JPH11344658A - 対物レンズ - Google Patents
対物レンズInfo
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- JPH11344658A JPH11344658A JP10166383A JP16638398A JPH11344658A JP H11344658 A JPH11344658 A JP H11344658A JP 10166383 A JP10166383 A JP 10166383A JP 16638398 A JP16638398 A JP 16638398A JP H11344658 A JPH11344658 A JP H11344658A
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- housing
- objective lens
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- Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 温度変化に起因するピントズレを補正する機
能を有し、ピント合わせの作業を必要としない対物レン
ズを提供する。 【解決手段】 複数のレンズ１０と、レンズ１０を保持
するレンズ保持枠２０と、レンズ保持枠２０を収容する
中間筒３０と、この中間筒３０を収容する筐体４０と、
この筐体４０の外周に螺合するナット５０とを備える対
物レンズにおいて、ナット５０を低膨張用鋳鉄で形成す
るとともに、ナット５０と筐体４０との光軸方向の長さ
の割合を、温度変化によるレンズ１０のピントズレ量が
一定となる値に設定した。
能を有し、ピント合わせの作業を必要としない対物レン
ズを提供する。 【解決手段】 複数のレンズ１０と、レンズ１０を保持
するレンズ保持枠２０と、レンズ保持枠２０を収容する
中間筒３０と、この中間筒３０を収容する筐体４０と、
この筐体４０の外周に螺合するナット５０とを備える対
物レンズにおいて、ナット５０を低膨張用鋳鉄で形成す
るとともに、ナット５０と筐体４０との光軸方向の長さ
の割合を、温度変化によるレンズ１０のピントズレ量が
一定となる値に設定した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は半導体検査分野や
非接触型の３次元表面形状等の精密測定分野において使
用される対物レンズに関する。
非接触型の３次元表面形状等の精密測定分野において使
用される対物レンズに関する。
【０００２】
【従来の技術】顕微鏡観察は、通常倍率の異なる数本の
対物レンズを使用して行われる。
対物レンズを使用して行われる。
【０００３】また、非接触で表面形状を測定する二光束
干渉法が知られている。
干渉法が知られている。
【０００４】この二光束干渉法に使用される二光束干渉
計は可干渉光を二光束に分割し、一方を参照鏡、他方を
試料にそれぞれ入射させ、両方の光束の反射光を干渉さ
せて干渉縞を生じさせて資料の表面形状を測定する。
計は可干渉光を二光束に分割し、一方を参照鏡、他方を
試料にそれぞれ入射させ、両方の光束の反射光を干渉さ
せて干渉縞を生じさせて資料の表面形状を測定する。
【０００５】二光束干渉計を顕微鏡対物レンズの先端部
に組み込み（これを二光束干渉対物レンズという）、顕
微鏡の観察像と同時に干渉縞を得て、狭い範囲の表面形
状を測定する。
に組み込み（これを二光束干渉対物レンズという）、顕
微鏡の観察像と同時に干渉縞を得て、狭い範囲の表面形
状を測定する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】対物レンズでは、対物
レンズを構成するガラスの熱膨張による屈折率の変化に
よってピントズレが生じる。
レンズを構成するガラスの熱膨張による屈折率の変化に
よってピントズレが生じる。
【０００７】ところで、ピントズレ量は対物レンズ毎に
相違するので、ピントズレ量の差によって対物レンズ間
にはピント差が生じる。
相違するので、ピントズレ量の差によって対物レンズ間
