JPH11286628A - Method for preventing corrosion of oxide semiconductor - Google Patents

Method for preventing corrosion of oxide semiconductor

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JPH11286628A
JPH11286628A JP10089737A JP8973798A JPH11286628A JP H11286628 A JPH11286628 A JP H11286628A JP 10089737 A JP10089737 A JP 10089737A JP 8973798 A JP8973798 A JP 8973798A JP H11286628 A JPH11286628 A JP H11286628A
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JP
Japan
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resin
oxide semiconductor
film
forming agent
ion
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Application number
JP10089737A
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Japanese (ja)
Inventor
Hisakatsu Kawarai
久勝 瓦井
Seiichi Mitsumoto
誠一 光本
Tadao Nishimori
忠雄 西森
Toru Engawa
徹 爰河
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Advanced Display Inc
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Advanced Display Inc
Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a coating material which, when applied to the surface of a semiconductor, can prevent the surface from being corroded even when an electrolyte is formed thereon in e.g. a high-temperature environment by incorporating a film-forming agent with an ion exchange material. SOLUTION: This material comprises a film-forming agent desirably being one forming a hydrophilic film or one forming a hydrophobic film and an ion exchange material desirably being an ion exchange resin or an inorganic ion exchange substance. It is desirable that the film-forming agent which forms a hydrophilic film is a hydrophilic-group-containing acrylic, alkyd, melamine, urea, phenolic, epoxy, cellulose, urethane, polyacetal, polyvinyl alcohol, or vinyl chloride resin. It is desirable that the film-forming agent which forms a hydrophobic agent is a cellulose, alkyd, melamine, urea, vinyl chloride, butyral, aminoalkyd, acrylic, epoxy, unsaturated polyester, urethane, olefin, or vinyl acetate resin.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶やエレクトロ
ルミネッセンスなどの表示装置などに使用されているI
TO(Indium Tin Oxide)などの酸化物半導体について、
高湿度の環境、温度変化の激しい環境、海塩粒子や塩を
含む埃が付着しうる環境などにおいて、結露や塩の潮解
によって酸化物半導体の表面に電解液が形成しても、酸
化物半導体が腐食して抵抗増加や断線するのを防止する
方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display or an electroluminescence display device.
For oxide semiconductors such as TO (Indium Tin Oxide),
In high-humidity environments, environments with drastic temperature changes, or environments where sea salt particles or dust containing salt can adhere, even if the electrolyte forms on the surface of the oxide semiconductor due to condensation or salt deliquescence, The present invention relates to a method for preventing corrosion and wire breakage due to corrosion.

【0002】[0002]

【従来の技術】酸化物半導体は、酸化物であることから
化学的に安定であると考えられるが、大気環境で腐食す
ることが知られている。たとえば液晶表示装置の電極に
使用されているITOは腐食して断線を引き起こすが
(特開昭58−178325号公報)、この腐食の機構
については明らかではなかった。
2. Description of the Related Art An oxide semiconductor is considered to be chemically stable because it is an oxide, but it is known that it corrodes in an atmospheric environment. For example, ITO used for an electrode of a liquid crystal display device is corroded to cause disconnection (Japanese Patent Application Laid-Open No. 58-178325), but the mechanism of this corrosion was not clear.

【0003】そこで、本発明者らは、電圧が印加されて
いる酸化物半導体が電解液と接しているばあい、酸化物
半導体を流れる電流が電解液にも流れ、電解液から酸化
物半導体に電流が流入する部分(カソード部)で、酸化
物半導体が電気化学反応により還元されて腐食すること
を明らかにした(第42回腐食防食討論会講演集、腐食
防食協会編、D−203S)。
[0003] Therefore, the present inventors have found that when an oxide semiconductor to which a voltage is applied is in contact with an electrolytic solution, a current flowing through the oxide semiconductor also flows into the electrolytic solution, and the current flows from the electrolytic solution to the oxide semiconductor. It has been clarified that the oxide semiconductor is reduced by an electrochemical reaction and corrodes at a portion where a current flows (cathode portion) (42nd Corrosion Prevention Symposium, Corrosion Prevention Society, D-203S).

【0004】ここで、電圧を印加したATO(Antimony
doped Tin Oxide)の表面に電解液(0.1N−Na2
SO4水溶液)を滴下したばあいのATOの腐食機構に
ついて図7を用いて説明する。図7はATOの腐食機構
を説明するための模式図である。図7において、20は
電源、21はAg陽極、22はAg陰極、23はAT
O、24はガラス基板、25は0.1N−Na2SO4
溶液の液滴、26の矢印は電流の流れ、27はアノード
部、28はカソード部、29は液滴の移動幅、30はA
TOの腐食部分である。図7中、腐食機構の理解のため
に液滴25は実際よりも大きく記載しているが、液滴2
5の大きさ(直径)は約3mmである。
Here, ATO (Antimony
Electrolyte (0.1N-Na 2 ) on the surface of doped Tin Oxide
The mechanism of corrosion of ATO when (SO 4 aqueous solution) is dropped will be described with reference to FIG. FIG. 7 is a schematic diagram for explaining the corrosion mechanism of ATO. 7, reference numeral 20 denotes a power source, 21 denotes an Ag anode, 22 denotes an Ag cathode, and 23 denotes an AT.
O, 24 glass substrate, 25 is a droplet of 0.1N-Na 2 SO 4 aqueous solution, 26 arrow current flow, 27 is an anode section, 28 the cathode portion, 29 moves width of the droplet 30 A
This is the corroded part of TO. In FIG. 7, the droplet 25 is shown larger than the actual one for understanding the corrosion mechanism.
The size (diameter) of 5 is about 3 mm.

【0005】つぎに、図7にしたがってATOの腐食機
構について説明する。
Next, the corrosion mechanism of ATO will be described with reference to FIG.

【0006】図7の(a)に示すATOの腐食機構の第
一段階においては、Ag電極間に直流電流を印加する
と、電気毛管現象(表面張力がATOの電極電位によっ
て変化する現象)と推定される現象によりガラス基板上
において液滴の端部がAg陰極に向かって移動し、半楕
円状の液滴の形状が歪む。そして図7の(b)に示すA
TOの腐食機構の第二段階において、Ag陰極に向かう
歪んだ液滴の端部に位置するATOが還元されて腐食す
る。また、このとき、液滴25のAg陰極側の端部およ
びAg陽極側の端部から、気泡が発生する。液滴のAg
陽極側の端部においては、ATOがアノードとなり、 式(1):2H2 O→O2 +4H+ +4e- にしたがって水が電気分解し、O2が発生したものと考
えられる。一方、液滴のAg陰極側の端部においては、
ATOがカソードとなり、 式(2):2H2 O+2e- →H2 +2OH- にしたがって水が電気分解してH2が発生したものと考
えられ、さらに 式(3):SnO2 +4H+ +2e- →Sn2++2H2
O にしたがってATOが還元されて腐食する。
In the first stage of the ATO corrosion mechanism shown in FIG. 7 (a), when a direct current is applied between Ag electrodes, it is estimated that an electrocapillary phenomenon (a phenomenon in which surface tension is changed by the ATO electrode potential). Due to this phenomenon, the edge of the droplet moves toward the Ag cathode on the glass substrate, and the shape of the semi-elliptical droplet is distorted. Then, A shown in FIG.
In the second stage of the TO corrosion mechanism, ATO located at the end of the distorted droplet towards the Ag cathode is reduced and eroded. At this time, air bubbles are generated from the Ag cathode side end and the Ag anode side end of the droplet 25. Ag of droplet
At the end on the anode side, ATO becomes the anode, and it is considered that water was electrolyzed according to the formula (1): 2H 2 O → O 2 + 4H + + 4e , and O 2 was generated. On the other hand, at the end of the droplet on the Ag cathode side,
ATO serves as a cathode, and it is considered that water is electrolyzed according to the formula (2): 2H 2 O + 2e → H 2 + 2OH to generate H 2 , and further, the formula (3): SnO 2 + 4H + + 2e → Sn 2+ + 2H 2
ATO is reduced and corroded according to O 2.

【0007】さらに図7の(c)に示すATOの腐食機
構の第三段階においては、ATOが腐食して液滴がガラ
ス基板と接触する状態になる。液滴はATO表面からそ
の腐食部分に浸入し、液滴のAg陽極側の端部において
さらに腐食領域が拡大する。なお、基板がたとえばアク
リル樹脂やポリエチレンテレフタレート(PET)など
の熱可塑性樹脂のばあいは、基板がガラスのばあいより
も濡れ性に劣るためにATOが腐食しても液滴は移動し
にくいが、ATOの腐食機構は同じである。
Further, in the third stage of the ATO corrosion mechanism shown in FIG. 7C, the ATO is corroded and the droplet comes into contact with the glass substrate. The droplet penetrates the corroded portion from the ATO surface, and the corroded area further expands at the Ag anode side end of the droplet. When the substrate is made of a thermoplastic resin such as acrylic resin or polyethylene terephthalate (PET), the droplets are hard to move even if the ATO is corroded because the substrate has poorer wettability than glass. , ATO have the same corrosion mechanism.

【0008】また、ITOの腐食機構もATOのばあい
と同じであり、 式(4):In2 3 +6H+ +4e- →2In3++3
2 O、および 式(5):SnO2 +4H+ +2e- →Sn2++2H2
O にしたがってITOが還元されて腐食する。
Further, the corrosion mechanism of ITO is the same as that of ATO, and the formula (4): In 2 O 3 + 6H + + 4e → 2In 3+ +3
H 2 O, and formula (5): SnO 2 + 4H + + 2e → Sn 2+ + 2H 2
The ITO is reduced and corroded according to O 2.

【0009】上記のように、大気環境における酸化物半
導体の腐食機構を説明することができる。なお、電圧が
印加されていないばあいは電解液と接触しても酸化物半
導体は還元されず、腐食はしない。
As described above, the mechanism of corrosion of an oxide semiconductor in an atmospheric environment can be described. Note that when no voltage is applied, the oxide semiconductor is not reduced and does not corrode even when the oxide semiconductor comes into contact with the electrolytic solution.

【0010】さらに本発明者らは、電圧が印加された酸
化物半導体が一般的な電解液により腐食する条件につい
て検討した結果、つぎに示すことがわかった。すなわ
ち、 (1)酸化物半導体は電解液のpHにかかわらず腐食す
る。また、電解液が強酸性または強アルカリ性のばあい
は、電圧が印加されていなくても酸化物半導体は腐食し
うる。たとえば、強酸性水溶液中におけるITOの腐食
は、 式(6):In2 3 +6H+ →2In3++3H2 Oお
よび 式(7):SnO2 +4H+ →Sn4++2H2 O にしたがっておこる。
Further, the present inventors have studied the conditions under which a voltage applied oxide semiconductor is corroded by a general electrolytic solution, and as a result, the following was found. That is, (1) The oxide semiconductor corrodes regardless of the pH of the electrolytic solution. In the case where the electrolyte is strongly acidic or strongly alkaline, the oxide semiconductor can corrode even when no voltage is applied. For example, the corrosion of ITO in a strongly acidic aqueous solution occurs according to the formula (6): In 2 O 3 + 6H + → 2In 3 + + 3H 2 O and the formula (7): SnO 2 + 4H + → Sn 4+ + 2H 2 O .

【0011】(2)酸化物半導体は電解液の導電率が大
きいばあいに腐食しやすく、電解液の導電率が小さいば
あいに腐食しにくい。これは、酸化物半導体に流れる電
流が電解液中を流れず、電気化学反応が生じないからで
ある。たとえば、導電率が10μS/cm(at25℃)
の水が酸化物半導体表面に存在しても、当該酸化物半導
体は腐食しない。
(2) The oxide semiconductor is easily corroded when the conductivity of the electrolytic solution is high, and hardly corroded when the conductivity of the electrolytic solution is low. This is because the current flowing in the oxide semiconductor does not flow in the electrolytic solution and no electrochemical reaction occurs. For example, the conductivity is 10 μS / cm (at 25 ° C.)
Even if the water exists on the surface of the oxide semiconductor, the oxide semiconductor does not corrode.

【0012】一般に、酸化物半導体が大気中にさらされ
ると、海塩粒子や塩を含む埃などが付着しうる。これら
の塩が潮解や結露によって電解液を形成すると、電圧が
印加されたばあいに酸化物半導体が還元されて腐食す
る。
In general, when an oxide semiconductor is exposed to the air, sea salt particles, salt-containing dust, and the like may adhere. When these salts form an electrolytic solution by deliquescence or dew condensation, the oxide semiconductor is reduced and corroded when a voltage is applied.

