JPH11279822A - 溶融紡糸用口金パック - Google Patents
溶融紡糸用口金パックInfo
- Publication number
- JPH11279822A JPH11279822A JP7409798A JP7409798A JPH11279822A JP H11279822 A JPH11279822 A JP H11279822A JP 7409798 A JP7409798 A JP 7409798A JP 7409798 A JP7409798 A JP 7409798A JP H11279822 A JPH11279822 A JP H11279822A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- perforated plate
- fabric filter
- nonwoven fabric
- spinneret
- pack
- Prior art date
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- Pending
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- Spinning Methods And Devices For Manufacturing Artificial Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 不織布フィルターの高い濾過能力を生かしな
がら、粒状濾過層なみの溶融ポリマーの整流や均質化を
可能にし、優れた製糸性が得られる溶融紡糸用口金パッ
クを提供する。 【解決手段】 溶融ポリマーの流動方向に沿って多孔板
４、不織布フィルター３、紡糸口金２を順に配置し、前
記多孔板４に設ける貫通孔４ａの数を５０〜１０００個
にすると共に、これら貫通孔４ａを多孔板４の流入面全
域に均一分布させた構成からなる。
がら、粒状濾過層なみの溶融ポリマーの整流や均質化を
可能にし、優れた製糸性が得られる溶融紡糸用口金パッ
クを提供する。 【解決手段】 溶融ポリマーの流動方向に沿って多孔板
４、不織布フィルター３、紡糸口金２を順に配置し、前
記多孔板４に設ける貫通孔４ａの数を５０〜１０００個
にすると共に、これら貫通孔４ａを多孔板４の流入面全
域に均一分布させた構成からなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は溶融紡糸用口金パッ
クに関し、さらに詳しくは不織布フィルターの高い濾過
能力を生かしながら、粒状濾過層なみの溶融ポリマーの
整流や均質化を可能にする溶融紡糸用口金パックに関す
る。
クに関し、さらに詳しくは不織布フィルターの高い濾過
能力を生かしながら、粒状濾過層なみの溶融ポリマーの
整流や均質化を可能にする溶融紡糸用口金パックに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、溶融紡糸用口金パックの濾過手段
には、モランダムサンドやガラスビーズなどの粒状濾材
の濾過層が広く使用されていた。しかし、近年、粒状濾
過層に代えて金属繊維の不織布フィターを利用する傾向
が増大しつつある。その理由は、不織布フィルターは粒
状濾過層に比べて同じ濾過能力を得るための圧力損失が
非常に小さいこと、またコンパクトな構成にすることが
できる等の利点があるからである。
には、モランダムサンドやガラスビーズなどの粒状濾材
の濾過層が広く使用されていた。しかし、近年、粒状濾
過層に代えて金属繊維の不織布フィターを利用する傾向
が増大しつつある。その理由は、不織布フィルターは粒
状濾過層に比べて同じ濾過能力を得るための圧力損失が
非常に小さいこと、またコンパクトな構成にすることが
できる等の利点があるからである。
【０００３】しかしながら、不織布フィルターによる濾
過においては、溶融ポリマーの滞留時間が粒状濾過層に
よる濾過に比べて短いという特性がある。そのため溶融
ポリマーが溶融紡糸用口金パックの流入孔から急激に不
織布フィルターの拡大した濾過面積（流入面積）に流入
すると、不織布フィルターの中央部では流速が速く（流
