JPH116501A

JPH116501A - シリンダ制御方法及び半導体製造装置の制御方法

Info

Publication number: JPH116501A
Application number: JP16134697A
Authority: JP
Inventors: Takashi Ogasawara; 孝小笠原
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1997-06-18
Filing date: 1997-06-18
Publication date: 1999-01-12

Abstract

(57)【要約】【目的】ストロークの変化の速度を簡易な方法で管理
し、シリンダの制御性を高める。【構成】ピストン３１のスタート位置とエンド位置を磁
気センサ３４ａ、ｂで検知し、この検知を基にスタート
時刻とエンド時刻を認識し、スタート時刻とエンド時刻
との差から、ピストン３１がスタート位置からエンド位
置へ移動する実測時間を求める。メモリ４２にはピスト
ン３１がスタート位置からエンド位置へ移動する許容時
間の範囲が予め記憶しておく。実測時間が許容時間の範
囲外であればアラーム信号を発生させる。又、スタート
位置とエンド位置の間にもセンサを設け、制御性の高度
化と同時に移動速度の補正も可能にする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はシリンダの制御方法
に係わり、シリンダによる物体の搬送、押圧等で、シリ
ンダ駆動の適否判断にシリンダのストロークが変化する
速度の条件を加味させ、シリンダを適性に制御する方法
である。特には、半導体製造装置での物体の搬送等への
適用で、より大きな効果が発揮される。

【０００２】

【従来の技術】シリンダはプレス機械から精密な半導体
製造装置に到る様々な装置で使用されている。装置の高
性能化、精密化に伴って、シリンダの基本機能として要
求される対象物の加圧や搬送等のためには、シリンダの
押圧やストロークの距離の制御だけでなく、ストローク
の変化する速度の制御が重要になっている。例えば、プ
レス機械による精密な加工では、ストロークの速度差が
被加工物への衝撃度の差となり、加工品の内部応力等の
バラツキの原因となる。又、半導体製造装置でのウエハ
の搬送の場合であれば、ストロークの変化速度やその加
速度が大き過ぎてウエハが破損したり、位置決め精度が
不良になる等の問題が発生する。このような点から、シ
リンダ制御でのストロークの変化速度は重要な因子とな
る。

【０００３】ストロークの位置検知において、よく知ら
れるピストン型のシリンダでは、ピストンを直接検知す
るか、ピストンと連動するマーカー等を検知する方法が
利用される。前者はピストンを磁性体で構成するか、ピ
ストンに磁性体を一体化させ、リードスイッチ、ホール
素子等によりピストンの位置を検知するものである（例
えば、特開平８−２８４９０６等）。後者では、ピスト
ンに連動する長尺のセンサスケールによる検知で、ピス
トンを任意の所定位置に停止させる方法（特開昭５９−
１９４１０９）、ピストンに連動するベルトのマーカを
検知し、ピストン位置検出の安定化、小型化をする方法
（特開平８−１５２３８９）、ピストンの移動に伴い回
転する円板に設けた複数のスリットをパルス信号として
検知し、パルス数を基に回転角、即ちピストン位置を正
確に任意位置に停止させる方法（特開平６−２７２６５
７）等のピストンの位置検知を基に、シリンダのストロ
ークを検出し、制御する方法が知られている。

【０００４】ピストンの移動速度、即ちシリンダのスト
ロークの変化の速度、の検出方法について、次に述べ
る。ディジタル方式による速度検出では、例えば、前述
のパルス信号を計測し、単位時間当たりのパルス数から
移動速度を求めることが出来る。一方、アナログ方式に
よる速度検出の従来例については、図１０に示した（特
開平７−１９１７５７）。半導体露光装置、精密加工
機、精密測定機等の位置決め装置に関する一例で、図１
０のＡ）には模式断面図を、Ｂ）には速度検出に係わる
部分を拡大した断面図を示した。本従来例では電動シリ
ンダが用いられ、ピストンの概念はないが、ストローク
の制御という観点では、ピストン型のシリンダと同様に
扱うことができる。装置の全体構成の概要を以下に説明
する。支持枠１に固定されたＹガイド２に沿って移動可
能なＹステージ３が設けられている。Ｙ電動シリンダ８
のシリンダシャフト１２と連結された揺動アーム１４は
Ｙステージ３をＹ方向へ移動させる力を作用させる。Ｙ
電動シリンダ８のストロークは移動路の両端部（即ち、
スタート位置とエンド位置）のリミットセンサ１１ａ、
１１ｂとストロークの中央を検知する原点センサ１１ｃ
によりストロークの位置検出がなされ、検出信号を基に
Ｙ電動シリンダ８が制御される。リミットセンサ１１
ａ、１１ｂに異常が発生し、Ｙステージ３が更に支持枠
１に接近すると、別のリミットセンサ１６ａ、１６ｂが
作動してＹステージ３を停止させる。Ｙステージ３に固
定されたＸガイド４に沿って移動可能なＸステージ５が
設けられ、Ｘステージ５にはウエハチャック６が固定さ
れている。Ｘステージ５は、Ｘ電動シリンダ７によって
Ｘ方向へ移動され、位置合わせされる。又、バランスシ
リンダ１７により、揺動アーム１４に連結されたバラン
スベルト１３の張力が制御されるようになっている。

【０００５】更に、距離センサ１９ａ、１９ｂにより支
持枠１の上、下面１８ａ、１８ｂとＹステージ３との離
間距離Ｓが検出される。図１０Ｂ）の部分図により、以
下に説明する。支持枠１には距離センサ１９ａが設けら
れ、Ｙステージ３の端面にはミラー２１が設けられてい
る。距離センサ１９ａからは放出されたレーザ光はミラ
ー２１で反射され、その反射光は距離センサ１９ａへ照
射される。距離センサ１９ａは、反射光による干渉縞か
らＹステージ３との離間距離Ｓを検出する測長用のレー
ザ干渉計である。距離センサ１９ａの出力電圧により離
間距離Ｓを検出する。

