JPH11290618A - Method for removing impurity and filter device - Google Patents
Method for removing impurity and filter deviceInfo
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- JPH11290618A JPH11290618A JP10099412A JP9941298A JPH11290618A JP H11290618 A JPH11290618 A JP H11290618A JP 10099412 A JP10099412 A JP 10099412A JP 9941298 A JP9941298 A JP 9941298A JP H11290618 A JPH11290618 A JP H11290618A
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- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、流体中の不純物を
除去する不純物除去方法及びフィルター装置に関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and a filter for removing impurities in a fluid.
【0002】[0002]
【従来の技術】図1及び図2は、従来のフィルター装置
の断面図であり、図2において、フィルター装置のフィ
ルター容器9とフィルター6は同心円筒状である。処理
されるべき流入流体1は、流入ノズル7からフィルター
容器9内のフィルター6の外周部10に入り、フィルタ
6ーを透過してフィルター容器中心部11に流れる。こ
のようにして、フィルターで処理した流出流体2を流出
ノズル8から得ていた。2. Description of the Related Art FIGS. 1 and 2 are cross-sectional views of a conventional filter device. In FIG. 2, a filter container 9 and a filter 6 of the filter device are concentric cylinders. The inflow fluid 1 to be treated enters the outer peripheral portion 10 of the filter 6 in the filter container 9 from the inflow nozzle 7, passes through the filter 6, and flows to the filter container center portion 11. In this way, the effluent 2 treated with the filter was obtained from the outflow nozzle 8.
【0003】フィルター6は、図1に示すように、小口
径の穴が多数あいたもので、その小口径より大きいもの
粒子4は透過過できないので、処理水に含まれる微粒子
5はフィルター6の小口径以下にすることができてい
た。流入流体1は、フィルター6の外周部10からフィ
ルター6を透過して中心部に向かい、流出流体2はフィ
ルター6から排出するので、その流れは、フィルター6
の面に対して垂直の流れであった。As shown in FIG. 1, the filter 6 has a large number of small-diameter holes, and since the particles 4 having a diameter larger than the small diameter cannot pass through, the fine particles 5 contained in the treated water are smaller than the filter 6. It could be smaller than the caliber. The inflow fluid 1 passes through the filter 6 from the outer peripheral portion 10 of the filter 6 toward the center, and the outflow fluid 2 discharges from the filter 6.
The flow was perpendicular to the plane.
【0004】このようなフィルター装置を用いた従来の
流体処理システムの例を、図3に示す。流体は貯蔵タン
ク14からポンプ15でフィルター容器9内に流入し、
フィルター6で処理後、処理流体タンク17に溜まるシ
ステムであった。フィルター6が目詰まりして流量が減
ると、フィルター6を交換していた。FIG. 3 shows an example of a conventional fluid treatment system using such a filter device. The fluid flows from the storage tank 14 into the filter container 9 by the pump 15,
After the treatment with the filter 6, the system accumulates in the treatment fluid tank 17. When the flow rate was reduced due to clogging of the filter 6, the filter 6 was replaced.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】上記の従来の方法で
は、不純物微粒子は容器に入った後はフィルターを通過
する以外に出口がない。このため、フィルターを通過で
きない粒径の大きい不純物はフィルターの外周部にたま
り、不純物の濃度の高い流体がフィルターに向かうこと
となり、フィルターは目詰まりを起こし易くなり、寿命
が短くなっていた。In the above-mentioned conventional method, after the impurity fine particles enter the container, there is no outlet except for passing through the filter. For this reason, impurities having a large particle size that cannot pass through the filter accumulate on the outer peripheral portion of the filter, and a fluid having a high impurity concentration is directed toward the filter, so that the filter is likely to be clogged and its life is shortened.
【0006】また、従来の方法では、フィルターが不純
物によって詰まると、フィルターの外周部の流体の圧力
が高くなり、フィルター表面に付着していた不純物をフ
ィルターの小口径の穴のなかに変形させて、無理に押し
込み、ますます目詰まりが助長する原因ともなってい
た。In the conventional method, when the filter is clogged with impurities, the pressure of the fluid on the outer periphery of the filter increases, and the impurities adhering to the filter surface are deformed into the small-diameter hole of the filter. , Forcibly pushed in, causing more and more clogging.
