JPH11351939A - コリオリ質量流量計 - Google Patents

コリオリ質量流量計

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JPH11351939A
JPH11351939A JP15695198A JP15695198A JPH11351939A JP H11351939 A JPH11351939 A JP H11351939A JP 15695198 A JP15695198 A JP 15695198A JP 15695198 A JP15695198 A JP 15695198A JP H11351939 A JPH11351939 A JP H11351939A
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inlet
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覚 二瓶
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誠司 小林
Yasushi Ito
康 糸
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、振動支点への外部からの振動伝達
を隔絶して高い振動の安定性をもたらし、高精度なコリ
オリ質量流量計を提供することを目的とする。 【解決手段】 本発明のコリオリ質量流量計は、並列2
本の湾曲管から構成される2本のフローチューブ1、
2、駆動装置15、及び一対の振動検出センサ16、1
7を備えている。測定流体を流入口より2本のフローチ
ューブ1、2に分岐する入口側マニフォールド24、及
び2本のフローチューブ1、2に流れる測定流体を合流
して測定流体流出口より流出させる出口側マニフォール
ド25は、入口側マニフォールド24の流入側及び出口
側マニフォールド25の流出側のみにおいて本体30に
機械的に結合されている。これによって、振動支点とな
る入口側及び出口側マニフォールド24、25とフロー
チューブ1、2とのそれぞれの結合端において、本体3
0及びそれに結合されている全ての構造物からの振動伝
達の影響を軽減することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、コリオリ質量流量
計に関し、特に、並列2本の湾曲管を用いるタイプのコ
リオリ質量流量計に関する。
【0002】
【従来の技術】被測定流体の流通する流管の一端又は両
端を支持し、該支持点回りに流管を該流管の流れ方向と
垂直な方向に振動したとき、流管(以下振動が加えられ
るべき流管を、フローチューブという)に作用するコリ
オリの力が質量流量に比例することを利用した質量流量
計(コリオリ質量流量計)は周知である。このコリオリ
質量流量計におけるフローチューブとしての形状は湾曲
管と直管とに大別される。
【0003】直管式のコリオリ質量流量計は、両端を支
持された直管の中央部直管軸に垂直な方向に振動したと
き、直管の支持部と中央部との間でコリオリの力による
直管の変位差、即ち位相差信号として質量流量を検知す
る。このような直管式のコリオリ質量流量計は、シンプ
ル、コンパクトで堅牢な構造を有しているものの、高い
検出感度を得ることができない。
【0004】これに対して、湾曲管方式のものはコリオ
リの力を有効に取り出すための形状を選択できる面で高
感度の質量流量検出ができる。そして、この湾曲測定管
をより効率よく駆動するために、測定流体を流す湾曲管
を、並列2本の構成とすることも公知である。
【0005】図4は、このような従来の並列2本湾曲管
型のコリオリ質量流量計の概略構成図である。図示のよ
うに、フローチューブ1、2は、2本の並列湾曲管(U
字管)によって構成されると共に、中央部でコイルとマ
グネットから構成されている駆動装置15によって、こ
の2本のフローチューブ1、2を互いに反対位相で共振
駆動している。また、コイルとマグネットから構成され
ている一対の振動検出センサ16、17が、駆動装置1
5の取付位置に対して左右両側の対称位置に設置され、
コリオリの力に比例した位相差を検知している。
【0006】測定流体は、入口側のフランジ18を介し
て接続される外部流管より管状構成の本体34に流入
し、ここで端部プレート35により方向を90°転向し
て、2本のフローチューブ1、2に等しく分岐される。
そしてフローチューブ1、2の出口側で合流すると共
に、端部プレート36により方向を90°転向して、出
口側のフランジ19を介して接続される外部流管に流出
する。このようにして、2本のフローチューブ1、2に
