JPH11347980A - チャック機構 - Google Patents
チャック機構Info
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- JPH11347980A JPH11347980A JP16325098A JP16325098A JPH11347980A JP H11347980 A JPH11347980 A JP H11347980A JP 16325098 A JP16325098 A JP 16325098A JP 16325098 A JP16325098 A JP 16325098A JP H11347980 A JPH11347980 A JP H11347980A
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- Japan
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- chuck
- sensor
- slide block
- stopper
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 エア駆動方式の平行チャックにおいて、接近
して隣接するワークを把持しようとする場合には、先端
のチャック爪もしくはハンドごと交換する必要が生じ、
段取り替え、確認に多大の時間を必要としていた。 【解決手段】 ガイド付エアシリンダ１３により下方部
に開閉自在のチャック爪１を有する平行チャック３、基
台１６、モータ４が上下動自在に装着されたチャック機
構において、モータ４は基台１６の上部に配設されてお
り、基台１６の上にはまたモータ４により回転させられ
る偏心カム５が配設されている。更に基台１６上に摺動
可能に配設され偏心カム５のカム面と当接する当接面を
有するスライドブロック１７と、このスライドブロック
１７に突設され先端が平行チャック３のチャック爪部と
当接するストッパ７と、チャック爪が閉成されているこ
とを検出するセンサ２と、チャック爪部にストッパ７が
当接していることを検出するセンサ８と、偏心カム５の
カム面がスライドブロック１７の側面に接触するように
付勢するばね９が設けられている。
して隣接するワークを把持しようとする場合には、先端
のチャック爪もしくはハンドごと交換する必要が生じ、
段取り替え、確認に多大の時間を必要としていた。 【解決手段】 ガイド付エアシリンダ１３により下方部
に開閉自在のチャック爪１を有する平行チャック３、基
台１６、モータ４が上下動自在に装着されたチャック機
構において、モータ４は基台１６の上部に配設されてお
り、基台１６の上にはまたモータ４により回転させられ
る偏心カム５が配設されている。更に基台１６上に摺動
可能に配設され偏心カム５のカム面と当接する当接面を
有するスライドブロック１７と、このスライドブロック
１７に突設され先端が平行チャック３のチャック爪部と
当接するストッパ７と、チャック爪が閉成されているこ
とを検出するセンサ２と、チャック爪部にストッパ７が
当接していることを検出するセンサ８と、偏心カム５の
カム面がスライドブロック１７の側面に接触するように
付勢するばね９が設けられている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、チャック機構に関
し、特に、エア駆動式平行チャック機構に関する。
し、特に、エア駆動式平行チャック機構に関する。
【０００２】更に詳しくは、本発明は、把持対象となる
ワークの最大外形と最小外形の差以上のストロークを
し、チャック爪の閉じきった時を検知することができる
第１のセンサを有するエア駆動式平行チャックは、スト
ッパに突き当たることにより開時ストロークを調整する
ことができる。
ワークの最大外形と最小外形の差以上のストロークを
し、チャック爪の閉じきった時を検知することができる
第１のセンサを有するエア駆動式平行チャックは、スト
ッパに突き当たることにより開時ストロークを調整する
ことができる。
【０００３】ストッパはチャック爪と平行に設けられて
いるガイドに固定されたスライドブロックに取り付けら
れており、その位置は、モータにより回転する偏心カム
にばねにより押し付けられ、任意に移動することができ
る。
いるガイドに固定されたスライドブロックに取り付けら
れており、その位置は、モータにより回転する偏心カム
