JPH1137798A

JPH1137798A - 位置検出装置

Info

Publication number: JPH1137798A
Application number: JP20722897A
Authority: JP
Inventors: Junichi Murakami; 村上　　順一
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1997-07-15
Filing date: 1997-07-15
Publication date: 1999-02-12
Anticipated expiration: 2017-07-15
Also published as: JP4174089B2

Abstract

(57)【要約】【課題】位置検出のための検出可能速度を越えるよう
な衝撃が測定対象物に加わった場合でも正確な位置検出
を続行する。【解決手段】測定対象物であるレンズ１１の位置変化
によってエンコーダ１３の出力が検出回路１５により検
出されてＣＰＵ１７に信号Sa、Sbが入力される。また、
レンズ１１の移動速度は速度検出器１４で検出され、レ
ンズ位置制御の安定化のために検出回路１６を介してド
ライバ１８に帰還されてＣＰＵ１７に信号Svが入力され
る。この速度検出信号Svを予め記憶しておいた検出可能
速度信号と比較して移動速度の大きさを判別し、速度検
出信号Svが検出可能速度信号より大きければ検出不可能
であると判断して、ドライバ１８によりアクチュエータ
１２を駆動して再びリセット動作を行う。このようにし
て衝撃がレンズ１１に加わった場合にも正確な位置検出
を継続することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、位置変化に対して
位相のずれた複数の繰り返し周期波形の信号を発生する
エンコーダを用いた位置検出装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えばビデオカメラ等の撮像装置
では、ズームやフォーカスのために、レンズは所定の速
度及び位置精度で動作させなければならない。最近、こ
のためのレンズ駆動制御装置としてリニアモータが用い
られるようになり、このリニアモータを制御するために
は、レンズの位置を検出する位置検出装置が必要とな
る。この位置検出装置としては、位置変化に対して位相
がずれた複数の繰り返し周期波形の信号を発生する光学
式エンコーダが知られており、特開平１−１２１７２３
号公報に提案されている。

【０００３】図８は光学式エンコーダの側面図を示し、
発光素子１の下側に集光レンズ２が取り付けられ、集光
レンズ２の下方には図示しない例えばレンズ部である被
測定物に取り付けられた固定スケール３が配置され、固
定スケール３には平板部から成る光透過部と溝部から成
る光遮光部がピッチＰの等間隔で周期的に設けられてい
る。固定スケール３の下側には可動スケール４が対向し
て配置されている。そして、可動スケール４の下方に
は、可動スケール４の各領域を透過した光束をそれぞれ
受光する受光素子５ａ、５ｂが配置されている。

【０００４】図９は可動スケール４の斜視図を示し、可
動スケール４は平行平板状の透明材料から成り、発光素
子１からの光束の入射面上に、固定スケール３の格子ピ
ッチＰと等しい間隔でＶ型溝部６と平面部７が設けられ
ている。このＶ型溝部６の２つの傾斜面６ａ、６ｂは、
平面部７に対してそれぞれ４５度の角度とされている。

【０００５】発光素子１からの平行光束の内、固定スケ
ール３の透過部を通過した光束は可動スケール４に入射
し、図１０に示すように可動スケール４のＶ型溝部６及
び平面部７をそれぞれ屈折及び単に通過して、左右の受
光素子５ａ、５ｂ面に入射する。

【０００６】ここで、例えばＶ型溝部６をピッチＰの１
／２の幅とし、２つの傾斜面６ａ、６ｂの幅が等しくそ
れぞれＰ／４となるようにし、平面部７をピッチＰの１
／２の幅になるように設定すれば、受光素子５ａ、５ｂ
からの出力信号Sa、Sbは、図１１に示すように可動スケ
ール４の位置変化に対して９０度位相のずれた周期Ｐの
繰り返し信号となる。この出力信号はＡ／Ｄ変換器によ
りＡ／Ｄ変換され、所定周期でＣＰＵに入力されて、後
述するアルゴリズムにより位置情報に変換される。