等しく測定流体を流すことにより、流体の種類が変わっ
ても、温度の変動があっても、常に2本のフローチュー
ブ1、2の固有振動数を等しくすることができ、これに
よって、効率よく安定に駆動することができると共に、
外部振動や温度影響の無いコリオリ質量流量計を構成で
きることが知られている。
【0007】しかし、このような従来の並列2本の湾曲
管から成るフローチューブを用いるコリオリ質量流量計
は、外部からの振動伝達の隔絶において完全なものでは
なかった。
【0008】図示したように、2本のフローチューブ
1、2には、基板27、28が取り付けられていて、こ
の点が振動の第1の支点になると共に、2本のフローチ
ューブ1、2と、本体34との接続部分が、フローチュ
ーブの振動の第2の支点となっていて、チューブ振動全
体の重要な基盤となっている。しかし、この第2の支点
は、外部からの振動伝達において隔絶されておらず、本
体構造物及びケース等から外部振動が伝達して、コリオ
リ質量流量計の性能に悪影響を及ぼしていた。
【0009】また、このような並列2本の湾曲管から成
るフローチューブを用いるコリオリ質量流量計は、その
構造上、測定流体入口での分岐部、及び測定流体出口で
の合流部を有するため、ここにおいて、圧力損失が生じ
たり、流体のつまりが生じるという問題がある。これ
は、特に、高粘性流体や食品等の腐り易く詰まり易い液
体のときに問題となる。
【0010】また、このようなコリオリ質量流量計は、
その構造上も、安いコストで、強固なものとし、チュー
ブの万一の破損に対しても信頼性あるものとする必要が
あるが、従来のコリオリ質量流量計は、十分に考慮され
たものではなかった。
【0011】また、従来のコリオリ質量流量計は、駆動
装置及び振動検出センサ等の質量、取付位置が対称でな
く、また、それらへの配線が、フローチューブの振動に
及ぼす影響を考慮したものではなく、配線の質量、張
力、及び弾性力が及ぼす影響はコイルを取り付けたチュ
ーブのみに集中し、そのため、2本のフローチューブの
バランスが悪くなり、コリオリ質量流量計の性能に悪影
響を及ぼしていた。
【0012】さらに、従来のコリオリ質量流量計は、振
動するフローチューブに必ず存在する高次振動モードの
影響を考慮したものではなかった。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明は、か
かる並列2本の湾曲管を用いるコリオリ質量流量計の問
題点を解決して、振動支点への外部からの振動伝達を隔
絶して高い振動の安定性をもたらし、高精度なコリオリ
質量流量計を提供することを目的としている。
【0014】また、本発明は、フローチューブの高次振
動モードの影響を低減することを目的としている。
【0015】また、本発明は、流入路を通しての振動の
伝達がし難い構成にすると共に、測定流体入口での分岐
部、及び測定流体出口での合流部における圧力損失を大
幅に減ずることを目的としている。
【0016】さらに、本発明は、低コストで、機械的に
強固な信頼性ある構成にすると共に、2本のフローチュ
ーブの振動バランスを改善して、高い精度を得ることを
目的としている。
【0017】また、本体形状と一体化した全ての角部を
円弧形状として、薄肉で非常に高い圧力に耐える耐圧ケ
ースを具備することを目的としている。
【0018】
【課題を解決するための手段】本発明のコリオリ質量流
量計は、並列2本の湾曲管から構成される2本のフロー
チューブ1、2を備えている。駆動装置15が、一方の
フローチューブを他方のフローチューブに対して互いに
反対位相で共振駆動する一方、一対の振動検出センサ1
6、17が、駆動装置15の取付位置に対して左右両側
の対称位置に設置されてコリオリの力に比例した位相差
を検出している。入口側マニフォールド24は、測定流
体を流入口より前記2本のフローチューブ1、2に分岐
し、かつ、出口側マニフォールド25は、2本のフロー
チューブ1、2に流れる測定流体を合流して測定流体流
出口より流出させている。このようなコリオリ質量流量
計において、入口側及び出口側マニフォールドは、入口
側マニフォールド24の流入側及び出口側マニフォール
ド25の流出側のみにおいて本体30に機械的に結合さ
れている。これによって、振動支点となる入口側及び出
口側マニフォールド24、25とフローチューブ1、2
とのそれぞれの結合端において、本体30及びそれに結
合されている全ての構造物からの振動伝達の影響を軽減
することができる。
【0019】また、本発明は、入口側マニフォールド2
4及び出口側マニフォールド25の流路を、それぞれそ
の流入口或いは流出口から円弧を描いて滑らかに転向す
ると共に、流路の合計断面積を連続的に変化させてい
