JPH11333688A - 光学部品の製造用治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】複数個のリールからそれぞれ引き出された光フ
ァイバの端部に固着されたアレイ部材の端面をそれぞれ
高精度に研磨できるようにし、アレイ部材間での研磨精
度上のばらつきをほとんどなくし、高精度に歩留まりよ
く光学部品を製造できるようにする。 【解決手段】光学部品の製造用治具において、光ファイ
バが所定ターン巻回されたファイバコイル用リール１０
０を１０個積載するための台座３０２と、該台座３０２
の周面に、前記積載された各ファイバコイル用リールか
ら導出された複数本の光ファイバの端部にそれぞれ固着
されたアレイの各端面を下方に露出させるアレイ保持機
構３４６とを具備して構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光学部品を製造す
るための治具に関し、例えば、ファイバが所定ターン巻
回されたリールから導出された光ファイバの光学的結合
端部にそれぞれ固着されたアレイ部材の各端面を研磨さ
せる上で好適な光学部品の製造用治具に関する。

【０００２】

【従来の技術】近時、自動車のナビゲーションシステム
にジャイロを用いて自動車の方位等を検出する例が提案
され、実用化に至っている。ナビゲーションシステムに
ジャイロを用いた例としては、温度特性が悪く、恒温槽
内にセンサを入れる必要があるため、高価になるだけで
なく、起動時間が長く使いづらい等の問題があった。

【０００３】そこで、操作性及び利便性並びに小型軽量
化を図る上で非常に有利であると共に、機械的可動部分
がなく耐久性を図る上でも有利な光学部品の１つである
光ファイバジャイロが提案され、現在、実用化に向けて
の開発が急速に進んでいる。

【０００４】ここで、前記光ファイバジャイロの構成を
簡単に説明すると、この光ファイバジャイロは、数１０
ｍの光ファイバを所定ターン巻回してなるファイバコイ
ル中を両方向に伝搬する２つの光の位相差（サニャック
位相差）から角速度を検出するセンサであり、位相差の
検出方法によって、オープンループ方式とクローズルー
プ方式とに分けられる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記のよう
な小型軽量化や耐久性等に優れる光ファイバジャイロの
ような光学部品を製造する場合、特にその組み立て工程
においては、長尺の光ファイバを円筒の物体に巻き付け
てファイバコイルを作製する工程と、位相変調器が組込
まれた光ＩＣチップ（光導波路）とファイバコイルから
導出された光ファイバの２本の端部とを光学的に結合さ
せる工程と、光源から導出された光ファイバと光検出器
に導く光ファイバをカプラを用いて光学的に結合させる
工程と、カプラから導出される光ファイバと前記光ＩＣ
チップとを光学的に結合させる工程と、光ＩＣチップを
パッケージ化する工程を含む。

【０００６】前記光ＩＣチップと光ファイバとを光学的
に結合する工程においては、光ファイバにおける前記光
ＩＣチップとの光学的結合端部にアレイ部材を固着する
ことにより、例えば光ＩＣチップに対して光ファイバの
始端と終端とを光学的に結合することが考えられる。

【０００７】この場合、予めアレイ部材にてその両端の
間隔を光ＩＣチップの結合部に合わせて規定することが
可能となり、しかも、事前に光ファイバを伝搬する光の
偏波面の方向を光導波路を伝搬する光の偏波面の方向に
合わせておくことが可能となるため、実際に光ファイバ
を光ＩＣチップに光学的に結合する場合に、いちいち前
記間隔や偏波面の方向を考慮する必要がなくなり、前記
光学的結合作業の効率化を図ることができる。

【０００８】そして、前記リールから導出された光ファ
イバの端部に固着されたアレイ部材を光ＩＣチップに接
合する前に、予めアレイ部材における光ＩＣチップとの
接合面を研磨しておくことにより、光ファイバと光ＩＣ
チップとの光学的結合を高精度に行わせることができ
る。

【０００９】この研磨の方法は、例えば、回転する研磨
定盤の外方にリール載置台を設置する。そして、このリ
ール載置台にリールを載置し、リールから光ファイバを
引き出してその端部に固着されているアレイ部材を研磨
定盤上に位置させ、更に、該アレイ部材の端面を研磨定
盤に接触させながらアレイ部材を研磨する、という方法
が考えられる。この場合、人手や機械的なチャッキング
機構を用いてアレイ部材を研磨定盤に押し付けるように
する。

【００１０】また、量産性を考慮した場合は、研磨定盤
の回りに例えば１０個のリール載置台を設置する。そし
て、各リール載置台にそれぞれリールを載置して、各リ
ールから引き出された光ファイバの端部に固着されたア
レイ部材を研磨定盤上に位置させて前記と同様に１０個
のアレイ部材を研磨するという方法が考えられる。

