JPH1133947A - Double shaft rotary driving device - Google Patents

Double shaft rotary driving device

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JPH1133947A
JPH1133947A JP19668397A JP19668397A JPH1133947A JP H1133947 A JPH1133947 A JP H1133947A JP 19668397 A JP19668397 A JP 19668397A JP 19668397 A JP19668397 A JP 19668397A JP H1133947 A JPH1133947 A JP H1133947A
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output shaft
shaft
rotation
rotary
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JP19668397A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazuto Ikeda
和人 池田
Original Assignee
Kokusai Electric Co Ltd
国際電気株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To simplify the drive control by driving the only first driving motor so that a second rotary output shaft, which is coaxially fitted to a second driving motor, is synchronously rotated with a first rotary output shaft to be driven by the first driving motor. SOLUTION: A first rotary output shaft 3 is coaxially fitted to a motor rotary shaft 1a of a first driving motor 1 through a coupling 7. The first rotary output shaft 3 is formed into a hollow cylindrical shape, of which rear part 3b close to the first driving motor is closed and of which front part 3a far from the first driving motor 1 is opened. A second driving motor 2 is fitted in the hollow cylindrical first rotary output shaft 3 so that a motor rotary shaft 2a is coaxially fitted to the first rotary output shaft 3. A second rotary output shaft 4 is coaxially fitted to the motor rotary shaft 2a of the second driving motor 2 through a coupling 8. With this structure, posture of a robot arm is maintained so as to perform the rotary carrying of semi-conductor substrate without synchronously adjusting the driving motors, and complicated drive control is thereby eliminated.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、回転出力の取出し方向が同方向で同軸上の2軸回転駆動装置に係り、特に半導体基板やガラス基板のような被処理物を処理ステーション間で搬送する搬送用ロボットの駆動源に好適な2 The present invention relates to the extraction direction of the rotary output relates to a two-axis rotation drive device coaxially same direction, in particular transport between processing stations an object to be processed such as a semiconductor substrate or a glass substrate suitable driving source of the conveying robot 2
軸回転駆動装置に関するものである。 It relates axial rotation drive apparatus.

【0002】 [0002]

【従来の技術】半導体基板を処理ステーション間で搬送する搬送用ロボットの駆動源に使用されている従来の2 BACKGROUND OF THE INVENTION conventionally used as a driving source of the conveying robot for conveying the semiconductor substrate between the processing station 2
軸回転駆動装置の構成を図6に示す。 The configuration of the axial rotation drive apparatus shown in FIG.

【0003】回転出力の取出し方向が同方向で同軸上の2軸回転を可能とするため、2つのモータ21、22の回転出力軸は、中空の第1回転出力軸23と、この中空第1回転出力軸23内に同軸的に配設された第2回転出力軸24との2軸で構成される。 [0003] Since the take-out direction of the rotational output to allow biaxial rotation coaxially in the same direction, the rotational output shaft of the two motors 21 and 22, the first rotation output shaft 23 of the hollow, the hollow first It consists of two axes and the rotation output shaft 24 which is coaxially disposed within the rotary output shaft 23. 第1回転出力軸23及び第2回転出力軸24の軸回りに、回転負荷保持用ベアリング25を介してダイレクトドライブモータと呼ばれる駆動用モータ21及び22が同軸的に設けられる。 About the axis of the first rotation output shaft 23 and a second rotary output shaft 24, the drive motor 21 and 22, called the direct drive motor via a rotary load holding bearing 25 are provided coaxially. これらの駆動用モータ21、22によって第1回転出力軸23または第2回転出力軸24を単独あるいは同期調整しながら駆動する。 These first rotary output shaft 23 or the second rotation output shaft 24 by the drive motor 21 for driving while alone or synchronization adjustment.

【0004】また図7のように、第1回転出力軸23の駆動を、ダイレクトドライブモータではなく、第1回転出力軸23に巻回したタイミングプーリ28とタイミングベルト29によりカップリング27を介して汎用モータ21aで行う場合もある。 [0004] As in FIG. 7, the driving of the first rotation output shaft 23, rather than a direct drive motor, the timing pulley 28 and a timing belt 29 wound first rotary output shaft 23 wound via a coupling 27 in some cases carried out in a general-purpose motor 21a.

【0005】上記2軸回転駆動装置を、半導体基板を搬送するための搬送用ロボットの駆動源として採用する場合には、2軸回転駆動装置は図8のようにロボットアーム6と結合される。 [0005] The above two-axis rotation driving device, if employed as a driving source of the conveying robot for conveying the semiconductor substrate, two-axis rotary drive is coupled to the robot arm 6 as shown in FIG.