にはピント差が生じる。
【０００８】そのため、温度変化によってピントズレが
生じたときには、その都度ピント合わせの作業を行う必
要があった。
生じたときには、その都度ピント合わせの作業を行う必
要があった。
【０００９】また、二光束干渉対物レンズでは、熱膨張
による機械的変化とガラスの熱膨張による焦点距離の変
化との合成で像の位置が決まり、熱膨張による機械的寸
法変化で干渉縞の位置が決まるので、温度変化によって
ピント差が生じる。
による機械的変化とガラスの熱膨張による焦点距離の変
化との合成で像の位置が決まり、熱膨張による機械的寸
法変化で干渉縞の位置が決まるので、温度変化によって
ピント差が生じる。
【００１０】例えば、試料面にピントが合わせてあると
き、温度が変化すると、試料面とハーフミラーで分けら
れた参照鏡の位置との共役性がなくなり、試料像を観察
しているときには干渉縞が見えず、干渉縞を観察してい
るときには試料像からピントがずれて測定ができなくな
ってしまうので、ピントズレが生じたときには、その都
度ピント合わせの作業を行う必要があった。
き、温度が変化すると、試料面とハーフミラーで分けら
れた参照鏡の位置との共役性がなくなり、試料像を観察
しているときには干渉縞が見えず、干渉縞を観察してい
るときには試料像からピントがずれて測定ができなくな
ってしまうので、ピントズレが生じたときには、その都
度ピント合わせの作業を行う必要があった。
【００１１】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は温度変化に起因するピントズレを
補正する機能を有し、ピント合わせの作業を必要としな
い対物レンズを提供することである。
たもので、その課題は温度変化に起因するピントズレを
補正する機能を有し、ピント合わせの作業を必要としな
い対物レンズを提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項１記載の発明は、複数のレンズと、各レンズを
保持するレンズ保持枠と、各レンズ保持枠を収容する中
間筒と、この中間筒を収容する筐体と、この筐体の外周
に螺合するナットとを備える対物レンズにおいて、前記
ナットを低膨張材料で形成するとともに、前記ナットと
前記筐体との光軸方向の長さの割合を、温度変化による
前記レンズのピントズレ量が一定となる値に設定したこ
とを特徴とする。
め請求項１記載の発明は、複数のレンズと、各レンズを
保持するレンズ保持枠と、各レンズ保持枠を収容する中
間筒と、この中間筒を収容する筐体と、この筐体の外周
に螺合するナットとを備える対物レンズにおいて、前記
ナットを低膨張材料で形成するとともに、前記ナットと
前記筐体との光軸方向の長さの割合を、温度変化による
前記レンズのピントズレ量が一定となる値に設定したこ
とを特徴とする。
【００１３】ナットと筐体との光軸方向の長さの割合
を、温度変化によるレンズのピントズレ量が一定となる
値としたので、複数の対物レンズを使用して顕微鏡観察
を行ったときでも、温度変化に起因するピントズレが補
正され、各対物レンズのピント面はほぼ一定となる。
を、温度変化によるレンズのピントズレ量が一定となる
値としたので、複数の対物レンズを使用して顕微鏡観察
を行ったときでも、温度変化に起因するピントズレが補
正され、各対物レンズのピント面はほぼ一定となる。
【００１４】請求項２記載の発明は、複数のレンズと、
各レンズを保持するレンズ保持枠と、各レンズ保持枠を
収容する筐体と、この筐体の外周に螺合するナットと、
このナットの外周に配置されて前記筐体の外周に螺合す
るとともに、干渉用ミラーを保持する干渉用ミラー保持
部とを備える対物レンズにおいて、前記ナットを低膨張
材料で形成するとともに、レンズによって形成される像
と干渉用ミラーによって形成される干渉像との位置が一
致するように、温度変化による前記レンズのピントズレ
量に応じて前記ナットと前記筐体との光軸方向長さの割
合を設定したことを特徴とする。
各レンズを保持するレンズ保持枠と、各レンズ保持枠を
収容する筐体と、この筐体の外周に螺合するナットと、
