JPH1151813A - スクリュウ圧縮機のロータ検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ロータの検査に時間がかからず、測定精度は高
く、各検査に共通した測定器を使用でき、一貫した評価
のできるスクリュウ圧縮機のロータ検査方法を提供す
る。 【解決手段】タイミングギヤによって微小間隙を保持し
ながら回転するスクリュウ圧縮機の雄雌各ロータを検査
する。少なくとも前記一方のタイミングギヤが無い状態
で一方のロータにブレーキを掛けながら他方のロータを
正逆各方向に回転させ、その回転中に測定した雄雌両ロ
ータの回転位相差を用いて両ロータ間の微小間隙を計測
するものであって、コーティング膜を設けていない雄お
よび雌の両マスターロータ間の微小間隙計測データと前
記雄のマスターロータおよびコーティング膜を設けてい
ない雌のロータ間の微小間隙計測データと前記雌のマス
ターロータおよびコーティング膜を設けていない雄のロ
ータ間の微小間隙計測データと前記雄および雌の両ロー
タ間の微小間隙計測データをそれぞれ計測し、各計測デ
ータを同一計測データ上に表示して前記雄ロータおよび
雌ロータの加工状況を得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ケーシング内でタ
イミングギヤによって微小間隙を保持しながら回転する
無給油式のスクリュウ圧縮機（またはLysholm圧縮機と
も呼ばれる）における雄および雌の各ロータを検査する
方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、スクリュウ圧縮機の組立工程に先
だって、雄雌の各ロータ単体の品質管理のために、コー
ティング膜を設けていないロータ（以下、ベアロータと
略記。）の機械加工検査とコーテイング膜を設けたロー
タ（以下、カバードロータと略記。）における当該コー
テイング膜の厚さ検査を行って、組立が行われる。

【０００３】ベアロータ機械加工検査について説明す
る。ベアロータの機械加工では、歯形形状がスクリュウ
形状と特殊であるものを高精度に削り出すことが要求さ
れている。そのために加工機として専用の加工機を用い
るが、その加工精度（設計値との差）を検査する必要が
ある。検査項目としてはリード曲がり，歯厚，断面形状
等であるが、歯形形状が３次元の多曲面で形成されるた
め、従来は、３次元測定器を用いて１点ずつワーク（ロ
ータ）の回転と３次元測定器の測定子を移動させて多数
点の測定点のデータを取り、その測定値とマスターロー
タの値との比較により誤差を得て、加工精度の判定や合
否判定を行っていた。測定により得られた結果は、加工
機にフィードバックして設定値の変更にも用いている。

【０００４】次ぎにコーティング膜の厚さ検査について
説明する。コーティングはベアロータの磨耗防止，シー
ル性向上，耐腐食性を持たせるための処理で、機械加工
検査後のベアロータにコーティング膜の密着性を向上さ
せるための表面処理し、コーティング装置に取り付けて
スプレーノズルを歯形に対して位置決めし塗料を吹き付
けて行う。

【０００５】コーティング膜の厚さ検査として膜厚計を
用いて多点測定を行っていた。膜厚計は測定子をコーテ
ィング面に垂直に押し付けて膜厚を計測するものであ
り、作業者が１点ずつ押し当てて測定していた。測定デ
ータは測定位置との対応を取りながら記録し、膜厚の絶
対値（平均値），ばらつき（偏り）等を求めて、コーテ
ィング装置にフィードバックして設定値を変更したり、
コーティング膜厚分布の合否判定に用いている。

