JPH11211580A - 光ファイバ式蛍光温度計 - Google Patents
光ファイバ式蛍光温度計Info
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- JPH11211580A JPH11211580A JP10021590A JP2159098A JPH11211580A JP H11211580 A JPH11211580 A JP H11211580A JP 10021590 A JP10021590 A JP 10021590A JP 2159098 A JP2159098 A JP 2159098A JP H11211580 A JPH11211580 A JP H11211580A
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Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 温度測定対象物に対して光ファイバが垂直と
なるように、温度検出部を温度測定対象物に接触させた
場合において、正確な温度測定が容易におこなえる光フ
ァイバ式蛍光温度計を提供する。 【解決手段】 蛍光体と蛍光体に励起光を供給するとと
もに蛍光体からの蛍光信号を伝送する光ファイバから成
る光ファイバ式蛍光温度計の温度測定装置において、光
ファイバに挿入し、光ファイバを光ファイバ4および光
ファイバ5に分離する一組の集光機能を有する光学体7
a、7bと、温度検出部1側の光ファイバ4を保持する
可動ホルダ3と、信号処理装置9側の光ファイバ8を保
持する固定ホルダ6と、可動ホルダ3と固定ホルダ6と
を接続するアクチュエータ5と、光ファイバ4の可動ホ
ルダ3と温度検出部1との間を覆う剛体2と、により構
成する。
なるように、温度検出部を温度測定対象物に接触させた
場合において、正確な温度測定が容易におこなえる光フ
ァイバ式蛍光温度計を提供する。 【解決手段】 蛍光体と蛍光体に励起光を供給するとと
もに蛍光体からの蛍光信号を伝送する光ファイバから成
る光ファイバ式蛍光温度計の温度測定装置において、光
ファイバに挿入し、光ファイバを光ファイバ4および光
ファイバ5に分離する一組の集光機能を有する光学体7
a、7bと、温度検出部1側の光ファイバ4を保持する
可動ホルダ3と、信号処理装置9側の光ファイバ8を保
持する固定ホルダ6と、可動ホルダ3と固定ホルダ6と
を接続するアクチュエータ5と、光ファイバ4の可動ホ
ルダ3と温度検出部1との間を覆う剛体2と、により構
成する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ式蛍光
温度計に関するものである。
温度計に関するものである。
【0002】
【従来の技術】最初に光ファイバ式蛍光温度計の温度検
出部の一般的な構成と、温度測定の原理を説明する。
出部の一般的な構成と、温度測定の原理を説明する。
【0003】光ファイバ式蛍光温度計の温度検出部19
は一般に図3に示すように、ガラス管15と、保護キャ
ップ12と、蛍光体13とにより、光ファイバ素線17
および光ファイバ被覆16から成る光ファイバ4の先端
上に以下の如く構成されている。光ファイバ4の先端部
分の光ファイバ被覆16を所定の長さだけ取り除き、そ
の取り除いた部分にガラス管15を取り付ける。次にエ
ポキシ樹脂14により蛍光体13を、ガラス管15およ
び光ファイバ素線17に接着する。更に保護キャップ1
2を蛍光体13を覆うようにガラス管15に固定する。
は一般に図3に示すように、ガラス管15と、保護キャ
ップ12と、蛍光体13とにより、光ファイバ素線17
および光ファイバ被覆16から成る光ファイバ4の先端
上に以下の如く構成されている。光ファイバ4の先端部
分の光ファイバ被覆16を所定の長さだけ取り除き、そ
の取り除いた部分にガラス管15を取り付ける。次にエ
ポキシ樹脂14により蛍光体13を、ガラス管15およ
び光ファイバ素線17に接着する。更に保護キャップ1
2を蛍光体13を覆うようにガラス管15に固定する。
【0004】この蛍光体13に光ファイバ4を介して信
号処理装置9から励起光を送ると、蛍光体13が励起さ
れて蛍光を発する。この蛍光の発光スペクトルや蛍光の
減衰時間は温度依存性があるので、この蛍光を同じ光フ
ァイバ4を通して信号処理装置で受光し、蛍光の発光ス
ペクトル分析やパルス励起光の送光による蛍光の減衰時
間計測などによって、蛍光体13の温度が算出されてい