【0013】そこで、たとえば特開昭58−17832
5号公報においては、酸化物半導体の腐食を防止するた
めに、酸化物半導体の表面を絶縁膜で被覆する技術が開
示されている。図8に本従来技術にもとづく液晶表示装
置の部分概略断面図を示す。図8中、31は上板、32
は下板、33はシール部、34は配向膜、35は絶縁
膜、36は液晶、37は上板偏光板、38は下板偏光
板、39は透明導電膜、40は導電性ゴム、41は液晶
表示素子駆動用回路基板、42は導電性パターンであ
る。当該技術によれば、たとえばSiO2 などの絶縁膜
で被覆することによって、大気環境に露出しているたと
えばITOなどの透明導電膜(酸化物半導体)の表面が
腐食するのを防いでいる。しかし、絶縁膜にピンホール
などの酸化物半導体にまで達しうる隙間が存在すると、
その隙間を通じて電解液が酸化物半導体を腐食するとい
う問題がある。
Therefore, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 58-17832 discloses
In Japanese Patent Application Laid-Open No. 5 (1999) -2005, there is disclosed a technique of covering the surface of an oxide semiconductor with an insulating film in order to prevent corrosion of the oxide semiconductor. FIG. 8 shows a partial schematic cross-sectional view of a liquid crystal display device based on the conventional technology. 8, 31 is an upper plate, 32
Is a lower plate, 33 is a sealing portion, 34 is an alignment film, 35 is an insulating film, 36 is a liquid crystal, 37 is an upper plate polarizing plate, 38 is a lower plate polarizing plate, 39 is a transparent conductive film, 40 is conductive rubber, 41 Is a liquid crystal display element driving circuit board, and 42 is a conductive pattern. According to this technique, the surface of a transparent conductive film (oxide semiconductor) such as ITO exposed to the air environment is prevented from being corroded by coating with an insulating film such as SiO 2 . However, if there is a gap in the insulating film that can reach the oxide semiconductor such as a pinhole,
There is a problem that the electrolytic solution corrodes the oxide semiconductor through the gap.

【0014】[0014]

【発明が解決しようとする課題】以上より、本発明の目
的は、高湿度環境、温度変化の激しい環境、海塩粒子や
塩を含む埃が付着しうる環境などにおいて、結露や塩の
潮解によって酸化物半導体の表面に電解液が形成したば
あいに酸化物半導体が腐食により劣化しないように、当
該酸化物半導体の腐食を防止する方法を提供することに
ある。
SUMMARY OF THE INVENTION As described above, the object of the present invention is to provide a dehumidifying or salt deliquescence in a high humidity environment, an environment in which temperature changes drastically, or an environment where sea salt particles or dust containing salt can adhere. An object of the present invention is to provide a method for preventing corrosion of an oxide semiconductor so that the oxide semiconductor is not deteriorated by corrosion when an electrolytic solution is formed on the surface of the oxide semiconductor.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】本発明は、フィルム形成
剤とイオン交換性材料とを含む酸化物半導体腐食防止用
塗料に関する。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a paint for preventing corrosion of an oxide semiconductor, comprising a film-forming agent and an ion-exchange material.

【0016】このばあい、フィルム形成剤が親水性フィ
ルム形成剤であるのが好ましい。
In this case, the film forming agent is preferably a hydrophilic film forming agent.

【0017】また、親水性フィルム形成剤が、親水性基
をもつアクリル樹脂、アルキド樹脂、メラミン樹脂、尿
素樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、セルロース樹
脂、ウレタン樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリビニルア
ルコール樹脂または塩化ビニル樹脂であるのが好まし
い。
Further, the hydrophilic film forming agent is an acrylic resin, an alkyd resin, a melamine resin, a urea resin, a phenol resin, an epoxy resin, a cellulose resin, a urethane resin, a polyacetal resin, a polyvinyl alcohol resin or a vinyl chloride resin having a hydrophilic group. It is preferably a resin.

【0018】また、水および/または親水性有機溶媒を
溶媒とするのが好ましい。
It is preferable to use water and / or a hydrophilic organic solvent as a solvent.

【0019】また、フィルム形成剤が疎水性フィルム形
成剤であるのが好ましい。
Preferably, the film forming agent is a hydrophobic film forming agent.

【0020】また、疎水性フィルム形成剤がセルロース
樹脂、アルキド樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、塩化ビ
ニル樹脂、ブチラール樹脂、アミノアルキド樹脂、アク
リル樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ウ
レタン樹脂、オレフィン樹脂または酢酸ビニル樹脂であ
るのが好ましい。
The hydrophobic film-forming agent may be a cellulose resin, an alkyd resin, a melamine resin, a urea resin, a vinyl chloride resin, a butyral resin, an aminoalkyd resin, an acrylic resin, an epoxy resin, an unsaturated polyester resin, a urethane resin, an olefin resin. Alternatively, it is preferably a vinyl acetate resin.

【0021】また、疎水性有機溶媒を溶媒とするのが好
ましい。
It is preferable to use a hydrophobic organic solvent as a solvent.

【0022】また、溶媒を含むかまたは含まないのが好
ましい。
It is preferable that a solvent is contained or not.

【0023】また、溶媒を含まず、フィルム形成剤がエ
ポキシ樹脂、ウレタン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂ま
たはシリコーン樹脂であるのが好ましい。
It is preferable that the film-forming agent contains no solvent, and is an epoxy resin, a urethane resin, an unsaturated polyester resin or a silicone resin.

【0024】また、フィルム形成剤がクロロプレンゴ
ム、ニトリルゴム、スチレン−ブタジエンゴム、シリコ
ーンゴム、ポリ−n−ブチルアクリレート、ニカワまた
はデンプン糊であるのが好ましい。
Further, the film forming agent is preferably chloroprene rubber, nitrile rubber, styrene-butadiene rubber, silicone rubber, poly-n-butyl acrylate, glue or starch paste.

【0025】また、イオン交換性材料がイオン交換樹脂
であるのが好ましい。
Further, it is preferable that the ion exchange material is an ion exchange resin.

【0026】また、イオン交換性樹脂が陽イオン交換樹
脂および陰イオン交換樹脂よりなる群から選択される少
なくとも1種であるのが好ましい。
The ion exchange resin is preferably at least one selected from the group consisting of a cation exchange resin and an anion exchange resin.

【0027】また、陽イオン交換樹脂が強酸性陽イオン
交換樹脂であるのが好ましい。
The cation exchange resin is preferably a strongly acidic cation exchange resin.

【0028】また、陰イオン交換樹脂が強塩基性陰イオ
ン交換樹脂であるのが好ましい。
Preferably, the anion exchange resin is a strongly basic anion exchange resin.

【0029】また、イオン交換性材料が無機イオン交換
性物質であるのが好ましい。
It is preferable that the ion exchange material is an inorganic ion exchange substance.

【0030】また、無機イオン交換性物質が水酸化アン
チモン、リン酸ジルコニウム、ハイドロサルタイトおよ
びヒドロキシアパタイトよりなる群から選択される1種
であるのが好ましい。
Further, it is preferable that the inorganic ion exchange material is one selected from the group consisting of antimony hydroxide, zirconium phosphate, hydrosaltite and hydroxyapatite.

【0031】また、イオン交換性材料が塗料の固形分の
0.2〜99.8重量%であるのが好ましい。
Preferably, the ion-exchangeable material is 0.2 to 99.8% by weight of the solid content of the paint.

【0032】また、イオン交換性材料が粒状であり、か
つ平均粒径が1〜1000μmであるのが好ましい。
It is preferable that the ion exchange material is granular and has an average particle size of 1 to 1000 μm.

【0033】本発明は、酸化物半導体の表面に、フィル
ム形成剤とイオン交換性材料とを含む塗料を塗布するこ
とからなる酸化物半導体の腐食防止法に関する。
The present invention relates to a method for preventing corrosion of an oxide semiconductor, which comprises applying a paint containing a film-forming agent and an ion-exchange material to the surface of the oxide semiconductor.

【0034】本発明は、前記塗料を塗布してなる前記酸
化物半導体を含む液晶表示装置にも関する。
[0034] The present invention also relates to a liquid crystal display device including the oxide semiconductor obtained by applying the paint.

【0035】また、酸化物半導体の表面であって大気環
境に露出する表面、または酸化物半導体の表面上に形成
した金属膜の表面であって大気環境に露出する表面に、
前記塗料を塗布してなるのが好ましい。
Further, a surface of the oxide semiconductor which is exposed to the air environment, or a surface of a metal film formed on the surface of the oxide semiconductor which is exposed to the air environment,
It is preferable to apply the paint.

【0036】また、基板のあいだにシール部材を用いて
液晶が封止されており、かつ前記塗料を該基板または該
基板およびシール部材の表面に塗布してなるのが好まし
い。
Further, it is preferable that the liquid crystal is sealed between the substrates by using a sealing member, and that the coating material is applied to the surface of the substrate or the substrate and the sealing member.

【0037】さらに、本発明は、前記塗料を塗布してな
る酸化物半導体を用いてなる防曇防霜用ヒーターにも関
する。
Further, the present invention also relates to an antifogging and defrosting heater using an oxide semiconductor obtained by applying the coating material.

【0038】また、酸化物半導体の表面であって大気環
境に露出する表面、または酸化物半導体の表面上に形成
した金属膜の表面であって大気環境に露出する表面に、
前記塗料を塗布してなるのが好ましい。
In addition, a surface of the oxide semiconductor which is exposed to the air environment, or a surface of a metal film formed on the surface of the oxide semiconductor which is exposed to the air environment,
It is preferable to apply the paint.

【0039】[0039]

【発明の実施の形態】本発明は、フィルム形成剤とイオ
ン交換性材料とを含む酸化物半導体の腐食防止用塗料に
関する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention relates to a coating for preventing corrosion of an oxide semiconductor, comprising a film-forming agent and an ion-exchange material.

【0040】前述のように、酸化物半導体が腐食するの
は、酸化物半導体に流れる電流が、半導体表面に存在す
る電解液にも流れるためである。そこで、本発明におい
ては、塗料の成分としてイオン交換性材料を用い、当該
イオン交換性材料によって電解液中の電解質が捕捉され
て導電率が低下しているため、たとえ塗膜にピンホール
が形成しても、酸化物半導体を還元せず、かつ腐食させ
ない。すなわち、本発明は、基本的には、イオン交換性
材料のイオン交換能によって電解液に含まれる電解質
(イオン)を捕捉し、このイオンの移動により生ずる酸
化物半導体の腐食を阻止しようとするものである。
As described above, the reason that the oxide semiconductor is corroded is that the current flowing through the oxide semiconductor also flows through the electrolyte present on the semiconductor surface. Therefore, in the present invention, an ion-exchange material is used as a component of the paint, and the electrolyte in the electrolytic solution is trapped by the ion-exchange material to lower the conductivity, so that a pinhole is formed in the coating film. Even if the oxide semiconductor is not reduced, it is not corroded. That is, the present invention basically intends to capture an electrolyte (ion) contained in an electrolytic solution by the ion exchange ability of an ion exchange material and to prevent corrosion of an oxide semiconductor caused by the movement of the ion. It is.

【0041】したがって、電解液が強酸性や強アルカリ
性であっても、電解質が前記イオン交換性材料によって
捕捉され、電解液の導電性が低下し、かつpHも中性近
傍に移行するため、同様に酸化物半導体を腐食させな
い。
Therefore, even if the electrolyte is strongly acidic or strongly alkaline, the electrolyte is trapped by the ion-exchange material, the conductivity of the electrolyte decreases, and the pH shifts to near neutrality. Does not corrode the oxide semiconductor.

【0042】本発明において用いる酸化物半導体は、電
気化学的に還元されて腐食しうるという問題を解決する
ことが望まれるものであって、従来からのものであれば
特に制限はなく、たとえば、ITO(スズをドープした
酸化インジウム)、ATO(アンチモンをドープした酸
化スズ)、AZO(アルミニウムをドープした酸化亜
鉛)、In23(酸化インジウム)、SnO2(酸化ス
ズ)、ZnO、CdO、TiO2、CdIn24、Cd2
SnO4、Zn2SnO4などがあげられる。
The oxide semiconductor used in the present invention is desired to solve the problem that it can be electrochemically reduced and corroded, and is not particularly limited as long as it is a conventional one. ITO (tin-doped indium oxide), ATO (antimony-doped tin oxide), AZO (aluminum-doped zinc oxide), In 2 O 3 (indium oxide), SnO 2 (tin oxide), ZnO, CdO, TiO 2 , CdIn 2 O 4 , Cd 2
SnO 4 , Zn 2 SnO 4 and the like.

【0043】また、本発明の腐食防止処理を施す酸化物
半導体の形状は、特に制限はないが、たとえば蒸着、ス
パッタ、スプレー方式で作製した膜である。
The shape of the oxide semiconductor to be subjected to the corrosion prevention treatment of the present invention is not particularly limited, but is, for example, a film formed by vapor deposition, sputtering, or spraying.

【0044】つぎに、前記酸化物半導体に塗布する塗料
について説明する。
Next, the paint applied to the oxide semiconductor will be described.

【0045】当該塗料は、フィルム形成剤とイオン交換
性材料とを含む。
The paint contains a film forming agent and an ion exchange material.

【0046】まず、フィルム形成剤としては、フィルム
形性能をもち、酸化物半導体上に塗膜を形成してイオン
交換性材料を保持し、かつイオン交換性材料を塗料中に
均一に分散することができるものであれば、従来から塗
料の分野において用いられているものであってよい。酸
化物半導体への接着性に優れているものが好ましい。
First, as a film-forming agent, a film-forming agent is used to form a coating film on an oxide semiconductor to hold the ion-exchangeable material and to uniformly disperse the ion-exchangeable material in the coating material. Can be used as long as they can be used in the field of paints. Those having excellent adhesion to an oxide semiconductor are preferable.

【0047】本発明において用いられるフィルム形成剤
としては、たとえば親水性フィルム形成剤と疎水性フィ
ルム形成剤とがある。
The film-forming agent used in the present invention includes, for example, a hydrophilic film-forming agent and a hydrophobic film-forming agent.