【０００６】前記の後に行なわれるケーシングへの最終
組立工程では、特開平１−１５５０８９号公報に記載の
ように、少なくとも一方のタイミングギヤの無い状態
で、いずれか一方のカバードロータにブレーキを掛けな
がら他方のカバードロータを正逆方向に回転させ、その
回転中にエンコーダなどで測定した雄雌各カバードロー
タの回転角差（回転位相差）を用いて両カバードロータ
間の微少間隙を設定（タイミング調整あるいは振り分け
調整とも云う）している。この微少間隙の設定では、一
方のタイミングギヤを拘束しながら他方のタイミングギ
ヤと当該タイミングギヤが固定されているカバードロー
タとの間に圧油を印加して両者間の締まり嵌めを緩め、
該他方のタイミングギヤの歯面をハンマで叩くことによ
って他方のタイミングギヤと当該タイミングギヤが固定
されているカバードロータとの間で相対的な位置ずれを
生じさせて、シム（厚さゲージ）を両カバードロータ間
に挿入して両カバードロータ間の微少間隙が所望なもの
（値）になっているかどうかを確認（シム計測）し、ハ
ンマ叩きとシム計測を繰り返して両カバードロータの微
少間隙を所望なもの（値）にしていくことが行われてい
た。

【０００７】また、前記組立工程の前に、雄雌各カバー
ドロータ単体のかみ合い検査が行われる。かみ合い検査
では、両カバードロータを規定の軸間距離や軸方向に両
カバードロータを組み合わせ（位置決めし）、両カバー
ドロータ間のかみ合い位置に１点ごとに手作業でシムを
挿入し、微少間隙（バックラッシュ）を計測することで
最終的な判定を行う。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】前記した従来のベアロ
ータ機械加工検査検査は３次元測定器を用い自動化され
ているが時間がかかり、また、従来のコーティング膜の
厚さ検査やかみ合い検査は手作業のため時間と手間がか
かり測定値の精度にも問題がある。

【０００９】さらに、各検査に用いる測定器も別々であ
り、各検査が単独に行われるため、検査結果を次の工程
に生かすことが難しく、一貫した評価が困難であった。

【００１０】それゆえ、本発明の目的は、時間がかから
ず、測定精度は高く、各検査に共通した測定器を使用で
き、一貫した評価をすることができるスクリュウ圧縮機
のロータ検査方法を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成する本発
明の特徴とするところは、タイミングギヤによって微小
間隙を保持しながら回転するスクリュウ圧縮機における
雄および雌の各ロータを検査する方法において、少なく
とも前記一方のタイミングギヤが無い状態で一方のロー
タにブレーキを掛けながら他方のロータを正逆各方向に
回転させ、その回転中に測定した雄雌両ロータの回転角
差を用いて両ロータ間の微小間隙を計測するものであっ
て、コーティング膜を設けていない雄および雌の両マス
ターロータ間の微小間隙計測データと、前記雄のマスタ
ーロータおよびコーティング膜を設けていない雌のロー
タ間の微小間隙計測データと、前記雌のマスターロータ
およびコーティング膜を設けていない雄のロータ間の微
小間隙計測データと、前記雄および雌の両ロータ間の微
小間隙計測データとをそれぞれ計測し、各計測データを
同一計測データ上に表示して前記雄ロータおよび雌ロー
タの加工状況を得ることにある。

【００１２】また、前記目的を達成する本発明の特徴と
するところは、コーティング膜を設けていない雄および
雌の両マスターロータ間の微小間隙計測データと前記雄
のマスターロータおよびコーティング膜を設けた雌のロ
ータ間の微小間隙計測データと前記雌のマスターロータ
およびコーティング膜を設けた雄のロータ間の微小間隙
計測データと前記雄および雌の両ロータ間の微小間隙計
測データをそれぞれ計測し、各計測データを同一計測デ
ータ上に表示して前記雄および雌の各ロータの加工状況
を得ることにある。

【００１３】さらに、前記目的を達成する本発明の特徴
とするところは、正逆各方向に回転させられる前記他方
のマスターロータ、コーティング膜を設けていないロー
タおよびコーティング膜を設けたロータに少なくとも２
回異なる値のトルクを掛けて微小間隙をそれぞれ計測
し、それらのデータから外挿法でトルク値が無い場合の
微小間隙を演算して求めることにある。

