JPH1150112A - 金属超微粒子粉体とその製造方法並びにその使用方法 - Google Patents
金属超微粒子粉体とその製造方法並びにその使用方法Info
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- JPH1150112A JPH1150112A JP9220798A JP22079897A JPH1150112A JP H1150112 A JPH1150112 A JP H1150112A JP 9220798 A JP9220798 A JP 9220798A JP 22079897 A JP22079897 A JP 22079897A JP H1150112 A JPH1150112 A JP H1150112A
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Landscapes
- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 金属間化合物の薄膜等を均一に且つ迅速な反
応により得られるようにする。 【解決手段】 二種以上の金属が互いに接合して一体の
粒子を形成した金属超微粒子２の集合からなる金属超微
粒子粉体。複数の金属を順次に、または別々の位置から
同時に真空蒸着させ、二種以上の金属が互いに接合した
状態の蒸着金属層を形成し、この蒸着金属層を崩して上
記二種以上の金属が互いに接合した一体の金属超微粒子
２を形成し、この一体の金属超微粒子２を集めて金属超
微粒子粉体を形成する。
応により得られるようにする。 【解決手段】 二種以上の金属が互いに接合して一体の
粒子を形成した金属超微粒子２の集合からなる金属超微
粒子粉体。複数の金属を順次に、または別々の位置から
同時に真空蒸着させ、二種以上の金属が互いに接合した
状態の蒸着金属層を形成し、この蒸着金属層を崩して上
記二種以上の金属が互いに接合した一体の金属超微粒子
２を形成し、この一体の金属超微粒子２を集めて金属超
微粒子粉体を形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、金属をミクロン
以下の超微粒子の粉にした金属超微粒子粉体とその製造
方法並びにとその使用方法に関する。
以下の超微粒子の粉にした金属超微粒子粉体とその製造
方法並びにとその使用方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、金属超微粒子粉体は、単体金属の
粉体や金属の酸化物、合金等の粉体が提供されている。
また、特開平６−２６４１０３号公報に開示されている
ように、金属間化合物の超微粒子からなる耐酸化性金属
間化合物超微粒子が提案されている。さらに、特開平７
−２０７３８１号公報に開示されているように、異種の
金属超微粒子の粉体を混合して加熱し、金属間化合物を
形成し微細なセラミックス粒子を互いに接合すものも提
案されている。
粉体や金属の酸化物、合金等の粉体が提供されている。
また、特開平６−２６４１０３号公報に開示されている
ように、金属間化合物の超微粒子からなる耐酸化性金属
間化合物超微粒子が提案されている。さらに、特開平７
−２０７３８１号公報に開示されているように、異種の
金属超微粒子の粉体を混合して加熱し、金属間化合物を
形成し微細なセラミックス粒子を互いに接合すものも提
案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術の金属
間化合物の金属超微粒子粉体は、気相反応により金属間
化合物の金属超微粒子を形成するものであり、その金属
超微粒子自体が金属間化合物であるため、金属間化合物
の融点が高く耐酸化性等にすぐれているという特徴のた
めに、かえってその金属超微粒子を更に加工する等の処
理ができないものである。
間化合物の金属超微粒子粉体は、気相反応により金属間
化合物の金属超微粒子を形成するものであり、その金属
超微粒子自体が金属間化合物であるため、金属間化合物
の融点が高く耐酸化性等にすぐれているという特徴のた
めに、かえってその金属超微粒子を更に加工する等の処
理ができないものである。
【０００４】また、上記従来の技術の金属超微粒子の粉
体を混合して加熱し金属間化合物を形成するものは、数
百Å程度の極めて微小な粒子を均一に混合することが難
しく、異種の金属超微粒子同士により金属間化合物が形
