JPH11287214A - シリンダ装置 - Google Patents

シリンダ装置

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JPH11287214A
JPH11287214A JP10415098A JP10415098A JPH11287214A JP H11287214 A JPH11287214 A JP H11287214A JP 10415098 A JP10415098 A JP 10415098A JP 10415098 A JP10415098 A JP 10415098A JP H11287214 A JPH11287214 A JP H11287214A
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JP
Japan
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holding bar
probe
cylinder
fixed
magnet
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JP10415098A
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English (en)
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Koji Mihashi
浩司 三橋
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KYB Corp
Original Assignee
Kayaba Industry Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 シリンダのストロークが長い場合でも、装置
全体を小さくできるセンサーを備えたシリンダ装置を提
供すること。 【解決手段】 ピストン12およびピストンロッド13
にシリンダ11のボトム14側から形成するとともに軸
線方向に延びるガイド孔15と、シリンダのボトム側に
固定したセンサー31と、このセンサーから突出させる
とともにガイド孔に挿入したプローブ32と、ガイド孔
に挿入するとともに一端をシリンダのボトム側に固定し
てプローブを保持する保持バー23と、保持バーをピス
トンに対して摺動自在に支持する軸受bと、この軸受に
固定したマグネット35とを備え、保持バーには、軸線
方向の溝部29を形成するとともに、溝部に非磁性体か
らなるプローブガイド33を設け、プローブガイドを介
してプローブを保持バーに固定するとともに、保持バー
の溝部内にマグネットを臨ませている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、ピストンのスト
ローク位置を検出するセンサーを備えたシリンダ装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】図5に示した従来のシリンダ装置は、シ
リンダ1に、ピストン2を摺動自在に組み込むととも
に、このピストン2とそのピストンロッド3とにガイド
孔4を軸線方向に形成している。そして、このガイド孔
4の内周にマグネットホルダー5を固定し、このマグネ
ットホルダー5の内周にマグネット6を固定している。
また、シリンダ1の図中右側には、ボトムカバー7を固
定するとともに、このボトムカバー7に設けた保護パイ
プ8を、上記ガイド孔4に挿入している。この保護パイ
プ8の内部には、ボトムカバー7に固定したセンサー9
のプローブ10を挿入している。そして、このプローブ
10によって、マグネット6の磁力を検出し、この検出
した位置からピストン2のストローク位置を特定してい
る。
【0003】上記のように、ガイド孔4とプローブ10
との間に保護パイプ8を設けたのは、プローブ10が、
ガイド孔4に接触しないようにするためである。例え
ば、ストロークの長いシリンダ装置に、保護パイプ8を
設けずに、プローブ10を直接ガイド孔4に挿入する
と、このプローブ10がどうしてもたわんでしまう。プ
ローブ10がたわめば、当然のこととしてその先端がガ
イド孔4に接触する。このようにプローブ10の先端が
接触した状態でピストンが図中右方向に移動すると、プ
ローブ10とガイド孔4との摩擦によって、プローブ1
0に曲げ応力が作用する。そのため、プローブ10が折
れ曲がったり、壊れてしまったりすることがあった。保
護パイプ8は、プローブ10の折れ曲がりや、破壊を防
止するために設けたものである。そして、この保護パイ
プ8も、ガイド孔4に接触しないようにガイド孔4との
間に間隔を開けて設けるとともに、ストロークが長い場
合でもたわまないようにその剛性を高めている。また、
この保護パイプ8は、マグネット6の磁力をプローブ1
0が検出する際に、悪影響を与えないように非磁性体で
構成している。
【0004】このようにしたシリンダ装置は、ピストン