量が多く）、周辺部では遅くなる（流量が少なくなる）
という傾向があって、粒状濾過層のように長い滞留時間
をかけて溶融ポリマーを整流したり、温度を均一化させ
るという作用がない。したがって、不織布フィルターで
は、上記のように中央部と周辺部とで滞留時間に差を生
じた溶融ポリマーが、そのままの状態で紡糸用口金から
紡糸されることによって、紡出糸相互間に糸質の不均一
化を生じ、さらに紡糸切れや延伸糸切れを起こすように
なるという問題があった。
過においては、溶融ポリマーの滞留時間が粒状濾過層に
よる濾過に比べて短いという特性がある。そのため溶融
ポリマーが溶融紡糸用口金パックの流入孔から急激に不
織布フィルターの拡大した濾過面積（流入面積）に流入
すると、不織布フィルターの中央部では流速が速く（流
量が多く）、周辺部では遅くなる（流量が少なくなる）
という傾向があって、粒状濾過層のように長い滞留時間
をかけて溶融ポリマーを整流したり、温度を均一化させ
るという作用がない。したがって、不織布フィルターで
は、上記のように中央部と周辺部とで滞留時間に差を生
じた溶融ポリマーが、そのままの状態で紡糸用口金から
紡糸されることによって、紡出糸相互間に糸質の不均一
化を生じ、さらに紡糸切れや延伸糸切れを起こすように
なるという問題があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、不織
布フィルターの高い濾過能力を生かしながら、粒状濾過
層なみの溶融ポリマーの整流や均質化を可能にし、優れ
た製糸性が得られるようにする溶融紡糸用口金パックを
提供することにある。
布フィルターの高い濾過能力を生かしながら、粒状濾過
層なみの溶融ポリマーの整流や均質化を可能にし、優れ
た製糸性が得られるようにする溶融紡糸用口金パックを
提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の溶融紡糸用口金パックは、溶融ポリマーの流動方向
に沿って多孔板、不織布フィルター、紡糸口金を順に配
置し、前記多孔板の貫通孔の数を５０〜１０００個にす
ると共に、該貫通孔を多孔板の流入面全域に均一分布さ
せたことを特徴とするものである。
明の溶融紡糸用口金パックは、溶融ポリマーの流動方向
に沿って多孔板、不織布フィルター、紡糸口金を順に配
置し、前記多孔板の貫通孔の数を５０〜１０００個にす
ると共に、該貫通孔を多孔板の流入面全域に均一分布さ
せたことを特徴とするものである。
【０００６】このように多孔板に５０〜１０００個の貫
通孔を設け、これら貫通孔を多孔板の流入面全域に均一
分布させるようにしたので、溶融ポリマーに適度の流動
抵抗が与えられて流入面全域に均一に整流され、多孔板
下流側の不織布フィルターの濾過面全体に均一に分布す
るようになるため、粒状濾過層なみの整流や均質化が可
能になり、紡糸用口金からの紡糸切れや延伸糸切れをな
くすことができるのである。
通孔を設け、これら貫通孔を多孔板の流入面全域に均一
分布させるようにしたので、溶融ポリマーに適度の流動
抵抗が与えられて流入面全域に均一に整流され、多孔板
下流側の不織布フィルターの濾過面全体に均一に分布す
るようになるため、粒状濾過層なみの整流や均質化が可
能になり、紡糸用口金からの紡糸切れや延伸糸切れをな
くすことができるのである。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の溶融紡糸用口金パック
は、構成部品として、少なくとも多孔板、金属繊維の不
織布フィルター、紡糸用口金を設けており、粒状濾過層
は設けていないのが特徴である。これら多孔板、不織布
フィルター、紡糸用口金などの流入面積としては、直径
３０〜２００ｍｍの範囲が使用される。
は、構成部品として、少なくとも多孔板、金属繊維の不
織布フィルター、紡糸用口金を設けており、粒状濾過層
は設けていないのが特徴である。これら多孔板、不織布
フィルター、紡糸用口金などの流入面積としては、直径
３０〜２００ｍｍの範囲が使用される。
【０００８】本発明において、不織布フィルターの上流
に設けられる多孔板には、５０〜１０００個、さらに好
ましくは５０〜５００個の貫通孔が設けられ、かつこれ