このナットの外周に配置されて前記筐体の外周に螺合す
るとともに、干渉用ミラーを保持する干渉用ミラー保持
部とを備える対物レンズにおいて、前記ナットを低膨張
材料で形成するとともに、レンズによって形成される像
と干渉用ミラーによって形成される干渉像との位置が一
致するように、温度変化による前記レンズのピントズレ
量に応じて前記ナットと前記筐体との光軸方向長さの割
合を設定したことを特徴とする。
【００１５】レンズによって形成される像と干渉用ミラ
ーによって形成される干渉像との位置が一致するよう
に、温度変化によるレンズのピントズレ量に応じてナッ
トと筐体との光軸方向長さの割合が設定されので、二光
束干渉法によって試料の表形状を測定したとき、温度変
化に起因するピントズレが補正され、顕微鏡の観察像と
同時に干渉縞を見ることができる。
ーによって形成される干渉像との位置が一致するよう
に、温度変化によるレンズのピントズレ量に応じてナッ
トと筐体との光軸方向長さの割合が設定されので、二光
束干渉法によって試料の表形状を測定したとき、温度変
化に起因するピントズレが補正され、顕微鏡の観察像と
同時に干渉縞を見ることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。
面に基づいて説明する。
【００１７】図１はこの発明の第１実施形態に係る対物
レンズの拡大断面図である。
レンズの拡大断面図である。
【００１８】対物レンズ１は、複数のレンズ１０と、各
レンズ１０を保持する複数のレンズ保持枠２０と、各レ
ンズ保持枠２０を直列に収容する中間筒３０と、この中
間筒３０を収容する筐体４０と、この筐体の外周に螺合
するナット５０とを備える。
レンズ１０を保持する複数のレンズ保持枠２０と、各レ
ンズ保持枠２０を直列に収容する中間筒３０と、この中
間筒３０を収容する筐体４０と、この筐体の外周に螺合
するナット５０とを備える。
【００１９】レンズ保持枠２０は所定の倍率を得ること
ができるように複数のレンズ１０を保持している。な
お、レンズ１０の組合せによって得られる倍率は１〜１
００程度である。
ができるように複数のレンズ１０を保持している。な
お、レンズ１０の組合せによって得られる倍率は１〜１
００程度である。
【００２０】中間筒３０は筐体４０内に摺動可能に挿入
されている。中間筒３０の上端部内周面には雌ねじ３１
が形成され、雌ねじ３１には押え環６０の外周面に形成
された雄ねじ６１が螺合している。
されている。中間筒３０の上端部内周面には雌ねじ３１
が形成され、雌ねじ３１には押え環６０の外周面に形成
された雄ねじ６１が螺合している。
【００２１】筐体４０の上端部外周面には顕微鏡本体
（図示せず）に固定するための対物レンズ取付ねじ４１
が形成されている。
（図示せず）に固定するための対物レンズ取付ねじ４１
が形成されている。
【００２２】また、筐体４０の下側の小径部４２の外周
面４３にはナット５０の内周面に形成された雌ねじ５１
と螺合する雄ねじ４４が形成されている。ナット５０は
筐体４０の上側の大径部４５の胴付き面４５ａに当接す
るまでねじ込まれている。
面４３にはナット５０の内周面に形成された雌ねじ５１
と螺合する雄ねじ４４が形成されている。ナット５０は
筐体４０の上側の大径部４５の胴付き面４５ａに当接す
るまでねじ込まれている。
【００２３】中間筒３０と筐体４０との間には圧縮ばね
７０が設けられ、この圧縮ばね７０によって中間筒３０
の胴付き面３０ａをナット５０のフランジ部５２に押し
つけている。
７０が設けられ、この圧縮ばね７０によって中間筒３０
の胴付き面３０ａをナット５０のフランジ部５２に押し
つけている。
【００２４】ナット５０としては、例えばニレジスト鋳
鉄等の低膨張用鋳鉄（低膨張材料）が使用される。
鉄等の低膨張用鋳鉄（低膨張材料）が使用される。
【００２５】ここで、ナット５０の長さをＬ２、筐体４
０の対物レンズ取付ねじ４１の胴付き面４１ａからナッ
トの胴付き面４５ａまでの距離（長さ）Ｌ１、ナット５
０の線膨張率をα２、筐体４０の線膨張率をα１とした
とき、対物レンズ取付ねじ４１の胴付き面４１ａと中間
筒３０の胴付き面３０ａとの距離は（Ｌ１×α１＋Ｌ２