成される個所にむらが生じるものであった。しかも、異
種の金属超微粒子同士を混合しても金属超微粒子同士が
互いに隣接しているとは限らず、微視的に見れば、その
金属超微粒子同士は相当の空隙を介して隣接しているも
のだった。従って、金属間化合物を形成するための迅速
な反応が得られないという問題点もあった。
体を混合して加熱し金属間化合物を形成するものは、数
百Å程度の極めて微小な粒子を均一に混合することが難
しく、異種の金属超微粒子同士により金属間化合物が形
成される個所にむらが生じるものであった。しかも、異
種の金属超微粒子同士を混合しても金属超微粒子同士が
互いに隣接しているとは限らず、微視的に見れば、その
金属超微粒子同士は相当の空隙を介して隣接しているも
のだった。従って、金属間化合物を形成するための迅速
な反応が得られないという問題点もあった。
【０００５】この発明は、上記従来の技術の問題点に鑑
みてなされたもので、金属間化合物の薄膜等を均一に且
つ迅速な反応により得られる金属超微粒子粉体とその製
造方法並びにその使用方法を提供することを目的とす
る。
みてなされたもので、金属間化合物の薄膜等を均一に且
つ迅速な反応により得られる金属超微粒子粉体とその製
造方法並びにその使用方法を提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、二種以上の
金属が互いに接合して一体の粒子を形成した金属超微粒
子の集合からなる金属超微粒子粉体である。
金属が互いに接合して一体の粒子を形成した金属超微粒
子の集合からなる金属超微粒子粉体である。
【０００７】またこの発明は、複数の金属を順次に、ま
たは別々の位置から同時に真空蒸着させ、二種以上の金
属が互いに接合した状態の蒸着金属層を形成し、この蒸
着金属層を崩して上記二種以上の金属が互いに接合した
一体の金属超微粒子を形成し、この一体の金属超微粒子
を集めて金属超微粒子粉体を形成する金属微粒子粉体の
製造方法である。
たは別々の位置から同時に真空蒸着させ、二種以上の金
属が互いに接合した状態の蒸着金属層を形成し、この蒸
着金属層を崩して上記二種以上の金属が互いに接合した
一体の金属超微粒子を形成し、この一体の金属超微粒子
を集めて金属超微粒子粉体を形成する金属微粒子粉体の
製造方法である。
【０００８】さらにこの発明は、二種以上の金属が互い
に接合して一体の金属超微粒子を形成した超微粒子粉体
を、少なくとも一方の金属の融点以上に加熱し、上記金
属超微粒子により金属間化合物の固体を形成する金属超
微粒子粉体の使用方法である。
に接合して一体の金属超微粒子を形成した超微粒子粉体
を、少なくとも一方の金属の融点以上に加熱し、上記金
属超微粒子により金属間化合物の固体を形成する金属超
微粒子粉体の使用方法である。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下この発明の実施の形態につい
て、図面に基づいて説明する。図１、図２はこの発明の
一実施形態を示し、この実施形態の金属超微粒子は、図
１に示すように、ＮｉとＩｎが互いに接合して一体の粒
子を形成した金属微粒子２の集合体からなる金属超微粒
子粉体である。この金属微粒子２の大きさは０．１μか
ら０．００１μｍ程度の範囲のランダムな粒径であり、
平均粒径は、例えば０．０３〜０．０７μｍのものであ
る。
て、図面に基づいて説明する。図１、図２はこの発明の
一実施形態を示し、この実施形態の金属超微粒子は、図
１に示すように、ＮｉとＩｎが互いに接合して一体の粒
子を形成した金属微粒子２の集合体からなる金属超微粒
子粉体である。この金属微粒子２の大きさは０．１μか
ら０．００１μｍ程度の範囲のランダムな粒径であり、
平均粒径は、例えば０．０３〜０．０７μｍのものであ
る。
【００１０】この発明の金属超微粒子粉体の製造方法
は、図２に示すように、真空蒸着装置１０内のターゲッ
ト１２に向かって、まずＮｉを蒸着し、この後、Ｎｉよ
り融点の低いＩｎを蒸着する。このときＮｉとＩｎは物
理的に付着する状態で蒸着させ、ターゲット１２で合金
が形成されないように、ターゲット１２の温度はＩｎの
融点以下に設定する。更にＮｉの層が厚く成りすぎない
ように、所定の薄いＮｉの層、例えば数百Å程度形成さ
れると、Ｉｎの蒸着に切り換えて同程度またはＮｉとＩ
ｎの比率に合わせて適宜の厚さ蒸着し、必要に応じてこ