【0048】親水性フィルム形成剤は電解質を溶かしや
すいために塩を迅速に捕捉・除去できるという点で好ま
しく、疎水性フィルム形成剤は、乾燥速度が速いために
作業性に優れるという点で好ましい。
The hydrophilic film-forming agent is preferred in that it can easily trap and remove salts because it is easy to dissolve the electrolyte, and the hydrophobic film-forming agent is preferred in that it has a high drying rate and is excellent in workability.

【0049】親水性フィルム形成剤としては、たとえば
カルボキシル基、水酸基、アミノ基、などの親水性基を
もつ親水化されたアクリル樹脂、アルキド樹脂、メラミ
ン樹脂、尿素樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、セ
ルロース樹脂、ウレタン樹脂、ポリアセタール樹脂、ポ
リビニルアルコール樹脂または塩化ビニル樹脂などがあ
げられる。これらの中でも、速乾性および室温硬化の点
から、アクリル樹脂が好ましい。
Examples of the hydrophilic film forming agent include a hydrophilicized acrylic resin having a hydrophilic group such as a carboxyl group, a hydroxyl group and an amino group, an alkyd resin, a melamine resin, a urea resin, a phenol resin, an epoxy resin, and a cellulose. Resin, urethane resin, polyacetal resin, polyvinyl alcohol resin, vinyl chloride resin and the like can be mentioned. Among these, acrylic resins are preferred from the viewpoint of quick drying and curing at room temperature.

【0050】疎水性フィルム形成剤としては、たとえば
セルロース樹脂、アルキド樹脂、メラミン樹脂、尿素樹
脂、塩化ビニル樹脂、ブチラール樹脂、アミノアルキド
樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステ
ル樹脂、ウレタン樹脂、オレフィン樹脂(たとえばポリ
エチレン、ポリプロピレンなど)または酢酸ビニル樹脂
などがあげられる。これらの中でも、速乾性の点から、
セルロース樹脂が好ましい。
Examples of the hydrophobic film forming agent include cellulose resin, alkyd resin, melamine resin, urea resin, vinyl chloride resin, butyral resin, aminoalkyd resin, acrylic resin, epoxy resin, unsaturated polyester resin, urethane resin, and olefin. Resin (for example, polyethylene, polypropylene, etc.) or vinyl acetate resin is exemplified. Among these, from the point of quick drying,
Cellulose resins are preferred.

【0051】また、塗料以外の分野、たとえば接着剤、
シール剤、粘着剤などの分野においてに用いられている
フィルム形成剤も使用可能である。かかるフィルム形成
剤としては、たとえばクロロプレンゴム、ニトリルゴ
ム、スチレンブタジエンゴム、シリコーンゴム、ポリ−
n−ブチルアクリレート、ニカワ、デンプン糊などがあ
げられる。
Also, in fields other than paints, for example, adhesives,
Film forming agents used in the fields of sealing agents, pressure-sensitive adhesives and the like can also be used. Such film forming agents include, for example, chloroprene rubber, nitrile rubber, styrene butadiene rubber, silicone rubber, poly-
Examples include n-butyl acrylate, glue, starch paste and the like.

【0052】ここで、塗料中のフィルム形成剤の含有量
としては、塗膜の強度および密着性、粘度、ならびにイ
オン交換性材料の沈降性の点から、塗料の固形分の0.
2〜99.8重量%であるのが好ましく、さらに20〜
80重量%であるのが特に好ましい。
Here, the content of the film-forming agent in the coating material is set at 0.1% of the solid content of the coating material in view of the strength and adhesion of the coating film, the viscosity, and the sedimentation property of the ion exchange material.
It is preferably from 2 to 99.8% by weight, more preferably from 20 to 99.8% by weight.
Particularly preferred is 80% by weight.

【0053】つぎにイオン交換性材料について説明す
る。本発明において用いるイオン交換性材料は、大きく
分けて、有機化合物であるイオン交換樹脂と無機のイオ
ン交換性物質があり、いずれも単独で、または混合して
使用できる。イオン交換樹脂を用いるばあいは比重が小
さい点で有利であり、無機イオン交換性物質を用いるば
あいは耐熱性がよい点で有利である。
Next, the ion exchange material will be described. The ion-exchange material used in the present invention is roughly classified into an ion-exchange resin which is an organic compound and an inorganic ion-exchange substance, all of which can be used alone or in combination. Use of an ion exchange resin is advantageous in that the specific gravity is small, and use of an inorganic ion exchange material is advantageous in that heat resistance is good.

【0054】イオン交換性材料を別の観点から分類する
と、陽イオン交換性材料と陰イオン交換性材料とに分け
られる。陽イオン交換性材料は電解質イオンが陽イオン
(たとえばNa、K、Liなどのアルカリ金属イオン;
Ag、Cu、Fe、Pb、Sn、Zn、Mg、Caなど
の他の金属イオン;テトラメチルアンモニウムイオン、
トリメチルアンモニウムイオンなどのアンモニウムイオ
ン)のばあいに用いる。陰イオン交換性材料は電解質イ
オンが陰イオン(たとえばCl、Br、Iなどのハロゲ
ンイオン;SO4、NO3、NO2などの酸化物イオン;
ギ酸、酢酸、フタル酸などの有機酸イオン)のばあいに
用いる。もちろん、両方のイオン交換性材料を併用して
もよい。
When the ion exchange materials are classified from another viewpoint, they are classified into cation exchange materials and anion exchange materials. The cation exchange material is such that the electrolyte ion is a cation (for example, an alkali metal ion such as Na, K, and Li;
Other metal ions such as Ag, Cu, Fe, Pb, Sn, Zn, Mg, Ca; tetramethylammonium ion;
(Ammonium ion such as trimethylammonium ion). In the anion exchange material, the electrolyte ion is an anion (eg, a halogen ion such as Cl, Br, I; an oxide ion such as SO 4 , NO 3 , NO 2 );
Used for organic acid ions such as formic acid, acetic acid and phthalic acid. Of course, both ion exchange materials may be used in combination.

【0055】陽イオン交換性材料および陰イオン交換性
材料はそれぞれさらに、強酸性陽イオン交換性材料と弱
酸性陽イオン交換性材料および強塩基性陰イオン交換性
材料と弱塩基性陰イオン交換性材料に分けられる。これ
らの使用形態は対象とする電解質に応じて決められる。
これについては後述する。
The cation-exchange material and the anion-exchange material are further respectively a strongly acidic cation-exchange material, a weakly acidic cation-exchange material and a strongly basic anion-exchange material and a weakly basic anion-exchange material. Divided into materials. These modes of use are determined according to the target electrolyte.
This will be described later.

【0056】本発明に用いるイオン交換樹脂としては前
記のとおり陽イオン交換樹脂と陰イオン交換樹脂があ
る。
As described above, the ion exchange resin used in the present invention includes a cation exchange resin and an anion exchange resin.

【0057】陽イオン交換樹脂にはさらに強酸性のもの
と弱酸性のものがあり、本発明にはいずれの陽イオン交
換樹脂も使用できる。
Cation exchange resins are further classified into strongly acidic ones and weakly acidic ones, and any of the cation exchange resins can be used in the present invention.

【0058】強酸性陽イオン交換樹脂は、たとえばスチ
レン−ジビニルベンゼン共重合体、フェノールホルマリ
ン樹脂などを基体とし、イオン交換基としてスルホン酸
基をもつものがあげられる。これらは、たとえばアンバ
ーライト−IR120B(ローム・アンド・ハース社の
商品名)、ダイヤイオンSK−1A(三菱化学(株)の
商品名)、ダイヤイオンFMK−10(三菱化学(株)
の商品名)として市販されている。
The strong acidic cation exchange resin includes, for example, those having a styrene-divinylbenzene copolymer, a phenol formalin resin or the like as a base and having a sulfonic acid group as an ion exchange group. These are, for example, Amberlite-IR120B (trade name of Rohm and Haas), Diaion SK-1A (trade name of Mitsubishi Chemical Corporation), Diaion FMK-10 (Mitsubishi Chemical Corporation)
(Trade name).

【0059】弱酸性陽イオン交換樹脂は、たとえばアク
リレートまたはメタクリレートとジビニルベンゼンとの
共重合体などを基体とし、イオン交換基としてカルボキ
シル基、ホスホン基などをもつものがあげられる。これ
らは、たとえばアンバーライトIRC−84(ローム・
アンド・ハース社の商品名)、ダイヤイオンWK−11
(三菱化学(株)の商品名)として市販されている。
Examples of the weakly acidic cation exchange resin include those having a base material such as a copolymer of acrylate or methacrylate and divinylbenzene and having a carboxyl group or a phosphone group as an ion exchange group. These are, for example, Amberlite IRC-84 (ROHM
And Haas Co., Ltd.), Diaion WK-11
(Trade name of Mitsubishi Chemical Corporation).

【0060】陰イオン交換樹脂には強塩基性陰イオン交
換樹脂と弱塩基性陰イオン交換樹脂があり、本発明には
いずれの陰イオン交換樹脂も使用できる。
The anion exchange resin includes a strongly basic anion exchange resin and a weakly basic anion exchange resin, and any anion exchange resin can be used in the present invention.

【0061】強塩基性陰イオン交換樹脂としては、たと
えばスチレン−ジビニルベンゼン共重合体などを基体と
し、イオン交換基としてトリメチルアンモニウム基、β
−ヒドロキシエチルジメチルアンモニウム基などをもつ
ものがあげられる。これらは、たとえばアンバーライト
IRA−400(ローム・アンド・ハース社の商品
名)、ダイヤイオンSA−10B(三菱化学(株)の商
品名)、ダイヤイオンFMA−10(三菱化学(株)の
商品名)として市販されている。
As a strong basic anion exchange resin, for example, a styrene-divinylbenzene copolymer or the like is used as a base, and a trimethylammonium group, β
Those having a hydroxyethyldimethylammonium group. These include, for example, Amberlite IRA-400 (trade name of Rohm and Haas), Diaion SA-10B (trade name of Mitsubishi Chemical Corporation), Diaion FMA-10 (trade name of Mitsubishi Chemical Corporation) It is commercially available.

【0062】弱塩基性陰イオン交換樹脂は、たとえばス
チレン−ジビニルベンゼン共重合体、アクリレートまた
はメタクリレートとジビニルベンゼンの共重合体などを
基体とし、イオン交換基として1級、2級および3級ア
ミノ基などを有するものがあげられる。これらは、たと
えばアンバーライトIRA−410(ローム・アンド・
ハース社の商品名)、ダイヤイオンFA−20B(三菱
化学(株)の商品名)として市販されている。
The weakly basic anion exchange resin is based on, for example, a styrene-divinylbenzene copolymer, a copolymer of acrylate or methacrylate and divinylbenzene, and has primary, secondary and tertiary amino groups as ion exchange groups. And the like. These are, for example, Amberlite IRA-410 (ROHM &
It is commercially available as Haas Co., Ltd.) and Diaion FA-20B (trade name of Mitsubishi Chemical Corporation).

【0063】本発明で使用できるもう一つのイオン交換
性材料である無機イオン交換性物質にも陽イオン交換性
のものと陰イオン交換性のものがある。
Inorganic ion exchange materials which are another ion exchange material usable in the present invention include cation exchange materials and anion exchange materials.

【0064】陽イオン交換性のものとしては、たとえば
ゼオライト、アンチモン酸、スズ酸、チタン酸、ニオブ
酸、マンガン酸などの多価金属酸またはその塩;リン酸
ジルコニウム、リン酸チタン、リン酸スズ、リン酸セリ
ウム、ヒ酸スズ、ヒ酸チタンなどの多価金属多塩基酸
塩;モリブデン酸、タングステン酸などのヘテロポリ酸
などがあげられる。
Examples of the cation-exchanger include polyvalent metal acids such as zeolite, antimonic acid, stannic acid, titanic acid, niobic acid and manganic acid and salts thereof; zirconium phosphate, titanium phosphate, tin phosphate And polybasic metal salts such as cerium phosphate, tin arsenate and titanium arsenate; and heteropoly acids such as molybdic acid and tungstic acid.

【0065】陰イオン交換性の無機物質としては、たと
えばハイドロタルサイト、ヒドロキシアパタイト、含水
酸化鉄、含水酸化ジルコニウム、含水酸化ビスマスなど
の含水酸化物などがあげられる。
Examples of the anion exchangeable inorganic substance include hydrotalcite, hydroxyapatite, hydrated oxides such as hydrated iron oxide, hydrated zirconium hydroxide and hydrated bismuth oxide.

【0066】これらのイオン交換性材料は捕捉すべき電
解質の種類によって単独で、または混合して使用でき
る。
These ion-exchange materials can be used alone or in combination depending on the type of electrolyte to be captured.

【0067】腐食を招く電解質としては多種多様なもの
がある。電解質による腐食の機構は前記したように解離
した電解質イオンの移動によるものと推定される。した
がって、付着が予想される電解質の種類や解離度、イオ
ン強度に合わせて使用するイオン交換性材料を選定する
のが好ましい。以下、イオン交換性材料の使用形態と電
解質の種類を説明するが、これらに限定されるものでは
ない。
There are a wide variety of electrolytes that cause corrosion. The mechanism of corrosion by the electrolyte is presumed to be due to the movement of the dissociated electrolyte ions as described above. Therefore, it is preferable to select an ion-exchange material to be used in accordance with the type of electrolyte, the degree of dissociation, and the ionic strength to which adhesion is expected. Hereinafter, the use form of the ion exchange material and the type of the electrolyte will be described, but the present invention is not limited thereto.