×α２）となるので、この距離が一定となるように上記
パラメータを設定する。
０の対物レンズ取付ねじ４１の胴付き面４１ａからナッ
トの胴付き面４５ａまでの距離（長さ）Ｌ１、ナット５
０の線膨張率をα２、筐体４０の線膨張率をα１とした
とき、対物レンズ取付ねじ４１の胴付き面４１ａと中間
筒３０の胴付き面３０ａとの距離は（Ｌ１×α１＋Ｌ２
×α２）となるので、この距離が一定となるように上記
パラメータを設定する。
【００２６】２つの対物レンズ（それぞれ対物レンズ
Ａ，対物レンズＢとする）の場合を例にとって説明す
る。
Ａ，対物レンズＢとする）の場合を例にとって説明す
る。
【００２７】例えば、対物レンズＡの屈折率の温度変化
によるピントズレ量を５μｍ／１０℃、Ｌ１を１０ｍ
ｍ、Ｌ２を２２ｍｍ、α１を２０×１０-6／℃、α２を
２×１０-6／℃とし、対物レンズＢの屈折率の温度変化
によるピントズレ量を３μｍ／１０℃、Ｌ１を２１ｍ
ｍ、Ｌ２を１１ｍｍ、α１を２０×１０-6／℃、α２を
２×１０-6／℃とする。
によるピントズレ量を５μｍ／１０℃、Ｌ１を１０ｍ
ｍ、Ｌ２を２２ｍｍ、α１を２０×１０-6／℃、α２を
２×１０-6／℃とし、対物レンズＢの屈折率の温度変化
によるピントズレ量を３μｍ／１０℃、Ｌ１を２１ｍ
ｍ、Ｌ２を１１ｍｍ、α１を２０×１０-6／℃、α２を
２×１０-6／℃とする。
【００２８】温度が１０℃上昇したとき、対物レンズＡ
のピント面は５＋２．４４＝７．４４μｍだけ延びる。
のピント面は５＋２．４４＝７．４４μｍだけ延びる。
【００２９】また、温度が１０℃上昇したとき、対物レ
ンズＢのピント面は３＋４．４２＝７．４２μｍだけ延
びる。
ンズＢのピント面は３＋４．４２＝７．４２μｍだけ延
びる。
【００３０】すなわち、対物レンズＡと対物レンズＢと
の間に屈折率の温度変化によるピントズレ量があって
も、筐体４０やナット５０として所定の材料のものを使
用し、ナット５０と筐体４０との光軸方向の長さの割合
を所定の割合とすることによって、対物レンズＡと対物
レンズＢとの間の温度変化によるピントズレ量を一定と
することができる。
の間に屈折率の温度変化によるピントズレ量があって
も、筐体４０やナット５０として所定の材料のものを使
用し、ナット５０と筐体４０との光軸方向の長さの割合
を所定の割合とすることによって、対物レンズＡと対物
レンズＢとの間の温度変化によるピントズレ量を一定と
することができる。
【００３１】この実施形態によれば、対物レンズ１間で
温度によって生じるピントが補正され、倍率の切換時に
ピント合わせが不要になる。
温度によって生じるピントが補正され、倍率の切換時に
ピント合わせが不要になる。
【００３２】なお、対物レンズＡと対物レンズＢとの関
係を表１に対比して示した。
係を表１に対比して示した。
【００３３】
【表１】 図２はこの発明の第２実施形態に係る対物レンズの拡大
断面図である。
断面図である。
【００３４】この実施形態は二光束干渉対物レンズの一
例である。
例である。
【００３５】二光束干渉対物レンズ（対物レンズ）１０
１は、複数のレンズ１１０と、各レンズ１１０を保持す
る複数のレンズ保持枠１２０と、各レンズ保持枠１２０
を収容する筐体１４０と、この筐体１４０の外周に螺合
する低膨張用鋳鉄で形成されたナット１５０と、このナ
ット１５０の外周に配置されて筐体１４０の外周に螺合
するとともに、参照ミラー（干渉用ミラー）１８１を保
持する干渉用ミラー保持部（干渉用ミラー保持部）１８
０とを備える。
１は、複数のレンズ１１０と、各レンズ１１０を保持す
る複数のレンズ保持枠１２０と、各レンズ保持枠１２０
を収容する筐体１４０と、この筐体１４０の外周に螺合
する低膨張用鋳鉄で形成されたナット１５０と、このナ
ット１５０の外周に配置されて筐体１４０の外周に螺合
するとともに、参照ミラー（干渉用ミラー）１８１を保
持する干渉用ミラー保持部（干渉用ミラー保持部）１８
０とを備える。
【００３６】レンズ保持枠１２０は所定の倍率を得るこ
とができるように複数のレンズ１１０を保持している。
とができるように複数のレンズ１１０を保持している。
