 hour. Aggregated powder with average particle size of 1 micron or more
It is mixed so as to contain not less than parts by weight. Here, the co-powder means a compound of the same system as the main component of the piezoelectric plate 1. Next, green sheets on which the internal electrode paste is printed are laminated so that the first and second internal electrodes have a total of 10 layers. Then, the first and second internal electrodes 4 and 5 and the piezoelectric plate 1 are integrally fired. After that, the first and second external electrodes 2 and 3 for input and the external electrode 6 for output are printed, and the external electrodes 2 and 3 and the output electrode 6 are printed. Next, after the input side is polarized, the output side is polarized to obtain a piezoelectric transformer.
【００１８】この製造方法において、圧電トランスは１
時間、２００℃の昇温速度、最高温度１０００〜１２０
０℃で焼結を行う。それにともない圧電板１は収縮が生
じるが第１、第２の内部電極４，５中に含まれる共粉の
みは、すでにほとんど焼結済みであるため圧電板１のよ
うな収縮作用は生じない。すなわち第１、第２の内部電
極４，５中とその上下に存在する圧電板１は収縮し、収
縮作用が小さい共粉は第１、第２の内部電極４，５と圧
電板１を連結する効果が得られるのである。もちろん共
粉の添加量および粒径も大きな効果が得られるが、これ
らのものが総合されて、その結果として第１、第２の内
部電極４，５と圧電板１との剥離は生じなくなり、出力
電圧の低下は生じなくなるのである。In this manufacturing method, the piezoelectric transformer
Time, 200 ° C heating rate, maximum temperature 1000-120
Sinter at 0 ° C. As a result, the piezoelectric plate 1 shrinks, but only the co-powder contained in the first and second internal electrodes 4 and 5 does not have the shrinking action unlike the piezoelectric plate 1 because it has already been almost sintered. That is, the piezoelectric plates 1 existing in and above and below the first and second internal electrodes 4 and 5 contract, and the co-powder having a small contraction action connects the first and second internal electrodes 4 and 5 to the piezoelectric plate 1. The effect is obtained. Of course, the addition amount and the particle size of the co-powder also have a great effect, but these are combined and as a result, the first and second internal electrodes 4 and 5 do not peel off from the piezoelectric plate 1, The output voltage does not decrease.
【００１９】ここで本発明のポイントを以下に記載す
る。 圧電体１は、ＰｂＴｉＺｒＯ3系を主成分とする材料
であり、特性向上のために副成分を添加したものを用い
ても同様の効果が得られる。Here, the points of the present invention will be described below. The piezoelectric body 1 is a material containing a PbTiZrO 3 system as a main component, and the same effect can be obtained by using a material to which a subcomponent is added for improving characteristics.
【００２０】内部電極ペーストに混合する共粉は、内
部電極ペースト中の金属成分の４０重量部以上であれば
効果があるが、多くとも１００重量部以下とすることが
好ましい。The effect of the co-powder mixed with the internal electrode paste is at least 40 parts by weight of the metal component in the internal electrode paste, but is preferably at most 100 parts by weight.
【００２１】第１、第２の内部電極４，５は、合わせ
て１０層と形成したが、所望の特性を得るために積層数
を変えても構わない。しかしながら、第１、第２の内部
電極４，５は同数であることが好ましい。Although the first and second internal electrodes 4 and 5 are formed as a total of ten layers, the number of layers may be changed in order to obtain desired characteristics. However, it is preferable that the first and second internal electrodes 4 and 5 have the same number.
【００２２】共粉は、圧電体と同じ組成系（例えばＰ
ｂＴｉＺｒＯ3系）であることが必要であるが、同一組
成でなくても構わない。The co-powder has the same composition as the piezoelectric body (for example, P
bTiZrO 3 ), but they do not have to have the same composition.
【００２３】共粉は、熱処理を行わずに内部電極ペー
ストに混合しても構わないが、焼成による熱収縮を考慮
すると、混合前に熱処理をしておくことが好ましい。The co-powder may be mixed with the internal electrode paste without performing the heat treatment. However, considering the heat shrinkage due to the firing, it is preferable to perform the heat treatment before the mixing.
【００２４】共粉の熱処理温度は、圧電シートと第
１、第２の内部電極４，５を積層したものを焼成する温
度（１０００〜１２００℃）より低いことが望ましい
（９００〜１０００℃）。こうすることにより、共粉が
完全には焼結しておらず、若干反応性が残った状態にす
ることにより、第１、第２の内部電極４，５の共粉は上
下の圧電板１に対し連結しやすくなる。The heat treatment temperature of the co-powder is desirably lower (900-1000 ° C.) than the firing temperature (1000-1200 ° C.) of a laminate of the piezoelectric sheet and the first and second internal electrodes 4 and 5. By doing so, the co-powder is not completely sintered and the reactivity remains slightly, so that the co-powder of the first and second internal electrodes 4 and 5 can be combined with the upper and lower piezoelectric plates 1. It is easy to connect to
【００２５】[0025]
【発明の効果】以上本発明によると、圧電トランスの第
１、第２の内部電極中に圧電板を構成する共粉を混在さ
せれば、その共粉がその第１、第２の内部電極の上下に
ある圧電板と連結することにより圧電板と第１、第２の
内部電極と剥離が生じなくなるので、その結果として出
力電圧の低下は生じなくなるのである。As described above, according to the present invention, if the co-powders constituting the piezoelectric plate are mixed in the first and second internal electrodes of the piezoelectric transformer, the co-powder is applied to the first and second internal electrodes. Since the piezoelectric plates are not separated from the first and second internal electrodes by connecting to the upper and lower piezoelectric plates, the output voltage does not decrease as a result.
