JPH11302030A - 光ファイバ母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ母材の製造方法Info
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- JPH11302030A JPH11302030A JP10111215A JP11121598A JPH11302030A JP H11302030 A JPH11302030 A JP H11302030A JP 10111215 A JP10111215 A JP 10111215A JP 11121598 A JP11121598 A JP 11121598A JP H11302030 A JPH11302030 A JP H11302030A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01466—Means for changing or stabilising the diameter or form of tubes or rods
- C03B37/01473—Collapsing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C15/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C25/00—Surface treatment of fibres or filaments made from glass, minerals or slags
- C03C25/66—Chemical treatment, e.g. leaching, acid or alkali treatment
- C03C25/68—Chemical treatment, e.g. leaching, acid or alkali treatment by etching
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 伝送特性を損なうことなく、歩留りを向上さ
せることができる光ファイバ母材の製造方法を提供す
る。 【解決手段】 ガラスパイプ上にスートを堆積させる工
程、前記スートを透明ガラス化した後、前記ガラスパイ
プを化学研磨によって除去する工程を有する。
せることができる光ファイバ母材の製造方法を提供す
る。 【解決手段】 ガラスパイプ上にスートを堆積させる工
程、前記スートを透明ガラス化した後、前記ガラスパイ
プを化学研磨によって除去する工程を有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、外付け法による光
ファイバ母材の製造法に関する。
ファイバ母材の製造法に関する。
【０００２】
【従来の技術】通信用光ファイバ母材の製造法のひとつ
である外付け法は、以下のような手順で光ファイバ母材
を製造する。即ち、 １）回転しているアルミナなどの芯棒の上に火炎中で生
成したＳｉＯ2 とＧｅＯ 2 のガラス微粒子を堆積させ
る。その際、中心から外周に向けてリング状にドーパン
トであるＧｅＯ2 の比率を変化させ、所望の屈折率分布
を有するスートを形成する。従って、外付け法では、屈
折率分布のコントロールは投入する原料の比率（ＧｅＣ
ｌ4/ＳｉＣｌ4 ）を変化させるだけで良く、国内で広く
行われているＶＡＤ法に比べて、屈折率分布の制御が容
易であるという大きな利点を有する。 ２）次に、芯棒を抜き取り、中心部に穴のあいたスート
母材を作製する。 ３）次いで、スート母材を脱水、焼結させて透明ガラス
化し、さらに加熱により中心部の穴を埋めて光ファイバ
母材とする。
である外付け法は、以下のような手順で光ファイバ母材
を製造する。即ち、 １）回転しているアルミナなどの芯棒の上に火炎中で生
成したＳｉＯ2 とＧｅＯ 2 のガラス微粒子を堆積させ
る。その際、中心から外周に向けてリング状にドーパン
トであるＧｅＯ2 の比率を変化させ、所望の屈折率分布