【０００７】図１２はＣＰＵの動作のフローチャート図
を示し、先ずステップ１で電源が投入されると、エンコ
ーダの基準位置を設定するリセット動作を行う。次に、
ステップ２でＣＰＵに出力信号Sa、Sbを入力する。ステ
ップ３でそれぞれの中心電圧を基準にして出力信号Sa、
Sbを反転し、信号Sa’、Sb’を得る。ここで、各信号の
位相関係は図１３(a) に示すように９０度相互にずれた
ものとなる。

【０００８】次に、ステップ４で図１３(a) に示した各
信号の大小関係により分けられるＡ〜Ｄの４つの領域の
内、現在どの領域に位置しているかを求め、ステップ５
で各領域中の直線性の良い信号を選択して信号Stとす
る。図１３(b) は信号Stを示し、例えばP1に位置した場
合は領域はＢでSt＝Saである。

【０００９】移動方向及び移動量は、前回の領域判別結
果と今回の領域判別結果とを比較することにより検出す
る。図１１、図１３のスケール位置で右方向を正の方向
とすると、ステップ６で領域遷移数をカウントし、更に
その下位に信号Stに対する信号の正規化した値Atを付け
加える。なお、ステップ６において、図１３(b) 中の領
域Ａや領域Ｃのように、信号Stが正方向への変化に伴い
減少する場合は、それぞれの中心値を基準に反転する必
要がある。例えば、図１３(b) のように前回の位置がP1
であり、今回の位置がP2であったとすると、領域は１だ
け図中右方向に遷移しており、領域カウンタを１インク
リメントし、信号St＝SaのＡ／Ｄ変換値を領域カウンタ
の下位に付け加える。最後に、ステップ７で今回の領域
判別結果を記憶する。

【００１０】これらのステップ２からステップ７の動作
を、リセット動作終了後に所定のサンプリング周期１／
fs（fsはサンプリング周波数）で継続して行うことによ
り、リセット動作で設定した基準位置からの相対位置を
検出することができる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】

(イ) しかしながら、上述の従来例の位置検出装置では、
検出可能な速度に制限がある。例えば、図１３(b) に示
すように前回の位置が領域ＢのP1であり、今回の位置が
領域ＤのP3であったとすると、ステップ４により領域Ｄ
と判別はできるが、P3の位置する領域ＤであるかP4の位
置する領域Ｄであるかを区別することはできない。この
ために、格子ピッチＰとサンプリング周波数fsにより検
出可能な速度Vaは、次式により制限されることになる。 Va＝Ｐ・fs／４ …(1)

【００１２】従って、外部から衝撃が加わって、測定対
象物が位置検出装置の検出可能速度Vaを越えた場合に
は、位置検出の出力は不正確なものとなる。

【００１３】(ロ) また、式(1) から分かるように、検出
可能速度Vaを大きくするには、格子ピッチＰ又はサンプ
リング周波数fsを大きくしなければならない。しかし、
格子ピッチＰの拡大は信号Stの直線性の影響で検出精度
の低下を招き、更にサンプリング周波数fsはＣＰＵの性
能に依存するので、その値を単純に大きくすることがで
きない。

【００１４】本発明の目的は、上述の問題点(イ) を解消
し、位置検出のための検出可能速度を越えるような衝撃
が測定対象物に加わった場合でも、正確な位置検出を行
うことができる位置検出装置を提供することにある。

【００１５】本発明の他の目的は、上述の問題点(ロ) を
解消し、格子ピッチ又はサンプリング周波数を大きくす
ることなく、検出可能な速度を向上させ得る位置検出装
置を提供することにある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係る位置検出装置は、測定対象物の相対位置
変化に伴って位相がずれた少なくとも２つの略正弦波信
号を発生する多相信号発生手段と、測定対象物の基準位
置をリセットして設定するリセット動作手段と、前記多
相信号発生手段の出力を所定の周期で取り込んで演算処
理する演算処理手段とを備え、前記リセット動作を行っ
た後に前記多相信号発生手段の出力信号を演算処理する
ことにより前記測定対象物の位置を検出する位置検出装
置において、再度前記リセット動作を行うか否かを決定
するリセット動作決定手段を設け、該リセット動作決定
手段の結果に従ってリセット動作を行うことを特徴とす
る。

