JPH1137516A - 恒温液循環装置におけるメンテナンス事前予測システム - Google Patents
恒温液循環装置におけるメンテナンス事前予測システムInfo
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- JPH1137516A JPH1137516A JP9203842A JP20384297A JPH1137516A JP H1137516 A JPH1137516 A JP H1137516A JP 9203842 A JP9203842 A JP 9203842A JP 20384297 A JP20384297 A JP 20384297A JP H1137516 A JPH1137516 A JP H1137516A
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- B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
- B23Q11/14—Methods or arrangements for maintaining a constant temperature in parts of machine tools
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
- B23Q11/14—Methods or arrangements for maintaining a constant temperature in parts of machine tools
- B23Q11/141—Methods or arrangements for maintaining a constant temperature in parts of machine tools using a closed fluid circuit for cooling or heating
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- F25D17/00—Arrangements for circulating cooling fluids; Arrangements for circulating gas, e.g. air, within refrigerated spaces
- F25D17/02—Arrangements for circulating cooling fluids; Arrangements for circulating gas, e.g. air, within refrigerated spaces for circulating liquids, e.g. brine
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 恒温液循環装置において、メンテナンスを必
要とする部位と時期を不調発生前に察知して、装置のダ
ウンタイムを最短にしたメンテナンス事前予測システム
を提供する。 【解決手段】 負荷に対して恒温の冷媒液を循環して供
給する恒温液循環装置において、当該装置内の各部に、
各種状態量を継続的にモニタリングするためのセンサ類
を備える。それらのセンサ類の出力として得られる装置
内各部の状態量から、メンテナンスを要する部位と時期
を察知し、装置が故障または不調に至る以前に警報を発
する警報手段を備える。
要とする部位と時期を不調発生前に察知して、装置のダ
ウンタイムを最短にしたメンテナンス事前予測システム
を提供する。 【解決手段】 負荷に対して恒温の冷媒液を循環して供
給する恒温液循環装置において、当該装置内の各部に、
各種状態量を継続的にモニタリングするためのセンサ類
を備える。それらのセンサ類の出力として得られる装置
内各部の状態量から、メンテナンスを要する部位と時期
を察知し、装置が故障または不調に至る以前に警報を発
する警報手段を備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、負荷に恒温の冷媒
液を供給する恒温液循環装置において、メンテナンスを
事前予測して警報するシステムに関するものである。
液を供給する恒温液循環装置において、メンテナンスを
事前予測して警報するシステムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば半導体の製造装置のように、恒温
部を有する各種機械装置においては、該装置の恒温部
（負荷）に恒温の冷媒液を連続的に供給し、負荷を所定
の温度に維持する必要があり、そのため、恒温液循環装
置を備え、この恒温液循環装置から恒温の冷媒液を供給
し、負荷において温度が上昇した冷媒液を恒温液循環装
置に還流させ、恒温液循環装置においては、熱交換器で
冷却した後にヒータで加熱して所定の温度の冷媒液と
し、この冷媒液を負荷に循環的に供給するようにしてい
る。
部を有する各種機械装置においては、該装置の恒温部