【００１１】しかしながら、これらの研磨方法において
は、リールから引き出された光ファイバの端部に固着さ
れているアレイ部材の端面を研磨定盤上に正確に位置さ
せるには熟練を要し、また、アレイ部材自体を自転させ
て研磨することができないため、アレイ部材間におい
て、研磨精度上のばらつきが大きくなりやすいという新
たな問題がある。

【００１２】本発明はこのような課題を考慮してなされ
たものであり、複数個のリールからそれぞれ引き出され
た光ファイバの端部に固着されたアレイ部材の端面をそ
れぞれ高精度に研磨でき、しかも、アレイ部材間での研
磨精度上のばらつきをほとんどなくすことができ、高精
度に歩留まりよく光学部品を製造することができる光学
部品の製造用治具を提供することを目的とする。

【００１３】また、本発明は、安価に、作業性よく、安
定に再現性よく光学部品を製造することができる光学部
品の製造用治具を提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明に係る光学部品の
製造用治具は、長尺のファイバが所定ターン巻回された
リールを複数個積載するための台座を有し、前記台座の
周面に、前記積載された各リールから導出された複数本
のファイバの光学的結合端部にそれぞれ固着されたアレ
イ部材の各端面を下方に露出させるアレイ保持部を具備
して構成する。

【００１５】これにより、まず、台座上に複数個のリー
ルが積載される。各リールには長尺のファイバが巻回さ
れ、それぞれの光ファイバの端部にはアレイ部材が固着
されている。そして、各リールから光ファイバを引き出
してそれぞれの端部に固着されたアレイ部材を台座の周
面に具備されたアレイ保持部に保持させる。この保持に
よって、各アレイ部材の端面が台座の下方から露出する
ことになる。

【００１６】この状態で、研磨装置の研磨定盤に製造用
治具を載置すると、露出したアレイ部材の端面が研磨定
盤に接触することになり、研磨定盤が回転することによ
って、複数個のアレイ部材の端面が同時に研磨されるこ
とになる。

【００１７】しかも、複数個のリールを積載するように
しているため、その自重によって、複数個のアレイ部材
が均一に研磨定盤に押し付けられることになり、各アレ
イ部材の端面は高精度に研磨されることになる。その結
果、アレイ部材間での研磨精度上のばらつきをほとんど
なくすことができ、高精度に歩留まりよく光学部品を製
造することができる。即ち、本発明は、安価に、作業性
よく、安定に再現性よく光学部品を製造することができ
る。

【００１８】そして、前記構成において、前記アレイ保
持部に、前記台座の下方から露出する前記アレイ部材の
端面が水平となるように規制するガイド部材を着脱自在
に取り付けるようにしてもよい。この場合、研磨するア
レイ部材に適合するガイド部材をアレイ保持部に適宜取
り付けることによって、種々のアレイ部材を高精度に研
磨することができる。

【００１９】また、前記構成において、前記台座に、前
記複数個のアレイ部材を載置するためのアレイ載置部を
設け、該アレイ載置部の底部をメッシュ状に構成するよ
うにしてもよい。研磨工程を終えると通常は洗浄工程に
投入されてその研磨面が洗浄されることになる。本発明
では、複数個のアレイ部材の端面への研磨が終了した段
階で、各アレイ部材をアレイ保持部から取り出してアレ
イ載置部に載置し、そのままの状態（複数個のリールを
台座に積載させ、かつ、アレイ部材をアレイ載置部に載
置させた状態）で洗浄工程に投入することができる。こ
の場合、アレイ載置部の底部がメッシュ状に形成されて
いることから、研磨済みのアレイ部材を効率よく洗浄液
で洗浄させることができる。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る光学部品の製
造用治具の実施の形態例（以下、単に実施の形態に係る
治具と記す）と本発明に係る研磨装置の実施の形態例
（以下、単に実施の形態に係る研磨装置と記す）を図１
〜図８を参照しながら説明するが、その前に本実施の形
態に係る治具及び研磨装置が適用される光学部品の構成
について図１〜図４を参照しながら説明する。

【００２１】この光学部品は、例えば光ファイバジャイ
ロであって、図１に示すように、長尺の光ファイバ１０
が所定ターン巻回されてなるファイバコイル１２と、光
源１４から導出された光ファイバ１６と光検出器１８に
通じる光ファイバ２０とを光学的に結合するカプラ２２
と、前記ファイバコイル１２と前記カプラ２２間に配さ
れた光ＩＣチップ２４を有する。この光ＩＣチップ２４
は、例えばＬｉＮｂＯ ₃ 基板２６に所定形状の光導波路
２８（例えば、Ｙ字光導波路）が形成されて構成され、
該光導波路２８上には位相変調器３０と偏光子３２とが
マウントされている。前記光源１４としては、例えばス
ーパルミネッセントダイオード（ＳＬＤ）を用いること
ができる。