【００１７】また、本発明に係る位置検出装置は、測定
対象物の相対位置変化に伴って位相がずれた少なくとも
２つの略正弦波信号を発生する多相信号発生手段と、測
定対象物の移動速度に比例した速度信号を出力する速度
信号発生手段と、前記多相信号発生手段の出力信号及び
前記速度信号発生手段の出力信号をＡ／Ｄ変換するＡ／
Ｄ変換手段と、該Ａ／Ｄ変換手段の出力を所定の周期で
取り込んで演算処理する演算処理手段とを備え、前記多
相信号発生手段の出力信号及び前記速度信号発生手段の
出力信号を演算処理することによって前記測定対象物の
位置を検出することを特徴とする。

【００１８】

【発明の実施の形態】本発明を図１〜図７に図示の実施
例に基づいて詳細に説明する。図１は第１の実施例の構
成図を示し、測定対象物の移動速度検出手段を併設し
て、その検出結果により異常を検知してリセット動作を
行うようにしたものである。測定対象物であるレンズ１
１にはアクチュエータ１２が接続され、レンズ１１に
は、その位置を検出する例えばボイスコイルモータや超
音波モータ等のエンコーダ１３と、レンズ１１の速度を
検出する速度検出器１４とが取り付けられている。エン
コーダ１３及び速度検出器１４の出力は、それぞれの検
出回路１５及び１６を介してＣＰＵ１７に接続されてお
り、検出回路１６とＣＰＵ１７の出力は、それぞれドラ
イバ１８を介してアクチュエータ１２に接続されてい
る。

【００１９】エンコーダ１３はレンズ１１の位置変化に
対して、位相のずれた複数の繰り返し周期波形の信号を
発生するものであり、発光素子や受光素子及び所定ピッ
チの三角溝を形成したスリットを用いた光学式のもの、
又は所定ピッチで多極着磁したマグネットとそれに対向
する磁気抵抗素子から成る磁気式のものを用いることが
できる。また、速度検出器１４は例えばレンズ１１にコ
イルを取り付け、図示しないレンズ鏡筒の固定部のコイ
ルに対向する位置にマグネットを取り付け、コイルの端
子間にその相対移動速度に比例した信号を発生するもの
が考えられる。

【００２０】更に、測定対象物であるレンズ１１の初期
位置の検出設定には、フォトインタラプタ等を用いた光
学的手段やホール素子等を用いた磁気的手段を併設し、
その出力変化位置を基準位置とする方式、又は測定対象
物の可動範囲を機械的に制限して機械端を設け、その機
械端位置を基準位置とする方式等を使用する。

【００２１】測定対象物であるレンズ１１の位置変化に
よって、エンコーダ１３の出力は検出回路１５により検
出され、図示しないＡ／Ｄ変換器を介してＣＰＵ１７に
検出信号Sa、Sbが入力される。また、レンズ１１の移動
速度は速度検出器１４で検出され、検出回路１６により
レンズ位置制御の安定化のためにドライバ１８に帰還さ
れ、更にレンズ１１の速度検出のために図示しないＡ／
Ｄ変換器を介してＣＰＵ１７に信号Svが入力される。

【００２２】図２は速度検出信号Svの出力特性を示し、
レンズ１１の速度が０の場合の速度検出信号はSv＝Soと
なり、正の方向に速度が発生すると速度検出信号SvはSo
を基準にして増加し、負の方向に速度が発生すると速度
検出信号SvはSoを基準にして減少する。

