JPH11326083A - 回転トルク測定方法および測定装置 - Google Patents
回転トルク測定方法および測定装置Info
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- JPH11326083A JPH11326083A JP13158398A JP13158398A JPH11326083A JP H11326083 A JPH11326083 A JP H11326083A JP 13158398 A JP13158398 A JP 13158398A JP 13158398 A JP13158398 A JP 13158398A JP H11326083 A JPH11326083 A JP H11326083A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 計測範囲が広く、且つ過大なトルクが掛かる
ことを防止できる回転トルク測定方法および測定装置１
を提供すること。 【解決手段】 回転トルク測定装置１は、ステッピング
モータ３の回転力をワーク２に伝達する伝達手段とし
て、ステッピングモータ３の回転軸３ａの一端に取り付
けられた磁石４と、ワーク２の回転軸２ａの一端に取り
付けられた磁石５とを具備している。ステッピングモー
タ３を一定速度で回転させると、磁石４、５間に生じる
磁力によってステッピングモータ３の回転力がワーク２
の回転軸２ａに伝達される。これにより、ワーク２の回
転軸２ａが回転すると、そのワーク２の回転速度を計測
してワーク２の回転速度変化量を演算し、その最大回転
速度変化量よりワーク２の最大回転トルク（即ち、ワー
ク２の回転部分の抵抗の大きさ）を求めることができ
る。
ことを防止できる回転トルク測定方法および測定装置１
を提供すること。 【解決手段】 回転トルク測定装置１は、ステッピング
モータ３の回転力をワーク２に伝達する伝達手段とし
て、ステッピングモータ３の回転軸３ａの一端に取り付
けられた磁石４と、ワーク２の回転軸２ａの一端に取り
付けられた磁石５とを具備している。ステッピングモー
タ３を一定速度で回転させると、磁石４、５間に生じる
磁力によってステッピングモータ３の回転力がワーク２
の回転軸２ａに伝達される。これにより、ワーク２の回
転軸２ａが回転すると、そのワーク２の回転速度を計測
してワーク２の回転速度変化量を演算し、その最大回転
速度変化量よりワーク２の最大回転トルク（即ち、ワー
ク２の回転部分の抵抗の大きさ）を求めることができ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、回転体の回転トル
クを測定する測定方法および測定装置に関する。
クを測定する測定方法および測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来技術として、例えば図６に示す回転
トルク測定装置がある。この測定装置は、回転力を発生
するモータ１００と、このモータ１００の回転力を機械
的にワーク１１０に伝達する伝達部１２０とを備え、こ
の伝達部１２０に歪みゲージ１３０を具備したトルク計
１４０が具備されている。この測定装置による回転トル
ク測定方法は、ワーク１１０の回転トルクによって発生
した捻り変形を歪みゲージ１３０で計測し、予め算出さ
れている歪みゲージ１３０の変形量とトルクとの関係式
からトルク値を求めるものである。
トルク測定装置がある。この測定装置は、回転力を発生
するモータ１００と、このモータ１００の回転力を機械
的にワーク１１０に伝達する伝達部１２０とを備え、こ
の伝達部１２０に歪みゲージ１３０を具備したトルク計
１４０が具備されている。この測定装置による回転トル
ク測定方法は、ワーク１１０の回転トルクによって発生
した捻り変形を歪みゲージ１３０で計測し、予め算出さ
れている歪みゲージ１３０の変形量とトルクとの関係式
からトルク値を求めるものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、歪みゲージ
１３０による回転トルク計測では、歪みゲージ１３０の
計測範囲が狭いため、微小なトルクを計測する歪みゲー
ジ１３０では大きなトルクを計測できず、大きなトルク
を計測する歪みゲージ１３０では微小なトルクを計測で