【００２２】この場合、ファイバコイル１２から導出さ
れた光ファイバ１０の２つの端部（始端部１０ａと終端
部１０ｂ：図２Ａ参照）は、光ＩＣチップ２４との接合
方向を規制する第１のアレイ３４に固着され、また、カ
プラ２２から導出された光ファイバの１つの端部（光源
１４から導出された光ファイバ１６の端部１６ａ：図３
Ａ参照）は、光ＩＣチップ２４との接合方向を規制する
第２のアレイ３６に固着され、これら第１及び第２のア
レイ３４及び３６を通じて前記各光ファイバ１０及び１
６のそれぞれの端部１０ａ、１０ｂ及び１６ａが光ＩＣ
チップ２４と光学的に結合されるようになっている。

【００２３】具体的には、前記第１のアレイ３４は、図
２Ａに示すように、一主面に一方の端面に向かって延び
る２本のＶ字溝３８ａ及び３８ｂと他方の端面に向かっ
て延びる溝４０が連続して形成された基板３４Ａと、該
基板３４Ａの各溝３８ａ、３８ｂ、４０を塞ぐための蓋
基板３４Ｂとで構成されている。

【００２４】そして、第１のアレイ３４を組み立てる場
合は、まず、図２Ａに示すように、前記基板３４ＡのＶ
字溝３８ａ及び３８ｂにファイバコイル１２から導出さ
れた光ファイバ１０の２本の端部１０ａ及び１０ｂを這
わせた後、光ファイバ１０の偏波保存面を光導波路２８
を伝搬する光の偏波面の方向に合わせる（例えばコア断
面の長軸方向を例えば水平方向に合わせる）。その後、
上方から蓋基板３４Ｂを被せて接着剤にて両者を接着
し、図２Ｂに示すように、前記第１のアレイ３４の端面
中、光ファイバ１０の自由端側端面３４ａを研磨するこ
とによって光ファイバ１０への第１のアレイ３４の固着
作業が終了することとなる。

【００２５】第２のアレイ３６は、図３Ａに示すよう
に、一主面に一方の端面に向かって延びる１本のＶ字溝
４２と他方の端面に向かって延びる溝４４が連続して形
成された基板３６Ａと、該基板３６Ａの各溝４２及び４
４を塞ぐための蓋基板３６Ｂとで構成されている。

【００２６】そして、この第２のアレイ３４を組み立て
る場合は、まず、図３Ａに示すように、前記基板３６Ａ
のＶ字溝４２にカプラ２２から導出された光ファイバ１
６の１本の端部１６ａを這わせた後、光ファイバ１６の
偏波保存面を光導波路２８を伝搬する光の偏波面の方向
に合わせる（例えばコア断面の長軸方向を例えば水平方
向に合わせる）。その後、その上方から蓋基板３６Ｂを
被せて接着剤にて接着し、図３Ｂに示すように、第２の
アレイ３６の端面中、光ファイバ１６の自由端側端面３
６ａを研磨することによって光ファイバ１６への第２の
アレイ３６の固着作業が終了する。

【００２７】そして、図４Ａに示すように、１つの光Ｉ
Ｃチップ２４に対して、すでに光ファイバ１０及び１６
が固着された第１及び第２のアレイ３４及び３６がそれ
ぞれ接合される。光ＩＣチップ２４の両端面ａ及びｂの
うち、偏光子３２近傍の端面ａに第２のアレイ３６が、
位相変調器３０近傍の端面ｂに第１のアレイ３４が光軸
を合わせてそれぞれ接合される。

【００２８】各アレイ３４及び３６の接合においては、
光出力が最も強くなるように光軸調整がとられながら接
合（この場合、接着剤による接着）が行われる。図４Ｂ
に示すように、第１のアレイ３４については、ＸＹＺ３
軸方向と２芯の回転方向について光軸調整がとられ、第
２のアレイ３６については、ＸＹＺ３軸方向について光
軸調整がとられる。

【００２９】そして、本実施の形態に係る治具３００
は、図５に示すように、複数個のファイバコイル用リー
ル１００又は複数個のカプラ用リール（図示せず）が積
載される台座３０２を有して構成されている。なお、フ
ァイバコイル用リール１００は、ファイバコイル１２を
構成する光ファイバ１０を巻回するためのリールであ
り、中央に貫通孔１０２（図５参照）を有する。カプラ
用リール２００は、カプラ２２から導出された光ファイ
バ１６を巻回するためのリールである。

