JPH1167644A - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
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- JPH1167644A JPH1167644A JP9225440A JP22544097A JPH1167644A JP H1167644 A JPH1167644 A JP H1167644A JP 9225440 A JP9225440 A JP 9225440A JP 22544097 A JP22544097 A JP 22544097A JP H1167644 A JPH1167644 A JP H1167644A
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- water
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- semiconductor manufacturing
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Separation Of Particles Using Liquids (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 露光装置本体の稼働を止めること無くこれを
常時稼働状態におくことができ、また露光装置本体の匡
体内を不純物濃度が一定値以下の清浄空気で常に満たす
ことができ、従来のケミカルフィルターを使用した場合
に比べて半導体装置単価の上昇を小さく抑えることがで
きる半導体製造装置を提供する。 【解決手段】 露光装置の匡体内に供給する空気を水中
に通過させてこの空気中に含まれる不純物を前記水中に
溶解させる空気清浄器２を備えた。空気清浄器２におい
て、アンモニアを含んだ空気は、空気取り入れ口２４よ
り、純水２２が満たされた空気清浄器本体２１内に導入
され、パンチングボード２３を通過して純水２２内を上
昇する間にアンモニアが水中に溶解され、そして空気取
り出し口２５より取り出される。
常時稼働状態におくことができ、また露光装置本体の匡
体内を不純物濃度が一定値以下の清浄空気で常に満たす
ことができ、従来のケミカルフィルターを使用した場合
に比べて半導体装置単価の上昇を小さく抑えることがで
きる半導体製造装置を提供する。 【解決手段】 露光装置の匡体内に供給する空気を水中
に通過させてこの空気中に含まれる不純物を前記水中に
溶解させる空気清浄器２を備えた。空気清浄器２におい
て、アンモニアを含んだ空気は、空気取り入れ口２４よ
り、純水２２が満たされた空気清浄器本体２１内に導入
され、パンチングボード２３を通過して純水２２内を上
昇する間にアンモニアが水中に溶解され、そして空気取
り出し口２５より取り出される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体製造装置に関
し、特に半導体装置の製造工程において化学増幅型レジ
ストを用いてパターン形成を行う露光装置を備えた半導
体製造装置に関するものである。
し、特に半導体装置の製造工程において化学増幅型レジ
ストを用いてパターン形成を行う露光装置を備えた半導
体製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体装置の高密度化、高集積化
に伴い、微細加工技術の必要性がますます増大してい
る。リソグラフィ工程において微細加工を可能にするた
め、露光には、エキシマレーザーを光源とするＤＵＶ光
や、ＥＢ、Ｘ線等の短波長光を用い、レジストは酸発生
を利用した化学増幅型レジストを使用する技術が開発さ
れつつある（「色材」 ６７＜７＞、４４６−４５５
（１９９４））。
に伴い、微細加工技術の必要性がますます増大してい
る。リソグラフィ工程において微細加工を可能にするた
め、露光には、エキシマレーザーを光源とするＤＵＶ光
や、ＥＢ、Ｘ線等の短波長光を用い、レジストは酸発生
を利用した化学増幅型レジストを使用する技術が開発さ
れつつある（「色材」 ６７＜７＞、４４６−４５５
（１９９４））。
【０００３】化学増幅型レジストは、露光によりレジス
トに酸を発生させた後、必要に応じてＰＥＢを行って発
生した酸を拡散させることで、パターン形成を行うもの
である。このため、レジスト表面にアンモニアなどのア
ルカリ成分が存在すると、露光により発生した酸が失活
して、表面難溶化層が生じ、レジストパターン形状は表
面が膨らんだＴ−Ｔｏｐ形状となる。また、アルカリ成
分が多い場合にはパターンが解像しない場合もある（S.