る。
号処理装置9から励起光を送ると、蛍光体13が励起さ
れて蛍光を発する。この蛍光の発光スペクトルや蛍光の
減衰時間は温度依存性があるので、この蛍光を同じ光フ
ァイバ4を通して信号処理装置で受光し、蛍光の発光ス
ペクトル分析やパルス励起光の送光による蛍光の減衰時
間計測などによって、蛍光体13の温度が算出されてい
る。
【0005】光ファイバ式蛍光温度計による温度測定
は、蛍光体13の温度が温度測定対象物の温度と同じに
なるように直接または間接的に温度検出部19を温度測
定対象物に接触させておこなわれる。一方光ファイバ4
は可とう性が高いので、温度測定対象物に対して光ファ
イバ4が垂直となるように押しあてて温度検出部19を
温度測定対象物に接触させようとすると、光ファイバ4
にたわみが生じる。本来温度検出部19と温度測定対象
物との接触を繰り返すときにこのたわみの再現性がない
ために、測定対象物との間の接触不良による測定誤差を
生じることがある。また、温度測定対象と蛍光体の間に
距離があるので温度勾配による誤差が生じる。この距離
に比べて光ファイバ4の径が小さい場合には、光ファイ
バ4が温度測定対象物に対し平行になるように温度検出
部19を温度測定対象物に貼付ける方法がとられてい
る。また、どうしても温度測定対象物に対し光ファイバ
4が垂直になるように温度検出部19を接触させたい場
合には、再現性を確保するため接着剤等により固定する
方法がとられている。
は、蛍光体13の温度が温度測定対象物の温度と同じに
なるように直接または間接的に温度検出部19を温度測
定対象物に接触させておこなわれる。一方光ファイバ4
は可とう性が高いので、温度測定対象物に対して光ファ
イバ4が垂直となるように押しあてて温度検出部19を
温度測定対象物に接触させようとすると、光ファイバ4
にたわみが生じる。本来温度検出部19と温度測定対象
物との接触を繰り返すときにこのたわみの再現性がない
ために、測定対象物との間の接触不良による測定誤差を
生じることがある。また、温度測定対象と蛍光体の間に
距離があるので温度勾配による誤差が生じる。この距離
に比べて光ファイバ4の径が小さい場合には、光ファイ
バ4が温度測定対象物に対し平行になるように温度検出
部19を温度測定対象物に貼付ける方法がとられてい
る。また、どうしても温度測定対象物に対し光ファイバ
4が垂直になるように温度検出部19を接触させたい場
合には、再現性を確保するため接着剤等により固定する
方法がとられている。
【0006】光ファイバ式蛍光温度計は、温度検出部1
9の径が光ファイバ4の径と概ね同じ大きさであり熱容
量が小さいことから、温度測定誤差が小さく応答の速い
測定が可能で、原理的に電磁誘導によるノイズの影響が
ないこと、などの特長を有することから、微細な物体の
温度測定や、高電界、強電磁界中の温度測定などに多く
用いられている。
9の径が光ファイバ4の径と概ね同じ大きさであり熱容
量が小さいことから、温度測定誤差が小さく応答の速い
測定が可能で、原理的に電磁誘導によるノイズの影響が
ないこと、などの特長を有することから、微細な物体の
温度測定や、高電界、強電磁界中の温度測定などに多く
用いられている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上述の如く、温度測定
対象物に対して光ファイバ4が垂直となるように適切な
力で温度検出部19を温度測定対象物に接触させること
が困難なため、光ファイバ4が温度測定対象物に対し平
行になるように温度検出部19を温度測定対象物に固定
する方法がとられている。この場合温度測定点が固定さ
れる設備等で、温度検出部19を固定しても良い場合に
は適用できるが、流れ生産ライン上の物体の温度測定な
どの温度測定対象物が移動する場合においては、光ファ
イバ式蛍光温度計に優れた特徴があるにも関わらず使用
できないという問題がある。
対象物に対して光ファイバ4が垂直となるように適切な
力で温度検出部19を温度測定対象物に接触させること
が困難なため、光ファイバ4が温度測定対象物に対し平
行になるように温度検出部19を温度測定対象物に固定
する方法がとられている。この場合温度測定点が固定さ
れる設備等で、温度検出部19を固定しても良い場合に
は適用できるが、流れ生産ライン上の物体の温度測定な
どの温度測定対象物が移動する場合においては、光ファ
イバ式蛍光温度計に優れた特徴があるにも関わらず使用
できないという問題がある。
