JPH11325861A - 表面欠陥検査方法 - Google Patents
表面欠陥検査方法Info
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- JPH11325861A JPH11325861A JP13707698A JP13707698A JPH11325861A JP H11325861 A JPH11325861 A JP H11325861A JP 13707698 A JP13707698 A JP 13707698A JP 13707698 A JP13707698 A JP 13707698A JP H11325861 A JPH11325861 A JP H11325861A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被検査面の表面荒さによるものを欠陥として
判定することのない、表面欠陥検査方法を提供する。 【解決手段】 弧立した暗部を有する明暗模様の光源を
被検査面に写し出す照射工程と、明暗模様が写し出され
た被検査面の画像を画像処理装置に取り込む画像取込み
工程と、画像取込み工程で取り込まれた画像を明と暗に
２値化された画像にする２値化工程と、２値化された画
像の暗の各領域の面積および重心をそれぞれ抽出する面
積・重心抽出工程と、面積・重心抽出工程により抽出さ
れた面積のうち、所定面積以上の面積を有する暗の各領
域から所定距離以上離れた位置にある暗の領域を欠陥と
判定する判定工程と、を有する、表面欠陥検査方法。
判定することのない、表面欠陥検査方法を提供する。 【解決手段】 弧立した暗部を有する明暗模様の光源を
被検査面に写し出す照射工程と、明暗模様が写し出され
た被検査面の画像を画像処理装置に取り込む画像取込み
工程と、画像取込み工程で取り込まれた画像を明と暗に
２値化された画像にする２値化工程と、２値化された画
像の暗の各領域の面積および重心をそれぞれ抽出する面
積・重心抽出工程と、面積・重心抽出工程により抽出さ
れた面積のうち、所定面積以上の面積を有する暗の各領
域から所定距離以上離れた位置にある暗の領域を欠陥と
判定する判定工程と、を有する、表面欠陥検査方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、塗装面の表面の欠
陥の有無を検査する方法に関する。
陥の有無を検査する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の表面検査欠陥方法は、たとえば、
実開昭６２−２８１５５号に開示されているように、被
検査物の表面の検査面にスリット光を投射し、その反射
光をスクリーンに投影し、スクリーン上の像を集光レン
ズを介してラインセンサによって検出する方法が知られ
ている。被検査物の表面に欠陥がある場合には、スクリ
ーン上には欠陥に対応するところで切れた像が撮影され
る。
実開昭６２−２８１５５号に開示されているように、被
検査物の表面の検査面にスリット光を投射し、その反射
光をスクリーンに投影し、スクリーン上の像を集光レン
ズを介してラインセンサによって検出する方法が知られ
ている。被検査物の表面に欠陥がある場合には、スクリ
ーン上には欠陥に対応するところで切れた像が撮影され
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の表面欠
陥検査方法では、ゆず肌などの被検査面の表面粗さに起
因する、欠陥と判断しなくてよいものまで、欠陥として
判定してしまうという問題があった。本発明の目的は、
被検査面の表面粗さによるものを欠陥として判定するこ
とのない、表面欠陥検査方法を提供することにある。
陥検査方法では、ゆず肌などの被検査面の表面粗さに起
因する、欠陥と判断しなくてよいものまで、欠陥として
判定してしまうという問題があった。本発明の目的は、
被検査面の表面粗さによるものを欠陥として判定するこ
とのない、表面欠陥検査方法を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明はつぎの通りである。 （１） 弧立した暗部を有する明暗模様の光源を被検査
面に写し出す照射工程と、明暗模様が写し出された被検
査面の画像を画像処理装置に取り込む画像取込み工程
と、前記画像取込み工程で取り込まれた画像を明と暗に
２値化された画像にする２値化工程と、前記２値化工程
により２値化された画像の暗の各領域の面積および重心
をそれぞれ抽出する面積・重心抽出工程と、前記面積・
重心抽出工程により抽出された面積のうち、所定面積以
上の面積を有する暗の各領域から所定距離以上離れた位
置にある暗の領域を欠陥と判定する判定工程と、を有す
る、表面欠陥検査方法。 （２） 孤立した暗部を有する明暗模様の光源を被検査
面に写し出す照射工程と、明暗模様が写し出された被検
査面の画像を画像処理装置に取り込む画像取込み工程
と、前記画像取込み工程で取り込まれた画像を明と暗に
２値化された画像にする２値化工程と、前記２値化工程
により２値化された画像の暗の領域を膨張する膨張工程
と、前記膨張工程後の暗の各領域の面積をそれぞれ抽出
する面積抽出工程と、前記面積抽出工程により抽出され
た面積のうち、所定面積より小さい面積を有する暗の領
域を欠陥と判定する判定工程と、を有する、表面欠陥検
査方法。 （３） 孤立した暗部を有する明暗模様の光源を被検査
面に写し出す照射工程と、明暗模様が写し出された被検
査面の画像を画像処理装置に取り込む画像取込み工程
と、前記画像取込み工程で取り込まれた画像を明と暗に
２値化された画像にする２値化工程と、前記２値化工程
により２値化された画像の暗の領域を収縮する収縮工程
と、前記収縮工程後の画像の暗の領域を膨張する膨張工
程と、前記膨張工程後の画像の明と暗を反転する第１の
反転工程と、前記収縮工程後の画像と、前記第１の反転
工程後の画像との論理積を抽出する第１の論理積抽出工
程と、前記第１の論理積抽出工程後の画像の明と暗を反
転する第２の反転工程と、前記第２の反転工程後の画像
と、前記２値化工程後の画像との論理積を抽出する第２
の論理積抽出工程と、前記第２の論理積抽出工程後の画
像の暗の各領域の面積をそれぞれ抽出する面積抽出工程
と、前記面積抽出工程により抽出された面積のうち、所
定面積より小さい面積を有する暗の領域を欠陥と判定す
る判定工程と、を有する、表面欠陥検査方法。 （４） 孤立した暗部を有する明暗模様の光源を被検査
面に写し出す照射工程と、明暗模様が写し出された被検
査面の画像を画像処理装置に取り込む画像取込み工程
と、前記画像取込み工程で取り込まれた画像を明と暗に
２値化された画像にする２値化工程と、前記２値化工程
により２値化された画像の暗の領域を収縮する収縮工程
と、前記収縮工程後の画像の明と暗の境界のみを明にす
る輪郭抽出工程と、前記輪郭抽出工程後の画像の明の領
域を膨張する膨張工程と、前記膨張工程後の画像の明と
暗を反転する反転工程と、前記反転工程後の画像と、前