【００１４】さらにまた、前記目的を達成する本発明の
特徴とするところは、前記雄および雌の各マスターロー
タの軸方向長さはコーティング膜を設けていない雌およ
び雄の各ロータまたはコーティング膜を設けた雌および
雄の各ロータのリード長さをそれらの歯数で除した値で
あることを特徴とする。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明検査方法を図面に示
す一実施形態に基づいて説明する。図１は、本発明検査
方法の一実施形態におけるスクリュウロータかみ合い試
験のロータ間微小間隙計測状況及び計測システム構成を
示している。

【００１６】尚、以下の説明において、マスターロー
タ，コーティング膜を設けていないベアロータおよびコ
ーティング膜を設けたカバードロータなどを雌雄のもの
について各種組合せるが、特定の組合せを取る場合には
それらを明記し、特定の組合せを取らない一般的な説明
の場合には説明の簡略化を図るため単にロータと記載す
る。

【００１７】図１において、雄ロータ１と雌ロータ２は
先端が円錐状のロータ支持器１１〜１４により軸間なら
びに軸方向の規定位置に位置決めと固定が行われる。各
ロータ支持器１１〜１４は軸受１５〜１８とハウジング
１９，２０にてラジアル方向，スラスト方向が支持され
ている。ロータ間微小間隙計測においては、ロータ１と
ロータ２の種類は替えるが、雄雌の位置関係は変えな
い。雄ロータ１の回転をエンコーダ３、雌ロータ２の回
転をエンコーダ４でパルスの形で計測する。

【００１８】エンコーダ３，４の検出パルスはインター
ポレータ（分割器）２１，２２で分割し、カウンタボー
ドが入っているバスシステム２３を介してパソコン２４
に伝送し、パソコン内のメモリ（ＲＡＭ）にデータを記
憶するとともに、パソコン内のメモリ（ＲＯＭ）に格納
され図２以下で説明する処理手順を実行するプログラム
にもとづきパソコン内のＣＰＵで雄雌各ロータ１，２の
回転角計測値θＭ，θＦとして処理する。２つの回転角
計測値θＭ，θＦは、雄ロータの回転角を基準として回
転角差Δθ（＝θＦーθＭ）としてＣＰＵで演算する。

【００１９】ロータの回転の計測時は、サーボモータ５
を回転させて、その駆動力をプーリ７，ベルト９に伝達
させ雄ロータ１を回転させる。この時、雄雌両ロータ
１，２同士を確実に当てるためにトルクモータ６に適当
なトルクを発生させ、プーリ８，ベルト１０を介して雌
ロータ２に伝達させる。サーボモータ５とトルクモータ
６の制御は、パソコン２４からの指令に基づいてモータ
ドライバ２５，２６で行われる。

【００２０】次に、スクリュウ圧縮機のロータの加工、
検査方法の手順を図２以下で説明する。まず、図２は、
ロータの加工、検査方法の全体の流れを説明するフロー
チャートである。予め雌雄のマスターローターを検査し
（３２）、前進面、後進面のデータを求める。この処理
の詳細は図３に示し、結果として図６の曲線Ａ，Ｂを得
る。

【００２１】次に、ローターを加工し（３４）、加工ロ
ーターの加工精度を検査する（３６）。この処理の詳細
も図３に示し、結果として図６のＣ〜Ｆの曲線を得る。

【００２２】次に、ローターにコーティングを行い（３
８）、コーティング膜厚精度を求める（４０）。この処
理の詳細を図４に示し、結果として図６のＨ〜Ｋ曲線を
得る。さらに、最終組立てを行い（４２）、両ロータ
１，２間の微小間隙計測を行う（４４）。以上の処理を
各ローターの加工について繰り返す。

【００２３】データの処理としては、ローターの加工精
度の検査（３６）の時は、ロータの加工精度が前工程の
ロータ加工で出ているか（基準値をクリアしているか）
の判定に用いる。加工精度は、おす・めすロータの前進
面・後進面の４点（図６のＣ〜Ｆ曲線）と（ＡＢ曲線）
との差で求める。