【0068】(1)陽イオン交換性材料と陰イオン交換
性材料とを併用する態様 この態様は、電解質が塩であるばあいに好適である。そ
うした電解質としては、たとえば強酸と強塩基との塩が
あげられ、具体例としては、たとえばNaCl、NaB
r、NaI、Na2SO4、NaNO3などがあげられ
る。イオン交換により生じた水素イオンと水酸イオンは
再結合して水となる。この水は電気抵抗が高く、また乾
燥して除去されるので、腐食を生じない。
(1) An embodiment in which a cation exchange material and an anion exchange material are used together This embodiment is suitable when the electrolyte is a salt. Examples of such an electrolyte include a salt of a strong acid and a strong base, and specific examples thereof include, for example, NaCl, NaB
r, NaI, Na 2 SO 4 , NaNO 3 and the like. Hydrogen ions and hydroxyl ions generated by ion exchange are recombined to form water. This water does not corrode because it has high electrical resistance and is removed by drying.

【0069】特に好ましい組合せは、イオン交換速度と
イオン交換容量の点から強酸性陽イオン交換樹脂と強塩
基性陰イオン交換樹脂であるが、そのほか強酸性陽イオ
ン交換樹脂と弱塩基性陰イオン交換樹脂、弱酸性陽イオ
ン交換樹脂と強塩基性陰イオン交換樹脂、弱酸性陽イオ
ン交換樹脂と弱塩基性陰イオン交換樹脂といった組合せ
も可能である。
A particularly preferred combination is a strongly acidic cation exchange resin and a strongly basic anion exchange resin in view of ion exchange rate and ion exchange capacity. A combination of a resin, a weakly acidic cation exchange resin and a strongly basic anion exchange resin, or a weakly acidic cation exchange resin and a weakly basic anion exchange resin is also possible.

【0070】対象とする電解質も前記の強酸と強塩基と
の塩に限らず、(NH42SO4、NH4Cl、Al
2(SO43などの強酸と弱塩基との塩、Na2CO3
2CO3、NaHCO3などの強塩基と弱酸の塩、(N
43PO4、(NH43AsO4、FeAsO4などの
弱酸と弱塩基との塩などにも適用できる。
The target electrolyte is not limited to the salt of the strong acid and the strong base, but may be (NH 4 ) 2 SO 4 , NH 4 Cl, or Al.
Salt of a strong acid such as 2 (SO 4 ) 3 with a weak base, Na 2 CO 3 ,
Salts of strong bases and weak acids such as K 2 CO 3 and NaHCO 3 , (N
The present invention is also applicable to a salt of a weak acid and a weak base such as H 4 ) 3 PO 4 , (NH 4 ) 3 AsO 4 , and FeAsO 4 .

【0071】陽イオン交換性材料と陰イオン交換性材料
の使用比率は、対象とする電解質の種類、イオン交換性
材料の種類などによって適用選定すればよいが、たとえ
ば陽イオン交換性材料/陰イオン交換性材料(重量比)
が約9/1〜1/9、好ましくは約2/1〜1/2の範
囲とするのがいかなる電解質に対しても対応できる点で
好ましい。
The use ratio of the cation exchange material and the anion exchange material may be selected depending on the type of the target electrolyte and the type of the ion exchange material. Exchangeable material (weight ratio)
Is preferably in the range of about 9/1 to 1/9, and more preferably about 2/1 to 1/2, in that it can correspond to any electrolyte.

【0072】なお、電解質が強酸と強塩基との塩のばあ
いは等量付近、強塩基と弱酸との塩のばあいは陽イオン
交換性材料の方を多く、強酸と弱塩基との塩のばあいは
陰イオン交換性材料の方を多くするのが好ましい。
When the electrolyte is a salt of a strong acid and a strong base, the amount of the electrolyte is around an equal amount, and when the electrolyte is a salt of a strong base and a weak acid, the amount of the cation-exchange material is larger than that of the electrolyte. In such a case, it is preferable to increase the amount of the anion exchangeable material.

【0073】(2)陽イオン交換性材料を単独で使用す
る態様 この態様は、電解質が塩基であるばあいに好適である。
たとえばNa、K、Liなどのアルカリ金属の水酸化
物、Mg、Caなどのアルカリ土類金属の水酸化物;ア
ンモニア水および2級、3級、4級アンモニウムの水酸
化物などがあげられる。
(2) Embodiment in which the cation exchange material is used alone This embodiment is suitable when the electrolyte is a base.
For example, hydroxides of alkali metals such as Na, K, and Li; hydroxides of alkaline earth metals such as Mg and Ca; aqueous ammonia and hydroxides of secondary, tertiary, and quaternary ammoniums.

【0074】また、電解質が強塩基と弱酸の塩または弱
塩基と弱酸の塩のばあいにも効果的に適用できる。
The present invention can also be effectively applied when the electrolyte is a salt of a strong base and a weak acid or a salt of a weak base and a weak acid.

【0075】用いる陽イオン交換性材料としては前記の
ものがいずれも使用可能であるが、比重の点からはイオ
ン交換樹脂が好ましく、特にイオン交換速度とイオン交
換容量の点から強酸性陽イオン交換樹脂が好ましい。ま
た耐熱性の点からは無機陽イオン交換性物質が好まし
い。
As the cation exchange material to be used, any of the above-mentioned materials can be used, but ion exchange resins are preferred from the viewpoint of specific gravity, and in particular, from the viewpoints of ion exchange rate and ion exchange capacity, strongly acidic cation exchange materials. Resins are preferred. From the viewpoint of heat resistance, an inorganic cation exchange material is preferred.

【0076】(3)陰イオン交換性材料を単独で使用す
る態様 この態様は、酸であるばあいに好適である。そうした物
質としては、塩酸、硫酸、硝酸、リン酸などの無機酸や
ギ酸、酢酸、プロピオン酸、フタル酸などの有機酸があ
げられる。
(3) Embodiment in which an anion-exchange material is used alone This embodiment is suitable for an acid. Examples of such substances include inorganic acids such as hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, and phosphoric acid, and organic acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, and phthalic acid.

【0077】また、電解質が強酸と弱塩基の塩または弱
酸と弱塩基の塩のばあいにも効果的に適用できる。
The present invention can also be effectively applied when the electrolyte is a salt of a strong acid and a weak base or a salt of a weak acid and a weak base.

【0078】用いる陰イオン交換性材料としては前記の
ものがいずれも使用可能であるが、比重の点からイオン
交換樹脂が好ましく、特にイオン交換速度とイオン交換
容量の点から強塩基性陰イオン交換樹脂が好ましい。ま
た耐熱性の点から無機陰イオン交換性物質が好ましい。
As the anion-exchange material to be used, any of the above-mentioned ones can be used, but an ion-exchange resin is preferable from the viewpoint of specific gravity, and particularly, a strongly basic anion-exchange resin from the viewpoint of ion-exchange speed and ion-exchange capacity. Resins are preferred. In addition, an inorganic anion exchangeable substance is preferable from the viewpoint of heat resistance.

【0079】以上にイオン交換性材料の組合せを例示し
たが、2種以上の陽イオン交換性材料同士の組合せ、お
よび2種以上の陰イオン交換性材料同士の組合せも可能
である。
The combination of ion-exchange materials has been exemplified above, but a combination of two or more cation-exchange materials and a combination of two or more anion-exchange materials are also possible.

【0080】陽イオン交換性材料と陰イオン交換性材料
を併用するばあいは、どのようなタイプの電解質に対し
ても適用できる点で有利である。一方、単独使用では対
象とする電解質の幅が狭くなるが、イオン交換性材料の
全体量を変えずに捕捉すべきイオンに好適なイオン交換
性材料の配合量を増加することにより目的とするイオン
の捕捉量を大きくすることができる点で有利である。
The combined use of a cation exchange material and an anion exchange material is advantageous in that it can be applied to any type of electrolyte. On the other hand, when used alone, the width of the target electrolyte is reduced, but the target ion is increased by increasing the blending amount of the ion-exchange material suitable for the ions to be captured without changing the total amount of the ion-exchange material. This is advantageous in that the trapping amount can be increased.

【0081】本発明における塗料は、基本的に前記フィ
ルム形成剤とイオン交換性材料とを溶媒の存在下または
不存在下に混合することによってえられる。
The coating material of the present invention can be obtained basically by mixing the above-mentioned film forming agent and the ion exchange material in the presence or absence of a solvent.

【0082】溶媒としては、水または有機溶媒のいずれ
も使用可能であり、用いるフィルム形成剤の種類に応じ
て適宜選定すればよい。
As the solvent, either water or an organic solvent can be used, and it may be appropriately selected according to the type of the film forming agent to be used.

【0083】たとえば、前記親水性フィルム形成剤を用
いるときは、水または親水性有機溶媒を単独または混合
して使用できる(本明細書では、この系の塗料を「水性
塗料」ということもある)。このばあい、電解質を溶か
しやすい点で有利である。
For example, when the above-mentioned hydrophilic film forming agent is used, water or a hydrophilic organic solvent can be used alone or as a mixture (in this specification, this type of coating is sometimes referred to as “aqueous coating”). . In this case, it is advantageous in that the electrolyte is easily dissolved.

【0084】親水性有機溶媒としては、たとえばメタノ
ール、エタノール、イソプロパノールなどのアルコール
類;メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロ
ソルブなどのセロソルブ類;テトラヒドロフラン、ジオ
キサンなどのエーテル類;アセトンなどの1種または2
種以上があげられるが、これらのみに限られるものでは
ない。
Examples of the hydrophilic organic solvent include alcohols such as methanol, ethanol and isopropanol; cellosolves such as methyl cellosolve, ethyl cellosolve and butyl cellosolve; ethers such as tetrahydrofuran and dioxane;
Species or more, but not limited to.

【0085】前記疎水性フィルム形成剤を用いるときの
溶媒としては疎水性有機溶媒が好ましい。疎水性有機溶
媒としては、たとえばベンゼン、トルエン、キシレン、
シンナーなどの炭化水素類;酢酸メチル、酢酸エチルな
どのエステル類;メチルエチルケトン、メチルイソブチ
ルケトンなどのケトン類などの1種または2種以上があ
げられるが、これらのみに限られるものではない。この
ばあい、えられる塗料の乾燥速度が早い点で有利であ
る。
As a solvent when the above-mentioned hydrophobic film forming agent is used, a hydrophobic organic solvent is preferable. Examples of the hydrophobic organic solvent include benzene, toluene, xylene,
Examples include, but are not limited to, hydrocarbons such as thinners; esters such as methyl acetate and ethyl acetate; and ketones such as methyl ethyl ketone and methyl isobutyl ketone. In this case, it is advantageous in that the obtained paint has a high drying speed.

【0086】なお、フィルム形成剤の種類によっては、
水−親水性有機溶媒、水−疎水性有機溶媒(エマルジョ
ン系)、親水性有機溶媒−疎水性有機溶媒といった組合
せの混合溶媒を用いることもできる。
Note that depending on the type of the film forming agent,
A mixed solvent of a combination of a water-hydrophilic organic solvent, a water-hydrophobic organic solvent (emulsion system), and a hydrophilic organic solvent-hydrophobic organic solvent can also be used.

【0087】また、本発明における塗料は無溶媒系であ
ってもよい。そのばあいに用いるフィルム形成剤として
は、たとえばエポキシ樹脂、ウレタン樹脂、不飽和ポリ
エステル樹脂、シリコーン樹脂など、従来より無溶剤系
塗料に使用されているものがあげられる。このばあい、
換気設備が不要な点で有利である。
The paint in the present invention may be a solvent-free paint. Examples of the film-forming agent used in this case include those conventionally used in solvent-free paints, such as epoxy resins, urethane resins, unsaturated polyester resins, and silicone resins. In this case,
This is advantageous in that no ventilation equipment is required.

【0088】混合するイオン交換性材料は、粒状、繊維
状、鱗片状、ペレット状などの形で使用できるが、粒状
であることが分散性の点から好ましい。そのばあい粒径
は特に制限されないが、分散の均一性と塗布の容易性、
比表面積などの点から平均粒径は約1000μm以下、
好ましくは約1〜1000μmのものが好ましい。
The ion-exchange material to be mixed can be used in the form of granules, fibers, scales, pellets, etc., but granules are preferred from the viewpoint of dispersibility. In that case, the particle size is not particularly limited, but uniformity of dispersion and ease of application,
In terms of specific surface area and the like, the average particle size is about 1000 μm or less,
It is preferably about 1 to 1000 μm.

【0089】イオン交換性材料の使用量は、イオン交換
性材料の種類、電解質の種類および量、解離度、イオン
強度などによって異なるが、通常、塗料の固形分の0.
2〜99.8重量%を占める範囲で用いる。好ましく
は、20〜80重量%である。
The amount of the ion exchange material used depends on the type of the ion exchange material, the type and amount of the electrolyte, the degree of dissociation, the ionic strength, and the like.
It is used in a range occupying 2 to 99.8% by weight. Preferably, it is 20 to 80% by weight.

【0090】本発明の塗料にはイオン交換性材料のイオ
ン交換能を低下させずかつ腐食防止性能を損わないかぎ
り、種々の添加剤を配合することができる。添加剤とし
ては、たとえば着色剤、有機または無機フィラー、沈降
防止剤、ハジキ防止剤などがあげられる。これらのうち
着色剤を添加すると、塗布した範囲が明確となり、作業
性が向上する。
Various additives can be added to the coating composition of the present invention as long as the ion exchange capacity of the ion exchange material is not reduced and the corrosion prevention performance is not impaired. Examples of the additive include a coloring agent, an organic or inorganic filler, an anti-settling agent, an anti-cissing agent and the like. When a coloring agent is added among these, the range of application is clear, and workability is improved.

