JPH11295235A - 光学式表面検査装置 - Google Patents
光学式表面検査装置Info
- Publication number
- JPH11295235A JPH11295235A JP10301798A JP10301798A JPH11295235A JP H11295235 A JPH11295235 A JP H11295235A JP 10301798 A JP10301798 A JP 10301798A JP 10301798 A JP10301798 A JP 10301798A JP H11295235 A JPH11295235 A JP H11295235A
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- Japan
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- light guide
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 物体表面に対する光の照射範囲と撮像領域と
に厳密な位置合わせが不要であるとともに、画像取り込
み位置や範囲を任意に調整して所望の画像解析を高精度
に実現でき、しかも物体表面への光の照射条件を任意に
調整できる光学式表面検査装置を提供する。 【解決手段】 ライン状ライトガイド５の出射口部１８
（光ファイバアレイ先端）からの光を、ワークテーブル
６上に搭載されて水平移動する検査対象物の表面に向か
って、任意に設定した傾斜角度で照射し、その表面を移
動方向とは直交する方向にライン状に照明する。そのラ
イン状照明領域を含むようにエリアＣＣＤカラーカメラ
４で撮像する。その画像中からライン状照明領域の画像
部分のみを実質的に取り込むようにマスク処理して画像
処理装置２７で解析する。
に厳密な位置合わせが不要であるとともに、画像取り込
み位置や範囲を任意に調整して所望の画像解析を高精度
に実現でき、しかも物体表面への光の照射条件を任意に
調整できる光学式表面検査装置を提供する。 【解決手段】 ライン状ライトガイド５の出射口部１８
（光ファイバアレイ先端）からの光を、ワークテーブル
６上に搭載されて水平移動する検査対象物の表面に向か
って、任意に設定した傾斜角度で照射し、その表面を移
動方向とは直交する方向にライン状に照明する。そのラ
イン状照明領域を含むようにエリアＣＣＤカラーカメラ
４で撮像する。その画像中からライン状照明領域の画像
部分のみを実質的に取り込むようにマスク処理して画像
処理装置２７で解析する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、物体の表面に光を
照射し、カメラで撮像して検査する光学式表面検査装置
に関し、例えば塗装を施した塗装面の塗膜劣化度等を知
るための塗面検査などに使用できるものである。
照射し、カメラで撮像して検査する光学式表面検査装置
に関し、例えば塗装を施した塗装面の塗膜劣化度等を知
るための塗面検査などに使用できるものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＣＣＤカメラで撮像した物体表面
の画像を処理して表面検査をする表面検査装置として、
ラインセンサを用いたものとエリアセンサを用いたもの
がある。通常、前者の場合には、物体又はカメラを移動
させることにより次々にライン状に撮像して画像を順次
取り込み、また後者の場合には、物体を静止させて所定
の面積の画像を一度に取り込む。画像取り込みの所要時
間では後者の方が有利であるが、前者の方が照射光ムラ
の影響が少ない画像が得られる。
の画像を処理して表面検査をする表面検査装置として、
ラインセンサを用いたものとエリアセンサを用いたもの
がある。通常、前者の場合には、物体又はカメラを移動
させることにより次々にライン状に撮像して画像を順次
取り込み、また後者の場合には、物体を静止させて所定
の面積の画像を一度に取り込む。画像取り込みの所要時
間では後者の方が有利であるが、前者の方が照射光ムラ
の影響が少ない画像が得られる。
【０００３】前者に属する検査装置として、光ファイバ
を用いたライン状ライトガイドから、相対的に移動する
検査対象を照明してその反射光をラインセンサで受光
し、検査対象の欠陥を検出するものは既に知られている
（例えば特開平６−２６８３９号公報）。
を用いたライン状ライトガイドから、相対的に移動する
検査対象を照明してその反射光をラインセンサで受光
し、検査対象の欠陥を検出するものは既に知られている
