JPH11311576A - 光ファイバ式蛍光温度計 - Google Patents
光ファイバ式蛍光温度計Info
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- JPH11311576A JPH11311576A JP13259898A JP13259898A JPH11311576A JP H11311576 A JPH11311576 A JP H11311576A JP 13259898 A JP13259898 A JP 13259898A JP 13259898 A JP13259898 A JP 13259898A JP H11311576 A JPH11311576 A JP H11311576A
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Landscapes
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 温度測定対象物に対して光ファイバが垂直と
なるように、温度検出部を温度測定対象物に接触させた
場合において、正確かつ応答の速い温度測定が容易にお
こなえる光ファイバ式蛍光温度計を提供する。 【解決手段】 蛍光体と蛍光体に励起光を供給するとと
もに蛍光体からの蛍光信号を伝送する光ファイバから成
る光ファイバ式蛍光温度計において、光ファイバを第1
の光ファイバ4および第2の光ファイバ8に分離する一
組の集光機能を有する第1、第2の光学体7b、7a
と、温度検出部22側の第1の光ファイバ4を保持する
可動ホルダ3と、信号処理装置9側の第2の光ファイバ
8を保持する固定ホルダ6と、可動ホルダ3と固定ホル
ダ6とを接続するアクチュエータ5と、第1の光ファイ
バ4の可動ホルダ3と温度検出部22との間を覆う剛体
21と、剛体21より径の小さい蛍光体1を覆うキャッ
プ20とにより構成する。
なるように、温度検出部を温度測定対象物に接触させた
場合において、正確かつ応答の速い温度測定が容易にお
こなえる光ファイバ式蛍光温度計を提供する。 【解決手段】 蛍光体と蛍光体に励起光を供給するとと
もに蛍光体からの蛍光信号を伝送する光ファイバから成
る光ファイバ式蛍光温度計において、光ファイバを第1
の光ファイバ4および第2の光ファイバ8に分離する一
組の集光機能を有する第1、第2の光学体7b、7a
と、温度検出部22側の第1の光ファイバ4を保持する
可動ホルダ3と、信号処理装置9側の第2の光ファイバ
8を保持する固定ホルダ6と、可動ホルダ3と固定ホル
ダ6とを接続するアクチュエータ5と、第1の光ファイ
バ4の可動ホルダ3と温度検出部22との間を覆う剛体
21と、剛体21より径の小さい蛍光体1を覆うキャッ
プ20とにより構成する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ式蛍光
温度計に関するものである。
温度計に関するものである。
【0002】
【従来の技術】最初に光ファイバ式蛍光温度計の温度検
出部の一般的な構成と、温度測定の原理を説明する。
出部の一般的な構成と、温度測定の原理を説明する。
【0003】光ファイバ式蛍光温度計の温度検出部13
は一般に図5に示すように、ガラス管15と、キャップ
12と、蛍光体1とにより、光ファイバ素線17および
光ファイバ被覆16から成る光ファイバ4の先端上に以
下の如く構成されている。光ファイバ4の先端部分の光
ファイバ被覆16を所定の長さだけ取り除き、その取り
除いた部分にガラス管15を取り付ける。次にエポキシ
樹脂14により蛍光体1を、ガラス管15および光ファ
イバ素線17に接着する。更にキャップ12を蛍光体1
を覆うようにガラス管15に固定する。
は一般に図5に示すように、ガラス管15と、キャップ
12と、蛍光体1とにより、光ファイバ素線17および
光ファイバ被覆16から成る光ファイバ4の先端上に以
下の如く構成されている。光ファイバ4の先端部分の光
ファイバ被覆16を所定の長さだけ取り除き、その取り
除いた部分にガラス管15を取り付ける。次にエポキシ
樹脂14により蛍光体1を、ガラス管15および光ファ
イバ素線17に接着する。更にキャップ12を蛍光体1
を覆うようにガラス管15に固定する。
【0004】この蛍光体1に光ファイバ4を介して信号
処理装置9から励起光を送ると、蛍光体1が励起されて
蛍光を発する。この蛍光の発光スペクトルや蛍光の減衰
時間は温度依存性があるので、この蛍光を同じ光ファイ