を有するスートを形成する。従って、外付け法では、屈
折率分布のコントロールは投入する原料の比率（ＧｅＣ
ｌ4/ＳｉＣｌ4 ）を変化させるだけで良く、国内で広く
行われているＶＡＤ法に比べて、屈折率分布の制御が容
易であるという大きな利点を有する。 ２）次に、芯棒を抜き取り、中心部に穴のあいたスート
母材を作製する。 ３）次いで、スート母材を脱水、焼結させて透明ガラス
化し、さらに加熱により中心部の穴を埋めて光ファイバ
母材とする。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記外
付け法には以下のような問題があった。即ち、 １）透明ガラス化前に多孔質なスートから芯棒を引き抜
く際に、スートにクラックがしばしば発生し、ＶＡＤ法
に比べて製造歩留は悪くなっていた。 ２）スートにクラックを発生させずに芯棒を引き抜いた
場合でも、スート内面に引っ掻き傷が残ると、この傷に
より透明ガラス化や中心部の穴埋め工程後に気泡が生
じ、残留し易くなる。この気泡は光ファイバの伝送ロス
や強度低下の原因となる。
付け法には以下のような問題があった。即ち、 １）透明ガラス化前に多孔質なスートから芯棒を引き抜
く際に、スートにクラックがしばしば発生し、ＶＡＤ法
に比べて製造歩留は悪くなっていた。 ２）スートにクラックを発生させずに芯棒を引き抜いた
場合でも、スート内面に引っ掻き傷が残ると、この傷に
より透明ガラス化や中心部の穴埋め工程後に気泡が生
じ、残留し易くなる。この気泡は光ファイバの伝送ロス
や強度低下の原因となる。
【０００４】本発明の目的は、上記の問題を解消し、歩
留まり良くかつ特性の良好な光ファイバ母材を製造する
外付け法を提供することにある。
留まり良くかつ特性の良好な光ファイバ母材を製造する
外付け法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決すべくなされたもので、ガラスパイプ上にスートを堆
積させる工程、前記スートを透明ガラス化した後、前記
ガラスパイプを化学研磨によって除去する工程を有する
ことを特徴とする光ファイバ母材の製造方法である。
決すべくなされたもので、ガラスパイプ上にスートを堆
積させる工程、前記スートを透明ガラス化した後、前記
ガラスパイプを化学研磨によって除去する工程を有する
ことを特徴とする光ファイバ母材の製造方法である。
【０００６】上述のように、本発明は、光ファイバ母材
を外付け法を用いて製造する際に、多孔質スートを堆積
する芯棒をガラスパイプとすることを特徴とする。多孔
質スートをガラスパイプ上に堆積させた後は、ガラスパ
イプを引き抜かない状態で、前記スートを透明ガラス化
する。その後、透明ガラスの中央部に残ったガラスパイ
プを化学研磨によって除去する。この方法では、従来の
外付け法のように、多孔質スートの段階で機械的に芯棒
を引き抜くことはせず、透明ガラス化後に化学研磨によ
ってガラスパイプを除去する。従って、スートにクラッ
クが生ずるのを防ぎ、また、その内面に傷や凹凸が生ず
るのを防ぐことができる。従って、本発明によれば、従
来の外付け法の芯棒を抜く工程での歩留を改善でき、か
つ長手方向で均一な特性を持つ光ファイバ母材を得るこ
とができる。
を外付け法を用いて製造する際に、多孔質スートを堆積
する芯棒をガラスパイプとすることを特徴とする。多孔
質スートをガラスパイプ上に堆積させた後は、ガラスパ
イプを引き抜かない状態で、前記スートを透明ガラス化
する。その後、透明ガラスの中央部に残ったガラスパイ
プを化学研磨によって除去する。この方法では、従来の
外付け法のように、多孔質スートの段階で機械的に芯棒
を引き抜くことはせず、透明ガラス化後に化学研磨によ
ってガラスパイプを除去する。従って、スートにクラッ
クが生ずるのを防ぎ、また、その内面に傷や凹凸が生ず
るのを防ぐことができる。従って、本発明によれば、従
来の外付け法の芯棒を抜く工程での歩留を改善でき、か
つ長手方向で均一な特性を持つ光ファイバ母材を得るこ
とができる。
【０００７】本発明では、スート堆積終了後の透明ガラ