（負荷）に恒温の冷媒液を連続的に供給し、負荷を所定
の温度に維持する必要があり、そのため、恒温液循環装
置を備え、この恒温液循環装置から恒温の冷媒液を供給
し、負荷において温度が上昇した冷媒液を恒温液循環装
置に還流させ、恒温液循環装置においては、熱交換器で
冷却した後にヒータで加熱して所定の温度の冷媒液と
し、この冷媒液を負荷に循環的に供給するようにしてい
る。
【０００３】この恒温液循環装置は、上述したところか
らわかるように、上記半導体製造装置ばかりでなく、温
度制御が必要とされる各種産業分野の機械装置（親装
置）に付設し、その動作を支援するものであり、そのた
め、この恒温液循環装置の故障や動作不良は、それを付
設した親装置の停止にもつながり、多大の損失を発生さ
せる可能性がある。
らわかるように、上記半導体製造装置ばかりでなく、温
度制御が必要とされる各種産業分野の機械装置（親装
置）に付設し、その動作を支援するものであり、そのた
め、この恒温液循環装置の故障や動作不良は、それを付
設した親装置の停止にもつながり、多大の損失を発生さ
せる可能性がある。
【０００４】即ち、一般に、上記恒温液循環装置は、負
荷から還流した冷媒液を熱交換器において冷却するため
の冷却回路部と、該熱交換器において冷却した冷媒液を
所定の温度に加熱調節して送出する循環回路部と、それ
らを動作させるための機器とを備え、上記冷却回路部と
循環回路部及びそれらを動作させる機器の構成要素は多
数の部品から構成されている。そして、それらの構成部
品の一つでも不調になると、恒温液循環装置自体に故障
や動作不良が発生する可能性があるばかりでなく、当該
装置が付設されている親装置の作動不良や運転停止に至
り、極端な場合には親装置の故障の原因になる。
荷から還流した冷媒液を熱交換器において冷却するため
の冷却回路部と、該熱交換器において冷却した冷媒液を
所定の温度に加熱調節して送出する循環回路部と、それ
らを動作させるための機器とを備え、上記冷却回路部と
循環回路部及びそれらを動作させる機器の構成要素は多
数の部品から構成されている。そして、それらの構成部
品の一つでも不調になると、恒温液循環装置自体に故障
や動作不良が発生する可能性があるばかりでなく、当該
装置が付設されている親装置の作動不良や運転停止に至
り、極端な場合には親装置の故障の原因になる。
【０００５】従って、恒温液循環装置に不調が発生しな
いように配慮する必要があると同時に、そのような不調
状態になる前の予防保全措置が重要になるが、当該恒温
液循環装置を使用する側としては、コスト上昇を避ける
意味から継続的な装置の監視は行わない傾向にある。し
かしながら、当該装置も、時間の経過に伴って発生する
部品の消耗や劣化を避けることができず、結果的に部品
の寿命や故障は避けられないものである。そこで、恒温
液循環装置が不調状態になってから原因調査や部品交換
などの処理に着手するという事後処理を行わなければな
らず、復旧するまでの時間が長くなり、その間に多大の
損失が生じることになる。
いように配慮する必要があると同時に、そのような不調
状態になる前の予防保全措置が重要になるが、当該恒温
液循環装置を使用する側としては、コスト上昇を避ける
意味から継続的な装置の監視は行わない傾向にある。し
かしながら、当該装置も、時間の経過に伴って発生する
部品の消耗や劣化を避けることができず、結果的に部品
の寿命や故障は避けられないものである。そこで、恒温
液循環装置が不調状態になってから原因調査や部品交換
などの処理に着手するという事後処理を行わなければな
らず、復旧するまでの時間が長くなり、その間に多大の
損失が生じることになる。
【０００６】このような問題に対処するシステムとし
て、従来から、「リモートメンテナンス」と呼ばれてい
るシステムがある。これは、装置の運転状態を各種セン
サ類で監視して、故障や不調発生の場合にその状態を電
話回線で指定場所に送信し、速やかにサービスマンが出
動し修理を行うというシステムである。しかしながら、
このシステムも、恒温液循環装置が故障または不調状態
になったことを検出してから復旧処理に着手するという
事後処理を、ある程度迅速化したに過ぎないものであ
る。
て、従来から、「リモートメンテナンス」と呼ばれてい
るシステムがある。これは、装置の運転状態を各種セン
サ類で監視して、故障や不調発生の場合にその状態を電
話回線で指定場所に送信し、速やかにサービスマンが出
動し修理を行うというシステムである。しかしながら、
このシステムも、恒温液循環装置が故障または不調状態
になったことを検出してから復旧処理に着手するという
事後処理を、ある程度迅速化したに過ぎないものであ
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、上述した恒温液循環装置において、メンテナンスを
必要とする部位と時期を不調発生前に察知して、装置の
ダウンタイムを最短にすることにある。
は、上述した恒温液循環装置において、メンテナンスを
必要とする部位と時期を不調発生前に察知して、装置の