にばねにより押し付けられ、任意に移動することができ
る。
【０００４】そのために、本発明に係るチャック機構で
は、接近して隣接するワークの外形とワーク間距離を考
慮し、チャック爪の開時のストロークを偏心カムの偏心
分だけ任意の範囲で調整することができる。
は、接近して隣接するワークの外形とワーク間距離を考
慮し、チャック爪の開時のストロークを偏心カムの偏心
分だけ任意の範囲で調整することができる。
【０００５】ワークの把持は、閉じるストロークを一定
にするのではなく、エア駆動式平行チャックの特性をそ
のまま生かし、確実に把持が可能である。
にするのではなく、エア駆動式平行チャックの特性をそ
のまま生かし、確実に把持が可能である。
【０００６】また、ガイドに固定されたガイドブロック
上には、チャック爪がストッパに接触すると“ＯＮ”に
なる第２のセンサと、平行チャックに設置され、ワーク
爪が閉じきった際に“ＯＮ”になる第１のセンサの論理
により、ワークのチャック確認及びワークの有無を検知
することができる。
上には、チャック爪がストッパに接触すると“ＯＮ”に
なる第２のセンサと、平行チャックに設置され、ワーク
爪が閉じきった際に“ＯＮ”になる第１のセンサの論理
により、ワークのチャック確認及びワークの有無を検知
することができる。
【０００７】
【従来の技術】この種のチャック機構の従来例として、
例えば、実開平５−２４２９１号公報に開示された技術
があげられる。
例えば、実開平５−２４２９１号公報に開示された技術
があげられる。
【０００８】上記公報に記載された平行開閉チャック
は、ボディに一対のラック孔及び一対のシリンダ孔を平
行に貫設し、上記ラック孔に挿入した一対のラックにピ
ニオンを噛合させ、上記シリンダ孔にそれぞれピストン
ロッドを連結したピストンを嵌挿し、上記一対のラック
及び一対のピストンロッドの各一方のボディからの突出
端に、一方のフィンガを、他方のラック及びピストンロ
ッドのボディからの突出端に、他方のフィンガを取り付
け、上記ボディの外側面において、一対のシリンダ孔の
それぞれに近接する位置に、位置検出スイッチを取り付
けるためのピストンの移動方向に沿う凹溝を設け、この
凹溝の開口幅を狭くして、位置検出スイッチに、止めね
じ先端を凹溝底へ圧接するために螺挿するスイッチ取付
用のねじ孔を設けて構成されている。
は、ボディに一対のラック孔及び一対のシリンダ孔を平
行に貫設し、上記ラック孔に挿入した一対のラックにピ
ニオンを噛合させ、上記シリンダ孔にそれぞれピストン
ロッドを連結したピストンを嵌挿し、上記一対のラック
及び一対のピストンロッドの各一方のボディからの突出
端に、一方のフィンガを、他方のラック及びピストンロ
ッドのボディからの突出端に、他方のフィンガを取り付
け、上記ボディの外側面において、一対のシリンダ孔の
それぞれに近接する位置に、位置検出スイッチを取り付
けるためのピストンの移動方向に沿う凹溝を設け、この
凹溝の開口幅を狭くして、位置検出スイッチに、止めね
じ先端を凹溝底へ圧接するために螺挿するスイッチ取付
用のねじ孔を設けて構成されている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
従来例などに示される如き従来におけるＰＫＧ等のチャ
ック機構において、接近して隣接するワークを把持しよ
うとする場合に、処理すべきワークの大小によってエア
駆動方式の平行チャックでは、先端のチャック爪もしく
はハンドごと交換する必要が生じ、段取り替え、確認に
時間を要するという課題があった。
従来例などに示される如き従来におけるＰＫＧ等のチャ
ック機構において、接近して隣接するワークを把持しよ
うとする場合に、処理すべきワークの大小によってエア
駆動方式の平行チャックでは、先端のチャック爪もしく
はハンドごと交換する必要が生じ、段取り替え、確認に
時間を要するという課題があった。
【００１０】また、モータ駆動の開閉チャックの場合に
は、チャックの閉時にストロークを多品種対応にするこ
とは可能であるが、閉時のストロークが一定量のため
に、チャックするワークの寸法誤差がある場合には、確
実にチャックができているかの確認ができないという問
題点があった。
は、チャックの閉時にストロークを多品種対応にするこ
とは可能であるが、閉時のストロークが一定量のため
に、チャックするワークの寸法誤差がある場合には、確
実にチャックができているかの確認ができないという問