記２値化工程後の画像との論理積を抽出する論理積抽出
工程と、前記論理積抽出工程後の画像の暗の各領域の面
積をそれぞれ抽出する面積抽出工程と、前記面積抽出工
程により抽出された面積のうち、所定面積より小さい面
積を有する暗の領域を欠陥と判定する判定工程と、を有
する、表面欠陥検査方法。
明はつぎの通りである。 （１） 弧立した暗部を有する明暗模様の光源を被検査
面に写し出す照射工程と、明暗模様が写し出された被検
査面の画像を画像処理装置に取り込む画像取込み工程
と、前記画像取込み工程で取り込まれた画像を明と暗に
２値化された画像にする２値化工程と、前記２値化工程
により２値化された画像の暗の各領域の面積および重心
をそれぞれ抽出する面積・重心抽出工程と、前記面積・
重心抽出工程により抽出された面積のうち、所定面積以
上の面積を有する暗の各領域から所定距離以上離れた位
置にある暗の領域を欠陥と判定する判定工程と、を有す
る、表面欠陥検査方法。 （２） 孤立した暗部を有する明暗模様の光源を被検査
面に写し出す照射工程と、明暗模様が写し出された被検
査面の画像を画像処理装置に取り込む画像取込み工程
と、前記画像取込み工程で取り込まれた画像を明と暗に
２値化された画像にする２値化工程と、前記２値化工程
により２値化された画像の暗の領域を膨張する膨張工程
と、前記膨張工程後の暗の各領域の面積をそれぞれ抽出
する面積抽出工程と、前記面積抽出工程により抽出され
た面積のうち、所定面積より小さい面積を有する暗の領
域を欠陥と判定する判定工程と、を有する、表面欠陥検
査方法。 （３） 孤立した暗部を有する明暗模様の光源を被検査
面に写し出す照射工程と、明暗模様が写し出された被検
査面の画像を画像処理装置に取り込む画像取込み工程
と、前記画像取込み工程で取り込まれた画像を明と暗に
２値化された画像にする２値化工程と、前記２値化工程
により２値化された画像の暗の領域を収縮する収縮工程
と、前記収縮工程後の画像の暗の領域を膨張する膨張工
程と、前記膨張工程後の画像の明と暗を反転する第１の
反転工程と、前記収縮工程後の画像と、前記第１の反転
工程後の画像との論理積を抽出する第１の論理積抽出工
程と、前記第１の論理積抽出工程後の画像の明と暗を反
転する第２の反転工程と、前記第２の反転工程後の画像
と、前記２値化工程後の画像との論理積を抽出する第２
の論理積抽出工程と、前記第２の論理積抽出工程後の画
像の暗の各領域の面積をそれぞれ抽出する面積抽出工程
と、前記面積抽出工程により抽出された面積のうち、所
定面積より小さい面積を有する暗の領域を欠陥と判定す
る判定工程と、を有する、表面欠陥検査方法。 （４） 孤立した暗部を有する明暗模様の光源を被検査
面に写し出す照射工程と、明暗模様が写し出された被検
査面の画像を画像処理装置に取り込む画像取込み工程
と、前記画像取込み工程で取り込まれた画像を明と暗に
２値化された画像にする２値化工程と、前記２値化工程
により２値化された画像の暗の領域を収縮する収縮工程
と、前記収縮工程後の画像の明と暗の境界のみを明にす
る輪郭抽出工程と、前記輪郭抽出工程後の画像の明の領
域を膨張する膨張工程と、前記膨張工程後の画像の明と
暗を反転する反転工程と、前記反転工程後の画像と、前
記２値化工程後の画像との論理積を抽出する論理積抽出
工程と、前記論理積抽出工程後の画像の暗の各領域の面
積をそれぞれ抽出する面積抽出工程と、前記面積抽出工
程により抽出された面積のうち、所定面積より小さい面
積を有する暗の領域を欠陥と判定する判定工程と、を有
する、表面欠陥検査方法。
【０００５】上記（１）〜（４）の表面欠陥検査方法で
は、まず、照射工程において孤立した暗部を有する明暗
模様の光源を被検査面に写し出し、明暗模様が写し出さ
れた被検査面の画像を画像処理装置に取り込み、画像を
明と暗に２値化している。明暗模様が写し出された被検
査面の画像を画像処理装置に取り込んだときに、明の領
域に明暗模様に起因しない暗の領域が写されている場合
には、被検査面には傷などの欠陥がある可能性が高い。
しかし、明暗模様の光源の暗部に起因する、画像中の暗
の領域の周囲に現れる孤立した暗点（暗の領域）は、被
検査面の表面が粗い状態、たとえば、ゆず肌と呼ばれる
状態のために現れるもので、欠陥ではない。そのため、
上記（１）〜（４）の表面欠陥検査方法では、画像処理
装置に取り込んだ画像を２値化工程により２値化した後
の工程で、表面粗さに起因する暗点を、欠陥とは判定し
ない処理をそれぞれ行っている。上記（１）の表面欠陥
検査方法では、２値化された画像は、面積・重心抽出工
程において暗の各領域の面積・重心が抽出され、判定工
程において、所定面積以上の面積を有する暗の各領域か
ら所定距離以上離れた位置にある暗の領域が欠陥と判定
される。所定面積以上の面積を有する暗の領域は、２値
化された画像の暗の各領域のうち、明暗模様の光源の暗
部に起因している領域であり、欠陥と判定されるのは、
その所定面積以上の面積を有する暗の領域（明暗模様の
光源の暗部に起因している暗の領域）から所定距離以上
離れた位置にある暗の領域、すなわち、明暗模様の光源
の暗部に起因している暗の領域とその周囲の領域を除い
た暗の領域とされるため、被検査面の表面粗さは欠陥と
判定されない。上記（２）の表面欠陥検査方法では、２
値化された画像は、膨張工程において、暗の領域が膨張
され（明の領域が収縮され）、それにより、明暗模様の
光源の暗部に起因する暗の領域に、その周囲にある被検
査面の表面粗さに起因する暗点（暗の領域）が吸収され
る。そのため、膨張工程後の画像では、暗の領域は明暗
模様の光源の暗部に起因するものと欠陥によるもののい
ずれかになり、被検査面の表面粗さに起因する暗点（暗
の領域）はない。判定工程では、膨張工程後の画像の暗
の領域のうち、面積が所定面積より小さい面積を有する
暗の領域が欠陥と判定されるが、膨張工程後の画像には
被検査面の表面粗さに起因する暗点（暗の領域）がない
ので、被検査面の表面粗さが欠陥として判定されること
はない。上記（３）の表面欠陥検査方法では、２値化さ
れた画像は、収縮工程において、暗の領域が収縮され
（明の領域が膨張され）、被検査面の表面粗さに起因す
る暗点（暗の領域）および欠陥に起因する暗の領域が明
の領域に吸収される。そして、膨張工程において、収縮
工程後の暗の各領域が、２値化された直後の画像の暗の
各領域より大きくされる。さらに、第１の反転工程、第
１の論理積抽出工程、第２の反転工程を経て、２値化工
程直後の画像の明と暗の境界付近の領域のみが暗とされ
た画像が得られる。そして、第２の論理積抽出工程にお
いて第２の反転工程後の画像と２値化工程直後の画像の
論理積が抽出され、２値化工程直後の画像に対して被検
査面の表面粗さに起因する暗点（暗の領域）が除かれた
画像が得られる。判定工程では、第２の論理積抽出工程
後の画像の暗の各領域の面積のうち所定面積より小さい
面積を有する暗の領域が欠陥と判定されるが、被検査面
の表面粗さに起因する暗点（暗の領域）は第２の論理積
抽出工程で除かれているため、被検査面の表面粗さが欠