ス化時にガラスパイプが潰れないようにするため、外周
に堆積させる多孔質ガラスの軟化温度と同程度がそれよ
りも高い軟化温度の石英ガラスパイプを芯棒として用い
るのが良い。また、透明ガラス化の際には、その際に用
いる炉内の圧力に対してガラスパイプ内部の圧力が同じ
か僅かに高くなるように、ガラスパイプ内にガスを流す
か封入した状態で透明ガラス化すると、ガラスパイプが
潰れるのを防止することができる。更に、芯棒として用
いるガラスパイプは、高純度の合成石英パイプを用いる
のが良く、そうすることにより、透明ガラス化時にガラ
スパイプに含まれる不純物が多孔質スート内に拡散する
のを防ぐことができる。
ス化時にガラスパイプが潰れないようにするため、外周
に堆積させる多孔質ガラスの軟化温度と同程度がそれよ
りも高い軟化温度の石英ガラスパイプを芯棒として用い
るのが良い。また、透明ガラス化の際には、その際に用
いる炉内の圧力に対してガラスパイプ内部の圧力が同じ
か僅かに高くなるように、ガラスパイプ内にガスを流す
か封入した状態で透明ガラス化すると、ガラスパイプが
潰れるのを防止することができる。更に、芯棒として用
いるガラスパイプは、高純度の合成石英パイプを用いる
のが良く、そうすることにより、透明ガラス化時にガラ
スパイプに含まれる不純物が多孔質スート内に拡散する
のを防ぐことができる。
【０００８】透明ガラス化することで母材と一体となっ
た芯棒のガラスパイプを除去するには、機械研磨ではな
く化学研磨で行う。具体的には、弗酸水溶液もしくは弗
酸を含む混酸をガラスパイプ内に流し込んで一定時間保
持する方法と、弗素化合物ガスをパイプ内に流しながら
外部から加熱する方法があり、いずれの方法でも機械的
な研磨に比べて格段に平滑な透明ガラスの内面が得られ
る。また、前者の溶液による化学研磨の場合は、弗酸と
弗化アンモニウムの混酸を用いるとより良い。その理由
は、この研磨溶液を用いると、純石英に比べてＧeＯ2
ドープ石英の方が溶出速度が遅いので、中心部のガラス
パイプが完全に溶出した後、透明ガラスのＧe Ｏ2 ドー
プ層に達してからはゆっくりと研磨が進むため、ガラス
パイプの部分だけを選択的に除去することが可能になる
からである。
た芯棒のガラスパイプを除去するには、機械研磨ではな
く化学研磨で行う。具体的には、弗酸水溶液もしくは弗
酸を含む混酸をガラスパイプ内に流し込んで一定時間保
持する方法と、弗素化合物ガスをパイプ内に流しながら
外部から加熱する方法があり、いずれの方法でも機械的
な研磨に比べて格段に平滑な透明ガラスの内面が得られ
る。また、前者の溶液による化学研磨の場合は、弗酸と
弗化アンモニウムの混酸を用いるとより良い。その理由
は、この研磨溶液を用いると、純石英に比べてＧeＯ2
ドープ石英の方が溶出速度が遅いので、中心部のガラス
パイプが完全に溶出した後、透明ガラスのＧe Ｏ2 ドー
プ層に達してからはゆっくりと研磨が進むため、ガラス
パイプの部分だけを選択的に除去することが可能になる
からである。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明にかかる光ファイバ母材の
製造方法の一実施形態を図１（ａ）〜（ｄ）に基づいて
詳細に説明する。その工程は以下の通りである。即ち、 工程１：多孔質スート合成 図１（ａ）に示すように、ガラスパイプ１を旋盤（図示
せず）にセットし、回転させた側面から、軸方向に往復
する酸水素火炎バーナー２を用いて多孔質スート３を堆
積させる。原料は高純度なＳｉＣｌ4 に屈折率制御用ド
ーパントとしてＧｅＣｌ4 を添加したものである。原料
は、内層から外層へＳｉＣｌ4 とＧｅＣｌ4 の流量比を
調整してバーナーに流す。本実施形態では、グレーデッ
ドインデクス（ＧＩ）型光ファイバ用コア母材を製造す
る。そうして、バーナーに投入する原料中のＧｅＣｌ4
の比率は、最初は１０ｍｏｌ％程度とし、堆積が進んで
外層に行くに従ってＧｅＣｌ4 を少なくし、最外層近く
では０mol ％とすることで、断面方向に放物線状の屈折
率プロファイルを形成している。堆積した層数は２００
