JPH11319486A - 有害ガス分解装置 - Google Patents
有害ガス分解装置Info
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- JPH11319486A JPH11319486A JP10138197A JP13819798A JPH11319486A JP H11319486 A JPH11319486 A JP H11319486A JP 10138197 A JP10138197 A JP 10138197A JP 13819798 A JP13819798 A JP 13819798A JP H11319486 A JPH11319486 A JP H11319486A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 空気中に含まれる有害ガス成分(例えば、V
OC、NOx、SOx、トリクロロエチレン、メタノー
ル、硫化水素)あるいは臭気成分を高効率で分解除去で
きる有害ガス分解装置を提供する。 【解決手段】 相対向する面4a,4aに空気W中に含
まれる有害ガス成分を分解する触媒Aを担持してなる平
板状の一対の放電板4,4あるいは相対向する面4a,
4aに空気W中に含まれる有害ガス成分を分解する触媒
Aを担持してなり且つ多数の通気孔8,8・・を有する
一対の放電板4,4と、該放電板4,4に高電圧を印加
して低温プラズマを発生させる電源6と、前記放電板
4,4間にあって空気W中に含まれる有害ガス成分を吸
着する吸着構造体5とを備えて構成して、低温プラズマ
を発生させている放電板4,4間を流れる空気W中に含
まれる有害ガス成分や臭気成分が吸着構造体5に吸着捕
捉されるかあるいはその移動速度が小さくなるようにし
ている。
OC、NOx、SOx、トリクロロエチレン、メタノー
ル、硫化水素)あるいは臭気成分を高効率で分解除去で
きる有害ガス分解装置を提供する。 【解決手段】 相対向する面4a,4aに空気W中に含
まれる有害ガス成分を分解する触媒Aを担持してなる平
板状の一対の放電板4,4あるいは相対向する面4a,
4aに空気W中に含まれる有害ガス成分を分解する触媒
Aを担持してなり且つ多数の通気孔8,8・・を有する
一対の放電板4,4と、該放電板4,4に高電圧を印加
して低温プラズマを発生させる電源6と、前記放電板
4,4間にあって空気W中に含まれる有害ガス成分を吸
着する吸着構造体5とを備えて構成して、低温プラズマ
を発生させている放電板4,4間を流れる空気W中に含
まれる有害ガス成分や臭気成分が吸着構造体5に吸着捕
捉されるかあるいはその移動速度が小さくなるようにし
ている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本願発明は、家庭、ビル、工
場などで発生する有害ガス成分(例えば、揮発性有機化
合物、NOx、SOx、トリクロロエチレン、メタノー
ル、硫化水素)あるいは臭気成分を高効率で分解除去
し、長寿命且つノーメンテで安定した高い性能を発揮す
る有害ガス分解装置に関するものである。
場などで発生する有害ガス成分(例えば、揮発性有機化
合物、NOx、SOx、トリクロロエチレン、メタノー
ル、硫化水素)あるいは臭気成分を高効率で分解除去
し、長寿命且つノーメンテで安定した高い性能を発揮す
る有害ガス分解装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】家庭や職場において空気中に存在する人
間に悪影響を及ぼす悪臭や有害ガス成分が問題となるこ
とが多く、臭気ガスや有害ガスの除去に対する関心が大
きくなっている。
間に悪影響を及ぼす悪臭や有害ガス成分が問題となるこ
とが多く、臭気ガスや有害ガスの除去に対する関心が大
きくなっている。
【0003】除去対象となるガス成分としては、揮発性
有機化合物(以下、VOCという)、NOx、SOx、
トリクロロエチレン、メタノール、硫化水素等の工場排
気ガスをはじめとして、家庭で発生するホルムアルデヒ
ドをはじめとするVOCのような有害ガス成分も含まれ
る。
有機化合物(以下、VOCという)、NOx、SOx、
トリクロロエチレン、メタノール、硫化水素等の工場排
気ガスをはじめとして、家庭で発生するホルムアルデヒ