陥として判定されることはない。上記（４）の表面欠陥
検査方法では、２値化された画像は、収縮工程におい
て、暗の領域が収縮され（明の領域が膨張され）、被検
査面の表面粗さに起因する暗点（暗の領域）および欠陥
に起因する暗の領域が明の領域に吸収される。そして、
輪郭抽出工程、膨張工程、反転工程を経て、２値化工程
直後の画像の明と暗の境界付近の領域のみが暗とされた
画像が得られる。そして、論理積抽出工程において、反
転工程直後の画像と２値化された直後の画像の論理積が
抽出され、２値化工程直後の画像に対して被検査面の表
面粗さに起因する暗点（暗の領域）が除かれた画像が得
られる。判定工程では、論理積抽出工程後の画像の暗の
各領域の面積のうち所定面積より小さい面積を有する暗
の領域が欠陥と判定されるが、被検査面の表面粗さに起
因する暗点（暗の領域）は論理積抽出工程で除かれてい
るため、被検査面の表面粗さが欠陥として判定されるこ
とはない。
は、まず、照射工程において孤立した暗部を有する明暗
模様の光源を被検査面に写し出し、明暗模様が写し出さ
れた被検査面の画像を画像処理装置に取り込み、画像を
明と暗に２値化している。明暗模様が写し出された被検
査面の画像を画像処理装置に取り込んだときに、明の領
域に明暗模様に起因しない暗の領域が写されている場合
には、被検査面には傷などの欠陥がある可能性が高い。
しかし、明暗模様の光源の暗部に起因する、画像中の暗
の領域の周囲に現れる孤立した暗点（暗の領域）は、被
検査面の表面が粗い状態、たとえば、ゆず肌と呼ばれる
状態のために現れるもので、欠陥ではない。そのため、
上記（１）〜（４）の表面欠陥検査方法では、画像処理
装置に取り込んだ画像を２値化工程により２値化した後
の工程で、表面粗さに起因する暗点を、欠陥とは判定し
ない処理をそれぞれ行っている。上記（１）の表面欠陥
検査方法では、２値化された画像は、面積・重心抽出工
程において暗の各領域の面積・重心が抽出され、判定工
程において、所定面積以上の面積を有する暗の各領域か
ら所定距離以上離れた位置にある暗の領域が欠陥と判定
される。所定面積以上の面積を有する暗の領域は、２値
化された画像の暗の各領域のうち、明暗模様の光源の暗
部に起因している領域であり、欠陥と判定されるのは、
その所定面積以上の面積を有する暗の領域（明暗模様の
光源の暗部に起因している暗の領域）から所定距離以上
離れた位置にある暗の領域、すなわち、明暗模様の光源
の暗部に起因している暗の領域とその周囲の領域を除い
た暗の領域とされるため、被検査面の表面粗さは欠陥と
判定されない。上記（２）の表面欠陥検査方法では、２
値化された画像は、膨張工程において、暗の領域が膨張
され（明の領域が収縮され）、それにより、明暗模様の
光源の暗部に起因する暗の領域に、その周囲にある被検
査面の表面粗さに起因する暗点（暗の領域）が吸収され
る。そのため、膨張工程後の画像では、暗の領域は明暗
模様の光源の暗部に起因するものと欠陥によるもののい
ずれかになり、被検査面の表面粗さに起因する暗点（暗
の領域）はない。判定工程では、膨張工程後の画像の暗
の領域のうち、面積が所定面積より小さい面積を有する
暗の領域が欠陥と判定されるが、膨張工程後の画像には
被検査面の表面粗さに起因する暗点（暗の領域）がない
ので、被検査面の表面粗さが欠陥として判定されること
はない。上記（３）の表面欠陥検査方法では、２値化さ
れた画像は、収縮工程において、暗の領域が収縮され
（明の領域が膨張され）、被検査面の表面粗さに起因す
る暗点（暗の領域）および欠陥に起因する暗の領域が明
の領域に吸収される。そして、膨張工程において、収縮
工程後の暗の各領域が、２値化された直後の画像の暗の
各領域より大きくされる。さらに、第１の反転工程、第
１の論理積抽出工程、第２の反転工程を経て、２値化工
程直後の画像の明と暗の境界付近の領域のみが暗とされ
た画像が得られる。そして、第２の論理積抽出工程にお
いて第２の反転工程後の画像と２値化工程直後の画像の
論理積が抽出され、２値化工程直後の画像に対して被検
査面の表面粗さに起因する暗点（暗の領域）が除かれた
画像が得られる。判定工程では、第２の論理積抽出工程
後の画像の暗の各領域の面積のうち所定面積より小さい
面積を有する暗の領域が欠陥と判定されるが、被検査面
の表面粗さに起因する暗点（暗の領域）は第２の論理積
抽出工程で除かれているため、被検査面の表面粗さが欠
陥として判定されることはない。上記（４）の表面欠陥
検査方法では、２値化された画像は、収縮工程におい
て、暗の領域が収縮され（明の領域が膨張され）、被検
査面の表面粗さに起因する暗点（暗の領域）および欠陥
に起因する暗の領域が明の領域に吸収される。そして、
輪郭抽出工程、膨張工程、反転工程を経て、２値化工程
直後の画像の明と暗の境界付近の領域のみが暗とされた
画像が得られる。そして、論理積抽出工程において、反
転工程直後の画像と２値化された直後の画像の論理積が
抽出され、２値化工程直後の画像に対して被検査面の表
面粗さに起因する暗点（暗の領域）が除かれた画像が得
られる。判定工程では、論理積抽出工程後の画像の暗の
各領域の面積のうち所定面積より小さい面積を有する暗
の領域が欠陥と判定されるが、被検査面の表面粗さに起
因する暗点（暗の領域）は論理積抽出工程で除かれてい
るため、被検査面の表面粗さが欠陥として判定されるこ
とはない。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１は本発明の全実施例に共通す
る表面欠陥検査方法を実施する装置の概略を示し、図２
のフローチャートは本発明の第１実施例の表面欠陥検査
方法の手順を示し、図３、図４は本発明の第１実施例の
方法の過程で得られる画像の模式図を示し、図５のフロ
ーチャートは本発明の第２実施例の表面欠陥検査方法の
手順を示し、図６〜図８は本発明の第２実施例の方法の
過程で得られる画像の模式図を示し、図９のフローチャ
ートは本発明の第３実施例の表面欠陥検査方法の手順を
示し、図１０〜図１４は本発明の第３実施例の方法の過
程で得られる画像の模式図を示し、図１５のフローチャ
ートは本発明の第４実施例の表面欠陥検査方法の手順を
示し、図１６、図１７は本発明の第４実施例の方法の過
程で得られる画像の模式図を示す。
る表面欠陥検査方法を実施する装置の概略を示し、図２
のフローチャートは本発明の第１実施例の表面欠陥検査
方法の手順を示し、図３、図４は本発明の第１実施例の
方法の過程で得られる画像の模式図を示し、図５のフロ
ーチャートは本発明の第２実施例の表面欠陥検査方法の
手順を示し、図６〜図８は本発明の第２実施例の方法の
過程で得られる画像の模式図を示し、図９のフローチャ
ートは本発明の第３実施例の表面欠陥検査方法の手順を
示し、図１０〜図１４は本発明の第３実施例の方法の過
程で得られる画像の模式図を示し、図１５のフローチャ
ートは本発明の第４実施例の表面欠陥検査方法の手順を
示し、図１６、図１７は本発明の第４実施例の方法の過
程で得られる画像の模式図を示す。