層で、多孔質スートの仕上がり外径は６０ｍｍφであっ
た。
製造方法の一実施形態を図１（ａ）〜（ｄ）に基づいて
詳細に説明する。その工程は以下の通りである。即ち、 工程１：多孔質スート合成 図１（ａ）に示すように、ガラスパイプ１を旋盤（図示
せず）にセットし、回転させた側面から、軸方向に往復
する酸水素火炎バーナー２を用いて多孔質スート３を堆
積させる。原料は高純度なＳｉＣｌ4 に屈折率制御用ド
ーパントとしてＧｅＣｌ4 を添加したものである。原料
は、内層から外層へＳｉＣｌ4 とＧｅＣｌ4 の流量比を
調整してバーナーに流す。本実施形態では、グレーデッ
ドインデクス（ＧＩ）型光ファイバ用コア母材を製造す
る。そうして、バーナーに投入する原料中のＧｅＣｌ4
の比率は、最初は１０ｍｏｌ％程度とし、堆積が進んで
外層に行くに従ってＧｅＣｌ4 を少なくし、最外層近く
では０mol ％とすることで、断面方向に放物線状の屈折
率プロファイルを形成している。堆積した層数は２００
層で、多孔質スートの仕上がり外径は６０ｍｍφであっ
た。
【００１０】なお、ガラスパイプの材質をかえて、実施
例１〜３とした。即ち、 実施例１：不純物が１ｐｐｍ以下の合成石英パイプ（外
径１５ｍｍφ・内径１０ｍｍφ） 実施例２：天然溶融石英パイプ（寸法は実施例１と同
じ。アルカリ金属やＦeなどの遷移金属とＯＨが含まれ
る） 実施例３：パイレックスガラスパイプ（寸法は実施例１
と同じ。硼素などが添加されており軟化温度が低い）
例１〜３とした。即ち、 実施例１：不純物が１ｐｐｍ以下の合成石英パイプ（外
径１５ｍｍφ・内径１０ｍｍφ） 実施例２：天然溶融石英パイプ（寸法は実施例１と同
じ。アルカリ金属やＦeなどの遷移金属とＯＨが含まれ
る） 実施例３：パイレックスガラスパイプ（寸法は実施例１
と同じ。硼素などが添加されており軟化温度が低い）
【００１１】工程２：透明ガラス化 次いで、図１（ｂ）に示すように、ガラスパイプ１上に
合成された多孔質スート３の片端を把持し、Ｈe を流し
た高温の透明ガラス化炉のヒーター４内に下降させて行
くことにより透明ガラス化母材５とする。この際、ガラ
スパイプ１内に加圧用ガスを流して、ガラスパイプ１が
潰れないようにする。
合成された多孔質スート３の片端を把持し、Ｈe を流し
た高温の透明ガラス化炉のヒーター４内に下降させて行
くことにより透明ガラス化母材５とする。この際、ガラ
スパイプ１内に加圧用ガスを流して、ガラスパイプ１が
潰れないようにする。
【００１２】この工程で、ガラスパイプ両端を解放状態
にして透明ガラス化したところ、実施例１、２では、ガ
ラスパイプは内径が６ｍｍφ程度まで小さくなったもの
の、完全に潰れることはなかった。その理由は、ガラス
パイプの軟化点が透明ガラス化温度よりも高いためであ
る。一方、実施例３では、ガラスパイプの軟化温度が低
いため、透明ガラス化時に多孔質スートの収縮力が加わ
って、穴が完全に塞がってしまい、以後のガラスパイプ
除去の工程に進めなかった。
にして透明ガラス化したところ、実施例１、２では、ガ
ラスパイプは内径が６ｍｍφ程度まで小さくなったもの
の、完全に潰れることはなかった。その理由は、ガラス
パイプの軟化点が透明ガラス化温度よりも高いためであ
る。一方、実施例３では、ガラスパイプの軟化温度が低
いため、透明ガラス化時に多孔質スートの収縮力が加わ
って、穴が完全に塞がってしまい、以後のガラスパイプ
除去の工程に進めなかった。
【００１３】また、ガラスパイプの先端を封じた後に、
上部からガスをフローさせ、ガラスパイプ内圧を透明ガ
ラス化炉内より０. ５〜５. ０ｍｍＨ2 Ｏ高く保持しな
がら透明ガラス化した。その結果は、実施例１、２で
は、内径が１０ｍｍφのままで殆ど変形がなかった。ま
た、実施例３でも、内径が９ｍｍφと僅かな変形に留め
ることができた。
上部からガスをフローさせ、ガラスパイプ内圧を透明ガ
ラス化炉内より０. ５〜５. ０ｍｍＨ2 Ｏ高く保持しな
がら透明ガラス化した。その結果は、実施例１、２で
は、内径が１０ｍｍφのままで殆ど変形がなかった。ま