ドをはじめとするVOCのような有害ガス成分も含まれ
る。
【0004】これらの人間に悪影響を及ぼす有害ガス成
分や臭気成分を除去する装置としては、(1)フィルタ
ーと活性炭やゼオライトなどの吸着剤を組み合わせたも
の、(2)オゾンによる酸化分解を利用したもの、
(3)触媒燃焼法や直接燃焼法を用いたものが一般的で
ある。
分や臭気成分を除去する装置としては、(1)フィルタ
ーと活性炭やゼオライトなどの吸着剤を組み合わせたも
の、(2)オゾンによる酸化分解を利用したもの、
(3)触媒燃焼法や直接燃焼法を用いたものが一般的で
ある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記(1)
のものでは、吸着剤に吸着された吸着物質を処理するこ
とが困難なため寿命に課題があるし、(2)のもので
は、中間生成物が問題となるとともに、毒性も問題とな
るし、(3)のものでは、設備コストとランニングコス
トがかさむという問題がある。
のものでは、吸着剤に吸着された吸着物質を処理するこ
とが困難なため寿命に課題があるし、(2)のもので
は、中間生成物が問題となるとともに、毒性も問題とな
るし、(3)のものでは、設備コストとランニングコス
トがかさむという問題がある。
【0006】そこで、難分解性ガスを無害な物質に分解
して除去することができるプラズマ触媒分解による方法
が、クリーンな処理且つ長寿命の点から注目されてきて
おり、近年、種々の研究が行われている。しかしなが
ら、有害ガス成分(例えば、VOC、NOx、SOx、
トリクロロエチレン、メタノール、硫化水素)あるいは
臭気成分を高効率で分解除去できる実用装置は未だ開発
されていない。
して除去することができるプラズマ触媒分解による方法
が、クリーンな処理且つ長寿命の点から注目されてきて
おり、近年、種々の研究が行われている。しかしなが
ら、有害ガス成分(例えば、VOC、NOx、SOx、
トリクロロエチレン、メタノール、硫化水素)あるいは
臭気成分を高効率で分解除去できる実用装置は未だ開発
されていない。
【0007】本願発明は、上記の点に鑑みてなされたも
ので、空気中に含まれる有害ガス成分(例えば、VO
C、NOx、SOx、トリクロロエチレン、メタノー
ル、硫化水素)あるいは臭気成分を高効率で分解除去で
きる有害ガス分解装置を提供することを目的とするもの
である。
ので、空気中に含まれる有害ガス成分(例えば、VO
C、NOx、SOx、トリクロロエチレン、メタノー
ル、硫化水素)あるいは臭気成分を高効率で分解除去で
きる有害ガス分解装置を提供することを目的とするもの
である。
【0008】
【課題を解決するための手段】本願発明の基本構成(請
求項1の発明)では、上記課題を解決するための手段と
して、相対向する面4a,4aに空気W中に含まれる有
害ガス成分を分解する触媒Aを担持してなる平板状の一
対の放電板4,4あるいは相対向する面4a,4aに空
気W中に含まれる有害ガス成分を分解する触媒Aを担持
してなり且つ多数の通気孔8,8・・を有する一対の放
電板4,4と、該放電板4,4に高電圧を印加して低温
プラズマを発生させる電源6と、前記放電板4,4間に
あって空気W中に含まれる有害ガス成分を吸着する吸着
構造体5とを備えて構成している。
求項1の発明)では、上記課題を解決するための手段と
して、相対向する面4a,4aに空気W中に含まれる有
害ガス成分を分解する触媒Aを担持してなる平板状の一
対の放電板4,4あるいは相対向する面4a,4aに空
気W中に含まれる有害ガス成分を分解する触媒Aを担持
してなり且つ多数の通気孔8,8・・を有する一対の放
電板4,4と、該放電板4,4に高電圧を印加して低温
プラズマを発生させる電源6と、前記放電板4,4間に
あって空気W中に含まれる有害ガス成分を吸着する吸着
構造体5とを備えて構成している。
【0009】上記のように構成したことにより、低温プ
ラズマを発生させている放電板4,4間を流れる空気W
中に含まれる有害ガス成分や臭気成分が吸着構造体5に
吸着捕捉されるかあるいはその移動速度が小さくなる。
従って、触媒Aの表面との接触により原子間の結合力が
低下した有害ガスをプラズマの駆動力で励起して分解す
ることができるところから、有害ガス分解効率が大幅に