【００２３】図３はエンコーダ１３の出力Sa、Sb及び速
度検出器１４の速度検出信号Svを用いた位置検出アルゴ
リズムのフローチャート図を示す。先ず、ステップ１１
で電源が投入されると、リセット動作を行ってレンズ１
１の初期位置を検出し、エンコーダ１３の基準位置を設
定する。次に、ステップ１２において、所定の周期１／
fs（fsはサンプリング周波数）でエンコーダ１３の出力
信号Sa、Sb及び速度検出信号SvをＣＰＵ１７に入力す
る。ステップ１３で出力信号Sa、Sbによりレンズ１１の
基準位置からの相対位置変化量を求める。

【００２４】次に、ステップ１４で速度検出信号Svを予
め記憶しておいた速度リファレンス信号Svr1、Svr2と比
較して、レンズ１１の移動速度の大きさを判別する。Sv
r1＜Sv＜Svr2であればSw＝０とし、そうでなければSw＝
１とする。速度リファレンス信号Svr1、Svr2は、図２に
示すようにレンズ１１がエンコーダ１３の検出可能な速
度Vaで各方向に動作したときに発生する速度検出信号と
する。従って、ステップ１４の結果、Sw＝０であれば検
出可能な移動速度であり、Sw＝１であれば正確に検出で
きない移動速度であることになる。

【００２５】次に、ステップ１５でSw＝０であればステ
ップ１６に移行し、Sw＝１であればステップ１１のリセ
ット動作に移行する。ステップ１６では次回の位置検出
のために今回の位置検出結果を記憶し、ステップ１２に
移行する。

【００２６】このようにして、位置検出装置の検出可能
速度Vaを越えるような衝撃がレンズ１１に加わった場合
には、速度検出器１４の出力でそれを検知し、再度リセ
ット動作を行うようにすることにより、その後も正確な
位置検出を続行することができる。

【００２７】本実施例では、速度検出器の検出結果を基
にリセット動作を行っているが、加速度計を併設して、
その出力信号と、レンズ１１がエンコーダ１３の検出可
能な速度Vaで各方向に動作したときに発生する出力信号
とを比較して、リセット動作を行う構成にしてもよい。
この加速度計には、撮像装置の手ぶれ補正装置に用いる
ジャイロなどの角加速度センサを兼用することができ
る。また、エンコーダ１３は被測定物の位置変化でな
く、角度変化に対して位相のずれた繰り返し周期波形信
号を発するものでもよい。

【００２８】図４は第２の実施例の位置検出のフローチ
ャート図を示し、エンコーダ１３の位置検出をする際
に、移動速度検出手段の検出結果から移動方向を検出
し、その結果を用いるようにしたものである。装置の構
成は図１と同様であり、エンコーダ１３の構成は従来例
の図８と同様であるので、説明は省略する。

【００２９】先ず、ステップ２１において所定の周期１
／fsでエンコーダ出力信号Sa、Sb及び速度検出信号Svを
ＣＰＵ１７に入力する。ステップ２２で出力信号Sa、Sb
をそれぞれの中心電圧を基準に反転して信号Sa’、Sb’
を得る。各信号の位相関係は従来例の図１３(a) に示す
ように９０度相互にずれたものとなる。次に、ステップ
２３で図１３(a) の各信号の大小により分離されるＡ〜
Ｄの４つの領域の内、現在どの領域に位置しているかの
領域判別結果Sr1 を求め、ステップ２４で各領域中直線
性の良い信号を選択して信号Stとする。信号Stは従来例
の図１３(b) と同様に、例えば位置P1に位置した場合に
は、領域はＢでありSt＝Saである。