【００３０】ここで、本実施の形態に係る治具、代表的
にファイバコイル用リール１００から引き出された光フ
ァイバ１０に固着されたアレイ３４を研磨するための治
具３００を図５及び図６を参照しながら説明する。本実
施の形態に係る治具３００の前記台座３０２は、その底
部に、径がファイバコイル用リール１００あるいはカプ
ラ用リール２００の径よりも僅かに小とされた基台３０
４と、該基台３０４上に取り付けられ、径が基台３０４
の径よりも大とされ、かつ厚みが基台３０４の約１／２
とされた第１の基板３０６とを有する。

【００３１】前記基台３０４の上部中央にはファイバコ
イル用リール１００の貫通孔１０２よりも径が大とされ
た凹部３０８が形成され、該凹部３０８内には径が該凹
部３０８の径よりも僅かに小とされ、かつ、厚みが前記
凹部３０８の高さとほぼ同じとされた円盤３１０が収容
されている。円盤３１０の中央には鉛直方向に延びる支
軸３１２が例えばねじ止めにより固着されている。ま
た、基台３０４の同心円上の例えば４箇所に例えば円形
の凹部３１４が形成されている。

【００３２】支軸３１２は、円盤３１０に固着される側
の端部から所定長さにわたる部分（以下、便宜的に取付
け部分３１２ａと記す）の径がファイバコイル用リール
１００の貫通孔１０２の径よりも小とされ、ファイバコ
イル用リール１００の積載部分に対応する部分（以下、
便宜的に積載部分３１２ｂと記す）の径が貫通孔１０２
の径とほぼ同じとされ、上端部にはボルト部材３１６が
ねじ込まれている。第１の基板３０６の中央には径が支
軸３１２の取付け部分３１２ａの径よりも僅かに大とさ
れた貫通孔３１８が形成され、この貫通孔３１８を通じ
て支軸３１２の取付け部分３１２ａが挿通されるように
なっている。この第１の基板３０６のうち、前記基台３
０４に設けられた４つの凹部３１４に対応する箇所に同
径の貫通孔３２０が形成されている。

【００３３】また、この台座３０２には、前記支軸３１
２における取付け部分３１２ａの長さ方向ほぼ中央に対
応する箇所に第２の基板３２２が固定されている。この
第２の基板３２２は、その中央に径が支軸３１２の取付
け部分３１２ａの径よりも僅かに大とされた貫通孔（図
示せず）が形成され、この貫通孔を通じて支軸３１２の
取付け部分３１２ａが挿通されるようになっている。こ
の第２の基板３２２の下面には前記基台３０４に設けら
れた４つの凹部３１４に対応する箇所に下方に延びる円
柱部材３２４が例えばねじ止めによって固着されてい
る。この円柱部材３２４の径は前記凹部３１４の径より
も小とされ、その高さは、第２の基板３２２の下面から
前記基台３０４における前記凹部３１４の底部までの長
さとほぼ同じとされている。

【００３４】この第２の基板３２２の中央部上面には、
内径が前記支軸３１２における取付け部分３１２ａの径
よりも僅かに大とされたリング部材３２６が例えばねじ
止めにより固着されている。このリング部材３２６の高
さは、第２の基板３２４の上面から支軸３１２における
取付け部分３１２ａの奥行き端部までの長さとほぼ同じ
とされている。従って、支軸３１２は、その端部が基台
３０４の凹部３０８内に収容された円盤３１０に固定さ
れ、段差３２８がリング部材３２６の上面に接触するか
たちとなることから、支軸３１２は安定に鉛直方向に支
持されることになる。

【００３５】支軸３１２における積載部分３１２ｂにお
ける長さは１０個のファイバコイル用リール１００を積
載した高さとほぼ同じとされている。従って、順次ファ
イバコイル用リール１００を支軸３１２に挿通させるこ
とによって、１０個のファイバコイル用リール１００が
積載されることになる。

【００３６】また、支軸３１２の上端にねじ込まれたボ
ルト部材３１６には、キャップ状の押さえ部材３３０が
挿通され、更にその上方からナット部材３３２がねじ込
まれるようになっており、ナット部材３３２を下方にね
じ込むことにより、押さえ部材３３０の下端面で１０個
のファイバコイル用リール１００を上方から押し付ける
ことができるようになっている。押さえ部材３３０によ
る過度の押し付けを防止するために、押さえ部材３３０
の挿通に先立ってボルト部材３１６にカラー部材３３４
を挿通しておくことが好ましい。図５の例では、３個の
カラー部材（３３４ａ、３３４ｂ及び３３４ｃ）を挿通
することによって、押さえ部材３３０が最上位のカラー
部材３３４ａの上端よりも下方に移動されるのを阻止で
きるようになっている。

【００３７】また、図６に示すように、前記基台３０４
の周面には、その周面に沿って１０個のガイド部材３４
０がそれぞれねじ止めによって配列固定されている。各
ガイド部材３４０は、アレイ３４の横幅とほぼ同じ幅を
有するガイド溝３４２が形成されている。