【0006】ロボットアーム6は2つの中空のアーム6 [0006] The robot arm 6 is of two hollow of the arm 6
1、62からなり、3つの関節を有する。 It consists of 1,62, with three joints. 第1関節6A The first joint 6A
は第1アーム61の付根に、第2関節6Bは第1アーム61と第2アーム62との接続部に、第3関節6Cは第2アーム62の先端にそれぞれ設けられる。 The base of the first arm 61, second joint 6B the connection portion between the first arm 61 and second arm 62, third joint 6C are respectively provided at the tip of the second arm 62. 第1関節6 The first joint 6
Aを中心に第1アーム61を回転させ、第2関節6Bを中心に第1アーム61及び第2アーム62を相対回転させ、第3関節6Cを中心に基板受載板67を回転させようになっている。 Rotating the first arm 61 about the A, the first arm 61 and second arm 62 are relatively rotated about the second joint 6B, it tends to rotate the substrate 受載 plate 67 around the third joint 6C Ni going on.

【0007】2軸回転駆動装置は、既述したように、ダイレクトドライブモータ21によって回転駆動する中空円筒状の第1回転出力軸23内に、ダイレクトドライブモータ21の下部に同軸的に設けたダイレクトドライブモータ22によって駆動回転する第2回転出力軸24を挿通して、第1回転出力軸23及び第2回転出力軸24 [0007] 2-axis rotation drive, as described above, in a hollow cylindrical shape in the first rotation output shaft 23 that rotates by a direct drive motor 21, direct that coaxially provided in the lower portion of the direct drive motor 21 and inserting the second rotary output shaft 24 which is rotationally driven by a drive motor 22, the first rotation output shaft 23 and a second rotary output shaft 24
をそれぞれ回転自在に支承する。 The respectively rotatably supported.

【0008】第1関節軸となる第2回転出力軸24の上端に第1アーム61の基端側を固着して回転自在に設ける。 [0008] the upper end of the second rotary output shaft 24 serving as the first joint shaft fixing a base end of the first arm 61 rotatably provided. 第1アーム61の先端側に第2関節軸となる連結軸64を回転自在に設け、連結軸64は第1アーム61の上方に突出させ、連結軸64の上端には第2アーム62 Rotatably mounted a connecting shaft 64 as a second joint shaft on the distal end side of the first arm 61, connecting shaft 64 is protruded above the first arm 61, second arm 62 to the upper end of the connecting shaft 64
を固着する。 To fix the.

【0009】第1回転出力軸23の上端に固定プーリ6 [0009] fixed pulley 6 to the upper end of the first rotation output shaft 23
3を固着し、第1アーム61の内部の連結軸64の下端部に拡径した伝動プーリ64aを設け、固定プーリ63 3 fixed to the transmission pulley 64a provided with an enlarged diameter at the lower end portion of the connecting shaft 64 inside the first arm 61, the fixed pulley 63
と伝動プーリ64aとをベルト68によって連結する。 A transmission pulley 64a is coupled by a belt 68 and.

【0010】第2アーム62に遊動プーリ65を固着立設し、第2アーム62は遊動プーリ65に回転自在に嵌合させ、連結軸64は遊動プーリ65に回転自在に貫通させる。 [0010] The idler pulley 65 to the second arm 62 fixed upright, the second arm 62 is rotatably fitted to the idler pulley 65, the connecting shaft 64 rotates freely through the idler pulley 65. 第2アーム62の回動先端側に第3関節軸となる従動軸66を回転自在に設け、従動軸66の下端に拡径した従動プーリ66aを設け、従動プーリ66aと遊動プーリ65とをベルト69により連結する。 It provided a driven shaft 66 of the third joint axis to pivot the distal end side of the second arm 62 rotatably, the driven pulley 66a which is expanded to a lower end of the driven shaft 66 is provided, the belt and the driven pulley 66a and the idler pulley 65 connected by 69. そして従動軸66の上端には基板受載板67を固着する。 And the upper end of the driven shaft 66 is fixed to the substrate 受載 plate 67.

【0011】図9は上述した第1アーム61と第2アーム62とが重なったときの待機位置でのロボットアーム6の平面図であり、基板受載板67に取り付けたツィーザ67a上に半導体基板Wが載置されている状態を示す。 [0011] Figure 9 is a plan view of the robot arm 6 in the standby position when the first arm 61 as described above and the second arm 62 are overlapped, the semiconductor substrate on a tweezers 67a attached to the substrate 受載 plate 67 W shows a state in which is placed.

【0012】図10を用いて、第1駆動用モータが停止保持された状態で、第2駆動用モータを作動させた場合のロボットアーム6の作動を説明する。 [0012] with reference to FIG. 10, in a state where the first drive motor is stopped and held, illustrating the operation of the robot arm 6 in the case of actuating the second drive motor. なお、モータの停止保持とは、モータを駆動せず、回転出力軸の回転をロックさせることである。 Note that the motor stopped and held, without driving the motor is to lock the rotation of the rotary output shaft. 第2駆動用モータを作動してその回転出力軸24を反時計方向に回動させると、第1 It rotates the rotation output shaft 24 in the counterclockwise direction by operating the second drive motor, first
アーム61も反時計方向に回転する。 Arm 61 also rotates counterclockwise. この回転に伴って固定プーリ63が相対回転し、この固定プーリ63の相対回転はベルト68を介して伝動プーリ64aに伝達され、伝動プーリ64aは連結軸64を介して第2アーム62を時計方向に回動させる。 The fixed pulley 63 rotates relatively with the rotation, the relative rotation of the fixed pulley 63 is transmitted to the transmission pulley 64a through a belt 68, a transmission pulley 64a is a second arm 62 clockwise through the connecting shaft 64 It is rotated to.

