JPH11323600A - 積算電流計タイマー - Google Patents
積算電流計タイマーInfo
- Publication number
- JPH11323600A JPH11323600A JP13001198A JP13001198A JPH11323600A JP H11323600 A JPH11323600 A JP H11323600A JP 13001198 A JP13001198 A JP 13001198A JP 13001198 A JP13001198 A JP 13001198A JP H11323600 A JPH11323600 A JP H11323600A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plating
- counter
- channel
- timer
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- Withdrawn
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- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】めっき膜厚管理、めっき時間の管理及びめっき
液管理を行うことができる積算電流計タイマーを提供す
る。 【解決手段】スタート時からの電流値を積算する第１の
カウンタ３と、スタート時からの経過時間を計測する第
２のカウンタ４を設け、いずれかをチャンネル１、他方
をチャンネル２に設定できるようにする。チャンネル１
とされたカウンタがカウントアップしたときのチャンネ
ル２のカウンタの値が上下限設定値の範囲内にあるか否
かを演算制御手段２が判断し、評価信号を発する。
液管理を行うことができる積算電流計タイマーを提供す
る。 【解決手段】スタート時からの電流値を積算する第１の
カウンタ３と、スタート時からの経過時間を計測する第
２のカウンタ４を設け、いずれかをチャンネル１、他方
をチャンネル２に設定できるようにする。チャンネル１
とされたカウンタがカウントアップしたときのチャンネ
ル２のカウンタの値が上下限設定値の範囲内にあるか否
かを演算制御手段２が判断し、評価信号を発する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電気めっきや電解
エッチングの管理に適した積算電流計タイマーに関する
ものである。
エッチングの管理に適した積算電流計タイマーに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】電気めっきは一般に定電圧電解で行われ
ており、めっき膜厚は直流積算電流値に比例する。この
ためめっき作業の管理には、従来からめっき電流値を積
算することができる積算電流計が用いられている。この
積算電流計は積算電流値が設定値に達したときにカウン
トアップ信号を発し、このカウントアップ信号によりめ
っき用整流器を自動的に停止させるようにすれば、一定
のめっき膜厚を形成することができる。
ており、めっき膜厚は直流積算電流値に比例する。この
ためめっき作業の管理には、従来からめっき電流値を積
算することができる積算電流計が用いられている。この
積算電流計は積算電流値が設定値に達したときにカウン
トアップ信号を発し、このカウントアップ信号によりめ
っき用整流器を自動的に停止させるようにすれば、一定
のめっき膜厚を形成することができる。
【０００３】しかし、電気めっきのめっき速度はめっき
液の液組成や金属濃度にも影響される場合がある。そこ
でめっき液の液組成等を分析し、必要な添加剤の補充管
理を行うめっき液管理装置も従来から開発されている。
しかし従来は積算電流値によるめっき膜厚管理とめっき
液管理とは独立して行われており、めっき液管理が適切
におこなわれていない場合には、一定のめっき膜厚を形
成するまでに余分な時間を要し、一定のタクトタイムで
槽浸漬を繰り返す自動めっき装置などではめっき不良を
招くこともあった。
液の液組成や金属濃度にも影響される場合がある。そこ
でめっき液の液組成等を分析し、必要な添加剤の補充管
理を行うめっき液管理装置も従来から開発されている。
しかし従来は積算電流値によるめっき膜厚管理とめっき
液管理とは独立して行われており、めっき液管理が適切
におこなわれていない場合には、一定のめっき膜厚を形
成するまでに余分な時間を要し、一定のタクトタイムで
槽浸漬を繰り返す自動めっき装置などではめっき不良を
招くこともあった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記した従来
の問題点を解決して、めっき膜厚管理やめっき時間の管
理を行えるのみならず、めっき液管理も行うことができ
る積算電流計タイマーを提供するためになされたもので
ある。
の問題点を解決して、めっき膜厚管理やめっき時間の管