【０００７】まず、本発明の全実施例の方法を実施する
際に共通して使用できる表面欠陥検査装置を、図１を参
照して説明する。表面欠陥検査装置は、被検査面を撮像
する装置であるカメラ１と、撮像を処理（判断を含む）
する画像処理装置２と、孤立した暗部を有する明暗模様
の光源３と、からなる。カメラ１は凸型のレンズを備え
ている。本発明の実施例では光源３の明暗模様は白黒模
様とされている。黒色の各暗部は、たとえば四角形で、
大きさが全て等しくされ、白色の明部のなかに孤立して
それぞれ等間隔に間をあけて規則的に配置されている。
際に共通して使用できる表面欠陥検査装置を、図１を参
照して説明する。表面欠陥検査装置は、被検査面を撮像
する装置であるカメラ１と、撮像を処理（判断を含む）
する画像処理装置２と、孤立した暗部を有する明暗模様
の光源３と、からなる。カメラ１は凸型のレンズを備え
ている。本発明の実施例では光源３の明暗模様は白黒模
様とされている。黒色の各暗部は、たとえば四角形で、
大きさが全て等しくされ、白色の明部のなかに孤立して
それぞれ等間隔に間をあけて規則的に配置されている。
【０００８】本発明の全実施例の表面欠陥検査は、被検
査面が鏡面である、たとえばメタリック塗料が塗装され
た自動車ボデーに対して実施することができる。本発明
の第１実施例〜第４実施例では、自動車ボデーの塗装面
の欠陥の有無を検出する方法の例を示す。表面欠陥検査
は、たとえば、表面欠陥検査装置を固定位置とし、自動
車ボデーをコンベアで搬送しながら行う。
査面が鏡面である、たとえばメタリック塗料が塗装され
た自動車ボデーに対して実施することができる。本発明
の第１実施例〜第４実施例では、自動車ボデーの塗装面
の欠陥の有無を検出する方法の例を示す。表面欠陥検査
は、たとえば、表面欠陥検査装置を固定位置とし、自動
車ボデーをコンベアで搬送しながら行う。
【０００９】まず、本発明の全実施例に共通する表面欠
陥検査方法の工程を、図２を参照して説明する。 （１）照射工程 孤立した黒部（暗部）を有する白黒模様の光源を自動車
ボデーの塗装面（被検査面）に写し出す。
陥検査方法の工程を、図２を参照して説明する。 （１）照射工程 孤立した黒部（暗部）を有する白黒模様の光源を自動車
ボデーの塗装面（被検査面）に写し出す。
【００１０】（２）画像取込み工程 白黒模様が写し出された被検査面の画像を凸レンズを備
えたカメラを介して画像処理装置に取り込む。画像処理
装置に取り込まれた画像（原画像）を、たとえば、図３
に示す。白黒模様の光源の黒部に起因する黒（暗）の領
域の周囲には被検査面のゆず肌に起因する黒（暗）点
（黒（暗）の領域でもある）が写されている。画像処理
装置に取り込まれた画像は、以下に示す工程がプログラ
ムされた画像処理装置によって順に処理される。
えたカメラを介して画像処理装置に取り込む。画像処理
装置に取り込まれた画像（原画像）を、たとえば、図３
に示す。白黒模様の光源の黒部に起因する黒（暗）の領
域の周囲には被検査面のゆず肌に起因する黒（暗）点
（黒（暗）の領域でもある）が写されている。画像処理
装置に取り込まれた画像は、以下に示す工程がプログラ
ムされた画像処理装置によって順に処理される。
【００１１】（３）２値化工程 画像処理装置に取り込まれた、図３に示す原画像の各画
素の、明るさを示す値をそれぞれ平滑化し、原画像の各
画素の明るさを示す値との差分をとる。そして、明るさ
を示す値の所定の値をしきい値として各画素を２値化す
る。２値化により、各画素は１もしくは０のいずれかと
される。１は明（白）、０は暗（黒）である。２値化工
程後の画像は、０の画素が隣接・集合してなる略四角形
の領域（０の領域）が複数個、それぞれ等間隔をあけて
配置され、そのほかの部分には１の画素が並んでいる。
ただし、以下の説明では、２値化工程以降の画像を、１
もしくは０と表記せずに、白もしくは黒と表記してい
る。したがって、２値化工程後の画像は、白（１）の画
素が隣接してなる白の領域の中に、黒（０）の画素が隣
接してなる黒の領域が複数個孤立している画像となって
いる。孤立した黒の領域の周囲には、被検査面のゆず肌
に起因する黒点（黒の領域でもあるが、以下には黒点と
して示す）が点在している。
素の、明るさを示す値をそれぞれ平滑化し、原画像の各
画素の明るさを示す値との差分をとる。そして、明るさ
を示す値の所定の値をしきい値として各画素を２値化す
る。２値化により、各画素は１もしくは０のいずれかと
される。１は明（白）、０は暗（黒）である。２値化工
程後の画像は、０の画素が隣接・集合してなる略四角形
の領域（０の領域）が複数個、それぞれ等間隔をあけて
配置され、そのほかの部分には１の画素が並んでいる。
ただし、以下の説明では、２値化工程以降の画像を、１
もしくは０と表記せずに、白もしくは黒と表記してい
る。したがって、２値化工程後の画像は、白（１）の画
素が隣接してなる白の領域の中に、黒（０）の画素が隣
接してなる黒の領域が複数個孤立している画像となって
いる。孤立した黒の領域の周囲には、被検査面のゆず肌
に起因する黒点（黒の領域でもあるが、以下には黒点と
して示す）が点在している。
【００１２】上記の（１）〜（３）の工程の後の工程
は、各実施例ごとに異なっているため、以下には、
（３）の工程の後に行う工程を各実施例ごとに説明す
る。
は、各実施例ごとに異なっているため、以下には、
（３）の工程の後に行う工程を各実施例ごとに説明す
る。
【００１３】まず、本発明の第１実施例の方法につい
て、図２〜図４を参照して、作用とともに説明する。本
発明の第１実施例では、（１）〜（３）の工程のあと
に、以下に示す（４）〜（５）の工程を行う。
て、図２〜図４を参照して、作用とともに説明する。本
発明の第１実施例では、（１）〜（３）の工程のあと
に、以下に示す（４）〜（５）の工程を行う。
【００１４】（４）面積・重心抽出工程 ２値化された画像の黒（暗）の領域（孤立物）の位置と
重心を抽出する。黒の領域は白（明）の領域の中に孤立
して複数ある。黒の各領域の重心の抽出を行うことによ
り、黒の各領域の位置の把握が可能になる。
重心を抽出する。黒の領域は白（明）の領域の中に孤立
して複数ある。黒の各領域の重心の抽出を行うことによ
り、黒の各領域の位置の把握が可能になる。
【００１５】（５）判定工程 孤立している黒の領域の面積が所定面積以上の場合、そ
の黒の領域（物体）は白黒模様の光源の黒部に起因して
いると判断される。また、所定面積以上の面積を有する
黒の領域の周囲に黒点がある場合、それは、被検査面の
表面粗さに起因するものとされる。そのため、欠陥と判
定する黒の領域（物体）を、所定面積以上の面積を有す
る黒の領域（物体）から所定距離以上離れた位置にある
黒の領域とすることにより、被検査面の表面粗さに起因
する黒点は欠陥と判定されず、被検査面の表面粗さは欠
陥として判定されない。さらに好ましくは、所定面積以
上の面積を有する黒の領域から所定距離以上離れた位置
にあり、かつ所定面積以上の面積を有する黒の領域を欠