【００２４】 おすロータの加工精度 （前進面)…(Ｃ−Ａ) (誤差) (後進面)…(Ｄ−Ｂ) めすロータの加工精度 （前進面)…(Ｅ−Ａ) (誤差) (後進面)…(Ｆ−Ｂ) おす・めす組み合わせ （前進面)…(Ｃ−Ａ)＋(Ｅ−Ａ)＝(Ｔ−Ａ) (誤差) (後進面)…(Ｄ−Ｂ)＋(Ｆ−Ｂ)＝(Ｓ−Ｂ) 〜の値が基準値以下である事を検査する。

【００２５】上記データは、ローターコーティング厚さ
の設定値の変更に用いることもできる。すなわち、設計
値膜厚に加工誤差分を引いた値を目標値とすれば良い。

【００２６】次に、両ロータ１，２間の微小間隙計測
（図２のステップ４４）について、説明する。微小間隙
計測は、雄ロータ１を連続的に正回転させその後に逆方
向に回転させ一定サンプリング毎に各ロータ１，２の回
転角θＭ，θＦの計測値を取り込んで行う。図５で、
（ａ）は両ロータ１，２を正回転ＣＷ、（ｂ）は逆回転
ＣＣＷさせる場合の各ロータ１，２の回転方向とトルク
モータ６によって雌ロータ２に掛けられるトルクの方向
を示す。

【００２７】トルク付加状態で得られた計測値は、各ロ
ータ１，２に歪が生じているために計測精度が低下して
いるため、以下に述べるようなコンタクト補正を行う必
要がある。 即ち、サ−ボモータ５の回転を停止させた
状態でトルクモータ６でトルク値を替えて雌ロータ２を
回転させ、それぞれトルク値の時の回転角差Δθ（＝θ
Ｆ−θＭ）を得る。図７に示すように、正方向あるいは
逆方向のトルクを最低２点かけ，その時の回転角差Δθ
を求め，外捜法にてトルク０（歪の無い状態）の時の回
転角差Δθの補正値が得られる。図７のａ、ｂの回転角
差の間隔がロータ間微小間隙を示している。従って、前
進面の回転角差Δθnの補正値＝は、Δθn−ａ、後進面
の回転角差Δθrの補正値＝は、Δθr−ｂとなる。

【００２８】次に、上記マスターローターの検査（３
２）及びローターの加工精度の検査（３６）の手順の詳
細を図３で説明する。まず、マスターローターの検査で
は、設計図通りに作成された雄マスターロータ(Ｍm)１
と雌マスターロータ(Ｆm)２の組み合わせで正回転時
(n)、逆回転時(r)のそれぞれの回転角θＭ，θＦ（θＭ
mn，θＭmr,θＦmn,θＦmr）の計測値を取り込み（３２
２）、コンタクト補正を行った後（３２４）、回転角差
Δθを得る（３２６）。コンタクト補正は、コンタクト
計測と、補正値算出も基本的には１回で良い。ただし、
補正は全データについて行う（計測中でも後でも良
い）。

【００２９】図６に各種組み合わせによるコンタクト補
正法後のロータ間微小間隙計測データを示した。図６
は、雄ロータ１回転角に対する雌ロータ２との回転角差
Δθを示しており、雄ロータ１の回転角を３６０°×雌
ロータ歯数にすることで全かみ合いの計測ができる。図
６（ａ）で曲線Ａは正回転時のもの、曲線Ｂは逆回転時
のものであり、従って、両曲線Ａ，Ｂの間隔Ｇ０を距離
に換算することで雄マスターロータ１と雌マスターロー
タ２間の微小間隙を得ることができる。

【００３０】なお、曲線Ａ，Ｂを含め、以後説明する各
曲線は各ロータの加工精度で回転角差Δθが波を打って
いるが、簡略化のため図６には各曲線を直線で示した。
因みにマスターロータは基準となるものであるから高精
度に加工され、曲線Ａ，Ｂは殆ど平坦であるが、ベアロ
ータやカバードロータは任意の精度で加工されるため
に、それらの曲線はマスターロータの曲線Ａ，Ｂよりも
波を打つ。