【0007】本発明は、上記課題を解決するための方法
として、流体をフィルターを通過させて、該流体中に混
在する所定径以上の微粒子を除去処理される不純物除去
方法において、上記フィルターにより処理されるべき流
体を、流入ノズルによりフィルター容器内に導入し、上
記流体を上記フィルターの面に対して垂直に流して上記
フィルターを通過させて処理し、処理された流体を流出
ノズルから流出させるとともに、上記フィルターを通過
する前の流体を、上記フィルターの表面に沿って流し
て、排出ノズルより排出するようにしたことを特徴とす
る流体中の不純物除去方法を提供する。The present invention provides, as a method for solving the above-mentioned problems, a method of removing impurities by passing a fluid through a filter and removing fine particles having a predetermined diameter or more mixed in the fluid. The fluid to be processed is introduced into the filter container by an inflow nozzle, the fluid flows perpendicularly to the face of the filter, passes through the filter and is processed, and the processed fluid flows out of the outflow nozzle. A method for removing impurities in a fluid, characterized in that the fluid before passing through the filter is caused to flow along the surface of the filter and discharged from a discharge nozzle.
【0008】さらに、本発明は、上記課題を解決するた
めの装置として、液体や気体のような流体を通し、その
なかに混在する所定径以上の微粒子を除去するフィルタ
ー、及び該フィルターを格納するフィルター容器から成
るフィルター装置であって、上記フィルターにより処理
されるべき流体がフィルター容器内に流入するための流
入ノズルと、上記フィルターを通過して処理された流体
の流出する流出ノズルと、上記フィルターを通過する前
の流体を排出する排出ノズルとを具備し、上記流体が、
上記フィルターを通過するために上記フィルターの面に
対して垂直に流れるだけでなく、上記排出ノズルの方向
に上記フィルターの表面に沿って流れるようにしたこと
を特徴とするフィルター装置を提供する。Further, according to the present invention, as an apparatus for solving the above-mentioned problem, a filter for passing a fluid such as a liquid or gas and removing fine particles having a predetermined diameter or more mixed therein, and storing the filter. A filter device comprising a filter container, an inflow nozzle through which a fluid to be processed by the filter flows into the filter container, an outflow nozzle through which the processed fluid flows out through the filter, and the filter And a discharge nozzle for discharging the fluid before passing through, the fluid,
A filter device characterized in that it flows not only perpendicularly to the surface of the filter to pass through the filter, but also flows along the surface of the filter in the direction of the discharge nozzle.
【0009】[0009]
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面を参照
にして説明する。図4及び図5は本発明のフィルター装
置18を示す図である。図5に示すように、フィルター
容器9の底部にフィルターを嵩上げする台12を置き、
フィルター容器9の底部分に排出ノズル13を設けてい
る。Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 4 and 5 are views showing a filter device 18 of the present invention. As shown in FIG. 5, a table 12 for raising the filter is placed at the bottom of the filter container 9,
A discharge nozzle 13 is provided at the bottom of the filter container 9.
【0010】これにより、図4、図5に示すように、流
入ノズル7からフィルター容器9内に流入した流体は、
排出ノズル13の方向に向かって流れ、フィルター6の
表面に沿って流れていく。従って、フィルター6を透過
しないフィルターの孔より大径の粒子4(本発明でいう
不純物)が、フィルター6の外周部に溜まるようなこと
が防止され、フィルター性能の低下が防止され、フィル
ター6の寿命が向上する。Accordingly, as shown in FIGS. 4 and 5, the fluid flowing into the filter container 9 from the inflow nozzle 7 is
It flows in the direction of the discharge nozzle 13 and flows along the surface of the filter 6. Therefore, particles 4 (impurities in the present invention) having a larger diameter than the pores of the filter that do not pass through the filter 6 are prevented from accumulating on the outer peripheral portion of the filter 6, and a decrease in filter performance is prevented. The life is improved.
【0011】即ち、フィルター容器9に排出ノズル13
を設けるとで、フィルター6を透過しない不純物は、排
出流体3とともに下方向に流れ、排出ノズル13から出
ていく。これにより、フィルター6の外周部の不純物の
濃度は流入する流体の不純物濃度とほぼ同じになる。That is, the discharge nozzle 13 is provided in the filter container 9.