ダウンタイムを最短にすることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の恒温液循環装置におけるメンテナンス事前予
測システムは、負荷に対して恒温の冷媒液を循環して供
給するための前記恒温液循環装置において、当該装置内
の各部に、各種状態量を継続的にモニタリングするため
のセンサ類を備え、それらのセンサ類の出力として得ら
れる装置内各部の状態量から、メンテナンスを要する部
位と時期を察知し、故障または不調に至る以前に警報を
発する警報手段を備えたことを特徴とするものである。
の本発明の恒温液循環装置におけるメンテナンス事前予
測システムは、負荷に対して恒温の冷媒液を循環して供
給するための前記恒温液循環装置において、当該装置内
の各部に、各種状態量を継続的にモニタリングするため
のセンサ類を備え、それらのセンサ類の出力として得ら
れる装置内各部の状態量から、メンテナンスを要する部
位と時期を察知し、故障または不調に至る以前に警報を
発する警報手段を備えたことを特徴とするものである。
【０００９】上記メンテナンス事前予測システムの好ま
しい実施の形態においては、各種状態量を継続的にモニ
タリングするセンサ類として、各部の温度、電気的駆動
部分の電流値、冷媒の圧力、冷媒の流量等を含む状態量
の変化を検出するセンサを恒温液循環装置に設置し、そ
れらのセンサ類の出力として得られる装置内各部の状態
量の変化から、メンテナンスを要する部位と時期を察知
して警報を発する警報手段を備え、あるいは、上記セン
サ類として、弁を含む機械的動作部分の作動回数、及び
ヒータの通電時間の積算値を検出するためのセンシング
手段を恒温液循環装置に設置し、それらのセンサ類の出
力として得られる装置内各部の状態量から、メンテナン
スを要する部位と時期を察知して警報を発する警報手段
を備えたものとして構成される。
しい実施の形態においては、各種状態量を継続的にモニ
タリングするセンサ類として、各部の温度、電気的駆動
部分の電流値、冷媒の圧力、冷媒の流量等を含む状態量
の変化を検出するセンサを恒温液循環装置に設置し、そ
れらのセンサ類の出力として得られる装置内各部の状態
量の変化から、メンテナンスを要する部位と時期を察知
して警報を発する警報手段を備え、あるいは、上記セン
サ類として、弁を含む機械的動作部分の作動回数、及び
ヒータの通電時間の積算値を検出するためのセンシング
手段を恒温液循環装置に設置し、それらのセンサ類の出
力として得られる装置内各部の状態量から、メンテナン
スを要する部位と時期を察知して警報を発する警報手段
を備えたものとして構成される。
【００１０】このような構成を有するメンテナンス事前
予測システムにおいては、負荷に対して恒温の冷媒液を
循環して供給するための前記恒温液循環装置において、
当該装置内の各部における温度、電気的駆動部分の電流
値、冷媒の圧力及び冷媒の流量等を含む各種状態量を検
出するセンサ類により、それらの状態量の変化を継続的
にモニタリングし、あるいは、弁を含む機械的動作部分
の作動回数、及びヒータの通電時間の積算値を検出する
センサ類により、それらの状態量をモニタリングし、そ
れらのセンサ類の出力に基づいてメンテナンスを要する
部位と時期を察知し、恒温液循環装置が故障または不調
状態になったことを検出してからという事後処理の対応
ではなく、その故障または不調に至る以前に警報手段に
より警報を発し、メンテナンスを促すことができる。こ
の警報は、恒温液循環装置の動作表示部だけでなく、親
装置や制御室の動作表示部、更には電話回線により遠隔
地へも送信することができる。そのため、メンテナンス
を必要とする部位と時期を不調発生前に察知し、装置の
ダウンタイムを最短にすることが可能になる。
予測システムにおいては、負荷に対して恒温の冷媒液を
循環して供給するための前記恒温液循環装置において、
当該装置内の各部における温度、電気的駆動部分の電流
値、冷媒の圧力及び冷媒の流量等を含む各種状態量を検
出するセンサ類により、それらの状態量の変化を継続的
にモニタリングし、あるいは、弁を含む機械的動作部分
の作動回数、及びヒータの通電時間の積算値を検出する
センサ類により、それらの状態量をモニタリングし、そ
れらのセンサ類の出力に基づいてメンテナンスを要する
部位と時期を察知し、恒温液循環装置が故障または不調
状態になったことを検出してからという事後処理の対応
ではなく、その故障または不調に至る以前に警報手段に
より警報を発し、メンテナンスを促すことができる。こ
の警報は、恒温液循環装置の動作表示部だけでなく、親
装置や制御室の動作表示部、更には電話回線により遠隔
地へも送信することができる。そのため、メンテナンス
を必要とする部位と時期を不調発生前に察知し、装置の
ダウンタイムを最短にすることが可能になる。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１は、本発明に係るメンテナン
ス事前予測システムを装備する恒温液循環装置の一例を