【０００６】距離センサ１９ａからの出力電圧を微分回
路等による電気的処理を行い、Ｙステージ３の移動速度
（即ち、Ｙ電動シリンダ８のストロークの変化速度）が
求められる。求められた移動速度と移動速度の許容値と
を比較し、許容値以上であるときにアラーム信号を発生
し、Ｙステージ３の移動にブレーキを掛ける。これらの
一連の制御により、装置の移動体が支持枠に衝突するの
を防ぎ、安定に動作させる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】シリンダを備えた装置
において、シリンダのストロークの変化の速度を検出
し、この速度因子を考慮する高度化したシリンダ制御
が、装置の高性能化とともに重要になっている。しか
し、従来例のストロークの速度検出の方法では、ディジ
タル方式にせよアナログ方式にせよ、センサー、検出方
式、電気回路等が複雑で高価なものになる。本発明は、
簡易な方法でストロークの速度検出をし、シリンダ制御
の高度化を廉価で確実に実施し、シリンダ応用装置の高
性能化を実現させるものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の基本は、シリン
ダのストロークの変化の速度（例えば、ピストン型シリ
ンダであればピストンの移動速度、以下同様）を、スト
ロークの一方の位置から他方の位置に達するまでの時間
によって判断する方法である。この時間は、ストローク
が一方の位置をスタート（又は通過）する時刻と他方の
位置に到達（又は通過）する時刻との差によって求め
る。より具体的には、シリンダのストロークの位置その
もの又はそれに相関する位置、例えばシリンダの駆動力
によって搬送される物体の位置、を検知し、その時刻を
認識する方法やシリンダの振動の検知でストロークのス
タート時刻やエンド時刻を認識する方法等を基にして前
記時間を実測することができる。

【０００９】この実測の時間に対応する許容時間の範囲
を予め定め、記憶しておく。実測の時間が許容時間の範
囲外であれば、アラーム信号を発生させる。このアラー
ム信号は、異常の告知をしたり、シリンダ制御のシーケ
ンスを停止したり、シリンダの駆動停止やストローク方
向を反転駆動させる等でのトリガー信号として使うこと
ができる。

【００１０】又、ストロークが、一方の位置にある時刻
から許容時間の範囲を経過した時点で、他方の位置に達
しないときにも、アラーム信号を発生させ、前記同様の
トリガー信号に使用してよい。

【００１１】本発明では、ストロークの二点間、即ち、
前述したストロークの一方から他方に達する実測の時間
と許容時間の範囲との比較から、ストロークの変化速度
の適否を判定するので、速度因子を加味する高度なシリ
ンダ制御を簡便に実現できる。この結果、高性能が要求
されるシリンダ適用装置の小型化、低価格化や装置の安
定稼働に寄与することになる。

【００１２】シリンダの制御において、ストロークの高
度な位置制御のためには、ストロークのスタート位置と
エンド位置を検知するのがよい。この検知での障害に配
慮して、それぞれの位置で二重に検知したり、それぞれ
の位置でのストロークのオーバーランを検知する方法を
含めてもよい。

【００１３】ストロークの変化速度を判断する際、スト
ロークの二点間の一方から他方に達する時間を求める
が、前述のようにストロークの一方に位置する時刻と他
方に位置する時刻との差よりこの時間を求める。この時
刻の認識には、ストロークのスタート位置とエンド位置
の検知の信号を基にスタート時刻とエンド時刻を認識す
るのが便利であるが、スタート位置とエンド位置との間
の所定位置の二点でのストロークの通過を検知し、それ
ぞれの通過時刻を認識する方法でもあっても構わない。

【００１４】又、ストロークのスタート位置からエンド
位置までの間に、ストロークの変化速度を判断する二点
間を複数設定すれば、変化速度を判断する精度を高める
ことができる。それぞれの二点間で、実測の時間と予め
定めた許容時間の範囲とを比較して、実測の時間が許容
時間の範囲外であればアラーム信号を発生することにな
る。なお、設定される二点の片方がスタート位置又はエ
ンド位置であってもよいし、二点間の複数の設定の内に
はスタート位置とエンド位置とからなる二点間が含まれ
てもよいことは言うまでもない。これらの場合に、最初
に発生するアラーム信号をトリガー信号として前述の処
理を進める方法はシリンダの制御を合理的に実施するの
に都合がよい。

【００１５】ストロークの変化速度を判断する二点間が
複数設定される場合には、更に次の方法による適否判断
も可能となる。ある二点間でのストロークの変化から実
測した時間と別の二点間で実測した時間との時間差を求
める。一方、この時間差についても許容範囲も予め定め
ておく。時間差と時間差許容範囲とを比較し、時間差が
時間差許容範囲外であるときにはアラーム信号を発生さ
せるものである。この時間差を用いる方法を、二点間で
のストロークの変化から実測した時間とその許容時間の
範囲とを比較する既述の方法と組み合わせ、制御の精度
を高めてもよい。この時間差を用いる方法は、スタート
位置とエンド位置と両者の中間の所定位置でストローク
を検知する例に適応するのが合理的である。特には、所
定位置をスタート位置とエンド位置の中央に設定する
と、時間差が零の条件を標準とすることができるので、
条件設定や、時間差と時間差許容範囲との比較を基にす
る制御処理等に都合がよい。この中央は、スタート位置
とエンド位置の間の距離の中央であってもよいが、スト
ロークのスタート位置からエンド位置に達する標準時間
の中央に対応するストロークの所定位置とするのが都合
よい。

【００１６】ストロークの変化速度を判断する二点間が
複数設定される場合においては、既述したストロークの
変化速度の情報を利用して、シリンダ制御にフィードバ
ックして、ストロークの変化速度を補正することができ
る。

【００１７】ある二点間のストロークの変化に要した実
測の時間がその許容時間の範囲内である場合に、その二
点間より後方のストロークの変化速度を次のように補正
する。二点間でのストローク変化の許容時間の範囲の他
に、その許容時間の標準値を予め定め、メモリに記憶し
ておく。実測された時間とこの標準値との差異を基に、
二点間より後方のストロークの変化速度を補正するよう
に制御する方法である。これを基本として、例えば、二
点間より後方のエンド位置までの距離、実測値と標準値
との差分、二点間でストロークを変化させた駆動力等の
条件を基に、二点間より後方でのストロークを変化させ
るための駆動力を求め、補正された駆動力によりシリン
ダを制御するものである。この駆動力は、空気圧シリン
ダであれば、その圧力やシリンダへの流入空気量等を調
整し、電動シリンダであれば、電流量を調整し、この調
整は周知の技術を用いて実現される。

【００１８】この方法で、例えば、ストロークの変化の
速度が増加するのであれば、二点間より後方では減速補
正により標準速度なるようにシリンダを制御したり、ス
トロークのエンド時刻をその標準時刻に近似させること
ができる。

【００１９】以上に記述したシリンダ制御方法は簡易で
ありながら、その制御を高度化させるものであり、この
制御方法を適用したシリンダを備えた装置では、例えば
プレス機械であれば加工物の残留ストレス等が均一で、
軽減される精密加工が可能となる。その他に、物体の搬
送、昇降等の動力源にシリンダを用いた装置にも、本発
明は適用できるが、特に精密さを要求される半導体製造
装置でのウエハや光学部品等の搬送等に用いるシリンダ
の制御に好都合なものである。