A.MacDonald et al., Proc.SPIE,vol.1466,p.2(199
1)）。そこで露光後の基板をアンモニアを含んだ空気に
さらさないために、露光装置にケミカルフィルターを装
着し、不純物を除去した空気で露光装置の匡体内を満た
すという方法がとられている。一般的に化学増幅型レジ
ストで安定したパターン形状を得ようとした場合、アン
モニア濃度は１ppb 以下にしなければならないと言われ
ている。
トに酸を発生させた後、必要に応じてＰＥＢを行って発
生した酸を拡散させることで、パターン形成を行うもの
である。このため、レジスト表面にアンモニアなどのア
ルカリ成分が存在すると、露光により発生した酸が失活
して、表面難溶化層が生じ、レジストパターン形状は表
面が膨らんだＴ−Ｔｏｐ形状となる。また、アルカリ成
分が多い場合にはパターンが解像しない場合もある（S.
A.MacDonald et al., Proc.SPIE,vol.1466,p.2(199
1)）。そこで露光後の基板をアンモニアを含んだ空気に
さらさないために、露光装置にケミカルフィルターを装
着し、不純物を除去した空気で露光装置の匡体内を満た
すという方法がとられている。一般的に化学増幅型レジ
ストで安定したパターン形状を得ようとした場合、アン
モニア濃度は１ppb 以下にしなければならないと言われ
ている。
【０００４】以下、図面を参照しながら、上記した従来
の化学増幅型レジストでパターン形成を行う露光装置を
備えた半導体製造装置について説明する。図３は従来の
露光装置の概略を示すものである。この図３において、
１は露光装置本体、４はケミカルフィルターユニット
で、このケミカルフィルターユニット４によって不純物
を除去した空気が露光装置本体１の匡体内に供給され
る。下記の１式、２式、３式は、ケミカルフィルター上
でアンモニアが除去されるときの反応式を示す。
の化学増幅型レジストでパターン形成を行う露光装置を
備えた半導体製造装置について説明する。図３は従来の
露光装置の概略を示すものである。この図３において、
１は露光装置本体、４はケミカルフィルターユニット
で、このケミカルフィルターユニット４によって不純物
を除去した空気が露光装置本体１の匡体内に供給され
る。下記の１式、２式、３式は、ケミカルフィルター上
でアンモニアが除去されるときの反応式を示す。
【０００５】 ＮＨ3＋Ｈ3ＰＯ4→ＮＨ4Ｈ2ＰＯ4 （１） ＮＨ4Ｈ2ＰＯ4＋ＮＨ3→(ＮＨ4)2ＨＰＯ4 （２） (ＮＨ4)2ＨＰＯ4＋ＮＨ3→(ＮＨ4)3ＰＯ4 （３） 以上のように構成された露光装置の動作について説明す
る。
る。
【０００６】まず、図３に示すケミカルフィルターユニ
ット４を通して、空気中のアンモニアを除去し、アンモ
ニア濃度を１ppb 以下にする。そして、アンモニアが除
去された空気を露光装置本体１に供給する（例えば、
「月刊セミコンダクターワールド」１９９４年６月、８
３ページ〜）。ここで使用するケミカルフィルターは、
活性炭繊維に特定の化学物質を添着させて、物理吸着と
同時に化学吸着を利用して、微量ガスを除去するフィル
ターである。例えば、アンモニアのための添着物質はリ
ン酸であり、上述の１式、２式、３式に示す中和反応を
利用してアンモニアの除去を行っている。
ット４を通して、空気中のアンモニアを除去し、アンモ
ニア濃度を１ppb 以下にする。そして、アンモニアが除
去された空気を露光装置本体１に供給する（例えば、
「月刊セミコンダクターワールド」１９９４年６月、８
３ページ〜）。ここで使用するケミカルフィルターは、
活性炭繊維に特定の化学物質を添着させて、物理吸着と
同時に化学吸着を利用して、微量ガスを除去するフィル
ターである。例えば、アンモニアのための添着物質はリ
ン酸であり、上述の１式、２式、３式に示す中和反応を
利用してアンモニアの除去を行っている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな従来の構成では、ケミカルフィルターを使用してい
るため、フィルターの劣化に伴って露光装置本体１の匡
体内のアンモニア濃度が上昇し、ついにはアンモニア濃
度１ppb 以下の清浄空気で匡体内を満たすことができな
くなる。一般にケミカルフィルターの寿命は、上流側の
アンモニアの濃度が１０ppb の時、下流側濃度１ppb を