陥と判定することにより、被検査面の表面粗さを欠陥と
判定することを確実に防止できる。
の黒の領域（物体）は白黒模様の光源の黒部に起因して
いると判断される。また、所定面積以上の面積を有する
黒の領域の周囲に黒点がある場合、それは、被検査面の
表面粗さに起因するものとされる。そのため、欠陥と判
定する黒の領域（物体）を、所定面積以上の面積を有す
る黒の領域（物体）から所定距離以上離れた位置にある
黒の領域とすることにより、被検査面の表面粗さに起因
する黒点は欠陥と判定されず、被検査面の表面粗さは欠
陥として判定されない。さらに好ましくは、所定面積以
上の面積を有する黒の領域から所定距離以上離れた位置
にあり、かつ所定面積以上の面積を有する黒の領域を欠
陥と判定することにより、被検査面の表面粗さを欠陥と
判定することを確実に防止できる。
【００１６】つぎに、本発明の第２実施例の方法につい
て、図５〜図８を参照して、作用とともに説明する。本
発明の第２実施例では、（１）〜（３）の工程のあと
に、以下に示す（６）〜（８）の工程を行う。
て、図５〜図８を参照して、作用とともに説明する。本
発明の第２実施例では、（１）〜（３）の工程のあと
に、以下に示す（６）〜（８）の工程を行う。
【００１７】（６）膨張工程 ２値化された画像（図６参照）の白黒模様の黒部に起因
している黒の領域を膨張する（図７参照）。黒の領域を
膨張することは、白の領域を収縮することでもある。黒
の領域の膨張の程度は、２値化された画像の黒の領域の
周囲に黒の各領域から離れて点在する、被検査面の表面
粗さに起因する黒点を、白黒模様の光源の黒部に起因す
る黒の各領域に吸収する程度である。それにより、被検
査面の表面粗さに起因する黒点は、拡げられた（膨張さ
れた）黒の領域に吸収され、黒の領域の一部とされる。
している黒の領域を膨張する（図７参照）。黒の領域を
膨張することは、白の領域を収縮することでもある。黒
の領域の膨張の程度は、２値化された画像の黒の領域の
周囲に黒の各領域から離れて点在する、被検査面の表面
粗さに起因する黒点を、白黒模様の光源の黒部に起因す
る黒の各領域に吸収する程度である。それにより、被検
査面の表面粗さに起因する黒点は、拡げられた（膨張さ
れた）黒の領域に吸収され、黒の領域の一部とされる。
【００１８】（７）面積抽出工程 膨張工程後の画像の孤立した黒の各領域の面積をそれぞ
れ抽出する。面積抽出工程では、まず、孤立した黒の領
域を順に１、２、３、・・・とラベリングし、ラベリン
グした各領域に、所望の明るさを備える画素がどの程度
含まれているかを示すヒストグラムを作成する。画素の
数によって、ラベリングした黒の領域のそれぞれの面積
が分かる。
れ抽出する。面積抽出工程では、まず、孤立した黒の領
域を順に１、２、３、・・・とラベリングし、ラベリン
グした各領域に、所望の明るさを備える画素がどの程度
含まれているかを示すヒストグラムを作成する。画素の
数によって、ラベリングした黒の領域のそれぞれの面積
が分かる。
【００１９】（８）判定工程 面積が所定面積より小さい黒の領域を欠陥と判定する。
光源の白黒模様の大きさから２値化工程直後の画像の光
源の黒部に起因する黒の領域の面積はあらかじめ判断で
き、それにより、膨張工程後の画像の、光源の黒部に係
わり欠陥に起因しない黒の領域の面積はあらかじめ判断
できる。したがって、そのあらかじめ判断できる黒の領
域の面積（所定面積）より小さい面積を有する黒の領域
があれば、欠陥と判定される。判定工程の前の膨張工程
で、被検査面の表面粗さに起因する黒点は画像から除か
れているので、被検査面の表面粗さは欠陥と判定される
ことはない。
光源の白黒模様の大きさから２値化工程直後の画像の光
源の黒部に起因する黒の領域の面積はあらかじめ判断で
き、それにより、膨張工程後の画像の、光源の黒部に係
わり欠陥に起因しない黒の領域の面積はあらかじめ判断
できる。したがって、そのあらかじめ判断できる黒の領
域の面積（所定面積）より小さい面積を有する黒の領域
があれば、欠陥と判定される。判定工程の前の膨張工程
で、被検査面の表面粗さに起因する黒点は画像から除か
れているので、被検査面の表面粗さは欠陥と判定される
ことはない。
【００２０】つぎに、本発明の第３実施例の方法につい
て、図９〜図１４を参照して、作用とともに説明する。
本発明の第３実施例では、（１）〜（３）の工程のあと
に、以下に示す（１０）〜（１７）の工程を行う。
て、図９〜図１４を参照して、作用とともに説明する。
本発明の第３実施例では、（１）〜（３）の工程のあと
に、以下に示す（１０）〜（１７）の工程を行う。
【００２１】（１０）収縮工程 ２値化された画像（図６参照）の黒の領域を収縮する
（図１０参照）。黒の領域を収縮することは、白の領域
を膨張することでもある。黒の領域の収縮の程度は、２
値化された画像の黒の領域の、被検査面の表面粗さに起
因する黒点および欠陥に起因する黒の領域が白の領域に
吸収される程度である。これにより、画像の黒の領域
は、白黒模様の光源の黒部に起因するもののみとなり、
その領域の面積は、２値化工程直後の白黒模様に起因す
る黒の領域より小さくされている。
（図１０参照）。黒の領域を収縮することは、白の領域
を膨張することでもある。黒の領域の収縮の程度は、２
値化された画像の黒の領域の、被検査面の表面粗さに起
因する黒点および欠陥に起因する黒の領域が白の領域に
吸収される程度である。これにより、画像の黒の領域
は、白黒模様の光源の黒部に起因するもののみとなり、
その領域の面積は、２値化工程直後の白黒模様に起因す
る黒の領域より小さくされている。
【００２２】（１１）膨張工程 収縮工程により黒の領域が収縮された画像の黒の領域を
膨張する（図１１参照）。膨張の程度は、２値化工程直
後の画像（図６参照）の光源の白黒模様の黒部に起因す
る黒の領域の周囲に点在する、被検査面の表面粗さに起
因する黒点が現れていた範囲までとする。これにより、
黒の領域の面積は２値化工程直後の面積より大きくな
る。
膨張する（図１１参照）。膨張の程度は、２値化工程直
後の画像（図６参照）の光源の白黒模様の黒部に起因す
る黒の領域の周囲に点在する、被検査面の表面粗さに起
因する黒点が現れていた範囲までとする。これにより、
黒の領域の面積は２値化工程直後の面積より大きくな
る。
【００２３】（１２）第１の反転工程 膨張工程により得られた画像中の各画素の白黒を反転す
る。これにより、膨張工程により得られた画像中の各画
素の白は黒に、黒は白になる。
る。これにより、膨張工程により得られた画像中の各画
素の白は黒に、黒は白になる。
【００２４】（１３）第１の論理積抽出工程 収縮工程後の画像（図１０参照）と第１の反転工程後の
画像との論理積（ＡＮＤ）を抽出する（図１２参照）。
画像との論理積（ＡＮＤ）を抽出する（図１２参照）。
【００２５】（１４）第２の反転工程 第１の論理積抽出工程後の画像中の各画素の白黒を反転
する。これにより、第１の論理積抽出工程により得られ
た画像中の各画素の白は黒に、黒は白になり、２値化工
程直後の画像の白の領域と黒の領域の境界付近のみが黒