題点があった。
【００１１】本発明は従来の上記実情に鑑み、従来の技
術に内在する上記課題を解消するためになされたもので
あり、従って本発明の目的は、汎用性が高くかつ確実な
チャック動作を実行することを可能とした新規なチャッ
ク機構を提供することにある。
術に内在する上記課題を解消するためになされたもので
あり、従って本発明の目的は、汎用性が高くかつ確実な
チャック動作を実行することを可能とした新規なチャッ
ク機構を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する為
に、本発明に係るチャック機構は、ガイド付エアシリン
ダにより下方部に開閉自在のチャック爪を有する平行チ
ャック、基台、モータが上下動自在に装着されたチャッ
ク機構において、前記モータは前記基台の上部に配設さ
れており、前記基台の上に配設され前記モータにより回
転させられる偏心カムと、前記基台上に摺動可能に配設
され前記偏心カムのカム面と当接する当接面を有するス
ライドブロックと、該スライドブロックに突設され先端
が前記平行チャックのチャック爪部と当接するストッパ
と、前記チャック爪が閉成されていることを検出する第
１のセンサと、前記チャック爪部に前記ストッパが当接
していることを検出する第２のセンサと、前記偏心カム
のカム面が前記スライドブロックの側面に接触するよう
に付勢するばねとを具備して構成される。
に、本発明に係るチャック機構は、ガイド付エアシリン
ダにより下方部に開閉自在のチャック爪を有する平行チ
ャック、基台、モータが上下動自在に装着されたチャッ
ク機構において、前記モータは前記基台の上部に配設さ
れており、前記基台の上に配設され前記モータにより回
転させられる偏心カムと、前記基台上に摺動可能に配設
され前記偏心カムのカム面と当接する当接面を有するス
ライドブロックと、該スライドブロックに突設され先端
が前記平行チャックのチャック爪部と当接するストッパ
と、前記チャック爪が閉成されていることを検出する第
１のセンサと、前記チャック爪部に前記ストッパが当接
していることを検出する第２のセンサと、前記偏心カム
のカム面が前記スライドブロックの側面に接触するよう
に付勢するばねとを具備して構成される。
【００１３】前記スライドブロックは、前記基台に摺動
可能に装着されたガイドに固着されている。
可能に装着されたガイドに固着されている。
【００１４】前記第１のセンサは前記平行チャックに配
置され、前記第２のセンサは前記スライドブロックの前
記ストッパの近傍に配設されている。
置され、前記第２のセンサは前記スライドブロックの前
記ストッパの近傍に配設されている。
【００１５】前記スライドブロックは、前記偏心カムの
カム面が当接する前記当接面となる内壁面と前記チャッ
ク爪部と対向する外壁面とから成る直立側面部を有し、
前記ストッパは前記直立側面部の前記外壁面に配設さ
れ、前記第２のセンサは前記直立側面部の前記内壁面及
び前記外壁面を貫通して配設されていることを特徴とし
ている。
カム面が当接する前記当接面となる内壁面と前記チャッ
ク爪部と対向する外壁面とから成る直立側面部を有し、
前記ストッパは前記直立側面部の前記外壁面に配設さ
れ、前記第２のセンサは前記直立側面部の前記内壁面及
び前記外壁面を貫通して配設されていることを特徴とし
ている。
【００１６】前記ばねは、コイルばねにより形成され、
該コイルばねは前記基台に固定されたスタッドと前記直
立側面部に固定されたスタッドとの間に装架されている
ことを特徴としている。
該コイルばねは前記基台に固定されたスタッドと前記直
立側面部に固定されたスタッドとの間に装架されている
ことを特徴としている。
【００１７】前記チャック爪がワークを把持しているこ
との確認を、前記第１のセンサ及び第２のセンサが共に
“ＯＦＦ”状態にあることにより実現し、前記チャック
爪がワークを把持していないことの確認を、前記第１の
センサが“ＯＮ”し、前記第２のセンサが“ＯＦＦ”状
態にあることにより実現し、前記ワークが開いているこ
との確認を、前記第１のセンサが“ＯＦＦ”し、前記第
２のセンサが“ＯＮ”状態にあることにより実現するこ
とを特徴としている。
との確認を、前記第１のセンサ及び第２のセンサが共に
“ＯＦＦ”状態にあることにより実現し、前記チャック
爪がワークを把持していないことの確認を、前記第１の
センサが“ＯＮ”し、前記第２のセンサが“ＯＦＦ”状