2が移動したとき、センサー9がこの移動したピストン
2に固定したマグネット6の磁力をプローブ10によっ
て検出する。そして、その検出位置に応じた信号を図示
していないコントローラなどに出力する。コントローラ
は、この信号に基づいて、ピストンの移動を停止させた
り、あるいは他の機器を制御したりする。なお、上記の
ようにピストン2が移動すると、マグネットホルダー5
が滑り軸受として機能する。したがって、保護パイプ8
は、マグネットホルダー5とボトムカバー7との2点で
支持される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のシリンダ装
置では、シリンダのストロークが長い場合に、それに応
じて保護パイプ8の剛性を高めなければ、それがたわん
でしまう。保護パイプ8のたわみが大きくなると、ガイ
ド孔4との接触によって、保護パイプ8自体が破壊され
ることがあった。保護パイプ8が破壊されてしまえば、
プローブ10が露出するので、このプローブ10も折れ
曲がったり破壊されたりしてしまう。このようなことを
防ぐためには、保護パイプ8の剛性を高めなければなら
ない。しかし、剛性を高めるためには、保護パイプ8の
肉厚を増やしたり、その径を大きくしたりしなければな
らない。ところが、保護パイプ8の肉厚を増やしたり、
その径を大きくしたりすると、マグネット6とプローブ
10との間が離れてしまうので、今度は、検出精度が悪
くなってしまう。したがって、この検出精度の悪化を防
ぐために、マグネット6の磁力を強くしなければならな
い。
【0006】しかし、上記のようにマグネット6の磁力
を強くするには、マグネット6を大型化せざるを得な
い。マグネット6が大型化すれば、それを固定するため
のマグネットホルダー5なども大きくなり、これらを組
み込むためのスペースが必要になる。いずれにしても、
シリンダのストロークが長くなると、保護パイプ8の剛
性を高めるために径を大きくしたり、マグネット6を大
型化したりしなければならないので、装置全体も大型化
するという問題があった。
【0007】一方、ピストン2のストロークが長くなる
と、保護パイプ8がピストン2とボトムカバー7との間
でたわんでしまう。このように保護パイプ8がたわむ
と、この保護パイプ8とマグネットホルダー5との間で
かじりを生じることがある。かじりが生じた状態でピス
トン2が移動すると、保護パイプ8に無理な力がかか
り、それが曲げられたりするので、保護パイプ8が破壊
されるということがあった。このように保護パイプ8が
破壊されれば、プローブ10がガイド孔4に露出するの
で、このプローブ10も破壊されるという問題があっ
た。
【0008】また、上記のように保護パイプ8がたわむ
と、そのたわみによる応力がマグネットホルダー5付近
に集中する。そのため、この保護パイプ8が、その応力
の集中するマグネットホルダー5付近で破壊されること
がある。このように保護パイプ8が破壊されれば、プロ
ーブ10も破壊されるという問題があった。この発明の
目的は、シリンダのストロークが長い場合でも、装置全
体を小さくでき、かつ、プローブが破壊されたりしない
シリンダ装置を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】この発明は、シリンダ
と、シリンダ内に摺動自在に設けたピストンと、ピスト
ンに固定したピストンロッドと、ピストンおよびピスト
ンロッドに形成するとともにシリンダのボトム側から軸
線方向に延びるガイド孔と、シリンダのボトム側に固定
したセンサーと、このセンサーに接続するとともに上記
ガイド孔に挿入したプローブと、ガイド孔に挿入すると
ともに一端をシリンダのボトム側に固定して、上記プロ
ーブを保持する保持バーと、ピストン側に設け、かつ、
保持バーを摺動自在に支持する軸受と、この軸受に固定
したマグネットとを備え、軸受で支持された上記保持バ
ーは、ガイド孔に対して隙間を形成する構成にして、こ
の保持バーに保持されるプローブを、ガイド孔に対して
非接触の状態に保つ一方、プローブは、マグネットの磁
力を感知するとともに、マグネットとの相対位置によっ
てピストンのストローク位置を特定するシリンダ装置を
前提にするものである。
【0010】第1の発明は、上記の装置を前提にしつ
つ、保持バーには、その軸線方向に溝部を形成するとと
もに、この溝部に非磁性体からなるプローブガイドを設
け、このプローブガイドを介して上記プローブを保持バ
ーに固定する一方、保持バーの溝部内に、上記マグネッ
トを臨ませた点に特徴を有する。第2の発明は、マグネ
ットに溝部を形成し、この溝部にセンサーのプローブを
くぐらせた点に特徴を有する。
【0011】第3の発明は、軸受は、保持バーの外周に
設けた筒部材と、この筒部材と保持バーとの間に介在さ
せたボールと、筒部材の外周に固定した球面部材と、こ
の球面部材を回動自在にはめ込むとともにピストンに固
定した球面受け筒とから構成した点に特徴を有する。第
4の発明は、筒部材に、マグネットを固定した点に特徴