にされた画像が得られる。２値化工程直後の白の領域と
黒の領域の境界付近は、被検査面の表面粗さに起因する
黒点が点在する部分である。
する。これにより、第１の論理積抽出工程により得られ
た画像中の各画素の白は黒に、黒は白になり、２値化工
程直後の画像の白の領域と黒の領域の境界付近のみが黒
にされた画像が得られる。２値化工程直後の白の領域と
黒の領域の境界付近は、被検査面の表面粗さに起因する
黒点が点在する部分である。
【００２６】（１５）第２の論理積抽出工程 第２の反転工程後の画像（図１２参照）と、２値化工程
直後の画像（図６参照）との論理積（ＡＮＤ）を抽出す
る（図１３参照）。これにより、２値化工程直後の画像
（図６参照）から、被検査面の表面粗さに起因する黒点
が除かれた画像が得られる。
直後の画像（図６参照）との論理積（ＡＮＤ）を抽出す
る（図１３参照）。これにより、２値化工程直後の画像
（図６参照）から、被検査面の表面粗さに起因する黒点
が除かれた画像が得られる。
【００２７】（１６）面積抽出工程 第２の論理積抽出工程後の画像の黒の各領域の面積を、
第２実施例に示す方法と同様な方法で、それぞれ抽出す
る。第２の論理積抽出工程後の画像には、白黒模様の光
源の黒部に起因する黒の領域と、被検査面に欠陥がある
場合には欠陥に起因する黒の領域があり、すべての黒の
領域の面積をそれぞれ抽出する。
第２実施例に示す方法と同様な方法で、それぞれ抽出す
る。第２の論理積抽出工程後の画像には、白黒模様の光
源の黒部に起因する黒の領域と、被検査面に欠陥がある
場合には欠陥に起因する黒の領域があり、すべての黒の
領域の面積をそれぞれ抽出する。
【００２８】（１７）判定工程 黒の領域の面積が所定面積より小さい面積を有する黒の
領域を欠陥と判定する（図１４参照）。光源の白黒模様
の黒部の大きさから２値化工程直後の画像の黒の領域の
面積はあらかじめ判断できることにより、第２の論理積
抽出工程後の画像の光源の黒部に係わり、欠陥に起因し
ない黒の領域の面積はあらかじめ判断できる。したがっ
て、あらかじめ判断できるその黒の領域の面積（所定面
積）より小さい面積を有する黒の領域は欠陥と判定され
る。被検査面の表面粗さに起因する黒点は、第２の論理
積抽出工程において画像から除かれているので、判定工
程で被検査面の表面粗さが欠陥と判定されることがな
い。
領域を欠陥と判定する（図１４参照）。光源の白黒模様
の黒部の大きさから２値化工程直後の画像の黒の領域の
面積はあらかじめ判断できることにより、第２の論理積
抽出工程後の画像の光源の黒部に係わり、欠陥に起因し
ない黒の領域の面積はあらかじめ判断できる。したがっ
て、あらかじめ判断できるその黒の領域の面積（所定面
積）より小さい面積を有する黒の領域は欠陥と判定され
る。被検査面の表面粗さに起因する黒点は、第２の論理
積抽出工程において画像から除かれているので、判定工
程で被検査面の表面粗さが欠陥と判定されることがな
い。
【００２９】つぎに、本発明の第４実施例の方法につい
て、図１５〜図１７を参照して、作用とともに説明す
る。本発明の第４実施例では、（１）〜（３）の工程の
あとに、以下に示す（１８）〜（２４）の工程を行う。
て、図１５〜図１７を参照して、作用とともに説明す
る。本発明の第４実施例では、（１）〜（３）の工程の
あとに、以下に示す（１８）〜（２４）の工程を行う。
【００３０】（１８）収縮工程 ２値化された画像（図６参照）の黒の領域を収縮する
（図１０参照）。黒の領域を収縮することは、白の領域
を膨張することでもある。黒の領域の収縮の程度は、２
値化された画像の黒の領域の、被検査面の表面粗さに起
因する黒点（黒の領域）および欠陥に起因する黒の領域
が白の領域に吸収される程度である。これにより、画像
の黒の領域は、光源の白黒模様に起因するもののみとな
り、その領域の面積は、２値化工程直後の白黒模様の光
源の黒部に起因する黒の領域より小さくされている。
（図１０参照）。黒の領域を収縮することは、白の領域
を膨張することでもある。黒の領域の収縮の程度は、２
値化された画像の黒の領域の、被検査面の表面粗さに起
因する黒点（黒の領域）および欠陥に起因する黒の領域
が白の領域に吸収される程度である。これにより、画像
の黒の領域は、光源の白黒模様に起因するもののみとな
り、その領域の面積は、２値化工程直後の白黒模様の光
源の黒部に起因する黒の領域より小さくされている。
【００３１】（１９）輪郭抽出工程 収縮工程後の画像の孤立した黒の各領域と白の領域との
境界のみを白とし、その他を黒とする（図１６参照）。
境界のみを白とし、その他を黒とする（図１６参照）。
【００３２】（２０）膨張工程 輪郭抽出工程後の画像の白の領域を膨張する（図１２参
照）。これにより、得られる白の領域は、２値化工程直
後の画像における、白黒模様の光源の黒部に起因する黒
の領域の周囲の、被検査面の表面粗さに起因する黒点が
現れる領域である。
照）。これにより、得られる白の領域は、２値化工程直
後の画像における、白黒模様の光源の黒部に起因する黒
の領域の周囲の、被検査面の表面粗さに起因する黒点が
現れる領域である。
【００３３】（２１）反転工程 膨張工程後の画像中の各画素の白黒を反転する。これに
より、各画素の白は黒に、黒は白になり、２値化工程直
後の画像（図６参照）における白の領域と黒の領域の境
界付近のみが黒の領域とされた画像が得られる。得られ
る黒の領域は、２値化工程直後の画像における、白黒模
様の光源の黒部に起因する黒の領域の周囲の、被検査面
の表面粗さに起因する黒点が現れる領域である。
より、各画素の白は黒に、黒は白になり、２値化工程直
後の画像（図６参照）における白の領域と黒の領域の境
界付近のみが黒の領域とされた画像が得られる。得られ
る黒の領域は、２値化工程直後の画像における、白黒模
様の光源の黒部に起因する黒の領域の周囲の、被検査面
の表面粗さに起因する黒点が現れる領域である。
【００３４】（２２）論理積抽出工程 反転工程後の画像と２値化工程直後の画像の論理積（Ａ
ＮＤ）を抽出する。これにより、２値化工程直後の画像
から被検査面の表面粗さに起因する黒点が除かれた画像
（図１７参照）が得られる。
ＮＤ）を抽出する。これにより、２値化工程直後の画像
から被検査面の表面粗さに起因する黒点が除かれた画像
（図１７参照）が得られる。
【００３５】（２３）面積抽出工程 論理積抽出工程後の黒の各領域の面積を、第２実施例に
示す方法と同様な方法で、それぞれ抽出する。論理積抽
出工程後の画像には、白黒模様の光源の黒部に起因する
黒の領域と、被検査面に欠陥がある場合には欠陥に起因
する黒の領域があり、すべての黒の領域をそれぞれ抽出
する。
示す方法と同様な方法で、それぞれ抽出する。論理積抽
出工程後の画像には、白黒模様の光源の黒部に起因する
黒の領域と、被検査面に欠陥がある場合には欠陥に起因
する黒の領域があり、すべての黒の領域をそれぞれ抽出
する。
【００３６】（２４）判定工程 黒の領域の面積が所定面積より小さい面積を有する黒の
