JPH116711A - 計測用撮像装置の校正値測定方法 - Google Patents
計測用撮像装置の校正値測定方法Info
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- JPH116711A JPH116711A JP9158938A JP15893897A JPH116711A JP H116711 A JPH116711 A JP H116711A JP 9158938 A JP9158938 A JP 9158938A JP 15893897 A JP15893897 A JP 15893897A JP H116711 A JPH116711 A JP H116711A
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Abstract
く、全自動で高精度に計測用撮像装置の校正値を測定す
る。 【解決手段】 正方形平面の各辺に検出対象を等間隔に
配した測定治具12を測定対象となる撮像装置11の視
野中央位置に回転しない状態で設置して撮像し、測定治
具の画像データを得る。検出対象の各中心位置P1〜P
32を平均して算出した測定治具の中心16と視野中心
とのずれ量から撮像装置の取付位置板ずれ量を算出し、
各辺の検出対象の中心位置を直線近似した直線17の傾
きθ1〜θ4の平均から取付回転ずれ量を算出し、対面
する検出対象間の距離l1〜l8の平均から1画素の実
寸換算値を算出する。
Description
における計測用撮像装置を校正するための校正値の測定
方法に関するものである。
高速かつ高精度に回路基板に実装する技術が必要とされ
ている。一般的には電子部品や基板マークを撮像して得
られる画像データを高速で処理して、電子部品の位置や
回転量、基板マークの中心位置を正確に検出し、電子部
品の実装位置や回転量の補正を行う画像認識技術が取り
入れられている。
れた画像データを処理して補正量を決定するため、撮像
装置の取付精度に補正量が左右されることになる。そこ
で、予め計測用撮像装置の取付誤差を測定し、取付誤差
の校正を行った上で補正値を算出することにより高精度
な実装を実現している。
の補正量の計測精度が低下する要因としては主に3つ挙
げられる。
である。図7(a)に示すように画像認識では撮像装置
41により撮像視野42を撮像して得られた画像データ
44のどの位置に対象43が存在するかを計測して位置
補正量(dx,dy)を得るため、撮像視野42に対す
る相対位置しか測定できない。そのため、図4(b)に
示すように撮像視野42の中心に位置するように対象4
3を配置しても、撮像装置41自体の取付位置がずれて
いればその分だけ対象43の位置がずれて計測される。
である。図8(a)に示すように画像認識では撮像装置
41により撮像視野42を撮像して得られた画像データ
44で対象43がどれだけ回転しているかを計測して回
転補正量θを得るため、撮像視野42に対する相対回転
量しか測定できない。そのため、図8(b)に示すよう
に撮像視野42内で回転しないように対象43を配置し
ても撮像装置41自体の取付が回転していればその分だ
け対象43の回転量がずれて計測される。
ずれによる1画素の実寸換算値のずれである。距離のず
れにはレンズ形状のずれによる光学的なずれもあるが簡
単のために撮像装置と対象の位置関係のずれで説明をす
る。図9(a)に示すように撮像装置41で対象43を
撮像して画像パターン45を得る。1画素の実寸換算値
は対象43の幅Lと画像パターン45の幅lの比から算
出される。そのため、図9(b)に示すように撮像装置
41を対象43から遠ざけると、得られる画像パターン
46は遠ざける前の画像パターン45に比べ小さくな
り、その分だけ1画素の実寸換算値に誤差が生じる。
れらの誤差要因によって生じる誤差をあらかじめ正確に
測定する必要がある。従来一般的に用いられていた方法
として、正方形治具を測定する方法がある。図10
(a)に示すように、幅Lの正方形の治具52を視野の
中心位置に回転しない状態で設置する。撮像装置41で
撮像して治具52の画像パターン53を得る。次に図1