【0013】第2アーム62が第1アーム61に対して回動することで第2アーム62と遊動プーリ65との間で相対回転を生じ、この相対回転はベルト69を介して従動プーリ66aに伝達され、従動プーリ66aは従動軸66を介して基板受載板67を時計方向に回転させる。 A second arm 62 is caused to relative rotation between the second arm 62 and the idler pulley 65 by rotation relative to the first arm 61, the relative rotation to the driven pulley 66a via the belt 69 is transmitted, the driven pulley 66a rotates the substrate 受載 plate 67 in the clockwise direction via the driven shaft 66.

【0014】そして固定プーリ63と伝動プーリ64a [0014] and a fixed pulley 63 transmission pulley 64a
との回転比と、遊動プーリ65と従動プーリ66aとの回転比を逆比(2:1)としている。 It is set to: (1 2) and the rotation ratio of the reverse ratio rotational ratio between idler pulley 65 and the driven pulley 66a. この逆比により、 This inverse ratio,
図11の略図に示す通り、第1アーム61が角度αだけ回転するとそれに連動して第2アーム62が角度2αだけ回転する装置となる。 As shown in schematic in FIG. 11, the second arm 62 in conjunction therewith when the first arm 61 is rotated by an angle α becomes an apparatus for rotating by an angle 2.alpha. これにより基板受載板67は同一姿勢を保持しつつ直進運動をし、ロボットアーム6による半導体基板Wの一方向安定搬送が可能となる。 Accordingly substrate 受載 plate 67 is a linear motion while maintaining the same posture, thereby enabling unidirectional stable conveying of the semiconductor substrate W by the robot arm 6.

【0015】上述した搬送用ロボットのロボットアーム6は、第1駆動用モータ21、第2駆動用モータ22の駆動、停止保持の組合せにより、図12〜図14に示す3つの搬送スタイルを取る。 [0015] The transfer robot described above the robot arm 6, the first driving motor 21, driving of the second driving motor 22, by a combination of stopping and holding, taking three carrier styles shown in FIGS. 12 to 14.

【0016】(1) 一方向搬送(図12) これは既に図10を用いて説明した搬送スタイルであり、第1駆動用モータ21を停止保持とし、第2駆動用モータ22のみ駆動した場合、ロボットアーム6は、基板受載板67を同一姿勢を保持して(a)→(b)→ [0016] (1) one-way conveyor (12) which is already a conveyor style described with reference to FIG. 10, the first drive motor 21 and stopped and held, when driven only the second drive motor 22, the robot arm 6, a substrate 受載 plate 67 to hold the same posture (a) → (b) →
(c)のように直進運動して半導体基板Wの一方向搬送を行う。 It makes one-way conveyance of the semiconductor substrate W by linear movement as shown in (c).

【0017】(2) 回転搬送(図13) 駆動用モータ21のみ駆動し、第2駆動用モータ22は停止保持とした場合、第1アーム61は動かず、第2アーム62のみが回転する。 [0017] (2) rotating conveyor (13) driven only the drive motor 21, the second driving motor 22 when the stop-holding, first arm 61 does not move, only the second arm 62 is rotated. それによってロボットアーム6は(a)→(b)→(c)のように作動して、半導体基板Wを90°回転させた搬送を行う。 Whereby the robot arm 6 operates as (a) → (b) → (c), for transporting to the semiconductor substrate W is rotated 90 °.

【0018】(3) 姿勢保持搬送(図14) 駆動用モータ21、22の同期調整をとりながら回転出力軸23、24の2軸を同時に駆動した場合、第1アーム61と第2アーム62は待機位置のときと同じく重なったまま回転する。 [0018] (3) attitude holding conveyance (14) when driving the two axes of rotation output shaft 23, 24 simultaneously while synchronizing adjustment of the driving motor 21, a first arm 61 second arm 62 It rotates while also overlapped with the standby position. それによってロボットアーム6は、 Whereby the robot arm 6,
(a)→(b)→(c)のように作動して、アーム姿勢保持状態で半導体基板Wの90°回転搬送を行う。 (A) → operates as (b) → (c), performing the 90 ° rotation conveying of the semiconductor substrate W by the arm position holding state.

【0019】 [0019]

【発明が解決しようとする課題】しかし、ロボットアームに上述した従来の2軸回転駆動装置を用いた場合、図14の半導体基板Wの姿勢保持搬送を行わせるには、駆動用モータ21、22の同期調整をとりながら駆動しなければならないため、駆動制御を複雑なものとしていた。 [SUMMARY OF THE INVENTION However, when a conventional two-axis rotary drive device described above to the robot arm, to carry out the posture holding and conveying of the semiconductor substrate W of FIG. 14, the drive motor 21 and 22 because the must drive synchronously adjusted, it had a drive and control complicated.

