JPH11273870A - Organic el element - Google Patents

Organic el element

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JPH11273870A
JPH11273870A JP10095274A JP9527498A JPH11273870A JP H11273870 A JPH11273870 A JP H11273870A JP 10095274 A JP10095274 A JP 10095274A JP 9527498 A JP9527498 A JP 9527498A JP H11273870 A JPH11273870 A JP H11273870A
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JP
Japan
Prior art keywords
layer
organic
preferable
insulating layer
quinolinolato
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP10095274A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Michio Arai
三千男 荒井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
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Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
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Publication of JPH11273870A publication Critical patent/JPH11273870A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve a contrast ratio and visibility by blacking the base parts of a layer-to-layer insulating layer formed around hole injection electrodes and/or element separating structural bodies. SOLUTION: Since an electron injection electrode 5 is normally formed from a metal, it will reflect external light entering from a board 1 side and thereby causes a contrast ratio and visibility to be degraded. Then, a part of non- luminous parts that does not contribute to light emission is blackened by blacking a layer-to-layer insulating layer 3 and/or the base parts of element separating structural bodies 7, and thereby, the reflected light from the non-luminous parts is restrained, so that the contrast ratio and the visibility are improved. As a means of blacking the base parts of the layer-to-layer insulating layer 3 and the like, they are formed from a black-colored or relatively, close to a black material. For this material, a material such as ferrous oxide, silicon, amorphous carbon or a composition prepared by adding carbon to polyimide resin is preferable. It is preferable that the quantity of carbon black added to organic resin be 10-50 mol.%.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、情報表示パネル、
自動車用の計器パネル、動画・静止画を表示させるディ
スプレイ等、家電製品、自動車、二輪車等の電装品に使
用され、有機化合物を用いて構成された有機EL素子の
構造に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to an information display panel,
The present invention relates to a structure of an organic EL device which is used for an electric component such as a home appliance, an automobile, a motorcycle, and the like, such as an instrument panel for an automobile, a display for displaying a moving image and a still image, and is configured using an organic compound.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、有機EL素子が盛んに研究され、
実用化されつつある。これは、錫ドープ酸化インジウム
(ITO)などの透明電極(ホール注入電極)上にトリ
フェニルジアミン(TPD)などのホール輸送材料を蒸
着により薄膜とし、さらにアルミキノリノール錯体(A
lq3 )などの蛍光物質を発光層として積層し、さらに
Mgなどの仕事関数の小さな金属電極(電子注入電極)
を形成した基本構成を有する素子で、10V 前後の電圧
で数100から数10000cd/m2 ときわめて高い輝度
が得られることで、家電製品、自動車、二輪車電装品等
のディスプレイとして注目されている。
2. Description of the Related Art In recent years, organic EL devices have been actively studied,
It is being put to practical use. In this method, a hole transport material such as triphenyldiamine (TPD) is formed into a thin film on a transparent electrode (hole injection electrode) such as tin-doped indium oxide (ITO) by vapor deposition, and then an aluminum quinolinol complex (A
1q3) as a light emitting layer, and a metal electrode such as Mg having a small work function (electron injection electrode)
This element has a basic structure and has a very high luminance of several hundreds to several tens of thousands cd / m 2 at a voltage of about 10 V, and thus has attracted attention as a display for home electric appliances, automobiles, motorcycle electric components and the like.

【0003】このような有機EL素子を用いてディスプ
レイ等を構成する場合、画質の向上を図ることが一つの
大きな課題となる。画質を左右する要素として、発光輝
度、発光波長等、直接発光機能に関わるものの他にコン
トラストや見やすさといった間接的な内容のものがあ
る。コントラストや見やすさを向上させる試みも種々な
されており、防眩フィルターを設けたり、ブラックマト
リクスと称する黒色フィルター層を設けるなどの工夫も
なされている。しかしながら、これら防眩フィルターや
ブラックマトリクス等を用いたディスプレイでもコント
ラストや見やすさを向上させるための要請は強く、素子
のさらなる改善が望まれていた。
When constructing a display or the like using such an organic EL element, one of the major issues is to improve the image quality. As factors that affect the image quality, there are indirect contents such as contrast and visibility in addition to those directly related to the light emission function, such as light emission luminance and light emission wavelength. Various attempts have been made to improve contrast and legibility, and various measures have been taken such as providing an anti-glare filter and providing a black filter layer called a black matrix. However, there is a strong demand for improving the contrast and visibility even in displays using such anti-glare filters, black matrices, and the like, and further improvements in elements have been desired.