維持できるのは１年程度と言われている。したがって、
使用環境によって異なるが、ケミカルフィルターの交換
を１年毎に行わなければならず、その度に、露光装置本
体１の稼働を止める必要が生じる。また、上流側のアン
モニア濃度が高濃度である場合は、ケミカルフィルター
の寿命はさらに短くなり、露光装置本体１を稼働できな
い時間はさらに長くなるという問題点を有している。し
かも、ケミカルフィルターは高額なため、リソグラフィ
ー工程単価、すなわち半導体装置の単価が上昇するとい
う問題点を有している。
うな従来の構成では、ケミカルフィルターを使用してい
るため、フィルターの劣化に伴って露光装置本体１の匡
体内のアンモニア濃度が上昇し、ついにはアンモニア濃
度１ppb 以下の清浄空気で匡体内を満たすことができな
くなる。一般にケミカルフィルターの寿命は、上流側の
アンモニアの濃度が１０ppb の時、下流側濃度１ppb を
維持できるのは１年程度と言われている。したがって、
使用環境によって異なるが、ケミカルフィルターの交換
を１年毎に行わなければならず、その度に、露光装置本
体１の稼働を止める必要が生じる。また、上流側のアン
モニア濃度が高濃度である場合は、ケミカルフィルター
の寿命はさらに短くなり、露光装置本体１を稼働できな
い時間はさらに長くなるという問題点を有している。し
かも、ケミカルフィルターは高額なため、リソグラフィ
ー工程単価、すなわち半導体装置の単価が上昇するとい
う問題点を有している。
【０００８】本発明は上記問題点に鑑み、露光装置本体
の稼働を止めること無くこれを常時稼働状態におくこと
ができ、また露光装置本体の匡体内を不純物濃度が一定
値以下の清浄空気で常に満たすことができ、従来のケミ
カルフィルターを使用した場合に比べて半導体装置単価
の上昇を小さく抑えることができる半導体製造装置を提
供することを目的とする。
の稼働を止めること無くこれを常時稼働状態におくこと
ができ、また露光装置本体の匡体内を不純物濃度が一定
値以下の清浄空気で常に満たすことができ、従来のケミ
カルフィルターを使用した場合に比べて半導体装置単価
の上昇を小さく抑えることができる半導体製造装置を提
供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本発明の半導体製造装置は、露光装置の匡体内に供
給する空気を水中に通過させてこの空気中に含まれる不
純物を前記水中に溶解させる空気清浄器を備えたもので
ある。
めに本発明の半導体製造装置は、露光装置の匡体内に供
給する空気を水中に通過させてこの空気中に含まれる不
純物を前記水中に溶解させる空気清浄器を備えたもので
ある。
【００１０】これによると、溶解の進行にともなって溶
解効率が低下した場合は、空気清浄器内の水を入れ換え
ることによって、露光装置本体の稼働を止めることなし
に、その匡対内を不純物濃度が一定値以下の清浄空気で
常に満たすことができる。また空気清浄器内の水中に空
気を通すだけであるため、従来のケミカルフィルターを
使用した場合に比べて安価に構成でき、したがって半導
体装置単価の上昇を小さく抑えることができる。
解効率が低下した場合は、空気清浄器内の水を入れ換え
ることによって、露光装置本体の稼働を止めることなし
に、その匡対内を不純物濃度が一定値以下の清浄空気で
常に満たすことができる。また空気清浄器内の水中に空
気を通すだけであるため、従来のケミカルフィルターを
使用した場合に比べて安価に構成でき、したがって半導
体装置単価の上昇を小さく抑えることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】請求項１に記載の発明は、化学増
幅型レジストを用いてパターン形成を行う半導体製造装
置が、露光装置の匡体内に供給する空気を水中に通過さ
せてこの空気中に含まれる不純物を前記水中に溶解させ
る空気清浄器を備えたものである。
幅型レジストを用いてパターン形成を行う半導体製造装
置が、露光装置の匡体内に供給する空気を水中に通過さ
せてこの空気中に含まれる不純物を前記水中に溶解させ
る空気清浄器を備えたものである。
【００１２】これによると、空気清浄器内の水を入れ換
えるだけで、露光装置本体の稼働を止めることなしに、
その匡対内を不純物濃度が一定値以下の清浄空気で常に
満たすことができる。また空気清浄器内の水中に空気を
通すだけであるため、従来のケミカルフィルターを使用
