JPH113928A - 携帯用ウエハピンセット - Google Patents
携帯用ウエハピンセットInfo
- Publication number
- JPH113928A JPH113928A JP15407797A JP15407797A JPH113928A JP H113928 A JPH113928 A JP H113928A JP 15407797 A JP15407797 A JP 15407797A JP 15407797 A JP15407797 A JP 15407797A JP H113928 A JPH113928 A JP H113928A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- tweezers
- portable
- opening
- ball
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ウエハを吸着する携帯用ウエハピンセットに関
し、従来の携帯用ピンセットでは鋭く尖った先端部分で
ウエハを挟むので、安定性に乏しく、ウエハを落下させ
てしまう恐れがあった。 【解決手段】携帯用ピンセットに吸着装置を付け、ピン
セットの先端部分の形状をアーチ型に成形した。ウエハ
の外周部分がピンセットの１０３のアーチ型先端部分の
無数の穴があいている面と接触するようにウエハを挟
む。ウエハを挟んだ状態で、ゴム製ボール１０１を握り
潰し、ボールの中の空気を吐き出してしまう。その時、
空気が出やすいように開閉口１０４にある指は、開閉口
から離しておく。次に開閉口１０４を指で塞いでおいて
から、一気にゴム製ボール１０１から指を離し、握り潰
したボールを元の形に戻す。開閉口から空気が入ってこ
れないので、真空状態がおきて、ウエハがピンセットに
吸着され固定される。
し、従来の携帯用ピンセットでは鋭く尖った先端部分で
ウエハを挟むので、安定性に乏しく、ウエハを落下させ
てしまう恐れがあった。 【解決手段】携帯用ピンセットに吸着装置を付け、ピン
セットの先端部分の形状をアーチ型に成形した。ウエハ
の外周部分がピンセットの１０３のアーチ型先端部分の
無数の穴があいている面と接触するようにウエハを挟
む。ウエハを挟んだ状態で、ゴム製ボール１０１を握り
潰し、ボールの中の空気を吐き出してしまう。その時、
空気が出やすいように開閉口１０４にある指は、開閉口
から離しておく。次に開閉口１０４を指で塞いでおいて
から、一気にゴム製ボール１０１から指を離し、握り潰
したボールを元の形に戻す。開閉口から空気が入ってこ
れないので、真空状態がおきて、ウエハがピンセットに
吸着され固定される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本説明は、ウエハを吸着可能
な携帯用ウエハピンセットに関し、特に場所を問わずに
ウエハの取り扱いが可能とされる携帯用ピンセットに有
効な技術に関する。
な携帯用ウエハピンセットに関し、特に場所を問わずに
ウエハの取り扱いが可能とされる携帯用ピンセットに有
効な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ウエハを保管ケースから持ち出し
て見たり、保管ケースを移し替えたりなどで取り扱う場
合には、図２の２０１、２０２のようなピンセット本体
の先端部分が鋭く尖がっている携帯用ピンセットが一般
的である。そのピンセットはウエハの表面と裏面の両面
を挟み込むようにして使用する。図４の４０１のウエハ
の外周部分をしっかり挟もうとすると、不安定な状態が
起こり、それを安定させる為にかなり強い挟み付ける力
が必要となる。また安定性を補う為にピンセットをウエ
ハの４０２の内周部分までピンセットの先端を移動させ
て挟み付ける。そうすることによってウエハの表面側に
あるトランジスタをピンセットの先端と挟む付ける力で
傷をつけてしまう。一方、工場内の製造工程や検査工程
においてウエハを取り扱う場合には、図３の３００の大
型半導体装置に備えつけられているピンセットを使用す
るのが一般的である。ピンセットと言っても、２０１、
２０２のようにピンセットの先端部分が鋭く尖がってい
るのではなく３０３のように先端部分に無数の穴があい
ており、この部分からウエハを吸着して使用する構造と
なっている。さらに３０１の吸着装置と３０２、３０３
のピンセットを所定の長さのあるチューブ３０５で連結
している。ウエハを両面から挟み付けるのではなく、３
０３の穴によってウエハの裏面を吸着させている。ピン
セットと大型半導体装置３００は、３０５のチューブに
よって連結されているので、ウエハを取り扱う作業はチ
ューブの長さの範囲以内に限定されることになる。
て見たり、保管ケースを移し替えたりなどで取り扱う場
合には、図２の２０１、２０２のようなピンセット本体
