JPH11335804A - イットリア安定化ジルコニア被膜のプラズマ溶射法 - Google Patents
イットリア安定化ジルコニア被膜のプラズマ溶射法Info
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- JPH11335804A JPH11335804A JP10145962A JP14596298A JPH11335804A JP H11335804 A JPH11335804 A JP H11335804A JP 10145962 A JP10145962 A JP 10145962A JP 14596298 A JP14596298 A JP 14596298A JP H11335804 A JPH11335804 A JP H11335804A
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- ysz
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 密着強度、曲げ強度が大きく、しかもヤング
率が低く耐熱衝撃性に優れたＹＳＺ溶射被膜を形成する
ことができるＹＳＺプラズマ溶射法に関する。 【解決手段】 イットリア安定化ジルコニア溶融粉砕
粉末に中空形状のイットリア安定化ジルコニアガス噴霧
粉末を５〜２０体積％混合してなる原料粉末を母材にプ
ラズマ溶射することを特徴とする密着強度、曲げ強度が
大きく、しかもヤング率が低く、耐熱衝撃性に優れたイ
ットリア安定化ジルコニア溶射被膜のプラズマ溶射法及
びイットリア安定化ジルコニア溶融粉砕粉末を母材に
０．０５〜０．１ｍｍ厚さにプラズマ溶射した後、中空
形状のイットリア安定化ジルコニアガス噴霧粉末をプラ
ズマ溶射することを特徴とする密着強度、曲げ強度が大
きく、しかもヤング率が低く耐熱衝撃性に優れたイット
リア安定化ジルコニア溶射被膜のプラズマ溶射法。
率が低く耐熱衝撃性に優れたＹＳＺ溶射被膜を形成する
ことができるＹＳＺプラズマ溶射法に関する。 【解決手段】 イットリア安定化ジルコニア溶融粉砕
粉末に中空形状のイットリア安定化ジルコニアガス噴霧
粉末を５〜２０体積％混合してなる原料粉末を母材にプ
ラズマ溶射することを特徴とする密着強度、曲げ強度が
大きく、しかもヤング率が低く、耐熱衝撃性に優れたイ
ットリア安定化ジルコニア溶射被膜のプラズマ溶射法及
びイットリア安定化ジルコニア溶融粉砕粉末を母材に
０．０５〜０．１ｍｍ厚さにプラズマ溶射した後、中空
形状のイットリア安定化ジルコニアガス噴霧粉末をプラ
ズマ溶射することを特徴とする密着強度、曲げ強度が大
きく、しかもヤング率が低く耐熱衝撃性に優れたイット
リア安定化ジルコニア溶射被膜のプラズマ溶射法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、イットリア安定化
ジルコニア（以下、ＹＳＺという）粉末を母材表面にプ
ラズマ溶射して、密着強度、曲げ強度が大きく、ヤング
率が低く耐熱衝撃性に優れたＹＳＺ溶射被膜を形成させ
るプラズマ溶射法に関する。
ジルコニア（以下、ＹＳＺという）粉末を母材表面にプ
ラズマ溶射して、密着強度、曲げ強度が大きく、ヤング
率が低く耐熱衝撃性に優れたＹＳＺ溶射被膜を形成させ
るプラズマ溶射法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来からＹＳＺが断熱および耐熱コーテ
ィングに利用されているが、原材料としてＹＳＺの溶融
粉砕粉末や中空形状にしたガス噴霧粉末が、それぞれ単
独で用いられている。溶融粉砕粉末のみを用いてプラズ
マ溶射を行った場合、密着強度、曲げ強度が高いもの
の、ヤング率も高く耐熱衝撃性に劣る被膜しか得られな