【0091】本発明の塗料は、以上の成分を常法により
適宜混合して調製される。その形態は、分散液状、懸濁
液状、エマルジョン状、スラリー状、ペースト状でもよ
く、塗布の仕方によって選定すればよい。
The coating composition of the present invention is prepared by appropriately mixing the above components according to a conventional method. The form may be a dispersion, suspension, emulsion, slurry, or paste, and may be selected according to the method of application.

【0092】上述のようにしてえられる塗料を酸化物半
導体に塗布する方法としては、従来からの方法であれば
特に制限はなく、たとえばハケ塗り法、ブラシ塗り法、
スプレー法、ディッピング法、ロール法、カーテンフロ
ー法などがあげられる。かかる方法で塗布したのち、自
然乾燥などの方法によって乾燥させて塗膜を形成させれ
ばよい。
The method for applying the coating material obtained as described above to an oxide semiconductor is not particularly limited as long as it is a conventional method. For example, a brush coating method, a brush coating method,
Spray method, dipping method, roll method, curtain flow method and the like can be mentioned. After coating by such a method, it may be dried by a method such as natural drying to form a coating film.

【0093】なお、酸化物半導体に前記塗料を塗布する
ばあい、詳細は後述するが、少なくとも大気環境に露出
しうる部分に塗布するのが好ましい。また、酸化物半導
体表面に配線抵抗の低抵抗化のために金属膜を積層させ
るばあいは、かかる金属膜の表面であって大気環境に露
出しうる部分に塗布すればよい。
[0093] When the coating is applied to the oxide semiconductor, it is preferable to apply the coating to at least a portion that can be exposed to the atmospheric environment, as described later in detail. In the case where a metal film is stacked on the surface of the oxide semiconductor for reducing wiring resistance, the metal film may be applied to a portion of the surface of the metal film which can be exposed to the air environment.

【0094】えられる塗膜の厚さとしては、フィルム形
成剤の種類、含有量に応じて幅広い範囲で適宜選択すれ
ばよい。ただし、厚すぎると乾きが遅くなり接着性に劣
りうることに注意すべきである。一方、薄すぎるとピン
ホールなどの塗膜欠陥が発生しやすくなる。本発明にお
いては、ピンホールなどが発生して電解液が酸化物半導
体に達したとしても、前記イオン交換性材料の存在によ
って酸化物半導体は腐食しない。作業性および腐食防止
効果という点から、塗膜の厚さは1μm〜1mmの範囲
であればよい。
The thickness of the obtained coating film may be appropriately selected within a wide range according to the type and content of the film forming agent. However, it should be noted that if the thickness is too thick, the drying becomes slow and the adhesiveness may be poor. On the other hand, if it is too thin, coating defects such as pinholes are likely to occur. In the present invention, even if a pinhole or the like is generated and the electrolytic solution reaches the oxide semiconductor, the oxide semiconductor does not corrode due to the presence of the ion-exchange material. From the viewpoints of workability and corrosion prevention effect, the thickness of the coating film may be in the range of 1 μm to 1 mm.

【0095】上述のように、本発明はフィルム形成剤と
イオン交換性材料を酸化物半導体の表面に塗布すること
からなる酸化物半導体の腐食防止方法にも関する。
As described above, the present invention also relates to a method for preventing corrosion of an oxide semiconductor, which comprises applying a film-forming agent and an ion-exchange material to the surface of the oxide semiconductor.

【0096】本発明の酸化物半導体腐食防止用塗料を施
した酸化物半導体は、たとえばエレクトロクロミックな
どのディスプレイや調光デバイス、太陽電池、光スイッ
チ、自動車、カメラなどに使用される防曇防霜用ヒータ
ー、暖房用パネルヒーター、メーター指示窓、ブラウン
管表示面、照明灯外管、太陽集熱器などに用いることが
できる。
The oxide semiconductor to which the coating for preventing corrosion of an oxide semiconductor of the present invention has been applied can be used for, for example, electrochromic displays, dimming devices, solar cells, optical switches, automobiles, cameras, etc. Heaters, panel heaters for heating, meter indicator windows, cathode ray tube display surfaces, outer lamps, solar collectors, etc.

【0097】特に液晶表示装置を製造するばあいは、基
板、液晶、配向膜、金属膜(たとえばCr、Al、C
u、Niおよびこれらを主成分とする合金など)、およ
び前記腐食防止処理を施した酸化物半導体を用いること
によって、従来からの方法により製造することができ
る。このばあい、酸化物半導体としては、高透過率、高
耐久性という点から、ITO、ATO、AZOであるの
が好ましい。また、塗布の作業性、腐食防止効果の向上
という点から、基板のあいだにシール部材を用いて液晶
を封止したのちに、フィルム形成剤とイオン交換性材料
とを含む前記塗料を基板に塗布して製造するのが好まし
い。
In particular, when manufacturing a liquid crystal display device, a substrate, a liquid crystal, an alignment film, and a metal film (for example, Cr, Al, C
u, Ni and alloys containing these as main components), and an oxide semiconductor which has been subjected to the above-described corrosion prevention treatment, can be manufactured by a conventional method. In this case, the oxide semiconductor is preferably ITO, ATO, or AZO from the viewpoint of high transmittance and high durability. Further, from the viewpoint of improving the workability of application and the effect of preventing corrosion, after sealing the liquid crystal between the substrates using a sealing member, the paint containing a film forming agent and an ion exchange material is applied to the substrate. It is preferable to manufacture it.

【0098】ここで、液晶表示装置について、本発明に
もとづき腐食防止処理すべく酸化物半導体に前記塗料を
塗布する態様を図1〜5に示す。図1〜5は、本発明に
もとづいて腐食防止処理を施してなる液晶表示装置の部
分概略断面図である。図1〜5において、1aは上部基
板、1bは下部基板、2aは上部透明導電膜(酸化物半
導体)、2bは下部透明導電膜、3aは上部配向膜、3
bは下部配向膜、4は液晶、5はシール部材、6は本発
明の塗料を塗布してなる塗膜、7は金属膜、8は接続
部、9は駆動用回路基板である。
Here, the liquid crystal display device is shown in FIGS. 1 to 5 in an embodiment in which the paint is applied to an oxide semiconductor in order to perform a corrosion prevention treatment according to the present invention. 1 to 5 are partial schematic cross-sectional views of a liquid crystal display device subjected to a corrosion prevention process according to the present invention. 1A, 1a is an upper substrate, 1b is a lower substrate, 2a is an upper transparent conductive film (oxide semiconductor), 2b is a lower transparent conductive film, 3a is an upper alignment film, 3a
b is a lower alignment film, 4 is a liquid crystal, 5 is a seal member, 6 is a coating film formed by applying the paint of the present invention, 7 is a metal film, 8 is a connection portion, and 9 is a driving circuit board.

【0099】図1に示す実施態様1においては、大気環
境に露出しうる下部透明導電膜2bの表面と金属膜7の
端部に塗膜6を設けている。このばあい、配向膜3a、
液晶4、シール部材5を含む液晶基板と駆動用回路基板
9を電気的に結んでいる下部導電膜2bの上に塗膜を設
けているため、腐食による導通不良や断線を防止すると
いう点で好ましい。また、金属膜7から下部透明導電膜
2bへの電解液を介した電流リークを防止できる点で好
ましい。
In the embodiment 1 shown in FIG. 1, the coating film 6 is provided on the surface of the lower transparent conductive film 2b which can be exposed to the air environment and on the end of the metal film 7. In this case, the alignment film 3a,
Since a coating film is provided on the lower conductive film 2b electrically connecting the liquid crystal substrate including the liquid crystal 4 and the sealing member 5 to the driving circuit board 9, conduction failure and disconnection due to corrosion are prevented. preferable. Further, it is preferable in that current leakage from the metal film 7 to the lower transparent conductive film 2b via the electrolytic solution can be prevented.

【0100】図2に示す実施態様2においては、大気環
境に露出しうる下部透明導電膜2bの表面と金属膜7の
端部に加えて、接続部8の端部および駆動用回路基板9
の端部にも塗膜6を設けている。このばあい、接続部8
の端部および駆動用回路基板9の端部に電解液が付着し
ても、接続部8および駆動用回路基板9から透明導電膜
2bへの電解液を介した電流リークを防止することもで
きるという点で好ましい。
In the embodiment 2 shown in FIG. 2, in addition to the surface of the lower transparent conductive film 2b and the end of the metal film 7 which can be exposed to the air environment, the end of the connection portion 8 and the drive circuit board 9
Is also provided with a coating film 6 at the end. In this case, the connecting part 8
Even if the electrolyte adheres to the end of the circuit board 9 and the end of the drive circuit board 9, it is also possible to prevent a current leak from the connection section 8 and the drive circuit board 9 to the transparent conductive film 2b via the electrolyte. This is preferable in that respect.

【0101】図3に示す実施態様3においては、図1で
塗膜を設けた下部透明導電膜2bの表面と金属膜7の端
部に加えて、上部基板1aに形成した上部透明導電膜2
aの大気環境に露出しうる部分およびシール部材5の表
面にも塗膜6を設けている。このばあい、シール部材5
の表面に電解液が付着しても上部透明導電膜2aと下部
透明導電膜2bとのあいだの電解液を介した電流リーク
を防止できる点で好ましい。
In Embodiment 3 shown in FIG. 3, in addition to the surface of the lower transparent conductive film 2b provided with the coating film in FIG. 1 and the end of the metal film 7, the upper transparent conductive film 2 formed on the upper substrate 1a is formed.
The coating film 6 is also provided on the part of the seal member 5 that can be exposed to the atmosphere environment of a. In this case, the sealing member 5
This is preferred in that even if the electrolyte adheres to the surface of the substrate, current leakage between the upper transparent conductive film 2a and the lower transparent conductive film 2b through the electrolyte can be prevented.

【0102】図4に示す実施態様4においては、前記実
施態様1〜3を併せた態様である。このばあい、金属膜
7から下部透明導電膜2bへの電解液を介した電流リー
クの防止、接続部8および駆動用回路基板9から下部透
明導電膜2bへの電解液を介した電流リークの防止、な
らびに上部透明導電膜2aと下部透明導電膜2bとのあ
いだの電解液を介した電流リークの防止という点で好ま
しい。
Embodiment 4 shown in FIG. 4 is a combination of Embodiments 1 to 3. In this case, prevention of current leak from the metal film 7 to the lower transparent conductive film 2b via the electrolytic solution, and prevention of current leak from the connection portion 8 and the driving circuit board 9 to the lower transparent conductive film 2b through the electrolytic solution. This is preferable in terms of prevention and prevention of current leak between the upper transparent conductive film 2a and the lower transparent conductive film 2b via the electrolytic solution.

【0103】図5に示す実施態様5においては、図4に
示す実施態様4において、配線抵抗の低抵抗化のために
金属膜7が延在しているばあいに、さらに当該金属膜7
の延在部分にも塗膜6を設けている。このばあいには、
下部透明導電膜2bのみならず金属膜7の腐食防止とい
う点で好ましい。
In the embodiment 5 shown in FIG. 5, when the metal film 7 extends to reduce the wiring resistance in the embodiment 4 shown in FIG.
The coating film 6 is also provided on the extended portion of the. In this case,
This is preferable from the viewpoint of preventing corrosion of the metal film 7 as well as the lower transparent conductive film 2b.

【0104】また、防曇防霜用ヒーターを製造するばあ
いは、基板、金属膜、および前記腐食防止処理を施した
酸化物半導体を用いることによって、従来からの方法に
より製造することができる。このばあいも、酸化物半導
体としては、ITO、ATO、AZOであるのが好まし
い。
In the case of manufacturing a heater for anti-fogging and frost, it can be manufactured by a conventional method by using a substrate, a metal film, and an oxide semiconductor which has been subjected to the above-described corrosion prevention treatment. Also in this case, the oxide semiconductor is preferably ITO, ATO, or AZO.

【0105】以下に実施例を用いて本発明をより詳細に
説明するが、本発明はこれらのみに限定されるものでは
ない。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the present invention is not limited thereto.

【0106】[0106]

【実施例】実施例1 下記の組成のアクリル系樹脂の水性塗料(アトミクス
(株)製のつや出しニス)に、陽イオン交換能をもつ官
能基がスルホン酸基である強酸性陽イオン交換樹脂(三
菱化学(株)製のダイヤイオンFMK−10)と陰イオ
ン交換能をもつ官能基が4級アンモニウム基である強塩
基性陰イオン交換樹脂(三菱化学(株)製のダイヤイオ
ンFMA−10)を混合したものを本発明の塗料とし
た。いずれのイオン交換樹脂も平均粒径約100μmの
ものであった。この塗料の固形分のうち、強酸性陽イオ
ン交換樹脂が25重量%、強塩基性陰イオン交換樹脂が
25重量%となるように混合した。
EXAMPLES Example 1 A strongly acidic cation exchange resin having a cation exchange functional group as a sulfonic acid group was added to an aqueous acrylic resin paint (polished varnish manufactured by Atomics Co., Ltd.) having the following composition. Strongly basic anion exchange resin (Diaion FMK-10 manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.) having a quaternary ammonium group as a functional group having an anion exchange capability with Diaion FMK-10 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation Was used as the paint of the present invention. Each ion exchange resin had an average particle size of about 100 μm. The solid content of this paint was mixed so that the strongly acidic cation exchange resin was 25% by weight and the strongly basic anion exchange resin was 25% by weight.