【００３８】前記ガイド溝３４２は、アレイ３４の端面
の角度に応じて傾斜しており、その鉛直線に対する傾斜
角は、アレイ３４の端面の傾斜角とほぼ同じとされてい
る。また、前記ガイド部材３４０の下部には、ガイド溝
３４２の一部を閉塞するアレイ保持機構３４６が設けら
れている。このアレイ保持機構３４６は、ガイド部材３
４０の下部に設けられた支軸３４８と、該支軸３４８に
回転自在に取り付けられた保持片３５０と、該保持片３
５０の回転を規制するストッパ３５２とを有して構成さ
れている。

【００３９】保持片３５０は、下面側開口のＵ字状の切
欠き３５４が形成されており、該保持片３５０を一方向
に回転させてガイド溝３４２の一部を閉塞した場合に、
保持片３５０の下面が基台３０４の下面とほぼ一致した
段階で、切欠き３５４の内端にストッパ３５２が当接し
て、それ以上の下方への回転が阻止されるようになって
いる。

【００４０】一方、第１の基板３０６には、前記ガイド
溝３４２の上端に対応する位置に鍵穴状の切欠き３６０
が形成されており、図６に示すように、第２の基板３２
２には、前記ガイド溝３４２の上端に対応する位置（即
ち、第１の基板に設けられた鍵穴状の切欠き３６０に対
応する位置）にＵ字状の切欠き３６２が形成され、更に
Ｕ字状の切欠き３６２の開口近傍に上方に立ち上がる針
金状の案内ポール３６４が設けられている。

【００４１】各案内ポール３６４は、その先端がＵ字状
に折り曲げられて、光ファイバ１０を支持できるように
なっている。また、案内ポール３６４は、それぞれ高さ
が異なり、積載されるファイバコイル用リール１００の
数に合わせて例えば１０段階の高さを有する。そして、
各案内ポール３６４は、高さの一番小さい案内ポール３
６４を始点に例えば時計方向に順次高さが大きくなるよ
うに第２の基板３２２に設けられている。

【００４２】また、第２の基板３２２は、そのＵ字状の
切欠き３６２間に、アレイ３４を載置するための凹部３
６６が設けられており、該凹部３６６の底部３６６ａは
メッシュ状に形成されている。

【００４３】従って、台座３０２上に積載された１０個
のファイバコイル用リール１００から引き出された各光
ファイバ１０の端部に固着されているアレイ３４をガイ
ド溝３４２に摺動させながらその端面を基台３０４の下
方から露出させ、この状態で保持片３５０を回転させて
該保持片３５０にてガイド溝３４２を一部閉塞させ、更
にストッパ３５２に保持片３５０を係止させることによ
り、該保持片３５０がアレイ３４をガイド溝３４２の底
部に押し付けるかたちとなることから、アレイ３４は、
その端面が基台３０４の下方から露出された状態でガイ
ド溝３４２に強固に固定されることになる。これらの操
作は、積載されている複数個（例えば１０個）のファイ
バコイル用リール１００から導出された光ファイバ１０
に固着されているアレイ３４全てにおいて行われる。

【００４４】このとき、複数個のファイバコイル用リー
ル１００から導出された光ファイバ１０は、１つに束ね
てもよいが、第２の基板３２２に設けられた複数本の案
内ポール３６４にそれぞれ個別に引っかけ、第２の基板
３２２に設けられた複数個のＵ字状の切欠き３６２及び
第１の基板３０６に設けられた複数個の鍵穴状の切欠き
３６０にそれぞれ個別に光ファイバ１０を通すことによ
り、複数個のファイバコイル用リール１００に応じた光
ファイバ１０の経路をそれぞれ確保することができ、光
ファイバ１０の絡みを回避することができる。

【００４５】次に、本実施の形態に係る研磨装置４００
について図７及び図８を参照しながら説明する。この研
磨装置４００は、図７に示すように、研磨装置４００内
に組み込まれた駆動制御部（図示せず）によって回転駆
動される定盤４０２と、定盤４０２の回転に伴って回転
するいわゆる従動運動を規制して相対的な公転運動を実
現させる従動規制部材４０４と、純水や研磨液を供給す
るためのポンプ４０６とを有して構成されている。ポン
プ４０６からの純水や研磨液はホース４０８及びノズル
４１０を通じて定盤４０２上に導かれるようになってい
る。

【００４６】従動規制部材４０４は、図７に代表的に示
すように、円弧状に形成された規制部材本体４２０と、
該規制部材本体４２０と一体に形成され、端部に長穴４
２２が形成された支持部４２４とを有する。規制部材本
体４２０における円弧の両端部にはそれぞれ図示しない
円盤が回転自在に取り付けられている。また、支持部４
２４の長穴４２２内には研磨装置４００の筐体４３０に
取り付けられた軸４３２が挿通するようになっており、
この軸４３２が長穴４２２内を移動することによって規
制部材本体４２０が揺動するようになっている。なお、
規制部材本体４２０における内側の円弧は治具３００の
曲率（正確には第２の基板３２２の曲率）と同じ曲率を
有する。