0(b)に示すように画像パターン53の各辺に対し明
るさ変化のある点を検出し、それらの点を直線近似した
直線54を求める。次に図10(c)に示すように各辺
で求めた直線の交点から治具パターン53の頂点55を
求め、各頂点の位置を平均した点が治具パターン53の
中心になる。そして、もし撮像装置41の取付位置がず
れている場合、図10(d)に示すようにずれ量(d
x,dy)が求められる。また、直線54の傾きを平均
したものが治具パターン73の回転量となるが、撮像装
置41の取付が回転している場合、図10(d)に示す
ように取付回転ずれ量θが求められる。さらに、治具5
2の幅Lと治具画像パターン53の幅lの比から1画素
の実寸換算値を求めることができる。
せる方法がある。図11(a)に示すように、まず治具
62を視野の中心から水平、垂直方向へそれぞれL離れ
た位置に配置し、撮像装置41で撮像して治具62の画
像パターン63を得る。図11(b)に示すように周囲
と明るさの異なる画像パターン63と周囲との境界を検
出し、境界点の平均から画像パターン63の中心64を
求める。次に、図11(a)の矢印で示すように治具6
2を2Lづつ移動させ、図11(c)に示すように前述
の方法で画像パターンの中心65、66、67を求め
る。撮像装置41の取付位置ずれがなければ、各画像パ
ターンの中心64、65、66、67を平均した点が視
野の中心となるが、取付位置ずれがあれば、図11
(d)に示すようにずれ量(dx,dy)が求められ
る。また、中心64−65、65−66、66−67、
67−64を結ぶ直線の傾きから撮像装置41の取付回
転ずれ量θが求められる。さらに、治具62の移動距離
2Lと中心64−65、65−66、66−67、67
−64間の距離の比から1画素の実寸換算値を求めるこ
とができる。
を使用する場合、照明の加減や治具のエッジ形状などに
よる治具の光り方によって誤差が生じてしまうという問
題がある。図12(a)に示すように、画像データ71
において治具パターン72の各辺を検出する処理におい
て、検出対象となる直線73上の明るさ変化はグラフ7
4のようになる。
値を75の値に定めると治具パターン72のエッジライ
ンは76のようになり、治具パターン72の外側にな
る。また、しきい値を77に定めるとエッジライン78
に示すように治具パターン72の内側になってしまう。
治具パターンのエッジ付近の明るさ変化は照明の照明角
度やエッジ形状によって急勾配になったり、緩やかな勾
配になったりするため、正しいエッジ位置を検出するの
は困難となる。
うと、図12(b)に示すように中心位置に誤差dx,
dyを生じてしまう。また、1コーナーのエッジ情報の
み間違ってしまうと、図12(c)に示すように傾きに
誤差θを生じてしまう。さらに、均等に全辺が間違えば
図12(d)に示すように治具パターンのサイズlは
l’のようになるため、1画素の実寸換算値に誤差を生
じてしまう。
方形治具と異なりエッジ位置の誤差はあまり生じない。
というのは正方形治具の場合より対象が小さいため、エ
ッジの誤差は全体に同様に発生する。同様に発生してい
るためそれらを平均した中心はエッジ誤差のない時と同
じ位置になる。この方法は同じ方法で測定した異なる位
置で測定治具の中心位置を使って校正値を算出するため
エッジ誤差による影響が少ないといえる。しかし、この
方法では移動のための手段による誤差が生じる。そのた
め、移動が正確に行われなければ正方形治具のように位
置ずれや回転ずれや1画素実寸換算値ずれが発生してし
まう。
つの問題点がある。それは、撮像装置の回転ずれ量の計
測である。回転ずれ量の計測では撮像された測定治具パ
ターンの回転量を計測しそれを撮像装置の回転ずれ量と
して求めるが、その場合測定治具の回転量が0であると
いう前提条件が必要となる。しかし、実際には測定治具
の回転量を0にするのは大変困難であり、実装設備にお
いてすべてを自動的に計測する場合には大きな障害とな
る。
用撮像装置においてその校正値を自動的にかつ高精度に
測定することができる校正値測定方法を提供することを
目的としている。
装置の校正値測定方法は、周囲の所定位置に所定間隔で