向上する。特に、キシレン、トルエンをはじめとする難
分解性の有害ガスをも分解可能となる。しかも、プラズ
マにより若干のオゾンが発生する場合(例えば、コロナ
放電方式を採用した場合)があるが、これも有害ガス分
解には有効である。
ラズマを発生させている放電板4,4間を流れる空気W
中に含まれる有害ガス成分や臭気成分が吸着構造体5に
吸着捕捉されるかあるいはその移動速度が小さくなる。
従って、触媒Aの表面との接触により原子間の結合力が
低下した有害ガスをプラズマの駆動力で励起して分解す
ることができるところから、有害ガス分解効率が大幅に
向上する。特に、キシレン、トルエンをはじめとする難
分解性の有害ガスをも分解可能となる。しかも、プラズ
マにより若干のオゾンが発生する場合(例えば、コロナ
放電方式を採用した場合)があるが、これも有害ガス分
解には有効である。
【0010】この場合において、請求項2の発明におけ
るように、前記吸着構造体5として、ガラス繊維紙のよ
うな無機物質からなり、不導電性の吸着剤Bを付着させ
てなる平板状のハニカム構造体を用いたり、請求項3の
発明におけるように、前記吸着構造体5として、不導電
性の吸着剤Bをハニカム状に成形してなる平板状のハニ
カム構造体を用いたり、請求項4の発明におけるよう
に、前記吸着構造体5として、不導電性の吸着剤Bを充
填した不導電性の網状構造体を用いたりするのが、吸着
性能の確保と形状の確保とが得られる点で望ましい。
るように、前記吸着構造体5として、ガラス繊維紙のよ
うな無機物質からなり、不導電性の吸着剤Bを付着させ
てなる平板状のハニカム構造体を用いたり、請求項3の
発明におけるように、前記吸着構造体5として、不導電
性の吸着剤Bをハニカム状に成形してなる平板状のハニ
カム構造体を用いたり、請求項4の発明におけるよう
に、前記吸着構造体5として、不導電性の吸着剤Bを充
填した不導電性の網状構造体を用いたりするのが、吸着
性能の確保と形状の確保とが得られる点で望ましい。
【0011】また、請求項5の発明におけるように、前
記触媒Aとして、Mn,Cu,Pdの少なくとも一種類
の元素を含む酸化触媒を用いた場合、有害ガスの分解効
率を高く保持できる。
記触媒Aとして、Mn,Cu,Pdの少なくとも一種類
の元素を含む酸化触媒を用いた場合、有害ガスの分解効
率を高く保持できる。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、添付の図面を参照して、本
願発明の好適な実施の形態について詳述する。
願発明の好適な実施の形態について詳述する。
【0013】この有害ガス分解装置は、図1に示すよう
に、前面下部に空気吸込口2を、前面上部に空気吹出口
3をそれぞれ有する矩形箱状のケーシング1内に、相対
向する面4a,4aに空気W中に含まれる有害ガス成分
を分解する触媒Aをそれぞれ担持してなり且つ多数の通
気孔8,8・・を有する一対の放電板4,4と、前記放
電板4,4間にあって空気W中に含まれる有害ガス成分
を吸着する吸着構造体5とからなる有害ガス分解構造体
Gと、前記放電板4,4に高電圧を印加して低温プラズ
マを発生させる電源6と、前記空気吸込口2から前記空
気吹出口3へ空気Wを圧送するファン7とが配設されて
いる。つまり、プラズマ発生方式として、平行平板によ
るコロナ放電方式が採用されているのである。
に、前面下部に空気吸込口2を、前面上部に空気吹出口
3をそれぞれ有する矩形箱状のケーシング1内に、相対
向する面4a,4aに空気W中に含まれる有害ガス成分
を分解する触媒Aをそれぞれ担持してなり且つ多数の通
気孔8,8・・を有する一対の放電板4,4と、前記放
電板4,4間にあって空気W中に含まれる有害ガス成分
を吸着する吸着構造体5とからなる有害ガス分解構造体
Gと、前記放電板4,4に高電圧を印加して低温プラズ
マを発生させる電源6と、前記空気吸込口2から前記空
気吹出口3へ空気Wを圧送するファン7とが配設されて
いる。つまり、プラズマ発生方式として、平行平板によ
るコロナ放電方式が採用されているのである。
【0014】前記空気吸込口2には、吸込空気W中の塵
埃等を除去するエアフィルター9が配設されている。
埃等を除去するエアフィルター9が配設されている。
【0015】前記各放電板4は、アルミニウム板あるい