領域を欠陥と判定する（図１４参照）。白黒模様の光源
の黒部の大きさから２値化工程直後の欠陥に起因しない
黒の領域の面積はあらかじめ判断でき、さらに、論理積
抽出工程後の光源の黒部に係わる、欠陥に起因しない黒
の領域の面積はあらかじめ判断できる。したがって、あ
らかじめ判断できるその黒の領域の面積（所定面積）よ
り小さい面積を有する黒の領域は欠陥と判定される。被
検査面の表面粗さに起因する黒点は、判定工程の前に論
理積抽出工程で画像から除かれるので、被検査面の表面
粗さは欠陥と判定されない。
領域を欠陥と判定する（図１４参照）。白黒模様の光源
の黒部の大きさから２値化工程直後の欠陥に起因しない
黒の領域の面積はあらかじめ判断でき、さらに、論理積
抽出工程後の光源の黒部に係わる、欠陥に起因しない黒
の領域の面積はあらかじめ判断できる。したがって、あ
らかじめ判断できるその黒の領域の面積（所定面積）よ
り小さい面積を有する黒の領域は欠陥と判定される。被
検査面の表面粗さに起因する黒点は、判定工程の前に論
理積抽出工程で画像から除かれるので、被検査面の表面
粗さは欠陥と判定されない。
【００３７】
【発明の効果】請求項１の表面欠陥検査方法によれば、
面積・重心抽出工程により２値化された画像の暗の各領
域の面積および重心を抽出した後、判定工程において所
定面積以上の面積を有する暗の各領域から所定距離以上
離れた位置にある暗の領域を欠陥と判定するので、所定
面積以上の面積を有する暗の各領域から所定距離内に現
れる、被検査面の表面粗さに起因する暗点は欠陥と判定
されない。請求項２の表面欠陥検査方法によれば、膨張
工程において、２値化された画像の暗の領域を膨張する
ことにより、被検査面の表面粗さに起因する暗点が暗の
領域に吸収されるので、面積抽出工程で面積が抽出され
る暗の領域は表面粗さに起因する暗点（暗の領域）を除
く領域となり、判定工程では、被検査面の表面粗さに起
因するものは欠陥と判定されることはない。請求項３の
表面欠陥検査方法によれば、収縮工程において、２値化
された画像の暗の領域を収縮する（明の領域を膨張す
る）ことにより、明暗模様の暗部に起因する暗の領域の
周囲の被検査面の表面粗さに起因する暗点（暗の領域）
および欠陥に起因する暗点が明の領域に吸収され、膨張
工程において、暗の領域は２値化された直後の画像の暗
の領域より大きくされた画像となる。さらに、第１の反
転工程、第１の論理積抽出工程、第２の反転工程を経
て、２値化された直後の画像の明と暗の境界付近の位置
のみが暗とされた画像が得られる。そして、第２の論理
積抽出工程において、第２の反転工程後の画像と２値化
された直後の画像の論理積が抽出され、被検査面の表面
粗さに起因する暗点（暗の領域）が除かれた画像が得ら
れるので、第２の論理積抽出工程後の画像に基づいて行
われる判定工程では、被検査面の表面粗さは欠陥と判定
されない。請求項４の表面欠陥検査方法によれば、２値
化された画像は、収縮工程において、暗の領域を収縮す
る（明の領域を膨張する）ことにより、暗の領域の周囲
の被検査面の表面粗さに起因する暗点および欠陥に起因
する暗点が明の領域に吸収される。そして、輪郭抽出工
程、膨張工程、反転工程を経て、２値化された直後の画
像の明と暗の境界付近の位置のみが暗とされた画像が得
られる。さらに、論理積抽出工程において、反転工程直
後の画像と２値化された直後の画像の論理積が抽出さ
れ、被検査面の表面粗さに起因する暗点（暗の領域）が
除かれた画像が得られるので、論理積抽出工程後の画像
に基づいて行われる判定工程では、被検査面の表面粗さ
は欠陥と判定されない。
面積・重心抽出工程により２値化された画像の暗の各領
域の面積および重心を抽出した後、判定工程において所
定面積以上の面積を有する暗の各領域から所定距離以上
離れた位置にある暗の領域を欠陥と判定するので、所定
面積以上の面積を有する暗の各領域から所定距離内に現
れる、被検査面の表面粗さに起因する暗点は欠陥と判定
されない。請求項２の表面欠陥検査方法によれば、膨張
工程において、２値化された画像の暗の領域を膨張する
ことにより、被検査面の表面粗さに起因する暗点が暗の
領域に吸収されるので、面積抽出工程で面積が抽出され
る暗の領域は表面粗さに起因する暗点（暗の領域）を除
く領域となり、判定工程では、被検査面の表面粗さに起
因するものは欠陥と判定されることはない。請求項３の
表面欠陥検査方法によれば、収縮工程において、２値化
された画像の暗の領域を収縮する（明の領域を膨張す
る）ことにより、明暗模様の暗部に起因する暗の領域の
周囲の被検査面の表面粗さに起因する暗点（暗の領域）
および欠陥に起因する暗点が明の領域に吸収され、膨張
工程において、暗の領域は２値化された直後の画像の暗
の領域より大きくされた画像となる。さらに、第１の反
転工程、第１の論理積抽出工程、第２の反転工程を経
て、２値化された直後の画像の明と暗の境界付近の位置
のみが暗とされた画像が得られる。そして、第２の論理
積抽出工程において、第２の反転工程後の画像と２値化
された直後の画像の論理積が抽出され、被検査面の表面
粗さに起因する暗点（暗の領域）が除かれた画像が得ら
れるので、第２の論理積抽出工程後の画像に基づいて行
われる判定工程では、被検査面の表面粗さは欠陥と判定
されない。請求項４の表面欠陥検査方法によれば、２値
化された画像は、収縮工程において、暗の領域を収縮す
る（明の領域を膨張する）ことにより、暗の領域の周囲
の被検査面の表面粗さに起因する暗点および欠陥に起因
する暗点が明の領域に吸収される。そして、輪郭抽出工
程、膨張工程、反転工程を経て、２値化された直後の画
像の明と暗の境界付近の位置のみが暗とされた画像が得
られる。さらに、論理積抽出工程において、反転工程直
後の画像と２値化された直後の画像の論理積が抽出さ
れ、被検査面の表面粗さに起因する暗点（暗の領域）が
除かれた画像が得られるので、論理積抽出工程後の画像
に基づいて行われる判定工程では、被検査面の表面粗さ
は欠陥と判定されない。
【図１】本発明の全実施例に共通に共通する表面欠陥検
査方法を実施する装置の概略を示す図である。
査方法を実施する装置の概略を示す図である。
【図２】本発明の第１実施例の表面欠陥検査方法の手順
を示すフローチャートである。
を示すフローチャートである。
【図３】本発明の第１実施例の方法の過程で得られる画
像の模式図である。
像の模式図である。
【図４】本発明の第１実施例の方法の過程で得られる画
像の模式図である。
像の模式図である。
【図５】本発明の第２実施例の表面欠陥検査方法の手順
を示すフローチャートである。
を示すフローチャートである。
【図６】本発明の第２実施例の方法の過程で得られる画
像の模式図である。
像の模式図である。
【図７】本発明の第２実施例の方法の過程で得られる画
像の模式図である。
像の模式図である。
【図８】本発明の第２実施例の方法の過程で得られる画
像の模式図である。
像の模式図である。
【図９】本発明の第３実施例の表面欠陥検査方法の手順
を示すフローチャートである。
を示すフローチャートである。