【0008】そこで、本発明では光ファイバが温度測定
対象物に対し固定することなく、温度測定対象物に対し
て光ファイバが垂直となるように適切な力で温度検出部
を温度測定対象物に接触させることにより、正確な温度
測定が容易におこなえる光ファイバ式蛍光温度計を提供
することを目的とする。
対象物に対し固定することなく、温度測定対象物に対し
て光ファイバが垂直となるように適切な力で温度検出部
を温度測定対象物に接触させることにより、正確な温度
測定が容易におこなえる光ファイバ式蛍光温度計を提供
することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】蛍光体を有する温度検出
部と、前記蛍光体に励起光を供給するとともに前記蛍光
体からの蛍光信号より蛍光体の温度を演算する信号処理
装置と、前記温度検出部と信号処理装置とを光学的に接
続する光ファイバと、により構成される光ファイバ式蛍
光温度計において、光ファイバの軸方向に挿入すること
により光ファイバを前記信号処理装置側と、温度検出部
側とに分離する一組の集光機能を有する光学体と、前記
信号処理装置側の光ファイバと前記光学体とを固定する
固定ホルダと、前記温度検出部側の光ファイバを保持す
る剛体と、この剛体および光学体を保持する可動ホルダ
と、この光学ホルダと前記可動ホルダとを接続するとと
もに、この可動ホルダを前記固定ホルダに対して可動可
能にするアクチュエータと、を設けた。
部と、前記蛍光体に励起光を供給するとともに前記蛍光
体からの蛍光信号より蛍光体の温度を演算する信号処理
装置と、前記温度検出部と信号処理装置とを光学的に接
続する光ファイバと、により構成される光ファイバ式蛍
光温度計において、光ファイバの軸方向に挿入すること
により光ファイバを前記信号処理装置側と、温度検出部
側とに分離する一組の集光機能を有する光学体と、前記
信号処理装置側の光ファイバと前記光学体とを固定する
固定ホルダと、前記温度検出部側の光ファイバを保持す
る剛体と、この剛体および光学体を保持する可動ホルダ
と、この光学ホルダと前記可動ホルダとを接続するとと
もに、この可動ホルダを前記固定ホルダに対して可動可
能にするアクチュエータと、を設けた。
【0010】また、蛍光体を保護キャップ側に取り付
け、光ファイバとの間にギャップを設ける。その作用に
ついて以下に述べる。
け、光ファイバとの間にギャップを設ける。その作用に
ついて以下に述べる。
【0011】光ファイバを分離し、その間にアクチュエ
ータを付加することにより、固定ホルダに対し温度検出
部が移動可能となるため、最適の押し付け力によって温
度検出部と温度測定対象物とを接触させることができ
る。また、温度検出部側の光ファイバを剛体で保持する
ことにより、上述の押し付け力を加えても光ファイバが
曲がることなく温度測定対象物に対して光ファイバが垂
直に温度検出部を温度測定対象物に接触させることがで
き、再現性よく正確な温度測定を行うことができる。
ータを付加することにより、固定ホルダに対し温度検出
部が移動可能となるため、最適の押し付け力によって温
度検出部と温度測定対象物とを接触させることができ
る。また、温度検出部側の光ファイバを剛体で保持する
ことにより、上述の押し付け力を加えても光ファイバが
曲がることなく温度測定対象物に対して光ファイバが垂
直に温度検出部を温度測定対象物に接触させることがで
き、再現性よく正確な温度測定を行うことができる。
【0012】また、蛍光体を保護キャップ側に取り付け
てもよく、光ファイバの先端との間にギャップを設けた
ので、蛍光体には、保護キャップを介して温度測定対象
からの熱が伝わりやすく、またギャップによって熱が逃
げにくくなっているので、蛍光体は、応答性よく、か
つ、温度測定対象との温度誤差の小さい、正確な温度測
定を行うことができる。
てもよく、光ファイバの先端との間にギャップを設けた
ので、蛍光体には、保護キャップを介して温度測定対象
からの熱が伝わりやすく、またギャップによって熱が逃
げにくくなっているので、蛍光体は、応答性よく、か
つ、温度測定対象との温度誤差の小さい、正確な温度測
定を行うことができる。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。図1は本発明の光ファイバ蛍光温度計の一
例を示す図である。第2の光学体7aを固定した固定ホ
ルダ6のもう一端に信号処理装置9を接続した第2の光
ファイバ8を、この第2の光ファイバ8の光ファイバ素