【００３７】筐体１４０の上端部内周面には雌ねじ１４
１が形成され、雌ねじ１４１には押え環１６０の外周面
に形成された雄ねじ１６１が螺合している。
１が形成され、雌ねじ１４１には押え環１６０の外周面
に形成された雄ねじ１６１が螺合している。
【００３８】筐体１４０の下部の小径部１４２の外周面
にはナット１５０の内周面に形成された雌ねじ１５１と
螺合する雄ねじ１４３が形成されている。ナット１５０
は筐体１４０の胴付き面１４０ａまでねじ込まれてい
る。
にはナット１５０の内周面に形成された雌ねじ１５１と
螺合する雄ねじ１４３が形成されている。ナット１５０
は筐体１４０の胴付き面１４０ａまでねじ込まれてい
る。
【００３９】また、筐体１５０の大径部１４４と小径部
１４２との中には大径部１４４と小径部１４２との中間
の径を有する中径部１４５が形成され、中径部１４５の
外周面には干渉用ミラー保持枠１８０の内周面に形成さ
れた雌ねじ１８２と螺合する雄ねじ１４６が形成されて
いる。干渉用ミラー保持枠１８０は筐体１４０の胴付き
面１４０ｂまでねじ込まれている。
１４２との中には大径部１４４と小径部１４２との中間
の径を有する中径部１４５が形成され、中径部１４５の
外周面には干渉用ミラー保持枠１８０の内周面に形成さ
れた雌ねじ１８２と螺合する雄ねじ１４６が形成されて
いる。干渉用ミラー保持枠１８０は筐体１４０の胴付き
面１４０ｂまでねじ込まれている。
【００４０】干渉用ミラー保持枠１８０の下端部には参
照ミラー１８１とハーフミラー１８３とがレンズ１１０
の光軸上に所定の間隔をおいて保持されている。
照ミラー１８１とハーフミラー１８３とがレンズ１１０
の光軸上に所定の間隔をおいて保持されている。
【００４１】ナット１５０は、例えばニレジスト鋳鉄等
の低膨張用鋳鉄（低膨張材料）で形成される。
の低膨張用鋳鉄（低膨張材料）で形成される。
【００４２】屈折率の温度変化によるピントズレ量を
δ、筐体１４０の胴付き面１４０ｃと参照ミラー１８１
との距離をＬ５、ナット１５０の長さをＬ４、筐体１４
０の胴付き面１４０ｃと胴付き面１４０ａとの距離をＬ
３、干渉用ミラー保持枠１８０の線膨張率をα５、ナッ
ト１５０の線膨張率をα４、筐体１４０の線膨張率をα
３としたとき、像のピント位置は（δ＋Ｌ３×α３＋Ｌ
４×α４）変化し、干渉縞の位置は（Ｌ５×α５）変化
するので、像のピント位置と干渉縞の位置とが一致する
ように上記パラメータを設定する。
δ、筐体１４０の胴付き面１４０ｃと参照ミラー１８１
との距離をＬ５、ナット１５０の長さをＬ４、筐体１４
０の胴付き面１４０ｃと胴付き面１４０ａとの距離をＬ
３、干渉用ミラー保持枠１８０の線膨張率をα５、ナッ
ト１５０の線膨張率をα４、筐体１４０の線膨張率をα
３としたとき、像のピント位置は（δ＋Ｌ３×α３＋Ｌ
４×α４）変化し、干渉縞の位置は（Ｌ５×α５）変化
するので、像のピント位置と干渉縞の位置とが一致する
ように上記パラメータを設定する。
【００４３】ここで、像のピント位置は、δ＝５μｍ／
１０℃、Ｌ３＝１２．５ｍｍ、Ｌ４＝２５ｍｍ、α３＝
２０×１０-6／℃、α４＝２×１０-6／℃としたとき、
８μｍ／１０℃変化する。
１０℃、Ｌ３＝１２．５ｍｍ、Ｌ４＝２５ｍｍ、α３＝
２０×１０-6／℃、α４＝２×１０-6／℃としたとき、
８μｍ／１０℃変化する。
【００４４】また、干渉縞の位置は、Ｌ５＝４０ｍｍ、
α５＝２０×１０-6／℃としたとき、８μｍ変化する。
α５＝２０×１０-6／℃としたとき、８μｍ変化する。
【００４５】すなわち、象の位置と干渉縞の位置とは同
じ距離だけ変化するので、レンズ１１０によって形成さ
れる像と参照ミラー１８１によって形成される干渉像と
の位置が一致する。
じ距離だけ変化するので、レンズ１１０によって形成さ
れる像と参照ミラー１８１によって形成される干渉像と
の位置が一致する。
【００４６】この実施形態によれば、二光束干渉対物レ
ンズ１０１の温度差に起因する像と干渉縞とのピント差
が補正されるので、ピント合わせが不要になり、３次元
表面形状測定の自動化が可能となる。
ンズ１０１の温度差に起因する像と干渉縞とのピント差