【００３１】さて、曲線Ａ，Ｂはマスターロータによっ
て得られたデータであるので、ベアロータやカバードロ
ータの真の値（目標値）として以下で得られる計測値の
判定に用いるべく、パソコン２４のＲＡＭに記憶させて
おく（図３の３２８）。

【００３２】次ぎに、ベアロータ機械加工精度判定のた
めの計測を行う。雄ロータ１としてベアロータ（Ｍb）
を用い、雌ロータ２はマスターロータ(Ｆm)の組み合わ
せで正逆それぞれの回転角θＭ，θＦの計測値（θＭb
n，θＭbr,θＦmn,θＦmr）を取り込み（図３の３６
１）。この組み合わせでの回転角差Δθを得る（３６
３）。曲線Ａ，Ｂの場合と同様にして雄のベアロータ１
を正回転ならびに逆回転させ、雌マスターロータ２の連
れ廻りをして計測データを得て、パソコン２４のメモリ
に記憶させておく（３６５）。図６（ａ）に曲線Ａ，Ｂ
と合せて曲線Ｃ，Ｄとして同一データ上で表示する。

【００３３】次に、雄マスターロータ１と雌ベアロータ
２の組み合わせで正逆それぞれの回転角θＭ，θＦの計
測値（θＭmn，θＭmr,θＦbn,θＦbr）を取り込み（３
６６）、この組み合わせとした時の回転角差Δθを求め
（３６８）、その結果をパソコン２４のメモリに記憶さ
せておく（３６９）。

【００３４】次に、ロータ間微小間隙計測データに基づ
いて加工誤差を算出し、結果として図６のＨ〜Ｋ曲線を
得る（３７０）。

【００３５】図６において、曲線Ｃと曲線Ａの差および
曲線Ｄと曲線Ｂの差は、雄ベアローターの加工誤差を表
している。曲線Ｃの値が曲線Ａの値より小さいので、雄
ベアロータ１の前進面は削り過ぎである。また、曲線Ｄ
の値が曲線Ｂの値より小さいので、雄ベアロータ１の後
進面も削り過ぎである。

【００３６】図６（ｂ）の曲線Ｅ，Ｆは、雄マスターロ
ータ１と雌ベアロータ２の組み合わせとした時の回転角
差Δθを示している。曲線Ａ，Ｂと較べて分かるよう
に、雌ベアロータ２にも加工誤差があり、前進面は削り
過ぎであるが、後進面は曲線Ｆの値が曲線Ｂの値より小
さくて削り不足であることを示している。

【００３７】図６（ｃ）は、マスターロータ１，２同士
の曲線Ａ，Ｂを基準として、曲線Ｃと曲線Ｅ，曲線Ｄと
曲線Ｆとを雄ロータの回転角θＭの各位置で加工誤差を
ベクトル的に加算して前進面や後進面での総合加工誤差
として曲線Ｓ，Ｔで示したものである。

【００３８】これらの加工誤差はパソコン２４のメモリ
に記憶させておき（３７１）、ベアロータ１，２の加工
機にフィードバックさせて、加工精度の向上を図る。

【００３９】次ぎに、ベアロータ１，２にコーティング
処理を施した雄雌カバードロータ１，２のコーティング
処理状況、即ち、コーティング膜厚の計測（図２のステ
ップ４０）の詳細について図４で説明する。

【００４０】雄のカバードロータ１を検討するものであ
るため、雌ロータ２としてマスターロータＦmを用い、
雄ロータ１としてカバードロータＭcの組み合わせで正
逆それぞれの回転角θＭ，θＦの計測値（θＭcn，θＭ
cr,θＦmn,θＦmr）を取り込み（図４の４０１）。この
組み合わせでの回転角差Δθを得て（４０３）、記憶保
持する（４０４）。図６（ａ）の曲線Ｈが、カバードロ
ータ１を正回転させた時の前進面での回転角差Δθ、曲
線Ｉがカバードロータ１を逆回転させた時の後進面での
回転角差Δθの計測データである。曲線Ｃと曲線Ｈ間相
当の距離が前進面におけるコーティング膜厚であり、曲
線Ｄと曲線Ｉ間相当の距離が後進面におけるコーティン
グ膜厚である。