検出対象を配した測定治具を校正対象である撮像装置と
所定の位置関係に設置する第1の工程と、設置された測
定治具を撮像し画像データを得る第2工程と、測定治具
の画像データより周囲の検出対象の各中心位置を検出す
る第3工程と、検出対象の各中心位置から撮像装置の校
正値を計算する第4工程とを備えるものである。
象の中心位置から各校正値を測定するため、照明や測定
治具のエッジ形状の影響を受け難い上、複数の検出対象
を測定して平均化することでより高精度な校正値を測定
することができる。
各辺に円形の検出対象を等間隔に配したものを使用す
る。また、校正値として検出対象の中心位置の平均値か
ら撮像装置の取付位置ずれ量を計算し、各辺の検出対象
の中心位置に近似される直線の傾きから撮像装置の取付
回転ずれ量を算出し、検出対象の間隔から撮像装置の1
画素の実寸換算値を計算する。
値測定方法は、上記第1工程と、設置された測定治具を
測定治具又は撮像装置を移動しながら1行づつ撮像する
1次元の撮像素子を有する撮像装置を使用して撮像し画
像データを得る第2工程と、上記第3工程と、移動方向
に沿う辺に配された検出対象の中心位置に近似された直
線の傾きと移動方向に対向する辺に配された検出対象の
中心位置に近似された直線の傾きをそれぞれ計算する第
4工程と、移動方向に沿う辺の傾きから測定治具の回転
量を計算し、移動方向に対向する辺の傾きから移動方向
に沿う辺の傾きを差し引いた傾きから撮像装置の取付回
転ずれ量を算出する第5工程とを備えるものであり、こ
れにより1次元の撮像素子を有する撮像装置について同
様に校正値を測定することができ、さらに移動方向に沿
う辺の傾きが測定治具の回転量を表し、移動方向に対向
する辺の傾きが測定治具と撮像装置の回転ずれ量の和を
表しているので、測定治具の回転量と撮像装置の取付回
転ずれ量を同時にそれぞれ分離して測定することがで
き、測定治具の回転量を0にするような調整が必要でな
くなる。
値測定方法は、1次元の撮像素子を有する撮像装置と2
次元の撮像素子を有する撮像装置をそれぞれ1つ以上含
む複数の撮像装置を有する電子部品実装設備において、
第2の発明の校正方法を用い測定治具の回転量を取得す
る第1工程と、第1の発明の校正方法により撮像装置の
校正値を算出する第2工程と、撮像装置が2次元の撮像
素子を有する撮像装置の場合第2工程で求められた撮像
装置の取付回転ずれ量から第1工程で求められた測定治
具の回転量を引いて真の撮像装置の取付回転ずれ量を算
出し直す第3工程とを備えるものであり、上記のように
測定治具の回転量を0にするような調整を行う必要がな
く、自動的に全ての撮像装置の校正値を正確に測定する
ことができる。
計測用撮像装置の校正値測定方法について、図1、図2
を参照して説明する。
すように、正方形平面の各辺に円形の検出対象を等間隔
に配した測定治具12を校正対象である撮像装置11の
視野中央で撮像される位置に回転しない状態で設置す
る。次に、ステップ#12で設置された測定治具12を
撮像し、画像データ13を得る。次に、ステップ#13
で、図2(b)に示すように得られた画像データを格子
状にスキャンし、明るさ変化の大きい位置14つまり正
方形平面の各辺に配された円形検出対象を検出する。明
るさの変化の大きい位置14を検出したら、隣合う変化
の大きい位置へと順次追跡を行い、円形検出対象の境界
点15を検出する。同様にして全ての円形検出対象の境
界点15を検出する。全ての円形の検出対象の境界点1
5が求まったら、各円形検出対象の境界点15の重心を
求め、それを円形検出対象の中心位置と決定する。次
に、ステップ#14で、校正値を計算する。
図2(c)に示すように検出された円形検出対象の中心
位置P1〜P32の平均から測定治具12の中心16を
算出する。はじめに測定治具12を視野の中心に位置す
るように設置していたので、算出した中心16と視野中
心とのずれ量dx,dyが撮像装置11の取付位置ずれ
量となる。
検出対象の中心位置を直線近似17とし、それらの直線
の傾きからθ1〜θ4を求める。得られたθ1〜θ4の
平均から測定治具12の傾きθを求める。始めに測定治