した場合に比べて安価に構成でき、したがって半導体装
置単価の上昇を小さく抑えることができる。
えるだけで、露光装置本体の稼働を止めることなしに、
その匡対内を不純物濃度が一定値以下の清浄空気で常に
満たすことができる。また空気清浄器内の水中に空気を
通すだけであるため、従来のケミカルフィルターを使用
した場合に比べて安価に構成でき、したがって半導体装
置単価の上昇を小さく抑えることができる。
【００１３】請求項２に記載の発明は空気を純水に通過
させるように構成したものであり、このように純水に通
過させることによって、空気中に含まれる不純物を効率
的に溶解させることができる。
させるように構成したものであり、このように純水に通
過させることによって、空気中に含まれる不純物を効率
的に溶解させることができる。
【００１４】請求項３に記載の発明は不純物が空気中に
含まれるアンモニアであるようにしたものであり、これ
によれば、空気を水中に通すことで効率よく溶解させて
除去することができる。
含まれるアンモニアであるようにしたものであり、これ
によれば、空気を水中に通すことで効率よく溶解させて
除去することができる。
【００１５】請求項４に記載の発明は水中で空気をバブ
リングさせるための手段を備えたものであり、これによ
れば、空気が水中で小さな気泡となるために不純物を効
率良く水中に溶解させて除去することができる。
リングさせるための手段を備えたものであり、これによ
れば、空気が水中で小さな気泡となるために不純物を効
率良く水中に溶解させて除去することができる。
【００１６】請求項５に記載の発明は水中への不純物の
除去の程度を検知する手段を備えたものであり、これに
よれば、検知された除去の程度を空気清浄器内の水の交
換のための指標とすることができる。
除去の程度を検知する手段を備えたものであり、これに
よれば、検知された除去の程度を空気清浄器内の水の交
換のための指標とすることができる。
【００１７】請求項６に記載の発明は、空気清浄器内の
水中に通過される前の空気における不純物の濃度を測定
する手段と、空気清浄器内の水中を通過された後の空気
における不純物の濃度を測定する手段とを備え、これら
の濃度測定手段の測定結果より、不純物の除去率が基準
値を下回った場合、あるいは水中を通過された後の空気
における不純物の濃度が一定値を上回った場合に、空気
清浄器内の水を入れ替え可能に構成されているようにし
たものである。
水中に通過される前の空気における不純物の濃度を測定
する手段と、空気清浄器内の水中を通過された後の空気
における不純物の濃度を測定する手段とを備え、これら
の濃度測定手段の測定結果より、不純物の除去率が基準
値を下回った場合、あるいは水中を通過された後の空気
における不純物の濃度が一定値を上回った場合に、空気
清浄器内の水を入れ替え可能に構成されているようにし
たものである。
【００１８】これによれば、水中を通過する前後の空気
における不純物の濃度を測定することで、露光装置の匡
体内に供給する空気に含まれる不純物の濃度すなわち空
気清浄器による不純物の除去の程度を知ることができ、
したがって空気清浄器内の水を交換するための指標を得
ることができる。
における不純物の濃度を測定することで、露光装置の匡
体内に供給する空気に含まれる不純物の濃度すなわち空
気清浄器による不純物の除去の程度を知ることができ、
したがって空気清浄器内の水を交換するための指標を得
ることができる。
【００１９】請求項７に記載の発明は空気清浄器を２段
以上連結した構成としたものであり、これによれば、空
気中に含まれる不純物をいっそう確実に除去することが
できる。
以上連結した構成としたものであり、これによれば、空
気中に含まれる不純物をいっそう確実に除去することが
できる。
【００２０】請求項８に記載の発明は空気清浄器におけ
る水を満たす容器をフッ素樹脂で形成したものであり、
これによれば、容器の構成材料から容器内の水中に不純
物が溶出することを防止でき、したがって空気中の不純
物を水中に溶解させる機能を高度に維持させることが可
能となる。
る水を満たす容器をフッ素樹脂で形成したものであり、
これによれば、容器の構成材料から容器内の水中に不純
物が溶出することを防止でき、したがって空気中の不純
物を水中に溶解させる機能を高度に維持させることが可
能となる。