線端面と第2の光学体7aとが対向するように固定する
とともに、第1の光学体7bを固定した可動ホルダ3の
もう一端に温度検出部1を有した第1の光ファイバ4
を、この第1の光ファイバ4の光ファイバ素線の端面と
第1の光学体7bとが対向するように固定し、アクチュ
エータ5を介して第1、第2の光学体7b、7aが対向
するように固定ホルダ6と可動ホルダ3とが接続されて
いる。また、第1の光ファイバ4の可動ホルダ3と温度
検出部1との間の部分は剛体2で覆う構造となってい
る。
て説明する。図1は本発明の光ファイバ蛍光温度計の一
例を示す図である。第2の光学体7aを固定した固定ホ
ルダ6のもう一端に信号処理装置9を接続した第2の光
ファイバ8を、この第2の光ファイバ8の光ファイバ素
線端面と第2の光学体7aとが対向するように固定する
とともに、第1の光学体7bを固定した可動ホルダ3の
もう一端に温度検出部1を有した第1の光ファイバ4
を、この第1の光ファイバ4の光ファイバ素線の端面と
第1の光学体7bとが対向するように固定し、アクチュ
エータ5を介して第1、第2の光学体7b、7aが対向
するように固定ホルダ6と可動ホルダ3とが接続されて
いる。また、第1の光ファイバ4の可動ホルダ3と温度
検出部1との間の部分は剛体2で覆う構造となってい
る。
【0014】温度検出部1の蛍光体に対する励起光は、
信号処理装置9から発せられ、第2の光ファイバ8を通
り第2の光ファイバ8の端面に到達する。第2の光ファ
イバ8より出射した励起光は集光機能を有した第2の光
学体7aにより平行光とされ、第2、第1の光学体7
a、7b間を空間伝搬した後、第2の光学体7aに対向
した位置に配置された集光機能を有した第1の光学体7
bにより集光され第1の光ファイバ4に入射され、第1
の光ファイバ4を通り温度検出部1に到達する。温度検
出部1では前述した原理により温度測定対象物の温度に
応じた蛍光を発する。この蛍光は励起光と同じ経路を通
り信号処理装置9に到達する。信号処理装置9では到達
した蛍光から温度測定対象物の温度を算出、表示する。
信号処理装置9から発せられ、第2の光ファイバ8を通
り第2の光ファイバ8の端面に到達する。第2の光ファ
イバ8より出射した励起光は集光機能を有した第2の光
学体7aにより平行光とされ、第2、第1の光学体7
a、7b間を空間伝搬した後、第2の光学体7aに対向
した位置に配置された集光機能を有した第1の光学体7
bにより集光され第1の光ファイバ4に入射され、第1
の光ファイバ4を通り温度検出部1に到達する。温度検
出部1では前述した原理により温度測定対象物の温度に
応じた蛍光を発する。この蛍光は励起光と同じ経路を通
り信号処理装置9に到達する。信号処理装置9では到達
した蛍光から温度測定対象物の温度を算出、表示する。
【0015】温度測定対象物に対して第1の光ファイバ
4が垂直になるように温度検出部1を温度測定対象物に
押し当てると、温度検出部1が温度測定対象物から受け
る余分な力は剛体2および可動ホルダ3を介してアクチ
ュエータ5に伝達され、ここで吸収される。アクチュエ
ータ5としては、バネ、ガス圧、液圧による駆動や、形
状記憶合金、バイメタルなどの変形を利用したもの、ピ
エゾ素子やマグネットを利用したものなどが考えられ
る。
4が垂直になるように温度検出部1を温度測定対象物に
押し当てると、温度検出部1が温度測定対象物から受け
る余分な力は剛体2および可動ホルダ3を介してアクチ
ュエータ5に伝達され、ここで吸収される。アクチュエ
ータ5としては、バネ、ガス圧、液圧による駆動や、形
状記憶合金、バイメタルなどの変形を利用したもの、ピ
エゾ素子やマグネットを利用したものなどが考えられ
る。
【0016】集光機能を有する一対の光学体として、凸
レンズ、凹レンズ、ロッドレンズなどを用いることがで
きる。
レンズ、凹レンズ、ロッドレンズなどを用いることがで
きる。
【0017】アクチュエータとしてバネを使用した場
合、可動ホルダ3と固定ホルダ6とはバネを介して接続
されている。流れ生産ライン上の物体の温度測定などの
温度測定対象物が移動する場合においては、ばね力を温
度測定対象の重さより小さくしておくと、温度測定対象
の質量による余分な力が温度検出部1、剛体2、可動ホ
ルダ3、を介してバネにより吸収され、適切な圧力で温
度検出部1が温度測定対象物に接触させることができる
ため、容易に温度測定対象の温度を再現性よく検出でき
る。
合、可動ホルダ3と固定ホルダ6とはバネを介して接続