バ4を通して信号処理装置で受光し、蛍光の発光スペク
トル分析やパルス励起光の送光による蛍光の減衰時間計
測などによって、蛍光体1の温度が算出されている。
処理装置9から励起光を送ると、蛍光体1が励起されて
蛍光を発する。この蛍光の発光スペクトルや蛍光の減衰
時間は温度依存性があるので、この蛍光を同じ光ファイ
バ4を通して信号処理装置で受光し、蛍光の発光スペク
トル分析やパルス励起光の送光による蛍光の減衰時間計
測などによって、蛍光体1の温度が算出されている。
【0005】光ファイバ式蛍光温度計による温度測定
は、蛍光体1の温度が温度測定対象物の温度と同じにな
るように直接または間接的に温度検出部13を温度測定
対象物に接触させておこなわれる。一方光ファイバ4は
可とう性が高いので、温度測定対象物に対して光ファイ
バ4が垂直となるように押しあてて温度検出部13を温
度測定対象物に接触させようとすると、光ファイバ4に
たわみが生じる。本来、温度検出部13と温度測定対象
物との接触を繰り返すときにこのたわみの再現性がない
ために、測定対象物との間の接触不良による測定誤差を
生じることがある。また、温度測定対象と蛍光体の間に
距離があるので温度勾配による誤差が生じる。この距離
に比べて光ファイバ4の径が小さい場合には、光ファイ
バ4が温度測定対象物に対し平行になるように温度検出
部13を温度測定対象物に貼付ける方法がとられてい
る。また、どうしても温度測定対象物に対し光ファイバ
4が垂直になるように温度検出部13を接触させたい場
合には、再現性を確保するため接着剤等により固定する
方法がとられている。
は、蛍光体1の温度が温度測定対象物の温度と同じにな
るように直接または間接的に温度検出部13を温度測定
対象物に接触させておこなわれる。一方光ファイバ4は
可とう性が高いので、温度測定対象物に対して光ファイ
バ4が垂直となるように押しあてて温度検出部13を温
度測定対象物に接触させようとすると、光ファイバ4に
たわみが生じる。本来、温度検出部13と温度測定対象
物との接触を繰り返すときにこのたわみの再現性がない
ために、測定対象物との間の接触不良による測定誤差を
生じることがある。また、温度測定対象と蛍光体の間に
距離があるので温度勾配による誤差が生じる。この距離
に比べて光ファイバ4の径が小さい場合には、光ファイ
バ4が温度測定対象物に対し平行になるように温度検出
部13を温度測定対象物に貼付ける方法がとられてい
る。また、どうしても温度測定対象物に対し光ファイバ
4が垂直になるように温度検出部13を接触させたい場
合には、再現性を確保するため接着剤等により固定する
方法がとられている。
【0006】光ファイバ式蛍光温度計は、光ファイバ4
と接続するガラス管15の外径が光ファイバ4の外径と
概ね同じ大きさであり、温度検出部13の熱容量が小さ
いことから、従来から用いられている熱電対等の温度セ
ンサより温度測定誤差が小さく応答の速い測定が可能で
あること、原理的に電磁誘導によるノイズの影響がない
こと、などの特長を有することから、微細な物体の温度
測定や、高電界、強電磁界中の温度測定などに多く用い
られている。
と接続するガラス管15の外径が光ファイバ4の外径と
概ね同じ大きさであり、温度検出部13の熱容量が小さ
いことから、従来から用いられている熱電対等の温度セ
ンサより温度測定誤差が小さく応答の速い測定が可能で
あること、原理的に電磁誘導によるノイズの影響がない
こと、などの特長を有することから、微細な物体の温度
測定や、高電界、強電磁界中の温度測定などに多く用い
られている。
【0007】温度測定対象物に対して光ファイバ4が垂
直となるように適切な力で温度検出部13を温度測定対
象物に接触させることが困難なため、光ファイバ4が温
度測定対象物に対し平行になるように温度検出部13を
温度測定対象物に固定する方法がとられている。この場
合、温度測定点が固定される設備等で、温度検出部13
を固定しても良い場合には適用できるが、流れ生産ライ
ン上の物体の温度測定などの温度測定対象物が移動する
場合においては、光ファイバ式蛍光温度計に優れた特徴
があるにも関わらず使用できない。
直となるように適切な力で温度検出部13を温度測定対
象物に接触させることが困難なため、光ファイバ4が温
度測定対象物に対し平行になるように温度検出部13を
温度測定対象物に固定する方法がとられている。この場
合、温度測定点が固定される設備等で、温度検出部13
を固定しても良い場合には適用できるが、流れ生産ライ
ン上の物体の温度測定などの温度測定対象物が移動する