はステンレス板等からなり、図2に示すように、直方形
形状の多数の通気孔8,8・・を有しており、その対向
面4aには、Mn、Cu、Pdの少なくとも一種類の元
素を含む酸化触媒Aが付着されている。なお、前記放電
板4の表面に、酸化処理による粗面を形成しておき、該
粗面に酸化触媒Aを付着させると、放電板4への酸化触
媒Aの結合強度が向上する点で望ましい。
はステンレス板等からなり、図2に示すように、直方形
形状の多数の通気孔8,8・・を有しており、その対向
面4aには、Mn、Cu、Pdの少なくとも一種類の元
素を含む酸化触媒Aが付着されている。なお、前記放電
板4の表面に、酸化処理による粗面を形成しておき、該
粗面に酸化触媒Aを付着させると、放電板4への酸化触
媒Aの結合強度が向上する点で望ましい。
【0016】前記吸着構造体4としては、図3(イ)に
示すように、ガラス繊維紙のような無機物質からなり、
不導電性の吸着剤(例えば、ゼオライト)Bを付着させ
てなる平板状のハニカム構造体を用いてもよく、図3
(ロ)に示すように、不導電性の吸着剤(例えば、ゼオ
ライト)Bをハニカム状に成形してなる平板状のハニカ
ム構造体を用いてもよく、不導電性の吸着剤(例えば、
ゼオライト)Bを充填した不導電性の網状構造体を用い
てもよい。
示すように、ガラス繊維紙のような無機物質からなり、
不導電性の吸着剤(例えば、ゼオライト)Bを付着させ
てなる平板状のハニカム構造体を用いてもよく、図3
(ロ)に示すように、不導電性の吸着剤(例えば、ゼオ
ライト)Bをハニカム状に成形してなる平板状のハニカ
ム構造体を用いてもよく、不導電性の吸着剤(例えば、
ゼオライト)Bを充填した不導電性の網状構造体を用い
てもよい。
【0017】そして、前記有害ガス分解構造体Gは、前
記空気吸込口2の内方において上下に配置された導風板
10,10の間に配置されている。
記空気吸込口2の内方において上下に配置された導風板
10,10の間に配置されている。
【0018】また、前記電源6は、前記ケーシング1の
底部に区画形成された機械室11内に配置されている。
符号12は電源6と放電板4,4とを接続する電源供給
線である。
底部に区画形成された機械室11内に配置されている。
符号12は電源6と放電板4,4とを接続する電源供給
線である。
【0019】上記のように構成された有害ガス分解装置
においては、次のような作用効果が得られる。
においては、次のような作用効果が得られる。
【0020】ファン7の運転により空気吸込口2から空
気吹出口3に圧送される空気W中に含まれる有害ガス成
分(例えば、VOC、NOx、SOx、トリクロロエチ
レン、メタノール、硫化水素)や臭気成分は、低温プラ
ズマを発生させている放電板4,4間を流れる過程にお
いて吸着構造体5に吸着捕捉されるかあるいはその移動
速度が小さくなる。従って、放電板4,4の触媒A表面
との接触により原子間の結合力が低下した有害ガス成分
や臭気成分は、低温プラズマの駆動力で励起されて分解
されることとなり、有害ガス分解効率が大幅に向上す
る。特に、キシレン、トルエンをはじめとする難分解性
の有害ガスをも分解可能となる。つまり、設備コストと
ランニングコストを抑えつつ、クリーンで長寿命の有害
ガス分解装置となるのである。
気吹出口3に圧送される空気W中に含まれる有害ガス成
分(例えば、VOC、NOx、SOx、トリクロロエチ
レン、メタノール、硫化水素)や臭気成分は、低温プラ
ズマを発生させている放電板4,4間を流れる過程にお
いて吸着構造体5に吸着捕捉されるかあるいはその移動
速度が小さくなる。従って、放電板4,4の触媒A表面
との接触により原子間の結合力が低下した有害ガス成分
や臭気成分は、低温プラズマの駆動力で励起されて分解
されることとなり、有害ガス分解効率が大幅に向上す
る。特に、キシレン、トルエンをはじめとする難分解性
の有害ガスをも分解可能となる。つまり、設備コストと
ランニングコストを抑えつつ、クリーンで長寿命の有害
ガス分解装置となるのである。
【0021】ところで、プラズマ発生の方式として、平
行平板によるコロナ放電方式を採用しているため、若干
のオゾンが発生するが、これも有害ガス分解には有効に
作用する。
行平板によるコロナ放電方式を採用しているため、若干
のオゾンが発生するが、これも有害ガス分解には有効に
作用する。