い。それに対し、ガス噴霧粉末のみを用いてプラズマ溶
射を行った場合、ヤング率が低く耐熱衝撃性に優れる
が、密着強度の低い被膜しか得られない。後記表１に、
従来の各粉末単独で用いてプラズマ溶射を行った場合の
被膜のヤング率、曲げ強度、密着強度を示す。従来、被
膜の特性を制御するために、溶融粉砕粉末、ガス噴霧粉
末どちらの場合もプラズマガス流量や粉末供給ガス流量
等のプラズマ溶射条件を調整しているが、これらの方法
では例えば溶融粉砕粉末を用いた場合、ヤング率が１０
％低下するが、曲げ強度や密着強度も１０％低下してし
まうなど、最適な特性を有する被膜を得るのが難しい。
ィングに利用されているが、原材料としてＹＳＺの溶融
粉砕粉末や中空形状にしたガス噴霧粉末が、それぞれ単
独で用いられている。溶融粉砕粉末のみを用いてプラズ
マ溶射を行った場合、密着強度、曲げ強度が高いもの
の、ヤング率も高く耐熱衝撃性に劣る被膜しか得られな
い。それに対し、ガス噴霧粉末のみを用いてプラズマ溶
射を行った場合、ヤング率が低く耐熱衝撃性に優れる
が、密着強度の低い被膜しか得られない。後記表１に、
従来の各粉末単独で用いてプラズマ溶射を行った場合の
被膜のヤング率、曲げ強度、密着強度を示す。従来、被
膜の特性を制御するために、溶融粉砕粉末、ガス噴霧粉
末どちらの場合もプラズマガス流量や粉末供給ガス流量
等のプラズマ溶射条件を調整しているが、これらの方法
では例えば溶融粉砕粉末を用いた場合、ヤング率が１０
％低下するが、曲げ強度や密着強度も１０％低下してし
まうなど、最適な特性を有する被膜を得るのが難しい。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記技術水準
に鑑み、密着強度、曲げ強度が大きく、しかもヤング率
が低く、耐熱衝撃性の優れたＹＳＺ溶射被膜を形成する
ことができるＹＳＺプラズマ溶射法を提供しようとする
ものである。
に鑑み、密着強度、曲げ強度が大きく、しかもヤング率
が低く、耐熱衝撃性の優れたＹＳＺ溶射被膜を形成する
ことができるＹＳＺプラズマ溶射法を提供しようとする
ものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は（１）ＹＳＺ溶
融粉砕粉末に中空形状のＹＳＺガス噴霧粉末を５〜２０
体積％混合してなる原料粉末を母材にプラズマ溶射する
ことを特徴とする密着強度、曲げ強度が大きく、しかも
ヤング率が低く耐熱衝撃性に優れたＹＳＺ溶射被膜のプ
ラズマ溶射法（以下、第１発明という）及び（２）ＹＳ
Ｚ溶融粉砕粉末を母材に０．０５〜０．１ｍｍ厚さにプ
ラズマ溶射した後、中空形状のＹＳＺガス噴霧粉末をプ
ラズマ溶射することを特徴とする密着強度、曲げ強度が
大きく、しかもヤング率が低く耐熱衝撃性に優れたＹＳ
Ｚ溶射被膜のプラズマ溶射法（以下、第２発明という）
である。
融粉砕粉末に中空形状のＹＳＺガス噴霧粉末を５〜２０
体積％混合してなる原料粉末を母材にプラズマ溶射する
ことを特徴とする密着強度、曲げ強度が大きく、しかも
ヤング率が低く耐熱衝撃性に優れたＹＳＺ溶射被膜のプ
ラズマ溶射法（以下、第１発明という）及び（２）ＹＳ
Ｚ溶融粉砕粉末を母材に０．０５〜０．１ｍｍ厚さにプ
ラズマ溶射した後、中空形状のＹＳＺガス噴霧粉末をプ
ラズマ溶射することを特徴とする密着強度、曲げ強度が
大きく、しかもヤング率が低く耐熱衝撃性に優れたＹＳ
Ｚ溶射被膜のプラズマ溶射法（以下、第２発明という）
である。
【０００５】
【発明の実施の形態】（第１発明）：ＹＳＺ溶融粉砕粉
末としては、ＹＳＺを溶融し、凝固させたものを粉砕装
置で一般的には１０〜４５μｍの粒径に粉砕したものが
使用される。中空形状のＹＳＺガス噴霧粉末としては、
ＹＳＺを溶融した溶融物をガス噴霧装置で一般的には１
０〜１００μｍの粒径にしたものが使用される。プラズ