（例えば特開平６−２６８３９号公報）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ライン
センサにより撮像すると、その撮像領域とライン状ライ
トガイドの照射範囲とを厳密に位置合わせしなければな
らないとか、一走査当たりの撮像領域が限定されている
ので、画像取り込み範囲の融通性が無く、画像取り込み
位置や範囲を任意に調整できない等の問題がある。
センサにより撮像すると、その撮像領域とライン状ライ
トガイドの照射範囲とを厳密に位置合わせしなければな
らないとか、一走査当たりの撮像領域が限定されている
ので、画像取り込み範囲の融通性が無く、画像取り込み
位置や範囲を任意に調整できない等の問題がある。
【０００５】本発明の課題は、このような問題の無い、
つまり物体表面に対する光の照射範囲と撮像領域とに厳
密な位置合わせが不要であるとともに、画像取り込み位
置や範囲を任意に調整して所望の画像解析を高精度に実
現でき、しかも物体表面への光の照射条件を任意に調整
でき、特に、塗膜劣化部分の「さび」や「はがれ」や
「われ」や「大きいふくれ」は勿論のこと、「微小ふく
れ」でも正確に画像取り込みできる光学式表面検査装置
を提供することにある。
つまり物体表面に対する光の照射範囲と撮像領域とに厳
密な位置合わせが不要であるとともに、画像取り込み位
置や範囲を任意に調整して所望の画像解析を高精度に実
現でき、しかも物体表面への光の照射条件を任意に調整
でき、特に、塗膜劣化部分の「さび」や「はがれ」や
「われ」や「大きいふくれ」は勿論のこと、「微小ふく
れ」でも正確に画像取り込みできる光学式表面検査装置
を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の光学式表面検査
装置は、検査対象物を搭載するワークテーブルと、この
ワークテーブルをレールに沿って摺動させるテーブル摺
動装置と、光源からの光を光ファイバアレイに導入し、
光ファイバアレイ先端からワークテーブルに向かってそ
の摺動方向と交差する方向にライン状に広がる照射光と
して斜めに照射するライン状ライトガイドと、その照射
光によるライン状照明領域を含むようにワークテーブル
上の検査対象物を上方からエリアセンサで撮像するカメ
ラと、該カメラが撮像した画像中からライン状照明領域
の画像部分のみを実質的に取り込むようにマスク処理し
て画像解析する画像処理装置とを備えたことを特徴とす
る。
装置は、検査対象物を搭載するワークテーブルと、この
ワークテーブルをレールに沿って摺動させるテーブル摺
動装置と、光源からの光を光ファイバアレイに導入し、
光ファイバアレイ先端からワークテーブルに向かってそ
の摺動方向と交差する方向にライン状に広がる照射光と
して斜めに照射するライン状ライトガイドと、その照射
光によるライン状照明領域を含むようにワークテーブル
上の検査対象物を上方からエリアセンサで撮像するカメ
ラと、該カメラが撮像した画像中からライン状照明領域
の画像部分のみを実質的に取り込むようにマスク処理し
て画像解析する画像処理装置とを備えたことを特徴とす
る。
【０００７】このような光学式表面検査装置では、光源
からの光は、ワークテーブルに搭載されて移動する検査
対象物の表面に対して、ライン状ライトガイドの光ファ
イバアレイ先端から斜めにライン状にムラなく照射さ
れ、検査対象物の表面に現れている微細な立体的特徴部
分でも、鮮明画像としてカメラに撮像される。カメラ
は、ライン状照明領域を含む所定エリアを撮像するが、
画像処理装置は、ライン状照明領域以外の画像は除き、
ライン状照明領域だけの画像部分を対象として解析す
る。
からの光は、ワークテーブルに搭載されて移動する検査
対象物の表面に対して、ライン状ライトガイドの光ファ
イバアレイ先端から斜めにライン状にムラなく照射さ
れ、検査対象物の表面に現れている微細な立体的特徴部
分でも、鮮明画像としてカメラに撮像される。カメラ
は、ライン状照明領域を含む所定エリアを撮像するが、
画像処理装置は、ライン状照明領域以外の画像は除き、
ライン状照明領域だけの画像部分を対象として解析す
る。
【０００８】ライン状ライトガイドは、光源からの光を
光ファイバ束に導入し、出射口部からライン状に広がる
照射光として出射するものが良い。
光ファイバ束に導入し、出射口部からライン状に広がる
照射光として出射するものが良い。
【０００９】ライトガイドの出射口部の角度を調整すれ
ば、照射角度を調整して、所望の画像処理に適した条件
の照明を行うことができる。
ば、照射角度を調整して、所望の画像処理に適した条件
の照明を行うことができる。
【００１０】ライトガイドの出射口部を、支点を中心と
して角度調整可能な支持アームに移動可能に装着する