【0020】また、ダイレクトドライブモータを使用するため装置が高価になるという欠点もあった。 Further, there was the disadvantage apparatus becomes expensive to use the direct drive motor.

【0021】そこで、本発明の目的は、従来技術の問題点を解消して、同軸上に配置した2つのモータのうち、 [0021] It is an object of the present invention is to solve the problems of the prior art, one of the two motors arranged coaxially,
1のモータで他のモータをモータごと駆動させることによって、同期調整しなくても姿勢保持搬送を行いうる、 Other motor by driving each motor 1 of the motor, can perform even attitude holding conveyance without adjusting synchronization,
簡易で制御の容易な2軸回転駆動装置を堤供することにある。 In subjecting Tsutsumi easy two-axis rotation drive control in a simple manner.

【0022】 [0022]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため、本発明の2軸回転駆動装置は、第1駆動用モータと、第1駆動用モータのモータ回転軸に同軸的に取り付けられ、第1駆動用モータ側に近い軸方向の後部が閉じ、モータ側から遠い前部が開放した中空円筒状の第1 To achieve the above object, according to an aspect of biaxial rotation driving device of the present invention includes a first drive motor, coaxially attached to the motor shaft of the first drive motor, the 1 the rear portion of the axial direction close to the drive motor side closed, hollow cylindrical first which is far front from the motor side is open
回転出力軸と、中空円筒状の第1回転出力軸内に、そのモータ回転軸が第1回転出力軸と同軸上になるように一体的に取り付けられ第2駆動用モータと、第2駆動用モータのモータ回転軸に同軸的に取り付けられ、中空円筒状の第1回転出力軸の開放した前部から第1回転出力軸と同軸的に取り出される第2回転出力軸とを備えたものである。 A rotary output shaft, a hollow cylindrical first rotational output in the shaft, a second driving motor mounted integrally to the motor rotation shaft is in the first rotation output shaft coaxially, a second drive coaxially mounted on the motor shaft of the motor, in which a second rotary output shaft from the open front of the first rotation output shaft hollow cylindrical are first rotary output shaft coaxially withdrawn .

【0023】本発明において、第2駆動用モータを停止保持し、第1駆動用モータを駆動した場合、中空円筒状の第1回転出力軸が回転する。 [0023] In the present invention, the second drive motor is stopped and held, when driving the first drive motor, a hollow cylindrical first rotation output shaft of the rotate. 中空円筒状の第1回転出力軸内に第2駆動用モータが一体的に取り付けられているので、第1回転出力軸の回転に伴って第2駆動用モータ自身も回転する。 Since the second drive motor to the hollow cylindrical first rotational output in the shaft is integrally attached, also rotates the second drive motor itself with the rotation of the first rotation output shaft. このため第2駆動用モータのモータ回転軸に取り付けられた内部の第2回転出力軸も回転する。 Therefore also rotates the second rotation output shaft of the internal attached to the motor rotation shaft of the second drive motor. すなわち、第1駆動用モータのみを駆動させることによって、2つの駆動用モータを同期調整することなく、第2回転出力軸を第1回転出力軸と同期回転させて、図14の姿勢搬送スタイルを実現することができる。 That is, by driving only the first drive motor, without adjusting synchronize the two drive motors, a second rotary output shaft rotates synchronized first rotary output shaft, a posture conveying style 14 it can be realized.

【0024】また、第2駆動用モータを駆動して、第1 Further, by driving the second drive motor, first
駆動用モータを停止保持した場合、外部の第1回転出力軸は回転せず、その内部の第2回転出力軸のみが回転する。 If you stop holding the drive motor, first rotation output shaft of the external is not rotated, only the second rotation output shaft of the internal is rotated. したがって、第2回転出力軸のみの回転により、図12の一方向搬送も実現できる。 Thus, by rotation of only the second rotation output shaft, it can be realized in one direction conveyance of FIG.

【0025】なお、本発明では、第1回転出力軸を回転させると、第2駆動用モータが停止保持していても、第2回転出力軸が同時に回転してしまうため、特に第1回転出力軸の回転を相殺するような回転を第2回転出力軸に与えない限り、第1回転出力軸のみを回転させるという図13の搬送スタイルを実現することはできない。 [0025] In the present invention, by rotating the first rotation output shaft, even if the second driving motor maintains stopped, since the second rotation output shaft will rotate at the same time, especially the first rotational output do not confer rotation that cancels the rotation of the shaft to the second rotary output shaft, it can not be realized conveyance style 13 of rotating only the first rotation output shaft. しかし、上記したロボットアーム6による半導体基板の搬送スタイルにおいて、むしろ図12、図14の搬送スタイルが主体であって使用頻度が高く、これに対して図1 However, in the transport category of the semiconductor substrate by the robot arm 6 as described above, but rather FIG. 12, a high frequency of use conveyance style a subject of FIG. 14, FIG. 1 contrast
3の搬送スタイルは特殊であるから、これを除外しても特に問題はない。 From three of transport style is special, there is no particular problem even to the exclusion of this.