【００２０】

【発明の実施の形態】シリンダには、空気圧、油圧、バ
ネ力等を併用のシリンダ、電動シリンダ（ソレノイドコ
イルやモータを使用）等があり、本発明のシリンダ制御
方法はこれらに適用できるものである。これら様々なシ
リンダの内のピストン型のシリンダを例として、以下の
実施例を発明するがこれに限られるものではない。又、
シリンダの駆動力を作用させる物体、例えば従来例の図
１０に示すステージ等、は省略してあるが、物体へシリ
ンダの駆動力を伝達させる構成等は周知の技術を用いる
ことで、本発明の目的は達成される。

【００２１】図１はシリンダ制御での一つの実施例の原
理ブロック図である。既述のストロークの位置はピスト
ン３１の位置に対応し、ストロークの一方の位置から他
方の位置に達するまでの時間はピストンの移動路の一方
から他方へ移動する時間に対応する（以下、同様）。

【００２２】図２はピストン３１をその移動路の二点で
検知する例の制御のフローチャートであり、図５はピス
トン３１の移動の軌跡を示すもので、０の軌跡は標準の
軌跡を表し、１、２、３の軌跡は標準以外の軌跡を表
す。図９はアラーム信号等を基に、シリンダを制御する
方法を説明するための回路例のブロック図を示した。こ
れらの図を参照させ、図１の実施例を以下に説明する。

【００２３】シリンダ３０のピストン３１には磁石３２
が固定され、ロッド３３はピストン３１と一体になって
いる。シリンダ３０の外側には磁気センサ３４ａ、３４
ｂが取りつけられ、磁石３２の磁界を検出して、ピスト
ン３１の位置を検知できる。磁気センサ３４ａはストロ
ークのスタート位置に、磁気センサ３４ｂはストローク
のエンド位置に設けた。ここでは、ロッド３３のＰ点を
光学センサ３５ａ、３５ｂ、３６ａ、３６ａ、３６ｂに
より検出することでも、ピストン３１の位置を検知でき
る例を示した。図示してないが、ブレーキ、クッション
等でストロークの制動や運動エネルギーの吸収をさせ、
又ストロークのオーバーランを検知して、ストロークを
緊急停止させる等は周知の技術で可能である（以下、同
様）。

【００２４】前記の各センサはインタフェース回路４３
に接続され、センサの検出信号はＭＰＵ４１で処理可能
なデータの信号に変換され、ＭＰＵ４１へ送られる。Ｍ
ＰＵ４１へは、ピストンが所定位置間を移動する許容時
間の範囲やその他の条件のデデータや制御手順のプログ
ラム等を予め入力し、メモリ４２に記憶しておく。ＭＰ
Ｕ４１からの制御指令やセンサの検出データ等をシーケ
ンス制御回路４０へ送る。シーケンス制御回路４０から
は電磁弁コントローラ３９の制御手順や調整等の信号が
電磁弁コントローラ３９へ送られ、電磁弁３８を制御す
る。空気圧により、空気は電磁弁３８を経由して配管３
７ａを通り、シリンダ３０の一方側へ流入させ、ピスト
ン３１を移動させる。配管３７ｂからはシリンダ３０の
他方側から押し出された空気が電磁弁３８を通して外気
へ排出される。ピストン３１を反対方向へ移動させるに
は、電磁弁コントローラ３９で電磁弁３８の空気流通路
（図示せず）を変え、シリンダ３０への空気の流入、排
出の方向を逆転すればよい。又、シリンダ３０と電磁弁
３８の間に図示しない制御弁を配置して、空気流を安定
化させても構わない。

【００２５】センサ位置と対応させて、図１に関連した
ピストン３１の検知方法の一例を以下に説明する。磁気
センサ３４ａ、３４ｂの位置は、それぞれ光学センサ３
５ａ、３５ｂの位置に対応しており、ストロークのスタ
ート位置とエンド位置を検知するもので、これら磁気セ
ンサと光学センサのどちらを使用しても構わない。又、
光学センサ３６ａ、３６ｂはスタート位置とエンド位置
の間に配置され、後述するピストン３１の移動速度を検
知する他の例であるが、検知信号の処理原理は磁気セン
サ３４ａ、３４ｂを用いる方法と同様なので説明を省略
し、以下では磁気センサ３４ａ、３４ｂの検知によるシ
リンダ制御を説明する。

【００２６】シリンダ３０の制御のフローチャートを示
す図２と、ピストン３１の移動位置、即ちストローク、
を示す図５Ａ）を参照させ、更に説明する。なお、本実
施例では、図示しないクッションがシリンダ３０に設け
られた場合のピストン３１の移動の様子を示した。

【００２７】なお、メモリ４２には、ピストン３１が磁
気センサ３４ａの位置（スタート位置）から３４ｂの位
置（エンド位置）へ移動する時間ｔの許容時間の範囲Ｔ
ｍ≦ｔ≦ＴＭのデータを予め記憶しておく。

【００２８】ＭＰＵ４１の指令でシーケンス制御回路４
０が作動を開始し、電磁弁コントローラ３９へ信号を送
り、電磁弁３８をＯＮ（電磁弁を切り換え、以下同様）
にする（時刻０）。図５Ａ）のように、僅かな時間が経
過してピストン３１は動き始める。この時刻ｔａ０（又
はｔａ１）がピストンのスタート時刻（即ち、ストロー
クのスタート時刻）となる。ｔａ０は磁気センサ３４ａ
の検出信号をインタフェース回路４３を経由し、ＭＰＵ
４１で時刻０からｔａ０までのクロック数をカウントし
てｔａ０を求め、メモリ４２へ記憶する。基準にする時
刻は時刻０でなくとも構わないことは言うまでもない。

【００２９】ピストン３１は図１で左側へ移動し、エン
ド位置に近づくと、図５のように、クッションが働くた
めピストン３１の速度は急速に低下し、エンド位置に停
止する。

【００３０】次には、ピストン３１がエンド位置に到達
する時刻ｔｂ０（又はｔｂ１、ｔｂ２で、即ちストロー
クのエンド時刻）を求めるが、図２Ａ）とＢ）のフロー
チャートで示した二つの手順を説明する。但し、フロー
チャートには、時刻をｔａ、ｔｂのように簡略化した表
記をしている。

【００３１】先ず、図２Ａ）では、ピストン３１が磁気
センサ３４ｂの位置へ到達し、磁気センサ３４ｂの検出
信号を基に、ｔａ０と同様の方法でｔｂ０を求め、メモ
リ４２へ記憶する。ＭＰＵ４１でｔａ０とｔｂ０の差を
求め、ピストン３１がスタート位置からエンド位置に達
する時間ｔを求める。この差を求める機能は、シーケン
ス制御回路４０に設けても構わない。