【0107】この塗料を用い、図1に示すように液晶表
示装置の下部透明導電膜2b(ここではITOを用い
た)の表面に塗膜6を形成した。ついで、塗膜6の上に
0.1N−Na2SO4水溶液をスポイドを用いて滴下し
たのちに液晶表示装置を駆動させ、導通不良が生じるか
否か、また下部基板1b(ここでは、ガラスを用いた)
の裏面から目視により、下部透明導電膜2bが腐食して
いるか否かを観察して腐食防止性能を評価した。その結
果、導通不良は生じておらず、また下部透明導電膜2b
は腐食していなかった。
Using this coating material, a coating film 6 was formed on the surface of the lower transparent conductive film 2b (here, ITO was used) of the liquid crystal display device as shown in FIG. Then, by driving the liquid crystal display device After a 0.1N-Na 2 SO 4 aqueous solution on the coating film 6 was dropped using a dropper, whether conduction failure occurs, and in the lower substrate 1b (here, glass Was used)
The lower transparent conductive film 2b was visually observed from the back surface to determine whether or not the lower transparent conductive film 2b was corroded, and the corrosion prevention performance was evaluated. As a result, no conduction failure occurred, and the lower transparent conductive film 2b
Was not corroded.

【0108】 水性塗料組成 (重量%) 水溶性アクリル樹脂 35 エチルセロソルブ 35〜40 ブチルセロソルブ 5〜10 イソプロピルアルコール 20〜30 計 100 Aqueous coating composition (% by weight) Water-soluble acrylic resin 35 Ethyl cellosolve 35-40 Butyl cellosolve 5-10 Isopropyl alcohol 20-30 Total 100

【0109】実施例2〜4 水性塗料を、アクリル系エマルジョン(大日本塗料
(株)製のアクローゼ#100V)、塩化ビニル系エマ
ルジョン(大日本塗料(株)製のビニローゼ#41
0)、またはアクリル系水性塗料(大日本塗料(株)製
のビューテックス)にかえたほかは、実施例1と同様に
して塗料を製造し、評価を行なった。その結果、それぞ
れ、導通不良は生じておらず、また下部透明導電膜2b
は腐食していなかった。
Examples 2 to 4 Water-based paints were prepared using acrylic emulsions (Acrose # 100V manufactured by Dainippon Paint Co., Ltd.) and vinyl chloride emulsions (vinylose # 41 manufactured by Dainippon Paint Co., Ltd.)
0) or an acrylic water-based paint (Buetex manufactured by Dainippon Paint Co., Ltd.), and a paint was produced and evaluated in the same manner as in Example 1. As a result, no conduction failure occurred, and the lower transparent conductive film 2b was not formed.
Was not corroded.

【0110】実施例5 下記の組成のポリオレフィン系樹脂の有機溶剤ベースの
塗料(AR BROWN社製のHumiSeal−1B
51)に、強酸性陽イオン交換樹脂(三菱化学(株)製
のダイヤイオンFMK−10)が25重量%、強塩基性
陰イオン交換樹脂(三菱化学(株)製のダイヤイオンF
MA−10)が25重量%となるように混合したものを
塗料とした。この塗料を実施例1と同様の方法で塗布し
たのち腐食防止性能を評価した。その結果、導通不良は
生じておらず、また下部透明導電膜2bは腐食していな
かった。
Example 5 Organic solvent-based paint of polyolefin resin having the following composition (HumiSeal-1B manufactured by AR BROWN)
51), 25% by weight of a strongly acidic cation exchange resin (Diaion FMK-10 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) and a strongly basic anion exchange resin (Diaion F manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)
MA-10) was used as a coating. This coating material was applied in the same manner as in Example 1, and the corrosion prevention performance was evaluated. As a result, no conduction failure occurred, and the lower transparent conductive film 2b was not corroded.

【0111】 有機溶媒ベース塗料組成 (重量%) 変性ポリエチレン 20〜30 トルエン 70〜80 計 100Organic solvent-based coating composition (% by weight) Modified polyethylene 20-30 Toluene 70-80 Total 100

【0112】実施例6〜10 有機溶媒ベース塗料として、アルキド樹脂(日本油脂
(株)製のメラミNo.51)、尿素メラミン樹脂(日
本ペイント(株)製のメラミックス1230)、エポキ
シ樹脂(大日本塗料(株)製のエポニックス#10)、
ポリエステル樹脂(日本ペイント(株)製の3200V
クリア)、アクリル樹脂(日本ペイント(株)製のニッ
ペアクリル)、ビニル樹脂(日本ペイント(株)製のビ
ニレックス2000)、またはウレタン樹脂(大日本塗
料(株)製のVトップH上塗り)を用いたほかは、実施
例5と同様にして塗料を製造し、評価を行なった。その
結果、それぞれ、導通不良は生じておらず、また下部透
明導電膜2bは腐食していなかった。
Examples 6 to 10 As organic solvent-based coatings, alkyd resin (Merami No. 51 manufactured by NOF Corporation), urea melamine resin (Meramix 1230 manufactured by Nippon Paint Co., Ltd.), epoxy resin Nippon Paint Co., Ltd. Eponics # 10),
Polyester resin (3200V manufactured by Nippon Paint Co., Ltd.)
Clear), acrylic resin (Nippe Acrylic manufactured by Nippon Paint Co., Ltd.), vinyl resin (Vinylex 2000 manufactured by Nippon Paint Co., Ltd.), or urethane resin (V top H overcoat manufactured by Dainippon Paint Co., Ltd.) A coating material was produced and evaluated in the same manner as in Example 5, except for using it. As a result, no conduction failure occurred, and the lower transparent conductive film 2b was not corroded.

【0113】実施例11 フィルム形成剤として、室温硬化型シリコーンゴム(信
越化学工業(株)製のKE3420)を用い、強酸性陽
イオン交換樹脂(三菱化学(株)製のダイヤイオンFM
K−10)と強塩基性陰イオン交換樹脂(三菱化学
(株)製のダイヤイオンFMA−10)を混合したもの
を塗料とした。
Example 11 A room-temperature-curable silicone rubber (KE3420 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was used as a film forming agent, and a strongly acidic cation exchange resin (Diaion FM manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) was used.
K-10) and a strongly basic anion exchange resin (Diaion FMA-10 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) were mixed to obtain a paint.

【0114】塗料の固形分組成は室温硬化型シリコーン
ゴム50重量%、陽イオン交換樹脂25重量%、陰イオ
ン交換樹脂25重量%であった。また、いずれのイオン
交換樹脂も平均粒径が約100μmで、塗膜の膜厚は約
1μmであった。その後、実施例1と同様の方法で腐食
防止性能を評価した。その結果、導通不良を生じず、ま
た下部透明導電膜2bは腐食していなかった。
The solid content of the coating composition was 50% by weight of a room temperature-curable silicone rubber, 25% by weight of a cation exchange resin, and 25% by weight of an anion exchange resin. Each of the ion exchange resins had an average particle size of about 100 μm, and the thickness of the coating film was about 1 μm. Then, the corrosion prevention performance was evaluated in the same manner as in Example 1. As a result, no conduction failure occurred, and the lower transparent conductive film 2b was not corroded.

【0115】実施例12〜20 フィルム形成剤として、紫外線硬化型シリコーンゴム
(信越化学工業(株)製のKE4830)、湿気硬化型
ウレタン樹脂(トウベ(株)製のトアウレタンMCクリ
ア)、無溶媒速乾性シリコーン(東レ・ダウコーニング
・シリコン(株)製のSE9187L)、紫外線硬化型
シリコーン(菱電化成(株)製のV549)、エポキシ
樹脂(長瀬チバ(株)製のARALDITE CY23
0)、天然ゴム系接着剤(コクヨ(株)製のPAPER
BOND)、アクリル樹脂エマルジョン系接着剤(コ
ニシ(株)製のマーカ糊)、動物性接着剤(ニカワ)、
植物性接着剤(デンプン糊)を用いたほかは、実施例1
と同様にして塗料を製造し、評価を行なった。その結
果、それぞれ、導通不良は生じておらず、また下部透明
導電膜2bは腐食していなかった。
Examples 12 to 20 As a film forming agent, an ultraviolet-curable silicone rubber (KE4830 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), a moisture-curable urethane resin (Tourethane MC clear manufactured by Tove Co., Ltd.), a solvent-free speed Dry silicone (SE9187L manufactured by Dow Corning Toray Silicone Co., Ltd.), UV-curable silicone (V549 manufactured by Ryoden Kasei Co., Ltd.), epoxy resin (ARADITE CY23 manufactured by Chiba Nagase Co., Ltd.)
0), natural rubber adhesive (PAPER manufactured by KOKUYO Co., Ltd.)
BOND), acrylic resin emulsion-based adhesive (marker glue manufactured by Konishi Co., Ltd.), animal-based adhesive (Nika),
Example 1 except that a vegetable adhesive (starch paste) was used.
A paint was manufactured and evaluated in the same manner as described above. As a result, no conduction failure occurred, and the lower transparent conductive film 2b was not corroded.

【0116】実施例21 フィルム形成剤として、水性塗料(アトミクス(株)製
のつや出しニス)、またイオン交換性材料として、無機
イオン交換材料である水酸化アンチモンを用いたばあい
の透明導電膜の腐食防止効果を調べた。塗料の固形分組
成は水性塗料50重量%、含水酸化アンチモン(無機イ
オン交換材料)50重量%であった。その結果、導通不
良を生じず、また下部透明導電膜(たとえば、ITO)
2bは腐食していなかった。
Example 21 Corrosion of a transparent conductive film when an aqueous paint (polish varnish manufactured by Atomics Co., Ltd.) was used as a film forming agent and antimony hydroxide as an inorganic ion exchange material was used as an ion exchange material. The prevention effect was investigated. The solid content composition of the paint was 50% by weight of the aqueous paint and 50% by weight of hydrous antimony oxide (inorganic ion exchange material). As a result, no conduction failure occurs and the lower transparent conductive film (for example, ITO)
2b was not corroded.

【0117】実施例22〜24 イオン交換性材料として、無機イオン交換性材料である
含水酸化アンチモンをリン酸ジルコニウム、ハイドロタ
ルサイトまたはヒドロキシアパタイトにかえ、水性塗料
50重量%、無機イオン交換性材料50重量%の本発明
の塗料を実施例21と同様にして製造し、評価を行なっ
た。その結果、それぞれ、導通不良は生じておらず、ま
た下部透明導電膜2bは腐食していなかった。
Examples 22 to 24 As an ion-exchange material, zirconium phosphate, hydrotalcite or hydroxyapatite was replaced with hydrous antimony as an inorganic ion-exchange material. A coating composition of the present invention was prepared in the same manner as in Example 21 by weight and evaluated. As a result, no conduction failure occurred, and the lower transparent conductive film 2b was not corroded.

【0118】実施例25〜28 水性塗料にかえて有機溶剤ベースの塗料(AR BRO
WN社製のHumiSeal−1B51)を用いたほか
は、実施例21〜24と同様にして塗料を製造し、評価
を行なった。その結果、それぞれ、導通不良は生じてお
らず、また下部透明導電膜2bは腐食していなかった。
Examples 25 to 28 Organic solvent-based paints (AR BRO) instead of water-based paints
A coating material was manufactured and evaluated in the same manner as in Examples 21 to 24, except that HumiSeal-1B51 manufactured by WN was used. As a result, no conduction failure occurred, and the lower transparent conductive film 2b was not corroded.

【0119】実施例29〜56 まず、図6に、本実施例において作製した防曇防霜用ヒ
ーターの概略断面図を示す。図6中、10は基板(たと
えばガラス)、11は酸化物半導体(透明導電膜、たと
えばITO)、12は金属膜(たとえばAg)、13は
本発明の塗料を塗布してえられる塗膜である。
Embodiments 29 to 56 First, FIG. 6 is a schematic sectional view of a heater for anti-fog and frost prepared in this embodiment. In FIG. 6, 10 is a substrate (for example, glass), 11 is an oxide semiconductor (for example, ITO), 12 is a metal film (for example, Ag), and 13 is a coating film obtained by applying the paint of the present invention. is there.

【0120】図6に示すように、実施例1〜28でえた
塗料のいずれか1つを用い、透明導電膜11と金属膜1
2との境界部分および金属膜12の表面部分を、はけ塗
りで塗布し、自然放置により乾燥させて塗膜を形成し
た。なお、かかる部分に塗膜を形成したのは、前記境界
部分および表面部分にピンホールなどが存在すると、毛
管凝縮現象により大気中の水分が凝縮し、電解液を生成
しうるからである。
As shown in FIG. 6, using one of the paints obtained in Examples 1 to 28, the transparent conductive film 11 and the metal film 1 were used.
2 and the surface portion of the metal film 12 were applied by brushing and dried by standing naturally to form a coating film. The reason why the coating film is formed on such a portion is that if pinholes or the like are present at the boundary portion and the surface portion, the moisture in the atmosphere is condensed due to a capillary condensation phenomenon, and an electrolytic solution can be generated.