Is provided, impurities that do not pass through the filter 6 flow downward together with the discharge fluid 3 and exit from the discharge nozzle 13. As a result, the impurity concentration at the outer peripheral portion of the filter 6 becomes substantially the same as the impurity concentration of the flowing fluid.
【0012】このため、不純物が高濃度にならないの
で、従来の方法よりフィルターの目詰まりは防止され、
その寿命は長くなる。フィルター6の外周部10の圧力
は、排出ノズル13からの配管の抵抗と排出流体の流速
で決まるので、排出流量を十分にとることでフィルター
6が目詰まりしたときでも、圧力の上昇を低く抑えるこ
とができる。For this reason, since the concentration of impurities does not become high, clogging of the filter is prevented as compared with the conventional method.
Its life will be prolonged. Since the pressure of the outer peripheral portion 10 of the filter 6 is determined by the resistance of the pipe from the discharge nozzle 13 and the flow velocity of the discharge fluid, a sufficient discharge flow rate is used to suppress a rise in pressure even when the filter 6 is clogged. be able to.
【0013】図6に本発明のフィルター装置を利用した
システムを示す。流体は、フィルター装置18から処理
流体タンク17と不純物流体タンク19へと別れて溜ま
る。このシステムにおいて、フィルター装置18と処理
流体タンク17の間にポンプを追加すれば、流体貯蔵タ
ンク14への配管を閉じ、処理流体タンク17から処理
流体タンク19へ流体を逆流させて、フィルター18に
付着した不純物を取り除くこともできる。FIG. 6 shows a system using the filter device of the present invention. The fluid accumulates separately from the filter device 18 into the processing fluid tank 17 and the impurity fluid tank 19. In this system, if a pump is added between the filter device 18 and the processing fluid tank 17, the piping to the fluid storage tank 14 is closed, and the fluid flows back from the processing fluid tank 17 to the processing fluid tank 19, The attached impurities can be removed.
【0014】処理すべき流体の量に比べて流体貯蔵タン
ク14の量が大きい場合、流体を流体貯蔵タンクに戻し
てもタンク内の不純物濃度が変わらないので、図7に示
すように、フィルター装置18から流体貯蔵タンク14
へ配管を設けることにより、流体を流体貯蔵タンクに戻
せるようなシステムとすることもできる。If the amount of the fluid storage tank 14 is larger than the amount of the fluid to be treated, the concentration of impurities in the tank does not change even if the fluid is returned to the fluid storage tank. 18 to fluid storage tank 14
By providing a pipe, a system capable of returning a fluid to the fluid storage tank can be provided.
【0015】図8に示すように、水道の蛇口20のよう
に、貯蔵タンクのない場合でも、雑用水タンク21を設
けることで、本発明のフィルター装置18を使用でき
る。As shown in FIG. 8, the filter device 18 of the present invention can be used by providing a miscellaneous water tank 21 even when there is no storage tank like a water tap 20.
【0016】なお、以上の説明では、フィルターにより
濾過される流体として液体で説明したが、フィルターに
より濾過される流体は液体でなくても気体でもよい。例
えば、流体を空気として、大気からの空気をフィルター
装置により濾過して、濾過された空気をクリーンルーム
に採り入れるようなシステムにおいて、本発明のフィル
ターを適用してもよいことは言うまでもない。In the above description, the fluid to be filtered by the filter is described as a liquid, but the fluid to be filtered by the filter may be a gas instead of a liquid. For example, it goes without saying that the filter of the present invention may be applied to a system in which air from the atmosphere is filtered by a filter device, and the filtered air is taken into a clean room.
【0017】[0017]
【発明の効果】以上説明したように、フィルター容器に
排出ノズルを付けることで、フィルターで処理できる流
体の量が、従来の流入、流出ノズルだけの場合に比べて
多くなる。さらに、フィルターが目詰まりしたときの容
器の圧力上昇も低くすることができ、容器からの流体が
漏れるといった危険性も少なくなる。これらの効果によ
って、本発明のフィルター装置の需要は大きいと考えら
れる。As described above, by attaching the discharge nozzle to the filter container, the amount of fluid that can be processed by the filter can be increased as compared with the conventional case where only the inflow and outflow nozzles are used. Further, the pressure rise in the container when the filter is clogged can be reduced, and the danger of fluid leaking from the container is reduced. Due to these effects, it is considered that the demand for the filter device of the present invention is great.