と、照射角度ばかりでなく、出射口部からワークテーブ
ルまでの距離も容易に可変できるので、照明条件を簡単
に調整できる。
して角度調整可能な支持アームに移動可能に装着する
と、照射角度ばかりでなく、出射口部からワークテーブ
ルまでの距離も容易に可変できるので、照明条件を簡単
に調整できる。
【００１１】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳述する。図１及び図２に光学式表面検査装
置の全体構成、図３に要部構成を示す。
に基づいて詳述する。図１及び図２に光学式表面検査装
置の全体構成、図３に要部構成を示す。
【００１２】この光学式表面検査装置は、横長のベース
フレーム１の枠内にテーブル摺動装置２を設け、またベ
ースフレーム１上に垂直に起立させたスタンド３に、エ
リアＣＣＤカラーカメラ４（以下、カメラと略記する）
とライン状ライトガイド５とを装架している。そして、
テーブル摺動装置２により板状のワークテーブル６を水
平摺動（図１の紙面に向かって右方又は左方）させなが
ら、ワークテーブル６上に搭載した検査対象物の表面を
ライン状ライトガイド５でライン状に照明し、その照射
光によるライン状照明領域を含むようにカメラ４で表面
を撮像する。
フレーム１の枠内にテーブル摺動装置２を設け、またベ
ースフレーム１上に垂直に起立させたスタンド３に、エ
リアＣＣＤカラーカメラ４（以下、カメラと略記する）
とライン状ライトガイド５とを装架している。そして、
テーブル摺動装置２により板状のワークテーブル６を水
平摺動（図１の紙面に向かって右方又は左方）させなが
ら、ワークテーブル６上に搭載した検査対象物の表面を
ライン状ライトガイド５でライン状に照明し、その照射
光によるライン状照明領域を含むようにカメラ４で表面
を撮像する。
【００１３】図４及び図５にテーブル摺動装置２の具体
例を示す。このテーブル摺動装置２は、断面Ｕ形のフレ
ーム７の両辺縁にレール８を設け、両レール８にスライ
ダ９を摺動自在に跨架し、このスライダ９上にワークテ
ーブル６を固定し、スライダのボール軸受１０にスクリ
ュー軸１１を貫通させ、スクリュー軸１１にモータ１２
を直結したものである。モータ１２でスクリュー軸１１
を回転させると、スライダ９がワークテーブル６と共に
両レール８に沿って水平摺動される。
例を示す。このテーブル摺動装置２は、断面Ｕ形のフレ
ーム７の両辺縁にレール８を設け、両レール８にスライ
ダ９を摺動自在に跨架し、このスライダ９上にワークテ
ーブル６を固定し、スライダのボール軸受１０にスクリ
ュー軸１１を貫通させ、スクリュー軸１１にモータ１２
を直結したものである。モータ１２でスクリュー軸１１
を回転させると、スライダ９がワークテーブル６と共に
両レール８に沿って水平摺動される。
【００１４】カメラ４は、ＣＣＤによるエリアセンサに
より二次元カラー画像として撮像するもので、スタンド
３に対し高さ及び角度調整可能に下向きに装架されてい
る。すなわち、図１、図２及び図３に示すように、カメ
ラ４は、スタンド３に上下動可能に装着された架台１３
に、公知の水平角度調整機構１４、垂直角度調整機構１
５及び高さ微調整機構１６を介して支持されている。な
お、これらの調整機構は必ずしも必要ではない。
より二次元カラー画像として撮像するもので、スタンド
３に対し高さ及び角度調整可能に下向きに装架されてい
る。すなわち、図１、図２及び図３に示すように、カメ
ラ４は、スタンド３に上下動可能に装着された架台１３
に、公知の水平角度調整機構１４、垂直角度調整機構１
５及び高さ微調整機構１６を介して支持されている。な
お、これらの調整機構は必ずしも必要ではない。
【００１５】ライン状ライトガイド５は、光源ユニット
１７と出射口部１８とを光ファイバ束１９で連結したも
ので、光源ユニット１７からの光を光ファイバ束１９に
より出射口部１８に導き、出射口部１８内でライン状に
整列している光ファイバアレイ先端からライン状に広が
る照射光として照射する。そのライン状の照射光がワー
クテーブル６の摺動方向と直交し、しかもワークテーブ
ル６上の検査対象物に向かって斜めになるように、出射
口部１８は、支点を中心として角度調整可能な支持アー
ム２０に支持されている。
１７と出射口部１８とを光ファイバ束１９で連結したも
ので、光源ユニット１７からの光を光ファイバ束１９に
より出射口部１８に導き、出射口部１８内でライン状に
整列している光ファイバアレイ先端からライン状に広が
る照射光として照射する。そのライン状の照射光がワー
クテーブル６の摺動方向と直交し、しかもワークテーブ
ル６上の検査対象物に向かって斜めになるように、出射
口部１８は、支点を中心として角度調整可能な支持アー