態にあることにより実現し、前記ワークが開いているこ
との確認を、前記第１のセンサが“ＯＦＦ”し、前記第
２のセンサが“ＯＮ”状態にあることにより実現するこ
とを特徴としている。
【００１８】
【発明の実施の形態】次に、本発明による一実施の形態
について図面を参照しながら詳細に説明する。
について図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１９】［実施の形態の構成］図１は、本発明によ
る一実施の形態を示す斜視図、図２は本発明による一実
施の形態を示す正面図、図３は図２のＡ−Ａ線に沿って
切断し矢印の方向に見た断面図、図４は本発明による一
実施の形態を示す右側面図である。
る一実施の形態を示す斜視図、図２は本発明による一実
施の形態を示す正面図、図３は図２のＡ−Ａ線に沿って
切断し矢印の方向に見た断面図、図４は本発明による一
実施の形態を示す右側面図である。
【００２０】図１〜図４を参照するに、本発明に係るチ
ャック機構の一実施の形態は、把持すべきワークの最大
外形と最小外形の差以上のストロークが可能なチャック
爪１を備え、チャック爪１が閉じきった時に“ＯＮ”に
なるセンサ２を有するエア駆動式平行チャック３と、モ
ータ４により回転する偏心カム５にばね９で押し当てら
れ、チャック爪１と平行にスライドするガイド６と、ガ
イド６上に設けられており、チャック爪１に突き当てる
（当接する）ことによって、開時ストロークを調整する
ストッパ７と、チャック爪１とストッパ７が接触してい
る際に“ＯＮ”になるセンサ８とによって主として構成
されている。
ャック機構の一実施の形態は、把持すべきワークの最大
外形と最小外形の差以上のストロークが可能なチャック
爪１を備え、チャック爪１が閉じきった時に“ＯＮ”に
なるセンサ２を有するエア駆動式平行チャック３と、モ
ータ４により回転する偏心カム５にばね９で押し当てら
れ、チャック爪１と平行にスライドするガイド６と、ガ
イド６上に設けられており、チャック爪１に突き当てる
（当接する）ことによって、開時ストロークを調整する
ストッパ７と、チャック爪１とストッパ７が接触してい
る際に“ＯＮ”になるセンサ８とによって主として構成
されている。
【００２１】図１〜図４を参照して本発明による一実施
の形態の構成を更に詳細に説明するに、ガイド６上には
４個のねじ１８によってスライドブロック１７が固着さ
れており、このスライドブロック１７はガイド６と共に
基台１６上を水平方向に摺動可能に装着されている。
の形態の構成を更に詳細に説明するに、ガイド６上には
４個のねじ１８によってスライドブロック１７が固着さ
れており、このスライドブロック１７はガイド６と共に
基台１６上を水平方向に摺動可能に装着されている。
【００２２】基台１６の上方部には、亦、平行チャック
３及びモータ４が固定されており、これらの平行チャッ
ク３、モータ４及び基台１６は、装置（図示せず）に固
着されたガイド付エアシリンダ１３によっ上下動自在に
装着されている。
３及びモータ４が固定されており、これらの平行チャッ
ク３、モータ４及び基台１６は、装置（図示せず）に固
着されたガイド付エアシリンダ１３によっ上下動自在に
装着されている。
【００２３】スライドブロック１７の直立側面１７ａの
外部には、チャック爪１と選択的に当接するストッパ７
が設けられ、またスライドブロック１７の内外両側に突
出してストッパ７に平行にセンサ８がねじ１５によって
固定されている。
外部には、チャック爪１と選択的に当接するストッパ７
が設けられ、またスライドブロック１７の内外両側に突
出してストッパ７に平行にセンサ８がねじ１５によって
固定されている。
【００２４】スライドブロック１７上には、亦、モータ
４の回転軸（図示せず）に連結された軸５ａを有する偏
心カム５が回転自在に枢着されている。
４の回転軸（図示せず）に連結された軸５ａを有する偏
心カム５が回転自在に枢着されている。
【００２５】スライドブロック１７上には亦、スタッド
１４ａがねじ１４により固定されて設けられ、このスタ
ッド１４ａと、基台１６上に設けられたスタッド１４ｂ
との間にはばね９が装架されており、このばね９によっ
てスライドブロック１７は常態において矢印Ｂ方向に付
勢され、スライドブロックの直立側面１７ａに偏心カム
５のカム面が当接されている。
１４ａがねじ１４により固定されて設けられ、このスタ
ッド１４ａと、基台１６上に設けられたスタッド１４ｂ