きないという問題があった。また、使用する歪みゲージ
１３０の計測範囲を超える過大なトルクが掛かると歪み
ゲージ１３０が破損するという問題もあった。本発明
は、上記事情に基づいて成されたもので、その目的は、
計測範囲が広く、且つ過大なトルクが掛かることを防止
できる回転トルク測定方法および測定装置を提供するこ
とにある。
１３０による回転トルク計測では、歪みゲージ１３０の
計測範囲が狭いため、微小なトルクを計測する歪みゲー
ジ１３０では大きなトルクを計測できず、大きなトルク
を計測する歪みゲージ１３０では微小なトルクを計測で
きないという問題があった。また、使用する歪みゲージ
１３０の計測範囲を超える過大なトルクが掛かると歪み
ゲージ１３０が破損するという問題もあった。本発明
は、上記事情に基づいて成されたもので、その目的は、
計測範囲が広く、且つ過大なトルクが掛かることを防止
できる回転トルク測定方法および測定装置を提供するこ
とにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】（請求項１の手段）駆動
手段と被計測回転体との間を非接触として、磁力により
駆動手段の回転力を被計測回転体に伝達し、被計測回転
体の回転速度変化量より被計測回転体の最大回転トルク
を測定することを特徴とする。この測定方法によれば、
磁力の大きさを変えることにより、被計測回転体の微小
なトルク変動に対しても大きな回転速度変化量を測定で
きるため、その回転速度変化量より被計測回転体の微小
なトルク変動を求めることができる。また、駆動手段と
被計測回転体との間を非接触としているため、計測手段
に過大なトルクが掛かることを防止できる。その結果、
従来の方法に比べて回転トルクの測定範囲を大きくする
ことができる。
手段と被計測回転体との間を非接触として、磁力により
駆動手段の回転力を被計測回転体に伝達し、被計測回転
体の回転速度変化量より被計測回転体の最大回転トルク
を測定することを特徴とする。この測定方法によれば、
磁力の大きさを変えることにより、被計測回転体の微小
なトルク変動に対しても大きな回転速度変化量を測定で
きるため、その回転速度変化量より被計測回転体の微小
なトルク変動を求めることができる。また、駆動手段と
被計測回転体との間を非接触としているため、計測手段
に過大なトルクが掛かることを防止できる。その結果、
従来の方法に比べて回転トルクの測定範囲を大きくする
ことができる。
【０００５】（請求項２の手段）回転トルク測定装置
は、回転力を発生する駆動手段と、磁力により駆動手段
の回転力を被計測回転体に伝達する非接触式の伝達手段
と、この伝達手段により駆動手段の回転力が伝達されて
回転する被計測回転体の回転速度を計測する速度検出手
段と、この速度検出手段で検出される回転速度より被計
測回転体の回転速度変化量を演算する速度変化量演算手
段と、予め求められている回転速度変化量と回転トルク
との関係式に基づいて、速度変化量演算手段で演算され
た回転速度変化量より被計測回転体の最大回転トルクを
演算するトルク演算手段とを備え、前記伝達手段は、駆
動手段と被計測回転体の少なくとも一方側の回転部に具
備された磁石と、他方側の回転部に具備された磁石また
は磁性体とから構成され、磁石間または磁石と磁性体間
に生じる磁力により駆動手段の回転力を被計測回転体に
伝達することを特徴とする。
は、回転力を発生する駆動手段と、磁力により駆動手段
の回転力を被計測回転体に伝達する非接触式の伝達手段
と、この伝達手段により駆動手段の回転力が伝達されて
回転する被計測回転体の回転速度を計測する速度検出手
段と、この速度検出手段で検出される回転速度より被計
測回転体の回転速度変化量を演算する速度変化量演算手
段と、予め求められている回転速度変化量と回転トルク
との関係式に基づいて、速度変化量演算手段で演算され
た回転速度変化量より被計測回転体の最大回転トルクを
演算するトルク演算手段とを備え、前記伝達手段は、駆
動手段と被計測回転体の少なくとも一方側の回転部に具
備された磁石と、他方側の回転部に具備された磁石また
は磁性体とから構成され、磁石間または磁石と磁性体間
に生じる磁力により駆動手段の回転力を被計測回転体に
伝達することを特徴とする。
【０００６】この測定装置によれば、被計測回転体の予