【００２１】請求項９に記載の発明は水中で空気をバブ
リングさせるための手段が一層または多層のパンチング
ボードであるようにしたもので、これによれば、きわめ
て細かな気泡を形成して効率よく不純物を水中に溶解さ
せることができる。
リングさせるための手段が一層または多層のパンチング
ボードであるようにしたもので、これによれば、きわめ
て細かな気泡を形成して効率よく不純物を水中に溶解さ
せることができる。
【００２２】以下、本発明の実施の形態の半導体製造装
置について、図面を参照しながら説明する。図１は本発
明にもとづく空気清浄器２の構成図を示すものである。
この図１において、２１は空気清浄器本体で、その内部
には純水２２が満たされている。空気清浄器本体２１の
内部における底部の近傍には、一定の開口率を持つパン
チングボード２３が設けられている。２４は管状の空気
取り入れ口で、空気清浄器本体２１の上端部を貫通して
その内部に導かれ、その先端はパンチングボード２３よ
りも下側の位置で開口している。空気清浄器本体２１の
上端部には、清浄空気の取り出し口２５が接続されてい
る。
置について、図面を参照しながら説明する。図１は本発
明にもとづく空気清浄器２の構成図を示すものである。
この図１において、２１は空気清浄器本体で、その内部
には純水２２が満たされている。空気清浄器本体２１の
内部における底部の近傍には、一定の開口率を持つパン
チングボード２３が設けられている。２４は管状の空気
取り入れ口で、空気清浄器本体２１の上端部を貫通して
その内部に導かれ、その先端はパンチングボード２３よ
りも下側の位置で開口している。空気清浄器本体２１の
上端部には、清浄空気の取り出し口２５が接続されてい
る。
【００２３】空気取り入れ口２４と、空気取り出し口２
５の近傍における空気清浄器本体２１の上端の空気溜め
の部分とには、アンモニア濃度センサー２６が設けられ
ている。これらアンモニア濃度センサー２６は、アンモ
ニア濃度モニター２７に導かれている。また空気清浄器
本体２１の底部には、純水２２の排水口２８と、純水２
２の注水口２９とが設けられている。
５の近傍における空気清浄器本体２１の上端の空気溜め
の部分とには、アンモニア濃度センサー２６が設けられ
ている。これらアンモニア濃度センサー２６は、アンモ
ニア濃度モニター２７に導かれている。また空気清浄器
本体２１の底部には、純水２２の排水口２８と、純水２
２の注水口２９とが設けられている。
【００２４】図２は本発明にもとづく露光装置の概略図
を示し、この露光装置は、化学増幅型レジストを用いて
パターン形成を行うものである。この図２において、１
は露光装置本体、２は図１に示した空気清浄器、３は送
風機である。
を示し、この露光装置は、化学増幅型レジストを用いて
パターン形成を行うものである。この図２において、１
は露光装置本体、２は図１に示した空気清浄器、３は送
風機である。
【００２５】以上のように構成された露光装置につい
て、以下、図１および図２を用いてその動作を説明す
る。まず図１において、図２の送風機３より送られたア
ンモニアを含んだ空気は、空気取り入れ口２４より、純
水２２が満たされた空気清浄器本体２１内の底部に導入
される。空気清浄器本体２１は、純水２２中に不純物が
溶出しないようにフッ素樹脂で形成されている。空気清
浄器本体２１内に導入された空気は、一定の開口率をも
ったパンチングボード２３を通過することによって細か
い気泡となり、純水２２内を上昇する。このとき、空気
中に含まれたアンモニアは、純水２２中に溶解されるこ
とで、この空気中から除去される。純水２２中を通過し
た空気は、空気取り出し口２５より取り出される。
て、以下、図１および図２を用いてその動作を説明す
る。まず図１において、図２の送風機３より送られたア
ンモニアを含んだ空気は、空気取り入れ口２４より、純
水２２が満たされた空気清浄器本体２１内の底部に導入
される。空気清浄器本体２１は、純水２２中に不純物が
溶出しないようにフッ素樹脂で形成されている。空気清
浄器本体２１内に導入された空気は、一定の開口率をも
ったパンチングボード２３を通過することによって細か
い気泡となり、純水２２内を上昇する。このとき、空気
中に含まれたアンモニアは、純水２２中に溶解されるこ
とで、この空気中から除去される。純水２２中を通過し
た空気は、空気取り出し口２５より取り出される。