の先端部分が鋭く尖がっている携帯用ピンセットが一般
的である。そのピンセットはウエハの表面と裏面の両面
を挟み込むようにして使用する。図４の４０１のウエハ
の外周部分をしっかり挟もうとすると、不安定な状態が
起こり、それを安定させる為にかなり強い挟み付ける力
が必要となる。また安定性を補う為にピンセットをウエ
ハの４０２の内周部分までピンセットの先端を移動させ
て挟み付ける。そうすることによってウエハの表面側に
あるトランジスタをピンセットの先端と挟む付ける力で
傷をつけてしまう。一方、工場内の製造工程や検査工程
においてウエハを取り扱う場合には、図３の３００の大
型半導体装置に備えつけられているピンセットを使用す
るのが一般的である。ピンセットと言っても、２０１、
２０２のようにピンセットの先端部分が鋭く尖がってい
るのではなく３０３のように先端部分に無数の穴があい
ており、この部分からウエハを吸着して使用する構造と
なっている。さらに３０１の吸着装置と３０２、３０３
のピンセットを所定の長さのあるチューブ３０５で連結
している。ウエハを両面から挟み付けるのではなく、３
０３の穴によってウエハの裏面を吸着させている。ピン
セットと大型半導体装置３００は、３０５のチューブに
よって連結されているので、ウエハを取り扱う作業はチ
ューブの長さの範囲以内に限定されることになる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、図２のよう
な従来技術においては、ピンセットの鋭く尖った先端部
分とウエハとの接触面の積がウエハに対して小さく、挟
む力だけではしっかり固定するに困難であり、また安定
性にもかける。そのため挟む力が低下した時や不意にウ
エハに圧力がかかった時などには、ウエハを落下させて
しまう危険性がある。一方、これを防ぐ為に圧力をあげ
るとピンセットの鋭く尖った先端部分がウエハの表面に
あるトタンジスタの良品もしくは良品可能な部分まで強
く接触して破壊してしまうという問題もあった。また、
図３の従来技術では、大型半導体装置とピンセットを結
ぶチューブによりその使用可能範囲が限定されてしまう
という課題があった。
な従来技術においては、ピンセットの鋭く尖った先端部
分とウエハとの接触面の積がウエハに対して小さく、挟
む力だけではしっかり固定するに困難であり、また安定
性にもかける。そのため挟む力が低下した時や不意にウ
エハに圧力がかかった時などには、ウエハを落下させて
しまう危険性がある。一方、これを防ぐ為に圧力をあげ
るとピンセットの鋭く尖った先端部分がウエハの表面に
あるトタンジスタの良品もしくは良品可能な部分まで強
く接触して破壊してしまうという問題もあった。また、
図３の従来技術では、大型半導体装置とピンセットを結
ぶチューブによりその使用可能範囲が限定されてしまう
という課題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
る為に本発明は、携帯用ピンセットに吸着装置を備える
ことによってウエハとピンセットの接触面を吸着しなが
ら固定させる。さらにピンセットの先端部分の形状を変
更して接触面を増やすので取り扱うウエハの安定性がさ
らに高めされ落下防止につながる。そしてウエハの表面
の外周付近は、トランジスタの良品を造り出すのには適
さない部分なので、ピンセットの先端部分の形状をウエ
ハの外周沿って挟める形に変えることにより、ウエハと
の接触面が多くなってさらにウエハの表面に傷をつけた
り、またトランジスタ自身に損傷を与えたりするという
問題を解決することができる。携帯用ピンセットに小型
で尚、他に動力源を必要としない吸着装置をつけること
により、ウエハを取り扱う場所をピンセットによって限
定されることはなくなる。
る為に本発明は、携帯用ピンセットに吸着装置を備える
ことによってウエハとピンセットの接触面を吸着しなが
ら固定させる。さらにピンセットの先端部分の形状を変
更して接触面を増やすので取り扱うウエハの安定性がさ
らに高めされ落下防止につながる。そしてウエハの表面
の外周付近は、トランジスタの良品を造り出すのには適
さない部分なので、ピンセットの先端部分の形状をウエ
ハの外周沿って挟める形に変えることにより、ウエハと
の接触面が多くなってさらにウエハの表面に傷をつけた
り、またトランジスタ自身に損傷を与えたりするという
問題を解決することができる。携帯用ピンセットに小型
で尚、他に動力源を必要としない吸着装置をつけること
により、ウエハを取り扱う場所をピンセットによって限
定されることはなくなる。
【０００５】
【作用】本発明は、上記手段を用いることにり、ピンセ
ット自体に吸着機能を持たせることが可能となる。
ット自体に吸着機能を持たせることが可能となる。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１に本発明の一実施例である携