【0004】また、素子単体である程度のコントラスト
比や見やすさを備えたものであれば、使用目的によって
は防眩フィルターやブラックマトリクス等を用いること
なくそのまま使用することができ、コストを削減するこ
とができる。
In addition, if the element alone has a certain level of contrast ratio and visibility, it can be used as it is without using an antiglare filter, a black matrix, or the like, depending on the purpose of use, thereby reducing costs. Can be.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、コン
トラスト比や視認性を向上させた有機EL素子を提供す
ることである。また、低コスト化を実現しうる有機EL
素子を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an organic EL device having improved contrast ratio and visibility. Organic EL that can realize low cost
It is to provide an element.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的は以下の構成に
より達成される。 (1) ホール注入電極と電子注入電極と、これらの電
極間に1種以上の有機層とを有し、前記ホール注入電極
の周囲に形成されている層間絶縁層および/または素子
分離構造体の基部を黒色とした有機EL素子。 (2) 前記層間絶縁層および/または素子分離構造体
の基部は、酸化第1鉄、シリコンまたはアモルファス状
態の炭素を有する上記(1)の有機EL素子。 (3) 前記層間絶縁層および/または素子分離構造体
の基部は、ポリイミドとカーボンとを有する上記(1)
の有機EL素子。
The above object is achieved by the following constitution. (1) A hole injection electrode, an electron injection electrode, and one or more organic layers between these electrodes, and an interlayer insulating layer and / or an element isolation structure formed around the hole injection electrode. An organic EL device having a black base. (2) The organic EL device according to (1), wherein the interlayer insulating layer and / or the base of the element isolation structure contains ferrous oxide, silicon, or amorphous carbon. (3) The base according to (1), wherein the interlayer insulating layer and / or the base of the element isolation structure has polyimide and carbon.
Organic EL device.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】本発明の有機EL素子は、ホール
注入電極と電子注入電極と、これらの電極間に1種以上
の有機層とを有し、前記ホール注入電極の周囲に形成さ
れている層間絶縁層および/または素子分離構造体の基
部を黒色としたものである。このように、層間絶縁層お
よび/または素子分離構造体の基部を黒色とすることに
より、外部から視認可能な非発光領域を黒色とすること
となり、コントラスト比が向上したり、見やすくなった
りする。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The organic EL device of the present invention has a hole injection electrode, an electron injection electrode, and one or more organic layers between these electrodes, and is formed around the hole injection electrode. The base of the inter-layer insulating layer and / or the element isolation structure is black. As described above, by setting the base of the interlayer insulating layer and / or the element isolation structure to black, the non-light emitting region visible from the outside is set to black, so that the contrast ratio is improved or the visibility is improved.

【0008】また、好ましくは層間絶縁層および/また
は素子分離構造体の基部は、FeOまたはSiを有する
か、あるいはポリイミドとアモルファス状態の炭素とを
有することが好ましい。これらの材料を有することで黒
色とすることができる。
Preferably, the base of the interlayer insulating layer and / or the element isolation structure contains FeO or Si, or polyimide and amorphous carbon. With these materials, black can be obtained.