【００３０】次に、ステップ２５で速度検出信号Svを、
予め記憶しておいた速度０のときの出力レベルである速
度リファレンスと比較し、測定対象物であるレンズ１１
の移動方向を判別する。その結果が図１３(b) のＤ方向
であればSd＝１、そうでなければSd＝０とする。なお、
速度検出信号SvをＣＰＵ１７に取り込み方向判別をする
方式ではなく、比較器により速度検出信号Svと速度レフ
ァレンス信号Svr1、Svr2を比較し、その結果をＣＰＵ１
７に取り込むようにしてもよい。

【００３１】次に、ステップ２６で前回の領域判別結果
Sr2 と今回の領域判別結果Sr1 及び方向判別結果Sdによ
り相対移動量Ｘを求める。最後に、ステップ２７で今回
の領域判別結果Sr1 を記憶する。

【００３２】このように、ステップ２１からステップ２
７の動作を所定の位置リセット動作終了後に所定のサン
プリング周期１／fsで継続して行うことにより、リセッ
ト位置からの相対位置を検出することができる。

【００３３】図５は図４のステップ２６で相対移動量Ｘ
を求めるフローチャート図である。ここでは、現在位置
を図１３(b) 中の今回の領域判別結果Sr1 ＝Ｂ(P1)とし
て、ステップ２６を説明するが、Sr1 ＝Ａ、Ｃ、Ｄにお
いても同様のアルゴリズムで検出可能である。先ず、ス
テップ３１で今回の領域判別結果Sr1 を参照し、次にス
テップ３２で前回の領域判別結果Sr2 を参照する。ステ
ップ３２において、Sr2 ＝Ｂであれば領域カウント値Xh
はそのままでステップ３８に進む。また、ステップ３２
において、Sr2 ＝Ａであればステップ３３で領域カウン
ト値Xhを１インクリメントし、ステップ３８に進む。

【００３４】また、ステップ３２において、Sr2 ＝Ｃで
あればステップ３４で領域カウント値Xhを１デクリメン
トし、ステップ３８に進む。更にステップ３２におい
て、Sr2 ＝Ｄであればステップ３５で方向判別結果Sdを
参照して、ステップ３５でSd＝１であればステップ３６
領域カウント値Xhを２インクリメントし、Sd＝０であれ
ばステップ３７で領域カウント値Xhを２デクリメント
し、ステップ３８に進む。

【００３５】ステップ３８においては、領域カウント値
Xhの下位に信号Stに対する信号の正規化した値Xkを付け
加え、図１３(b) 中の領域Ａや領域Ｃのように、信号St
が正方向への変化に伴って減少する場合は、それぞれの
中心値を基準に反転する必要がある。

【００３６】このようにして、格子ピッチＰとサンプリ
ング周波数fsから検出可能な速度Vaは次式のようにな
る。 Va＝２・Ｐ・fs／４ …(2)

【００３７】従って、格子ピッチＰ又はサンプリング周
波数fsを大きくすることなく、検出可能な速度を向上さ
せることができる。

【００３８】図６は第３の実施例の位置検出のフローチ
ャート図を示し、移動速度検出手段の検出結果と、この
速度検出結果から求めた移動方向検出結果との両方を用
いるようにしたものである。本実施例の構成も第１の実
施例と同様なので説明は省略する。

【００３９】先ず、ステップ４１において、所定の周期
１／fsでエンコーダ出力信号Sa、Sb及び速度検出信号Sv
をＣＰＵ１７に入力する。ステップ４２で出力信号Sa、
Sbをそれぞれの中心電圧を基準にして反転し、信号S
a’、Sb’を得る。次に、ステップ４３で現在どの領域
に位置しているかの領域判別結果Sr1 を求め、ステップ
４４で各領域中で直線性の良い信号を選択して信号Stと
する。