れを繰り返すことにより、ＮｉとＩｎの薄い蒸着層が多
数の層に分かれて形成される。各層ではＮｉとＩｎの金
属超微粒子２が互いに接触した状態となる。
は、図２に示すように、真空蒸着装置１０内のターゲッ
ト１２に向かって、まずＮｉを蒸着し、この後、Ｎｉよ
り融点の低いＩｎを蒸着する。このときＮｉとＩｎは物
理的に付着する状態で蒸着させ、ターゲット１２で合金
が形成されないように、ターゲット１２の温度はＩｎの
融点以下に設定する。更にＮｉの層が厚く成りすぎない
ように、所定の薄いＮｉの層、例えば数百Å程度形成さ
れると、Ｉｎの蒸着に切り換えて同程度またはＮｉとＩ
ｎの比率に合わせて適宜の厚さ蒸着し、必要に応じてこ
れを繰り返すことにより、ＮｉとＩｎの薄い蒸着層が多
数の層に分かれて形成される。各層ではＮｉとＩｎの金
属超微粒子２が互いに接触した状態となる。
【００１１】またＮｉとＩｎを別々のるつぼから同時に
蒸着させても良い。このときも合金が形成されないよう
に、ターゲット１２の温度はＩｎの融点以下に設定す
る。
蒸着させても良い。このときも合金が形成されないよう
に、ターゲット１２の温度はＩｎの融点以下に設定す
る。
【００１２】この後ターゲット１２に付着した蒸着金属
をかき落としてＮｉとＩｎが物理的に接合した金属超微
粒子２を形成する。
をかき落としてＮｉとＩｎが物理的に接合した金属超微
粒子２を形成する。
【００１３】この実施形態の金属超微粒子２は、超微粒
子の状態で互いに異種のＮｉとＩｎが接合して一つの粒
子を形成しており、この金属超微粒子粉体を、少なくと
も一方の融点以上の温度であってこの両金属による金属
間化合物の融点以下の温度に加熱すると、この実施形態
の場合、溶融したＩｎ中にＮｉ原子が拡散し、拡散濃度
が金属間化合物を形成する割合となったところで、金属
間化合物形成反応が現れ、Ｎｉ−Ｉｎによる金属間化合
物に固化する。この実施形態の金属超微粒子粉体は、こ
の反応を利用して、各種の部材の接合材料、はんだ付け
材料、蝋付け材料として利用可能なものである。
子の状態で互いに異種のＮｉとＩｎが接合して一つの粒
子を形成しており、この金属超微粒子粉体を、少なくと
も一方の融点以上の温度であってこの両金属による金属
間化合物の融点以下の温度に加熱すると、この実施形態
の場合、溶融したＩｎ中にＮｉ原子が拡散し、拡散濃度
が金属間化合物を形成する割合となったところで、金属
間化合物形成反応が現れ、Ｎｉ−Ｉｎによる金属間化合
物に固化する。この実施形態の金属超微粒子粉体は、こ
の反応を利用して、各種の部材の接合材料、はんだ付け
材料、蝋付け材料として利用可能なものである。
【００１４】尚、この発明の金属超微粒子粉体の構成金
属は、Ｐｂ−Ｓｎ，Ｓｎ−Ａｇ等の任意に選択可能であ
る。また、金属超微粒子の形成方法は、真空蒸着技術の
他、他の気相成長法も可能である。
属は、Ｐｂ−Ｓｎ，Ｓｎ−Ａｇ等の任意に選択可能であ
る。また、金属超微粒子の形成方法は、真空蒸着技術の
他、他の気相成長法も可能である。
【００１５】
【発明の効果】この発明の金属超微粒子粉体は、２種以
上の金属が一つの粒子として一体に形成された金属超微
粒子の集合体であり、加熱することにより、各粒子毎に
金属間化合物反応が生じるので、熱による反応が速く、
固体化するまでの時間が極めて短いものである。
上の金属が一つの粒子として一体に形成された金属超微
粒子の集合体であり、加熱することにより、各粒子毎に
金属間化合物反応が生じるので、熱による反応が速く、
固体化するまでの時間が極めて短いものである。
【図１】この発明の金属超微粒子のＮｉとＩｎの金属超
微粒子を示す模式図である。
微粒子を示す模式図である。
【図２】この実施形態の金属超微粒子粉体の製造装置の
概略図である。
概略図である。
２ 金属超微粒子 １０ 金属超微粒子 １２ ターゲット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 流 一郎 富山県上新川郡大沢野町下大久保3158番地 北陸電気工業株式会社内 (72)発明者 山崎 盛勝 富山県上新川郡大沢野町下大久保3158番地 北陸電気工業株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 二種以上の金属が互いに接合して一体
の粒子を形成した金属超微粒子の集合からなる金属超微
粒子粉体。 - 【請求項２】 複数の金属を別々に加熱して真空蒸着さ