【図1】従来のフィルターでの不純物の除去方法を示す
図である。FIG. 1 is a view showing a conventional method for removing impurities by a filter.
【図2】従来のフィルター装置を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a conventional filter device.
【図3】従来のフィルター装置を利用した流体の不純物
除去システムを示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a system for removing impurities from a fluid using a conventional filter device.
【図4】本発明のフィルターでの不純物の除去方法を示
す図である。FIG. 4 is a view showing a method of removing impurities by a filter according to the present invention.
【図5】本発明の従来のフィルター装置を示す断面図で
ある。FIG. 5 is a sectional view showing a conventional filter device of the present invention.
【図6】本発明のフィルター装置を利用した流体の不純
物除去システムを示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a system for removing impurities from a fluid using the filter device of the present invention.
【図7】本発明のフィルター装置を利用した流体の不純
物除去システムの変形例を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a modification of the system for removing impurities from fluid using the filter device of the present invention.
【図8】本発明のフィルター装置を利用した流体の不純
物除去システムのさらに別の変形例を示す図である。FIG. 8 is a view showing still another modified example of the system for removing impurities from a fluid using the filter device of the present invention.
1 流入流体 2 流出流体 3 排出流体 4 不純物微粒子 5 透過粒子 6 フィルター 7 流入ノズル 8 流出ノズル 13 排出ノズル 14 貯蔵タンク 15 ポンプ 16 従来のフィルター装置 17 処理流体タンク 18 フィルター装置 19 不純物流体タンク 20 水道蛇口 21 雑用水タンク DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inflow fluid 2 Outflow fluid 3 Discharge fluid 4 Impurity fine particles 5 Permeable particles 6 Filter 7 Inflow nozzle 8 Outflow nozzle 13 Discharge nozzle 14 Storage tank 15 Pump 16 Conventional filter device 17 Processing fluid tank 18 Filter device 19 Impurity fluid tank 20 Water tap 21 Miscellaneous water tank
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成11年4月5日[Submission date] April 5, 1999
【手続補正1】[Procedure amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】特許請求の範囲[Correction target item name] Claims
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【特許請求の範囲】[Claims]
【手続補正2】[Procedure amendment 2]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】0007[Correction target item name] 0007
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【0007】 本発明は、上記課題を解決するための
方法として、流体をフィルターを通過させて、該流体中
に混在する上記フィルターの孔より大径の微粒子を除去
処理する不純物除去方法において、上記フィルターによ
り処理されるべき流体を、流入ノズルによりフィルター
容器内に導入し、上記流体を上記フィルターの面に対し
て垂直に通過させて処理するために、フィルター容器へ
の流入方向と逆方向に処理された流体を流出させるとと
もに、上記フィルターを通過する前の流体を、該フィル
ターの表面に沿って流すために、フィルター容器への流
入方向と同方向に処理前の流体を排出するようにしたこ
とを特徴とする流体中の不純物除去方法を提供する。[0007] The present invention, as a method for solving the above problems, the fluid is passed through a filter, in the impurity removal process for removing handles large-diameter particles from the pores of the filter to be mixed in the fluid, the The fluid to be treated by the filter is introduced into the filter vessel by an inflow nozzle and passed to the filter vessel for processing by passing the fluid perpendicular to the face of the filter.
And let the processed fluid flow out in the opposite direction to the inflow direction.
The fluid before passing through the filter is
Flow to the filter vessel to flow along the surface of the filter
A method for removing impurities in a fluid, characterized in that the fluid before processing is discharged in the same direction as the entering direction .