が補正されるので、ピント合わせが不要になり、３次元
表面形状測定の自動化が可能となる。
【００４７】図３はこの発明の第３実施形態に係る対物
レンズの拡大断面図であり、図２と同一部分には同一符
号を付してその説明を省略する。
レンズの拡大断面図であり、図２と同一部分には同一符
号を付してその説明を省略する。
【００４８】この実施形態はナット１５０の代わりに中
間筒１３０を設け、この中間筒１３０にレンズ保持枠１
２０を収容した点で第２実施形態と異なる。したがっ
て、この実施形態では中間筒１３０に低膨張用鋳鉄が用
いられている。
間筒１３０を設け、この中間筒１３０にレンズ保持枠１
２０を収容した点で第２実施形態と異なる。したがっ
て、この実施形態では中間筒１３０に低膨張用鋳鉄が用
いられている。
【００４９】中間筒１３０の胴付き面１３０ａまでの長
さをＬ７、筐体１４０の胴付き面と胴付き面１４０ｃと
の距離Ｌ６とする。
さをＬ７、筐体１４０の胴付き面と胴付き面１４０ｃと
の距離Ｌ６とする。
【００５０】この実施形態によれば、Ｌ４に対応するＬ
７の寸法を長くしたので、第２実施形態の場合よりも大
きな温度変化に対応することができる。
７の寸法を長くしたので、第２実施形態の場合よりも大
きな温度変化に対応することができる。
【００５１】なお、上記各実施形態においては低膨張材
料として低膨張用鋳鉄を使用したが、低膨張用鋳鉄の他
にセラミックス等の低膨張材料を使用してもよい。
料として低膨張用鋳鉄を使用したが、低膨張用鋳鉄の他
にセラミックス等の低膨張材料を使用してもよい。
【００５２】
【発明の効果】以上に説明したように請求項１に記載の
発明の対物レンズによれば、複数の対物レンズを使用し
て顕微鏡観察を行ったときでも、温度変化に起因するピ
ントズレが補正され、各対物レンズのピント面はほぼ一
定となり、倍率の切換時にピント合わせが不要になる。
発明の対物レンズによれば、複数の対物レンズを使用し
て顕微鏡観察を行ったときでも、温度変化に起因するピ
ントズレが補正され、各対物レンズのピント面はほぼ一
定となり、倍率の切換時にピント合わせが不要になる。
【００５３】請求項２に記載の発明の対物レンズによれ
ば、二光束干渉法によって試料の表形状を測定したと
き、温度変化に起因するピントズレが補正され、顕微鏡
の観察像と同時に干渉縞を見ることができ、ピント合わ
せの作業が不要になり、非接触３次元表面形状測定の自
動化が可能となる。
ば、二光束干渉法によって試料の表形状を測定したと
き、温度変化に起因するピントズレが補正され、顕微鏡
の観察像と同時に干渉縞を見ることができ、ピント合わ
せの作業が不要になり、非接触３次元表面形状測定の自
動化が可能となる。
【図１】図１はこの発明の第１実施形態に係る対物レン
ズの拡大断面図である。
ズの拡大断面図である。
【図２】図２はこの発明の第２実施形態に係る対物レン
ズの拡大断面図である。
ズの拡大断面図である。
【図３】図３はこの発明の第３実施形態に係る対物レン
ズの拡大断面図である。
ズの拡大断面図である。
１，１０１ 対物レンズ １０，１１０ レンズ ２０，１２０ レンズ保持枠 ３０，１３０ 中間筒 ４０，１４０ 筐体 ５０，１５０ ナット １８０ 干渉用ミラー保持枠（干渉用ミラー保持部） １８１ 参照ミラー（干渉用ミラー）
Claims (2)
- 【請求項１】 複数のレンズと、各レンズを保持するレ
ンズ保持枠と、各レンズ保持枠を収容する中間筒と、こ
の中間筒を収容する筐体と、この筐体の外周に螺合する
ナットとを備える対物レンズにおいて、 前記ナットを低膨張材料で形成するとともに、前記ナッ
トと前記筐体との光軸方向の長さの割合を、温度変化に
よる前記レンズのピントズレ量が一定となる値に設定し
たことを特徴とする対物レンズ。 - 【請求項２】 複数のレンズと、各レンズを保持するレ
ンズ保持枠と、各レンズ保持枠を収容する筐体と、この
筐体の外周に螺合するナットと、このナットの外周に配
置されて前記筐体の外周に螺合するとともに、干渉用ミ
ラーを保持する干渉用ミラー保持部とを備える対物レン
ズにおいて、 前記ナットを低膨張材料で形成するとともに、レンズに