示している。この恒温液循環装置は、基本的には、各種
機械装置における恒温部（負荷）に対して恒温の冷媒液
を循環して連続的に供給するための装置であり、主とし
て、負荷から還流した冷媒液を熱交換器において冷却す
るための冷却回路部と、該熱交換器において冷却した冷
媒液を所定の温度に加熱調節して送出する循環回路部
と、それらを動作させるための各種機器、例えば、起動
スイッチや冷媒液の温度を設定する温度設定器の他に、
現に動作している状態を表示する動作表示装置を含む入
力／表示装置、一連の動作や各種の制御をするシーケン
サ、各種電装品を含む電装機器等を備えている。
ス事前予測システムを装備する恒温液循環装置の一例を
示している。この恒温液循環装置は、基本的には、各種
機械装置における恒温部（負荷）に対して恒温の冷媒液
を循環して連続的に供給するための装置であり、主とし
て、負荷から還流した冷媒液を熱交換器において冷却す
るための冷却回路部と、該熱交換器において冷却した冷
媒液を所定の温度に加熱調節して送出する循環回路部
と、それらを動作させるための各種機器、例えば、起動
スイッチや冷媒液の温度を設定する温度設定器の他に、
現に動作している状態を表示する動作表示装置を含む入
力／表示装置、一連の動作や各種の制御をするシーケン
サ、各種電装品を含む電装機器等を備えている。
【００１２】上記恒温液循環装置における冷却回路部
は、一般に、冷媒を圧縮して高温高圧のガスとする圧縮
機１１と、このガスを冷却凝縮して高圧の冷媒（液）と
する凝縮器１２と、この冷媒を減圧する減圧器（減圧
弁）１３と、そこで減圧した冷媒を蒸発させて低温化す
る蒸発器１４と、アキュムレータ１５とを、順次直列に
接続したものとして構成される。更に、上記冷却回路部
は、蒸発器１４の負荷が大きいときに圧縮機１１で圧縮
した冷媒を直接アキュムレータ１５に還流させる過熱防
止回路１６と、該回路中の過熱防止弁１６ａとを備え、
過熱防止弁１６ａがアキュムレータ１５の上流の冷媒温
度を検出する温度センサ１６ｂによって過熱防止回路１
６を開閉するものとすることができる。
は、一般に、冷媒を圧縮して高温高圧のガスとする圧縮
機１１と、このガスを冷却凝縮して高圧の冷媒（液）と
する凝縮器１２と、この冷媒を減圧する減圧器（減圧
弁）１３と、そこで減圧した冷媒を蒸発させて低温化す
る蒸発器１４と、アキュムレータ１５とを、順次直列に
接続したものとして構成される。更に、上記冷却回路部
は、蒸発器１４の負荷が大きいときに圧縮機１１で圧縮
した冷媒を直接アキュムレータ１５に還流させる過熱防
止回路１６と、該回路中の過熱防止弁１６ａとを備え、
過熱防止弁１６ａがアキュムレータ１５の上流の冷媒温
度を検出する温度センサ１６ｂによって過熱防止回路１
６を開閉するものとすることができる。
【００１３】一方、上記循環回路部は、負荷によって温
度が上昇して還流した冷媒液を上記低温化した蒸発器１
４との間で熱交換して冷却する熱交換器２１と、ヒータ
２３を組み込んだ冷媒液のタンク２２と、ヒータ２３で
所定の温度に加熱された冷媒液を負荷に供給して循環さ
せるポンプ２４とを備え、それらを順次直列に接続した
ものとして構成される。そのため、負荷によって温度が
上昇した冷媒液は、熱交換器２１に設けた蒸発器１４を
流れる冷却回路部の冷媒によって冷却される。
度が上昇して還流した冷媒液を上記低温化した蒸発器１
４との間で熱交換して冷却する熱交換器２１と、ヒータ
２３を組み込んだ冷媒液のタンク２２と、ヒータ２３で
所定の温度に加熱された冷媒液を負荷に供給して循環さ
せるポンプ２４とを備え、それらを順次直列に接続した
ものとして構成される。そのため、負荷によって温度が
上昇した冷媒液は、熱交換器２１に設けた蒸発器１４を
流れる冷却回路部の冷媒によって冷却される。
【００１４】また、タンク２２の出口近くに、その冷媒
液の温度を検出して信号として出力する温度センサ２５
を備えると共に、その出力信号に基づいてヒータ２３へ
の通電量を制御する温度コントローラ２６を循環回路部
に付設し、この温度コントローラ２６において、温度セ
ンサ２５が検出した温度を予め設定した冷媒液の設定温
度と対比して、ヒータ２３への通電量、即ちタンク２２
における加熱量を制御するようにしている。
液の温度を検出して信号として出力する温度センサ２５
を備えると共に、その出力信号に基づいてヒータ２３へ
の通電量を制御する温度コントローラ２６を循環回路部
に付設し、この温度コントローラ２６において、温度セ
ンサ２５が検出した温度を予め設定した冷媒液の設定温
度と対比して、ヒータ２３への通電量、即ちタンク２２
における加熱量を制御するようにしている。
【００１５】上記恒温液循環装置においては、メンテナ
ンスの事前予測のため、当該装置内の各部に、各種状態
量を継続的にモニタリングするためのセンサ類を備えて
いる。これらのセンサ類としては、冷却回路部及び循環
回路部の各部の温度を検出する温度センサ、圧縮機１１
やポンプ２４を駆動するモータその他の電気的駆動部分
