JPH11304875A - Ic類の時間短縮テスト方法 - Google Patents
Ic類の時間短縮テスト方法Info
- Publication number
- JPH11304875A JPH11304875A JP10115543A JP11554398A JPH11304875A JP H11304875 A JPH11304875 A JP H11304875A JP 10115543 A JP10115543 A JP 10115543A JP 11554398 A JP11554398 A JP 11554398A JP H11304875 A JPH11304875 A JP H11304875A
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- Japan
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- test
- scan
- time
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ICへのデータ書込み、ディスターブ、モード
設定、リフレッシュの行を同時に動作するようにDUT
ボードに対するオールスキャンの設定を行ない、次いで
DUTボード内を順次スキャンしながらデータの読み取
り操作を行なうとともに、1つのスキャンごとに良/不
良の判定結果を取得するように、パターンジェネレータ
を作動するようにして、テスト時間の大幅な短縮を図る
ことを目的とするものである。 【解決手段】DUTボードに実際の信号を印加するダイ
ナミックな状態での評価テストの時間短縮のために、I
Cへのデータ書込み、ディスターブ、モード設定、リフ
レッシュの行を同時に動作するようにDUTボードに対
するオールスキャンの設定を行ない、次いでDUTボー
ド内を順次スキャンしながらデータの読み取り操作を行
なうとともに、1つのスキャンごとに良/不良の判定結
果を取得するように、パターンジェネレータを作動する
ようにしたことを特徴とするIC類の時間短縮テスト方
法。
設定、リフレッシュの行を同時に動作するようにDUT
ボードに対するオールスキャンの設定を行ない、次いで
DUTボード内を順次スキャンしながらデータの読み取
り操作を行なうとともに、1つのスキャンごとに良/不
良の判定結果を取得するように、パターンジェネレータ
を作動するようにして、テスト時間の大幅な短縮を図る
ことを目的とするものである。 【解決手段】DUTボードに実際の信号を印加するダイ
ナミックな状態での評価テストの時間短縮のために、I
Cへのデータ書込み、ディスターブ、モード設定、リフ
レッシュの行を同時に動作するようにDUTボードに対
するオールスキャンの設定を行ない、次いでDUTボー
ド内を順次スキャンしながらデータの読み取り操作を行
なうとともに、1つのスキャンごとに良/不良の判定結
果を取得するように、パターンジェネレータを作動する
ようにしたことを特徴とするIC類の時間短縮テスト方
法。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、ICやLSI等
のバーンインを行なうための半導体装置の評価装置に係
り、特にテスト時間の大幅な短縮を可能としたIC類の
時間短縮テスト方法に関するものである。
のバーンインを行なうための半導体装置の評価装置に係
り、特にテスト時間の大幅な短縮を可能としたIC類の
時間短縮テスト方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】IC(半導体集積回路)やLSI等の評
価の1つにバーンインがある。このバーンインは、パッ
ケージ化されたIC(特に、メモリ、ロジックIC)類
を高温および低温(冷凍器およびヒータを用いて行な
う)の雰囲気のもとで信号および電源電圧を印加して実
動作を行なわせ、初期不良を加速させることを目的とし
て行なわれる。このバーンインはIC、LSIテスタの
前工程として行なわれる。このバーンインのための装置
はバーンイン装置と呼ばれるが、これは半導体評価装置
の1つである。
価の1つにバーンインがある。このバーンインは、パッ
ケージ化されたIC(特に、メモリ、ロジックIC)類
を高温および低温(冷凍器およびヒータを用いて行な
う)の雰囲気のもとで信号および電源電圧を印加して実
動作を行なわせ、初期不良を加速させることを目的とし
て行なわれる。このバーンインはIC、LSIテスタの
前工程として行なわれる。このバーンインのための装置
はバーンイン装置と呼ばれるが、これは半導体評価装置
の1つである。
【0003】バーンイン装置についてさらに説明する。
バーンイン装置は電源電圧印加のみのスタティックな状
態での評価機能、実際の信号を印加するダイナミックな
状態での評価機能を備え、評価対象のICを搭載するテ
ストボード(DUT)、この基板を収納するチャンバ
ー、冷凍機、ヒータ、CPUなどを主体とする制御部