を有する。第5の発明は、軸受にブラケットを固定する
とともに、このブラケットをシリンダのボトム側に固定
した保持バーの溝部内に挿入し、ブラケットと溝部との
間にスペーサーを設け、このスペーサーを介してブラケ
ットと溝部とを摺動自在に接触させた点に特徴を有す
る。
【0012】
【発明の実施の形態】図1、2に基づいてこの発明の第
1実施例を説明する。シリンダ11内には、ピストン1
2を摺動自在に組み込むとともに、このピストン12に
ピストンロッド13を設けている。ピストン12および
ピストンロッド13には、シリンダ11のボトム14側
から軸線方向に延びるガイド孔15を形成している。こ
のガイド孔15は、シリンダ12のボトム14に向かっ
てその径を段階的に大きくし、これら拡径した部分を第
1拡径部15a、第2拡径部15b、第3拡径部15c
としている。
【0013】上記のようにしたピストン12のガイド孔
15内には、軸受bを設けている。この軸受bは、筒部
材16、球面部材17、球面受け筒18およびボール1
9からなり、筒部材16の外周に球面部材17を固定す
るとともに、この球面部材17を球面受け筒18に回動
自在にはめ込んでいる。そして、球面受け筒18を第2
拡径部15bにはめ込むとともに、それを第2拡径部1
5bと第1拡径部15aとの境目に形成した段部20
と、第3拡径部15cに設けたプレート21との間に挟
んで固定している。なお、上記プレート21は、ピスト
ン12にボルト22で固定されている。
【0014】上記筒部材16内には、保持バー23を挿
入するとともに、この保持バー23と筒部材16との間
に複数のボール19を介在させている。そして、これら
ボール19を、図2に示すように、保持バー23の周囲
4カ所に設けている。このようにして、保持バー23を
筒部材16に対して滑らかに、かつ、安定した状態で支
持するようにしている。また、筒部材16は、上記した
ようにピストン12に対して回動自在に支持されている
ので、保持バー23が傾くと、その傾きに合わせて回動
するようになっている。
【0015】上記保持バー23は、その一端をバー固定
部材24に固定し、このバー固定部材24は、ボルト2
5によってセンサー固定部材26に固定されている。そ
して、このセンサー固定部材26を、ボルト27によっ
てシリンダ11のボトム14側に固定している。したが
って、保持バー23は、シリンダ11とピストン12と
の2カ所で支えられることになる。このようにした保持
バー23は、シリンダ11に作用する振動などで簡単に
たわんだりしないだけの剛性を備えている。そして、こ
の保持バー23は、上記のように支持された状態で、ガ
イド孔15との間に隙間28を形成するようにしてい
る。
【0016】また、保持バー23には、軸線方向に溝部
29を形成するとともに、この溝部29の基端側には連
続する貫通孔30を形成している。この貫通孔30は、
上記のように保持バー23をシリンダ11のボトム14
側に固定したときに、バー固定部材24に形成した貫通
孔24aとセンサー固定部材26に形成した貫通孔26
aとに一致するようにしている。
【0017】一方、センサー固定部材26には、センサ
ー31を固定している。このセンサー31には、プロー
ブ32を設け、このプローブ32を上記一致させた貫通
孔30、24a、26aを介して保持バー23の溝部2
9側に導いている。このように溝部29内に導いたプロ
ーブ32を、以下のようにして保持バー23に固定して
いる。すなわち、保持バー23の溝部29内には、軸線
方向に非磁性体からなるプローブガイド33を固定して
いる。このプローブガイド33は、その先端に孔33a
を形成するとともに、この孔33aから連続させて凹部
33bをシリンダ11のボトム14側に向かって形成し
ている。そして、このプローブガイド33の凹部33b
に上記プローブ32を沿わせ、その先端を孔33aに挿
入している。なお、上記のようにプローブガイド33を
非磁性体で構成したのは、プローブ32の磁力検出に悪
影響を与えないためである。
【0018】上記筒部材16には、ブラケット34を固
定し、このブラケット34にマグネット35を固定して
いる。そして、このマグネット35を、保持バー23に
形成した溝部29内に臨ませてプローブ32に対向させ
ている。しかも、このマグネット35の対向面側には、
図2に示すように溝部36を軸線方向に形成し、この溝
部36にプローブ32をくぐらせている。このようにす
れば、プローブ32の周りをマグネット35で囲むこと
になるので、プローブ32の検出精度が向上する。
【0019】上記のようにしたシリンダ装置は、ピスト
ン12が移動すると、筒部材16側に固定したマグネッ
ト35も一体となって移動する。センサー31は、この
移動したマグネット35の磁力をプローブ32によって
検出し、この検出した位置からピストン12のストロー
ク位置を特定する。
【0020】この第1実施例によれば、センサー31の
プローブ32を、保持バー23の溝部29に設けるとと
もに、この溝部29にマグネット35を臨ませる構成に