【００４０】次に、ステップ４５で速度検出信号Svと、
予め記憶しておいた速度０のときの出力レベルである速
度リファレンス信号Svr1とを比較し、測定対象物である
レンズ１１の移動方向を判別する。その結果が、図１３
(b) のＤ方向であればSd＝１、そうでなければSd＝０と
する。次に、速度検出信号Svと速度リファレンス信号Sv
r1の差の速度絶対値Sva を求め、予め記憶しておいた所
定のリファレンス信号Svr2と比較し、ステップ４６で移
動速度の大きさを判別する。Sva ＞Svr2であればSw＝
１、Sva ＜Svr2であればSw＝０とする。ここで、所定の
リファレンス信号Svr2は測定対象物がサンプリング周期
１／fsで、スリットピッチＰの１／２だけ移動するとき
に発生する速度絶対値Sva とする。

【００４１】これにより、測定対象物がサンプリング周
期１／fsで移動した領域数２よりも大きければSw＝１、
小さければSw＝０となる。次に、ステップ４７で前回の
領域判別結果Sr2 、今回の領域判別結果Sr1 、方向判別
結果Sd、速度絶対値Sva により相対移動量Ｘを求める。
最後に、ステップ４８で今回の領域判別結果Sr1 をスト
アする。

【００４２】このように、ステップ４１からステップ４
８までの動作を、所定の位置リセット動作終了後に、所
定のサンプリング周期１／fsで継続して行うことによ
り、リセット位置からの相対位置を検出することができ
る。

【００４３】図７は図６のステップ４７で相対移動量Ｘ
を求めるフローチャート図を示す。なお、現在位置を図
１３(b) 中の今回の領域判別結果Sr1 ＝Ｂ(P1)としてス
テップ４７を説明するが、Sr1 ＝Ａ、Ｃ、Ｄにおいても
同様のアルゴリズムで検出可能である。

【００４４】先ず、ステップ５１で今回の領域判別結果
Sr1 を参照し、次にステップ５２で前回の領域判別結果
Sr2 を参照する。ステップ５２において、Sr2 ＝Ｂであ
ればステップ５３でSwを参照し、Sw＝０であれば領域カ
ウント値Xhはそのままでステップ６６に進む。また、Sw
＝１であればステップ５４で更に方向判別信号Sdを参照
し、Sd＝１であればステップ５５で領域カウント値Xhを
４インクリメントし、Sd＝０であればステップ５６で領
域カウント値Xhを４デクリメントし、ステップ６６に進
む。

【００４５】ステップ５２において、Sr2 ＝Ａであれば
ステップ５７でSwを参照し、Sw＝１であればステップ５
８で領域カウント値Xhを３デクリメントし、ステップ５
７でSw＝０であればステップ５９で領域カウント値Xhを
１インクリメントし、ステップ６６に進む。

【００４６】ステップ５２において、Sr2 ＝Ｃであれば
ステップ６０でSwを参照し、Sw＝１であればステップ６
１で領域カウント値Xhを３インクリメントし、ステップ
６０でSw＝０であればステップ６２で領域カウント値Xh
を１デクリメントし、ステップ６６に進む。

【００４７】ステップ５２において、Sr2 ＝Ｄであれば
ステップ６３で方向判別信号Sdを参照し、Sd＝１であれ
ばステップ６４で領域カウント値Xhを２インクリメント
し、ステップ６３でSd＝０であればステップ６５で領域
カウント値Xhを２デクリメントし、ステップ６６に進
む。

【００４８】また、ステップ６６においては、値Xhの下
位に信号Stに対する信号の正規化した値Xkを付け加え、
図１３(b) 中の領域Ａや領域Ｃのように、信号Stが正方
向への変化に伴い減少する場合は、それぞれの中心値を
基準に反転する必要がある。

【００４９】このようにして、格子ピッチＰとサンプリ
ング周波数fsで検出可能な速度Vaは次式となる。 Va＝４・Ｐ・fs／４ …(3)

【００５０】従って、格子ピッチＰ又はサンプリング周
波数fsを大きくすることなく、検出可能な速度を向上さ
せることができる。

【００５１】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係る位置検
出装置は、リセット動作決定手段を設けてリセット動作
を行うか否かを決定することにより、検出可能速度を越
えるような衝撃が測定対象物に加わった場合にも、再度
リセット動作を行うようにすることができるので、その
後も正確な位置検出を継続することができる。