【００４７】従って、回転する研磨定盤４０２に本実施
の形態に係る治具３００を載置したとき、研磨定盤４０
２の外周は内周よりも速く回転するため、治具３００は
研磨定盤４０２の回転方向に合わせて自転することとな
る。このとき、治具３００は、研磨定盤４０２の回転に
従って回転移動しようとするが、従動規制部材４０４に
よってその回転移動（従動運動）が規制されていること
から、結果的に、研磨定盤４０２に対して相対的な公転
運動が行われることになる。つまり、治具３００は研磨
定盤４０２の回転方向に合わせて自転すると同時に相対
的な公転運動も行うことになる。

【００４８】前記治具３００のうち、研磨定盤４０２の
外周側に位置した部分が研磨定盤４０２の回転に伴って
従動規制部材４０４を図面上、右方向に押圧することに
なるが、従動規制部材４０４は、その押圧力によって、
長穴４２２に挿通されている軸４３２が相対的に該長穴
４２２の一端（規制部材本体４２０側とは反対側の一
端）に向かうように、ほぼ円弧を描くように移動するた
め、規制部材本体４２０の円弧両端に設けられた円盤４
２６及び４２８の回転によって前記押圧力が受け流さ
れ、これにより、治具３００は実質的に自転と公転が行
われることになる。

【００４９】本実施の形態に係る治具３００及び研磨装
置４００は、基本的には以上のように構成されるもので
あり、次にその作用効果について説明する。

【００５０】まず、図５に示すように、台座３０２上に
複数個（例えば１０個）のファイバコイル用リール１０
０が積載される。各ファイバコイル用リール１００には
長尺の光ファイバ１０が巻回され、それぞれの光ファイ
バ１０に端部にはアレイ３４が固着されている。そし
て、各ファイバコイル用リール１００から光ファイバ１
０を引き出してそれぞれの端部に固着されたアレイ３４
を、図６に示すガイド部材３４０のガイド溝３４２内に
挿入し、更に、保持片３５０を回転させることで前記ア
レイ３４をガイド溝３４２内に固定させる。このとき、
アレイ３４の端面が基台３０４の外方より露出した状態
で固定される。各アレイ３４の露出量（突出量）は隙間
ゲージにて均一となるように調整される。また、各ファ
イバコイル用リール１００から引き出された光ファイバ
１０は、第２の基板３２２に設けられた対応する案内ポ
ール３６４にて引っかけられ、更に第２の基板３２２に
設けられたＵ字状の切欠き３６２、第１の基板３０６に
設けられた鍵穴状の切欠き３６０を通じて案内される。

【００５１】そして、研磨装置４００の研磨定盤４０２
に本実施の形態に係る治具３００を載置すると、基台３
０４の下方から露出した複数個（例えば１０個）のアレ
イ３４の各端面が研磨定盤４０２に接触することにな
り、研磨定盤４０２が回転することによって、複数個の
アレイ３４の各端面が同時に研磨されることになる。

【００５２】この場合、台座３０２上に複数個（例えば
１０個）のファイバコイル用リール１００を積載するよ
うにしているため、その自重によって、前記複数個のア
レイ３４が均一に研磨定盤４０２に押し付けられること
になり、各アレイ３４の端面は高精度に研磨されること
になる。その結果、アレイ３４間での研磨精度上のばら
つきをほとんどなくすことができる。

【００５３】更に、本実施の形態においては、例えば、
前記研磨が終了した段階、あるいは研磨の途中におい
て、洗浄工程に投入される。

【００５４】この洗浄工程は、図８に示すように、洗浄
槽５００内に本実施の形態に係る治具３００を投入する
ことにより行われる。具体的には、洗浄用治具５０２の
底部に複数個（例えば３個）の治具３００を載置し、こ
の洗浄用治具５０２を使って前記洗浄槽５００内に複数
個の治具３００を挿入することにより行われる。洗浄用
治具５０２は、例えば合成樹脂製又は金属製にて構成さ
れ、長さが洗浄槽５００の長さよりも大きく形成された
把持部５０４と、該把持部５０４の下面に固定され、か
つ、複数個の治具３００が載置可能とされた載置部５０
６とが一体に形成されて構成されている。載置部５０６
の底部には洗浄液５０８が複数個の治具３００に行き渡
るように多数の貫通孔５１０が形成されている。