る。これによって、測定流体の分岐部及び合流部におい
て、圧力損失が生じたり、流体のつまりが生じることは
ない。
【0020】また、本発明は、入口側マニフォールド2
4及び出口側マニフォールド25を、連続的に拡大しつ
つ、湾曲したブロック状に形成している。これによっ
て、特別の固有振動数を持たないように構成することが
できる。
【0021】また、本発明は、本体30がU形断面を有
し、かつ上部に振動支点に接触しないようにベースプレ
ートを配置した箱形構造にしている。これによって、曲
げ、ねじれに対し強固な構造とすることができる。
【0022】また、本発明の本体30は、U形ケース3
1を備え、これを一体に結合して、全ての外周が円弧形
状になるように構成したものである。これによって、薄
肉でも非常に高い耐圧を確保することができる。
【0023】また、本発明は、駆動装置15及び一対の
振動検出センサ16、17を、2本のフローチューブ間
で、その軸間に配置し、振動慣性力による慣性モーメン
トが生じないようにしたものである。
【0024】また、本発明は、駆動装置15及び一対の
振動検出センサ16、17への配線を、2本のフローチ
ューブの両方から対称に撓ませたフレキシブルプリント
板12、13を用い、かつ2本のフローチューブ1、2
のそれぞれへの付加質量及び付加応力を対称にしてい
る。これによって、非常に安定した振動が得られ、かつ
外部からの振動の影響を受け難くなる。
【0025】また、本発明は、一対の振動検出センサ1
6、17の取り付け位置を、振動のビームとなる流入
側、流出側の各々の脚部において、2次振動モードの節
に配置し、2次振動モードの影響を低減したものであ
る。
【0026】
【発明の実施の形態】図1〜図3は、本発明を適用する
コリオリ質量流量計の一例を示す図であり、並列2本の
湾曲管タイプのフローチューブを垂直面内に取り付けた
場合を想定している。図1は、その正面から見た図であ
る。図2は、垂直面内に取り付けたコリオリ質量流量計
を上側から(図1の上側から)見た部分的に断面で示す
図であり、図3は、図1に示すコリオリ質量流量計を中
央で切断した断面図である。
【0027】例示したコリオリ質量流量計のフローチュ
ーブ1、2は、門形に湾曲した同一形状の湾曲管であ
り、各々の両端部は、本発明の特徴の1つとして詳細は
後述する、マニフォールド24、25に結合されてい
る。測定流体は、図1の左側より流入し、右側に流出す
ると仮定している。即ち、測定流体は、フランジ18を
介して接続されている外部流管より流入し、入口側マニ
フォールド24で2本のフローチューブ1、2に等しく
分岐される。そしてフローチューブ1、2の出口側で
は、マニフォールド25で合流して、フランジ19を介
して接続されている外部流管に流出する。
【0028】両端の接続口と流量計全体を保持している
本体30は、図1に示されるように、或いは、それと直
角方向に見た図3に示されるように、U形断面を有する
と共に、この本体30の上部開口部は、マニフォールド
24、25の部分を除いて、その蓋をするように、ベー
スプレート26により結合されている。このように、本
体30は、U形断面を有する箱形に構成されている。
【0029】フローチューブ1、2の両端近傍には、音
叉状に駆動したとき振動の節部を形成させるための基板
27、28が設けられ、かつこれは、フローチューブ
1、2が並列に維持されるように相互固着している。
【0030】従来技術を参照して前述したように、フロ
ーチューブ1、2の基板27、28による固着点が振動
の第1の支点になると共に、フローチューブ1、2とマ
ニフォールド24、25の上端の結合端が第2の支点と
なって、チューブ振動全体の重要な基盤となっている
が、本発明のこの例においては、振動の第2の支点が、
本体30、及びベースプレート26、耐圧ケース31等
の本体に結合されている全ての構造物から隔離されてい
る。本体30にはマニフォールド24の流入側及びマニ
フォールド25の流出側のみで機械的に結合されてい
る。なお、第2の振動支点を構成するためには、この点
で、2本のフローチューブを一体に結合する必要があ
り、これは、例えば、第1の支点と同様に基板を用いる
こともできるが、例示したような一体のブロック形状の
マニフォールドを用いることによっても可能である。
【0031】本発明は、このように、この第2の振動支
点が外部からの振動伝達の影響を軽減した構成となって
いるので、高い振動安定性をもたらし、コリオリ質量流
量計を高精度なものにする。さらに、U形断面の本体3
0とベースプレート26により構成される箱形構造によ
り、曲げ、ねじれに強固な構造となっている。
【0032】また、この断面U形の本体30には、断面