(チャンバー内の温度制御、ICへの信号印加制御など
を含む)、送風機、電源部などからなる。DUTは、複
数枚を1ゾーンとして扱い、1つのチャンバー内に複数
のゾーン分が装填される。
バーンイン装置は電源電圧印加のみのスタティックな状
態での評価機能、実際の信号を印加するダイナミックな
状態での評価機能を備え、評価対象のICを搭載するテ
ストボード(DUT)、この基板を収納するチャンバ
ー、冷凍機、ヒータ、CPUなどを主体とする制御部
(チャンバー内の温度制御、ICへの信号印加制御など
を含む)、送風機、電源部などからなる。DUTは、複
数枚を1ゾーンとして扱い、1つのチャンバー内に複数
のゾーン分が装填される。
【0004】そして、バーンイン装置の上記制御部は、
設定値などを入力するキーボード、記憶装置、プリン
タ、表示装置(CRTディスプレイなど)、パターンジ
ェネレータ(PG)、インターフェース回路(I/
O)、ドライバ、電源部などから構成されている。
設定値などを入力するキーボード、記憶装置、プリン
タ、表示装置(CRTディスプレイなど)、パターンジ
ェネレータ(PG)、インターフェース回路(I/
O)、ドライバ、電源部などから構成されている。
【0005】従来、DUTボードに実際の信号を印加す
るダイナミックな状態での評価機能においては、図2
(a)のように個々のICごとに順々にスキャンを行な
い、スキャンの回数を分けてテストしていた。その際、
スキャン信号はDUTボードの一部しか作動させないた
め、テスト効率が非常に悪いものとなっていた。スキャ
ン4個のノーマルテストの際の例を図2(a)に示す。
るダイナミックな状態での評価機能においては、図2
(a)のように個々のICごとに順々にスキャンを行な
い、スキャンの回数を分けてテストしていた。その際、
スキャン信号はDUTボードの一部しか作動させないた
め、テスト効率が非常に悪いものとなっていた。スキャ
ン4個のノーマルテストの際の例を図2(a)に示す。
【0006】より具体的には、 (1)動作開始前の状態 (2)読み取り(READ) (3)書込み(WRITE) (4)ディスターブ(DISTURB)(64msec
間) (5)モード設定(MODESET) (6)リフレッシュ(REFRESH) までの操作が行なわれる。次いで、 (7)X+1して上記(2)〜(6)までを繰り返し (8)(2)〜(7)の操作をXMAXまで繰り返す。
間) (5)モード設定(MODESET) (6)リフレッシュ(REFRESH) までの操作が行なわれる。次いで、 (7)X+1して上記(2)〜(6)までを繰り返し (8)(2)〜(7)の操作をXMAXまで繰り返す。
【0007】次に、 (9)再度全体を読み取り(READ) (10)(1)〜(9)をデータを反転して繰り返し (11)その結果を読み取り(READ)し (12)次のスキャンに移って、上記(1)〜(10)
の操作をスキャン最大値まで繰り返す。
の操作をスキャン最大値まで繰り返す。
【0008】上記において、バーンイン装置のインター
フェース回路(I/O)は多くのICに並列接続されて
いる。しかしながら、並列接続しただけでは並列接続さ
れたICのI/Oがそれぞれのデータを出力して信号が
ぶつかるという問題があり、信号がぶつかり合わないよ
うにICのコントロールタイミングを利用して順番に信
号が出力されるように切り替えている。そしてこの切換
信号がスキャン信号である。
フェース回路(I/O)は多くのICに並列接続されて
いる。しかしながら、並列接続しただけでは並列接続さ
れたICのI/Oがそれぞれのデータを出力して信号が
ぶつかるという問題があり、信号がぶつかり合わないよ
うにICのコントロールタイミングを利用して順番に信
号が出力されるように切り替えている。そしてこの切換
信号がスキャン信号である。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】近年、DUTボードが
高密度化しており、上述のようにDUTボードを順次バ
ーンインするやり方では評価テストに非常に多くの時間
を要してしまうという欠点があった。
高密度化しており、上述のようにDUTボードを順次バ
ーンインするやり方では評価テストに非常に多くの時間
を要してしまうという欠点があった。
【0010】そこで、バーンインを行なうときには、図
2(b)のようにDUTボード内の全IC類がすべて同
時に動作するように、スキャン信号を同時に出力するこ
とによってスキャンを行なうことを試み、これをオール
スキャン(ALLSCAN)と称する。
2(b)のようにDUTボード内の全IC類がすべて同
時に動作するように、スキャン信号を同時に出力するこ
とによってスキャンを行なうことを試み、これをオール
スキャン(ALLSCAN)と称する。
【0011】しかしながら、読み取りについてはオール
スキャンを行なうことができないため、本発明はICへ
のデータ書込み、ディスターブ、モード設定、リフレッ
シュの行を同時に動作するようにDUTボードに対する