【００４１】次に、雄ロータ１をマスターロータとし雌
ロータ２をカバードロータとして回転角差Δθを得て雌
カバードロータ２のコーティング膜厚を得るために、雄
マスターロータ１と雌カバードロータ２の組み合わせで
正逆それぞれの回転角θＭ，θＦの計測値（θＭmn，θ
Ｍmr,θＦcn,θＦcr）を取り込み（４０５）、この組み
合わせとした時の回転角差Δθを求め（４０７）、その
結果をパソコン２４のメモリに記憶させておく（４０
８）。図６（ｂ）に示すように、この時の回転角差Δθ
の曲線Ｊ，Ｋを雌のベアロータ２を用いた時の計測デー
タ（曲線Ｅ，Ｆ）と重ねて表示する。曲線Ｅと曲線Ｊ，
曲線Ｆと曲線Ｋの間隔相当の距離がそれぞれ雌カバード
ロータ２の前進面と後進面におけるコーティング膜厚で
ある。

【００４２】次に、ロータ間微小間隙計測データに基づ
いて加工誤差を算出し、結果として図６のＸ，Ｙ曲線を
得る（４０９）。

【００４３】図６（ｃ）の曲線Ｘ，Ｙは、マスターロー
タ１，２同士の曲線Ａ，Ｂを基準として、同様な演算と
表示によりコーティング膜の前進面や後進面での膜厚を
示したものである。曲線Ｘ，Ｙの間隔Ｇ１相当の距離
は、カバードロータ１，２同士の微小間隙、即ち、雄雌
両ロータ１，２のコーティング膜表面間の微小間隙にな
っている。図６（ｃ）の曲線Ｘ，Ｙは、前記のように図
６（ａ）と図６（ｂ）に示した計測データを合成して得
たものであるが、雄雌の両カバードロータ１，２を組み
合わせて回転角差Δθを得ても曲線Ｘ，Ｙの間隔Ｇ１に
なる。

【００４４】従って雄雌の両カバードロータ１，２の組
み合わせによる計測を行うことなく、カバードロータ
１，２同士の微小間隙やコーティング膜厚を得ることが
できる。目標のコーティング膜厚は設計上分かっている
データであるから、簡単にコーティング処理状況の判定
をすることができる。

【００４５】図６（ｃ）の曲線Ｓ，Ｔは、ベアロータ
１，２の地肌面（金属表面）位置を示している。コーテ
ィング膜は経時的に摩耗してゆくものであるから、スク
リュウロータの地肌面（金属表面）を見つけて、最終組
立時のカバードロータ１，２同士微小間隙の調整におい
て地肌面同士の間隔設定することにより、スクリュウ圧
縮機の信頼性および耐久性を向上できる。

【００４６】以上述べてきた検査方法は、雄雌ロータの
かみ合い（組み合わせ）において最小の隙間を考えた場
合であるが、以下にロータの全歯面にわたる計測を行な
う他の実施形態について説明する。

【００４７】スクリュウ圧縮機を長時間にわたり継続使
用すると、温度上昇が起こる。流体を圧縮するものであ
ることにおいて、流体の吸込口と吐出口で温度差が出
て、スクリュウロータの吸込側と吐出側では熱膨張量に
差が表われ、設定する微小間隙が変化してしまう。そこ
で、圧縮熱によるスクリュウロータの膨張を予測して運
転中に最適なすきまを確保するためのテーパ加工を施す
ものがある。

【００４８】回転角差Δθは両ロータ１，２を接触させ
て得ているから、テーパ加工を施した雄雌両ロータ１，
２を、図１のように軸方向にずらすことなくかみ合わせ
ると、全巻角における最小の微小間隙の箇所、つまり、
吸込側でしか計測データを得ることができず、全巻角の
途中や吐出側での微小間隙を計測できないことになる。