た、実施例３でも、内径が９ｍｍφと僅かな変形に留め
ることができた。
【００１４】上記結果を考慮して、実施例１、２、３に
おいて、ガラスパイプが潰れないようにガラスパイプ内
圧を調整しながら透明ガラス化を行った。
おいて、ガラスパイプが潰れないようにガラスパイプ内
圧を調整しながら透明ガラス化を行った。
【００１５】工程３：ガラスパイプの化学研磨 図１（ｃ）に示すように、実施例１、２、３の中空の透
明ガラス化母材５を、外周がエッチングされないように
表面にテフロンテープ６を巻き、ガラスパイプ１が溶出
して完全になくなるまで弗酸水溶液７に浸ける。なお、
実施例１については、上記とは異なる化学研磨を行っ
て、新たな実施例とした。即ち、 実施例１ｂ：化学研磨溶液として弗酸と弗化アンモニウ
ムの割合が１：２の混酸を用いて研磨 実施例１ｃ：火炎を用いてガラスパイプを除去 実施例１ｃを具体的に説明すると、透明ガラス化した中
空母材を旋盤で把持し、回転させた状態でガラスパイプ
内にＳＦ6 をＮ2 で希釈したガスを流し、外部から往復
する火炎バーナーで加熱する。その結果、ＳＦ6 が分解
して石英ガラスと反応し、Ｓi Ｆ4 となって揮発するの
で、ガラスパイプを完全に除去することができ、内面も
非常に平滑なものが得られる。
明ガラス化母材５を、外周がエッチングされないように
表面にテフロンテープ６を巻き、ガラスパイプ１が溶出
して完全になくなるまで弗酸水溶液７に浸ける。なお、
実施例１については、上記とは異なる化学研磨を行っ
て、新たな実施例とした。即ち、 実施例１ｂ：化学研磨溶液として弗酸と弗化アンモニウ
ムの割合が１：２の混酸を用いて研磨 実施例１ｃ：火炎を用いてガラスパイプを除去 実施例１ｃを具体的に説明すると、透明ガラス化した中
空母材を旋盤で把持し、回転させた状態でガラスパイプ
内にＳＦ6 をＮ2 で希釈したガスを流し、外部から往復
する火炎バーナーで加熱する。その結果、ＳＦ6 が分解
して石英ガラスと反応し、Ｓi Ｆ4 となって揮発するの
で、ガラスパイプを完全に除去することができ、内面も
非常に平滑なものが得られる。
【００１６】工程４：中空部潰し 図１（ｄ）に示すように、上記の５種類（実施例１、１
ｂ、１ｃ、２、３）の中空の透明化ガラス母材５につい
て、中空部５ａにＣｌ2 ガスを少量流しながら、バーナ
ー８で高温に加熱して中空部を潰し、透明化ガラス母材
９とした。
ｂ、１ｃ、２、３）の中空の透明化ガラス母材５につい
て、中空部５ａにＣｌ2 ガスを少量流しながら、バーナ
ー８で高温に加熱して中空部を潰し、透明化ガラス母材
９とした。
【００１７】実施例１、１ｂ、１ｃ、２、３について、
各々２０本の母材を合成したが、すべての母材にクラッ
クの発生がなく、母材の作製歩留りは１００％であっ
た。
各々２０本の母材を合成したが、すべての母材にクラッ
クの発生がなく、母材の作製歩留りは１００％であっ
た。
【００１８】なお、従来例として、従来の外付け法で２
０本の母材を作製したところ、そのうち、４本の母材が
アルミナ芯棒抜き工程で、更に２本が芯棒抜きで生じた
スートの傷が原因で透明ガラス化後にクラックが発生し
た。このことにより、本実施例では母材の作製歩留の大
幅な改善が実現できたことがわかる。
０本の母材を作製したところ、そのうち、４本の母材が
アルミナ芯棒抜き工程で、更に２本が芯棒抜きで生じた
スートの傷が原因で透明ガラス化後にクラックが発生し
た。このことにより、本実施例では母材の作製歩留の大
幅な改善が実現できたことがわかる。
【００１９】上記実施例の母材について、コア径５０μ
ｍ/ クラッド径１２５μｍとなるように無水合成石英管
を被せ、線引して光ファイバを作製した。また、従来例
の良好な母材について、洗浄のため弗酸水溶液に短時間
浸け、その後加熱して中空部を封じた。さらに、実施例
と同様に、合成石英管を被せ、線引して光ファイバを作
製した。線引は、実施例および従来例ともに各々１０本
の母材について行った。母材１本からは約２０ｋｍのＵ
Ｖ樹脂被覆光ファイバ（被覆外径２５０ｍｍφ）が得ら
れた。これらの得られた光ファイバについて、評価を行