【0026】このように同方向の2軸同時駆動が可能であるため、本発明の2軸回転駆動装置を半導体基板の搬送用ロボットの駆動源に使用した場合、使用頻度の高い姿勢保持搬送を行わせるのに、従来のように2つの駆動用モータの同期調整をとりながら駆動する必要がなく、 [0026] Thus for 2-axis simultaneous driving in the same direction it is possible, when using the two-axis rotation drive apparatus of the present invention as a driving source of the conveying robot of the semiconductor substrate, a frequently used attitude holding conveyor to carry out, as in the prior art is not necessary to drive while synchronizing adjustment of the two drive motors,
駆動制御が簡単となる。 Drive control is easy.

【0027】また、中空円筒状の第1回転出力軸内に第2駆動用モータを一体的に取り付けるようにして、2つの駆動用モータを同軸上に並べることができるようにしたので、高価なダイレクトドライブモータを使用せず、 Further, the hollow cylindrical first rotational output in the shaft of the second driving motor so as to integrally attached to, the two driving motors and so can be arranged coaxially, expensive without the use of a direct drive motor,
汎用モータを用いることができる。 It is possible to use general motor.

【0028】なお、減速が必要な場合には、第1駆動用モータのモータ回転軸をカップリング及び減速機を介して第1出力回転軸に連結し、また第2駆動用モータのモータ回転軸をカップリング及び減速機を介して第2回転出力軸に連結した構成とすることができる。 [0028] When the deceleration is required, the motor rotation shaft of the first drive motor coupled to the first output rotary shaft through the coupling and reduction gear, also the motor rotation shaft of the second drive motor it can be a structure linked to the second rotation output shaft via a coupling and reducer.

【0029】 [0029]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, an embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings. 図1に2軸回転駆動装置の構成を示す。 It shows the construction of a two-axis rotary drive device in FIG.

【0030】第1駆動用モータ1及び第2駆動用モータ2はともに汎用モータから構成される。 The first driving motor 1 and a second drive motor 2 are both composed of a general-purpose motor. 第1駆動用モータ1のモータ回転軸1aにカップリング7を介して同軸的に第1回転出力軸3が取り付けられる。 First rotary output shaft 3 is mounted coaxially through the coupling 7 in the first motor rotation shaft 1a of the drive motor 1. 第1回転出力軸3は中空に形成されており、第1駆動用モータ側に近い軸方向の後部3bが閉じ、モータ1側から遠い前部3 The first rotary output shaft 3 are formed to be hollow, the rear 3b closes the axial direction close to the first driving motor side, away front 3 from the motor 1 side
aが開放した円筒形をしている。 a is an open cylindrical. 第1回転出力軸3は、 First rotary output shaft 3,
その中間部よりも小径に形成された前部3a及び後部3 Front 3a and rear 3 formed smaller in diameter than its middle portion
bの突起軸3eが、回転負荷保持用ベアリング5a、5 b of the protrusion shaft 3e is, rotation load holding bearings 5a, 5
bを介して支持枠11、12に回転自在に支承されている。 It is rotatably supported to the support frame 11 via the b.

【0031】中空円筒状の第1回転出力軸3内に上記第2駆動用モータ2が、そのモータ回転軸2aが第1回転出力軸3と同軸上になるように一体的に取り付けられる。 The hollow cylindrical first rotation output shaft and the second drive motor 2 in the 3, the motor rotation shaft 2a is mounted integrally so as to first rotating output shaft 3 coaxially. この第2駆動用モータ2のモータ回転軸2aにカップリング8を介して同軸的に第2回転出力軸4が取り付けられる。 Second rotary output shaft 4 is mounted coaxially through the coupling 8 to the second motor rotation shaft 2a of the drive motor 2. この第2回転出力軸4は、中空円筒状の第1 The second rotary output shaft 4 is a hollow cylindrical first
回転出力軸3の開放した前部3aから軸方向に突出して第1回転出力軸3と同軸的に配設される。 Are first rotary output shaft 3 coaxially disposed from the open front 3a protrudes in the axial direction of the rotary output shaft 3. 第2回転出力軸4は、ベアリング5cを介して開放した前部3aの内壁に回転自在に支承されている。 Second rotary output shaft 4 is rotatably supported on the inner wall of the front 3a which is open through a bearing 5c.