理を行えるのみならず、めっき液管理も行うことができ
る積算電流計タイマーを提供するためになされたもので
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めになされた本発明は、スタート時からの電流値を積算
する第１のカウンタと、スタート時からの経過時間を計
測する第２のカウンタと、選択された一方のカウンタが
カウントアップしたとき他方のカウンタの値が上下限設
定値の範囲内にあるか否かを判断して評価信号を発する
演算制御手段と備えたことを特徴とするものである。
めになされた本発明は、スタート時からの電流値を積算
する第１のカウンタと、スタート時からの経過時間を計
測する第２のカウンタと、選択された一方のカウンタが
カウントアップしたとき他方のカウンタの値が上下限設
定値の範囲内にあるか否かを判断して評価信号を発する
演算制御手段と備えたことを特徴とするものである。
【０００６】本発明の積算電流計タイマーは、電流積算
値と経過時間の何れかをチャンネル１として選択し、他
方をチャンネル２として使用するものであり、チャンネ
ル１として選択されたカウンタがカウントアップしたと
きカウントアップ信号を発してめっき電流を停止させる
とともに、チャンネル２とされた他方のカウンタの値が
上下限設定値の範囲内にあるか否かにより、評価信号を
発する。従って、例えば電流積算値がカウントアップす
るまでに要する経過時間が異常に長いような場合にはＮ
Ｇ信号が出され、めっき液の液組成や金属濃度が適正で
はない疑いがあることが分かる。このため本発明の積算
電流計タイマーは、めっき膜厚管理に利用できるととも
に、めっき液管理のダブルチェックを行うことができ
る。
値と経過時間の何れかをチャンネル１として選択し、他
方をチャンネル２として使用するものであり、チャンネ
ル１として選択されたカウンタがカウントアップしたと
きカウントアップ信号を発してめっき電流を停止させる
とともに、チャンネル２とされた他方のカウンタの値が
上下限設定値の範囲内にあるか否かにより、評価信号を
発する。従って、例えば電流積算値がカウントアップす
るまでに要する経過時間が異常に長いような場合にはＮ
Ｇ信号が出され、めっき液の液組成や金属濃度が適正で
はない疑いがあることが分かる。このため本発明の積算
電流計タイマーは、めっき膜厚管理に利用できるととも
に、めっき液管理のダブルチェックを行うことができ
る。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施形態を示す。
図１は本発明の積算電流計タイマーの構成を示すブロッ
ク図であり、１はボックス、２はその内部に組み込まれ
たＣＰＵ等の演算制御手段である。この図１の例では、
演算制御手段２の内部に第１のカウンタ３と第２のカウ
ンタ４とが設けられているが、これらのカウンタ３、４
は演算制御手段２の外部に設けることもできる。
図１は本発明の積算電流計タイマーの構成を示すブロッ
ク図であり、１はボックス、２はその内部に組み込まれ
たＣＰＵ等の演算制御手段である。この図１の例では、
演算制御手段２の内部に第１のカウンタ３と第２のカウ
ンタ４とが設けられているが、これらのカウンタ３、４
は演算制御手段２の外部に設けることもできる。
【０００８】５はめっき装置６のめっき回路に流れる電
流を計測するためのシャント（分流器）であり、例えば
１０００Ａの電流により５０ｍＶ又は６０ｍＶの電圧を
発生するように設定されている。シャント５により計測
された電流値はアナログ増幅回路７で増幅され、Ａ／Ｄ
変換器８でデジタル変換されたうえで演算制御手段２に
入力される。演算制御手段２にはチャンネル表示手段
９、１０が接続され、またノイズ遮断用のフォトカプラ
１１、１２を介してカウントアップ信号出力用のリレー
１３と、評価信号出力用のリレー１４とが接続されてい
る。
流を計測するためのシャント（分流器）であり、例えば
１０００Ａの電流により５０ｍＶ又は６０ｍＶの電圧を
発生するように設定されている。シャント５により計測
された電流値はアナログ増幅回路７で増幅され、Ａ／Ｄ
変換器８でデジタル変換されたうえで演算制御手段２に
入力される。演算制御手段２にはチャンネル表示手段
９、１０が接続され、またノイズ遮断用のフォトカプラ
１１、１２を介してカウントアップ信号出力用のリレー
１３と、評価信号出力用のリレー１４とが接続されてい
る。
【０００９】第１のカウンタ３は、スタート信号が入力
された時からシャント５により計測された電流値を積算
する機能を有するものであり、第２のカウンタ４はスタ
ート信号が入力された時からの経過時間を計測する機能
を有するものである。この積算電流計タイマーはチャン
ネル１とチャンネル２を持ち、積算電流値と経過時間の
何れかをチャンネル１として選択することができるよう
になっている。各カウンタ３、４の値はチャンネル表示
手段９、１０にそれぞれリアルタイムで表示される。ま
た、チャンネル１として選択されたカウンタには制御ポ