との間にはばね９が装架されており、このばね９によっ
てスライドブロック１７は常態において矢印Ｂ方向に付
勢され、スライドブロックの直立側面１７ａに偏心カム
５のカム面が当接されている。
【００２６】［実施の形態の動作］次に、本発明に係る
チャック機構の一実施の形態について図１〜図４を参照
して説明する。
チャック機構の一実施の形態について図１〜図４を参照
して説明する。
【００２７】最初に、ワーク１０の外形以上で隣接する
ワーク１１までの距離以下にチャック爪１を開くため
に、モータ４により偏心カム５を所定量回転させて、平
行チャック３の開閉方向と平行にガイド６及びガイド６
上に固着されたスライドブロック１７を移動させる。
ワーク１１までの距離以下にチャック爪１を開くため
に、モータ４により偏心カム５を所定量回転させて、平
行チャック３の開閉方向と平行にガイド６及びガイド６
上に固着されたスライドブロック１７を移動させる。
【００２８】この際には、スライドブロック１７上に設
置されたストッパ７及びセンサ８も同時に移動するため
に、平行チャック３のチャック爪１は、開いた際にスト
ッパ７に突き当たる位置が決まり、ワーク１０の外形以
上で隣接するワーク１１までの距離以下にストロークす
ることができる。
置されたストッパ７及びセンサ８も同時に移動するため
に、平行チャック３のチャック爪１は、開いた際にスト
ッパ７に突き当たる位置が決まり、ワーク１０の外形以
上で隣接するワーク１１までの距離以下にストロークす
ることができる。
【００２９】ワーク１０の把持は、エア駆動式平行チャ
ック３を閉じることによって、供給される空気圧に応じ
てワーク１０を確実に把持することができる。
ック３を閉じることによって、供給される空気圧に応じ
てワーク１０を確実に把持することができる。
【００３０】また、チャック爪１が開いていることの確
認は、センサ２が“ＯＦＦ”で、センサ８が“ＯＮ”に
なっていることで確認することができる。
認は、センサ２が“ＯＦＦ”で、センサ８が“ＯＮ”に
なっていることで確認することができる。
【００３１】次に、チャック爪１を閉じ、ワーク１０を
把持する際には、ワーク１０を確実に把持したかどうか
の確認を説明する。
把持する際には、ワーク１０を確実に把持したかどうか
の確認を説明する。
【００３２】ワーク１０を把持している場合には、セン
サ２及びセンサ８共に“ＯＦＦ”になっていることで確
認することができる。
サ２及びセンサ８共に“ＯＦＦ”になっていることで確
認することができる。
【００３３】また、ワーク１０が無い場合には、センサ
２が“ＯＮ”し、センサ８が“ＯＦＦ”することによっ
て確認することができる。
２が“ＯＮ”し、センサ８が“ＯＦＦ”することによっ
て確認することができる。
【００３４】また、品種が変わり、ワークの外形または
ワーク間距離が異なるワークを把持する場合には、モー
タ４を所定量回転させることによって、ストッパ７の位
置が任意に可変できるために、チャック爪１の開時スト
ロークを任意に調整できるために、段取り替えの必要は
ない。
ワーク間距離が異なるワークを把持する場合には、モー
タ４を所定量回転させることによって、ストッパ７の位
置が任意に可変できるために、チャック爪１の開時スト
ロークを任意に調整できるために、段取り替えの必要は
ない。
【００３５】［発明の他の実施の形態］次に、本発明の
他の実施の形態について図面を参照して説明する。
他の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００３６】図１を参照するに、ワーク１０と外形が異
なるワーク１２が混在して供給されたとしても、接近し
て隣接している、していないにかかわらず、ワークの外
形及びワーク間距離を考慮し、モータ４を所定量回転さ
せ、ストッパ７の位置を切り替えることによって、段取
り替えなくワークの把持をすることができる。
なるワーク１２が混在して供給されたとしても、接近し
て隣接している、していないにかかわらず、ワークの外
形及びワーク間距離を考慮し、モータ４を所定量回転さ
せ、ストッパ７の位置を切り替えることによって、段取
り替えなくワークの把持をすることができる。
【００３７】
【発明の効果】本発明は以上の如く構成され作用するも
のであり、本発明によれば以下に示す如き効果が得られ
る。
のであり、本発明によれば以下に示す如き効果が得られ
る。