具12を回転しない状態で設置しているので、測定治具
12の傾きθが撮像装置の取付回転ずれ量となる。
形検出対象間の距離l1〜l18の平均から測定治具の
画像パターン18のサイズlを求める。測定治具のサイ
ズLと画像パターン18のサイズlの比から1画素の実
寸換算値を算出する。
像装置の校正値測定方法について、図3、図4を参照し
て説明する。
置を移動しながら1行づつ撮像する1次元の撮像素子を
有する撮像装置21をθだけ回転させて取付けている場
合、正方形の対象物24を矢印の方向に移動させて撮像
すると、まず正方形対象物24の頂点Bが撮像され続い
て頂点Aが撮像されていく。従って入力された画像パタ
ーン25は正方形ABCDでなく平行四辺形A’B’
C’D’となる。撮像された平行四辺形A’B’C’
D’において頂点A’の位置は正方形の頂点Aに対し、 A'x=Ax+L×( cosθ−cos2θ) A'y=Ay+L× sinθ という関係で表される。ここで、撮像装置21の取付回
転ずれ量がそれほど大きくないことを考えれば、X方向
への変位は無視できる値であるから、回転ずれしている
1次元の撮像素子を有する撮像装置21で撮影した場
合、撮像された画像は撮像素子と垂直方向へ回転ずれ量
分だけ変位することになる。本実施形態ではこの特性を
利用し、測定治具の回転量と撮像装置の取付回転ずれ量
を同時に測定する。
(b)に示すように、正方形平面の各辺に円形検出対象
を等間隔に配した測定治具12を校正対象となる1次元
の撮像素子を有する撮像装置21の視野中央で撮像され
るように設置する。このとき測定治具12は回転してい
てもかまわない。次に、ステップ#22で1次元の撮像
素子を有する撮像装置21を矢印の方向へ移動しながら
測定治具12を撮像し、画像データ23を得る。次に、
ステップ#23で上記第1の実施形態で説明したのと同
じ要領で測定治具の画像データより正方形平面の各辺に
配された円形検出対象の各中心位置を検出する。
きを計算し、続いてステップ#25で回転ずれ量を算出
する。図4(c)に示すように、各辺の円形検出対象の
中心位置を直線近似27し、それらの直線の傾きθ1〜
θ4を求める。そして左右の辺の傾きをθ3、θ4の平
均値で求め、上下の辺の傾きをθ1、θ2の平均値で求
める。上述のように、左右辺では回転ずれした1次元の
撮像素子を有する撮像装置21の影響を受けないので、
求められた左右辺の傾きは測定治具12の回転量とな
る。上下辺では回転ずれした1次元の撮像素子を有する
撮像装置21の影響を受けるので、求められた上下辺の
傾きは測定治具12の回転量と撮像装置21の回転ずれ
量が含まれている。よって、上下辺の傾きから左右辺の
傾きを差し引いた傾きが撮像装置21の取付回転ずれ量
となる。
像装置の校正値測定方法について、図5、図6を参照し
て説明する。
サイズの撮像装置を搭載した電子部品実装設備における
撮像装置の校正値測定について説明する。大視野撮像装
置31は1次元の撮像素子を有する撮像装置で、小視野
撮像装置32は2次元の撮像素子を有する撮像装置であ
る。まず、上記第1、第2の実施形態と同様の測定治具
12を大視野撮像装置31の視野中央へ撮像されるよう
に矢印の方向へ移動しながら撮像する。そうしてまず、
ステップ#31で第2の実施形態で説明した要領で測定
治具12の回転量を測定し、合わせてステップ#32、
#33で第1及び第2の実施形態で説明した要領にて大
視野撮像装置31の取付位置ずれ量、取付回転ずれ量、
1画素の実寸換算値を測定する。
2を小視野撮像装置32の視野中央で撮像されるように
測定治具12が回転しないように平行移動して配置し、
小視野撮像装置32で撮像する。そしてステップ#3
2、#33で第1の実施形態で説明した要領にて小視野
撮像装置32の取付位置ずれ量、取付回転ずれ量、1画
素の実寸換算値を測定する。測定された取付回転ずれ量
には測定治具12の回転量も含まれているので、測定さ
れた取付回転ずれ量から先に求めた測定治具12の回転
量を差し引いて真の小視野撮像装置32の取付回転ずれ
量を求める。
法によれば、以上の説明から明らかなように、測定治具
の周囲に配した検出対象の中心位置から各校正値を測定