場合においては、光ファイバ式蛍光温度計に優れた特徴
があるにも関わらず使用できない。
【0008】そこで、光ファイバが温度測定対象物に対
し固定することなく、温度測定対象物に対して光ファイ
バが垂直となるように適切な力で温度検出部を温度測定
対象物に接触させることにより、正確な温度測定が容易
におこなえる光ファイバ式蛍光温度計が提案されてい
る。
し固定することなく、温度測定対象物に対して光ファイ
バが垂直となるように適切な力で温度検出部を温度測定
対象物に接触させることにより、正確な温度測定が容易
におこなえる光ファイバ式蛍光温度計が提案されてい
る。
【0009】図4はその提案の光ファイバ蛍光温度計の
一例を示す図である。第2の光学体7aを固定した固定
ホルダ6のもう一端に信号処理装置9を接続した第2の
光ファイバ8を、この第2の光ファイバ8の光ファイバ
素線端面と第2の光学体7aとが対向するように固定す
るとともに、第1の光学体7bを固定した可動ホルダ3
のもう一端にキャップ12で覆われた蛍光体1を接続し
て第1の光ファイバ4を、この第1の光ファイバ4の光
ファイバ素線の端面と第1の光学体7bとが対向するよ
うに固定し、アクチュエータ5を介して第1、第2の光
学体7b、7aが対向するように固定ホルダ6と可動ホ
ルダ3とが接続されている。また、第1の光ファイバ4
の可動ホルダ3と蛍光体1との間の部分は剛体2で覆う
構造となっている。
一例を示す図である。第2の光学体7aを固定した固定
ホルダ6のもう一端に信号処理装置9を接続した第2の
光ファイバ8を、この第2の光ファイバ8の光ファイバ
素線端面と第2の光学体7aとが対向するように固定す
るとともに、第1の光学体7bを固定した可動ホルダ3
のもう一端にキャップ12で覆われた蛍光体1を接続し
て第1の光ファイバ4を、この第1の光ファイバ4の光
ファイバ素線の端面と第1の光学体7bとが対向するよ
うに固定し、アクチュエータ5を介して第1、第2の光
学体7b、7aが対向するように固定ホルダ6と可動ホ
ルダ3とが接続されている。また、第1の光ファイバ4
の可動ホルダ3と蛍光体1との間の部分は剛体2で覆う
構造となっている。
【0010】蛍光体1に対する励起光は、信号処理装置
9から発せられ、第2の光ファイバ8を通り第2の光フ
ァイバ8の端面に到達する。第2の光ファイバ8より出
射した励起光は集光機能を有した第2の光学体7aによ
り平行光とされ、第2、第1の光学体7a、7b間を空
間伝搬した後、第2の光学体7aに対向した位置に配置
された集光機能を有した第1の光学体7bにより集光さ
れ第1の光ファイバ4に入射され、第1の光ファイバ4
を通り蛍光体1に到達する。蛍光体1では前述した原理
により温度測定対象物の温度に応じた蛍光を発する。こ
の蛍光は励起光と同じ経路を通り信号処理装置9に到達
する。信号処理装置9では到達した蛍光から温度測定対
象物の温度を算出、表示する。
9から発せられ、第2の光ファイバ8を通り第2の光フ
ァイバ8の端面に到達する。第2の光ファイバ8より出
射した励起光は集光機能を有した第2の光学体7aによ
り平行光とされ、第2、第1の光学体7a、7b間を空
間伝搬した後、第2の光学体7aに対向した位置に配置
された集光機能を有した第1の光学体7bにより集光さ
れ第1の光ファイバ4に入射され、第1の光ファイバ4
を通り蛍光体1に到達する。蛍光体1では前述した原理
により温度測定対象物の温度に応じた蛍光を発する。こ
の蛍光は励起光と同じ経路を通り信号処理装置9に到達
する。信号処理装置9では到達した蛍光から温度測定対
象物の温度を算出、表示する。
【0011】温度測定対象物に対して第1の光ファイバ
4が垂直になるようにキャップ12を温度測定対象物に
押し当てると、キャップ12が温度測定対象物から受け
る余分な力は剛体2および可動ホルダ3を介してアクチ
ュエータ5に伝達され、ここで吸収される。
4が垂直になるようにキャップ12を温度測定対象物に
押し当てると、キャップ12が温度測定対象物から受け
る余分な力は剛体2および可動ホルダ3を介してアクチ
ュエータ5に伝達され、ここで吸収される。
【0012】流れ生産ライン上の物体の温度測定などの
温度測定対象物が移動する場合においては、アクチュエ
ータ5の力を温度測定対象物の重さより小さくしておく
と、温度測定対象物の質量による余分な力がキャップ1
2、剛体2、可動ホルダ3、を介してアクチュエータ5
により吸収され、適切な圧力で温度検出部1を温度測定
対象物に接触させることができるため、容易に温度測定