【００５５】そして、洗浄槽５００と洗浄用治具５０２
を使って複数個の治具３００を洗浄する場合は、まず、
研磨装置４００から治具３００を取り出した後、ガイド
部材３４０のガイド溝３４２内に固定されているアレイ
３４を取り出して第２の基板３２２上に設けられた凹部
３６６内にそれぞれ載置する。

【００５６】一方、洗浄槽５００内には予め約１／３の
高さまで洗浄液５０８を入れておく。洗浄用治具５０２
における載置部５０６の底部に複数個の治具３００を載
置し、その後、把持部５０４を人手であるいは自動搬送
用のチャッキング機構で掴んで、洗浄槽５００の位置ま
で搬送し、更に洗浄用治具５０２を下方に移動させて複
数個の治具３００を洗浄槽５００内に投入する。

【００５７】この場合、洗浄槽５００の上面に把持部５
０４の下端面が当接するまで洗浄用治具５０２が下方に
移動されることになり、この段階において、洗浄液５０
８の上面（液面）が治具３００における第２の基板３２
２に設けられた凹部３６６よりも上方に位置することと
なり、前記凹部３６６に載置されたアレイ３４は洗浄液
にて浸されることになる。

【００５８】しかも、各凹部３６６の底部３６６ａがメ
ッシュ状に形成されていることから、洗浄液５０８が凹
部３６６の上下にわたって流通し、各アレイ３４は効率
よく洗浄される（例えば研磨によってアレイ３４に付着
した研磨砥粒やゴミ等が効率よく取り除かれる）ことな
る。

【００５９】上述した例は、ファイバコイル用リール１
００から引き出された光ファイバ１０に固着されたアレ
イ３４を研磨、洗浄する例を示したが、その他、カプラ
用リール２００から引き出された光ファイバ１６に固着
されたアレイ３６を研磨、洗浄する場合にも適用させる
ことができる。この場合、カプラ用リール２００の径に
合わせて治具３００並びに洗浄用治具５０２を作製すれ
ばよい。具体的には、カプラ用リール２００はファイバ
コイル用リール１００よりも内径が大きく、高さが低い
ため、カプラ用リール２００の内径に合わせて支軸３１
２の径を大きくし、カプラ用リール２００の高さに合わ
せて支軸３１２の高さを低くすればよい。

【００６０】このように、本実施の形態に係る治具３０
０は、例えば複数個のファイバコイル用リール１００を
積載して各リール１００から引き出された光ファイバ１
０に固着されているアレイ３４をガイド部材３４０のガ
イド溝３４２に挿入し、更に保持片３５０でアレイ３４
を固定することにより、各アレイ３４の端面が基台３０
４の下方から露出することになり、しかも、各アレイ３
４の端面が水平となる。

【００６１】この状態で、研磨装置４００の研磨定盤４
０２に治具３００を載置すると、露出したアレイ３４の
端面が研磨定盤４０２に接触することになり、研磨定盤
４０２が回転することによって、複数個のアレイ３４の
端面が同時に研磨されることになる。

【００６２】この場合、複数個のファイバコイル用リー
ル１００を積載するようにしているため、その自重によ
って、複数個のアレイ３４が均一に研磨定盤４０２に押
し付けられることになり、各アレイ３４の端面は高精度
に研磨されることになる。その結果、アレイ３４間での
研磨精度上のばらつきをほとんどなくすことができ、高
精度に歩留まりよく光ファイバジャイロ等の光学部品を
製造することができる。

【００６３】特に、本実施の形態に係る治具３００にお
いては、ガイド部材３４０によって各アレイ３４の端面
が水平となることから、研磨するアレイ３４に適合する
ガイド部材３４０を基台３０４の周面に適宜取り付ける
ことによって、種々のアレイ３４を高精度に研磨するこ
とができる。

【００６４】また、本実施の形態に係る治具３００にお
いては、第２の基板３２２に複数個の凹部３６６（アレ
イ載置部）を設けるようにしている。通常、研磨工程を
終えると洗浄工程に投入されてその研磨面が洗浄される
ことになるが、本実施の形態では、複数個のアレイ３４
の端面への研磨が終了した段階で、各アレイ３４をガイ
ド部材３４０のガイド溝３４２から取り出して前記凹部
３６６に載置し、そのままの状態（複数個のリール１０
０を積載させた状態で、かつ、アレイ３４を前記凹部３
６６に載置させた状態）で洗浄工程に投入することがで
きる。これは、工数の削減化につながり、光ファイバジ
ャイロ等の光学部品の製造コストの低廉化を図る上で有
利になる。

【００６５】また、第２の基板３２２に設けられた前記
各凹部３６６の底部３６６ａをメッシュ状に形成するよ
うにしたので、研磨済みのアレイ３４を効率よく洗浄液
で洗浄させることができ、光ＩＣチップ２４との接合精
度の向上を図ることができる。