するため、照明や測定治具のエッジ形状の影響を受け難
い上、複数の検出対象を測定して平均化することでより
高精度な校正値を測定することができる。
回転ずれ量とは別に測定することができるため、電子部
品実装設備において測定治具の回転量を0にするような
調整が必要でなく、自動的に全ての撮像装置の校正値を
正確に測定することができる等の効果を発揮する。
1の実施形態のフローチャートである。
2の実施形態のフローチャートである。
2の実施形態のフローチャートである。
る。
説明図である。
法の説明図である。
生の説明図である。
Claims (5)
- 【請求項1】 周囲の所定位置に所定間隔で検出対象を
配した測定治具を校正対象である撮像装置と所定の位置
関係に設置する第1の工程と、設置された測定治具を撮
像し画像データを得る第2工程と、測定治具の画像デー
タより周囲の検出対象の各中心位置を検出する第3工程
と、検出対象の各中心位置から撮像装置の校正値を計算
する第4工程とを備えたことを特徴とする計測用撮像装
置の校正値測定方法。 - 【請求項2】 測定治具として、正方形平面の各辺に円
形の検出対象を等間隔に配したものを使用することを特
徴とする請求項1記載の計測用撮像装置の校正値測定方
法。 - 【請求項3】 校正値として検出対象の中心位置の平均
値から撮像装置の取付位置ずれ量を計算し、各辺の検出
対象の中心位置に近似される直線の傾きから撮像装置の
取付回転ずれ量を算出し、検出対象の間隔から撮像装置
の1画素の実寸換算値を計算することを特徴とする請求
項1記載の計測用撮像装置の校正値測定方法。 - 【請求項4】 請求項1記載の第1工程と、設置された
測定治具を測定治具又は撮像装置を移動しながら1行づ
つ撮像する1次元の撮像素子を有する撮像装置を使用し
て撮像し画像データを得る第2工程と、請求項1記載の
第3工程と、移動方向に沿う辺に配された検出対象の中
心位置に近似された直線の傾きと移動方向に対向する辺
に配された検出対象の中心位置に近似された直線の傾き
をそれぞれ計算する第4工程と、移動方向に沿う辺の傾
きから測定治具の回転量を計算し、移動方向に対向する
辺の傾きから移動方向に沿う辺の傾きを差し引いた傾き
から撮像装置の取付回転ずれ量を算出する第5工程とを
備えたことを特徴とする計測用撮像装置の校正値測定方
法。 - 【請求項5】 1次元の撮像素子を有する撮像装置と2
次元の撮像素子を有する撮像装置をそれぞれ1つ以上含
む複数の撮像装置を有する電子部品実装設備において、
請求項4記載の校正方法を用い測定治具の回転量を取得
する第1工程と、請求項1記載の校正方法により撮像装
置の校正値を算出する第2工程と、撮像装置が2次元の
撮像素子を有する撮像装置の場合第2工程で求められた
撮像装置の取付回転ずれ量から第1工程で求められた測
定治具の回転量を引いて真の撮像装置の取付回転ずれ量
を算出し直す第3工程とを備えたことを特徴とする電子
部品実装設備における計測用撮像装置の校正値測定方
法。
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---|---|---|---|
JP15893897A JP3893191B2 (ja) | 1997-06-16 | 1997-06-16 | 計測用撮像装置の校正値測定方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JPH116711A true JPH116711A (ja) | 1999-01-12 |
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ID=15682633
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JP15893897A Expired - Fee Related JP3893191B2 (ja) | 1997-06-16 | 1997-06-16 | 計測用撮像装置の校正値測定方法 |
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