対象物の温度を再現性よく検出できる。
温度測定対象物が移動する場合においては、アクチュエ
ータ5の力を温度測定対象物の重さより小さくしておく
と、温度測定対象物の質量による余分な力がキャップ1
2、剛体2、可動ホルダ3、を介してアクチュエータ5
により吸収され、適切な圧力で温度検出部1を温度測定
対象物に接触させることができるため、容易に温度測定
対象物の温度を再現性よく検出できる。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】上述の様な提案による
光ファイバ式蛍光温度計を試作し、その応答を測定する
と、キャップが温度測定対象物に接触してから蛍光体が
温度測定対象物の温度に到達するまでに約10秒かか
る。流れ生産ライン上の物体が温度測定対象である場合
には、タクトタイムが温度測定時間によって制限される
ことになる。この場合では、タクトタイムを10秒以下
にすることができないという問題点がある。
光ファイバ式蛍光温度計を試作し、その応答を測定する
と、キャップが温度測定対象物に接触してから蛍光体が
温度測定対象物の温度に到達するまでに約10秒かか
る。流れ生産ライン上の物体が温度測定対象である場合
には、タクトタイムが温度測定時間によって制限される
ことになる。この場合では、タクトタイムを10秒以下
にすることができないという問題点がある。
【0014】そこで本発明では、キャップと剛体の形状
を適切にすることにより、より応答の速い光ファイバ式
蛍光温度計を提供することを目的とする。
を適切にすることにより、より応答の速い光ファイバ式
蛍光温度計を提供することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の第1の発明では、光ファイバの先端に蛍
光体を取り付け、この蛍光体を保護するキャップで覆っ
た温度検出部と、蛍光体に光ファイバを介して励起光を
供給するとともに蛍光体からの蛍光信号の温度依存性を
用いて温度検出部の温度を演算する信号処理回路と、温
度検出部と信号処理回路を光学的に接続する光ファイバ
とから構成される光ファイバ式蛍光温度計において、温
度検出部と第1の光学体とを光学的に接続させる第1の
光ファイバと第1の光ファイバの温度検出部側を保持す
る剛体と第1の光ファイバの第1の光学体側と第1の光
学体を保持させる可動ホルダとで構成される可動部と、
信号処理回路と第1の光学体とを光学的に接続させる第
2の光ファイバと第1の光学体と対向して配設される第
2の光学体と可動部を摺動しガイドさせる固定ホルダと
で構成される固定部と、固定部内に配設された可動部を
摺動し保持させるアクチュエータとを設け、第1の光フ
ァイバを保持させる剛体およびキャップのいずれかに段
差を設ける。すなわち、キャップまたは剛体の外径を変
えることによって、キャップを介して蛍光体に熱を伝わ
り易くし、蛍光体から剛体側に熱を逃げにくくすること
により、応答の速い温度測定を行うことができる。
めに、本発明の第1の発明では、光ファイバの先端に蛍
光体を取り付け、この蛍光体を保護するキャップで覆っ
た温度検出部と、蛍光体に光ファイバを介して励起光を
供給するとともに蛍光体からの蛍光信号の温度依存性を
用いて温度検出部の温度を演算する信号処理回路と、温
度検出部と信号処理回路を光学的に接続する光ファイバ
とから構成される光ファイバ式蛍光温度計において、温
度検出部と第1の光学体とを光学的に接続させる第1の
光ファイバと第1の光ファイバの温度検出部側を保持す
る剛体と第1の光ファイバの第1の光学体側と第1の光
学体を保持させる可動ホルダとで構成される可動部と、
信号処理回路と第1の光学体とを光学的に接続させる第
2の光ファイバと第1の光学体と対向して配設される第
2の光学体と可動部を摺動しガイドさせる固定ホルダと
で構成される固定部と、固定部内に配設された可動部を
摺動し保持させるアクチュエータとを設け、第1の光フ
ァイバを保持させる剛体およびキャップのいずれかに段
差を設ける。すなわち、キャップまたは剛体の外径を変
えることによって、キャップを介して蛍光体に熱を伝わ
り易くし、蛍光体から剛体側に熱を逃げにくくすること
により、応答の速い温度測定を行うことができる。
【0016】第2の発明では、剛体側の蛍光体の外径を
第1の光学体側の外径より細くし、キャップの外径も剛
体の蛍光体側と大略同じ径にする。すなわち、剛体の蛍
光体側およびキャップの外径を細くすることにより、温
度検出部の熱容量を小さくして、温度測定対象物から伝