【手続補正3】[Procedure amendment 3]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】0008[Correction target item name] 0008
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【0008】 さらに、本発明は、上記課題を解決す
るための装置として、 液体や気体のような流体を通
し、該流体中に混在し、フィルター孔より大径の微粒子
を除去するフィルター、および該フィルターを格納する
フィルター容器からなるフィルター装置であって、上記
フィルターにより処理されるべき流体がフィルター容器
内に流入するための流入ノズルと、上記フィルターを通
過して処理された流体をフィルター容器への流入方向と
逆方向に流すための流出ノズルと、上記フィルターを通
過する前の流体をフィルター容器への流入方向と同方向
に流すための排出ノズルとを具備し、上記流体が、上記
フィルターを通過するときは該フィルターの面に対して
垂直に流れ、上記フィルターを通過しないときは上記排
出ノズルの方向に上記フィルターの表面に沿って流れる
ようにしたことを特徴とするフィルター装置を提供す
る。Further, the present invention provides, as an apparatus for solving the above-mentioned problems , a filter which passes a fluid such as a liquid or a gas, and which is mixed in the fluid and removes fine particles having a larger diameter than a filter hole. A filter device comprising a filter container for storing a filter, wherein an inflow nozzle for a fluid to be treated by the filter to flow into the filter container, and a fluid processed through the filter to the filter container. Inflow direction and
An outflow nozzle for flowing in the opposite direction, and the same direction as the inflow direction of the fluid before passing through the filter into the filter container
And a discharge nozzle for flowing the fluid to the filter when the fluid passes through the filter.
A filter device characterized in that it flows vertically and flows along the surface of the filter in the direction of the discharge nozzle when not passing through the filter.
Claims (2)
に混在する所定径以上の微粒子を除去処理される不純物
除去方法において、 上記フィルターにより処理されるべき流体を、流入ノズ
ルによりフィルター容器内に導入し、 上記流体を上記フィルターの面に対して垂直に流して上
記フィルターを通過させて処理し、 処理された流体を流出ノズルから流出させるとともに、 上記フィルターを通過する前の流体を、上記フィルター
の表面に沿って流して、排出ノズルより排出するように
したことを特徴とする流体中の不純物除去方法。In an impurity removing method, a fluid is passed through a filter to remove fine particles having a predetermined diameter or more mixed in the fluid, wherein the fluid to be treated by the filter is placed in a filter container by an inflow nozzle. The fluid flows perpendicularly to the surface of the filter, passes through the filter and is processed, and the processed fluid flows out of the outlet nozzle, and the fluid before passing through the filter is A method for removing impurities in a fluid, comprising flowing along a surface of a filter and discharging from a discharge nozzle.
に混在する所定径以上の微粒子を除去するフィルター、
及び該フィルターを格納するフィルター容器から成るフ
ィルター装置であって、 上記フィルターにより処理されるべき流体がフィルター
容器内に流入するための流入ノズルと、 上記フィルターを通過して処理された流体の流出する流
出ノズルと、 上記フィルターを通過する前の流体を排出する排出ノズ
ルとを具備し、 上記流体が、上記フィルターを通過するために上記フィ
ルターの面に対して垂直に流れるだけでなく、上記排出
ノズルの方向に上記フィルターの表面に沿って流れるよ
うにしたことを特徴とするフィルター装置。2. A filter for passing a fluid such as a liquid or a gas and removing fine particles having a predetermined diameter or more mixed therein.
And a filter container that stores the filter, comprising: an inflow nozzle through which a fluid to be treated by the filter flows into the filter container; and an outflow of the treated fluid passing through the filter. An outlet nozzle, and a discharge nozzle for discharging a fluid before passing through the filter, wherein the fluid flows not only perpendicularly to a surface of the filter to pass through the filter, but also the discharge nozzle. Characterized in that it flows along the surface of the filter in the direction of.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10099412A JPH11290618A (en) | 1998-04-10 | 1998-04-10 | Method for removing impurity and filter device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10099412A JPH11290618A (en) | 1998-04-10 | 1998-04-10 | Method for removing impurity and filter device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11290618A true JPH11290618A (en) | 1999-10-26 |
Family
ID=14246775
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10099412A Pending JPH11290618A (en) | 1998-04-10 | 1998-04-10 | Method for removing impurity and filter device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11290618A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015106656A (en) * | 2013-11-29 | 2015-06-08 | 東京エレクトロン株式会社 | Filter device |
JP2015211958A (en) * | 2014-04-25 | 2015-11-26 | ポール・コーポレーションPallCorporation | Device for removing entrained catalyst particulate from gas |
-
1998
- 1998-04-10 JP JP10099412A patent/JPH11290618A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015106656A (en) * | 2013-11-29 | 2015-06-08 | 東京エレクトロン株式会社 | Filter device |
JP2015211958A (en) * | 2014-04-25 | 2015-11-26 | ポール・コーポレーションPallCorporation | Device for removing entrained catalyst particulate from gas |
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