よって形成される像と干渉用ミラーによって形成される
干渉像との位置が一致するように、温度変化による前記
レンズのピントズレ量に応じて前記ナットと前記筐体と
の光軸方向長さの割合を設定したことを特徴とする対物
レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10166383A JPH11344658A (ja) | 1998-05-29 | 1998-05-29 | 対物レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10166383A JPH11344658A (ja) | 1998-05-29 | 1998-05-29 | 対物レンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11344658A true JPH11344658A (ja) | 1999-12-14 |
Family
ID=15830407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10166383A Withdrawn JPH11344658A (ja) | 1998-05-29 | 1998-05-29 | 対物レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11344658A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006184485A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Olympus Corp | 枠固定構造を有する光学装置 |
| JP2007034295A (ja) * | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | 顕微鏡対物レンズ及び顕微鏡観察方法 |
| JP2007155760A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-21 | Fujinon Corp | レンズ鏡筒 |
| JP2012093166A (ja) * | 2010-10-26 | 2012-05-17 | Mitsutoyo Corp | 干渉対物レンズユニット及び当該干渉対物レンズユニットを備えた光干渉測定装置 |
| JP2013104998A (ja) * | 2011-11-14 | 2013-05-30 | Olympus Corp | 干渉対物レンズ |
| CN105182512A (zh) * | 2015-10-30 | 2015-12-23 | 广西中才铝业有限公司 | 一种显微镜管筒 |
-
1998
- 1998-05-29 JP JP10166383A patent/JPH11344658A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| EP2447663B1 (en) * | 2010-10-26 | 2018-12-05 | Mitutoyo Corporation | Interference objective lens unit with temperature variation compensation and light-interference measuring apparatus using thereof |
| JP2013104998A (ja) * | 2011-11-14 | 2013-05-30 | Olympus Corp | 干渉対物レンズ |
| CN105182512A (zh) * | 2015-10-30 | 2015-12-23 | 广西中才铝业有限公司 | 一种显微镜管筒 |
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|---|---|---|---|
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