【００６６】前記実施の形態では、ファイバコイル用リ
ール１００から引き出された光ファイバ１０の端部に固
着されたアレイ３４並びにカプラ用リール２００から引
き出された光ファイバ１６の端部に固着されたアレイ３
６を研磨する場合に適用した例を示したが、これに限定
されることなく、あるリールに巻回された線状のものの
端部に固着された部材を研磨する場合すべてに適用させ
ることができる。

【００６７】また、本実施の形態に係る研磨装置４００
においては、研磨定盤４０２に本実施の形態に係る治具
３００を載置したとき、該治具３００は、従動規制部材
４０４によって研磨定盤４０２上での従動運動が規制さ
れることから、自転運動と公転運動（相対的）が行われ
ることになる。その結果、種々のアレイ３４の端面を高
精度に研磨することがきる。また、図７に示すように、
研磨定盤４０２上に複数個（例えば３個）の治具３００
を載置して研磨させる場合などにおいて、各治具３００
の不測の転倒を回避させることができ、しかも、各治具
３００が互いに衝突するということも防止することがで
き、研磨工程をスムーズに進行させることができる。

【００６８】なお、この発明に係る光学部品の製造用治
具は、上述の実施の形態に限らず、この発明の要旨を逸
脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろん
である。

【００６９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る光学
部品の製造用治具によれば、光ファイバが所定ターン巻
回されたリールを複数個積載するための台座を有し、前
記台座の周面に、前記積載された各リールから導出され
た複数本の光ファイバの光学的結合端部にそれぞれ固着
され、かつ、光ＩＣチップへの光学的結合方向を規制す
るアレイ部材の各端面を下方に露出させるアレイ保持部
を具備するようにしている。

【００７０】このため、複数個のリールからそれぞれ引
き出された光ファイバの端部に固着されたアレイ部材の
端面をそれぞれ高精度に研磨でき、しかも、アレイ部材
間での研磨精度上のばらつきをほとんどなくすことがで
きる。これは、高精度に歩留まりよく光学部品を製造す
ることができることにつながり、安価に、作業性よく、
安定に再現性よく光学部品を製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施の形態に係る治具によって製造される光
学部品の１つである光ファイバジャイロを示す概略構成
図である。

【図２】ファイバコイルから導出された光ファイバに第
１のアレイを組み立てる場合の工程を示す説明図であ
り、図２Ａは接着工程を示し、図２Ｂは研磨工程を示す
図である。

【図３】カプラから導出された光ファイバに第２のアレ
イを組み立てる場合の工程を示す説明図であり、図３Ａ
は接着工程を示し、図３Ｂは研磨工程を示す図である。

【図４】光ＩＣチップと第１及び第２のアレイとの接合
工程を示す説明図であり、図４Ａは位置合わせ工程を示
し、図４Ｂは光軸調整と接着工程を示す図である。

【図５】本実施の形態に係る治具を一部破断して示す正
面図である。

【図６】本実施の形態に係る治具を示す斜視図である。

【図７】本実施の形態に係る研磨装置を示す斜視図であ
る。

【図８】洗浄工程に用いられる洗浄槽及び洗浄用治具を
示す説明図である。

【符号の説明】

１０、１６…光ファイバ １００…ファイバ
コイル用リール ２００…カプラ用リール ３００…治具 ３０２…台座 ３０４…基台 ３０６…第１の基板 ３１２…支軸 ３２２…第２の基板 ３４０…ガイド部
材 ３４２…ガイド溝 ３４６…アレイ保
持機構 ３６０…鍵穴状の切欠き ３６２…Ｕ字状の
切欠き ３６４…案内ポール ３６６…凹部 ４００…研磨装置 ４０２…研磨定盤 ４０４…従動規制部材 ４０６…ポンプ ５００…洗浄槽 ５０２…洗浄用治
具

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】長尺のファイバが所定ターン巻回されたリ
   ールを複数個積載するための台座を有し、 前記台座の周面に、前記積載された各リールから導出さ
   れた複数本のファイバの光学的結合端部にそれぞれ固着
   されたアレイ部材の各端面を下方に露出させるアレイ保
   持部を具備することを特徴とする光学部品の製造用治
   具。
2. 【請求項２】請求項１記載の光学部品の製造用治具にお
   いて、 前記アレイ保持部に、前記台座の下方から露出する前記
   アレイ部材の端面が水平となるように規制するガイド部
   材が着脱自在に取り付けられていることを特徴とする光
   学部品の製造用治具。
3. 【請求項３】請求項１又は２記載の光学部品の製造用治
   具において、 前記台座に、前記複数個のアレイ部材を載置するための
   アレイ載置部を有し、該アレイ載置部の底部がメッシュ
   状に構成されていることを特徴とする光学部品の製造用
   治具。