想される回転トルクの大きさに応じて駆動手段と被計測
回転体との間に生じる磁力の大きさを変えることができ
る。例えば、被計測回転体の予想回転トルクが小さい時
は、駆動手段と被計測回転体との間に生じる磁力を小さ
くし、被計測回転体の予想回転トルクが大きい時は、駆
動手段と被計測回転体との間に生じる磁力を大きくす
る。この磁力の大きさは、駆動手段側と被計測回転体側
との磁石間または磁石と磁性体間の距離、磁石の強さ、
大きさ等によって容易に変更できる。これにより、被計
測回転体の微小なトルク変動に対しても大きな回転速度
変化量を測定できるため、その回転速度変化量より被計
測回転体の微小なトルク変動を求めることができる。ま
た、磁力によって駆動手段の回転力を被計測回転体に伝
達しているため、被計測回転体を回転させる最大トルク
が大きくなると、伝達手段（磁石間または磁石と磁性体
間）で滑りが生じることにより、測定装置に過大なトル
クが掛かることを防止できる。
想される回転トルクの大きさに応じて駆動手段と被計測
回転体との間に生じる磁力の大きさを変えることができ
る。例えば、被計測回転体の予想回転トルクが小さい時
は、駆動手段と被計測回転体との間に生じる磁力を小さ
くし、被計測回転体の予想回転トルクが大きい時は、駆
動手段と被計測回転体との間に生じる磁力を大きくす
る。この磁力の大きさは、駆動手段側と被計測回転体側
との磁石間または磁石と磁性体間の距離、磁石の強さ、
大きさ等によって容易に変更できる。これにより、被計
測回転体の微小なトルク変動に対しても大きな回転速度
変化量を測定できるため、その回転速度変化量より被計
測回転体の微小なトルク変動を求めることができる。ま
た、磁力によって駆動手段の回転力を被計測回転体に伝
達しているため、被計測回転体を回転させる最大トルク
が大きくなると、伝達手段（磁石間または磁石と磁性体
間）で滑りが生じることにより、測定装置に過大なトル
クが掛かることを防止できる。
【０００７】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施例を図面に基
づいて説明する。図１は回転トルク測定装置１の構成を
示す模式図である。本実施例の回転トルク測定装置１
は、被計測回転体（以下ワーク２と言う）の回転トルク
を測定するもので、図１に示すように、回転力を発生す
る駆動手段３、この駆動手段３の回転力をワーク２に伝
達する伝達手段４、５、回転するワーク２の回転速度を
計測する速度センサ６、この速度センサ６の出力信号を
演算処理する演算装置７等より構成される。
づいて説明する。図１は回転トルク測定装置１の構成を
示す模式図である。本実施例の回転トルク測定装置１
は、被計測回転体（以下ワーク２と言う）の回転トルク
を測定するもので、図１に示すように、回転力を発生す
る駆動手段３、この駆動手段３の回転力をワーク２に伝
達する伝達手段４、５、回転するワーク２の回転速度を
計測する速度センサ６、この速度センサ６の出力信号を
演算処理する演算装置７等より構成される。
【０００８】駆動手段３は、例えばステッピングモータ
３を使用する。伝達手段４、５は、ステッピングモータ
３の回転軸３ａの一端に取り付けられた磁石４と、ワー
ク２の回転軸２ａの一端に取り付けられた磁石５とで構
成される。各磁石４、５は、図２に示すように、それぞ
れ円筒形状に設けられ、Ｎ極とＳ極とが径方向に着磁さ
れている。速度センサ６は、ワーク２に対して非接触式
であり、例えばレーザ光の干渉縞を利用して回転速度を
計測することができる。演算装置７は、例えばマイクロ
コンピュータを内蔵し、予めインプットされている演算
プログラムに沿って所定の演算処理を実行するもので、
その演算手段として、速度センサ６の信号よりワーク２
の回転速度変化量を演算する速度変化量演算手段（図示
しない）と、予め求められている回転速度変化量と回転
トルクとの関係式（図４参照）に基づいて、速度変化量
演算手段で演算された回転速度変化量よりワーク２の最
大回転トルクを演算するトルク演算手段（図示しない）
とを有している。
３を使用する。伝達手段４、５は、ステッピングモータ
３の回転軸３ａの一端に取り付けられた磁石４と、ワー
ク２の回転軸２ａの一端に取り付けられた磁石５とで構
成される。各磁石４、５は、図２に示すように、それぞ
れ円筒形状に設けられ、Ｎ極とＳ極とが径方向に着磁さ