U形の耐圧ケース31が一体化するよう構成されている
ので、全ての外周が円弧形状を構成し、薄肉でも非常に
高い耐圧を確保し、チューブが万一破損するようなこと
があっても、ここを流れている流体が、耐圧容器の外部
に流れ出ることはない。
【0033】前述のように、測定流体は、流路入口側で
フランジ18を通り、入口側マニフォールド24から2
本のフローチューブ1、2に等しく分岐される。そし
て、同様に、マニフォールド25により合流する。この
際、本発明の一例として例示したマニフォールド24の
流路は、その流入口(フランジ18との接続部)から円
弧を描いて滑らかに90°転向して(図1参照)、フロ
ーチューブ1、2との接続部に至る。その際、1つの流
入口から、2本のフローチューブ1、2に分岐するよう
2つの流路を形成するが(図3参照)、流路の合計断面
積は、連続的に減少してチューブ断面積に連なる。これ
によって、圧力損失を大幅に減少させることができる。
なお、一般的には、流体が、外部流管を流れるときより
もフローチューブを流れるときに流速を高くしてコリオ
リ力を大きくするために、フローチューブの合計断面積
は、外部流管断面積の0.7〜0.8程度にされてい
る。
【0034】このように形成された流路を有するマニフ
ォールド24は、その形状を連続的に拡大しつつ、湾曲
したブロック状に形成することにより、特別の固有振動
数を持たないように設計することができ、これによっ
て、外乱振動を増幅したりせず、振動の伝達がし難い構
成にすることができる。
【0035】同様に、測定流体の流路出口側のマニフォ
ールド25もまた、上記入口側のマニフォールド24の
流路及び形状と対称に構成しているので、詳細な説明は
省くが、2本のフローチューブ1、2から流路の合計断
面積を連続的に増大しつつ合流して出口流路に連なる。
【0036】駆動装置15は、通常マグネットとコイル
から構成されて、このような並列2本の湾曲管から成る
フローチューブ1、2の中央部で、2本のフローチュー
ブ1、2を互いに反対位相で共振駆動している。一対の
振動検出センサ16、17は、また、それぞれマグネッ
トとコイルから構成されて、駆動装置15の取付位置に
対して左右両側の対称位置に設置され、コリオリの力に
比例した位相差を検知している。図示した駆動装置15
及び一対の振動検出センサ16、17は、いずれも、フ
ローチューブ1とフローチューブ2の間のチューブ軸間
に配置されている。言い換えると、図1に示すように、
2本のフローチューブを重なる方向に見たときに、駆動
装置15及び一対の振動検出センサ16、17のそれぞ
れを、両フローチューブの間で、しかも両フローチュー
ブのそれぞれの中心軸を結ぶ線上を中心として配置した
ものである。これによって、両フローチューブの中心軸
を結ぶ線上で駆動力を作用させ、かつこの駆動力に基づ
くコリオリ力を検出することができるから、振動慣性力
による慣性モーメントが生じることはない。
【0037】また、図示の例において、一対の振動検出
センサ16、17の取り付け位置は、振動のビームとな
る流入側、流出側の各々の脚部において、2次振動モー
ドの節に配置されている。図5は、2次振動モードの影
響低減を説明するために、1本の直管振動ビームをモデ
ル化して示す図である。前述の2本のフローチューブ
1、2の流入側、流出側各々の脚部はそれぞれ1本の、
全体で4本の直管振動ビームと見ることができる。この
直管振動ビームは、図5(A)に示すようにモデル化す
ることができるが、これは、前述のように、振動の第1
の支点がフローチューブ1、2の基板27、28による
固着点であり、かつ第2の支点がフローチューブ1、2
とマニフォールド24、25の上端の結合端に対応す
る。この直管振動ビームの先端には、一定の大きさの重
りが結合されるものと仮定しているが、これは、フロー
チューブの左右2本の脚部を連結する天頂部の質量(そ
こを流れる流体の質量を含む)及び駆動装置(Dr)の
質量に対応する。
【0038】このような直管振動ビームには、図5
(B)に示すようなコリオリ質量流量計測に利用する1
次の基本振動モードの他に、高次の振動モードが必ず存
在する。高次の振動モードの内、影響が最も大きいのは
固有振動数が近い2次振動モードであり、図5(C)は
これを示している。この2次振動モードの節に、検出セ
ンサ(図5(A)においてP/Oで示す)を配置すれ
ば、2次振動モードの影響を受けない。この2次振動モ
ードの節となる位置は、天頂部、駆動装置、検出センサ
の重さによって決定されるが、第一の支点から天頂部ま
での距離をLとしたときに、第一の支点から、0.65
〜0.85Lの範囲にある。
【0039】駆動装置15及び一対の振動検出センサ1