【0022】なお、本実施の形態においては、放電板4
として多数の通気孔8,8・・を有するものを用いてい
るが、平板状の放電板4,4を対向配置し、該放電板
4,4間に平行に空気Wを流すようにしてもよい。
として多数の通気孔8,8・・を有するものを用いてい
るが、平板状の放電板4,4を対向配置し、該放電板
4,4間に平行に空気Wを流すようにしてもよい。
【0023】また、本実施の形態においては、放電板4
としてアルミニウム板あるいはステンレス板等の金属板
を用いているが、セラミック板等の非金属板を用いても
よく、その場合、酸化処理ができないので、放電板4の
表面には、酸化触媒が直接担持される。
としてアルミニウム板あるいはステンレス板等の金属板
を用いているが、セラミック板等の非金属板を用いても
よく、その場合、酸化処理ができないので、放電板4の
表面には、酸化触媒が直接担持される。
【0024】
【発明の効果】本願発明(請求項1の発明)によれば、
相対向する面4a,4aに空気W中に含まれる有害ガス
成分を分解する触媒Aを担持してなる平板状の一対の放
電板4,4あるいは相対向する面4a,4aに空気W中
に含まれる有害ガス成分を分解する触媒Aを担持してな
り且つ多数の通気孔8,8・・を有する一対の放電板
4,4と、該放電板4,4に高電圧を印加して低温プラ
ズマを発生させる電源6と、前記放電板4,4間にあっ
て空気W中に含まれる有害ガス成分を吸着する吸着構造
体5とを備えて構成して、低温プラズマを発生させてい
る放電板4,4間を流れる空気W中に含まれる有害ガス
成分や臭気成分が吸着構造体5に吸着捕捉されるかある
いはその移動速度が小さくなるようにしたので、触媒A
の表面との接触により原子間の結合力が低下した有害ガ
スをプラズマの駆動力で励起して分解することができる
ところから、有害ガス分解効率が大幅に向上するという
効果がある。特に、キシレン、トルエンをはじめとする
難分解性の有害ガスをも分解可能となる。しかも、プラ
ズマにより若干のオゾンが発生する場合(例えば、コロ
ナ放電方式を採用した場合)があるが、これも有害ガス
分解には有効である。
相対向する面4a,4aに空気W中に含まれる有害ガス
成分を分解する触媒Aを担持してなる平板状の一対の放
電板4,4あるいは相対向する面4a,4aに空気W中
に含まれる有害ガス成分を分解する触媒Aを担持してな
り且つ多数の通気孔8,8・・を有する一対の放電板
4,4と、該放電板4,4に高電圧を印加して低温プラ
ズマを発生させる電源6と、前記放電板4,4間にあっ
て空気W中に含まれる有害ガス成分を吸着する吸着構造
体5とを備えて構成して、低温プラズマを発生させてい
る放電板4,4間を流れる空気W中に含まれる有害ガス
成分や臭気成分が吸着構造体5に吸着捕捉されるかある
いはその移動速度が小さくなるようにしたので、触媒A
の表面との接触により原子間の結合力が低下した有害ガ
スをプラズマの駆動力で励起して分解することができる
ところから、有害ガス分解効率が大幅に向上するという
効果がある。特に、キシレン、トルエンをはじめとする
難分解性の有害ガスをも分解可能となる。しかも、プラ
ズマにより若干のオゾンが発生する場合(例えば、コロ
ナ放電方式を採用した場合)があるが、これも有害ガス
分解には有効である。
【0025】この場合において、請求項2の発明におけ
るように、前記吸着構造体5として、ガラス繊維紙のよ
うな無機物質からなり、不導電性の吸着剤Bを付着させ
てなる平板状のハニカム構造体を用いたり、請求項3の
発明におけるように、前記吸着構造体5として、不導電
性の吸着剤Bをハニカム状に成形してなる平板状のハニ
カム構造体を用いたり、請求項4の発明におけるよう
に、前記吸着構造体5として、不導電性の吸着剤Bを充
填した不導電性の網状構造体を用いたりするのが、吸着
性能の確保と形状の確保とが得られる点で望ましい。
るように、前記吸着構造体5として、ガラス繊維紙のよ
うな無機物質からなり、不導電性の吸着剤Bを付着させ
てなる平板状のハニカム構造体を用いたり、請求項3の
発明におけるように、前記吸着構造体5として、不導電
性の吸着剤Bをハニカム状に成形してなる平板状のハニ
カム構造体を用いたり、請求項4の発明におけるよう
に、前記吸着構造体5として、不導電性の吸着剤Bを充