せ、二種以上の金属が互いに接合した状態の蒸着金属層
を形成し、この蒸着層を崩して上記二種以上の金属が互
いに接合した一体の金属超微粒子を形成し、これを集め
て金属超微粒子粉体を形成する金属超微粒子粉体の製造
方法。 - 【請求項３】 二種以上の金属が互いに接合して一体
の金属超微粒子を形成した超微粒子粉体を、少なくとも
一方の金属の融点以上に加熱し、上記金属超微粒子によ
り金属間化合物の固体を形成する金属超微粒子粉体の使
用方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9220798A JPH1150112A (ja) | 1997-07-31 | 1997-07-31 | 金属超微粒子粉体とその製造方法並びにその使用方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9220798A JPH1150112A (ja) | 1997-07-31 | 1997-07-31 | 金属超微粒子粉体とその製造方法並びにその使用方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1150112A true JPH1150112A (ja) | 1999-02-23 |
Family
ID=16756739
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9220798A Pending JPH1150112A (ja) | 1997-07-31 | 1997-07-31 | 金属超微粒子粉体とその製造方法並びにその使用方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1150112A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010150589A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Shinko Kagaku Kogyosho:Kk | 二元金属ナノ粒子コロイド、二元金属ナノ粒子、二元金属ナノ粒子コロイドの製造方法および二元金属ナノ粒子の製造方法 |
| JP2010150568A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-07-08 | Shinko Kagaku Kogyosho:Kk | 金属ナノ粒子コロイド、金属ナノ粒子、多元金属ナノ粒子コロイド、多元金属ナノ粒子、金属ナノ粒子コロイドの製造方法、金属ナノ粒子の製造方法、多元金属ナノ粒子コロイドの製造方法および多元金属ナノ粒子の製造方法 |
| JP2010180442A (ja) * | 2009-02-04 | 2010-08-19 | Fujifilm Corp | 微粒子及びその製造方法 |
-
1997
- 1997-07-31 JP JP9220798A patent/JPH1150112A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010150568A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-07-08 | Shinko Kagaku Kogyosho:Kk | 金属ナノ粒子コロイド、金属ナノ粒子、多元金属ナノ粒子コロイド、多元金属ナノ粒子、金属ナノ粒子コロイドの製造方法、金属ナノ粒子の製造方法、多元金属ナノ粒子コロイドの製造方法および多元金属ナノ粒子の製造方法 |
| JP2010150589A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Shinko Kagaku Kogyosho:Kk | 二元金属ナノ粒子コロイド、二元金属ナノ粒子、二元金属ナノ粒子コロイドの製造方法および二元金属ナノ粒子の製造方法 |
| JP2010180442A (ja) * | 2009-02-04 | 2010-08-19 | Fujifilm Corp | 微粒子及びその製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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