の電流値を検出する電流センサ、冷却回路部及び循環回
路部の冷媒流路の各部における冷媒や冷媒液の圧力を検
出する圧力センサ、循環回路部の冷媒流路における冷媒
液の流量を検出する流量センサ、あるいは、その他の恒
温液循環装置の不調を予知するのに有効な状態量の変化
を検出する各種センサを、恒温液循環装置における必要
個所に設置することができる。また、上記センサ類とし
て、冷却回路部及び循環回路部等において用いられてい
る電磁弁を含む機械的動作部分の作動回数を計数する計
数器、ヒータ２３の通電時間の積算値を求める積算計、
各種消耗部品が寿命に達したことを検知するための使用
時間の積算計等のセンシング手段を用いることもでき
る。
ンスの事前予測のため、当該装置内の各部に、各種状態
量を継続的にモニタリングするためのセンサ類を備えて
いる。これらのセンサ類としては、冷却回路部及び循環
回路部の各部の温度を検出する温度センサ、圧縮機１１
やポンプ２４を駆動するモータその他の電気的駆動部分
の電流値を検出する電流センサ、冷却回路部及び循環回
路部の冷媒流路の各部における冷媒や冷媒液の圧力を検
出する圧力センサ、循環回路部の冷媒流路における冷媒
液の流量を検出する流量センサ、あるいは、その他の恒
温液循環装置の不調を予知するのに有効な状態量の変化
を検出する各種センサを、恒温液循環装置における必要
個所に設置することができる。また、上記センサ類とし
て、冷却回路部及び循環回路部等において用いられてい
る電磁弁を含む機械的動作部分の作動回数を計数する計
数器、ヒータ２３の通電時間の積算値を求める積算計、
各種消耗部品が寿命に達したことを検知するための使用
時間の積算計等のセンシング手段を用いることもでき
る。
【００１６】恒温液循環装置に設置した上記センサ類
は、その出力として得られる装置内各部の状態量が、任
意の位置に設置した警報手段に送られる。この警報手段
は、上記センサ類により得られた状態量またはその状態
量の変化に基づき、メンテナンスを要する部位と時期を
察知し、故障または不調に至る以前に必要な警報を発す
る演算制御装置により構成されるものであり、そのた
め、この警報手段には、前記温度センサ、電流センサ、
圧力センサ、流量センサにおいて検出される各データに
ついての適正値の範囲、不調になる可能性が生じる上限
値や下限値等を予め保持させておくとか、不調と判断す
るための基準を保持させておく必要がある。機械的動作
部分の作動限度回数、ヒータ２３の通電時間や各種消耗
部品の使用時間等の限界値についても同様である。
は、その出力として得られる装置内各部の状態量が、任
意の位置に設置した警報手段に送られる。この警報手段
は、上記センサ類により得られた状態量またはその状態
量の変化に基づき、メンテナンスを要する部位と時期を
察知し、故障または不調に至る以前に必要な警報を発す
る演算制御装置により構成されるものであり、そのた
め、この警報手段には、前記温度センサ、電流センサ、
圧力センサ、流量センサにおいて検出される各データに
ついての適正値の範囲、不調になる可能性が生じる上限
値や下限値等を予め保持させておくとか、不調と判断す
るための基準を保持させておく必要がある。機械的動作
部分の作動限度回数、ヒータ２３の通電時間や各種消耗
部品の使用時間等の限界値についても同様である。
【００１７】上記構成を有するメンテナンス事前予測シ
ステムにおいては、恒温液循環装置内の各部における温
度、電気的駆動部分の電流値、冷媒や冷却液の圧力及び
冷媒液の流量等を含む各種状態量を検出するセンサ類、
あるいは、弁を含む機械的動作部分の作動回数、ヒータ
等の通電時間の積算値を検出するセンサ類により、各種
の状態量をモニタリングし、それらのセンサ類の出力に
基づき、警報手段においてメンテナンスを要する部位と
時期を察知し、恒温液循環装置が故障または不調状態に
なってからという事後処理の対応ではなく、その故障ま
たは不調に至る以前に警報を発し、作業者やサービスマ
ンによるメンテナンスを促すものである。その際、もち
ろん、装置から検出データを直接フロッピーディスク等
の記憶媒体に記録することもできる。この警報は、恒温
液循環装置の動作表示部だけでなく、親装置や制御室の
動作表示部に、点灯や警報音、文字等により表示するこ
とができ、更には電話回線により遠隔地のメンテナンス
会社へ送信し、警報することができる。
ステムにおいては、恒温液循環装置内の各部における温
度、電気的駆動部分の電流値、冷媒や冷却液の圧力及び
冷媒液の流量等を含む各種状態量を検出するセンサ類、
あるいは、弁を含む機械的動作部分の作動回数、ヒータ
等の通電時間の積算値を検出するセンサ類により、各種
の状態量をモニタリングし、それらのセンサ類の出力に
基づき、警報手段においてメンテナンスを要する部位と
時期を察知し、恒温液循環装置が故障または不調状態に
なってからという事後処理の対応ではなく、その故障ま
たは不調に至る以前に警報を発し、作業者やサービスマ
ンによるメンテナンスを促すものである。その際、もち