しているので、保持バー23の径や肉厚に係わらず、マ
グネット35をプローブ32に近づけることができる。
このようにマグネット35をプローブ32に近づけるこ
とができれば、磁力の強い大型のマグネットを用いなく
てもプローブ32がマグネット35の磁力を検出するこ
とができる。したがって、その分、マグネット35を小
型化でき、装置全体もコンパクトにできる。また、プロ
ーブ32の周囲をマグネット35で囲んでいるので、よ
り検出精度を高めることができる。
【0021】一方、ピストン12のストロークが長くな
ればなるほど、保持バー23を支持する2点間の距離が
長くなる。このように2点間の距離が長くなると、当然
のこととして保持バー23がたわんでしまう。保持バー
23がたわむと、筒部材16内における保持バー23の
軸中心も傾いてしまう。このとき、筒部材16および球
面部材17が回動するので、軸受bの軸中心と保持バー
23の軸中心と常に一致する。上記のように保持バー2
3がたわんでも、保持バー23と軸受bとの軸中心が常
に一致するので、両者の間でかじり現象など一切発生し
ない。しかも、上記軸受bには、ボール19を設け、こ
のボール19で保持バー23の滑りをよくしているの
で、上記軸受bの回動と相まって、かじり現象をより確
実に防止できる。
【0022】また、保持バー23と軸受bとの軸中心が
常に一致しているので、たとえ保持バー23がたわんだ
としても、軸受b部分における保持バー23に応力が集
中したりしない。したがって、従来のように、応力の集
中が原因で保持バー23が破壊されたりしない。さら
に、この保持バー23に沿って回動する筒部材16にマ
グネット35を固定しているので、このように保持バー
23がたわんだとしても、マグネット35とプローブ3
2との間隔が常に一定に保たれる。このように両者の間
隔が一定に保たれるので、検出精度を安定させることが
できる。
【0023】なお、シリンダ11の内面は高い精度寸法
を必要とするため、切削加工によって形成している。と
ころが、上記のように切削加工すると、シリンダ11の
内面にバイトなどによる螺旋状の削り跡がどうしても残
ってしまう。この削り跡は、それこそミクロン単位のご
く僅かなものであるが、このようなシリンダ11内をピ
ストン12が移動すると、上記削り跡によってピストン
12が回転してしまうことがある。しかし、この第1実
施例では、球面部材17と球面受け筒18とを回動自在
にしているので、ピストン12が回転したとしても、シ
リンダ11と筒部材16との相対位置は変わらない。し
たがって、ピストン12が回転したとしても、筒部材1
6にブラケット34を介して固定したマグネット35
が、保持バー23に形成した溝部29に当たったりせ
ず、それが破壊されたりしない。
【0024】また、球面部材17と球面受け筒18との
滑りが極端に悪い場合には、筒部材16がピストン12
に追従して回転し、マグネット35が保持バー23の溝
部29に当たってしまうことが考えられる。この問題を
解決したのが図3、4に示した第2実施例である。この
第2実施例は、筒部材16にブラケット37を設け、こ
のブラケット37の脚部37aを保持バー23の溝部2
9内に挿入している。そして、このブラケット37の脚
部37aに、スペーサー38を固定するとともに、この
スペーサー38を溝部29に対して摺動自在に接触させ
ている。その他の構成は上記第1実施例と全く同じであ
る。
【0025】この第2実施例によれば、球面部材17と
球面受け筒18との滑りが極端に悪い場合でも、ブラケ
ット37とスペーサー38とを介して保持バー23と筒
部材16との相対回転が規制されるので、マグネット3
5が保持バー23にぶつかったりしない。したがって、
マグネット35の破壊を確実に防止できる。
【0026】
【発明の効果】第1の発明によれば、保持バーに形成し
た溝部にセンサーのプローブを設けるとともに、この溝
部にマグネットを臨ませる構成にしたので、保持バーの
径や肉厚にかかわらずマグネットをプローブに近づける
ことができる。このようにマグネットを近づけることが
できれば、磁力の強い大型のマグネットを用いなくても
プローブが十分マグネットの磁力を検出できる。したが
って、その分、マグネットを小型化でき、装置全体もコ
ンパクトにできる。第2の発明によれば、マグネットに
溝部を形成し、このマグネットでプローブの周囲を囲む
ようにしたので、センサーの検出精度をより高くするこ
とができる。
【0027】第3の発明によれば、保持バーを支持する
筒部材を回動自在にしているので、保持バーがたわんだ
としても、筒部材が回動してその軸中心と保持バーの軸
中心とが常に一致する。このように保持バーがたわんで
も筒部材と保持バーとの軸中心が常に一致しているの
で、両者の間でかじり現象など一切発生しない。しか
も、上記筒部材と保持バーとの間には、ボールを設け、
このボールで保持バーの滑りをよくしているので、上記
筒部材の回動と相まって、かじり現象をより確実に防止
できる。
【0028】また、保持バーと筒部材との軸中心が常に