マ溶射において、ＹＳＺ溶融粉砕粉末のみを用いた場合
は、付着粒子間の密着性も高く緻密な被膜が形成される
が、中空形状のＹＳＺガス噴霧粉末のみを用いた場合
は、付着粒子間に隙間が多くみられ、ヤング率の低下し
た耐熱衝撃性の高い被膜が形成される。
末としては、ＹＳＺを溶融し、凝固させたものを粉砕装
置で一般的には１０〜４５μｍの粒径に粉砕したものが
使用される。中空形状のＹＳＺガス噴霧粉末としては、
ＹＳＺを溶融した溶融物をガス噴霧装置で一般的には１
０〜１００μｍの粒径にしたものが使用される。プラズ
マ溶射において、ＹＳＺ溶融粉砕粉末のみを用いた場合
は、付着粒子間の密着性も高く緻密な被膜が形成される
が、中空形状のＹＳＺガス噴霧粉末のみを用いた場合
は、付着粒子間に隙間が多くみられ、ヤング率の低下し
た耐熱衝撃性の高い被膜が形成される。
【０００６】そこで、第１発明ではそれぞれの粉末の上
記特性を考慮して、両粉末を混合したものをプラズマ溶
射の原料粉末とするものであって、ＹＳＺ溶融粉砕粉末
に混合される中空形状のＹＳＺガス噴霧粉末の量を５〜
２０体積％としたのは後記実施例１の表１にも示したよ
うに、中空形状のＹＳＺガス噴霧粉末の混合率が５体積
％の場合、従来のＹＳＺ溶融粉砕粉末のみと比較して、
ヤング率が約１０％低減でき、かつ曲げ強度、密着強度
は殆ど低下せず、また混合率が２０体積％の場合、ヤン
グ率が約２０％も低減できるにも拘らず、曲げ強度、密
着強度は僅か約１０％低下するに留まるからである。
記特性を考慮して、両粉末を混合したものをプラズマ溶
射の原料粉末とするものであって、ＹＳＺ溶融粉砕粉末
に混合される中空形状のＹＳＺガス噴霧粉末の量を５〜
２０体積％としたのは後記実施例１の表１にも示したよ
うに、中空形状のＹＳＺガス噴霧粉末の混合率が５体積
％の場合、従来のＹＳＺ溶融粉砕粉末のみと比較して、
ヤング率が約１０％低減でき、かつ曲げ強度、密着強度
は殆ど低下せず、また混合率が２０体積％の場合、ヤン
グ率が約２０％も低減できるにも拘らず、曲げ強度、密
着強度は僅か約１０％低下するに留まるからである。
【０００７】（第２発明）ＹＳＺ溶融粉砕粉末、中空形
状のＹＳＺガス噴霧粉末並びにプラズマ溶射条件は上記
と同じである。先ずプラズマ溶射されるＹＳＺ溶融粉砕
粉末の被膜厚さを０．０５〜０．１ｍｍとしたのは、下
記の理由による。ＹＳＺ溶融粉砕粉末の被膜厚さが大き
いと、ヤング率が高くなり、耐熱衝撃性が劣化するから
であり、またその厚さが小さいとＹＳＺ溶融粉砕粉末を
用いる効果が小さくなるからである。また、その次にプ
ラズマ溶射される中空形状のうちＹＳＺガス噴霧粉末に
よって形成される膜厚は一般的に０．５〜１ｍｍであ
る。
状のＹＳＺガス噴霧粉末並びにプラズマ溶射条件は上記
と同じである。先ずプラズマ溶射されるＹＳＺ溶融粉砕
粉末の被膜厚さを０．０５〜０．１ｍｍとしたのは、下
記の理由による。ＹＳＺ溶融粉砕粉末の被膜厚さが大き
いと、ヤング率が高くなり、耐熱衝撃性が劣化するから
であり、またその厚さが小さいとＹＳＺ溶融粉砕粉末を
用いる効果が小さくなるからである。また、その次にプ
ラズマ溶射される中空形状のうちＹＳＺガス噴霧粉末に
よって形成される膜厚は一般的に０．５〜１ｍｍであ
る。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の具体的な実施例、比較例をあ
げ、本発明の効果を一層明らかにする。
げ、本発明の効果を一層明らかにする。
【０００９】（例１）この例１においては、強度、密着
性に優れたプラズマ溶射被膜に、耐熱衝撃性を付与する
ために、原料粉末はＹＳＺ溶融粉砕粉末に中空形状のＹ
ＳＺのガス噴霧粉末で５〜２０体積％混合した粉末材料
を用いた。また、比較のために、中空形状のＹＳＺのガ