【0121】上述のようにしてえた防曇防霜用ヒーター
について、塗膜13の上に0.1N−Na2SO4水溶液
をスポイドを用いて滴下して防曇防霜用ヒーターに10
0Vの直流電流を印加し、導通不良が生じるか否か、ま
た基板10の裏面から目視観察により、腐食しているか
否かで腐食防止性能を評価した。その結果、導通不良を
生じず、また酸化物半導体11は腐食していなかった。
With respect to the anti-fogging and defrosting heater obtained as described above, a 0.1N-Na 2 SO 4 aqueous solution was dropped on the coating film 13 by using a dropper, and 10
The anti-corrosion performance was evaluated by applying a direct current of 0 V to determine whether or not conduction failure occurred, and whether or not the substrate 10 was corroded by visual observation from the back surface of the substrate 10. As a result, no conduction failure occurred, and the oxide semiconductor 11 was not corroded.

【0122】[0122]

【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、イオン交
換性材料を酸化物半導体の表面に保持する役目を果たす
フィルム形成剤と海塩粒子、埃に含まれる塩(電解質)
を捕捉・除去するイオン交換性材料から構成される塗料
なので、酸化物半導体の腐食を防止できる効果を奏す
る。
According to the first aspect of the present invention, a film-forming agent serving to hold an ion-exchangeable material on the surface of an oxide semiconductor, a salt contained in sea salt particles and dust (electrolyte)
Since it is a paint composed of an ion-exchange material that traps and removes, it has an effect of preventing corrosion of the oxide semiconductor.

【0123】請求項2記載の発明によれば、フィルム形
成剤が親水性なので、電解液中に含まれる電解質(イオ
ン)を容易に捕捉・除去する効果を奏する。
According to the second aspect of the present invention, since the film forming agent is hydrophilic, an effect of easily capturing and removing the electrolyte (ions) contained in the electrolytic solution can be obtained.

【0124】請求項3記載の発明によれば、容易に入手
できる樹脂を親水性フィルム形成剤に使用するので、簡
単に酸化物半導体腐食防止塗料を作製できる効果を奏す
る。
According to the third aspect of the present invention, since an easily available resin is used as the hydrophilic film forming agent, an effect of easily producing an oxide semiconductor corrosion preventing paint can be obtained.

【0125】請求項4記載の発明によれば、水および/
または親水性有機溶媒を溶媒として用いるので、親水性
フィルム形成剤とイオン交換性材料を均一に分散混合で
き、電解質を効果的に除去できる効果を奏する。
According to the fourth aspect of the present invention, water and / or
Alternatively, since the hydrophilic organic solvent is used as the solvent, the hydrophilic film forming agent and the ion exchange material can be uniformly dispersed and mixed, and the effect of effectively removing the electrolyte can be obtained.

【0126】請求項5記載の発明によれば、フィルム形
成剤が疎水性なので、乾燥速度が早く、塗布の作業性が
向上する効果を奏する。
According to the fifth aspect of the present invention, since the film forming agent is hydrophobic, the drying speed is high and the workability of coating is improved.

【0127】請求項6記載の発明によれば、容易に入手
できる樹脂を疎水性フィルム形成剤に使用するので、簡
単に酸化物半導体腐食防止塗膜を作製できる効果を奏す
る。
According to the sixth aspect of the present invention, an easily available resin is used as the hydrophobic film forming agent, so that an effect of easily forming an oxide semiconductor corrosion preventing coating can be obtained.

【0128】請求項7記載の発明によれば、疎水性有機
溶媒を溶媒として用いるので、疎水性フィルム形成剤と
イオン交換性材料を均一に分散混合でき、電解質を効果
的に除去できる効果を奏する。
According to the seventh aspect of the present invention, since the hydrophobic organic solvent is used as the solvent, the hydrophobic film forming agent and the ion exchange material can be uniformly dispersed and mixed, and the effect of effectively removing the electrolyte can be obtained. .

【0129】請求項8記載の発明によれば、溶媒を用い
るばあい、フィルム形成剤とイオン交換性材料を均一に
分散混合できる効果を奏する。また溶媒を用いないばあ
い、換気設備が不要である効果を奏する。
According to the eighth aspect of the invention, when a solvent is used, there is an effect that the film forming agent and the ion exchange material can be uniformly dispersed and mixed. If no solvent is used, there is an effect that ventilation equipment is unnecessary.

【0130】請求項9記載の発明によれば、溶媒を用い
ないフィルム形成剤なので、換気設備が不要である効果
を奏する。
According to the ninth aspect of the present invention, since a film forming agent does not use a solvent, an effect that ventilation equipment is not required is exhibited.

【0131】請求項10記載の発明によれば、塗料以外
の分野で使用される接着剤、シール剤、粘着剤をフィル
ム形成剤として使用するので、容易に入手でき、簡単に
酸化物半導体腐食防止塗料を作製できる効果を奏する。
According to the tenth aspect of the present invention, since an adhesive, a sealant, and a pressure-sensitive adhesive used in fields other than paints are used as a film-forming agent, they are easily available and easily prevent oxide semiconductor corrosion. This has the effect of producing a paint.

【0132】請求項11記載の発明によれば、イオン交
換性材料がイオン交換樹脂なので、電解液中の電解質
(イオン)を捕捉・除去できる効果を奏する。
According to the eleventh aspect of the present invention, since the ion-exchangeable material is an ion-exchange resin, there is an effect that the electrolyte (ions) in the electrolytic solution can be captured and removed.

【0133】請求項12記載の発明によれば、イオン交
換性樹脂が陽イオン交換樹脂および陰イオン交換樹脂よ
りなる群から選択された少なくとも1種であるので、電
解液中の陽イオンを陽イオン交換樹脂が、また電解液中
の陰イオンを陰イオン交換樹脂がそれぞれ捕捉・除去で
きる効果を奏する。
According to the twelfth aspect of the present invention, the ion exchange resin is at least one selected from the group consisting of a cation exchange resin and an anion exchange resin. The exchange resin and the anion exchange resin can capture and remove anions in the electrolyte solution.

【0134】請求項13記載の発明によれば、陽イオン
交換樹脂が強酸性陽イオン交換樹脂なので、陽イオン交
換速度が速く、陽イオン交換容量も大きい。したがっ
て、電解液中の陽イオンを迅速に捕捉・除去できる効果
を奏する。
According to the thirteenth aspect, since the cation exchange resin is a strongly acidic cation exchange resin, the cation exchange rate is high and the cation exchange capacity is large. Therefore, an effect is obtained that cations in the electrolytic solution can be quickly captured and removed.

【0135】請求項14記載の発明によれば、陰イオン
交換樹脂が強塩基性陰イオン交換樹脂なので、陰イオン
交換速度が速く、陰イオン交換容量も大きい。したがっ
て、電解液中の陰イオンを迅速に捕捉・除去できる効果
を奏する。
According to the invention of claim 14, since the anion exchange resin is a strongly basic anion exchange resin, the anion exchange rate is high and the anion exchange capacity is large. Therefore, an effect is obtained that anions in the electrolytic solution can be quickly captured and removed.

【0136】請求項15記載の発明によれば、イオン交
換性材料が無機イオン交換性物質なので、耐熱性に優れ
る効果を奏する。
According to the fifteenth aspect, since the ion-exchange material is an inorganic ion-exchange material, it has an excellent heat resistance.

【0137】請求項16記載の発明によれば、容易に入
手できる無機イオン交換性物質をイオン交換性材料とし
て使用するので、簡単に酸化物半導体腐食防止塗料を作
製できる効果を奏する。
According to the sixteenth aspect of the present invention, since an easily available inorganic ion-exchange substance is used as the ion-exchange material, there is an effect that an oxide semiconductor corrosion preventing paint can be easily produced.

【0138】請求項17記載の発明によれば、イオン交
換性材料が固形分の0.2〜99.8重量%なので、使
用環境に応じて広範囲にイオン交換性材料の含有量を選
択できる効果を奏する。
According to the seventeenth aspect of the present invention, the content of the ion-exchange material is 0.2 to 99.8% by weight of the solid content, so that the content of the ion-exchange material can be selected over a wide range according to the use environment. To play.

【0139】請求項18記載の発明によれば、イオン交
換性材料が粒状で、かつ平均粒径が1〜1000μmな
ので、比表面積が大きく、かつ塗膜中に均一分散させる
ことができる。これにより、電解質(イオン)を効率的
に除去できる効果を奏する。
According to the eighteenth aspect of the present invention, since the ion exchange material is granular and has an average particle size of 1 to 1000 μm, it can have a large specific surface area and can be uniformly dispersed in a coating film. Thereby, there is an effect that the electrolyte (ions) can be efficiently removed.

【0140】請求項19記載の発明によれば、酸化物半
導体の表面に、フィルム形成剤とイオン交換性材料とを
含む塗料を塗布するので、酸化物半導体の表面に付着し
た電解液中の電解質(イオン)をイオン交換性材料で捕
捉・除去できる。これにより、酸化物半導体の腐食を防
止できる効果を奏する。
According to the nineteenth aspect of the present invention, since a paint containing a film forming agent and an ion-exchange material is applied to the surface of the oxide semiconductor, the electrolyte in the electrolyte adhering to the surface of the oxide semiconductor is coated. (Ion) can be captured and removed by the ion exchange material. Thus, an effect of preventing corrosion of the oxide semiconductor can be obtained.

【0141】請求項20記載の発明によれば、液晶表示
装置に使用の酸化物半導体の表面に、フィルム形成剤と
イオン交換性材料とを含む塗料を塗布するので、酸化物
半導体の表面に付着した電解液中の電解質(イオン)を
イオン交換性材料で捕捉・除去できる。これにより、酸
化物半導体の腐食を防止でき、液晶表示装置の抵抗増加
や断線不良を防止できる効果を奏する。
According to the twentieth aspect, a paint containing a film forming agent and an ion-exchange material is applied to the surface of the oxide semiconductor used for the liquid crystal display device. The electrolyte (ions) in the electrolyte solution obtained can be captured and removed by the ion exchange material. Accordingly, the effect of preventing corrosion of the oxide semiconductor and preventing an increase in resistance and disconnection failure of the liquid crystal display device can be obtained.

【0142】請求項21記載の発明によれば、液晶表示
装置に使用の大気環境に露出する酸化物半導体の表面
に、フィルム形成剤とイオン交換性材料とを含む塗料を
塗布するので、酸化物半導体の表面に付着した電解液中
の電解質(イオン)をイオン交換性材料で捕捉・除去で
きる。これにより、酸化物半導体の腐食を防止でき、液
晶表示装置の抵抗増加や断線不良を防止できる効果を奏
する。また配線抵抗の低抵抗化のために液晶表示装置に
使用の大気環境に露出する酸化物半導体の上に形成した
金属膜の表面に、フィルム形成剤とイオン交換性材料と
を含む塗料を塗布するので、金属膜の表面に付着した電
解液中の電解質(イオン)をイオン交換性材料で捕捉・
除去できる。これにより、金属膜および酸化物半導体の
腐食を防止でき、液晶表示装置の抵抗増加や断線不良を
防止できる効果を奏する。
According to the twenty-first aspect of the present invention, a paint containing a film-forming agent and an ion-exchange material is applied to the surface of an oxide semiconductor exposed to the atmospheric environment used for a liquid crystal display device. An electrolyte (ion) in the electrolyte solution attached to the surface of the semiconductor can be captured and removed by the ion exchange material. Accordingly, the effect of preventing corrosion of the oxide semiconductor and preventing an increase in resistance and disconnection failure of the liquid crystal display device can be obtained. In addition, a paint containing a film-forming agent and an ion-exchange material is applied to the surface of a metal film formed on an oxide semiconductor exposed to the air environment used for a liquid crystal display device to reduce wiring resistance. Therefore, the electrolyte (ions) in the electrolyte attached to the surface of the metal film is captured by the ion exchange material.
Can be removed. Accordingly, corrosion of the metal film and the oxide semiconductor can be prevented, and an effect of preventing an increase in resistance and disconnection failure of the liquid crystal display device can be obtained.

【0143】請求項22記載の発明によれば、液晶表示
装置に使用のシール部材の表面に、フィルム形成剤とイ
オン交換性材料とを含む塗料を塗布するので、液晶表示
装置を駆動させたばあい、上部酸化物半導体(透明導電
膜)と下部酸化物半導体(透明導電膜)の間に存在する
シール部材表面に電解液が付着しても、電解液を介した
電流リークを生じない。これにより、酸化物半導体の腐
食を防止でき、液晶表示装置の抵抗増加や断線不良を防
止できる効果を奏する。
According to the invention of claim 22, since a paint containing a film forming agent and an ion-exchange material is applied to the surface of the seal member used for the liquid crystal display device, the liquid crystal display device is driven. Even if the electrolyte adheres to the surface of the seal member existing between the upper oxide semiconductor (transparent conductive film) and the lower oxide semiconductor (transparent conductive film), no current leaks through the electrolyte. Accordingly, the effect of preventing corrosion of the oxide semiconductor and preventing an increase in resistance and disconnection failure of the liquid crystal display device can be obtained.