【0032】上記構成において、第2駆動用モータ2を停止保持し、第1駆動用モータ1を駆動した場合、中空円筒状の第1回転出力軸3が回転する。 [0032] In the above structure, the second drive motor 2 was stopped and held, when driving the first driving motor 1, first rotary output shaft 3 hollow cylindrical rotates. 中空円筒状の第1回転出力軸3内に第2駆動用モータ2が一体的に取り付けられているので、第1回転出力軸3の回転に伴って第2駆動用モータ2自身も回転する。 Since hollow cylindrical second drive motor 2 to the first rotation output shaft 3 is integrally attached, also rotates the second driving motor 2 itself with the rotation of the first rotation output shaft 3. このため第2駆動用モータ2のモータ回転軸2aに取り付けられた内部の第2回転出力軸4も回転する。 Thus the second rotation output shaft 4 of the internal attached to the second motor rotation shaft 2a of the drive motor 2 is also rotated. このように第1駆動用モータ1のみを駆動させることによって、第2回転出力軸4を第1回転出力軸3と同期回転させることができる。 By thus driving only the first drive motor 1 can rotate synchronously the second rotary output shaft 4 and the first rotation output shaft 3.

【0033】また、第2駆動用モータ2を駆動して、第1駆動用モータ1を停止保持した場合、外部の第1回転出力軸3は回転せず、その内部の第2回転出力軸4のみが回転する。 Further, by driving the second drive motor 2, if you stop holding the first driving motor 1, it does not rotate first rotary output shaft 3 of the external, second rotary output shaft 4 of the internal only it rotates. したがって、第2回転出力軸4のみの回転も確保できる。 Therefore, it can be ensured rotation of only the second rotary output shaft 4.

【0034】つぎに図2、図3を用いて上記2軸回転駆動装置を搬送用ロボットの駆動源として採用したときのロボットアーム6の作動を説明する。 [0034] Next Figure 2, illustrating the operation of the robot arm 6 in case of employing the two-axis rotary drive device as the drive source of the transport robot with reference to FIG. ロボットアーム6 Robot arm 6
の構成は図8に示したものと同一である。 Configuration of the same as shown in FIG. また駆動用モータ1、2の第1回転出力軸3、第2回転出力軸4のロボットアーム6に対する連結の仕方も図8と同じであり、外部の第1回転出力軸3には固定プーリ63が、また内部の第2回転出力軸4には第1アーム61が連結されているものとする。 The first rotary output shaft 3 of the drive motor 1, the way to connection to the second rotation output shaft 4 of the robot arm 6 is the same as FIG. 8, fixed to the first rotation output shaft 3 of the outer pulley 63 but also to the second rotary output shaft 4 of the internal assumed that the first arm 61 is connected.

【0035】(1) 第1駆動用モータ1停止保持、第2駆動用モータ2のみ駆動(図2) 第2駆動用モータ2を作動してその回転出力軸24を反時計方向に回動させると、第1アーム61も反時計方向に回転し、この回転に伴って第2アーム62は時計方向に回動する。 [0035] (1) a first drive motor 1 stops holding, rotating the second driving motor 2 only drives (Fig. 2) the rotational output shaft 24 by operating the second driving motor 2 in the counter-clockwise direction When the first arm 61 is also rotated in the counterclockwise direction, the second arm 62 in accordance with this rotation rotates clockwise. 第2アーム62が第1アーム61に対して回動することで基板受載板67が反時計方向に回転する。 The second arm 62 is a substrate 受載 plate 67 by rotating relative to the first arm 61 is rotated in the counterclockwise direction. その結果、ロボットアーム6は、(a)→(b)→ As a result, the robot arm 6, (a) → (b) →
(c)のように作動して半導体基板Wの一方向直線搬送を行う。 Performing a one-way linear conveyance of the semiconductor substrate W in operation as shown in (c).

【0036】(2) 第2駆動用モータ2停止保持、第1駆動用モータ1のみ駆動(図3) 第1駆動用モータ1により第1回転出力軸3が回転すると、その内部に保持されている第2駆動用モータ2も一緒に回転されるため、第1アーム61に対するプーリ6 [0036] (2) second drive motor 2 stops holding, when the first driving motor 1 alone drive (Figure 3) first by the driving motor 1 first rotary output shaft 3 rotates, is held therein since the second drive motor 2 are rotated together, the pulley 6 relative to the first arm 61
3の相対回転が生じない。 Relative rotation of 3 does not occur. したがって、これにベルト6 Therefore, this belt 6
8を介して連結されている第2プーリ64aにも回転が生じない。 Rotation in second pulley 64a, which is connected does not occur through 8. よって、ロボットアーム6は、第1アーム6 Thus, the robot arm 6, the first arm 6
1、第2アーム62を重ねたままの姿勢保持状態で(a)から(b)→(c)のように作動して、半導体基板Wの回転搬送を行う。 1, operates as a posture holding remains superposed the second arm 62 from (a) (b) → (c), the rotation conveying of the semiconductor substrate W.