ス噴霧粉が上記範囲外のもの、ＹＳＺ溶融粉砕粉末のみ
を用いたもの及び中空形状のＹＳＺガス噴霧粉末のみを
用いたものについても行った。
性に優れたプラズマ溶射被膜に、耐熱衝撃性を付与する
ために、原料粉末はＹＳＺ溶融粉砕粉末に中空形状のＹ
ＳＺのガス噴霧粉末で５〜２０体積％混合した粉末材料
を用いた。また、比較のために、中空形状のＹＳＺのガ
ス噴霧粉が上記範囲外のもの、ＹＳＺ溶融粉砕粉末のみ
を用いたもの及び中空形状のＹＳＺガス噴霧粉末のみを
用いたものについても行った。
【００１０】表１に、上記溶射材料についての実験結果
を示す。特性試験はヤング率、曲げ強度及び密着強度に
関して行った。ヤング率および曲げ強度測定用の溶射被
膜は次のようにして得た。すなわち、一般構造用鋼（Ｊ
ＩＳ ＳＳ４００）板：５Ｗ×４０Ｌ×５Ｔｍｍの平面
上にＡｌを厚さ：０．５ｍｍ溶射し、その上にＹＳＺを
溶射し、その後ＮａＯＨ溶液に浸し、Ａｌ層を溶かすこ
とでＹＳＺ被膜を構造用鋼からはなし、その被膜を各試
験（ヤング率、曲げ強度）に供した。取り出した被膜を
３点曲げ試験法によりヤング率および曲げ強度を測定し
た。測定は室温で行い、試験機のクロスヘッド移動速度
は０．５ｍｍ／ｍｉｎである。密着強度試験はＪＩＳ
Ｈ８６６６に準じて、試料の作製、測定を行った。ＹＳ
Ｚ被膜を有する構造用鋼をそのまま、すなわちＹＳＺを
はがすことなく、他の構造用鋼と接着剤としてエポキシ
樹脂を用いて接着し、その密着強度を測定した。測定は
室温で行い、引張速度は１ｍｍ／ｍｉｎである。このと
きの、溶射はプラズマ溶射とし、プラズマ条件はプラズ
マガスＡｒ：４０リットル／ｍｉｎ＋Ｈ2 ：１３リット
ル／ｍｉｎ、プラズマアーク電流：６３０Ａ、プラズマ
アーク電圧：７９Ｖ、溶射距離：１２０ｍｍとした。
を示す。特性試験はヤング率、曲げ強度及び密着強度に
関して行った。ヤング率および曲げ強度測定用の溶射被
膜は次のようにして得た。すなわち、一般構造用鋼（Ｊ
ＩＳ ＳＳ４００）板：５Ｗ×４０Ｌ×５Ｔｍｍの平面
上にＡｌを厚さ：０．５ｍｍ溶射し、その上にＹＳＺを
溶射し、その後ＮａＯＨ溶液に浸し、Ａｌ層を溶かすこ
とでＹＳＺ被膜を構造用鋼からはなし、その被膜を各試
験（ヤング率、曲げ強度）に供した。取り出した被膜を
３点曲げ試験法によりヤング率および曲げ強度を測定し
た。測定は室温で行い、試験機のクロスヘッド移動速度
は０．５ｍｍ／ｍｉｎである。密着強度試験はＪＩＳ
Ｈ８６６６に準じて、試料の作製、測定を行った。ＹＳ
Ｚ被膜を有する構造用鋼をそのまま、すなわちＹＳＺを
はがすことなく、他の構造用鋼と接着剤としてエポキシ
樹脂を用いて接着し、その密着強度を測定した。測定は
室温で行い、引張速度は１ｍｍ／ｍｉｎである。このと
きの、溶射はプラズマ溶射とし、プラズマ条件はプラズ
マガスＡｒ：４０リットル／ｍｉｎ＋Ｈ2 ：１３リット
ル／ｍｉｎ、プラズマアーク電流：６３０Ａ、プラズマ
アーク電圧：７９Ｖ、溶射距離：１２０ｍｍとした。
【００１１】この結果を表１に示す。表１より、中空形
状のＹＳＺガス噴霧粉末の混合率が５体積％の場合（第
１発明例１）、従来のＹＳＺ溶融粉砕粉末のみ（比較例
３）と比較してみると、ヤング率が約１０％低減でき、
かつ、曲げ強度、密着強度はほとんど低下していないこ
とが分かる。また、中空形状のＹＳＺガス噴霧粉末が２
０体積％の場合（第１発明例２）、ヤング率が約２０％
低減でき曲げ強度、密着強度は僅か約１０％低下したに
留まっていることが分かる。しかし、ガス噴霧粉末の混
合率が５体積％未満の場合（比較例１）、ヤング率の低
下は殆どなく、又混合率が２０体積％以上の場合（比較
例２）、曲げ強度、密着強度が約２０％以上低下してし
まい、強度に優れ耐熱衝撃性にも優れた被膜とはならな
い。
状のＹＳＺガス噴霧粉末の混合率が５体積％の場合（第