帯用ウエハピンセットの構成を示す。１０１は、吸着装
置の心臓部分でもある動力源を示している。手の平に収
まる大きさで、薄くて軽い弾性力のあるたとえばゴムな
どの素材でできたボール型でできている。１０２、１０
３はピンセット本体を示している。１０２は１０７のチ
ューブが取り付け易いようにチューブと同じ形状の細い
筒状になっている。１０３は、手で直接持つところで、
特に先端が２０１に示すようなウエハの狭い外周部分を
より多く挟めるようにアーチ型に成形されている。ピン
セット本体の内部は、空洞となった気密性の高い一体型
成形になっている。１０４は、開閉口を示し、開閉口は
ピンセット本体の片方のみについている。１０５は、ウ
エハに接触する面で無数の小さな穴を示している。穴は
ウエハの両面を挟むとき、ウエハと接触する両側にあい
ている。１０６、１０７はピンセット本体１０２、１０
３と動力源の１０１を連結させているチューブを示して
いる。本実施例の携帯用ピンセット（以下、本発明ピン
セットという）を片手で１０１を手の平で包み込むよう
にして持つ。そしてウエハの４０１の外周部分を本発明
ピンセットの１０３のアーチ型先端部分の無数の穴があ
いている面と接触できるようにウエハを挟む。挟み終わ
ったら、本発明ピンセットの開閉口に本発明ピンセット
を持っている手の指をもっていく。ウエハを挟んだ状態
で手の平に包み込んだ１０１のゴム製ボールを残りの指
を使って握り潰す。そうすることによってボールの中の
空気を吐き出してしまう。その時、空気が出やすいよう
に開閉口にある指は、開閉口から離しておく。そして握
り潰した１０１から指を離して元のボールの形に戻す前
に開閉口を必ず指で塞いでおいてから、一気に１０１か
ら指を離す。開閉口から空気が入ってこれないので、真
空状態がおきて、ウエハが本発明ピンセットに吸着され
しっかりと固定されることになる。
帯用ウエハピンセットの構成を示す。１０１は、吸着装
置の心臓部分でもある動力源を示している。手の平に収
まる大きさで、薄くて軽い弾性力のあるたとえばゴムな
どの素材でできたボール型でできている。１０２、１０
３はピンセット本体を示している。１０２は１０７のチ
ューブが取り付け易いようにチューブと同じ形状の細い
筒状になっている。１０３は、手で直接持つところで、
特に先端が２０１に示すようなウエハの狭い外周部分を
より多く挟めるようにアーチ型に成形されている。ピン
セット本体の内部は、空洞となった気密性の高い一体型
成形になっている。１０４は、開閉口を示し、開閉口は
ピンセット本体の片方のみについている。１０５は、ウ
エハに接触する面で無数の小さな穴を示している。穴は
ウエハの両面を挟むとき、ウエハと接触する両側にあい
ている。１０６、１０７はピンセット本体１０２、１０
３と動力源の１０１を連結させているチューブを示して
いる。本実施例の携帯用ピンセット（以下、本発明ピン
セットという）を片手で１０１を手の平で包み込むよう
にして持つ。そしてウエハの４０１の外周部分を本発明
ピンセットの１０３のアーチ型先端部分の無数の穴があ
いている面と接触できるようにウエハを挟む。挟み終わ
ったら、本発明ピンセットの開閉口に本発明ピンセット
を持っている手の指をもっていく。ウエハを挟んだ状態
で手の平に包み込んだ１０１のゴム製ボールを残りの指
を使って握り潰す。そうすることによってボールの中の
空気を吐き出してしまう。その時、空気が出やすいよう
に開閉口にある指は、開閉口から離しておく。そして握
り潰した１０１から指を離して元のボールの形に戻す前
に開閉口を必ず指で塞いでおいてから、一気に１０１か
ら指を離す。開閉口から空気が入ってこれないので、真
空状態がおきて、ウエハが本発明ピンセットに吸着され
しっかりと固定されることになる。
【０００７】
【発明の効果】本発明の携帯用ピンセットは、１０１の
吸着装置をピンセット自体に装置することにより、従来
の技術のようにチューブ等で連結されたピンセットとは
異なり、行動範囲が限定されることなく自由にウエハを
容易に吸着させたまま移動することが可能となる。ま
た、ウエハとの接触面をアーチ型にすることで良品チッ
プの存在するウエハ中心領域に直接ピンセットが接触す
ることはなく、ピンセットによってチップを破壊するこ
とを防ぐことができる。さらに、このアーチ型の吸着部
分をピンセットの両側に設置することでウエハを両側か
らより安全に、より強くピンセットに吸着することが可
能となる。
吸着装置をピンセット自体に装置することにより、従来
の技術のようにチューブ等で連結されたピンセットとは
異なり、行動範囲が限定されることなく自由にウエハを
容易に吸着させたまま移動することが可能となる。ま
た、ウエハとの接触面をアーチ型にすることで良品チッ