【0144】請求項23記載の発明によれば、防曇防霜
用ヒーターに使用の酸化物半導体表面に、フィルム形成
剤とイオン交換性材料とを含む材料を塗布するので、酸
化物半導体の表面に付着した電解液中の電解質(イオ
ン)をイオン交換性材料を捕捉・除去できる。これによ
り、酸化物半導体の腐食を防止でき、防曇防霜用ヒータ
ーの抵抗増加や断線不良を防止できる効果を奏する。
According to the twenty-third aspect of the present invention, a material containing a film forming agent and an ion-exchange material is applied to the surface of the oxide semiconductor used for the heater for anti-fogging and defrosting. The electrolyte (ion) in the electrolytic solution adhered to the ion exchange material can be captured and removed. Thereby, corrosion of the oxide semiconductor can be prevented, and an effect of preventing an increase in resistance and a disconnection failure of the heater for anti-fog and defrost can be achieved.

【0145】請求項24記載の発明によれば、防曇防霜
用ヒーターに使用の酸化物半導体の表面に、フィルム形
成剤とイオン交換性材料とを含む塗料を塗布するので、
酸化物半導体の表面に付着した電解液中の電解質(イオ
ン)をイオン交換性材料で捕捉・除去できる。また酸化
物半導体の上に形成した金属膜の表面に、フィルム形成
剤とイオン交換性材料を含む塗料を塗布するので、金属
膜の表面に付着した電解液中の電解質(イオン)をイオ
ン交換性材料で捕捉・除去できる。これにより、金属膜
および酸化物半導体の腐食を防止でき、防曇防霜用ヒー
ターの抵抗増加や断線不良を防止できる効果を奏する。
According to the twenty-fourth aspect, a paint containing a film forming agent and an ion-exchange material is applied to the surface of the oxide semiconductor used for the anti-fog and defrost heater.
Electrolyte (ions) in the electrolytic solution attached to the surface of the oxide semiconductor can be captured and removed by the ion-exchange material. In addition, since a paint containing a film forming agent and an ion-exchange material is applied to the surface of the metal film formed on the oxide semiconductor, the electrolyte (ion) in the electrolytic solution attached to the surface of the metal film is ion-exchangeable. Can be captured and removed by material. Accordingly, corrosion of the metal film and the oxide semiconductor can be prevented, and an effect of preventing an increase in resistance and a disconnection failure of the anti-fog and frost heater can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明による腐食防止処理を施してなる液晶
表示装置の部分概略断面図である。
FIG. 1 is a partial schematic cross-sectional view of a liquid crystal display device subjected to a corrosion prevention process according to the present invention.

【図2】 本発明による腐食防止処理を施してなる液晶
表示装置の部分概略断面図である。
FIG. 2 is a partial schematic cross-sectional view of a liquid crystal display device that has been subjected to a corrosion prevention process according to the present invention.

【図3】 本発明による腐食防止処理を施してなる液晶
表示装置の部分概略断面図である。
FIG. 3 is a partial schematic cross-sectional view of a liquid crystal display device that has been subjected to a corrosion prevention process according to the present invention.

【図4】 本発明による腐食防止処理を施してなる液晶
表示装置の部分概略断面図である。
FIG. 4 is a partial schematic cross-sectional view of a liquid crystal display device that has been subjected to a corrosion prevention process according to the present invention.

【図5】 本発明による腐食防止処理を施してなる液晶
表示装置の部分概略断面図である。
FIG. 5 is a partial schematic cross-sectional view of a liquid crystal display device that has been subjected to a corrosion prevention process according to the present invention.

【図6】 本発明の実施例において作製した防曇防霜用
ヒーターの概略断面図である。
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of a heater for anti-fog and defrost prepared in an example of the present invention.

【図7】 ATOの腐食機構を説明するための模式図で
ある。
FIG. 7 is a schematic diagram for explaining the corrosion mechanism of ATO.

【図8】 従来技術による液晶表示装置の部分概略断面
図である。
FIG. 8 is a partial schematic cross-sectional view of a conventional liquid crystal display device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板、2 透明導電膜、3 配向膜、4 液晶、5
シール部材、6塗膜、7 金属膜、8 接続部、9
駆動用回路基板、10 基板、11 透明導電膜、12
金属膜、13 塗膜、20 電源、21 Ag陽極、
22 Ag陰極、23 ATO、24 ガラス基板、2
5 液滴、26 電流、27 アノード部、28 カソ
ード部、29 移動幅、30 腐食部分。
1 substrate, 2 transparent conductive film, 3 alignment film, 4 liquid crystal, 5
Sealing member, 6 paint film, 7 metal film, 8 connection part, 9
Driving circuit board, 10 substrate, 11 transparent conductive film, 12
Metal film, 13 coatings, 20 power supply, 21 Ag anode,
22 Ag cathode, 23 ATO, 24 glass substrate, 2
5 droplet, 26 current, 27 anode part, 28 cathode part, 29 moving width, 30 corroded part.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西森 忠雄 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 爰河 徹 熊本県菊池郡西合志町御代志997番地 株 式会社アドバンスト・ディスプレイ内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Tadao Nishimori 2-3-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Mitsubishi Electric Co., Ltd. Company Advanced Display

Claims (24)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 フィルム形成剤とイオン交換性材料とを
含む酸化物半導体腐食防止用塗料。
1. A paint for preventing corrosion of an oxide semiconductor, comprising a film-forming agent and an ion-exchange material.
【請求項2】 フィルム形成剤が親水性フィルム形成剤
である請求項1記載の塗料。
2. The coating composition according to claim 1, wherein the film forming agent is a hydrophilic film forming agent.
【請求項3】 親水性フィルム形成剤が、親水性基をも
つアクリル樹脂、アルキド樹脂、メラミン樹脂、尿素樹
脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、セルロース樹脂、
ウレタン樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリビニルアルコ
ール樹脂または塩化ビニル樹脂である請求項2記載の塗
料。
3. The method according to claim 1, wherein the hydrophilic film forming agent is an acrylic resin having a hydrophilic group, an alkyd resin, a melamine resin, a urea resin, a phenol resin, an epoxy resin, a cellulose resin.
The paint according to claim 2, which is a urethane resin, a polyacetal resin, a polyvinyl alcohol resin or a vinyl chloride resin.
【請求項4】 水および/または親水性有機溶媒を溶媒
とする請求項2記載の塗料。
4. The coating according to claim 2, wherein water and / or a hydrophilic organic solvent is used as a solvent.
【請求項5】 フィルム形成剤が疎水性フィルム形成剤
である請求項1記載の塗料。
5. The coating according to claim 1, wherein the film forming agent is a hydrophobic film forming agent.
【請求項6】 疎水性フィルム形成剤がセルロース樹
脂、アルキド樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、塩化ビニ
ル樹脂、ブチラール樹脂、アミノアルキド樹脂、アクリ
ル樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ウレ
タン樹脂、オレフィン樹脂または酢酸ビニル樹脂である
請求項5記載の塗料。
6. The hydrophobic film forming agent is a cellulose resin, alkyd resin, melamine resin, urea resin, vinyl chloride resin, butyral resin, aminoalkyd resin, acrylic resin, epoxy resin, unsaturated polyester resin, urethane resin, olefin resin. 6. The paint according to claim 5, which is a vinyl acetate resin.
【請求項7】 疎水性有機溶媒を溶媒とする請求項5記
載の塗料。
7. The coating according to claim 5, wherein a hydrophobic organic solvent is used as a solvent.
【請求項8】 溶媒を含むかまたは含まない請求項1記
載の塗料。
8. The coating according to claim 1, which contains or does not contain a solvent.
【請求項9】 溶媒を含まず、フィルム形成剤がエポキ
シ樹脂、ウレタン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂または
シリコーン樹脂である請求項1記載の塗料。
9. The coating composition according to claim 1, which contains no solvent and wherein the film-forming agent is an epoxy resin, a urethane resin, an unsaturated polyester resin or a silicone resin.
【請求項10】 フィルム形成剤がクロロプレンゴム、
ニトリルゴム、スチレン−ブタジエンゴム、シリコーン
ゴム、ポリ−n−ブチルアクリレート、ニカワまたはデ
ンプン糊である請求項1記載の塗料。
10. The film-forming agent is chloroprene rubber,
The paint according to claim 1, which is a nitrile rubber, a styrene-butadiene rubber, a silicone rubber, a poly-n-butyl acrylate, glue or starch paste.
【請求項11】 イオン交換性材料がイオン交換樹脂で
ある請求項1記載の塗料。
11. The coating according to claim 1, wherein the ion exchange material is an ion exchange resin.
【請求項12】 イオン交換性樹脂が陽イオン交換樹脂
および陰イオン交換樹脂よりなる群から選択される少な
くとも1種である請求項11記載の塗料。
12. The paint according to claim 11, wherein the ion exchange resin is at least one selected from the group consisting of a cation exchange resin and an anion exchange resin.
【請求項13】 陽イオン交換樹脂が強酸性陽イオン交
換樹脂である請求項12記載の塗料。
13. The coating according to claim 12, wherein the cation exchange resin is a strongly acidic cation exchange resin.
【請求項14】 陰イオン交換樹脂が強塩基性陰イオン
交換樹脂である請求項12記載の塗料。
14. The coating according to claim 12, wherein the anion exchange resin is a strongly basic anion exchange resin.
【請求項15】 イオン交換性材料が無機イオン交換性
物質である請求項1記載の塗料。
15. The coating according to claim 1, wherein the ion exchange material is an inorganic ion exchange substance.
【請求項16】 無機イオン交換性物質が水酸化アンチ
モン、リン酸ジルコニウム、ハイドロサルタイトおよび
ヒドロキシアパタイトよりなる群から選択される1種で
ある請求項15記載の塗料。
16. The coating according to claim 15, wherein the inorganic ion exchangeable substance is one selected from the group consisting of antimony hydroxide, zirconium phosphate, hydrosaltite and hydroxyapatite.
【請求項17】 イオン交換性材料が塗料の固形分の
0.2〜99.8重量%である請求項1記載の塗料。
17. The coating according to claim 1, wherein the ion-exchangeable material is 0.2 to 99.8% by weight of the solid content of the coating.
【請求項18】 イオン交換性材料が粒状であり、かつ
平均粒径が1〜1000μmである請求項1記載の塗
料。
18. The coating material according to claim 1, wherein the ion-exchange material is granular and has an average particle size of 1 to 1000 μm.
【請求項19】 酸化物半導体の表面に、フィルム形成
剤とイオン交換性材料とを含む塗料を塗布することから
なる酸化物半導体の腐食防止法。
19. A method for preventing corrosion of an oxide semiconductor, comprising applying a paint containing a film-forming agent and an ion-exchange material to a surface of the oxide semiconductor.
【請求項20】 請求項1記載の塗料を塗布してなる酸
化物半導体を含む液晶表示装置。
20. A liquid crystal display device comprising an oxide semiconductor formed by applying the paint according to claim 1.
【請求項21】 酸化物半導体の表面であって大気環境
に露出する表面、または酸化物半導体の表面上に形成し
た金属膜の表面であって大気環境に露出する表面に、塗
料を塗布してなる請求項20記載の液晶表示装置。
21. A paint is applied to a surface of an oxide semiconductor which is exposed to the air environment or a surface of a metal film formed on a surface of the oxide semiconductor which is exposed to the air environment. The liquid crystal display device according to claim 20, wherein:
【請求項22】 基板のあいだにシール部材を用いて液
晶が封止されており、かつ前記塗料を該基板または該基
板とシール部材の表面に塗布してなる請求項21記載の
液晶表示装置。
22. The liquid crystal display device according to claim 21, wherein the liquid crystal is sealed between the substrates by using a sealing member, and the paint is applied to the surface of the substrate or the substrate and the sealing member.
【請求項23】 請求項1記載の塗料を塗布してなる酸
化物半導体を含む防曇防霜用ヒーター。
23. An anti-fogging and defrosting heater comprising an oxide semiconductor obtained by applying the paint according to claim 1.
【請求項24】 酸化物半導体の表面であって大気環境
に露出する表面、または酸化物半導体の表面上に形成し
た金属膜の表面であって大気環境に露出する表面に、前
記塗料を塗布してなる請求項23記載の防曇防霜用ヒー
ター。
24. The coating material is applied to a surface of an oxide semiconductor which is exposed to the air environment or a surface of a metal film formed on the surface of the oxide semiconductor which is exposed to the air environment. 24. The heater for anti-fog and defrost according to claim 23.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2003036035A (en) * 2001-07-25 2003-02-07 Kyocera Corp Display device
JP2007139879A (en) * 2005-11-15 2007-06-07 Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd Method for manufacturing display panel
WO2012157732A1 (en) 2011-05-13 2012-11-22 Dow Corning Toray Co., Ltd. Method of protecting transparent nonmetallic electroconductive parts
CN104134408A (en) * 2014-07-01 2014-11-05 友达光电股份有限公司 Display device
US9056361B2 (en) 2009-12-18 2015-06-16 Mitsubishi Electric Corporation Liquid-quality adjusting apparatus, liquid-quality adjusting method, and wire electric discharge machining apparatus

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003036035A (en) * 2001-07-25 2003-02-07 Kyocera Corp Display device
JP2007139879A (en) * 2005-11-15 2007-06-07 Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd Method for manufacturing display panel
US9056361B2 (en) 2009-12-18 2015-06-16 Mitsubishi Electric Corporation Liquid-quality adjusting apparatus, liquid-quality adjusting method, and wire electric discharge machining apparatus
WO2012157732A1 (en) 2011-05-13 2012-11-22 Dow Corning Toray Co., Ltd. Method of protecting transparent nonmetallic electroconductive parts
CN104134408A (en) * 2014-07-01 2014-11-05 友达光电股份有限公司 Display device

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