ろん、装置から検出データを直接フロッピーディスク等
の記憶媒体に記録することもできる。この警報は、恒温
液循環装置の動作表示部だけでなく、親装置や制御室の
動作表示部に、点灯や警報音、文字等により表示するこ
とができ、更には電話回線により遠隔地のメンテナンス
会社へ送信し、警報することができる。
【００１８】上述した各種センサ類の出力またはその出
力の変化から予測される恒温液循環装置の不調について
例示すると、次の通りである。 （１） 冷媒、冷媒液、凝縮器冷却水の温度データの変化：能力の変化 （２） 各部モータの電流値の変化 ：モータの寿命 （３） 電磁弁のオン・オフ回数が限界値に到達 ：電磁弁の寿命 （４） ヒータの通電時間が限界値に到達 ：ヒータの寿命 （５） 冷媒圧力の低下 ：ガス漏れ発生等
力の変化から予測される恒温液循環装置の不調について
例示すると、次の通りである。 （１） 冷媒、冷媒液、凝縮器冷却水の温度データの変化：能力の変化 （２） 各部モータの電流値の変化 ：モータの寿命 （３） 電磁弁のオン・オフ回数が限界値に到達 ：電磁弁の寿命 （４） ヒータの通電時間が限界値に到達 ：ヒータの寿命 （５） 冷媒圧力の低下 ：ガス漏れ発生等
【００１９】次に、図２の（Ａ）（Ｂ）及び図３を参照
し、タンク２２に設置した温度センサ２５から得られる
温度データに基づいて冷却能力の経時的変化を検知し、
その変化から動作不調を判断する場合について説明す
る。いま、恒温液循環装置における冷却能力のデータ
（温度センサ２５の出力）が図２（Ａ）に模式的に示す
ような正常な特性を有していたのが、同図（Ｂ）に模式
的に示すような特性に変化したとする。即ち、この
（Ａ）（Ｂ）の特性の変化からすれば、冷媒液の温度変
化の周期がＴ1 からＴ2 に伸びたことになる。
し、タンク２２に設置した温度センサ２５から得られる
温度データに基づいて冷却能力の経時的変化を検知し、
その変化から動作不調を判断する場合について説明す
る。いま、恒温液循環装置における冷却能力のデータ
（温度センサ２５の出力）が図２（Ａ）に模式的に示す
ような正常な特性を有していたのが、同図（Ｂ）に模式
的に示すような特性に変化したとする。即ち、この
（Ａ）（Ｂ）の特性の変化からすれば、冷媒液の温度変
化の周期がＴ1 からＴ2 に伸びたことになる。
【００２０】上述した図２の（Ａ）（Ｂ）に示すような
温度データが得られた場合には、警報手段を構成する演
算制御装置において、図３のフローチャートに示すよう
な判断を行わせて警報させ、恒温液循環装置のメンテナ
ンスを事前予測することができる。他のセンサ類におい
て検出されたデータが適正値の範囲を逸脱し、不調にな
る可能性のある上限値や下限値を越えた場合や、不調と
判断するための判断基準を逸脱した場合、また、機械的
動作部分の作動回数が作動限度を越えたり、ヒータや各
種消耗部品の使用時間が限界値を越えた場合について
も、同種の判断により警報を発することになる。
温度データが得られた場合には、警報手段を構成する演
算制御装置において、図３のフローチャートに示すよう
な判断を行わせて警報させ、恒温液循環装置のメンテナ
ンスを事前予測することができる。他のセンサ類におい
て検出されたデータが適正値の範囲を逸脱し、不調にな
る可能性のある上限値や下限値を越えた場合や、不調と
判断するための判断基準を逸脱した場合、また、機械的
動作部分の作動回数が作動限度を越えたり、ヒータや各
種消耗部品の使用時間が限界値を越えた場合について
も、同種の判断により警報を発することになる。
【００２１】このように、上記メンテナンス事前予測シ
ステムにおいては、メンテナンスを必要とする部位と時
期を不調発生前に察知し、作業者やサービスマンに通報
して故障や動作不良が発生しないようにするため、恒温
液循環装置が不調状態になってから原因調査や部品交換
などの処理に着手するという事後処理とは異なり、殆ど
恒温液循環装置やそれを付設した親装置を停止させるこ
となく、不調発生が予測される部分を復旧させることが
でき、しかも、不調になる可能性がある部位自体も動作
したセンサの出力に基づく警報により知ることができる
ので、メンテナンスに要する時間も短く、装置の停止に
よる損失を極端に少なくすることが可能になる。
ステムにおいては、メンテナンスを必要とする部位と時
期を不調発生前に察知し、作業者やサービスマンに通報
して故障や動作不良が発生しないようにするため、恒温
液循環装置が不調状態になってから原因調査や部品交換
などの処理に着手するという事後処理とは異なり、殆ど
恒温液循環装置やそれを付設した親装置を停止させるこ
となく、不調発生が予測される部分を復旧させることが
でき、しかも、不調になる可能性がある部位自体も動作
したセンサの出力に基づく警報により知ることができる
ので、メンテナンスに要する時間も短く、装置の停止に
よる損失を極端に少なくすることが可能になる。
【００２２】
【発明の効果】以上に詳述した本発明のメンテナンス事
前予測システムによれば、前述した恒温液循環装置にお