れている。速度センサ６は、ワーク２に対して非接触式
であり、例えばレーザ光の干渉縞を利用して回転速度を
計測することができる。演算装置７は、例えばマイクロ
コンピュータを内蔵し、予めインプットされている演算
プログラムに沿って所定の演算処理を実行するもので、
その演算手段として、速度センサ６の信号よりワーク２
の回転速度変化量を演算する速度変化量演算手段（図示
しない）と、予め求められている回転速度変化量と回転
トルクとの関係式（図４参照）に基づいて、速度変化量
演算手段で演算された回転速度変化量よりワーク２の最
大回転トルクを演算するトルク演算手段（図示しない）
とを有している。
【０００９】次に、本実施例の作動について説明する。
まず、ステッピングモータ３の回転軸３ａとワーク２の
回転軸２ａとを同軸に配置し、且つステッピングモータ
３の回転軸３ａに取り付けた磁石４と、ワーク２の回転
軸２ａに取り付けた磁石５とを所定の距離だけ離して位
置決めする（図１参照）。次に、ステッピングモータ３
を一定速度で回転させる。これにより、磁石４、５間に
生じる磁力によってステッピングモータ３の回転力がワ
ーク２の回転軸２ａに伝達される。この時、図３に示す
ように、ワーク２の回転部分に抵抗があると、その抵抗
の大きさ（つまりワーク２の回転トルク）が磁石４、５
間に生じる回転トルクより大きい間は、ワーク２の回転
軸２ａが静止している。
まず、ステッピングモータ３の回転軸３ａとワーク２の
回転軸２ａとを同軸に配置し、且つステッピングモータ
３の回転軸３ａに取り付けた磁石４と、ワーク２の回転
軸２ａに取り付けた磁石５とを所定の距離だけ離して位
置決めする（図１参照）。次に、ステッピングモータ３
を一定速度で回転させる。これにより、磁石４、５間に
生じる磁力によってステッピングモータ３の回転力がワ
ーク２の回転軸２ａに伝達される。この時、図３に示す
ように、ワーク２の回転部分に抵抗があると、その抵抗
の大きさ（つまりワーク２の回転トルク）が磁石４、５
間に生じる回転トルクより大きい間は、ワーク２の回転
軸２ａが静止している。
【００１０】その後、ステッピングモータ３の回転軸３
ａが更に回転して磁石４、５間に生じる回転トルクが増
大し、その回転トルクがワーク２の回転部分の抵抗の大
きさを超えると、ワーク２の回転軸２ａが回転する。磁
石４、５間に生じる回転トルクは、図５に示すように、
磁石４と磁石５との位置関係（磁石４、５間の捻れ角）
によって変化する。例えば、捻れ角０〜９０度の間で
は、捻れ角が０度の時は回転トルクが発生することな
く、その後、捻れ角が大きくなるに連れて回転トルクも
増大し、捻れ角が９０度で回転トルクが最大となる。な
お、磁石４、５間の捻れ角は、外力の作用しない静止状
態での捻れ角を０度としたものである。
ａが更に回転して磁石４、５間に生じる回転トルクが増
大し、その回転トルクがワーク２の回転部分の抵抗の大
きさを超えると、ワーク２の回転軸２ａが回転する。磁
石４、５間に生じる回転トルクは、図５に示すように、
磁石４と磁石５との位置関係（磁石４、５間の捻れ角）
によって変化する。例えば、捻れ角０〜９０度の間で
は、捻れ角が０度の時は回転トルクが発生することな
く、その後、捻れ角が大きくなるに連れて回転トルクも
増大し、捻れ角が９０度で回転トルクが最大となる。な
お、磁石４、５間の捻れ角は、外力の作用しない静止状
態での捻れ角を０度としたものである。
【００１１】続いて、ワーク２の回転速度を速度センサ
６で計測して演算装置７に出力する。演算装置７では、
速度センサ６の信号よりワーク２の最大回転速度変化量
を演算し、その最大回転速度変化量より、図４に示す関
係式に基づいてワーク２の最大回転トルク（即ち、ワー
ク２の回転部分の抵抗の大きさ）を求める。なお、図４
に示すワーク２の回転速度変化量と回転トルクとの関係
式は、予め演算装置７のマイクロコンピュータに記憶さ
れている。求められたワーク２の回転トルクは、演算装
置７の表示部７ａにてデジタル表示される。これによ
り、ワーク２の回転部分の抵抗が所定の値より大きなも
のを確実に見つけることができる。
６で計測して演算装置７に出力する。演算装置７では、
速度センサ６の信号よりワーク２の最大回転速度変化量
を演算し、その最大回転速度変化量より、図４に示す関
係式に基づいてワーク２の最大回転トルク（即ち、ワー