オールスキャンの設定を行ない、次いでDUTボード内
を順次スキャンしながらデータの読み取り操作を行なう
とともに、1つのスキャンごとに良/不良の判定結果を
取得するように、パターンジェネレータを作動するよう
にして、テスト時間の大幅な短縮を図ることを目的とす
るものである。
スキャンを行なうことができないため、本発明はICへ
のデータ書込み、ディスターブ、モード設定、リフレッ
シュの行を同時に動作するようにDUTボードに対する
オールスキャンの設定を行ない、次いでDUTボード内
を順次スキャンしながらデータの読み取り操作を行なう
とともに、1つのスキャンごとに良/不良の判定結果を
取得するように、パターンジェネレータを作動するよう
にして、テスト時間の大幅な短縮を図ることを目的とす
るものである。
【0012】また本発明は、上記パターンジェネレータ
で制御されるテストパターンの動作中に、他のCPUで
制御されるデータの読み取り操作のタイミングを取る作
業をパターンジェネレータのタイマ命令で行ない、他の
CPUとパターンジェネレータの動作を同期させるよう
にして、コンパレータの周辺にメモリや取込み回路など
を用意することなく、テスト時間の短縮を図ることがで
きるようにしたものである。
で制御されるテストパターンの動作中に、他のCPUで
制御されるデータの読み取り操作のタイミングを取る作
業をパターンジェネレータのタイマ命令で行ない、他の
CPUとパターンジェネレータの動作を同期させるよう
にして、コンパレータの周辺にメモリや取込み回路など
を用意することなく、テスト時間の短縮を図ることがで
きるようにしたものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】すなわちこの発明のIC
類の時間短縮テスト方法は、DUTボードに実際の信号
を印加するダイナミックな状態での評価テストの時間短
縮のために、ICへのデータ書込み、ディスターブ、モ
ード設定、リフレッシュの行を同時に動作するようにD
UTボードに対するオールスキャンの設定を行ない、次
いでDUTボード内を順次スキャンしながらデータの読
み取り操作を行なうとともに、1つのスキャンごとに良
/不良の判定結果を取得するように、パターンジェネレ
ータを作動するようにしたことを特徴とするものであ
る。
類の時間短縮テスト方法は、DUTボードに実際の信号
を印加するダイナミックな状態での評価テストの時間短
縮のために、ICへのデータ書込み、ディスターブ、モ
ード設定、リフレッシュの行を同時に動作するようにD
UTボードに対するオールスキャンの設定を行ない、次
いでDUTボード内を順次スキャンしながらデータの読
み取り操作を行なうとともに、1つのスキャンごとに良
/不良の判定結果を取得するように、パターンジェネレ
ータを作動するようにしたことを特徴とするものであ
る。
【0014】この発明のIC類の時間短縮テスト方法
は、パターンジェネレータで制御されるテストパターン
の動作中に、他のCPUで制御されるデータの読み取り
操作のタイミングを取る作業をパターンジェネレータの
タイマ命令で行ない、他のCPUとパターンジェネレー
タの動作を同期させるようにしたことをも特徴とするも
のである。
は、パターンジェネレータで制御されるテストパターン
の動作中に、他のCPUで制御されるデータの読み取り
操作のタイミングを取る作業をパターンジェネレータの
タイマ命令で行ない、他のCPUとパターンジェネレー
タの動作を同期させるようにしたことをも特徴とするも
のである。
【0015】
【発明の実施の態様】以下にこの発明のIC類の時間短
縮テスト方法について、好ましい態様を図面に基づいて
詳細に説明する。
縮テスト方法について、好ましい態様を図面に基づいて
詳細に説明する。
【0016】図1は、この発明のIC類の時間短縮テス
ト方法のフローチャートを示すものである。先ず第1
に、スキャン制御をオールスキャンのパターンジェネレ
ータ(ALPG)で行なうように、このALPGにスキ
ャンのコントロールを切り換える。そしてPASS/F
AILレジスタをクリアし、タイマ(WAIT2)の設
定を行なう。
ト方法のフローチャートを示すものである。先ず第1
に、スキャン制御をオールスキャンのパターンジェネレ
ータ(ALPG)で行なうように、このALPGにスキ
ャンのコントロールを切り換える。そしてPASS/F
AILレジスタをクリアし、タイマ(WAIT2)の設
定を行なう。
【0017】次に図1の冒頭に示すテスト開始に移る。
図に示したように、1ブロックのテストが終了すると、
ALPGにおいてテストを中断させ、スキャン値を読み
取る。さらにPASS/FAILを読み込み、前回デー
タと比較した上、コンパレータをリセットする。その
後、タイマレンジを変更して再スタートし、このタイマ
で所定の時間を経過した後、テストを終了し、タイマの
設定に応じて次のブロックのテストに移る。
図に示したように、1ブロックのテストが終了すると、
ALPGにおいてテストを中断させ、スキャン値を読み