【0009】有機EL素子はその基本構成として、例え
ば図1に示すように、基板1上にITO等のホール注入
電極2と、その周囲に層間絶縁層3とを有する。さら
に、この層間絶縁層3上であってホール注入電極2の周
囲には、素子分離構造体7が設けられている。この素子
分離構造体7で仕切られた領域のホール注入電極2上に
は、さらに有機層4と電子注入電極5とが積層され、こ
れらにより、有機EL素子が形成されている。なお、素
子分離構造体7は、基部7bとこの基部7b上に形成さ
れたオーバーハング部7aとを有し、オーバーハング部
7aによりホール注入電極2上に積層される有機層4や
電子注入電極層5を規制すると共に、全体で素子内の特
定の領域を分割ないし分離するようになっている。
As shown in FIG. 1, for example, the organic EL element has a hole injection electrode 2 of ITO or the like on a substrate 1 and an interlayer insulating layer 3 around the electrode 1 as shown in FIG. Furthermore, an element isolation structure 7 is provided on the interlayer insulating layer 3 and around the hole injection electrode 2. An organic layer 4 and an electron injection electrode 5 are further laminated on the hole injection electrode 2 in a region partitioned by the element isolation structure 7, thereby forming an organic EL element. The element isolation structure 7 has a base 7b and an overhang portion 7a formed on the base 7b, and the organic layer 4 and the electron injection electrode stacked on the hole injection electrode 2 by the overhang portion 7a. The layer 5 is regulated, and a specific region in the device is divided or separated as a whole.

【0010】また、有機EL素子は上記で説明した構造
物以外にも、例えばホール注入電極の保護電極や、電子
注入電極の配線電極、補助電極等が必要により形成され
るが、説明を簡単にするため、上記図示例ではこれらを
省略している。有機層はホール注入輸送層、発光層、電
子注入輸送層等、発光に必要な機能を備えた1種以上の
有機層からなっている。
In addition, the organic EL element may be formed, if necessary, in addition to the structure described above, for example, a protective electrode for a hole injection electrode, a wiring electrode for an electron injection electrode, an auxiliary electrode, and the like. Therefore, these are omitted in the above illustrated example. The organic layer includes at least one organic layer having a function necessary for light emission, such as a hole injection transport layer, a light emitting layer, and an electron injection transport layer.

【0011】電子注入電極は、通常、金属である。この
ため、基板側からホール注入電極、層間絶縁層、有機層
等を介して入射してくる外部光を反射し、コントラスト
比や視認性を低下させる要因となる。そこで、層間絶縁
層および/または素子分離構造体の基部を黒色とするこ
とで、少なくとも発光に寄与しない領域の一部、つまり
非発光部の一部を黒化させ、非発光部からの反射光を抑
制し、コントラスト比や視認性を向上させる。また、非
発光部が黒くなることで直接的に視認性を向上させた
り、画質を向上させたりする効果もある。
[0011] The electron injection electrode is usually a metal. For this reason, external light that enters from the substrate side via the hole injection electrode, the interlayer insulating layer, the organic layer, and the like is reflected, which causes a reduction in contrast ratio and visibility. Therefore, by making the base of the interlayer insulating layer and / or the element isolation structure black, at least a part of the region that does not contribute to light emission, that is, a part of the non-light-emitting part is blackened, and reflected light from the non-light-emitting part And improve the contrast ratio and visibility. Further, the blackening of the non-light-emitting portion also has the effect of directly improving visibility and improving image quality.

【0012】層間絶縁層および/または素子分離構造体
の基部を黒色とさせる手段としては、これらを黒色ない
し比較的黒色に近い材質のもので形成したり、黒色ない
し比較的黒色に近い材料を添加した材質で形成したりす
ればよい。これらの材質は完全な黒色である必要はな
く、入射光あるいは反射光を減衰させるのに必要な程度
の暗色であればよい。黒色とするのは層間絶縁層、素子
分離構造体いずれか一方であってもよく、両方を黒色と
してもよい。黒色としては、白色光に対し、波長400
〜700nmにおいて、好ましくは50%以下、より好ま
しくは40%以下の反射率であるものが好ましい。
As means for making the base of the interlayer insulating layer and / or the element isolation structure black, a black or relatively black material may be used, or a black or relatively black material may be added. What is necessary is just to form with the material which carried out. These materials need not be completely black, but may be dark enough to attenuate incident light or reflected light. Either the interlayer insulating layer or the element isolation structure may be black, or both may be black. As black, a wavelength of 400 with respect to white light
Preferably, it has a reflectance of not more than 50%, more preferably not more than 40% at a wavelength of from 700 nm to 700 nm.