【００３８】第１の効果は、接近して隣接するチップの
品種が変更しても、段取り替えなく多品種に対応するこ
とができ、確実にチャックができるということである。
品種が変更しても、段取り替えなく多品種に対応するこ
とができ、確実にチャックができるということである。
【００３９】その理由は、モータを所定量回転させるこ
とによって、平行チャックの開時ストロークを任意の位
置に調整することができると共に、把持はエア駆動式平
行チャックの利点をそのまま生かせるためである。
とによって、平行チャックの開時ストロークを任意の位
置に調整することができると共に、把持はエア駆動式平
行チャックの利点をそのまま生かせるためである。
【００４０】第２の効果は、確実な把持検出ができると
いうことである。
いうことである。
【００４１】その理由は、平行チャックが閉じきった時
を検出するセンサと、チャック爪とストッパが接触して
いることを確認するセンサとを組み合わせることによっ
て、ワークの有無、及び把持確認ができるためである。
を検出するセンサと、チャック爪とストッパが接触して
いることを確認するセンサとを組み合わせることによっ
て、ワークの有無、及び把持確認ができるためである。
【図１】本発明による一実施の形態を示す斜視図であ
る。
る。
【図２】本発明による一実施の形態を示す正面図であ
る。
る。
【図３】図２のＡ−Ａ線に沿って切断し矢印の方向に見
た断面図である。
た断面図である。
【図４】本発明による一実施の形態を示す右側面図であ
る。
る。
１…チャック爪 ２、８…センサ ３…平行チャック ４…モータ ５…偏心カム ６…ガイド ７…ストッパ ９…ばね １０、１１、１２…ワーク １３…ガイド付エアシリンダ １４、１５…ねじ １４ａ、１４ｂ…スタッド １６…基台 １７…スライドブロック １７ａ…直立側面 １８…ねじ
Claims (6)
- 【請求項１】 ガイド付エアシリンダにより下方部に開
閉自在のチャック爪を有する平行チャック、基台、モー
タが上下動自在に装着されたチャック機構において、前
記モータは前記基台の上部に配設されており、前記基台
の上に配設され前記モータにより回転させられる偏心カ
ムと、前記基台上に摺動可能に配設され前記偏心カムの
カム面と当接する当接面を有するスライドブロックと、
該スライドブロックに突設され先端が前記平行チャック
のチャック爪部と当接するストッパと、前記チャック爪
が閉成されていることを検出する第１のセンサと、前記
チャック爪部に前記ストッパが当接していることを検出
する第２のセンサと、前記偏心カムのカム面が前記スラ
イドブロックの側面に接触するように付勢するばねとを
具備することを特徴としたチャック機構。 - 【請求項２】 前記スライドブロックは、前記基台に摺
動可能に装着されたガイドに固着されていることを更に
特徴とする請求項１に記載のチャック機構。 - 【請求項３】 前記第１のセンサは前記平行チャックに
配置され、前記第２のセンサは前記スライドブロックの
前記ストッパの近傍に配設されていることを更に特徴と
する請求項１に記載のチャック機構。 - 【請求項４】 前記スライドブロックは、前記偏心カム
のカム面が当接する前記当接面となる内壁面と前記チャ
ック爪部と対向する外壁面とから成る直立側面部を有
し、前記ストッパは前記直立側面部の前記外壁面に配設
され、前記第２のセンサは前記直立側面部の前記内壁面
及び前記外壁面を貫通して配設されていることを更に特
徴とする請求項１に記載のチャック機構。 - 【請求項５】 前記ばねは、コイルばねにより形成さ
れ、該コイルばねは前記基台に固定されたスタッドと前
記直立側面部に固定されたスタッドとの間に装架されて
いることを更に特徴とする請求項１または請求項４に記
載のチャック機構。 - 【請求項６】 前記チャック爪がワークを把持している
ことの確認を、前記第１のセンサ及び第２のセンサが共
に“ＯＦＦ”状態にあることにより実現し、前記チャッ
ク爪がワークを把持していないことの確認を、前記第１
のセンサが“ＯＮ”し、前記第２のセンサが“ＯＦＦ”
状態にあることにより実現し、前記ワークが開いている
ことの確認を、前記第１のセンサが“ＯＦＦ”し、前記
第２のセンサが“ＯＮ”状態にあることにより実現する