った。評価項目は、スクリーニング破断率（２．０％の
伸びに対する）、伝送ロス、伝送帯域である。なお、内
部破断率（光ファイバの内部から破断が進行）について
も評価した。また、伝送帯域は長手方向の変動を評価す
るため、４ｋｍずつに切り割りして測定した。なお、伝
送特性の測定波長は１３００ｎｍである。評価の結果を
表１、２に示す。
ｍ/ クラッド径１２５μｍとなるように無水合成石英管
を被せ、線引して光ファイバを作製した。また、従来例
の良好な母材について、洗浄のため弗酸水溶液に短時間
浸け、その後加熱して中空部を封じた。さらに、実施例
と同様に、合成石英管を被せ、線引して光ファイバを作
製した。線引は、実施例および従来例ともに各々１０本
の母材について行った。母材１本からは約２０ｋｍのＵ
Ｖ樹脂被覆光ファイバ（被覆外径２５０ｍｍφ）が得ら
れた。これらの得られた光ファイバについて、評価を行
った。評価項目は、スクリーニング破断率（２．０％の
伸びに対する）、伝送ロス、伝送帯域である。なお、内
部破断率（光ファイバの内部から破断が進行）について
も評価した。また、伝送帯域は長手方向の変動を評価す
るため、４ｋｍずつに切り割りして測定した。なお、伝
送特性の測定波長は１３００ｎｍである。評価の結果を
表１、２に示す。
【００２０】
【００２１】
【００２２】表１より、内部欠陥（中空部潰し時に残留
する気泡など）による内部破断率は、従来例に比較して
実施例のいずれもが大幅に改善さている。ただし、実施
例３は他の実施例に比べて破断発生率が多少高くなって
いる。これは、パイレックスガラスパイプ中の硼素やア
ルカリ金属など不純物が、合成したガラス母材まで拡散
してしまい、化学研磨速度に差を生じて内面が凹凸にな
ったこと、および単純に汚れとなって残留したことで、
中空部潰し時もしくは線引時に気泡の発生を招いたため
と考えられる。
する気泡など）による内部破断率は、従来例に比較して
実施例のいずれもが大幅に改善さている。ただし、実施
例３は他の実施例に比べて破断発生率が多少高くなって
いる。これは、パイレックスガラスパイプ中の硼素やア
ルカリ金属など不純物が、合成したガラス母材まで拡散
してしまい、化学研磨速度に差を生じて内面が凹凸にな
ったこと、および単純に汚れとなって残留したことで、
中空部潰し時もしくは線引時に気泡の発生を招いたため
と考えられる。
【００２３】伝送ロスは、合成石英パイプを使用した実
施例１、１ｂ、１ｃが従来例と同程度の低損失となって
おり、実施例２、３はやや高くなっている。その理由
は、実施例１、１ｂ、１ｃでは、使用した石英パイプか
らの不純物拡散による吸収ロス増と、不純物が核となっ
て発生する小さな気泡や結晶などの構造不整ロス増と
が、高純度の合成石英を用いることで抑制されたためで
ある。
施例１、１ｂ、１ｃが従来例と同程度の低損失となって
おり、実施例２、３はやや高くなっている。その理由
は、実施例１、１ｂ、１ｃでは、使用した石英パイプか
らの不純物拡散による吸収ロス増と、不純物が核となっ
て発生する小さな気泡や結晶などの構造不整ロス増と
が、高純度の合成石英を用いることで抑制されたためで
ある。
【００２４】伝送帯域を比較すると、実施例１ｂは、バ
ラツキも比較的小さく、最も広帯域な光ファイバが得ら
れている。その理由は、化学研磨に混酸を用いたことで
石英パイプが選択的に除かれ、長手で均一な屈折率分布
を残すことが出来たからである。単なる弗酸水溶液では
（実施例１、２、３）、石英パイプが除去されてＧeＯ
2 ドープ層が表面に出た途端、エッチング速度が格段に
速くなる。従って、石英パイプだけを溶出させようとす
ると、弗酸水溶液から石英パイプを取り出すタイミング
が非常に難しい。加えて、芯棒として用いる石英パイプ
の厚さが長手で完全には均一でなく、溶出が先に終了し
た石英パイプの薄い部分では、他の部分の石英パイプ層
が溶け切る前にＧe Ｏ2 ドープ層が深く削れてしまう。
従って、長手方向で均一な屈折率分布を残すことが難し
く、実施例１、２、３では帯域に比較的大きなバラツキ
と劣化が生じている。