ら貫通孔がが流入面全域に均一に分布するように配置さ
れなければならない。貫通孔の数が５０個よりも少ない
と、不織布フィルターの濾過面全域に溶融ポリマーを均
一に分布させることが難しくなり、中央部と周辺部とで
流量差を生ずるようになる。しかし、１０００個よりも
多くなると、多孔板の強度維持が難しくなり、高圧の溶
融ポリマーによって多孔板の変形を招きやすくなる。
に設けられる多孔板には、５０〜１０００個、さらに好
ましくは５０〜５００個の貫通孔が設けられ、かつこれ
ら貫通孔がが流入面全域に均一に分布するように配置さ
れなければならない。貫通孔の数が５０個よりも少ない
と、不織布フィルターの濾過面全域に溶融ポリマーを均
一に分布させることが難しくなり、中央部と周辺部とで
流量差を生ずるようになる。しかし、１０００個よりも
多くなると、多孔板の強度維持が難しくなり、高圧の溶
融ポリマーによって多孔板の変形を招きやすくなる。
【０００９】貫通孔が多孔板の流入面全域に均一分布す
るとは、流入面の中央部、周辺部、中央部と周辺部との
間の中間部の三つの区域から、それぞれ流入面積直径の
１／３の円形領域を３箇所ずつ無作為に選択し、それら
の円形領域に貫通孔が占める孔数を算出し、その孔数の
バラツキが各円形領域相互間で±５個の範囲内にあるこ
とを意味する。流入面全域に均一な分布させる貫通孔の
配列は特に限定されないが、好ましくは格子状或いは同
心円状にするとよい。
るとは、流入面の中央部、周辺部、中央部と周辺部との
間の中間部の三つの区域から、それぞれ流入面積直径の
１／３の円形領域を３箇所ずつ無作為に選択し、それら
の円形領域に貫通孔が占める孔数を算出し、その孔数の
バラツキが各円形領域相互間で±５個の範囲内にあるこ
とを意味する。流入面全域に均一な分布させる貫通孔の
配列は特に限定されないが、好ましくは格子状或いは同
心円状にするとよい。
【００１０】貫通孔の大きさは、孔径を０．５〜１０ｍ
ｍ、長さを５〜１００ｍｍにすることが好ましい。孔径
が０．５ｍｍよりも小さかったり、長さが１００ｍｍよ
りも長かったりすると、溶融ポリマーの流動抵抗が高く
なりすぎるため滞留の原因になりやすい。また、貫通孔
の長さが大きすぎると口金パックのコンパクト化の支障
になる。また、孔径が１０ｍｍより大きかったり、長さ
が５ｍｍよりも短かったりすると、溶融ポリマーの整流
作用が低下し、溶融ポリマーを流入面全域に均等に分布
させることが難しくなる。
ｍ、長さを５〜１００ｍｍにすることが好ましい。孔径
が０．５ｍｍよりも小さかったり、長さが１００ｍｍよ
りも長かったりすると、溶融ポリマーの流動抵抗が高く
なりすぎるため滞留の原因になりやすい。また、貫通孔
の長さが大きすぎると口金パックのコンパクト化の支障
になる。また、孔径が１０ｍｍより大きかったり、長さ
が５ｍｍよりも短かったりすると、溶融ポリマーの整流
作用が低下し、溶融ポリマーを流入面全域に均等に分布
させることが難しくなる。
【００１１】不織布フィルターは金属繊維から構成され
るが、単層の構造であっても、複数層の積層構造であっ
てもよい。この不織布フィルターは、線径５〜５０μｍ
の金属繊維から、目付が５０〜２０００ｇ／ｍ2 の範囲
になるように構成することが好ましい。不織布フィルタ
ーをこのように構成することにより、高圧の溶融ポリマ
ーに対する濾過寿命を長期間確保し、また薄くコンパク
トな構成にしながら、粒状濾過層なみの濾過能力を発揮
するようにすることができる。
るが、単層の構造であっても、複数層の積層構造であっ
てもよい。この不織布フィルターは、線径５〜５０μｍ
の金属繊維から、目付が５０〜２０００ｇ／ｍ2 の範囲
になるように構成することが好ましい。不織布フィルタ
ーをこのように構成することにより、高圧の溶融ポリマ
ーに対する濾過寿命を長期間確保し、また薄くコンパク
トな構成にしながら、粒状濾過層なみの濾過能力を発揮
するようにすることができる。
【００１２】本発明において、さらに好ましくは、上記
多孔板の上流面にプレフィルターを設けるとよい。この
プレフィルターとしては、金属繊維の不織布フィルター
を使用することが好ましい。プレフィルターは、溶融ポ
リマー中の粗大異物を濾過すると共に、多孔板の流入面