プの存在するウエハ中心領域に直接ピンセットが接触す
ることはなく、ピンセットによってチップを破壊するこ
とを防ぐことができる。さらに、このアーチ型の吸着部
分をピンセットの両側に設置することでウエハを両側か
らより安全に、より強くピンセットに吸着することが可
能となる。
【図１】本発明の実施例である携帯用ウエハピンセット
を示す構成図。
を示す構成図。
【図２】従来技術の一例であるウエハピンセットを示す
構成図。
構成図。
【図３】従来技術のウエハピンセットを示す構成図。
【図４】本発明の携帯用ウエハピンセットを説明する為
のウエハ図。
のウエハ図。
１０１・・・・・吸着装置の動力部 １０２・・・・・ピンセット本体（チューブ連結側） １０３・・・・・ピンセット本体（先端部分） １０４・・・・・開閉口 １０５・・・・・穴 １０６・・・・・チューブ（吸着装置の動力部の連結
用） １０７・・・・・チューブ（ピンセット本体との連結
用） ２０１・・・・・ピンセット本体 ２０２・・・・・ピンセット本体（先端部分） ３００・・・・・半導体装置 ３０１・・・・・吸着装置の動力部 ３０２・・・・・ピンセット本体（チューブ連結側） ３０３・・・・・ピンセット本体（先端部分） ３０４・・・・・穴 ３０５・・・・・チューブ（吸着装置とピンセット本体
との連結） ４０１・・・・・ウエハの外周部分 ４０２・・・・・ウエハの内周部分
用） １０７・・・・・チューブ（ピンセット本体との連結
用） ２０１・・・・・ピンセット本体 ２０２・・・・・ピンセット本体（先端部分） ３００・・・・・半導体装置 ３０１・・・・・吸着装置の動力部 ３０２・・・・・ピンセット本体（チューブ連結側） ３０３・・・・・ピンセット本体（先端部分） ３０４・・・・・穴 ３０５・・・・・チューブ（吸着装置とピンセット本体
との連結） ４０１・・・・・ウエハの外周部分 ４０２・・・・・ウエハの内周部分
Claims (3)
- 【請求項１】ウエハを挟むピンセットにおいて、ウエハ
と接触する面に少なくとも１つ以上の開孔口を有した接
触板と、前記接触板に空洞の配線で接続された伸縮可能
な吸引装置とで構成されていることを特徴とする携帯用
ウエハピンセット。 - 【請求項２】請求項１記載の接触板の形状が円孤の一部
の形状で構成されていることを特徴とする携帯用ウエハ
ピンセット。 - 【請求項３】請求項１記載の接触板において、ピンセッ
トを構成する第１・第２の接触板の両方が円孤の一部の
形状で構成されていることを特徴とする携帯用ウエハピ
ンセット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15407797A JPH113928A (ja) | 1997-06-11 | 1997-06-11 | 携帯用ウエハピンセット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15407797A JPH113928A (ja) | 1997-06-11 | 1997-06-11 | 携帯用ウエハピンセット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH113928A true JPH113928A (ja) | 1999-01-06 |
Family
ID=15576396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15407797A Withdrawn JPH113928A (ja) | 1997-06-11 | 1997-06-11 | 携帯用ウエハピンセット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH113928A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5782073A (en) * | 1980-07-17 | 1982-05-22 | Mannesmann Tally Corp | Two direction fixed speed carriage reciprocating mechanism |
-
1997
- 1997-06-11 JP JP15407797A patent/JPH113928A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5782073A (en) * | 1980-07-17 | 1982-05-22 | Mannesmann Tally Corp | Two direction fixed speed carriage reciprocating mechanism |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040907 |