されている。流れ生産ライン上の物体の温度測定などの
温度測定対象物が移動する場合においては、ばね力を温
度測定対象の重さより小さくしておくと、温度測定対象
の質量による余分な力が温度検出部1、剛体2、可動ホ
ルダ3、を介してバネにより吸収され、適切な圧力で温
度検出部1が温度測定対象物に接触させることができる
ため、容易に温度測定対象の温度を再現性よく検出でき
る。
【0018】図2は、本発明の他の実施例である。温度
検出部18において、蛍光体13は、保護キャップ12
にエポキシ樹脂14で固定されている。剛体2で保持さ
れた光ファイバ4の先端との間にはギャップが設けられ
ている。通常の雰囲気中ではこのギャップは大気で、真
空雰囲気中では真空となるので、ここは断熱部となる。
温度測定対象に温度検出部18の保護キャップ12が接
触しているとき、測定対象から熱が保護キャップ12を
介して、蛍光体13に伝わる。この熱はギャップのため
に、剛体側へは伝わりにくい。即ち、蛍光体13の温度
はギャップがないとき、蛍光体13が光ファイバ4の先
端に直接取り付けられているときと比べて、速く温度が
追随する。また、温度測定対象と蛍光体13の間の温度
勾配はギャップのない時に比べて緩くなるので温度測定
誤差は小さくなる。これは、保護キャップ12の材料と
して熱伝導係数の小さいものを選ぶことでより顕著にな
る。
検出部18において、蛍光体13は、保護キャップ12
にエポキシ樹脂14で固定されている。剛体2で保持さ
れた光ファイバ4の先端との間にはギャップが設けられ
ている。通常の雰囲気中ではこのギャップは大気で、真
空雰囲気中では真空となるので、ここは断熱部となる。
温度測定対象に温度検出部18の保護キャップ12が接
触しているとき、測定対象から熱が保護キャップ12を
介して、蛍光体13に伝わる。この熱はギャップのため
に、剛体側へは伝わりにくい。即ち、蛍光体13の温度
はギャップがないとき、蛍光体13が光ファイバ4の先
端に直接取り付けられているときと比べて、速く温度が
追随する。また、温度測定対象と蛍光体13の間の温度
勾配はギャップのない時に比べて緩くなるので温度測定
誤差は小さくなる。これは、保護キャップ12の材料と
して熱伝導係数の小さいものを選ぶことでより顕著にな
る。
【0019】
【発明の効果】光ファイバを分離し、その間にアクチュ
エータを付加することにより、固定ホルダに対し温度検
出部が移動可能となるため、最適の押し付け力によって
温度検出部と温度測定対象物とを接触させることができ
る。また、温度検出部側の光ファイバを剛体で保持する
ことにより、上述の押し付け力を加えても光ファイバが
曲がることなく温度測定対象物に対して光ファイバが垂
直に温度検出部を温度測定対象物に接触させることがで
き、正確な温度測定を行うことができる。
エータを付加することにより、固定ホルダに対し温度検
出部が移動可能となるため、最適の押し付け力によって
温度検出部と温度測定対象物とを接触させることができ
る。また、温度検出部側の光ファイバを剛体で保持する
ことにより、上述の押し付け力を加えても光ファイバが
曲がることなく温度測定対象物に対して光ファイバが垂
直に温度検出部を温度測定対象物に接触させることがで
き、正確な温度測定を行うことができる。
【0020】また、蛍光体を光ファイバの先端から離し
て、保護キャップ側に取り付けて、光ファイバとの間に
ギャップを設けることで、温度測定対象の温度を小さい
誤差でかつ速く、検出できる。
て、保護キャップ側に取り付けて、光ファイバとの間に
ギャップを設けることで、温度測定対象の温度を小さい
誤差でかつ速く、検出できる。
【図1】本発明の光ファイバ式蛍光温度計の一例を示す
図である。
図である。
【図2】本発明の光ファイバ式蛍光温度計の他の一例を
示す図である。
示す図である。
【図3】従来の光ファイバ式蛍光温度計の一例を示す図
である。
である。
1.温度検出部 2.剛体 3.可動ホルダ 4.第1の光ファイバ 5.アクチュエータ 6.固定ホルダ 7a.第2の光学体 7b.第1の光学体 8.第2の光ファイバ 9.信号処理装置
Claims (2)
- 【請求項1】光ファイバの先端に蛍光体を取り付けた温
度検出部と、前記蛍光体に前記光ファイバを介して励起
光を供給するとともに前記蛍光体からの蛍光信号の温度
依存性を用いて前記温度検出部の温度を演算する信号処
理回路と、前記温度検出部と前記信号処理回路を光学的
に接続する光ファイバとから構成される光ファイバ式蛍