イント設定値が設定され、チャンネル２のカウンタには
正常と認められる範囲の上下限設定値が設定される。
された時からシャント５により計測された電流値を積算
する機能を有するものであり、第２のカウンタ４はスタ
ート信号が入力された時からの経過時間を計測する機能
を有するものである。この積算電流計タイマーはチャン
ネル１とチャンネル２を持ち、積算電流値と経過時間の
何れかをチャンネル１として選択することができるよう
になっている。各カウンタ３、４の値はチャンネル表示
手段９、１０にそれぞれリアルタイムで表示される。ま
た、チャンネル１として選択されたカウンタには制御ポ
イント設定値が設定され、チャンネル２のカウンタには
正常と認められる範囲の上下限設定値が設定される。
【００１０】この装置を使用するには、例えば積算電流
値をカウントする第１のカウンタ３をチャンネル１に設
定し、目的とするめっき膜厚を得るに要する積算電流値
を制御ポイント設定値として設定する。そしてめっき開
始と同時にスタート信号を入力して、積算電流値と経過
時間をカウントする。
値をカウントする第１のカウンタ３をチャンネル１に設
定し、目的とするめっき膜厚を得るに要する積算電流値
を制御ポイント設定値として設定する。そしてめっき開
始と同時にスタート信号を入力して、積算電流値と経過
時間をカウントする。
【００１１】めっきが進行し、第１のカウンタ３が制御
ポイント設定値に達してカウントアップすると、演算制
御手段２はフォトカプラ１１を介してカウントアップ信
号出力用のリレー１３を動作させ、めっき用の整流器を
停止させる。演算制御手段２はそのとき第２のカウンタ
４の経過時間が上下限設定値の範囲内にあるか否かを判
断し、上下限設定値の範囲内にあればＧＯ、上下限設定
値の範囲を外れるとＮＧの評価信号を発する。この評価
信号はフォトカプラ１２を介して評価信号出力用のリレ
ー１４を動作させる。なお第１のカウンタ３及び第２の
カウンタ４は自動的にリセットさせることができる。
ポイント設定値に達してカウントアップすると、演算制
御手段２はフォトカプラ１１を介してカウントアップ信
号出力用のリレー１３を動作させ、めっき用の整流器を
停止させる。演算制御手段２はそのとき第２のカウンタ
４の経過時間が上下限設定値の範囲内にあるか否かを判
断し、上下限設定値の範囲内にあればＧＯ、上下限設定
値の範囲を外れるとＮＧの評価信号を発する。この評価
信号はフォトカプラ１２を介して評価信号出力用のリレ
ー１４を動作させる。なお第１のカウンタ３及び第２の
カウンタ４は自動的にリセットさせることができる。
【００１２】本発明の積算電流計タイマーは、例えば貴
金属めっきの液状態の管理に用いることができる。貴金
属めっきは不溶性陽極を使用して行われる場合が多く、
めっきスタート時からの積算電流値が制御ポイント設定
値に達するまでの経過時間が異常に長くＮＧ信号が出力
された場合には、めっき液中の金属濃度が低下すると
か、めっき液の組成が変化している可能性が強い。この
ように、本発明の積算電流計タイマーはめっき液管理の
ダブルチェックに利用することができる。
金属めっきの液状態の管理に用いることができる。貴金
属めっきは不溶性陽極を使用して行われる場合が多く、
めっきスタート時からの積算電流値が制御ポイント設定
値に達するまでの経過時間が異常に長くＮＧ信号が出力
された場合には、めっき液中の金属濃度が低下すると
か、めっき液の組成が変化している可能性が強い。この
ように、本発明の積算電流計タイマーはめっき液管理の
ダブルチェックに利用することができる。
【００１３】また本発明の積算電流計タイマーを、一定
のタクトタイムで槽浸漬を繰り返す自動めっき装置に用
いる場合には、経過時間をチャンネル１に設定し、経過
時間が制御ポイント設定値に達したときのカウントアッ
プ信号により自動めっき装置を制御する。そしてそのと
きの積算電流値が上下限設定値の範囲内にあるか否かの
評価信号により、めっき膜厚の簡易的な管理を行うこと
ができる。
のタクトタイムで槽浸漬を繰り返す自動めっき装置に用
いる場合には、経過時間をチャンネル１に設定し、経過
時間が制御ポイント設定値に達したときのカウントアッ
プ信号により自動めっき装置を制御する。そしてそのと
きの積算電流値が上下限設定値の範囲内にあるか否かの
評価信号により、めっき膜厚の簡易的な管理を行うこと
ができる。
【００１４】硬質クロムめっきの場合には、エッチング
を行ってからめっきを行う。本発明の積算電流計タイマ
ーの経過時間をチャンネル１に設定し、エッチングとめ
っきの時間管理に用いることができる。エッチングまた
はクロムめっきの経過時間が制御ポイント設定値に達し
たときの積算電流値が確認でき、積算電流値が極端に差
異のある場合には整流器の設定値に異常があるとの判断
が可能となる。このように本発明の積算電流計タイマー
は、めっきだけでなく、めっき以外の電解エッチング等
の管理にも適用することができる。
を行ってからめっきを行う。本発明の積算電流計タイマ