【００４９】そこで、テーパ加工を施した雄雌両ロータ
１，２の全巻角において微小間隙を計測するには、図１
に示したロータ支持器１１〜１４とそれらの軸受１５〜
１８を軸方向に移動可能なハウジング１９，２０を用い
て、図８（ａ）に示すように雄あるいは雌のマスターロ
ータ１，２を雌あるいは雄のベアロータ２，１やカバー
ドロータ２，１と軸方向にずらしては連れ廻しを行っ
て、図６の様に回転角差を求めていけばよい。

【００５０】また、図８（ｂ）のように、長さＬが短い
雄あるいは雌のマスターロータ１，２を用いて計測して
もよい。このマスターロータの長さＬは，Ｌ＝スクリュ
ーロータ１，２の歯のリード長さ／歯数に設定すれば良
い。このようなマスターロータでの計測は図８（ａ）の
場合と同様、図８（ｃ）のようにマスターロータ１ある
いは２を軸方向にずらして連れ廻しを行う。

【００５１】図８（ａ）や図８（ｃ）に示す検査方法は
テーパ加工を施したものだけでなく、吸込側と吐出側で
の熱膨張差を気にしないストレート加工のスクリュウ圧
縮機の検査にも適用できる。この場合には、雄ロータ１
の回転角θＭごとの微小間隙を比較することにより、微
小間隙の拡大傾向や縮小傾向からリードの捩じれやコー
ティング膜の厚さの変動を検出できる。

【００５２】この比較は雄ロータ１の各回転角θＭ毎の
微小間隙を適宜な軸方向位置で対比することができる数
表であってもよく、各計測データを同一計測データ上に
表示する形式は図３の形に限定されない。

【００５３】以上説明したように、３次元測定器，膜厚
計ならびにシム（厚さゲージ）などを用いることなく、
マスターロータをかみあわせ回転角差を求めることで、
高精度で容易にしかも時間を掛けずに、ベアロータやカ
バードロータの一貫した検査（評価）をすることができ
るし、パソコンで自動化を図ることもできる。また、検
査結果は、加工機にフィードバックして加工精度の向上
に反映させることもできる。

【００５４】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ロ
ータの検査に時間がかからず、測定精度は高く、各検査
に共通した測定器を使用でき、一貫した評価をすること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるスクリュウ圧縮機のロータ検査装
置の一実施例を示す図である。

【図２】図１の実施形態によるロータの加工、検査方法
の全体の流れを説明するフローチャートである。

【図３】図２のローターの加工精度検査の処理手順の詳
細を示す図である。

【図３】図２のコーティング膜厚精度検査の処理手順の
詳細を示す図である。

【図５】図１の実施形態におけるロータ間微小間隙計測
状況を示す図である。

【図６】図１の実施形態におけるロータ間微小間隙計測
デ−タを示す図である。

【図７】図１の実施形態におけるロータ間微小間隙計測
時のロータへのトルクの付与とロータ間微小間隙計測デ
−タの入手方法の関係を示す図である。

【図８】本発明検査方法の他の実施形態を示す図であ
る。

【符号の説明】

１…雄ロータ ２…雌ロータ ３，４…エンコーダ ５…サーボモータ ６…トルクモータ ７，８…プーリ ９，１０…ベルト １１〜１４…ロータ支持器 １５〜１８…軸受 １９，２０…ハウジング ２１，２２…インターポレータ（分割器） ２３…バスシステム ２４…パソコン ２５，２６…モータドライバ

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成９年１１月４日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】図面の簡単な説明

【補正方法】変更

【補正内容】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるスクリュウ圧縮機のロータ検査装
置の一実施例を示す図である。