１発明例１）、従来のＹＳＺ溶融粉砕粉末のみ（比較例
３）と比較してみると、ヤング率が約１０％低減でき、
かつ、曲げ強度、密着強度はほとんど低下していないこ
とが分かる。また、中空形状のＹＳＺガス噴霧粉末が２
０体積％の場合（第１発明例２）、ヤング率が約２０％
低減でき曲げ強度、密着強度は僅か約１０％低下したに
留まっていることが分かる。しかし、ガス噴霧粉末の混
合率が５体積％未満の場合（比較例１）、ヤング率の低
下は殆どなく、又混合率が２０体積％以上の場合（比較
例２）、曲げ強度、密着強度が約２０％以上低下してし
まい、強度に優れ耐熱衝撃性にも優れた被膜とはならな
い。
【００１２】
【表１】
【００１３】（例２）この例２においては、初めはＹＳ
Ｚ溶融粉砕粉末を用いて０．０５ｍｍの厚さにプラズマ
溶射し、その後、中空形状のＹＳＺのガス噴霧粉末を用
いて全被膜厚さが１ｍｍ厚さになるように、プラズマ溶
射を行った。
Ｚ溶融粉砕粉末を用いて０．０５ｍｍの厚さにプラズマ
溶射し、その後、中空形状のＹＳＺのガス噴霧粉末を用
いて全被膜厚さが１ｍｍ厚さになるように、プラズマ溶
射を行った。
【００１４】表２に、上記方法によって得られた溶射材
料についての実験結果を示す。特性試験は密着強度およ
び熱伝導率に関して行った。密着強度試験はＪＩＳ Ｈ
８６６６に準じて、試料の作製、測定を行った。接着剤
はエポキシ樹脂であって測定は室温で行い、引張速度は
１ｍｍ／ｍｉｎである。熱伝導率測定試験用の溶射被膜
は、一般構造用鋼（ＪＩＳ ＳＳ４００）板φ１０×５
Ｔｍｍの平面上に、１ｍｍの厚さに形成した。被膜のみ
の熱伝導率を測定するため、ＹＳＺを溶射する前に、Ａ
ｌを厚さ０．５ｍｍ溶射し、ＮａＯＨ水溶液に浸すこと
で、Ａｌ層を溶かし、ＹＳＺ被膜のみを取り出してい
る。取り出した被膜を、ＪＩＳ Ｒ１６１１に準じて、
熱伝導率の測定を行った。このときの、溶射はプラズマ
溶射とし、プラズマ条件はプラズマガスＡｒ：４０リッ
トル／ｍｉｎ＋Ｈ2 ：１３リットル／ｍｉｎ、プラズマ
アーク電流：６３０Ａ、プラズマアーク電圧：７９Ｖ、
溶射距離１２０ｍｍとした。
料についての実験結果を示す。特性試験は密着強度およ
び熱伝導率に関して行った。密着強度試験はＪＩＳ Ｈ
８６６６に準じて、試料の作製、測定を行った。接着剤
はエポキシ樹脂であって測定は室温で行い、引張速度は
１ｍｍ／ｍｉｎである。熱伝導率測定試験用の溶射被膜
は、一般構造用鋼（ＪＩＳ ＳＳ４００）板φ１０×５
Ｔｍｍの平面上に、１ｍｍの厚さに形成した。被膜のみ
の熱伝導率を測定するため、ＹＳＺを溶射する前に、Ａ
ｌを厚さ０．５ｍｍ溶射し、ＮａＯＨ水溶液に浸すこと
で、Ａｌ層を溶かし、ＹＳＺ被膜のみを取り出してい
る。取り出した被膜を、ＪＩＳ Ｒ１６１１に準じて、
熱伝導率の測定を行った。このときの、溶射はプラズマ
溶射とし、プラズマ条件はプラズマガスＡｒ：４０リッ
トル／ｍｉｎ＋Ｈ2 ：１３リットル／ｍｉｎ、プラズマ
アーク電流：６３０Ａ、プラズマアーク電圧：７９Ｖ、
溶射距離１２０ｍｍとした。
【００１５】この結果を表２に示す。表２より、本発明
による被膜の密着強度は中空形状のＹＳＺガス噴霧粉末
のみを用いた従来の被膜と比べて向上しており、かつ、
熱伝導率は従来法での被膜と同じ値を示している。
による被膜の密着強度は中空形状のＹＳＺガス噴霧粉末
のみを用いた従来の被膜と比べて向上しており、かつ、
熱伝導率は従来法での被膜と同じ値を示している。
【００１６】
【表２】
【００１７】
【発明の効果】本発明によって、高い密着強度を有しか
つ断熱性にも優れた被膜の作製が可能となる。これによ
り、高温環境で使用する機器部材の使用寿命を著しく伸
ばすことができる。従って、被膜の修復コストの低減に
繋がり、産業上の効果は非常に大きなものがある。