ク２の回転部分の抵抗の大きさ）を求める。なお、図４
に示すワーク２の回転速度変化量と回転トルクとの関係
式は、予め演算装置７のマイクロコンピュータに記憶さ
れている。求められたワーク２の回転トルクは、演算装
置７の表示部７ａにてデジタル表示される。これによ
り、ワーク２の回転部分の抵抗が所定の値より大きなも
のを確実に見つけることができる。
【００１２】（本実施例の効果）本実施例では、ステッ
ピングモータ３側に取り付けた磁石４と、ワーク２側に
取り付けた磁石５の強さ、大きさ、または磁石４、５間
の距離等によって磁石４、５間に生じる磁力の大きさを
容易に変えることができる。この結果、ワーク２の微小
なトルク変動に対しても大きな回転速度変化量を測定で
きるため、その回転速度変化量よりワーク２の微小なト
ルク変動を求めることができる。これにより、従来人の
手の感覚にて検査していたワーク２の微小なトルク変動
を自動で定量的に検査できる。また、本実施例の回転ト
ルク測定装置１は、ステッピングモータ３の回転力を磁
石４、５間に生じる磁力によってワーク２に伝達してい
る。つまり、非接触式の伝達手段を用いているため、ワ
ーク２を回転させる最大トルクが大きくなると、磁石
４、５間で滑りが生じる。この結果、過大なトルクが測
定装置１に掛かることはなく、従来装置のように測定装
置１が破損することもない。
ピングモータ３側に取り付けた磁石４と、ワーク２側に
取り付けた磁石５の強さ、大きさ、または磁石４、５間
の距離等によって磁石４、５間に生じる磁力の大きさを
容易に変えることができる。この結果、ワーク２の微小
なトルク変動に対しても大きな回転速度変化量を測定で
きるため、その回転速度変化量よりワーク２の微小なト
ルク変動を求めることができる。これにより、従来人の
手の感覚にて検査していたワーク２の微小なトルク変動
を自動で定量的に検査できる。また、本実施例の回転ト
ルク測定装置１は、ステッピングモータ３の回転力を磁
石４、５間に生じる磁力によってワーク２に伝達してい
る。つまり、非接触式の伝達手段を用いているため、ワ
ーク２を回転させる最大トルクが大きくなると、磁石
４、５間で滑りが生じる。この結果、過大なトルクが測
定装置１に掛かることはなく、従来装置のように測定装
置１が破損することもない。
【００１３】（変形例）本実施例では、ステッピングモ
ータ３の回転力をワーク２に伝達する伝達手段として、
ステッピングモータ３側とワーク２側との両方に磁石
４、５を配置しているが、何方か一方側のみ磁石を配置
し、他方側には磁性体を配置しても良い。本実施例で
は、回転力を発生する駆動手段としてステッピングモー
タ３を示したが、その他のモータを使用しても良い。ま
た、速度センサ６は、レーザ光の干渉縞を利用したもの
を示したが、他の光学系や磁気系を利用した非接触式速
度センサでも良い。演算装置７は、速度センサ６専用に
設けても良いが、デスクトップ型またはノート型パソコ
ンを演算装置７として使用することもできる。
ータ３の回転力をワーク２に伝達する伝達手段として、
ステッピングモータ３側とワーク２側との両方に磁石
４、５を配置しているが、何方か一方側のみ磁石を配置
し、他方側には磁性体を配置しても良い。本実施例で
は、回転力を発生する駆動手段としてステッピングモー
タ３を示したが、その他のモータを使用しても良い。ま
た、速度センサ６は、レーザ光の干渉縞を利用したもの
を示したが、他の光学系や磁気系を利用した非接触式速
度センサでも良い。演算装置７は、速度センサ６専用に
設けても良いが、デスクトップ型またはノート型パソコ
ンを演算装置７として使用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】回転トルク測定装置の構成を示す模式図であ
る。
る。
【図２】磁石の着磁状態を示す図である。
【図３】回転トルク測定方法の説明図である。
【図４】ワークの回転速度変化量と回転トルクとの関係
を示すグラフである。
を示すグラフである。
【図５】磁石間の捻れ角と回転トルクとの関係を示すグ
ラフである。
ラフである。
【図６】従来の回転トルク測定装置の構成を示す模式図
である。
である。
１ 回転トルク測定装置 ２ ワーク（被計測回転体） ３ ステッピングモータ（駆動手段） ４ 磁石（伝達手段） ５ 磁石（伝達手段） ６ 速度センサ（速度検出手段） ７ 演算装置（速度変化量演算手段、トルク演算手段）