【0013】このような材質として、酸化第1鉄(Fe
O)、シリコン(Si)、アモルファス状態の炭素また
はポリイミド樹脂、アクリル樹脂等の有機樹脂、特にポ
リイミド樹脂にカーボン、つまりカーボンブラックを添
加したもの等を好ましく挙げることができる。酸化第1
鉄は、一般にFeOの化学量論組成で存在することは困
難であり、通常、FexOとしたとき、x=0.91〜
0.95程度である。これらの材質は、層間絶縁層、素
子分離構造体の基部のいずれにも用いることができ
る。。
As such a material, ferrous oxide (Fe)
O), silicon (Si), amorphous carbon or an organic resin such as a polyimide resin or an acrylic resin, particularly, a resin obtained by adding carbon, that is, carbon black to a polyimide resin. Oxidation 1
It is generally difficult for iron to exist in the stoichiometric composition of FeO, and when Fe x O is used, x = 0.
It is about 0.95. These materials can be used for both the interlayer insulating layer and the base of the element isolation structure. .

【0014】有機樹脂に対するカーボンブラックの添加
量は、好ましくは10〜50 mol%、より好ましくは3
0〜40 mol%である。また、カーボンブラックの1次
粒径は、通常、1〜500nm程度、特に10〜100nm
程度である。
[0014] The amount of carbon black added to the organic resin is preferably 10 to 50 mol%, more preferably 3 to 50 mol%.
0 to 40 mol%. The primary particle size of the carbon black is usually about 1 to 500 nm, particularly 10 to 100 nm.
It is about.

【0015】酸化第1鉄(FeO)、シリコン(S
i)、アモルファス状態の炭素により層間絶縁層および
/または素子分離構造体の基部を形成する場合、スパッ
タ法を用いることが好ましい。これらの各層は、マスク
やフォトリソグラフィー等により、所定のパターンに形
成することができる。
Ferrous oxide (FeO), silicon (S
i) In the case where the base of the interlayer insulating layer and / or the element isolation structure is formed of amorphous carbon, it is preferable to use a sputtering method. Each of these layers can be formed in a predetermined pattern by using a mask, photolithography, or the like.

【0016】層間絶縁層のみを黒色とし、素子分離構造
体を通常のまま使用する場合、素子分離構造体を構成す
る材料としては、特に限定されるものではなく、ホール
注入電極や層間絶縁層上に形成され、さらにその上に有
機層、電子注入電極等が積層されることから、これらの
構造膜と干渉しない材料であって、分離された各素子間
とが電気的に接続されない材料であることが好ましい。
また、基部とオーバーハング部とは、同一材料であって
も異なる材料を用いて形成してもよいが、それぞれ異な
る材料を用いるとオーバーハング形状が得られ易く好ま
しい。
When only the interlayer insulating layer is black and the element isolation structure is used as it is, the material constituting the element isolation structure is not particularly limited, and the material for forming the element isolation structure may be formed on the hole injection electrode or on the interlayer insulation layer. Since the organic layer, the electron injection electrode, and the like are further laminated thereon, it is a material that does not interfere with these structural films and is not electrically connected to each of the separated elements. Is preferred.
Further, the base portion and the overhang portion may be formed using the same material or different materials. However, it is preferable to use different materials because an overhang shape is easily obtained.