取る。さらにPASS/FAILを読み込み、前回デー
タと比較した上、コンパレータをリセットする。その
後、タイマレンジを変更して再スタートし、このタイマ
で所定の時間を経過した後、テストを終了し、タイマの
設定に応じて次のブロックのテストに移る。
【0018】上記中断の流れを説明すると、予め中断信
号を設定しておき、所定時間の待機動作の後、タイマレ
ンジを小さくして、上記スキャン値の読み取り以降の作
業をこのタイマレンジ中に行なう。そして所定の待機時
間が経過したら、再スタートさせる。なお、再スタート
信号を設定し、スキャン終了後には、タイマレンジを初
期値に変更しておく。
号を設定しておき、所定時間の待機動作の後、タイマレ
ンジを小さくして、上記スキャン値の読み取り以降の作
業をこのタイマレンジ中に行なう。そして所定の待機時
間が経過したら、再スタートさせる。なお、再スタート
信号を設定し、スキャン終了後には、タイマレンジを初
期値に変更しておく。
【0019】全ブロックのテスト終了時の操作を説明す
ると次の通りである。先ずスキャンをCPUに切り換
え、VME等の記憶装置に合計のPASS/FAIL結
果を取り込む。そしてPASS/FAILの比較結果を
クリアして、次のテストに移行する。
ると次の通りである。先ずスキャンをCPUに切り換
え、VME等の記憶装置に合計のPASS/FAIL結
果を取り込む。そしてPASS/FAILの比較結果を
クリアして、次のテストに移行する。
【0020】上記テスト内容を要約すると、先ず最初に
書込み(WRITE)、ディスターブ(DISTUR
B)、モード設定(MODESET)、リフレッシュ
(REFRESH)等の動作を行ない、DUTボード内
のデータの読み取り操作(READ)をパターンジェネ
レータのタイマ命令でタイミングを取りながらDUTボ
ードの各ブロックごとに行なう。そしてPASS/FA
ILデータを取り込んでコンパレータで比較し、さらに
前回結果と比較する。
書込み(WRITE)、ディスターブ(DISTUR
B)、モード設定(MODESET)、リフレッシュ
(REFRESH)等の動作を行ない、DUTボード内
のデータの読み取り操作(READ)をパターンジェネ
レータのタイマ命令でタイミングを取りながらDUTボ
ードの各ブロックごとに行なう。そしてPASS/FA
ILデータを取り込んでコンパレータで比較し、さらに
前回結果と比較する。
【0021】次いで、このDUTボード内のデータの読
み取り操作(READ)を順次行なっていき、これを全
ブロックに対して行なった上、その結果をメモリに書き
込んでおく。
み取り操作(READ)を順次行なっていき、これを全
ブロックに対して行なった上、その結果をメモリに書き
込んでおく。
【0022】上記ALPGを用いたスキャン制御をパタ
ーンで表現すると、次の通りである。すなわち、テスト
中に中断信号が出されると、タイマが作動する。タイマ
の待機動作の後、タイマレンジの範囲内でPASS/F
AILデータを取り込む。PASS/FAILデータの
取り込みが終わると、タイマレンジを小さくして再スタ
ート信号を出す。
ーンで表現すると、次の通りである。すなわち、テスト
中に中断信号が出されると、タイマが作動する。タイマ
の待機動作の後、タイマレンジの範囲内でPASS/F
AILデータを取り込む。PASS/FAILデータの
取り込みが終わると、タイマレンジを小さくして再スタ
ート信号を出す。
【0023】スキャン4個のオールスキャンテストの際
の例を図2(b)に示す。同図に示すように、書込み
(WRITE)、ディスターブ(DISTURB)、モ
ード設定(MODESET)、さらにはリフレッシュ
(REFRESH)等の動作時間が大幅に短縮され、I
C類のバーンインテストの時間が飛躍的に短縮できるよ
うになった。
の例を図2(b)に示す。同図に示すように、書込み
(WRITE)、ディスターブ(DISTURB)、モ
ード設定(MODESET)、さらにはリフレッシュ
(REFRESH)等の動作時間が大幅に短縮され、I
C類のバーンインテストの時間が飛躍的に短縮できるよ
うになった。
【0024】
【発明の効果】この発明のIC類の時間短縮テスト方法
によれば、ICへのデータ書込み、ディスターブ、モー
ド設定、リフレッシュ等の動作時間が大幅に短縮できる
ので、IC類のバーンインテストの時間が飛躍的に短縮
できるようになった。
によれば、ICへのデータ書込み、ディスターブ、モー
ド設定、リフレッシュ等の動作時間が大幅に短縮できる
ので、IC類のバーンインテストの時間が飛躍的に短縮
できるようになった。
【0025】また、この発明のIC類の時間短縮テスト
方法によれば、ICへのデータ書込み、ディスターブ、
モード設定、リフレッシュの行を同時に動作するように
DUTボードに対するオールスキャンの設定を行ない、
次いでDUTボード内を順次スキャンしながらデータの
読み取り操作を行なうとともに、1つのスキャンごとに
良/不良の判定結果を取得するように、パターンジェネ