に溶融ポリマーの圧力と流量を均一になるように分布さ
せるようにする。プレフィルターに使用する不織布フィ
ルターは、線径２０〜２００μｍの金属繊維から、目付
を５０〜２０００ｇ／ｍ2 の範囲にするように構成する
ことが好ましい。
多孔板の上流面にプレフィルターを設けるとよい。この
プレフィルターとしては、金属繊維の不織布フィルター
を使用することが好ましい。プレフィルターは、溶融ポ
リマー中の粗大異物を濾過すると共に、多孔板の流入面
に溶融ポリマーの圧力と流量を均一になるように分布さ
せるようにする。プレフィルターに使用する不織布フィ
ルターは、線径２０〜２００μｍの金属繊維から、目付
を５０〜２０００ｇ／ｍ2 の範囲にするように構成する
ことが好ましい。
【００１３】図１は、本発明の溶融紡糸用口金パックを
例示したものである。この溶融紡糸用口金パックは、パ
ックケース１の最底部に紡糸用口金２を設置し、その上
に不織布フィルター３、多孔板４、プレフィルター５を
順次載せ、最後に上蓋６を載せると共に、この上蓋６を
その外周部のネジ部をパックケース１の上端部内周のネ
ジ部に螺合させ、堅く締め付け固定している。
例示したものである。この溶融紡糸用口金パックは、パ
ックケース１の最底部に紡糸用口金２を設置し、その上
に不織布フィルター３、多孔板４、プレフィルター５を
順次載せ、最後に上蓋６を載せると共に、この上蓋６を
その外周部のネジ部をパックケース１の上端部内周のネ
ジ部に螺合させ、堅く締め付け固定している。
【００１４】上蓋６には中央部に流入孔６ａが設けら
れ、この流入孔６ａから高圧の溶融ポリマーが供給され
る。プレフィルター５には金属繊維の不織布フィルター
が好ましく使用される。このプレフィルター５は、流入
孔６ａから多孔板４へ供給される溶融ポリマーを整流
し、多孔板４の流入面全域に均一に分布させるように作
用する。この整流作用は、主として次の多孔板４で行う
ようにしているため、必ずしも必要とするものではない
が、これを設置すれば多孔板４の整流作用を一層効果的
にする。
れ、この流入孔６ａから高圧の溶融ポリマーが供給され
る。プレフィルター５には金属繊維の不織布フィルター
が好ましく使用される。このプレフィルター５は、流入
孔６ａから多孔板４へ供給される溶融ポリマーを整流
し、多孔板４の流入面全域に均一に分布させるように作
用する。この整流作用は、主として次の多孔板４で行う
ようにしているため、必ずしも必要とするものではない
が、これを設置すれば多孔板４の整流作用を一層効果的
にする。
【００１５】多孔板４は、図２に示すように、鎖線のサ
ークルＣで囲まれた流入面全域に多数の貫通孔４ａが均
一に分布するように設けられるように構成されている。
その貫通孔４ａの分布は、図示のように格子状であって
もよく、或いは同心円状であってもよい。貫通孔４ａの
数は、前述したように５０〜１０００個、好ましくは５
０〜５００個とし、孔径を０．５〜１０ｍｍ、長さを５
〜１００ｍｍにすることが好ましい。
ークルＣで囲まれた流入面全域に多数の貫通孔４ａが均
一に分布するように設けられるように構成されている。
その貫通孔４ａの分布は、図示のように格子状であって
もよく、或いは同心円状であってもよい。貫通孔４ａの
数は、前述したように５０〜１０００個、好ましくは５
０〜５００個とし、孔径を０．５〜１０ｍｍ、長さを５
〜１００ｍｍにすることが好ましい。
【００１６】多孔板４は、多数の貫通孔４ａを流入面全
域に均一分布するように配置したことにより、溶融ポリ
マーを多孔板４の中央部から周辺部まで均一な圧力と流
量に分布するように整流し、その整流された溶融ポリマ
ーを下流側の不織布フィルター３に供給する。不織布フ
ィルター３の流入面全域に均一に供給された溶融ポリマ
ーは、不織布フィルター３で濾過されたのち紡糸用口金
２の多数の紡糸孔２ａからフィラメント状になって紡糸
される。
域に均一分布するように配置したことにより、溶融ポリ
マーを多孔板４の中央部から周辺部まで均一な圧力と流
量に分布するように整流し、その整流された溶融ポリマ
ーを下流側の不織布フィルター３に供給する。不織布フ
ィルター３の流入面全域に均一に供給された溶融ポリマ
ーは、不織布フィルター３で濾過されたのち紡糸用口金