【００３２】又、ピストン３１がスタート位置からエン
ド位置に達するまでの時間ｔの別の求め方としては、ピ
ストン３１のスタートを検知した磁気センサ３４ａの信
号を基に、ＭＰＵ４１でクロック数のカウントを開始
し、磁気センサ３４ｂによるエンド検出信号を基にカウ
ントを終了させ、スタート位置からエンド位置に達する
までの時間ｔを直接求めてもよい。実質的には、スター
ト時刻とエンド時刻を認識することには変わりない。以
降での、ピストン３１が二点間を移動する時間ｔを求め
る場合にも同様である。更には、図示しない周知のタイ
マを使用して、上記と同様の時間ｔを求めることもで
き、又許容時間の範囲をタイマに設定しておいてもよい
ことは言うまでもない（以下同様）。

【００３３】ピストン３１がスタート位置からエンド位
置に達するまでの時間ｔとメモリ４２に記憶してある許
容時間の範囲Ｔｍ≦ｔ≦ＴＭ（即ち、Δｍ＋ΔＭ）とを
比較し、実測の時間が許容時間の範囲外であればアラー
ム信号を発生する。このアラーム信号を基にして、制御
する回路例のブロック図を図９Ａ）に示した。比較回路
４５で実測の時間ｔと許容時間の範囲Ｔｍ≦ｔ≦ＴＭと
を比較し、許容時間の範囲外であればアラーム信号発生
回路４６からアラーム信号を発生させ、アラーム表示回
路４７を起動させ異常を告知したりする。又、アラーム
信号を電磁弁コントローラ３９へ送り、ピストン３１が
移動の停止、反転等の適切な動作をするように、電磁弁
３８を制御させる。又、アラーム信号を基にして、例え
ばＭＰＵ４１へ異常発生の信号を送り、ＭＰＵ４１から
の指令によりシリンダ３０と係わりのある周辺の機構や
装置の駆動を停止させる。

【００３４】次に、図２Ｂ）のフローチャートに沿っ
て、ピストン３１の停止検知に関し、他の制御手順を説
明する。ピストン３１の始動時刻のｔａ０以降、磁気セ
ンサ３４ｂがピストン３１を検知したかどうかを周期的
にチェックする。Ｔの時刻で、磁気センサ３４ｂが検知
していなければ、Ｔ−ｔａ０を算出し、許容時間の範囲
の最大値であるＴＭと比較する。Ｔ−ｔａ０がＴＭを超
えていれば、アラーム信号を発生し、アラーム信号を基
にして前述同様にピストン３１の停止等の制御処理をす
る。この時のピストン３１の軌跡は、図５Ａ）の３の軌
跡に相当する。

【００３５】Ｔ−ｔａ０がＴＭを超えてなければ、更に
Ｔ＋１の時刻で磁気センサ３４ｂがピストン３１を検知
したかをチェックし、なお検知していなければ許容時間
の範囲で時刻の繰り上げと検知の有無のチェックとを繰
り返す。この処理で、ｔｂ０を認識し、ｔ＝ｔｂ０−ｔ
ａ０の算出以降の制御フローは図２Ａ）と同様である。

【００３６】図５Ａ）の１の軌跡は、ピストン３１の始
動時刻（スタート時刻）のｔａ１がｔａ０より早く、ピ
ストン３１のスタート位置からエンド位置に達するまで
の時間ｔ＝ｔｂ１−ｔａ１も許容時間の範囲Ｔｍ≦ｔ≦
ＴＭより短い例である。２の軌跡は許容時間の範囲Ｔｍ
≦ｔ≦ＴＭを満たしている例である。

【００３７】図３のＡ）は磁気センサ３４ａ（スタート
位置）とセンサ３４ｂ（エンド位置）の間に磁気センサ
３４ｃを設けた例であり、Ｂ）は磁気センサ３４ｃ、３
４ｄ、３４ｅを間に配置した例である。各センサの検出
信号はインタフェース回路４３へ送られ、電磁弁３８の
駆動によりピストン３１を移動、停止させる方法は前記
と同様である。ストロークの中途の検知位置が多けれ
ば、ストロークの変化速度、即ちピストン３１の移動速
度をきめ細かに検知でき、シリンダ制御はより高度化さ
れるが、経済性との兼ね合いで検知位置の数を決めるの
が妥当である。

【００３８】尚、前述のストロークの中途に複数の検知
位置があれば、所望するストロークの最大値に合わせ
て、スタート位置やエンド位置の磁気センサを前記中途
の設定済の複数の磁気センサの内から選び、ストローク
の最大値を簡便に変更できる利点もある。一方、スター
ト位置やエンド位置に高精度が要求されない用途にあっ
ては、スタート位置やエンド位置の何れか又は両方に磁
気センサを設けずに、シリンダ内に持つ機械的な停止機
能のみを利用しても構わない。即ち、ストロークの中途
でのピストンの移動速度のみを、本発明の方法で検出、
判断してもよく、用途に応じた本発明の適用が可能であ
る。

【００３９】図４には、図３Ａ）のように磁気センサを
配置して、ピストン３１の位置検知と磁気センサ間の移
動速度を求め、その速度の適否を判定する手順の一例を
示した。本例では、磁気センサ３４ｂ、３４ｃによるピ
ストン３１の位置の検知で、図２Ｂ）と同様の、検知の
時刻の繰り上げを繰り返しながら、ピストン３１の通過
の有無を検知し、通過時刻を認識する方法を使用してい
る。

【００４０】先ず、ピストン３１が磁気センサ３４ａの
位置（スタート位置）から３４ｂの位置（エンド位置）
へ移動する時間ｔの許容時間の範囲Ｔｍ≦ｔ≦ＴＭ及び
ピストン３１が磁気センサ３４ａの位置から磁気センサ
３４ｃの位置（所定位置）を通過するまでの時間ｔａｃ
の許容時間の範囲Ｔｃｍ≦ｔａｃ≦ＴｃＭをメモリに記
憶しておく。

【００４１】電磁弁をＯＮ（時刻０）にすると、僅かな
時間後にピストン３１の始動が検知され、スタート時刻
のｔａを認識する。磁気センサ３４ｃによりピストン３
１の通過を検知するのであるが、磁気センサ３４ｃで検
出される信号、即ち通過信号、の有無を繰り返しチェッ
クしてゆく。Ｔ１の時刻において、通過信号が検出され
てなければ、Ｔ１−ｔａを算出し、ＴｃＭと比較する。

【００４２】Ｔ１−ｔａ≧ＴｃＭであれば、ピストン３
１がスタート位置から所定位置へ移動する許容時間の範
囲を超えていることになり、アラーム信号を発生させ
る。このアラーム信号を基に、既述したようにシリンダ
やシリンダ駆動と係わりのある隣接の駆動装置のシーケ
ンス制御を停止する等の処理をすることが出来る。Ｔ１
−ｔａ≦ＴｃＭであれば、繰り上げた時刻Ｔ１＋１で、
再度通過信号の検出有無をチェックし、これを繰り返
し、ピストン３１が所定位置を通過する時刻ｔｃを認識
する。