つ断熱性にも優れた被膜の作製が可能となる。これによ
り、高温環境で使用する機器部材の使用寿命を著しく伸
ばすことができる。従って、被膜の修復コストの低減に
繋がり、産業上の効果は非常に大きなものがある。
Claims (2)
- 【請求項１】 イットリア安定化ジルコニア溶融粉砕粉
末に中空形状のイットリア安定化ジルコニアガス噴霧粉
末を５〜２０体積％混合してなる原料粉末を母材にプラ
ズマ溶射することを特徴とする密着強度、曲げ強度が大
きく、しかもヤング率が低く、耐熱衝撃性に優れたイッ
トリア安定化ジルコニア溶射被膜のプラズマ溶射法。 - 【請求項２】 イットリア安定化ジルコニア溶融粉砕粉
末を母材に０．０５〜０．１ｍｍ厚さにプラズマ溶射し
た後、中空形状のイットリア安定化ジルコニアガス噴霧
粉末をプラズマ溶射することを特徴とする密着強度、曲
げ強度が大きく、しかもヤング率が低く耐熱衝撃性に優
れたイットリア安定化ジルコニア溶射被膜のプラズマ溶
射法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10145962A JPH11335804A (ja) | 1998-05-27 | 1998-05-27 | イットリア安定化ジルコニア被膜のプラズマ溶射法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10145962A JPH11335804A (ja) | 1998-05-27 | 1998-05-27 | イットリア安定化ジルコニア被膜のプラズマ溶射法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11335804A true JPH11335804A (ja) | 1999-12-07 |
Family
ID=15397050
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10145962A Withdrawn JPH11335804A (ja) | 1998-05-27 | 1998-05-27 | イットリア安定化ジルコニア被膜のプラズマ溶射法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11335804A (ja) |
Cited By (6)
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|---|---|---|---|---|
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| JP2006045674A (ja) * | 2004-07-30 | 2006-02-16 | United Technol Corp <Utc> | 被膜物形成プロセス、被膜物形成組成物および被膜物含有物品 |
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| US9012030B2 (en) | 2002-01-08 | 2015-04-21 | Applied Materials, Inc. | Process chamber component having yttrium—aluminum coating |
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-
1998
- 1998-05-27 JP JP10145962A patent/JPH11335804A/ja not_active Withdrawn
Cited By (10)
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