一致しているので、たとえ保持バーがたわんだとして
も、筒部材部分における保持バーに応力が集中したりし
ない。したがって、従来のように、応力の集中が原因で
保持バーが破壊されたりしない。つまり、この第3の発
明によれば、かじりや応力の集中が原因で保持バーが破
壊されるのを防止できる。したがって、プローブ32が
破壊されたりしない。
【0029】第4の発明によれば、この保持バーに沿っ
て回動する筒部材にマグネットを固定しているので、保
持バーがたわんだとしても、マグネットとプローブとの
間隔が常に一定に保たれる。このように両者の間隔が一
定に保たれるので、検出精度を安定させることができ
る。第5の発明によれば、スペーサーによって軸受部材
と保持バーとの相対回転を規制できるので、軸受部材に
固定したマグネットが保持バーに当たったりしない。し
たがって、マグネットが壊れたりしない。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施例の装置の断面図である。
【図2】図1のII−II線断面図である。
【図3】第2実施例の装置の断面図である。
【図4】図3のIV−IV線断面図である。
【図5】従来例の装置の断面図である。
【符号の説明】
b 軸受 11 シリンダ 12 ピストン 13 ピストンロッド 14 ボトム 15 ガイド孔 16 筒部材 17 球面部材 18 球面受け筒 19 ボール 23 保持バー 28 隙間 29 溝部 31 センサー 32 プローブ 33 プローブガイド 35 マグネット 36 溝部 37 ブラケット 38 スペーサー

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 シリンダと、シリンダ内に摺動自在に設
    けたピストンと、ピストンに固定したピストンロッド
    と、ピストンおよびピストンロッドに形成するとともに
    シリンダのボトム側から軸線方向に延びるガイド孔と、
    シリンダのボトム側に固定したセンサーと、このセンサ
    ーに接続するとともに上記ガイド孔に挿入したプローブ
    と、ガイド孔に挿入するとともに一端をシリンダのボト
    ム側に固定して、上記プローブを保持する保持バーと、
    ピストン側に設け、かつ、保持バーを摺動自在に支持す
    る軸受と、この軸受に固定したマグネットとを備え、軸
    受で支持された上記保持バーは、ガイド孔に対して隙間
    を形成する構成にして、この保持バーに保持されるプロ
    ーブをガイド孔に対して非接触の状態に保つ一方、プロ
    ーブは、マグネットの磁力を感知するとともに、マグネ
    ットとの相対位置によってピストンのストローク位置を
    特定するシリンダ装置において、上記保持バーには、そ
    の軸線方向に溝部を形成するとともに、この溝部に非磁
    性体からなるプローブガイドを設け、このプローブガイ
    ドを介して上記プローブを保持バーに固定する一方、保
    持バーの溝部内に、上記マグネットを臨ませたことを特
    徴とするシリンダ装置。
  2. 【請求項2】 マグネットに溝部を形成し、この溝部に
    センサーのプローブをくぐらせてなることを特徴とする
    請求項1記載のシリンダ装置。
  3. 【請求項3】 軸受は、保持バーの外周に設けた筒部材
    と、この筒部材と保持バーとの間に介在させたボール
    と、筒部材の外周に固定した球面部材と、この球面部材
    を回動自在にはめ込むとともにピストンに固定した球面
    受け筒とから構成したことを特徴とする請求項1または
    2記載のシリンダ装置。
  4. 【請求項4】 筒部材に、マグネットを固定したことを
    特徴とする請求項3記載のシリンダ装置。
  5. 【請求項5】 軸受にブラケットを固定するとともに、
    このブラケットをシリンダのボトム側に固定した保持バ
    ーの溝部内に挿入し、ブラケットと溝部との間にスペー
    サーを設け、このスペーサーを介してブラケットと溝部
    とを摺動自在に接触させたことを特徴とする請求項1〜
    4のいずれか1に記載のシリンダ装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104132022A (zh) * 2014-07-30 2014-11-05 湖北三江航天万山特种车辆有限公司 一种简易伺服油缸
CN106015172A (zh) * 2016-07-18 2016-10-12 天津优瑞纳斯液压机械有限公司 一种耳环式液压缸位移传感器安装结构

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104132022A (zh) * 2014-07-30 2014-11-05 湖北三江航天万山特种车辆有限公司 一种简易伺服油缸
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