【0017】層間絶縁層は、黒色化しない場合には上記
材質に限定されるものではなく、SiO2 等の酸化ケイ
素、窒化ケイ素、FeO等の無機系材料をスパッタや真
空蒸着で成膜したもの、SOG(スピン・オン・グラ
ス)で形成した酸化ケイ素層、フォトレジスト、ポリイ
ミド、アクリル樹脂などの樹脂系材料の塗膜など、絶縁
性を有するものであればいずれであってもよい。ただ
し、絶縁層の下側にはITO等のホール注入電極(いわ
ゆる逆積層では電子注入電極)が存在するので、絶縁層
形状にパターニングする際に電極へダメージを与えない
ようなパターニングが可能な材料を用いることが好まし
い。このような好ましい層間絶縁層材として、例えばポ
リイミドが挙げられる。
The interlayer insulating layer is not limited to the above materials unless it is blackened. The interlayer insulating layer is formed by sputtering or vacuum depositing an inorganic material such as silicon oxide such as SiO 2 , silicon nitride, or FeO. Any material may be used as long as it has an insulating property, such as a silicon oxide layer formed by SOG (spin-on-glass), a coating of a resin material such as a photoresist, a polyimide, or an acrylic resin. However, since there is a hole injection electrode such as ITO (electron injection electrode in a so-called reverse lamination) below the insulating layer, a material that can be patterned so as not to damage the electrode when patterning into an insulating layer shape. It is preferable to use Examples of such a preferable interlayer insulating layer material include, for example, polyimide.

【0018】層間絶縁層の膜厚は、50〜750nm程度
が好ましい。層間絶縁層の膜厚が薄すぎると本発明の効
果が得難くなる。また、厚すぎると有機層、電子注入電
極および補助電極等に段切れ(段部、特に層間絶縁層縁
部から発光部の中央部分に向かう部分等での成膜時ない
し成膜後に生じる膜の不連続部分)が生じる場合があ
る。層間絶縁層の形成領域は、通常、ホール注入電極の
周囲に形成される。層間絶縁層は、発光領域の大きさ
や、発光パターンなどにより必要な成膜領域が決定さ
れ、特に規制されるものではないが、一般に、電極上で
5〜50μm の幅、基板上で5〜50μm の幅に成膜さ
れる。
The thickness of the interlayer insulating layer is preferably about 50 to 750 nm. If the thickness of the interlayer insulating layer is too small, it is difficult to obtain the effects of the present invention. If the thickness is too large, the organic layer, the electron injecting electrode, the auxiliary electrode, and the like may be stepped (the film formed at or after the step, particularly at the portion from the edge of the interlayer insulating layer to the center of the light emitting portion). Discontinuities) may occur. The formation region of the interlayer insulating layer is usually formed around the hole injection electrode. The necessary film formation area of the interlayer insulating layer is determined by the size of the light-emitting area, the light-emitting pattern, and the like, and is not particularly limited. In general, the width is 5 to 50 μm on the electrode and 5 to 50 μm on the substrate. Is formed in a width of

【0019】層間絶縁層をスパッタ法で成膜する場合、
特に限定されるものではないが、RFスパッタやDCス
パッタが好ましい。その投入電力としては、DCスパッ
タ装置では、好ましくは0.1〜10W/cm2、特に
0.5〜7W/cm2の範囲である。また、成膜レートは
5〜100nm/min 、特に10〜50nm/min の範囲が
好ましい。また、RFスパッタでは、、RF帯域の高周
波を供給しうる電源を有するものであれば特に限定され
るものではないが、通常、周波数:13.56MHz、投
入電力:100〜500W程度である。
When the interlayer insulating layer is formed by a sputtering method,
Although not particularly limited, RF sputtering and DC sputtering are preferable. The input power is preferably in a range of 0.1 to 10 W / cm 2 , particularly 0.5 to 7 W / cm 2 in a DC sputtering apparatus. Further, the film formation rate is preferably in the range of 5 to 100 nm / min, particularly 10 to 50 nm / min. The RF sputtering is not particularly limited as long as it has a power supply capable of supplying a high frequency in an RF band. However, the frequency is usually 13.56 MHz and the input power is about 100 to 500 W.