わる熱で蛍光体の温度が容易に変化し、かつ、光学体側
へ熱が伝わりにくくして、温度測定対象物への接触時に
応答の速い温度測定を行うことができる。
第1の光学体側の外径より細くし、キャップの外径も剛
体の蛍光体側と大略同じ径にする。すなわち、剛体の蛍
光体側およびキャップの外径を細くすることにより、温
度検出部の熱容量を小さくして、温度測定対象物から伝
わる熱で蛍光体の温度が容易に変化し、かつ、光学体側
へ熱が伝わりにくくして、温度測定対象物への接触時に
応答の速い温度測定を行うことができる。
【0017】第3の発明では、キャップの外径を剛体の
外径より細くすることで、温度検出部の熱容量を小さく
するとともに、剛体側へ熱が伝わり易くして温度測定対
象物への接触および開離時に応答の速い温度測定を行う
ことができる。
外径より細くすることで、温度検出部の熱容量を小さく
するとともに、剛体側へ熱が伝わり易くして温度測定対
象物への接触および開離時に応答の速い温度測定を行う
ことができる。
【0018】第4の発明では、剛体の蛍光体側の外径を
第1の光学体の外径およびキャップの外径より細くする
ことで、光学体側へ熱が伝わりにくくして、温度測定対
象物に接触するときの応答の速い温度測定を行うことが
できる。
第1の光学体の外径およびキャップの外径より細くする
ことで、光学体側へ熱が伝わりにくくして、温度測定対
象物に接触するときの応答の速い温度測定を行うことが
できる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。図1は、本発明の光ファイバ蛍光式温度計
の一例を示す図である。ここでは、図4と異なる点につ
いて説明する。蛍光体1を覆うキャップ20の外径と第
1の光ファイバ4を保持する剛体21のキャップ側の外
径は剛体21の第1の光学体側の外径よりおおよそ半分
まで細くする。これによって、温度検出部22を温度測
定対象物に押し当てる時、熱は温度測定対象物からキャ
ップ20を介して、蛍光体1へ伝わる。この時、図4に
示す従来技術と比べて、温度検出部22の熱容量が小さ
くなっているので、蛍光体1の温度はより速く変化す
る。このため、温度測定の応答がより速くなる。本発明
では、剛体21のキャップ側の外径を剛体21の第1の
光学体側の外径より細ければ細いほどこの効果は顕著に
なるが光ファイバを保持する機能および加工の難易度よ
り、適宜第2の径を決める。
て説明する。図1は、本発明の光ファイバ蛍光式温度計
の一例を示す図である。ここでは、図4と異なる点につ
いて説明する。蛍光体1を覆うキャップ20の外径と第
1の光ファイバ4を保持する剛体21のキャップ側の外
径は剛体21の第1の光学体側の外径よりおおよそ半分
まで細くする。これによって、温度検出部22を温度測
定対象物に押し当てる時、熱は温度測定対象物からキャ
ップ20を介して、蛍光体1へ伝わる。この時、図4に
示す従来技術と比べて、温度検出部22の熱容量が小さ
くなっているので、蛍光体1の温度はより速く変化す
る。このため、温度測定の応答がより速くなる。本発明
では、剛体21のキャップ側の外径を剛体21の第1の
光学体側の外径より細ければ細いほどこの効果は顕著に
なるが光ファイバを保持する機能および加工の難易度よ
り、適宜第2の径を決める。
【0020】また、キャップ20の材料として熱伝導の
良い金属、例えばアルミニウム、銅やセラミクス(窒化
アルミ)を、剛体の材料として熱伝導の悪いセラミク
ス、例えばジルコニアを用いるとこの効果はさらに著し
くなる。
良い金属、例えばアルミニウム、銅やセラミクス(窒化
アルミ)を、剛体の材料として熱伝導の悪いセラミク
ス、例えばジルコニアを用いるとこの効果はさらに著し
くなる。
【0021】図2は、本発明の他の実施例である。キャ
ップ24の外径を剛体25よりおおよそ半分まで細くす
る。この時、温度検出部の熱容量は小さくなる一方で、
剛体の熱容量は変わらない。従って、温度測定対象物に
押し当てた時は、前述の様に応答が速くなる。また、温
度測定対象物から離れる時も、剛体25を通じて、光学
体側へ熱が伝わり、応答が速くなる。この場合でもキャ
ップ24の材料として熱伝導の良い金属を、剛体25の
材料として熱伝導の良くない材料を選ぶことで、その効
果はさらに著しくなる。
ップ24の外径を剛体25よりおおよそ半分まで細くす
る。この時、温度検出部の熱容量は小さくなる一方で、
剛体の熱容量は変わらない。従って、温度測定対象物に
押し当てた時は、前述の様に応答が速くなる。また、温