【００２６】このとき、空気清浄器本体２１の内部へ導
入される前の空気のアンモニア濃度と、これを通過した
後の空気のアンモニア濃度とが、アンモニア濃度センサ
ー２６で感知され、その濃度がアンモニア濃度モニター
２７で常時監視される。
入される前の空気のアンモニア濃度と、これを通過した
後の空気のアンモニア濃度とが、アンモニア濃度センサ
ー２６で感知され、その濃度がアンモニア濃度モニター
２７で常時監視される。
【００２７】アンモニアが純水２２に溶解されるにつれ
て、その後に空気清浄器本体２１の内部へ導入される空
気に含まれるアンモニアは徐々に溶解されにくくなっ
て、その除去効率が低下する。そこで、空気清浄器本体
２１を通過した後の空気のアンモニア濃度が１ppb を上
回った場合、あるいは空気清浄器本体２１の導入前後の
アンモニア濃度比から得られた空気清浄器のアンモニア
除去率が７０％を下回った場合は、空気の導入を一時止
めて、排水口２８より空気清浄器本体２１内の純水２２
をすべて排出し、注水口２９より新たな純水２２を入れ
て空気清浄器本体２１内に満たす。そして、そのうえで
再び空気の導入を開始する。
て、その後に空気清浄器本体２１の内部へ導入される空
気に含まれるアンモニアは徐々に溶解されにくくなっ
て、その除去効率が低下する。そこで、空気清浄器本体
２１を通過した後の空気のアンモニア濃度が１ppb を上
回った場合、あるいは空気清浄器本体２１の導入前後の
アンモニア濃度比から得られた空気清浄器のアンモニア
除去率が７０％を下回った場合は、空気の導入を一時止
めて、排水口２８より空気清浄器本体２１内の純水２２
をすべて排出し、注水口２９より新たな純水２２を入れ
て空気清浄器本体２１内に満たす。そして、そのうえで
再び空気の導入を開始する。
【００２８】図２において、送風機３より送られる空気
は図１の構成の空気清浄器２を通過し、さらに、いずれ
も図示を省略した温湿調器やパーティクル除去のための
フィルターなどを通過して、露光装置本体１に導入され
る。これらの温湿調器やフィルターは、露光装置本体１
に備え付けることができる。
は図１の構成の空気清浄器２を通過し、さらに、いずれ
も図示を省略した温湿調器やパーティクル除去のための
フィルターなどを通過して、露光装置本体１に導入され
る。これらの温湿調器やフィルターは、露光装置本体１
に備え付けることができる。
【００２９】本発明によれば、図２に示すように、空気
清浄器２を多段に直列につなぐことができる。その場合
は、最終段の空気清浄器２については、空気清浄器２を
通過した後の空気中のアンモニア濃度が１ppb を上回っ
た時に純水２２を交換し、それ以外の前段の空気清浄器
２については、アンモニア除去率が７０％を下回った時
に純水２２を交換することができる。すなわち、最終段
から前段に戻るにつれて、純水２２の交換のための条件
をゆるく設定することが合理的である。
清浄器２を多段に直列につなぐことができる。その場合
は、最終段の空気清浄器２については、空気清浄器２を
通過した後の空気中のアンモニア濃度が１ppb を上回っ
た時に純水２２を交換し、それ以外の前段の空気清浄器
２については、アンモニア除去率が７０％を下回った時
に純水２２を交換することができる。すなわち、最終段
から前段に戻るにつれて、純水２２の交換のための条件
をゆるく設定することが合理的である。
【００３０】このように、パンチングボード２３を設置
したフッ素樹脂製の空気清浄器本体２１内の純水２２中
で不純物を含んだ空気をバブリングするという構成とし
たことで気泡が細かくなり、したがって不純物としての
アンモニアを含んだ空気と純水２２との接触面積が大き
くなって、効率良くアンモニアを除去することが可能と
なる。
したフッ素樹脂製の空気清浄器本体２１内の純水２２中
で不純物を含んだ空気をバブリングするという構成とし
たことで気泡が細かくなり、したがって不純物としての
アンモニアを含んだ空気と純水２２との接触面積が大き
くなって、効率良くアンモニアを除去することが可能と
なる。
【００３１】また、アンモニア濃度センサー２６を設け
て、空気清浄器２通過後のアンモニア濃度や空気清浄器
２のアンモニア除去率などを監視して、除去効率の落ち
た純水２２を新たなものに入れ替えるため、露光装置本
体１の稼働を止めること無しに、アンモニア濃度が１pp
b 以下の空気を安定して供給できることとなる。