レータを作動するようにしたので、テスト時間の大幅な
短縮を図ることができるようになった。
方法によれば、ICへのデータ書込み、ディスターブ、
モード設定、リフレッシュの行を同時に動作するように
DUTボードに対するオールスキャンの設定を行ない、
次いでDUTボード内を順次スキャンしながらデータの
読み取り操作を行なうとともに、1つのスキャンごとに
良/不良の判定結果を取得するように、パターンジェネ
レータを作動するようにしたので、テスト時間の大幅な
短縮を図ることができるようになった。
【0026】またこの発明のIC類の時間短縮テスト方
法によれば、上記パターンジェネレータで制御されるテ
ストパターンの動作中に、他のCPUで制御されるデー
タの読み取り操作のタイミングを取る作業をパターンジ
ェネレータのタイマ命令で行ない、他のCPUとパター
ンジェネレータの動作を同期させるようにしたので、コ
ンパレータの周辺にメモリや取込み回路などを用意する
ことなく、テスト時間の短縮を図ることができるように
なった。
法によれば、上記パターンジェネレータで制御されるテ
ストパターンの動作中に、他のCPUで制御されるデー
タの読み取り操作のタイミングを取る作業をパターンジ
ェネレータのタイマ命令で行ない、他のCPUとパター
ンジェネレータの動作を同期させるようにしたので、コ
ンパレータの周辺にメモリや取込み回路などを用意する
ことなく、テスト時間の短縮を図ることができるように
なった。
【図1】この発明のIC類の時間短縮テスト方法の1実
施例を説明するためのもので、スキャン制御の概略を示
すフローチャートである。
施例を説明するためのもので、スキャン制御の概略を示
すフローチャートである。
【図2】(a)はスキャン4個のノーマルテストの際の
例を示すグラフ、(b)はスキャン4個のオールスキャ
ンテストテストの際の例を示すグラフである。
例を示すグラフ、(b)はスキャン4個のオールスキャ
ンテストテストの際の例を示すグラフである。
Claims (2)
- 【請求項1】 DUTボードに実際の信号を印加するダ
イナミックな状態での評価テストの時間短縮のために、
ICへのデータ書込み、ディスターブ、モード設定、リ
フレッシュの行を同時に動作するようにDUTボードに
対するオールスキャンの設定を行ない、次いでDUTボ
ード内を順次スキャンしながらデータの読み取り操作を
行なうとともに、1つのスキャンごとに良/不良の判定
結果を取得するように、パターンジェネレータを作動す
るようにしたことを特徴とするIC類の時間短縮テスト
方法。 - 【請求項2】 パターンジェネレータで制御されるテス
トパターンの動作中に、他のCPUで制御されるデータ
の読み取り操作のタイミングを取る作業をパターンジェ
ネレータのタイマ命令で行ない、他のCPUとパターン
ジェネレータの動作を同期させるようにしてなる請求項
1に記載するIC類の時間短縮テスト方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10115543A JPH11304875A (ja) | 1998-04-24 | 1998-04-24 | Ic類の時間短縮テスト方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10115543A JPH11304875A (ja) | 1998-04-24 | 1998-04-24 | Ic類の時間短縮テスト方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11304875A true JPH11304875A (ja) | 1999-11-05 |
Family
ID=14665143
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10115543A Pending JPH11304875A (ja) | 1998-04-24 | 1998-04-24 | Ic類の時間短縮テスト方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11304875A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113190391A (zh) * | 2019-04-23 | 2021-07-30 | 神讯电脑(昆山)有限公司 | 烧机实时检测方法及其系统 |
-
1998
- 1998-04-24 JP JP10115543A patent/JPH11304875A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113190391A (zh) * | 2019-04-23 | 2021-07-30 | 神讯电脑(昆山)有限公司 | 烧机实时检测方法及其系统 |
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