度測定対象物から離れる時も、剛体25を通じて、光学
体側へ熱が伝わり、応答が速くなる。この場合でもキャ
ップ24の材料として熱伝導の良い金属を、剛体25の
材料として熱伝導の良くない材料を選ぶことで、その効
果はさらに著しくなる。
【0022】図3は本発明の他の実施例である。剛体2
8のキャップ側のみおおよそ半分まで細くしてある。こ
のため、前述の様にキャップ28および蛍光体1から熱
が逃げにくく、温度測定対象物に押し当てる時の応答が
従来例に比べて速くなる。前述と同様に材料を選ぶこと
で効果は顕著になる。
8のキャップ側のみおおよそ半分まで細くしてある。こ
のため、前述の様にキャップ28および蛍光体1から熱
が逃げにくく、温度測定対象物に押し当てる時の応答が
従来例に比べて速くなる。前述と同様に材料を選ぶこと
で効果は顕著になる。
【0023】実際に試作した、本発明の応答の結果は、
図1に示すもので、押し当てる時が2.2秒、離れる時
が5.6秒、図2に示すもので、それぞれ4.6秒、
4.8秒、図3に示すものでそれぞれ3.4秒、7.2
秒と従来より速くなった。
図1に示すもので、押し当てる時が2.2秒、離れる時
が5.6秒、図2に示すもので、それぞれ4.6秒、
4.8秒、図3に示すものでそれぞれ3.4秒、7.2
秒と従来より速くなった。
【0024】
【発明の効果】温度検出部を構成するキャップおよび光
ファイバを保持する剛体の外径を変えて、段差を設ける
ことにより、熱の流れを制御でき、応答の速い温度測定
を実現する。
ファイバを保持する剛体の外径を変えて、段差を設ける
ことにより、熱の流れを制御でき、応答の速い温度測定
を実現する。
【0025】また、キャップおよび剛体の一部の径を剛
体の他端の径より細くすることで温度検出部の熱容量を
小さくすることが可能になり、温度測定対象物に接触さ
せる時の応答を速くできる。
体の他端の径より細くすることで温度検出部の熱容量を
小さくすることが可能になり、温度測定対象物に接触さ
せる時の応答を速くできる。
【0026】また、キャップの径のみ剛体より細くする
ことで、温度測定対象物への接触および開離時の両方の
応答を速くできる。
ことで、温度測定対象物への接触および開離時の両方の
応答を速くできる。
【0027】また、剛体のキャップ側のみ径を細くして
も、温度測定対象物に押し当てた時の応答を速くでき
る。
も、温度測定対象物に押し当てた時の応答を速くでき
る。
【図1】本発明の光ファイバ式蛍光温度計の一例を示す
図である。
図である。
【図2】本発明の光ファイバ式蛍光温度計の他の一例を
示す図である。
示す図である。
【図3】本発明の光ファイバ式蛍光温度計の他の一例を
示す図である。
示す図である。
【図4】従来の光ファイバ式蛍光温度計の一例を示す図
である。
である。
【図5】従来の光ファイバ式蛍光温度計の他の一例を示
す図である。
す図である。
1 蛍光体 2、21、25、29 剛体 3 可動ホルダ 4 第1の光ファイバ 5 アクチュエータ 6 固定ホルダ 7a 第2の光学体 7b 第1の光学体 8 第2の光ファイバ 9 信号処理装置 11 固定部 12、20、24、28 キャップ 13、22、26、30 温度検出部 10、23、27、31 可動部
Claims (4)
- 【請求項1】光ファイバの先端に蛍光体を取り付け前記
蛍光体を保護するキャップで覆った温度検出部と、前記
蛍光体に前記光ファイバを介して励起光を供給するとと
もに前記蛍光体からの蛍光信号の温度依存性を用いて前
記温度検出部の温度を演算する信号処理回路と、前記温
度検出部と前記信号処理回路を光学的に接続する光ファ
イバとから構成される光ファイバ式蛍光温度計におい
て、 前記温度検出部と第1の光学体とを光学的に接続させる
第1の光ファイバと前記第1の光ファイバの温度検出部
側を保持する剛体と前記第1の光ファイバの前記第1の
光学体側と前記第1の光学体を保持させる可動ホルダと
で構成される可動部と、 前記信号処理回路と前記第1の光学体とを光学的に接続
させる第2の光ファイバと前記第1の光学体と対向して
配設される第2の光学体と前記可動部を摺動しガイドさ
せる固定ホルダとで構成される固定部と、 前記固定部内に配設された前記可動部を摺動し保持させ
るアクチュエータと、を設け、 前記第1の光ファイバを保持させる剛体およびキャップ
のいずれかに段差を設けたことを特徴とする光ファイバ
式蛍光温度計。 - 【請求項2】剛体の蛍光体側の外径を第1の光学体側の
外径より細くしキャップの外径も剛体の蛍光体側と大略