ム２０に支持されている。
【００１６】すなわち、支持アーム２０は、スタンド３
の下端部において軸受２１によりワークテーブル６の摺
動方向に回動自在に基端を枢支されている。また、支持
アーム２０は、その先端（遊端）に備えたネジ付きスト
ッパ２２を垂直な固定板２３の円弧状案内溝２４に沿っ
て摺動させ、その摺動をネジで規制することにより、角
度を任意に調整できるようになっている。
の下端部において軸受２１によりワークテーブル６の摺
動方向に回動自在に基端を枢支されている。また、支持
アーム２０は、その先端（遊端）に備えたネジ付きスト
ッパ２２を垂直な固定板２３の円弧状案内溝２４に沿っ
て摺動させ、その摺動をネジで規制することにより、角
度を任意に調整できるようになっている。
【００１７】この支持ア−ム２０に対して、ライン状ラ
イトガイド５の出射口部１８を位置調整できるように、
出射口部１８の台板２５が、支持アーム２０の長さ方向
に摺動可能に取り付けられている。その位置調整は、台
板２５を支持アーム２０の案内溝（図示せず）に沿って
摺動させ、その摺動をネジ付きハンドル２６で規制して
行う。
イトガイド５の出射口部１８を位置調整できるように、
出射口部１８の台板２５が、支持アーム２０の長さ方向
に摺動可能に取り付けられている。その位置調整は、台
板２５を支持アーム２０の案内溝（図示せず）に沿って
摺動させ、その摺動をネジ付きハンドル２６で規制して
行う。
【００１８】従って、ライン状ライトガイド５の出射口
部１８（光ファイバアレイ先端）からの光は、ワークテ
ーブル６上に搭載されて水平移動する検査対象物の表面
に向かって、任意に設定した傾斜角度で照射され、その
表面を移動方向とは直交する方向にライン状に照明す
る。その照明光は、同じ光源ユニット１７からの光を光
ファイバアレイ先端から出射したものであるので、全長
にわたり均一のライン状照明領域を形成する。なお、こ
のライン状照明領域は、ワークテーブル６の摺動方向と
必ずしも直交する関係にする必要はない。
部１８（光ファイバアレイ先端）からの光は、ワークテ
ーブル６上に搭載されて水平移動する検査対象物の表面
に向かって、任意に設定した傾斜角度で照射され、その
表面を移動方向とは直交する方向にライン状に照明す
る。その照明光は、同じ光源ユニット１７からの光を光
ファイバアレイ先端から出射したものであるので、全長
にわたり均一のライン状照明領域を形成する。なお、こ
のライン状照明領域は、ワークテーブル６の摺動方向と
必ずしも直交する関係にする必要はない。
【００１９】検査対象物の表面に対する照射角度は、支
点を中心として回動する支持アーム２０の角度を変える
ことにより調整できる。また、支持アーム２０に対する
出射口部１８の取り付け位置を変えることにより、出射
口部１８から検査対象物の表面までの距離を調整でき
る。
点を中心として回動する支持アーム２０の角度を変える
ことにより調整できる。また、支持アーム２０に対する
出射口部１８の取り付け位置を変えることにより、出射
口部１８から検査対象物の表面までの距離を調整でき
る。
【００２０】一方、カメラ４は、ワークテーブル６と共
に水平移動する検査対象物の表面のライン状照明領域を
中心に含むように、検査対象物の表面を撮像する。その
画像は、パーソナルコンピュータ等を用いた画像処理装
置２７に、テーブル摺動装置２によるワークテーブル６
の摺動動作と同期して取り込まれる。
に水平移動する検査対象物の表面のライン状照明領域を
中心に含むように、検査対象物の表面を撮像する。その
画像は、パーソナルコンピュータ等を用いた画像処理装
置２７に、テーブル摺動装置２によるワークテーブル６
の摺動動作と同期して取り込まれる。
【００２１】画像処理装置２７は、図７に示すように、
ライン状照明領域２８を含む所定撮像エリアの画像に対
して、ライン状照明領域２８の画像部分のみを実質的に
取り込むようにソフト的にマスク処理する。そして、ラ
イン状照明領域２８以外の画像部分２９は除いて、ライ
ン状照明領域２８だけの画像データを検査対象物の移動
に伴いメモリに蓄積し、それを検査対象物の表面の所要
範囲について行って解析する。例えば、塗面検査をする
場合には、「さび」「ふくれ」「はがれ」「われ」等の
塗膜欠陥を、特徴抽出、特徴種別、特徴個数、面積率、
周囲長、対角幅などの画像解析手法を用いて解析する。
カメラ４はエリアＣＣＤカラーカメラであるため、マス
ク処理をしなければ、撮像した全領域の画像を取り込む
ことができる。また、マスク処理するかしないか、及び
マスク位置及び範囲はソフトウェアにて任意に決めるこ
とができる。
ライン状照明領域２８を含む所定撮像エリアの画像に対
して、ライン状照明領域２８の画像部分のみを実質的に