２の多数の紡糸孔２ａからフィラメント状になって紡糸
される。
【００１７】不織布フィルター３で濾過れた溶融ポリマ
ーは、中央部から周辺部までほぼ均一な圧力と流量にな
っているので、口金パック内に溶融ポリマーが滞留を生
ずることがなく、紡糸用口金２から相互に太さ斑や品質
斑のない均質なマルチフィラメント糸条になって紡糸さ
れ、紡糸切れやその後の延伸糸切れを発生するようなこ
とがない。
ーは、中央部から周辺部までほぼ均一な圧力と流量にな
っているので、口金パック内に溶融ポリマーが滞留を生
ずることがなく、紡糸用口金２から相互に太さ斑や品質
斑のない均質なマルチフィラメント糸条になって紡糸さ
れ、紡糸切れやその後の延伸糸切れを発生するようなこ
とがない。
【００１８】
【実施例】図１の基本構造における一部を、それぞれ下
記のように異ならせた本発明の実施例、比較例１及び比
較例２からなる３種類の溶融紡糸用口金パックを組み立
てた。
記のように異ならせた本発明の実施例、比較例１及び比
較例２からなる３種類の溶融紡糸用口金パックを組み立
てた。
【００１９】 実施例 多孔板： 図２の構造 孔数 １５０個（格子状に均一分布） 大きさ（孔径×長さ）２ｍｍ×２０ｍｍ 不織布フィルター： 金属繊維の線径２０μｍ 目付８００ｇ／ｍ2 プレフィルター： なし
【００２０】 比較例１ 多孔板： なし 不織布フィルター： 金属繊維の線径２０μｍ 目付８００ｇ／ｍ2 プレフィルター： なし
【００２１】 比較例２ 多孔板： 図３の構造 孔数 中央部１個、外周部５０個（図３参照） 大きさ（孔径×長さ） 中央部の孔（４ｂ）１０ｍｍ×２０ｍｍ 外周部の孔（４ａ） ２ｍｍ×２０ｍｍ 不織布フィルター： 金属繊維の線径２０μｍ 目付８００ｇ／ｍ2 プレフィルター： なし
【００２２】これら３種類の溶融紡糸用口金パックをそ
れぞれエクストルーダーの吐出部に装着し、ポリエチレ
ンテレフタレートを紡糸温度２８５度、吐出量９０ｇ／
ｍｉｎ、紡速３０００ｍ／ｍｉｎで溶融紡糸した後、延
伸機で延伸速度１３００ｍ／ｍｉｎで延伸した。このと
きの各溶融紡糸用口金パックから得られたポリエステル
糸の製糸性と品質を比較したところ、表１に示す結果を
得た。
れぞれエクストルーダーの吐出部に装着し、ポリエチレ
ンテレフタレートを紡糸温度２８５度、吐出量９０ｇ／
ｍｉｎ、紡速３０００ｍ／ｍｉｎで溶融紡糸した後、延
伸機で延伸速度１３００ｍ／ｍｉｎで延伸した。このと
きの各溶融紡糸用口金パックから得られたポリエステル
糸の製糸性と品質を比較したところ、表１に示す結果を
得た。
【００２３】表１から明らかなように、実施例では、溶
融紡糸用口金パック内に溶融ポリマーの滞留がなく、製
糸性も良好であり、得られたポリエステル糸条の品質も
良好であった。これに対して、比較例１では、溶融融紡
糸用口金パック内に溶融ポリマーの滞留がみられ、製糸
性が悪化した。また、比較例２は、溶融ポリマーの滞留
は認められなかったものの、延伸工程で糸切れが発生し
た。
融紡糸用口金パック内に溶融ポリマーの滞留がなく、製
糸性も良好であり、得られたポリエステル糸条の品質も
良好であった。これに対して、比較例１では、溶融融紡
糸用口金パック内に溶融ポリマーの滞留がみられ、製糸
性が悪化した。また、比較例２は、溶融ポリマーの滞留
は認められなかったものの、延伸工程で糸切れが発生し
た。
【００２４】
【表１】
【００２５】
【発明の効果】上述したように本発明によれば、多孔板
に５０〜１０００個の貫通孔を設け、これら貫通孔を多
孔板の流入面全域に均一分布させるようにしたので、溶
融ポリマーに適度の流動抵抗が与えられて流入面全域に
均一に整流され、多孔板下流側の不織布フィルターの濾
過面全体に均一に分布するようになるため、粒状濾過層
なみの整流や均質化が可能になり、紡糸用口金からの紡
糸切れや延伸糸切れをなくすことができるようになる。
に５０〜１０００個の貫通孔を設け、これら貫通孔を多
孔板の流入面全域に均一分布させるようにしたので、溶
融ポリマーに適度の流動抵抗が与えられて流入面全域に
均一に整流され、多孔板下流側の不織布フィルターの濾
過面全体に均一に分布するようになるため、粒状濾過層
なみの整流や均質化が可能になり、紡糸用口金からの紡