【００４３】ピストン３１がスタート位置から所定位置
へ移動するに要した時間ｔａｃは、ｔａｃ＝ｔｃ−ｔａ
により求まる。ｔａｃと許容時間の範囲とを比較し、Ｔ
ｃｍ≦ｔａｃ≦ＴｃＭの条件を満足していなければ、ア
ラーム信号を発生する。

【００４４】Ｔｃｍ≦ｔａｃ≦ＴｃＭの条件を満足して
いれば、次にピストン３１のエンド位置への到達を検出
することになる。磁気センサ３４ｂで検出される信号、
即ちエンド信号、の有無を繰り返しチェックする。Ｔ２
の時刻において、エンド信号が検出されていなければ、
Ｔ２−ｔａを算出して、ＴＭと比較する。Ｔ２−ｔａ≧
ＴＭであれば、アラーム信号を発生する。

【００４５】Ｔ２−ｔａ≦ＴＭであれば、繰り上げた時
刻Ｔ１＋１で、再度エンド信号の検出有無をチェック
し、これを繰り返し、ピストン３１がエンド位置に達し
た時刻ｔｂを認識する。

【００４６】ピストン３１がスタート位置からエンド位
置へ到達するに要した時間ｔは、ｔ＝ｔｂ−ｔａにより
求まる。ピストン３１がスタート位置からエンド位置へ
到達するまでの許容時間の範囲とｔとを比較し、Ｔｍ≦
ｔ≦ＴＭの条件を満足していなければ、アラーム信号を
発生する。この条件を満足していれば、例えば、引き続
いて行なわれるべき装置の動作手順等が進められる。

【００４７】本実施例のように、スタート位置とエンド
位置の中途においても、ピストンのの移動速度が許容範
囲かどうかを判断し、シリンダ制御をするので、例えば
空気圧が定常状態になく、ピストンが暴走するのをエン
ド位置への到達以前に検知し、ピストンを停止する等の
処置がとれるので、装置のより安定な稼働が可能とな
る。

【００４８】図５Ｂ）は、スタート位置ａとエンド位置
ｂの中途の二つの所定位置ｃ、ｄでもピストンの位置、
即ちストローク、を検知する場合での、ピストンの軌跡
の例を示している。軌跡０は標準の軌跡、軌跡１はピス
トンの移動速度が早くて動作不良となる軌跡、軌跡２は
移動速度が遅いが許容範囲の軌跡を示す。スタート時刻
は、何れの軌跡でも同一のｔａ０の例を示した。

【００４９】先ず、所定位置ｃ、ｄでのピストンの移動
速度のみでの制御の適否を判定する場合につき説明す
る。ｃ、ｄ間のピストンの移動速度は、軌跡０ではｔｄ
０−ｔｃ０の標準値であり、軌跡１ではｔｄ１−ｔｃ
１、軌跡２ではｔｄ２−ｔｃ２となる。軌跡１のｔｄ１
−ｔｃ１は予め定めたｃ、ｄ間を移動する許容時間の範
囲に入らないことを判定して、アラーム信号を発生し、
ピストンを停止させたりする。軌跡２では、ｔｄ２−ｔ
ｃ２が許容時間の範囲内にあること判定し、エンド位置
ｂにピストンを停止させ、引き続く所定のプロセスが遂
行させる。

【００５０】次に、ａ、ｂ、ｃ、ｄのそれぞれの位置で
の時刻と各二点間を移動する時間を求めて、制御する例
を軌跡１、２につき説明する。軌跡１の例として、ｔ
ｃ１−ｔａ０はａ〜ｃ間移動の許容時間の範囲にあるこ
とが判定され、ピストンをそのまま進行させ、次に、
ｔｄ１−ｔｃ１はｃ〜ｄ間移動の許容時間の範囲外であ
ることが判定され、アラーム信号を発生し、アラーム
信号を基に、ピストンの停止等を行う。軌跡２の例とし
て、ｔｃ２−ｔａ０はａ〜ｃ間移動の許容時間の範囲
にあることが判定され、ｔｄ２−ｔｃ２はｃ〜ｄ間移
動の許容時間の範囲にあることが判定され、ｔｂ２−
ｔｄ２はｄ〜ｂ間移動の許容時間の範囲にあることが判
定され、ｂの位置にピストンは停止され、引き続く所
定のプロセスが遂行させる。ストロークのａ、ｂ、ｃ、
ｄの位置検知の場合にせよ、制御方法は上記例に限られ
ないことは言うまでもない。又、標準の軌跡０に、ａ、
ｂの近傍を除いて、一直線の例を示したが、複数直線の
組み合わせや曲線であっても構わない。

【００５１】ピストンが二点間を移動するに要した実測
時間を基に、移動路の残り部分を移動するピストンの移
動速度を補正する方法を、以下に説明する。図６は速度
補正する方法を説明するための、全体構成の原理ブロッ
ク図を、図７は速度補正する制御のフローチャートを、
図８は速度補正されたピストンの移動の軌跡例を示し、
又図９Ｂ）は実測時間と許容時間とを比較し、速度補正
やアラーム信号に基づく制御をする回路例のブロック図
を示した。

【００５２】図６のシリンダ３０の外側には、ピストン
３１の移動位置のａ点、ｂ点、ｃ点、ｄ点に対応させて
磁気センサ３４ａ、３４ｂ、３４ｃ、３４ｄが取り付け
られ、これら磁気センサによりピストン３１と一体化さ
れた磁石３２を検知し、ピストン３１の移動位置を検出
できる。磁気センサの出力は、インタフェース回路４３
で、ＭＰＵ４１で処理可能なデータ信号に変換される。

【００５３】メモリ４２には、ピストン３１が所定間隔
を移動する標準時間、許容時間の範囲、速度制御弁４４
ａ、４４ｂの調整係数等の予め定めたデータや制御手順
のプログラム等がＭＰＵ４１を介して記憶され、又読み
出される。

【００５４】ＭＰＵ４１からの制御指令やセンサの検出
データ等を基に、シーケンス制御回路４０が駆動され
る。シーケンス制御回路４０から電磁弁コントローラ３
９へは制御手順や速度調整等のための信号が送られ、電
磁弁コントローラ３９によって電磁弁３８と速度制御弁
４４ａ、４４ｂを制御する。圧気は、電磁弁３８、速度
制御弁４４ａを介して、配管３７ａからシリンダ３０の
左側へ流入され、ピストン３１を移動させる。配管３７
ｂからはシリンダ３０の右側から押し出された空気が電
磁弁３８、速度調整弁４４ｂを介して外気へ排出され
る。ピストン３１を反対方向へ移動させるには、電磁弁
コントローラ３９で電磁弁３８の流路を変えればよい。