【0020】スパッタガスとしては特に限定するもので
はなく、Ar、He、Ne、Kr、Xe等の不活性ガ
ス、あるいはこれらの混合ガスを用いればよい。スパッ
タガス圧力は、RFスパッタで好ましくは0.3〜3.
0Pa、より好ましくは0.5〜1.0Pa程度である。ま
た、DCスパッタで、0.1〜20Pa程度である。
The sputtering gas is not particularly limited, and an inert gas such as Ar, He, Ne, Kr, and Xe, or a mixed gas thereof may be used. The sputtering gas pressure is preferably 0.3 to 3 for RF sputtering.
0 Pa, more preferably about 0.5 to 1.0 Pa. Further, it is about 0.1 to 20 Pa by DC sputtering.

【0021】フォトレジスト、ポリイミド、アクリル樹
脂などの樹脂系材料を用いる場合、通常の塗布、スピン
コート、ディッピング等により設けることができる。
When a resin-based material such as photoresist, polyimide, or acrylic resin is used, it can be provided by ordinary coating, spin coating, dipping, or the like.

【0022】層間絶縁層を所定のパターンに形成するリ
ソグラフィ工程は、通常、上記のような無機系材料が成
膜された基板や、有機高分子の溶液が塗布等された基板
にレジスト塗布し、このレジスト膜に電子線、紫外線、
X線等を照射して露光した後、適当なアルカリ液で現像
を行う。次いで、層間絶縁層のエッチングを施し、その
後レジストを除去する。レジスト膜の膜厚としては、通
常1〜2μm 程度である。
In the lithography step of forming an interlayer insulating layer in a predetermined pattern, usually, a resist is applied to a substrate on which an inorganic material as described above is formed or a substrate to which a solution of an organic polymer is applied, An electron beam, ultraviolet light,
After exposure to X-rays or the like, development is performed with an appropriate alkaline solution. Next, the interlayer insulating layer is etched, and then the resist is removed. The thickness of the resist film is usually about 1 to 2 μm.

【0023】すなわち、上記のレジスト膜を所定のパタ
ーンに露光する。露光に用いられるのは、電子線、紫外
線、X線等が挙げられ、照射は通常の方法に従えばよ
い。また描画は用いる電子線、紫外線等に応じて、マス
クを用いるなど、適宜所定の方法を選択すればよい。そ
の後、プレベークを行い、アルカリ液を用いて現像す
る。
That is, the above resist film is exposed to a predetermined pattern. An electron beam, an ultraviolet ray, an X-ray, or the like is used for the exposure, and irradiation may be performed according to a usual method. In addition, a predetermined method may be appropriately selected for drawing, such as using a mask, depending on an electron beam, ultraviolet light, or the like to be used. Thereafter, prebaking is performed, and development is performed using an alkaline solution.

【0024】レジストがネガ形である場合、未露光部分
のレジスト膜が溶解除去され、その部分の基板や下地が
露出する。その後ポストベークを行う。
When the resist has a negative shape, the resist film in the unexposed portion is dissolved and removed, and the substrate and the base in that portion are exposed. Thereafter, post baking is performed.

【0025】現像後、基板に残ったレジスト膜を保護膜
として、基板をエッチングする。エッチングは、化学エ
ッチング液を用いる湿式エッチングでもプラズマや加速
イオンを用いるドライエッチングでもよい。湿式エッチ
ングに用いる化学エッチング液は基板の材質に応じて適
宜選択すればよく、H2O:HF:CH3COOH=5:
1:10等の他、HF液、NH4 F/HF/H2 O混合
液等が挙げられる。
After the development, the substrate is etched using the resist film remaining on the substrate as a protective film. The etching may be wet etching using a chemical etching solution or dry etching using plasma or accelerating ions. The chemical etching solution used for the wet etching may be appropriately selected according to the material of the substrate, and H 2 O: HF: CH 3 COOH = 5:
In addition to 1:10, an HF solution, a mixed solution of NH 4 F / HF / H 2 O, and the like can be given.