糸切れや延伸糸切れをなくすことができるようになる。
【図１】本発明の実施形態からなる溶融紡糸用口金パッ
クを例示する概略縦断面図である。
クを例示する概略縦断面図である。
【図２】本発明に使用される多孔板の一例を示す平面図
である。
である。
【図３】本発明の比較例に相当する多孔板の一例を示す
平面図である。
平面図である。
１ パックケース ２ 紡糸用口金 ３ 不織布フィルター ４ 多孔板 ４ａ 貫通孔 ５ プレフィルター ６ 上蓋 ６ａ 流入孔
Claims (5)
- 【請求項１】 溶融ポリマーの流動方向に沿って多孔
板、不織布フィルター、紡糸口金を順に配置し、前記多
孔板の貫通孔の数を５０〜１０００個にすると共に、該
貫通孔を多孔板の流入面全域に均一分布させた溶融紡糸
用口金パック。 - 【請求項２】 前記貫通孔の孔径が０．５〜１０ｍｍ、
長さが５〜１００ｍｍである請求項１に記載の溶融紡糸
用口金パック。 - 【請求項３】 前記不織布フィルターを線径５〜５０μ
ｍの金属繊維から構成すると共に、目付を５０〜２００
０ｇ／ｍ2 にした請求項１または２に記載の溶融紡糸用
口金パック。 - 【請求項４】 前記多孔板の上流側にプレフィルターを
設けた請求項１〜３のいずれか１項に記載の溶融紡糸用
口金パック。 - 【請求項５】 前記プレフィルターが不織布フィルター
からなり、該不織布フィルターを線径２０〜２００μｍ
の金属繊維から構成すると共に、目付を５０〜２０００
ｇ／ｍ2 にした請求項４に記載の溶融紡糸用口金パッ
ク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7409798A JPH11279822A (ja) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | 溶融紡糸用口金パック |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7409798A JPH11279822A (ja) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | 溶融紡糸用口金パック |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11279822A true JPH11279822A (ja) | 1999-10-12 |
Family
ID=13537352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7409798A Pending JPH11279822A (ja) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | 溶融紡糸用口金パック |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11279822A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102358960A (zh) * | 2011-09-19 | 2012-02-22 | 郑州中远氨纶工程技术有限公司 | 纺丝组件和纺丝部件 |
| CN104153010A (zh) * | 2014-08-01 | 2014-11-19 | 绍兴滨海华强机械有限公司 | 一种放置喷丝板的旋转式升降装置 |
| CN112226826A (zh) * | 2020-10-14 | 2021-01-15 | 广州坤立服装有限公司 | 一种具有过滤功能的熔喷布喷丝结构 |
| KR102285944B1 (ko) * | 2020-06-04 | 2021-08-04 | 주식회사 엠오에스 | 반도체 멤브레인 제조용 실리콘 액상토출장치 |
-
1998
- 1998-03-23 JP JP7409798A patent/JPH11279822A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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