【００５５】具体的な移動速度へのフィードバックの方
法を、図７のフローチャートに沿って説明する。本フロ
ーチャートでは、説明を簡潔にするため、ピストンのス
タート位置のａ点とエンド位置のｂ点の間の所定位置と
して、ｃ点のみを設けた例を示した。図６のように、複
数の所定位置を設ける場合は、下記のフィードバックの
方法を繰り返せばよい。

【００５６】メモリ４２には、ピストン３１がａ点から
ｂ点へ移動する時間ｔの許容時間の範囲Ｔｍ≦ｔ≦Ｔ
Ｍ、ａ点からｃ点へ移動する時間ｔａｃの許容時間の範
囲Ｔｃｍ≦ｔａｃ≦ＴｃＭ、ａ点からｃ点へ移動する時
間ｔａｃの標準時間Ｔｃを記憶しておく。

【００５７】ＭＰＵ４１からの指令で、シーケンス制御
回路４０が始動し、電磁弁コントローラ３９の駆動で電
磁弁３８がＯＮする（時刻０）。速度制御弁４４ａ、４
４ｂは標準的な状態に制御されている。時刻ｔａで、ピ
ストン３１は始動し、それはａ点の磁気センサ３４ａで
検知される。磁気センサ３４ｃの検知を基に、ピストン
３１のｃ点通過の有無をチェックし（時刻Ｔ１）、通過
してなければ、Ｔ１−ｔａを算出し、Ｔ１−ｔａがＴｃ
Ｍを超えているかを判定する。超えていれば、アラーム
信号を発生し、アラーム信号を基に前記同様の処理をす
る。超えていなければ、時刻Ｔ１＋１でのｃ点通過の有
無をチェックし、ＴｃＭを超えない間でチェックを繰り
返し、ピストン３１がｃ点を通過時刻ｔｃを認識する。

【００５８】ピストン３１がａ点からｃ点へ移動する時
間ｔａｃをｔａｃ＝ｔｃ−ｔａから算出する。ｔａｃが
Ｔｃｍ≦ｔａｃ≦ＴｃＭの条件を満たすかどうかの判定
をし、この範囲外であればアラーム信号を発生する。こ
の範囲内であれば、標準時間Ｔｃとｔａｃの差ΔＴｃ＝
Ｔｃ−ｔａｃを求める。このΔＴｃを基にして、次に述
べるように、速度制御弁４４ａ、ｂを調整し、ピストン
３１のｃ点からｂ点までの移動速度を補正して、シリン
ダ３０の制御性を高める。

【００５９】速度補正のための速度制御弁４４ａ、ｂの
調整量ΔＴｃ×αを算出し、電磁弁コントローラ３９に
より速度制御弁４４ａ、ｂの空気圧の流量を調整する。
αを決める因子は、ピストン３１のｃ点からｂ点への移
動速度の補正内容により異なるが、例えばａ点からｂ点
への移動時間を標準時間に合わせるか又はｃ点からｂ点
への移動移動時間を標準時間に合わせるか等（図８で詳
述する）、空気圧の圧力、流量、ａ点からｃ点とｃ点か
らｂ点との距離比（又は標準の移動時間比）等である。
これらの条件は予め、メモリ４２へ記憶するか、シーケ
ンス制御回路４０内に設定する等を行い、後述の図９
Ｂ）の速度制御弁調整量算出回路４８でΔＴｃ×αを算
出する。ΔＴｃ×αを基に、電磁弁コントローラ３９は
速度制御弁４４ａ、ｂの空気の流量を調整し、ピストン
３１の移動速度を適性な状態に補正する。ａ点とｂ点の
間に複数の所定位置を設けてあれば、ピストン３１の移
動に伴い、順次上記の制御をし、ピストン３１の移動速
度の制御の高度化が可能となる。

【００６０】次に、エンド位置のｂ点へのピストン３１
の到達をチェックする。磁気センサ３４ｂの検知を基
に、ｂ点到達の有無をチェックし、時刻Ｔ２でｂ点到達
が検知されていなければ、Ｔ２−ｔａを算出し、ＴＭを
超えているかを判定する。超えいれば、アラーム信号を
発生する。超えていなければ、時刻Ｔ２＋１でのｂ点到
達の有無をチェックし、ＴＭを超えない間でチェックを
繰り返し、ピストン３１のｂ点への通過時刻ｔｂを認識
する。ピストン３１がａ点からｃ点に達するまでの時間
ｔ＝ｔｂ−ｔａを算出し、ｔがＴｍ≦ｔ≦ＴＭの範囲に
あるかを判定し、この範囲外であればアラーム信号を発
生する。この範囲内であれば、引き続く工程が遂行させ
る。

【００６１】図９Ｂ）は、上記の速度制御に係わるより
具体的な説明をするための回路例のブロック図である。
比較回路４５で、時刻の差から求めた実測時間に対応さ
せ、その許容時間の範囲及び標準時間を実測時間と比較
する。実測時間と標準時間との差ΔＴｃを求め、速度制
御弁調整量算出回路４８でΔＴｃ×αを算出し、電磁弁
コントローラ３９内の速度制御弁４４の駆動部（図示せ
ず）を調整し、速度制御弁４４の空気圧の流量を適性に
補正する。これにより、ピストン３１の移動速度が補正
される。

【００６２】比較回路４５での実測時間と許容時間の範
囲との比較判定の結果はアラーム信号発生回路４６へ送
られる。実測時間が許容時間の範囲外であれば、アラー
ム信号発生回路４６の作動により、アラーム表示回路４
７を駆動させて異常の告知をしたり、電磁弁コントロー
ラ３９内の電磁弁３８の駆動部（図示せず）を、例えば
電磁弁３８の空気圧の流動の停止等をさせるように、制
御する。更に、アラーム信号発生回路４６からの信号
を、例えばＭＰＵ４１へ送り、シーケンス制御回路４０
の全体を停止させたり、シリンダ３０のストロークに係
わる他の制御を停止させる。

【００６３】以上の速度制御の結果としての、ピストン
３１の移動の軌跡、即ち、ストロークの変化の軌跡の例
を、図８で説明する。図８Ａ）の、軌跡０は標準の軌跡
を、軌跡１は、ａ点からｃ点までの移動の実測時間と標
準時間との差を基に、ｃ点からｂ点までの速度を補正
し、ａ点からｂ点までの移動の時間をその標準時間に合
わせるようにした例である。即ち、ａ点のスタート時刻
（ｔａ０）とｂ点のエンド時刻（ｔｂ０）は、軌跡０、
１ともに同一となるように、ｃ点からｂ点までの速度を
補正した例である（軌跡１の点線から実線に補正）。