【００５２】また、本発明に係る位置検出装置は、多相
信号発生手段の出力信号と速度信号発生手段の出力信号
を演算処理して測定対象物の位置を検出することによ
り、格子ピッチ又はサンプリング周波数を大きくするこ
となく、検出可能な移動速度を向上させることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施例の位置検出装置の構成図である。

【図２】速度検出器の出力特性のグラフ図である。

【図３】位置検出のフローチャート図である。

【図４】第２の実施例の位置検出のフローチャート図で
ある。

【図５】移動量検出のフローチャート図である。

【図６】第３の実施例の位置検出のフローチャート図で
ある。

【図７】移動量検出のフローチャート図である。

【図８】従来例のエンコーダの構成図である。

【図９】可動スケールの斜視図である。

【図１０】透過光束の説明図である。

【図１１】エンコーダの出力電圧のグラフ図である。

【図１２】位置検出のフローチャート図である。

【図１３】出力波形の位相関係のグラフ図である。

【符号の説明】

１１測定対象物１２アクチュエータ１３エンコーダ１４速度検出器１５、１６検出回路１７ＣＰＵ１８ドライバ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号ＦＩＧ０１Ｄ 5/36 Ｇ０１Ｄ 5/34 Ｑ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】測定対象物の相対位置変化に伴って位相
がずれた少なくとも２つの略正弦波信号を発生する多相
信号発生手段と、測定対象物の基準位置をリセットして
設定するリセット動作手段と、前記多相信号発生手段の
出力を所定の周期で取り込んで演算処理する演算処理手
段とを備え、前記リセット動作を行った後に前記多相信
号発生手段の出力信号を演算処理することにより前記測
定対象物の位置を検出する位置検出装置において、再度
前記リセット動作を行うか否かを決定するリセット動作
決定手段を設け、該リセット動作決定手段の結果に従っ
てリセット動作を行うことを特徴とする位置検出装置。
【請求項２】前記演算処理手段は前記少なくとも２つ
の略正弦波信号を結合し信号周期を複数の領域に分割し
て、測定対象物が位置する領域を求める請求項１に記載
の位置検出装置。
【請求項３】前記リセット動作決定手段は併設した速
度信号発生手段の出力信号と予め記憶した所定の値とを
比較し、その結果を基に再度前記リセット動作を行うか
否かを決定する請求項１又は２記載の位置検出装置。
【請求項４】前記リセット動作決定手段は併設した加
速度信号発生手段の出力信号と予め記憶した所定の値と
を比較し、その結果を基に再度前記リセット動作を行う
か否かを決定する請求項１又は２記載の位置検出装置。
【請求項５】測定対象物の相対位置変化に伴って位相
がずれた少なくとも２つの略正弦波信号を発生する多相
信号発生手段と、測定対象物の移動速度に比例した速度
信号を出力する速度信号発生手段と、前記多相信号発生
手段の出力信号及び前記速度信号発生手段の出力信号を
Ａ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換手段と、該Ａ／Ｄ変換手段の
出力を所定の周期で取り込んで演算処理する演算処理手
段とを備え、前記多相信号発生手段の出力信号及び前記
速度信号発生手段の出力信号を演算処理することによっ
て前記測定対象物の位置を検出することを特徴とする位
置検出装置。
【請求項６】前記演算処理手段は前記少なくとも２つ
の略正弦波信号を結合して信号周期を複数の領域に分割
し、前記速度信号から求めた移動方向を基に測定対象物
が位置する領域を求める請求項５に記載の位置検出装
置。
【請求項７】前記演算処理手段は前記少なくとも２つ
の略正弦波信号を結合して信号周期を複数の領域に分割
し、前記速度信号から求めた移動方向及び速度絶対値を
基に測定対象物が位置する領域を求める請求項５に記載
の位置検出装置。