填した不導電性の網状構造体を用いたりするのが、吸着
性能の確保と形状の確保とが得られる点で望ましい。
【0026】また、請求項5の発明におけるように、前
記触媒Aとして、Mn,Cu,Pdの少なくとも一種類
の元素を含む酸化触媒を用いた場合、有害ガスの分解効
率を高く保持できる。
記触媒Aとして、Mn,Cu,Pdの少なくとも一種類
の元素を含む酸化触媒を用いた場合、有害ガスの分解効
率を高く保持できる。
【図1】本願発明の実施の形態にかかる有害ガス分解装
置の縦断面図である。
置の縦断面図である。
【図2】本願発明の実施の形態にかかる有害ガス分解装
置における放電板の拡大斜視図である。
置における放電板の拡大斜視図である。
【図3】(イ)、(ロ)、(ハ)は、本願発明の実施の
形態にかかる有害ガス分解装置における吸着構造体の具
体例を示す部分拡大正面図である。
形態にかかる有害ガス分解装置における吸着構造体の具
体例を示す部分拡大正面図である。
1はケーシング、2は空気吸込口、3は空気吹出口、4
は放電板、5は吸着構造体、6は電源、7はファン、8
は通気孔、Aは触媒、Bは吸着剤、Gは有害ガス分解構
造体、Wは空気。
は放電板、5は吸着構造体、6は電源、7はファン、8
は通気孔、Aは触媒、Bは吸着剤、Gは有害ガス分解構
造体、Wは空気。
Claims (5)
- 【請求項1】 相対向する面(4a),(4a)に空気
(W)中に含まれる有害ガス成分を分解する触媒(A)
を担持してなる平板状の一対の放電板(4),(4)あ
るいは相対向する面(4a),(4a)に空気(W)中
に含まれる有害ガス成分を分解する触媒(A)を担持し
てなり且つ多数の通気孔(8),(8)・・を有する一
対の放電板(4),(4)と、該放電板(4),(4)
に高電圧を印加して低温プラズマを発生させる電源
(6)と、前記放電板(4),(4)間にあって空気
(W)中に含まれる有害ガス成分を吸着する吸着構造体
(5)とを備えたことを特徴とする有害ガス分解装置。 - 【請求項2】 前記吸着構造体(5)として、ガラス繊
維紙のような無機物質からなり、不導電性の吸着剤
(B)を付着させてなる平板状のハニカム構造体を用い
たことを特徴とする前記請求項1記載の有害ガス分解装
置。 - 【請求項3】 前記吸着構造体(5)として、不導電性
の吸着剤(B)をハニカム状に成形してなる平板状のハ
ニカム構造体を用いたことを特徴とする前記請求項1記
載の有害ガス分解装置。 - 【請求項4】 前記吸着構造体(5)として、不導電性
の吸着剤(B)を充填した不導電性の網状構造体を用い
たことを特徴とする前記請求項1記載の有害ガス分解装
置。 - 【請求項5】 前記触媒(A)として、Mn,Cu,P
dの少なくとも一種類の元素を含む酸化触媒を用いたこ
とを特徴とする前記請求項1ないし請求項4のいずれか
一項記載の有害ガス分解装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10138197A JPH11319486A (ja) | 1998-05-20 | 1998-05-20 | 有害ガス分解装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10138197A JPH11319486A (ja) | 1998-05-20 | 1998-05-20 | 有害ガス分解装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11319486A true JPH11319486A (ja) | 1999-11-24 |
Family
ID=15216360
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10138197A Pending JPH11319486A (ja) | 1998-05-20 | 1998-05-20 | 有害ガス分解装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11319486A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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