光温度計において、 前記温度検出部と第一の光学体とを光学的に接続させる
第一の光ファイバと前記第一の光ファイバと前記第一の
光学体を保持させる可動ホルダとで構成される可動部
と、 前記信号処理回路と前記第一の光学体とを光学的に接続
させる第二の光ファイバと前記第一の光学体と対向して
配設される第二の光学体と前記可動部を摺動しガイドさ
せる固定ホルダとで構成される固定部と、前記固定部内
に配設された前記可動部を摺動し保持させるアクチュエ
ータと、を設けたことを特徴とする光ファイバ式蛍光温
度計。 - 【請求項2】蛍光体を保護キャップ側に取り付け、光フ
ァイバの先端との間にギャップを設けたことを特徴とす
る請求項1記載の光ファイバ式蛍光温度計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10021590A JPH11211580A (ja) | 1998-01-20 | 1998-01-20 | 光ファイバ式蛍光温度計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10021590A JPH11211580A (ja) | 1998-01-20 | 1998-01-20 | 光ファイバ式蛍光温度計 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11211580A true JPH11211580A (ja) | 1999-08-06 |
Family
ID=12059264
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10021590A Pending JPH11211580A (ja) | 1998-01-20 | 1998-01-20 | 光ファイバ式蛍光温度計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11211580A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002122622A (ja) * | 2000-10-13 | 2002-04-26 | Tokin Corp | 光電界センサ装置 |
JP2010210247A (ja) * | 2009-03-06 | 2010-09-24 | Yamatake Corp | 蛍光温度センサ |
JP2010210248A (ja) * | 2009-03-06 | 2010-09-24 | Yamatake Corp | 蛍光温度センサ |
JP2014142188A (ja) * | 2013-01-22 | 2014-08-07 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 温度センサ |
JP2018066729A (ja) * | 2016-09-28 | 2018-04-26 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | サーモグラフィ温度センサ |
-
1998
- 1998-01-20 JP JP10021590A patent/JPH11211580A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002122622A (ja) * | 2000-10-13 | 2002-04-26 | Tokin Corp | 光電界センサ装置 |
JP2010210247A (ja) * | 2009-03-06 | 2010-09-24 | Yamatake Corp | 蛍光温度センサ |
JP2010210248A (ja) * | 2009-03-06 | 2010-09-24 | Yamatake Corp | 蛍光温度センサ |
JP2014142188A (ja) * | 2013-01-22 | 2014-08-07 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 温度センサ |
JP2018066729A (ja) * | 2016-09-28 | 2018-04-26 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | サーモグラフィ温度センサ |
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