【００２６】なお、以上の説明では主として圧電トラン
スを例にとって説明したが、その他の内部電極を有する
圧電振動子、例えば衝撃センサー用素子、加速度センサ
ー用素子にも応用できることはもちろんである。In the above description, the piezoelectric transformer is mainly described as an example. However, it is needless to say that the present invention can be applied to a piezoelectric vibrator having other internal electrodes, for example, an element for an impact sensor and an element for an acceleration sensor.
【図１】本発明の一実施の形態による圧電トランスの斜
視図FIG. 1 is a perspective view of a piezoelectric transformer according to an embodiment of the present invention.
【図２】同平面図FIG. 2 is a plan view of the same.
【図３】図１のＡ−Ｂ断面図FIG. 3 is a sectional view taken along a line AB in FIG. 1;
１ 圧電板 ２ 入力用の第１の外部電極 ３ 入力用の第２の外部電極 ４ 第１の内部電極 ５ 第２の内部電極 ６ 出力電極 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Piezoelectric plate 2 1st external electrode for input 3 2nd external electrode for input 4 1st internal electrode 5 2nd internal electrode 6 Output electrode
Claims (9)
用の第１、第２の外部電極と、これらの第１、第２の外
部電極に接続されるとともに前記圧電板内において交互
に積層されている第１、第２の内部電極と、前記圧電板
に設けられた出力用の外部電極とを備え、前記第１、第
２の内部電極中には、前記圧電板を構成する共粉を混在
させた圧電トランス。1. A piezoelectric plate, first and second external electrodes for input provided on the piezoelectric plate, and connected to the first and second external electrodes and alternately arranged in the piezoelectric plate. First and second internal electrodes stacked on each other, and an output external electrode provided on the piezoelectric plate, and the piezoelectric plate is formed in the first and second internal electrodes. Piezoelectric transformer with mixed powder.
粒径を１ミクロン以上とした請求項１に記載の圧電トラ
ンス。2. The piezoelectric transformer according to claim 1, wherein the average particle size of the co-powder or the coagulated powder of the co-powder is 1 μm or more.
量部以上とした請求項１あるいは請求項２に記載の圧電
トランス。3. The piezoelectric transformer according to claim 1, wherein the co-powder is 40 parts by weight or more of the first and second internal electrodes.
とする材料で形成されるとともに、第１、第２の内部電
極は、パラジウムを含む材料で形成された請求項１から
請求項３のいずれか一つに記載の圧電トランス。4. The piezoelectric device according to claim 1, wherein the piezoelectric body is formed of a material containing PbTiZrO 3 as a main component, and the first and second internal electrodes are formed of a material containing palladium. The piezoelectric transformer according to any one of the above.
極が交互にかつ相対向する端面に露出するように積層し
て積層体を形成する第１の工程と、次にこの積層体を焼
成し、この積層体の前記第１、第２の内部電極の露出し
た端面に第１、第２の外部電極を形成するとともに、出
力用の外部電極を形成する第２の工程とを備え、前記第
１の工程において、第１、第２の内部電極は、この第
１、第２の内部電極用ペースト中に前記圧電シートを構
成する共粉を混合したもので形成する圧電トランスの製
造方法。5. A first step of forming a laminate by laminating first and second internal electrodes via piezoelectric sheets so as to be exposed alternately and at opposite end faces, and then forming the laminate. Baking, forming first and second external electrodes on the exposed end faces of the first and second internal electrodes of the laminate, and forming an output external electrode. And manufacturing the piezoelectric transformer in the first step, wherein the first and second internal electrodes are formed by mixing the first and second internal electrode pastes with the co-powder forming the piezoelectric sheet. Method.
ｂＴｉＺｒＯ3系を主成分とする材料で形成するととも
に、第１、第２の内部電極は、パラジウムを含む内部電
極ペーストを用いて形成する請求項５に記載の圧電トラ
ンスの製造方法。6. The method according to claim 1, wherein in the first step, the piezoelectric sheet
6. The method for manufacturing a piezoelectric transformer according to claim 5, wherein the first and second internal electrodes are formed using an internal electrode paste containing palladium, while being formed of a material containing a bTiZrO 3 system as a main component.
共粉の凝集粉の平均粒子径が１ミクロン以上のものを用
いる請求項５あるいは請求項６に記載の圧電トランスの
製造方法。7. The method according to claim 5, wherein in the first step, the co-powder or the coagulated powder of the co-powder has an average particle diameter of 1 μm or more.
ーストと混合する前に、熱処理を行ったものを用いる請
求項５から請求項７のいずれか一つに記載の圧電トラン
スの製造方法。8. The method for manufacturing a piezoelectric transformer according to claim 5, wherein in the first step, the co-powder is subjected to heat treatment before being mixed with the internal electrode paste. .
る焼成温度よりも低くする請求項８に記載の圧電トラン
スの製造方法。9. The method according to claim 8, wherein the heat treatment temperature of the co-powder is lower than the firing temperature in the second step.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22328197A JPH1168187A (en) | 1997-08-20 | 1997-08-20 | Piezoelectric transformer and manufacturing method therefor |
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|---|---|---|---|
| JP22328197A JPH1168187A (en) | 1997-08-20 | 1997-08-20 | Piezoelectric transformer and manufacturing method therefor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1168187A true JPH1168187A (en) | 1999-03-09 |
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ID=16795679
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|---|---|---|---|
| JP22328197A Pending JPH1168187A (en) | 1997-08-20 | 1997-08-20 | Piezoelectric transformer and manufacturing method therefor |
Country Status (1)
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1997
- 1997-08-20 JP JP22328197A patent/JPH1168187A/en active Pending
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