て、空気清浄器２通過後のアンモニア濃度や空気清浄器
２のアンモニア除去率などを監視して、除去効率の落ち
た純水２２を新たなものに入れ替えるため、露光装置本
体１の稼働を止めること無しに、アンモニア濃度が１pp
b 以下の空気を安定して供給できることとなる。
【００３２】なお、上記においては、アンモニア濃度セ
ンサー２６で空気中のアンモニア濃度を監視するとした
が、アンモニアが溶解すると純水２２の比抵抗が低下す
ることを利用して、純水２２の比抵抗で監視してその入
れ替え時期を決めても良い。
ンサー２６で空気中のアンモニア濃度を監視するとした
が、アンモニアが溶解すると純水２２の比抵抗が低下す
ることを利用して、純水２２の比抵抗で監視してその入
れ替え時期を決めても良い。
【００３３】また、上記においては、空気清浄器内のパ
ンチングボード２３は１段としたが、気泡を細かくして
不純物の除去効率を上げるため、数段のパンチングボー
ドを設置してもよい。
ンチングボード２３は１段としたが、気泡を細かくして
不純物の除去効率を上げるため、数段のパンチングボー
ドを設置してもよい。
【００３４】さらに、空気清浄器本体２１をフッ素樹脂
製としたが、純水２２中に不純物が溶け込むおそれがな
ければ、ステンレスなどの部材を樹脂コーティングした
容器を使用しても良い。
製としたが、純水２２中に不純物が溶け込むおそれがな
ければ、ステンレスなどの部材を樹脂コーティングした
容器を使用しても良い。
【００３５】純水２２の交換時期を、空気清浄器本体２
１への導入前後の空気のアンモニア濃度比から得られた
空気清浄器２のアンモニア除去率によって判定する場合
に、上記においては除去率が７０％を下回った場合を基
準としたが、図２に示すように空気清浄器２を多段につ
なぐ場合は、半導体製造装置内のアンモニア濃度が１pp
b 以下に保てるのであれば、前段の除去率の基準は５０
％程度までゆるめても構わない。
１への導入前後の空気のアンモニア濃度比から得られた
空気清浄器２のアンモニア除去率によって判定する場合
に、上記においては除去率が７０％を下回った場合を基
準としたが、図２に示すように空気清浄器２を多段につ
なぐ場合は、半導体製造装置内のアンモニア濃度が１pp
b 以下に保てるのであれば、前段の除去率の基準は５０
％程度までゆるめても構わない。
【００３６】上記では、除去する目的の不純物がアンモ
ニアである場合について説明したが、アンモニア以外で
も化学増幅型レジストに影響を与える物質で純水２２に
可溶な物質ならば、その物質に対応する濃度センサーな
どを付加して、前記と同様に運用することができる。
ニアである場合について説明したが、アンモニア以外で
も化学増幅型レジストに影響を与える物質で純水２２に
可溶な物質ならば、その物質に対応する濃度センサーな
どを付加して、前記と同様に運用することができる。
【００３７】
【発明の効果】以上のように本発明は、露光装置の匡体
内に供給する空気を水中に通過させてこの空気中に含ま
れる不純物を前記水中に溶解させる空気清浄器を備えた
ため、不純物の溶解効率が低下した場合は、空気清浄器
内の水を入れ換えることによって、露光装置本体の稼働
を止めることなしに、その匡対内を不純物濃度が一定値
以下の清浄空気で常に満たすことができる。また空気清
浄器内の水中に空気を通すだけであるため、空気清浄化
にかかる費用を低減できてランニングコストを抑えるこ
とができ、したがって従来のケミカルフィルターを使用
する場合と比較して半導体装置の製造コストの上昇を小
さくすることができる。
内に供給する空気を水中に通過させてこの空気中に含ま
れる不純物を前記水中に溶解させる空気清浄器を備えた
ため、不純物の溶解効率が低下した場合は、空気清浄器
内の水を入れ換えることによって、露光装置本体の稼働
を止めることなしに、その匡対内を不純物濃度が一定値
以下の清浄空気で常に満たすことができる。また空気清
浄器内の水中に空気を通すだけであるため、空気清浄化
にかかる費用を低減できてランニングコストを抑えるこ
とができ、したがって従来のケミカルフィルターを使用
する場合と比較して半導体装置の製造コストの上昇を小
さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態における空気清浄器の構成
図である。
図である。
【図２】図１の空気清浄器と、露光装置とを示す概略図