いて、メンテナンスを必要とする部位と時期を不調発生
前に察知して、装置のダウンタイムを最短にすることが
できる。
前予測システムによれば、前述した恒温液循環装置にお
いて、メンテナンスを必要とする部位と時期を不調発生
前に察知して、装置のダウンタイムを最短にすることが
できる。
【図１】本発明に係るメンテナンス事前予測システムを
装備する恒温液循環装置のブロック構成図である。
装備する恒温液循環装置のブロック構成図である。
【図２】（Ａ）及び（Ｂ）は、恒温液循環装置における
温度センサの出力の変化を模式的に示す説明図である。
温度センサの出力の変化を模式的に示す説明図である。
【図３】図２の温度センサ出力の変化に応じて警報手段
により警報内容を判断させる場合のフローチャートであ
る。
により警報内容を判断させる場合のフローチャートであ
る。
１１ 圧縮器 １２ 凝縮器 １３ 減圧器 １４ 蒸発器 ２１ 熱交換器 ２２ タンク ２３ ヒータ ２４ ポンプ
Claims (3)
- 【請求項１】負荷から還流した冷媒液を熱交換器におい
て冷却するための冷却回路部と、該熱交換器において冷
却した冷媒液を所定の温度に加熱調節して送出する循環
回路部と、それらを動作させるための機器とを備え、負
荷に対して恒温の冷媒液を循環して供給するための恒温
液循環装置において、 当該装置内の各部に、各種状態量を継続的にモニタリン
グするためのセンサ類を備え、 それらのセンサ類の出力として得られる装置内各部の状
態量から、メンテナンスを要する部位と時期を察知し、
故障または不調に至る以前に警報を発する警報手段を備
えた、ことを特徴とする恒温液循環装置におけるメンテ
ナンス事前予測システム。 - 【請求項２】各種状態量を継続的にモニタリングするセ
ンサ類として、各部の温度、電気的駆動部分の電流値、
冷媒の圧力、冷媒の流量を含む状態量の変化を検出する
センサを恒温液循環装置に設置し、 それらのセンサ類の出力として得られる装置内各部の状
態量の変化から、メンテナンスを要する部位と時期を察
知して警報を発する警報手段を備えた、ことを特徴とす
る請求項１に記載の恒温液循環装置におけるメンテナン
ス事前予測システム。 - 【請求項３】各種状態量を継続的にモニタリングするセ
ンサ類として、弁を含む機械的動作部分の作動回数、及
びヒータの通電時間の積算値を検出するためのセンシン
グ手段を恒温液循環装置に設置し、 それらのセンサ類の出力として得られる装置内各部の状
態量から、メンテナンスを要する部位と時期を察知して
警報を発する警報手段を備えた、ことを特徴とする請求
項１に記載の恒温液循環装置におけるメンテナンス事前
予測システム。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9203842A JPH1137516A (ja) | 1997-07-14 | 1997-07-14 | 恒温液循環装置におけるメンテナンス事前予測システム |
| EP98305271A EP0892231A3 (en) | 1997-07-14 | 1998-07-02 | Maintenance pre-prediction system in isothermal-liquid circulating apparatus |
| KR1019980027820A KR19990013757A (ko) | 1997-07-14 | 1998-07-10 | 항온액 순환장치에 있어서 유지보수 사전예측시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9203842A JPH1137516A (ja) | 1997-07-14 | 1997-07-14 | 恒温液循環装置におけるメンテナンス事前予測システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1137516A true JPH1137516A (ja) | 1999-02-12 |
Family
ID=16480611
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9203842A Pending JPH1137516A (ja) | 1997-07-14 | 1997-07-14 | 恒温液循環装置におけるメンテナンス事前予測システム |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0892231A3 (ja) |
| JP (1) | JPH1137516A (ja) |
| KR (1) | KR19990013757A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003214749A (ja) * | 2002-01-14 | 2003-07-30 | Smc Corp | 比例制御弁を備える恒温液体循環装置におけるメンテナンスの必要性を予測する予測システム |