Claims (2)
- 【請求項１】駆動手段より回転力が伝達されて回転する
被計測回転体の回転トルクを測定する回転トルク測定方
法であって、 前記駆動手段と前記被計測回転体との間を非接触とし
て、磁力により前記駆動手段の回転力を前記被計測回転
体に伝達し、 前記被計測回転体の回転速度変化量より前記被計測回転
体の最大回転トルクを測定することを特徴とする回転ト
ルク測定方法。 - 【請求項２】回転力を発生する駆動手段と、 この駆動手段の回転力を被計測回転体に伝達する非接触
式の伝達手段と、 この伝達手段により前記駆動手段の回転力が伝達されて
回転する前記被計測回転体の回転速度を計測する速度検
出手段と、 この速度検出手段で検出される回転速度より前記被計測
回転体の回転速度変化量を演算する速度変化量演算手段
と、 予め求められている回転速度変化量と回転トルクとの関
係式に基づいて、前記速度変化量演算手段で演算された
回転速度変化量より前記被計測回転体の最大回転トルク
を演算するトルク演算手段とを備え、 前記伝達手段は、前記駆動手段と前記被計測回転体の少
なくとも一方側の回転部に具備された磁石と、他方側の
回転部に具備された磁石または磁性体とから構成され、
前記磁石間または前記磁石と磁性体間に生じる磁力によ
り前記駆動手段の回転力を前記被計測回転体に伝達する
ことを特徴とする回転トルク測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13158398A JP3395648B2 (ja) | 1998-05-14 | 1998-05-14 | 回転トルク測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13158398A JP3395648B2 (ja) | 1998-05-14 | 1998-05-14 | 回転トルク測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11326083A true JPH11326083A (ja) | 1999-11-26 |
| JP3395648B2 JP3395648B2 (ja) | 2003-04-14 |
Family
ID=15061459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13158398A Expired - Fee Related JP3395648B2 (ja) | 1998-05-14 | 1998-05-14 | 回転トルク測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3395648B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001310252A (ja) * | 2000-02-21 | 2001-11-06 | Olympus Optical Co Ltd | ワーク研削研磨方法及びワーク研削研磨装置 |
| CN102261974A (zh) * | 2011-06-21 | 2011-11-30 | 上海汽车集团股份有限公司 | 磁性胶片磁性力测试方法和测试装置 |
| CN103604542A (zh) * | 2013-07-10 | 2014-02-26 | 中国第一汽车股份有限公司 | 一种汽车传动系阻力的测量装置及测量方法 |
| CN104635158A (zh) * | 2015-02-27 | 2015-05-20 | 北京精密机电控制设备研究所 | 一种永磁电机特征量的测量装置及转矩系数测量方法 |
-
1998
- 1998-05-14 JP JP13158398A patent/JP3395648B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001310252A (ja) * | 2000-02-21 | 2001-11-06 | Olympus Optical Co Ltd | ワーク研削研磨方法及びワーク研削研磨装置 |
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