取り込むようにソフト的にマスク処理する。そして、ラ
イン状照明領域２８以外の画像部分２９は除いて、ライ
ン状照明領域２８だけの画像データを検査対象物の移動
に伴いメモリに蓄積し、それを検査対象物の表面の所要
範囲について行って解析する。例えば、塗面検査をする
場合には、「さび」「ふくれ」「はがれ」「われ」等の
塗膜欠陥を、特徴抽出、特徴種別、特徴個数、面積率、
周囲長、対角幅などの画像解析手法を用いて解析する。
カメラ４はエリアＣＣＤカラーカメラであるため、マス
ク処理をしなければ、撮像した全領域の画像を取り込む
ことができる。また、マスク処理するかしないか、及び
マスク位置及び範囲はソフトウェアにて任意に決めるこ
とができる。
【００２２】以上、本発明の一実施形態を説明したが、
本発明はこれに限定されるものではなく、その基本技術
を利用して種々の変形・応用が可能である。
本発明はこれに限定されるものではなく、その基本技術
を利用して種々の変形・応用が可能である。
【００２３】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば次のよ
うな効果がある。 ワークテーブルに搭載されて移動する検査対象物の
表面を、ライン状ライトガイドの光ファイバアレイ先端
から出射される光によって、斜めにライン状に照明する
ので、検査対象物の表面に現れている立体的な特徴部分
でも、鮮明画像としてカメラに撮像できるので、微細な
立体的特徴部分でも正確に抽出できる。
うな効果がある。 ワークテーブルに搭載されて移動する検査対象物の
表面を、ライン状ライトガイドの光ファイバアレイ先端
から出射される光によって、斜めにライン状に照明する
ので、検査対象物の表面に現れている立体的な特徴部分
でも、鮮明画像としてカメラに撮像できるので、微細な
立体的特徴部分でも正確に抽出できる。
【００２４】 カメラは、ライン状照明領域を含む所
定エリアを撮像するが、画像処理装置は、ライン状照明
領域以外の画像は除き、ライン状照明領域だけの画像部
分を対象として解析するので、検査対象物の表面に対す
る光の照射範囲と撮像領域とに厳密な位置合わせが不要
であるとともに、画像取り込み位置や範囲を任意に調整
して所望の画像解析を高精度に実現できる。
定エリアを撮像するが、画像処理装置は、ライン状照明
領域以外の画像は除き、ライン状照明領域だけの画像部
分を対象として解析するので、検査対象物の表面に対す
る光の照射範囲と撮像領域とに厳密な位置合わせが不要
であるとともに、画像取り込み位置や範囲を任意に調整
して所望の画像解析を高精度に実現できる。
【００２５】 ライン状ライトガイドとして、光源か
らの光を光ファイバ束に導入し、出射口部からライン状
に広がる照射光として出射するものを使用すれば、ライ
ン状照明を簡単に行える。
らの光を光ファイバ束に導入し、出射口部からライン状
に広がる照射光として出射するものを使用すれば、ライ
ン状照明を簡単に行える。
【００２６】 ライトガイドの出射口部の角度を調整
すれば、照射角度を調整して、所望の画像処理に適した
条件の照明を行うことができる。
すれば、照射角度を調整して、所望の画像処理に適した
条件の照明を行うことができる。
【００２７】 ライトガイドの出射口部を、支点を中
心として角度調整可能な支持アームに移動可能に装着す
ると、照射角度ばかりでなく、出射口部からワークテー
ブルまでの距離も容易に可変できるので、照明条件を簡
単に調整できる。
心として角度調整可能な支持アームに移動可能に装着す
ると、照射角度ばかりでなく、出射口部からワークテー
ブルまでの距離も容易に可変できるので、照明条件を簡
単に調整できる。
【００２８】 以上のような種々の効果から、本発明
を塗面検査に適用すれば、塗膜劣化部分の「さび」や
「はがれ」や「われ」や「大きいふくれ」は勿論のこ
と、「微小ふくれ」でも正確に画像取り込みでき、塗膜
劣化度の検査精度の向上が図れる。
を塗面検査に適用すれば、塗膜劣化部分の「さび」や
「はがれ」や「われ」や「大きいふくれ」は勿論のこ
と、「微小ふくれ」でも正確に画像取り込みでき、塗膜
劣化度の検査精度の向上が図れる。
【図１】本発明による光学式表面検査装置の全体構成を
示す正面図である。
示す正面図である。
【図２】同じく側面図である。
【図３】要部の斜視図である。
【図４】主にテーブル摺動装置を示す平面図である。
【図５】テーブル摺動装置の斜視図である。
【図６】カメラの高さ調整及び角度調整機構を示す側面
図である。
図である。
【図７】カメラが撮像した画像に対するマスク処理を説
明する図である。
明する図である。