| JP2011174685A (ja) * | 2010-02-25 | 2011-09-08 | Nakano Refrigerators Co Ltd | ガス漏れ検知方法 |
| CN104345232A (zh) * | 2013-08-01 | 2015-02-11 | 通用设备和制造公司 | 用于预测螺线管线圈的寿命的方法和装置 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3150117B2 (ja) * | 1998-11-27 | 2001-03-26 | エスエムシー株式会社 | 恒温冷媒液循環装置 |
| KR20010075995A (ko) * | 2000-01-24 | 2001-08-11 | 김진억 | 항온 순환수조 |
| AU2008203276B2 (en) * | 2001-03-27 | 2011-03-10 | Emerson Climate Technologies, Inc. | Compressor Diagnostic System |
| CN107726538B (zh) * | 2016-08-10 | 2020-12-22 | 国家电网公司 | 一种智能楼宇用电调控方法 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54144840A (en) * | 1978-05-04 | 1979-11-12 | Hitachi Ltd | Maintenance predict method |
| FR2580060B1 (ja) * | 1985-04-05 | 1989-06-09 | Nec Corp | |
| DE4011930A1 (de) * | 1990-04-12 | 1991-10-31 | Aero Tech Klima Kaelte | Kaltwasser- und soleaufbereitungsanlage |
| US5079930A (en) * | 1990-12-03 | 1992-01-14 | Atron, Inc. | Apparatus and method for monitoring refrigeration system |
| US5311562A (en) * | 1992-12-01 | 1994-05-10 | Westinghouse Electric Corp. | Plant maintenance with predictive diagnostics |
| JP3147586B2 (ja) * | 1993-05-21 | 2001-03-19 | 株式会社日立製作所 | プラントの監視診断方法 |
| JPH08219601A (ja) * | 1995-02-13 | 1996-08-30 | Hitachi Ltd | 冷凍装置の故障診断装置 |
-
1997
- 1997-07-14 JP JP9203842A patent/JPH1137516A/ja active Pending
-
1998
- 1998-07-02 EP EP98305271A patent/EP0892231A3/en not_active Withdrawn
- 1998-07-10 KR KR1019980027820A patent/KR19990013757A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003214749A (ja) * | 2002-01-14 | 2003-07-30 | Smc Corp | 比例制御弁を備える恒温液体循環装置におけるメンテナンスの必要性を予測する予測システム |
| US6614353B2 (en) | 2002-01-14 | 2003-09-02 | Smc Kabushiki Kaisha | Constant-temperature liquid circulating device having a proportional valve based predictive system for pre-estimating a need for maintenance |
| JP2011174685A (ja) * | 2010-02-25 | 2011-09-08 | Nakano Refrigerators Co Ltd | ガス漏れ検知方法 |
| CN104345232A (zh) * | 2013-08-01 | 2015-02-11 | 通用设备和制造公司 | 用于预测螺线管线圈的寿命的方法和装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0892231A3 (en) | 2000-05-10 |
| EP0892231A2 (en) | 1999-01-20 |
| KR19990013757A (ko) | 1999-02-25 |
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