【0037】このように、第1駆動用モータ1停止保持、第2駆動用モータ2のみ駆動した場合には従来と同様に一方向の搬送を行うことができる。 [0037] Thus, the first driving motor 1 stops holding, when driven only the second drive motor 2 can be transported in one direction as in the prior art. また、単に第2 Also, just the second
駆動用モータ2を停止保持とし、第1駆動用モータ1のみ駆動する状態とすることで、2つの駆動用モータの同期調整なしに、ロボットアーム6に姿勢保持の状態で半導体基板Wの回転搬送を行わせることができ、従来のような複雑な駆動制御は不要となる。 The driving motor 2 and stop holding, by a state of driving only the first driving motor 1, without synchronization adjustment of the two drive motors, rotary conveying of the semiconductor substrate W in the state of the posture held by the robot arm 6 can be performed, complicated drive control as in the prior art becomes unnecessary.

【0038】ところで上記実施形態では、第1回転出力軸3、第2回転出力軸4を直接に駆動用モータ1、2で駆動したが、図4に示すように、変速が必要な場合は、 By the way in the above embodiment, the first rotation output shaft 3 has a second rotary output shaft 4 is directly driven by the drive motor 1, as shown in FIG. 4, when the gear is required,
第1駆動用モータ1と第1回転出力軸3との間に、また第2駆動用モータ2と第2回転出力軸4との間に、それぞれ変速機13、14を入れた構成とすることも可能である。 Between the first drive motor 1 and the first rotation output shaft 3, also between the second drive motor 2 and the rotation output shaft 4, to a structure in which each put transmission 13 it is also possible.

【0039】また軸方向の構成を短くする場合には、図5の構成のように、第1駆動用モータ1側に関しては、 [0039] In the case of shortening the axial arrangement, as in the configuration of FIG. 5, with respect to the first drive motor 1 side,
第1回転出力軸3の後部3bの突起軸3eをさらに延長し、その延長軸3cに並置する形で第1駆動用モータ1 The first projection axis 3e further extending the rear 3b of the rotary output shaft 3, the extended shaft motor for the first drive in the form of juxtaposed 3c 1
を配置し、そのモータ回転軸1aにカップリング15を介してタイミングプーリ17を設ける一方、第1回転出力軸3の延長軸3cを変速機13及びカップリング7を介して延設し、その端部にタイミングプーリ19を設け、そのタイミングプーリ17、19間をタイミングベルト31で連結した構成とする。 It was placed, while providing the timing pulley 17 via a coupling 15 to the motor shaft 1a, an extension shaft 3c of the first rotation output shaft 3 extending through the transmission 13 and the coupling 7, the end the timing pulley 19 provided on the parts, a structure obtained by connecting between the timing pulleys 17 and 19 at the timing belt 31.

【0040】また、第2駆動用モータ2側に関しては、 Further, with respect to the second driving motor 2 side,
第1回転出力軸3の軸取付け位置を円筒中心位置から偏心して取り付け、第1回転出力軸3の中空円筒部内において、第2回転出力軸4に並置する形で駆動用モータ2 Eccentrically axial mounting position of the first rotation output shaft 3 from the cylindrical center position in the hollow cylindrical portion of the first rotation output shaft 3, the drive motor 2 in a manner that juxtaposed to the second rotary output shaft 4
を配置し、そのモータ回転軸2aにカップリング16を介してタイミングプーリ18を設ける一方、第2回転出力軸4を変速機14及びカップリング8を介して延設し、その端部にタイミングプーリ20を設け、その両タイミングプーリ18、20間をタイミングベルト32で連結した構成とするのである。 It was placed, while providing the timing pulley 18 via a coupling 16 to the motor rotation shaft 2a, a second rotary output shaft 4 and extending through the transmission 14 and the coupling 8, the timing pulleys at its end 20 is provided, it is of a structure which is connected between the two timing pulleys 18, 20 at the timing belt 32.

【0041】このように、タイミングプーリ17、18 [0041] In this way, the timing pulley 17, 18
とタイミングベルト31、32により駆動用モータ1、 Drive motor 1 by a timing belt 31 and 32,
2の位置を駆動軸と並設することにより、装置の軸方向長さを短縮することができる。 By parallel with the drive shaft 2 of the position, it is possible to reduce the axial length of the device.

【0042】なお、上述した実施形態では汎用モータで構成したが、ダイレクトドライブモータで構成してもよい。 It should be noted, was constructed in a general-purpose motor in the embodiment described above, it may be constituted by direct drive motors. また、3軸以上の回転駆動装置に適用することも可能である。 It is also possible to apply the rotation drive unit of the three or more axes.

【0043】 [0043]

【発明の効果】本発明によれば、第1駆動用モータのみを駆動することによって、第2駆動用モータに同軸的に取付けられた第2回転出力軸を、第1駆動用モータに駆動される第1回転出力軸と同期回転させることができるので、2つの駆動用モータの同期調整をとりながら駆動する複雑な制御が不要となり、駆動制御が簡単となる。 According to the present invention, by driving only the first drive motor, a second rotary output shaft which is mounted coaxially to the second drive motor is driven in the first drive motor the first can be rotated rotary output shaft and synchronous that, complicated control for driving while synchronizing adjustment of the two drive motors is not required, the drive control can be simplified.