【図１０】本発明の第３実施例の方法の過程で得られる
画像の模式図である。
画像の模式図である。
【図１１】本発明の第３実施例の方法の過程で得られる
画像の模式図である。
画像の模式図である。
【図１２】本発明の第３実施例の方法の過程で得られる
画像の模式図である。
画像の模式図である。
【図１３】本発明の第３実施例の方法の過程で得られる
画像の模式図である。
画像の模式図である。
【図１４】本発明の第３実施例の方法の過程で得られる
画像の模式図である。
画像の模式図である。
【図１５】本発明の第４実施例の表面欠陥検査方法の手
順を示すフローチャートである。
順を示すフローチャートである。
【図１６】本発明の第４実施例の方法の過程で得られる
画像の模式図である。
画像の模式図である。
【図１７】本発明の第４実施例の方法の過程で得られる
画像の模式図である。
画像の模式図である。
１ カメラ ２ 画像処理装置 ３ 光源
Claims (4)
- 【請求項１】 弧立した暗部を有する明暗模様の光源を
被検査面に写し出す照射工程と、 明暗模様が写し出された被検査面の画像を画像処理装置
に取り込む画像取込み工程と、 前記画像取込み工程で取り込まれた画像を明と暗に２値
化された画像にする２値化工程と、 前記２値化工程により２値化された画像の暗の各領域の
面積および重心をそれぞれ抽出する面積・重心抽出工程
と、 前記面積・重心抽出工程により抽出された面積のうち、
所定面積以上の面積を有する暗の各領域から所定距離以
上離れた位置にある暗の領域を欠陥と判定する判定工程
と、を有する、表面欠陥検査方法。 - 【請求項２】 孤立した暗部を有する明暗模様の光源を
被検査面に写し出す照射工程と、 明暗模様が写し出された被検査面の画像を画像処理装置
に取り込む画像取込み工程と、 前記画像取込み工程で取り込まれた画像を明と暗に２値
化された画像にする２値化工程と、 前記２値化工程により２値化された画像の暗の領域を膨
張する膨張工程と、 前記膨張工程後の暗の各領域の面積をそれぞれ抽出する
面積抽出工程と、 前記面積抽出工程により抽出された面積のうち、所定面
積より小さい面積を有する暗の領域を欠陥と判定する判
定工程と、を有する、表面欠陥検査方法。 - 【請求項３】 孤立した暗部を有する明暗模様の光源を
被検査面に写し出す照射工程と、 明暗模様が写し出された被検査面の画像を画像処理装置
に取り込む画像取込み工程と、 前記画像取込み工程で取り込まれた画像を明と暗に２値
化された画像にする２値化工程と、 前記２値化工程により２値化された画像の暗の領域を収
縮する収縮工程と、 前記収縮工程後の画像の暗の領域を膨張する膨張工程
と、 前記膨張工程後の画像の明と暗を反転する第１の反転工
程と、 前記収縮工程後の画像と、前記第１の反転工程後の画像
との論理積を抽出する第１の論理積抽出工程と、 前記第１の論理積抽出工程後の画像の明と暗を反転する
第２の反転工程と、 前記第２の反転工程後の画像と、前記２値化工程後の画
像との論理積を抽出する第２の論理積抽出工程と、 前記第２の論理積抽出工程後の画像の暗の各領域の面積
をそれぞれ抽出する面積抽出工程と、 前記面積抽出工程により抽出された面積のうち、所定面
積より小さい面積を有する暗の領域を欠陥と判定する判
定工程と、を有する、表面欠陥検査方法。 - 【請求項４】 孤立した暗部を有する明暗模様の光源を
被検査面に写し出す照射工程と、 明暗模様が写し出された被検査面の画像を画像処理装置
に取り込む画像取込み工程と、 前記画像取込み工程で取り込まれた画像を明と暗に２値
化された画像にする２値化工程と、 前記２値化工程により２値化された画像の暗の領域を収
縮する収縮工程と、 前記収縮工程後の画像の明と暗の境界のみを明にする輪
郭抽出工程と、 前記輪郭抽出工程後の画像の明の領域を膨張する膨張工
程と、 前記膨張工程後の画像の明と暗を反転する反転工程と、 前記反転工程後の画像と、前記２値化工程後の画像との
論理積を抽出する論理積抽出工程と、 前記論理積抽出工程後の画像の暗の各領域の面積をそれ
ぞれ抽出する面積抽出工程と、 前記面積抽出工程により抽出された面積のうち、所定面
積より小さい面積を有する暗の領域を欠陥と判定する判
定工程と、を有する、表面欠陥検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13707698A JP3409695B2 (ja) | 1998-05-19 | 1998-05-19 | 表面欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13707698A JP3409695B2 (ja) | 1998-05-19 | 1998-05-19 | 表面欠陥検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11325861A true JPH11325861A (ja) | 1999-11-26 |
| JP3409695B2 JP3409695B2 (ja) | 2003-05-26 |
Family
ID=15190348
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13707698A Expired - Fee Related JP3409695B2 (ja) | 1998-05-19 | 1998-05-19 | 表面欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3409695B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021056183A (ja) * | 2019-10-02 | 2021-04-08 | コニカミノルタ株式会社 | ワークの表面欠陥検出装置及び検出方法、ワークの表面検査システム並びにプログラム |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5390754B2 (ja) * | 2007-06-28 | 2014-01-15 | パナソニック株式会社 | 画像処理による外観検査方法およびその装置 |
-
1998
- 1998-05-19 JP JP13707698A patent/JP3409695B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
| JP2021056183A (ja) * | 2019-10-02 | 2021-04-08 | コニカミノルタ株式会社 | ワークの表面欠陥検出装置及び検出方法、ワークの表面検査システム並びにプログラム |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3409695B2 (ja) | 2003-05-26 |
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