である。
である。
【図３】従来の空気清浄機能を説明する概略図である。
２ 空気清浄器 ２２ 純水 ２３ パンチングボード ２４ 空気取り入れ口 ２５ 空気取り出し口
Claims (9)
- 【請求項１】 化学増幅型レジストを用いてパターン形
成を行う半導体製造装置であって、露光装置の匡体内に
供給する空気を水中に通過させてこの空気中に含まれる
不純物を前記水中に溶解させる空気清浄器を備えたこと
を特徴とする半導体製造装置。 - 【請求項２】 空気を純水に通過させるように構成され
ていることを特徴とする請求項１記載の半導体製造装
置。 - 【請求項３】 不純物が空気中に含まれるアンモニアで
あることを特徴とする請求項１または２記載の半導体製
造装置。 - 【請求項４】 水中で空気をバブリングさせるための手
段を備えたことを特徴とする請求項１から３までのいず
れか１項記載の半導体製造装置。 - 【請求項５】 水中への不純物の除去の程度を検知する
手段を備えたことを特徴とする請求項１から４までのい
ずれか１項記載の半導体製造装置。 - 【請求項６】 空気清浄器内の水中に通過される前の空
気における不純物の濃度を測定する手段と、空気清浄器
内の水中を通過された後の空気における不純物の濃度を
測定する手段とを備え、これらの濃度測定手段の測定結
果より、不純物の除去率が基準値を下回った場合、ある
いは水中を通過された後の空気における不純物の濃度が
一定値を上回った場合に、空気清浄器内の水を入れ替え
可能に構成されていることを特徴とする請求項５記載の
半導体製造装置。 - 【請求項７】 空気清浄器を２段以上連結した構成とす
ることを特徴とする請求項１から６までのいずれか１項
記載の半導体製造装置。 - 【請求項８】 空気清浄器における水を満たす容器をフ
ッ素樹脂で形成したことを特徴とする請求項１から７ま
でのいずれか１項記載の半導体製造装置。 - 【請求項９】 水中で空気をバブリングさせるための手
段が一層または多層のパンチングボードであることを特
徴とする請求項４記載の半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9225440A JPH1167644A (ja) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9225440A JPH1167644A (ja) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1167644A true JPH1167644A (ja) | 1999-03-09 |
Family
ID=16829407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9225440A Pending JPH1167644A (ja) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1167644A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002015315A1 (fr) * | 2000-08-10 | 2002-02-21 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Systeme de pile a combustible |
-
1997
- 1997-08-22 JP JP9225440A patent/JPH1167644A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002015315A1 (fr) * | 2000-08-10 | 2002-02-21 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Systeme de pile a combustible |
| US7101636B2 (en) | 2000-08-10 | 2006-09-05 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Fuel cell system |
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