6、17から外部への配線は、フローチューブのセンタ
軸(図3の左右の中心線)において、対向するフローチ
ューブ1、2の両方から対称に撓ませたフレキシブルプ
リント板12、13によって行っているので、振動する
フローチューブ1、2に付加される質量、及び振動する
フローチューブ1、2に外部から接触してそれに作用す
る応力(付加応力)を完全に対称にし、高い振動安定性
が得られると共に、外部からの振動の影響を受けにくい
ような構成となっている。その結果、非常に高い精度の
質量流量計が得られる。
【0040】図中、10は、駆動装置15及び一対の振
動検出センサ16、17への配線、及び温度センサへの
配線のための支柱である。この支柱10は、ベースプレ
ート26に支持されると共に、本体30を貫通してい
る。駆動装置15及び一対の振動検出センサ16、17
への配線は、そこから、フローチューブ1、2の表面上
を沿わせられた後、フレキシブルプリント板12、13
を介して、支柱10の先端部に至り、その内部を通っ
て、コリオリ質量流量計の外部に備えられる端子箱1
4、或いは電気的制御回路に直接接続される。通常複数
備えられる温度センサへの配線は、また、この支柱10
を通して外部に引き出される。その際、この支柱10内
に備えられ、プラスチックによりモールドされた耐圧電
線貫通部11により、電線取り出し口を封じて、前述し
たような耐圧ケース31と共同して、内部空間を外部と
遮断している。
【0041】
【発明の効果】本発明は、チューブ振動の支点となるフ
ローチューブと本体との接続部分を、外部からの振動伝
達において隔絶した構成としたことにより、高い振動の
安定性をもたらし、高精度なコリオリ質量流量計を提供
することができる。
【0042】また、本発明は、入口側マニフォールド及
び出口側マニフォールドを、円弧を描いて滑らかに転向
すると共に、流路の合計断面積を連続的に変化するよう
構成したことにより、測定流体入口での分岐部、及び測
定流体出口での合流部において、圧力損失が生じたり、
流体のつまりが生じることがない。
【0043】また、本発明は、入口側マニフォールド及
び出口側マニフォールドの形状を、連続的に拡大しつ
つ、湾曲したブロック状に形成したことにより、特別の
固有振動数を持たないように構成することができ、これ
によって、外乱振動を増幅したりせず、振動のし難い構
成にすることができる。
【0044】また、本発明は、両端の接続口と流量計全
体を保持する本体が、U形断面を有し、かつ上部に前記
振動支点に接触しないようにベースプレートを配置した
箱形構造にしたことにより、曲げ、ねじれに強固な構造
とし、接続口への外部応力に対して、チューブの振動に
影響を与えず、高精度な流量計をもたらすと共に、本体
を薄肉にして、低コストに構成することができる。
【0045】また、本発明は、本体と一体に結合され、
全ての外周が円弧形状を有するU形ケースを備えること
により、薄肉でも非常に高い耐圧を確保し、チューブの
万一の破損に対しても信頼性ある耐圧容器を構成するこ
とができる。
【0046】また、本発明は、駆動装置及び一対の振動
検出センサを、2本のフローチューブ間で、その軸間に
配置したことにより、振動慣性力による慣性モーメント
が生じないようにすることができる。
【0047】また、本発明は、一対の振動検出センサの
取り付け位置を、流入側、流出側各々の脚部において2
次振動モードの節に配置したことにより、2次振動モー
ドの影響を受けず、振動ビームの対称性を完全に確保す
ると共に、外部からの振動の進入を極限まで隔絶するこ
とができる。
【0048】さらに、本発明は、駆動装置及び一対の振
動検出センサへの配線を、センタ軸において、フローチ
ューブの両方から対称に撓ませたフレキシブルプリント
板を用い、かつ付加質量及び付加応力を対称にするよう
行うことにより、非常に安定した振動が得られ、かつ外
部からの振動の影響を受け難くし、非常に高い精度を得
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用するコリオリ質量流量計の一例を
示す図であり、並列2本の湾曲管タイプのフローチュー
ブを垂直面内に取り付けて、その正面から見た図であ
る。
【図2】図1に示すコリオリ質量流量計を上側から見た
図である。
【図3】図1に示すコリオリ質量流量計を中央で切断し
た断面図である。
【図4】従来の並列2本湾曲管型のコリオリ質量流量計
の概略構成図を示している。
【図5】2次振動モードの影響低減を説明するために、
1本の直管振動ビームをモデル化して示す図である。
【符号の説明】