ーの経過時間をチャンネル１に設定し、エッチングとめ
っきの時間管理に用いることができる。エッチングまた
はクロムめっきの経過時間が制御ポイント設定値に達し
たときの積算電流値が確認でき、積算電流値が極端に差
異のある場合には整流器の設定値に異常があるとの判断
が可能となる。このように本発明の積算電流計タイマー
は、めっきだけでなく、めっき以外の電解エッチング等
の管理にも適用することができる。
【００１５】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明の積算電
流計タイマーは、スタート時からの電流値を積算する第
１のカウンタと、スタート時からの経過時間を計測する
第２のカウンタと、選択された一方のカウンタがカウン
トアップしたとき他方のカウンタの値が上下限設定値の
範囲内にあるか否かを判断して評価信号を発する演算手
段とを備えたものであるから、めっき膜厚管理、自動め
っき装置の制御及びめっき液管理を行うことができる利
点がある。
流計タイマーは、スタート時からの電流値を積算する第
１のカウンタと、スタート時からの経過時間を計測する
第２のカウンタと、選択された一方のカウンタがカウン
トアップしたとき他方のカウンタの値が上下限設定値の
範囲内にあるか否かを判断して評価信号を発する演算手
段とを備えたものであるから、めっき膜厚管理、自動め
っき装置の制御及びめっき液管理を行うことができる利
点がある。
【図１】本発明の積算電流計タイマーの構成を示すブロ
ック図である。
ック図である。
【図２】本発明の積算電流計タイマーの制御フロー図で
ある。
ある。
１ ボックス ２ 演算制御手段 ３ 第１のカウンタ ４ 第２のカウンタ ５ シャント ６ めっき装置 ７ アナログ増幅回路 ８ Ａ／Ｄ変換器 ９ チャンネル１表示手段 １０ チャンネル２表示手段 １１ フォトカプラ １２ フォトカプラ １３ カウントアップ信号出力用のリレー １４ 評価信号出力用のリレー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 健治 愛知県名古屋市中川区石場町３丁目14番５ 号 (72)発明者 小山 俊一 愛知県名古屋市緑区鳴海町字杜若120番１ 株式会社コヤマケミカル内
Claims (1)
- 【請求項１】 スタート時からの電流値を積算する第１
のカウンタと、スタート時からの経過時間を計測する第
２のカウンタと、選択された一方のカウンタがカウント
アップしたとき他方のカウンタの値が上下限設定値の範
囲内にあるか否かを判断して評価信号を発する演算制御
手段とを備えたことを特徴とする積算電流計タイマー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13001198A JPH11323600A (ja) | 1998-05-13 | 1998-05-13 | 積算電流計タイマー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13001198A JPH11323600A (ja) | 1998-05-13 | 1998-05-13 | 積算電流計タイマー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11323600A true JPH11323600A (ja) | 1999-11-26 |
Family
ID=15023954
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13001198A Withdrawn JPH11323600A (ja) | 1998-05-13 | 1998-05-13 | 積算電流計タイマー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11323600A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006328537A (ja) * | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Applied Materials Inc | 電気メッキ処理におけるイン・シトゥープロファイル測定 |
-
1998
- 1998-05-13 JP JP13001198A patent/JPH11323600A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006328537A (ja) * | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Applied Materials Inc | 電気メッキ処理におけるイン・シトゥープロファイル測定 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050802 |