【００６４】図８Ｂ）では、ａ点からｄ点までは軌跡１
は標準の軌跡０と同一軌跡であるが、空気圧の変動等の
何らかの原因により軌跡１と軌跡０とのずれが発生し、
そのずれをｅ点で検知し、ｅ点以降のピストン３１の移
動速度を標準の移動速度（軌跡０の勾配に相当する）に
なるように補正した例である。軌跡１は、補正がなけれ
ば、点線のようになる。補正した実線の軌跡１では、ａ
点からｂ点までの移動の実測時間ｔｂ１−ｔａ０は標準
時間ｔｂ０−ｔａ０より短いが、許容時間の範囲内に納
めるた例である。

【００６５】上述のように、シリンダ３０の制御の高度
化で、速度制御を加える場合も、本発明では、ピストン
３１の移動速度、即ちストロークの変化速度、を時刻の
差として扱い、標準時間と実測時間との比較により速度
を判断する、簡便な方法である。

【００６６】このシリンダの制御方法は、プレス機械、
各種搬送装置、回路基板搭載機、ロボット等でのシリン
ダ制御に適用できるものであり、ウエハや光学部品の搬
送、位置決め等で高精度の機構部等の駆動が要求される
半導体製造装置において、本発明の利用価値は特に顕著
なものとなる。

【００６７】

【発明の効果】請求項１、２は、シリンダの制御性を簡
易に高め、小型化、高信頼化に寄与できる。

【００６８】請求項３乃至７及び請求項９は、制御の精
度を簡易に更に高める。請求項８、１０は、上記効果に
加えて、制御を安定化させる。請求項１１、１２は、上
記効果に加えて、制御の効率をも高める。

【００６９】請求項１３は、シリンダの制御性をより簡
便に高める。請求項１４は、半導体製造における不良率
の低減と同装置の稼働率の向上を簡易に実現させる。

【図面の簡単な説明】

【図１】シリンダ制御の実施例の原理を示すブロック
図。

【図２】ピストンを移動路の二点で検知する制御例のフ
ローチャート。

【図３】シリンダに設けるセンサの配置の例を示す図。

【図４】ピストンを移動路の３点で検知する制御例のフ
ローチャート。

【図５】時刻を関数にしたストロークの軌跡の例
を示す図。

【図６】ピストンの速度制御を行う実施例の原理を示す
ブロック図。

【図７】ピストンの速度制御を行う例のフローチャー
ト。

【図８】速度制御を行ったストロークの軌跡の例を示す
図。

【図９】時間の比較とその結果を処理する回路例のブロ
ック図。

【図１０】従来例のシリンダを用いた装置と速度検出に
係わる部分を示す図。

【符号の説明】

１支持枠２Ｙガイド３Ｙステージ４Ｘガイド５Ｘステージ６ウエハチャッ
ク７Ｘ電動シリンダ８Ｙ電動シリン
ダ９モータ１０ボールねじ１１ａ〜ｂリミットセンサ１１ｃ原点セン
サ１２シリンダシャフト１３バランスベ
ルト１４揺動アーム１５ピボット１６ａ〜ｂリミットセンサ１７バランスシ
リンダ１８ａ上面１８ｂ下面１９ａ〜ｂ距離センサ２０レーザ光２１ミラー３０シリンダ３１ピストン３２磁石３３ロッド３４ａ〜ｅ磁気センサ３５ａ〜ｂ光学
センサ３６ａ〜ｂ光学センサ３７ａ〜ｂ配管３８電磁弁３９電磁弁コン
トローラ４０シーケンス制御回路４１ＭＰＵ４２メモリ４３インタフェ
ース回路４４ａ〜ｂ速度制御弁４５比較回路４６アラーム信号発生回路４７アラーム表
示回路４８速度制御弁調整量算出回路