1 フローチューブ 2 フローチューブ 10 支柱 11 耐圧電線貫通部 12 フレキシブルプリント板 13 フレキシブルプリント板 14 端子箱 15 駆動装置 16 振動検出センサ 17 振動検出センサ 18 フランジ 19 フランジ 24 マニフォールド 25 マニフォールド 26 ベースプレート 27 基板 28 基板 30 本体 31 耐圧ケース
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成11年4月12日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項1
【補正方法】変更
【補正内容】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 誠司 東京都新宿区上落合3丁目10番8号 株式 会社オーバル内 (72)発明者 糸 康 東京都新宿区上落合3丁目10番8号 株式 会社オーバル内

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】並列に設置した湾曲管から構成される2本
    のフローチューブと、測定流体流入口より前記2本のフ
    ローチューブに分岐する入口側マニフォールドと、前記
    2本のフローチューブに流れる測定流体を合流して測定
    流体流出口より流出させる出口側マニフォールドと、一
    方のフローチューブを他方のフローチューブに対して互
    いに反対位相で共振駆動させる駆動装置と、該駆動装置
    の取付位置に対して左右両側の対称位置に設置されてコ
    リオリの力に比例した位相差を検出する一対の振動検出
    センサとを備えるコリオリ質量流量計において、 前記入口側及び出口側マニフォールドは、入口側マニフ
    ォールドの流入側及び出口側マニフォールドの流出側の
    みにおいて本体に機械的に結合されて、振動支点となる
    入口側及び出口側マニフォールドとフローチューブとの
    それぞれの結合端において、本体及びそれに結合されて
    いる全ての構造物からの振動伝達の影響を軽減したこと
    を特徴とするコリオリ質量流量計。
  2. 【請求項2】前記入口側マニフォールドの流路は、その
    流入口から円弧を描いて滑らかに転向すると共に、流路
    の合計断面積を連続的に減少させて2本のフローチュー
    ブに分岐し、そして、前記出口側マニフォールドの流路
    は、2本のフローチューブとの接続端から円弧を描いて
    滑らかに転向すると共に、流路の合計断面積を連続的に
    増大させつつ合流して、測定流体流出側に連なることを
    特徴とする請求項1に記載のコリオリ質量流量計。
  3. 【請求項3】前記入口側マニフォールド及び出口側マニ
    フォールドは、それぞれ測定流体流入口或いは測定流体
    流出口より2本のフローチューブとの結合端に向けて、
    連続的に拡大しつつ、湾曲したブロック状に形成したこ
    とを特徴とする請求項1又は2に記載のコリオリ質量流
    量計。
  4. 【請求項4】前記本体は、U形断面を有し、かつ上部に
    前記振動支点に接触しないようにベースプレートを配置
    した箱形構造にしたことを特徴とする請求項1〜請求項
    3のいずれかに記載のコリオリ質量流量計。
  5. 【請求項5】前記本体は、一体に結合されて、全ての外
    周が円弧形状を有するU形ケースを備えることを特徴と
    する請求項1〜請求項4のいずれかに記載のコリオリ質
    量流量計。
  6. 【請求項6】前記駆動装置及び前記一対の振動検出セン
    サは、前記2本のフローチューブ間で、その軸間に配置
    されることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか
    に記載のコリオリ質量流量計。
  7. 【請求項7】前記駆動装置及び前記一対の振動検出セン
    サへの配線は、前記フローチューブ入口側と出口側の中
    央にあるセンタ軸において、2本のフローチューブの両
    方から対称に撓ませたフレキシブルプリント板を用い、
    かつ2本のフローチューブのそれぞれへの付加質量及び
    付加応力を対称にするよう行うことを特徴とする請求項
    1〜請求項6のいずれかに記載のコリオリ質量流量計。
  8. 【請求項8】前記一対の振動検出センサの取り付け位置
    を、振動のビームとなる流入側、流出側の各々の脚部に
    おいて、2次振動モードの節に配置したことを特徴とす
    る請求項1〜請求項7のいずれかに記載のコリオリ質量
    流量計。
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