【0044】また、中空円筒状の第1回転出力軸内に第2駆動用モータを取り付けることにより、2つの駆動用モータ及び構成部品を同軸上に取り付けて同方向の2軸同時駆動ができるようにしたので、高価なダイレクトドライブモータを使用せず、汎用モータを用いることができ、装置を安価に構成できる。 [0044] Further, by mounting the second drive motor to the hollow cylindrical first rotational output in the shaft, two to the drive motor and components can 2-axis simultaneous drive installed in the same direction on the same axis Having to, without using an expensive direct drive motor, can be used a general-purpose motor, it can be constructed at low cost equipment.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】実施形態の2軸回転駆動装置の構成図である。 1 is a configuration diagram of a two-axis rotation drive device embodiment.

【図2】実施形態のロボットアームの作動説明図である。 Figure 2 is an operation explanatory view of the robot arm embodiment.

【図3】実施形態のロボットアームの作動説明図である。 3 is an operation explanatory view of the robot arm embodiment.

【図4】2軸回転駆動装置の他の実施形態の構成図である。 4 is a block diagram of another embodiment of a two-axis rotary drive.

【図5】2軸回転駆動装置の更に別の実施形態の構成図である。 5 is a block diagram of yet another embodiment of the two-axis rotary drive.

【図6】従来例の2軸回転駆動装置の駆動部の構成図である。 6 is a configuration diagram of a drive unit of the two-axis rotation drive device of a conventional example.

【図7】従来例の2軸回転駆動装置の他の駆動部の構成図である。 7 is a block diagram of another drive of the two-axis rotation drive device of a conventional example.

【図8】従来例の基板搬送用ロボットアームの縦断面図である。 8 is a longitudinal sectional view of a substrate carrying robot arm of a conventional example.

【図9】従来例の基板搬送用ロボットアームの平面図である。 9 is a plan view of a substrate carrying robot arm of a conventional example.

【図10】図8のロボットアームの作動説明図である。 It is an operation explanatory view of the robot arm of Figure 10 Figure 8.

【図11】図8のロボットアームの動きの開き角度の説明図である。 11 is an explanatory diagram of opening angle of movement of the robot arm of Figure 8.

【図12】従来のモータ1を停止保持し、モータ2を駆動した場合の2軸回転駆動装置を適用した基板搬送用ロボットアームの作動説明図である。 [12] stops holding the conventional motor 1, an operation explanatory view of a substrate carrying robot arm to which the two-axis rotary drive when driving the motor 2.

【図13】従来のモータ1を駆動し、モータ2を停止保持した場合の2軸回転駆動装置を適用した基板搬送用ロボットアームの作動説明図である。 [13] drives a conventional motor 1, an operation explanatory view of a substrate carrying robot arm to which the two-axis rotary drive in the case of stopping and holding the motor 2.

【図14】従来の2軸同時駆動した場合の2軸回転駆動装置を適用した基板搬送用ロボットアームの作動説明図である。 14 is an operation explanatory view of a substrate carrying robot arm to which the two-axis rotary drive in the case of conventional two-axis simultaneous driving.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1 第1駆動用モータ 1a 第1駆動用モータのモータ回転軸 2 第2駆動用モータ 2a 第2駆動用モータのモータ回転軸 3 第1回転出力軸 3a 第1回転出力軸の前部 3b 第1回転出力軸の後部 3e 第1回転出力軸の後部の突起軸 4 第2回転出力軸 1 motor rotating shaft 2 the second driving motor 2a of the second driving motor the motor shaft 3 first rotary output shaft 3a front 3b first first rotation output shaft of the first drive motor 1a first drive motor rear projections axis of the rear 3e first rotation output shaft of the rotational output shaft 4 and the second rotary output shaft

Claims (1)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】第1駆動用モータと、 第1駆動用モータのモータ回転軸に同軸的に取り付けられ、第1駆動用モータ側に近い軸方向の後部が閉じ、モータ側から遠い前部が開放した中空円筒状の第1回転出力軸と、 中空円筒状の第1回転出力軸内に、そのモータ回転軸が第1回転出力軸と同軸上になるように一体的に取り付けられ第2駆動用モータと、 第2駆動用モータのモータ回転軸に同軸的に取り付けられ、中空円筒状の第1回転出力軸の開放した前部から第1回転出力軸と同軸的に取り出される第2回転出力軸とを備えた2軸回転駆動装置。 1. A first drive motor, coaxially attached to the motor shaft of the first drive motor, the axial direction of the rear part closed near the first driving motor side, it is far front from the motor side open a hollow cylindrical first rotation output shaft of, a hollow cylindrical first rotational output in the shaft, the second driving integrally attached to the motor shaft becomes the first rotation output shaft coaxially and use the motor, coaxially attached to the motor rotation shaft of the second drive motor, second rotation output from the open front of the first rotation output shaft hollow cylindrical are first rotary output shaft coaxially withdrawn 2-axis rotary driving device and a shaft.
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