【図２】図１の実施形態によるロー夕の加工、検査方法
の全体の流れを説明するフローチヤートである。

【図３】図２のローターの加工精度検査の処理手順の詳
細を示す図である。

【図４】 図２のコーティング膜厚精度検査の処理手順の
詳細を示す図である。

【図５】図１の実施形態におけるロータ間微小間隙計測
状況を示す図である。

【図６】図１の実施形態におけるロータ間微小間隙計測
データを示す図である。

【図７】図１の実施形態におけるロー夕間微小間隙計測
時のロー夕へのトルクの付与とロータ間微小間隙計測デ
ータの入手方法の関係を示す図である。

【図８】本発明検査方法の他の実施形態を示す図であ
る。

【符号の説明】 １…雄ロー夕 ２…雌ロータ ３，４…エンコーダ ５…サーボモータ ６…トルクモータ ７，８…プーリ ９，１０…ベルト １１〜１４…ロータ支持器 １５〜１８…軸受 １９，２０…ハウジング ２１，２２…インターポレータ(分割器) ２３…バスシステム ２４…パソコン ２５，２６…モータドライバ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小幡 博康 神奈川県海老名市上郷1007番地 日立テク ノエンジニアリング株式会社海老名事業所 内 (72)発明者 川合 恵 神奈川県海老名市上郷1007番地 日立テク ノエンジニアリング株式会社海老名事業所 内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】タイミングギヤによって微小間隙を保持し
   ながら回転するスクリュウ圧縮機の雄および雌の各ロー
   タを検査する方法において、 少なくとも上記一方のタイミングギヤが無い状態で一方
   のロータにブレ−キを掛けながら他方のロータを正逆各
   方向に回転させ、該回転中に測定した雄雌両ロータの回
   転角差を用いて両ロータ間の微小間隙を計測するもので
   あって、 コーティング膜を設けていない雄および雌の両マスター
   ロータ間の微小間隙計測データと、前記雄のマスターロ
   ータおよびコーティング膜を設けていない雌のロータ間
   の微小間隙計測データと、前記雌のマスターロータおよ
   びコーティング膜を設けていない雄のロータ間の微小間
   隙計測データと、前記雄および雌の両ロータ間の微小間
   隙計測データとをそれぞれ計測し、各計測データを同一
   計測データ上に表示して前記雄ロータおよび雌ロータの
   加工状況を得ることを特徴とするスクリュウ圧縮機のロ
   ータ検査方法。
2. 【請求項２】タイミングギヤによって微小間隙を保持し
   ながら回転するスクリュウ圧縮機の雄および雌の各ロー
   タを検査する方法において、 少なくとも前記一方のタイミングギヤが無い状態で一方
   のロータにブレーキを掛けながら他方のロータを正逆各
   方向に回転させ、その回転中に測定した雄雌両ロータの
   回転角差を用いて両ロータ間の微小間隙を計測するもの
   であって、 コーティング膜を設けていない雄および雌の両マスター
   ロータ間の微小間隙計測データと、前記雄のマスターロ
   ータおよびコーティング膜を設けた雌のロータ間の微小
   間隙計測データと、前記雌のマスターロータおよびコー
   ティング膜を設けた雄のロータ間の微小間隙計測データ
   と、前記雄および雌の両ロータ間の微小間隙計測データ
   とをそれぞれ計測し、各計測データを同一計測データ上
   に表示して前記雄および雌の各ロータの加工状況を得る
   ことを特徴とするスクリュウ圧縮機のロータ検査方法。
3. 【請求項３】前記請求項１または２において、正逆各方
   向に回転させられる前記他方のマスターロータ、コーテ
   ィング膜を設けていないロータおよびコーティング膜を
   設けたロータに少なくとも２回異なる値のトルクを掛け
   て微小間隙をそれぞれ計測し、それらのデータから外挿
   法でトルク値が無い場合の微小間隙を演算して求めるこ
   とを特徴とするスクリュウ圧縮機のロータ検査方法。
4. 【請求項４】前記請求項１または２において、前記雄お
   よび雌の各マスターロータの軸方向長さはコーティング
   膜を設けていない雌および雄の各ロータまたはコーティ
   ング膜を設けた雌および雄の各ロータのリード長さをそ
   れらの歯数で除した値であることを特徴とするスクリュ
   ウ圧縮機のロータ検査方法。