同じ径にしたことを特徴とする請求項1記載の光ファイ
バ式蛍光温度計。 - 【請求項3】キャップの外径を剛体の外径より細くした
ことを特徴とする請求項1記載の光ファイバ式蛍光温度
計。 - 【請求項4】剛体の蛍光体側の外径を第1の光学体側の
外径およびキャップの外径より細くしたことを特徴とす
る請求項1記載の光ファイバ式温度計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13259898A JP3385608B2 (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | 光ファイバ式蛍光温度計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13259898A JP3385608B2 (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | 光ファイバ式蛍光温度計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11311576A true JPH11311576A (ja) | 1999-11-09 |
JP3385608B2 JP3385608B2 (ja) | 2003-03-10 |
Family
ID=15085092
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13259898A Expired - Fee Related JP3385608B2 (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | 光ファイバ式蛍光温度計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3385608B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002071473A (ja) * | 2000-09-04 | 2002-03-08 | Anritsu Keiki Kk | 蛍光式光ファイバー温度計 |
JP2007116098A (ja) * | 2005-10-20 | 2007-05-10 | Applied Materials Inc | 均一な温度分布を有する、冷却された/加熱されたウェハ支持体を有する容量結合プラズマリアクタ |
JP2018205050A (ja) * | 2017-06-01 | 2018-12-27 | 安立計器株式会社 | 蛍光式光ファイバー温度計 |
CN112363418A (zh) * | 2019-07-23 | 2021-02-12 | 西安和其光电科技股份有限公司 | 荧光光纤温控仪及其控温方法 |
-
1998
- 1998-04-28 JP JP13259898A patent/JP3385608B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002071473A (ja) * | 2000-09-04 | 2002-03-08 | Anritsu Keiki Kk | 蛍光式光ファイバー温度計 |
JP2007116098A (ja) * | 2005-10-20 | 2007-05-10 | Applied Materials Inc | 均一な温度分布を有する、冷却された/加熱されたウェハ支持体を有する容量結合プラズマリアクタ |
JP4540644B2 (ja) * | 2005-10-20 | 2010-09-08 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 均一な温度分布を有する、冷却された/加熱されたウェハ支持体を有する容量結合プラズマリアクタ |
JP2018205050A (ja) * | 2017-06-01 | 2018-12-27 | 安立計器株式会社 | 蛍光式光ファイバー温度計 |
CN112363418A (zh) * | 2019-07-23 | 2021-02-12 | 西安和其光电科技股份有限公司 | 荧光光纤温控仪及其控温方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP3385608B2 (ja) | 2003-03-10 |
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