ラツキも比較的小さく、最も広帯域な光ファイバが得ら
れている。その理由は、化学研磨に混酸を用いたことで
石英パイプが選択的に除かれ、長手で均一な屈折率分布
を残すことが出来たからである。単なる弗酸水溶液では
（実施例１、２、３）、石英パイプが除去されてＧeＯ
2 ドープ層が表面に出た途端、エッチング速度が格段に
速くなる。従って、石英パイプだけを溶出させようとす
ると、弗酸水溶液から石英パイプを取り出すタイミング
が非常に難しい。加えて、芯棒として用いる石英パイプ
の厚さが長手で完全には均一でなく、溶出が先に終了し
た石英パイプの薄い部分では、他の部分の石英パイプ層
が溶け切る前にＧe Ｏ2 ドープ層が深く削れてしまう。
従って、長手方向で均一な屈折率分布を残すことが難し
く、実施例１、２、３では帯域に比較的大きなバラツキ
と劣化が生じている。
【００２５】以上より、実施例１、１ｂ、１ｃ、２、３
に示されるように、本発明によれば、多孔質スート合成
および透明ガラス化工程での形成歩留まりを格段に向上
させることができる。また、実施例１、１ｂ、１ｃで
は、従来の外付け法と同等、ないしそれ以下の伝送ロス
を得ることができた。更に、実施例１ｂにおいては、従
来なみのバラツキの伝送帯域が得られた。
に示されるように、本発明によれば、多孔質スート合成
および透明ガラス化工程での形成歩留まりを格段に向上
させることができる。また、実施例１、１ｂ、１ｃで
は、従来の外付け法と同等、ないしそれ以下の伝送ロス
を得ることができた。更に、実施例１ｂにおいては、従
来なみのバラツキの伝送帯域が得られた。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、光
ファイバ母材の歩留りを向上させることができるととも
に、光ファイバの機械的強度を向上させ、また、伝送特
性を損なうこともないという優れた効果がある。
ファイバ母材の歩留りを向上させることができるととも
に、光ファイバの機械的強度を向上させ、また、伝送特
性を損なうこともないという優れた効果がある。
【図１】（ａ）〜（ｄ）は、本発明に係る光ファイバ母
材の製造方法の一実施例の説明図である。
材の製造方法の一実施例の説明図である。
１ ガラスパイプ ２、８ バーナー ３ スート ４ ヒーター ５、９ 透明化ガラス母材 ５ａ 中空部 ６ テフロンテープ ７ 弗酸水溶液
Claims (1)
- 【請求項１】 ガラスパイプ上にスートを堆積させる工
程、前記スートを透明ガラス化した後、前記ガラスパイ
プを化学研磨によって除去する工程を有することを特徴
とする光ファイバ母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10111215A JPH11302030A (ja) | 1998-04-22 | 1998-04-22 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10111215A JPH11302030A (ja) | 1998-04-22 | 1998-04-22 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11302030A true JPH11302030A (ja) | 1999-11-02 |
Family
ID=14555453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10111215A Pending JPH11302030A (ja) | 1998-04-22 | 1998-04-22 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11302030A (ja) |
-
1998
- 1998-04-22 JP JP10111215A patent/JPH11302030A/ja active Pending
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