１ ベースフレーム ２ テーブル摺動装置 ３ スタンド ４ エリアＣＣＤカラーカメラ ５ ライン状ライトガイド ６ ワークテーブル ７ フレーム ８ レール ９ スライダ １０ ボール軸受 １１ スクリュー軸 １２ モータ １３ 架台 １４ 水平角度調整機構 １５ 垂直角度調整機構 １６ 高さ微調整機構 １７ 光源ユニット １８ 出射口部 １９ 光ファイバ束 ２０ 支持アーム ２１ 軸受 ２２ ネジ付きストッパ ２３ 固定板 ２４ 円弧状案内溝 ２５ 台板 ２６ ネジ付きハンドル ２７ 画像処理装置 ２８ ライン状照明領域 ２９ ライン状照明領域以外の画像部分
Claims (4)
- 【請求項１】検査対象物を搭載するワークテーブルと、
このワークテーブルをレールに沿って摺動させるテーブ
ル摺動装置と、光源からの光を光ファイバアレイに導入
し、光ファイバアレイ先端から前記ワークテーブルに向
かってその摺動方向と交差する方向にライン状に広がる
照射光として斜めに照射するライン状ライトガイドと、
その照射光によるライン状照明領域を含むように前記ワ
ークテーブル上の検査対象物を上方からエリアセンサで
撮像するカメラと、該カメラが撮像した画像中から前記
ライン状照明領域の画像部分のみを実質的に取り込むよ
うにマスク処理して画像解析する画像処理装置とを備え
たことを特徴とする光学式表面検査装置。 - 【請求項２】ライン状ライトガイドは、光源からの光を
光ファイバ束に導入し、出射口部からライン状に広がる
照射光として出射するものである請求項１に記載の光学
式表面検査装置。 - 【請求項３】ライトガイドの出射口部の角度を調整する
ことにより、その照射角度を調整するライト角度調整機
構を備えたことを特徴とする請求項２に記載の光学式表
面検査装置。 - 【請求項４】ライトガイドの出射口部が、支点を中心と
して角度調整可能な支持アームに移動可能に装着され、
出射口部からワークテーブルまでの距離が可変となって
いることを特徴とする請求項３に記載の光学式表面検査
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10301798A JPH11295235A (ja) | 1998-04-14 | 1998-04-14 | 光学式表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10301798A JPH11295235A (ja) | 1998-04-14 | 1998-04-14 | 光学式表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11295235A true JPH11295235A (ja) | 1999-10-29 |
Family
ID=14342888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10301798A Pending JPH11295235A (ja) | 1998-04-14 | 1998-04-14 | 光学式表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11295235A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001194483A (ja) * | 2000-01-12 | 2001-07-19 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 塗膜劣化診断方法及び装置 |
| JP2009293999A (ja) * | 2008-06-03 | 2009-12-17 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 木材欠陥検出装置 |
| JP5278783B1 (ja) * | 2012-05-30 | 2013-09-04 | レーザーテック株式会社 | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及び欠陥検査プログラム |
| KR102259721B1 (ko) * | 2020-02-28 | 2021-06-02 | 주식회사 슈텍 | 표면 검사기 및 표면 검사 방법 |
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1998
- 1998-04-14 JP JP10301798A patent/JPH11295235A/ja active Pending
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