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】シリンダのストロークを制御する方法であ
って、ストロークのスタート位置を検知する第一の工程と、ストロークのエンド位置を検知する第二の工程と、ストロークのスタート時刻とエンド時刻を認識し、該ス
タート時刻と該エンド時刻の差から、ストロークが該ス
タート位置から該エンド位置に達するまでの第一の時間
を求める工程と、ストロークが該スタート位置から該エンド位置に達する
までの許容時間の範囲を予め定め、該許容時間の範囲を
記憶する工程とを含み、該第一の時間と該許容時間の範囲とを比較し、該第一の
時間が該許容時間の範囲外であるときにアラーム信号を
発生することを特徴とするシリンダ制御方法。
【請求項２】該第一の工程の検知の信号に基づき該スタ
ート時刻を認識し、該第二の工程の検知の信号に基づい
て該エンド時刻を認識することを特徴とする請求項１記
載のシリンダ制御方法。
【請求項３】シリンダのストロークを制御する方法であ
って、ストロークのスタート位置を検知する第一の工程と、ストロークのエンド位置を検知する第二の工程と、ストロークの中途の所定位置を検知する第三の工程と、該第一と第二のそれぞれの工程の検知の信号に基づき、
ストロークのスタート時刻とエンド時刻を認識し、該ス
タート時刻と該エンド時刻との差から、ストロークが該
スタート位置から該エンド位置に達するまでの第一の時
間を求める工程と、該第三の工程の検知の信号に基づき、ストロークの該所
定位置の通過時刻を認識し、該通過時刻と該スタート時
刻との差から、ストロークの該スタート位置から該所定
位置を通過するまでの第二の時間を求める工程と、ストロークの該スタート位置から該エンド位置に達する
までの第一の許容時間の範囲を予め定め、該第一の許容
時間の範囲を記憶する工程と、ストロークの該スタート位置から該所定位置を通過する
までの第二の許容時間の範囲を予め定め、該第二の許容
時間の範囲を記憶する工程とを含み、該第一の時間と該第一の許容時間の範囲とを比較し、該
第一の時間が該第一の許容時間の範囲外であるときに第
一のアラーム信号を発生し、該第二の時間と該第二の許
容時間の範囲とを比較し、該第二の時間が該第二の許容
時間の範囲外であるときに第二のアラーム信号を発生す
ることを特徴とするシリンダ制御方法。
【請求項４】シリンダのストロークを制御する方法であ
って、ストロークのスタート位置を検知する第一の工程と、ストロークのエンド位置を検知する第二の工程と、ストロークの中途の所定位置を検知する第三の工程と、該第一と第二のそれぞれの工程の検知の信号に基づき、
ストロークのスタート時刻とエンド時刻を認識し、該ス
タート時刻と該エンド時刻との差から、ストロークの該
スタート位置から該エンド位置に達するまでの第一の時
間を求める工程と、該第三の工程の検知の信号に基づき、ストロークの該所
定位置の通過時刻を認識し、該通過時刻と該エンド時刻
との差から、ストロークの該所定位置から該エンド位置
に達するまでの第二の時間を求める工程と、ストロークの該スタート位置から該エンド位置に達する
までの第一の許容時間の範囲を予め定め、該第一の許容
時間の範囲を記憶する工程と、ストロークの該所定位置から該エンド位置に達するまで
の第二の許容時間の範囲を予め定め、該第二の許容時間
の範囲を記憶する工程とを含み、該第一の時間と該第一の許容時間の範囲とを比較し、該
第一の時間が該第一の許容時間の範囲外であるときに第
一のアラーム信号を発生し、該第二の時間と該第二の許
容時間の範囲とを比較し、該第二の時間が該第二の許容
時間の範囲外であるときに第二のアラーム信号を発生す
ることを特徴とするシリンダ制御方法。
【請求項５】シリンダのストロークを制御する方法であ
って、ストロークのスタート位置を検知する第一の工程と、ストロークのエンド位置を検知する第二の工程と、ストロークの中途の所定位置を検知する第三の工程と、該第一と第二のそれぞれの工程の検知の信号に基づき、
ストロークのスタート時刻とエンド時刻を認識し、該第
三の工程の検知の信号に基づき、ストロークの該所定位
置の通過時刻を認識し、該スタート時刻と該通過時刻と
の差からストロークの該スタート位置から該所定位置を
通過するまでの第一の時間を求め、該通過時刻と該エン
ド時刻との差からストロークの該所定位置から該エンド
位置に達するまでの第二の時間を求める工程と、ストロークの該スタート位置から該所定位置を通過する
までの第一の許容時間の範囲と、ストロークの該所定位
置から該エンド位置に達するまでの第二の許容時間の範
囲とを予め定め、該第一の許容時間の範囲と該第二の許
容時間の範囲とを記憶する工程とを含み、該第一の時間と該第一の許容時間の範囲とを比較し、該
第一の時間が該第一の許容時間の範囲外であるときに第
一のアラーム信号を発生し、該第二の時間と該第二の許
容時間の範囲とを比較し、該第二の時間が該第二の許容
時間の範囲外であるときに第二のアラーム信号を発生す
ることを特徴とするシリンダ制御方法。
【請求項６】シリンダのストロークを制御する方法であ
って、ストロークのスタート位置を検知する第一の工程と、ストロークのエンド位置を検知する第二の工程と、ストロークの中途の所定位置を検知する第三の工程と、該第一と第二のそれぞれの工程の検知の信号に基づき、
ストロークのスタート時刻とエンド時刻を認識し、該ス
タート時刻と該エンド時刻との差から、ストロークが該
スタート位置から該エンド位置に達するまでの第一の時
間を求める工程と、該第三の工程の検知の信号に基づき、ストロークの該所
定位置の通過時刻を認識し、該スタート時刻と該通過時
刻との差からストロークの該スタート位置から該所定位
置を通過するまでの第二の時間を求め、該通過時刻と該
エンド時刻との差からストロークの該所定位置から該エ
ンド位置に達するまでの第三の時間を求める工程と、該第二の時間と第三の時間との時間差を求める工程と、ストロークの該スタート位置から該エンド位置へ達する
までの許容時間の範囲を予め定め、該許容時間の範囲を
記憶する工程と、該時間差の時間差許容範囲を予め定め、該時間差許容範
囲を記憶する工程とを含み、該第一の時間と該許容時間の範囲とを比較し、該第一の
時間が該許容時間の範囲外であるときに第一のアラーム
信号を発生し、該時間差と該時間差許容範囲とを比較
し、該時間差が該時間差許容範囲外であるときに第二の
アラーム信号を発生することを特徴とするシリンダ制御
方法。
【請求項７】該所定位置を該スタート位置と該エンド位
置の中央に設定し、該時間差と該時間差許容範囲とを比
較することを特徴とする請求項６記載のシリンダ制御方
法。
【請求項８】該スタート時刻と該通過時刻との差から求
めた時間と、ストロークの該スタート位置から該所定位
置を通過するまでの許容時間の範囲との差異を基に、ス
トロークの該所定位置から該エンド位置へ変化する速度
を制御することを特徴とする請求項３、５、６又は７記
載のシリンダ制御方法。
【請求項９】シリンダのストロークを制御する方法であ
って、ストロークのスタート位置を検知する第一の工程と、ストロークのエンド位置を検知する第二の工程と、ストロークの中途の複数の所定位置を検知する第三の工
程と、該第三の工程の検知の信号に基づき、ストロークの該所
定位置の通過時刻を認識し、複数の該所定位置から選ば
れた二つの所定位置で認識されたそれぞれの時刻の差か
ら、該二つの所定位置間でのストロークの変化の時間を
求める工程と、該二つの所定位置間でのストロークの変化の許容時間の
範囲を予め定め、該許容時間の範囲を記憶する工程とを
含み、該時間と該許容時間の範囲とを比較し、該時間が該許容
時間の範囲外であるときにアラーム信号を発生すること
を特徴とするシリンダ制御方法。
【請求項１０】ストロークの該二つの所定位置間を通過
した以降では、該時間と該許容時間の範囲との差異を基
に、該ストロークの変化する速度を制御することを特徴
とする請求項９記載のシリンダ制御方法。
【請求項１１】請求項１乃至１０記載の該スタート位置
又は該エンド位置又は該所定位置から選ばれた第一の位
置と第二の位置であって、ストロークの該第一の位置か
ら該第二の位置に達するまでの許容時間の範囲が予め定
められ、ストロークの該第一の位置で認識された時刻か
ら該許容時間の範囲を経過した時刻までに、トロークの
該第二の位置での検知がなされないときにアラーム信号
を発生することを特徴とするシリンダ制御方法。
【請求項１２】請求項３乃至１１記載のシリンダ制御方
法において、最初に発生した該アラーム信号に基き、シ
リンダのストロークを停止又はストロークの方向を反転
させるための信号を発生することを特徴とするシリンダ
制御方法。
【請求項１３】シリンダのストロークを制御する方法で
あって、ストロークの第一の位置を検知する第一の工程と、ストロークの第二の位置を検知する第二の工程と、該第一の工程の検知の信号に基づき第一の時刻を認識
し、該第二の工程の検知に基づいて第二の時刻を認識
し、該第一の時刻と該第二の時刻との差からストローク
が該第一の位置から該第二の位置に達する時間を求める
工程と、ストロークが該第一の位置から該第二の位置に達するま
での許容時間の範囲を予め定め、該許容時間の範囲を記
憶する工程とを含み、該時間と該許容時間の範囲とを比較し、該時間が該許容
時間の範囲外であるときにアラーム信号を発生すること
を特徴とするシリンダ制御方法。
【請求項１４】半導体装置の製造に係わる物体を移動さ
せるためのシリンダを備えた半導体製造装置の制御に係
わり、該シリンダのストロークを請求項１乃至１３記載
のシリンダ制御方法により制御することを特徴とする半
導体製造装置の制御方法。