ことを更に特徴とする請求項１に記載のチャック機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16325098A JPH11347980A (ja) | 1998-06-11 | 1998-06-11 | チャック機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16325098A JPH11347980A (ja) | 1998-06-11 | 1998-06-11 | チャック機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11347980A true JPH11347980A (ja) | 1999-12-21 |
Family
ID=15770222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16325098A Pending JPH11347980A (ja) | 1998-06-11 | 1998-06-11 | チャック機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11347980A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002329766A (ja) * | 2001-05-07 | 2002-11-15 | Sunx Ltd | ウエハ検出用センサヘッドの取付構造 |
| WO2009029696A1 (en) * | 2007-08-28 | 2009-03-05 | Irm Llc | Grippers and related systems and methods providing a certain degree of play along the vertical axis |
| CN104175322A (zh) * | 2014-08-04 | 2014-12-03 | 苏州博众精工科技有限公司 | 一种抓取机构 |
| CN106166754A (zh) * | 2016-08-18 | 2016-11-30 | 苏州元谋智能机器人系统有限公司 | 一种带缓冲器的可自锁物料抓夹装置 |
| WO2018216147A1 (ja) * | 2017-05-24 | 2018-11-29 | 株式会社Ｆｕｊｉ | 部品把持具 |
| CN115458471A (zh) * | 2022-08-31 | 2022-12-09 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 卡盘装置及监测晶圆状态的方法 |
-
1998
- 1998-06-11 JP JP16325098A patent/JPH11347980A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002329766A (ja) * | 2001-05-07 | 2002-11-15 | Sunx Ltd | ウエハ検出用センサヘッドの取付構造 |
| WO2009029696A1 (en) * | 2007-08-28 | 2009-03-05 | Irm Llc | Grippers and related systems and methods providing a certain degree of play along the vertical axis |
| CN104175322A (zh) * | 2014-08-04 | 2014-12-03 | 苏州博众精工科技有限公司 | 一种抓取机构 |
| CN106166754A (zh) * | 2016-08-18 | 2016-11-30 | 苏州元谋智能机器人系统有限公司 | 一种带缓冲器的可自锁物料抓夹装置 |
| WO2018216147A1 (ja) * | 2017-05-24 | 2018-11-29 | 株式会社Ｆｕｊｉ | 部品把持具 |
| JPWO2018216147A1 (ja) * | 2017-05-24 | 2019-12-12 | 株式会社Ｆｕｊｉ | 部品把持具 |
| CN115458471A (zh) * | 2022-08-31 | 2022-12-09 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 卡盘装置及监测晶圆状态的方法 |
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