【0026】また、ドライエッチングとして汎用されて
いるプラズマエッチングに用いるプラズマガスは、被着
体の材質に応じて適宜選択すればよく、SF6 、CHB
3、CF4 等が挙げられる。
Further, the plasma gas used in the plasma etching, which is widely used as a dry etching may be appropriately selected depending on the material of the adherend, SF 6, CHB
r 3 , CF 4 and the like.

【0027】エッチングの具体的方法、条件等について
は、常法に従えばよい。そして、エッチング終了後、レ
ジスト膜が除去される。
The specific method and conditions of the etching may be in accordance with a conventional method. After completion of the etching, the resist film is removed.

【0028】素子分離構造体の基部の形成に用いられる
材料としては、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂等の有機
樹脂膜、SiO2 、SiNx 、a−Si、SOG(Spin
onGlass )等の無機絶縁膜、Al等の容易に膜厚を厚
くすることが可能で応力が小さい金属薄膜等が挙げら
れ、好ましくは、ポリイミド樹脂、SiO2 、SOG、
Al等である。オーバーハング部の形成に用いられる材
料としては、感光性を有するものが好ましく、例えばフ
ォトレジスト、感光性ポリイミド、あるいは、SiO
2 、SiNx 、Al23 、CrOX 、a−Si、Si
C等の堅い絶縁膜や半導体膜、あるいはCr,Ta,M
o,Ni,W,Ti,TiN,ZnO,ITO等の導電
性薄膜が使用可能であり、さらに絶縁膜や半導体膜、導
電性薄膜の上に感光性の膜が積層されたもの等が挙げら
れ、好ましくは、フォトレジスト、SiO2 、Cr、T
i等である。
Materials used for forming the base of the element isolation structure include organic resin films such as polyimide resin and acrylic resin, SiO 2 , SiN x , a-Si, and SOG (Spin).
onGlass), a metal thin film such as Al, which can be easily thickened and has a small stress, and the like. Preferably, a polyimide resin, SiO 2 , SOG,
Al or the like. As a material used for forming the overhang portion, a material having photosensitivity is preferable, for example, a photoresist, a photosensitive polyimide, or SiO 2.
2, SiN x, Al 2 O 3, CrO X, a-Si, Si
Hard insulating film such as C or semiconductor film, or Cr, Ta, M
A conductive thin film such as o, Ni, W, Ti, TiN, ZnO, and ITO can be used, and an insulating film, a semiconductor film, and a film obtained by laminating a photosensitive film on a conductive thin film can be used. , Preferably, photoresist, SiO 2 , Cr, T
i.

【0029】基部の大きさとしては、特に限定されるも
のではないが、通常幅1μm 以上であれば十分に基部と
しての機能は果たすが、特に5μm 以上が好ましく、高
さ(膜厚)は0.2μm 以上、特に0.5〜10μm 程
度が好ましい。また、オーバーハング部の大きさとして
は、特に限定されるものではないが、通常基部の膜厚の
1/2と同程度以上のオーバーハング長を有するような
構造とすることが好ましい。高さ(膜厚)は0.1〜1
0μm 、特に0.2〜5μm 程度が好ましい。これらを
合わせた高さは、1〜20μm 、特に0.7〜10μm
程度が好ましい。
Although the size of the base is not particularly limited, it usually functions sufficiently as long as it has a width of 1 μm or more, but it is particularly preferably 5 μm or more, and the height (film thickness) is 0 μm. .2 μm or more, especially about 0.5 to 10 μm. Further, the size of the overhang portion is not particularly limited, but it is preferable that the overhang portion has a structure having an overhang length that is at least about half of the film thickness of the base portion. Height (film thickness) 0.1-1
0 μm, particularly preferably about 0.2 to 5 μm. The combined height is 1-20 μm, especially 0.7-10 μm
The degree is preferred.

【0030】素子分離構造体を形成するには、先ず、ホ
ール注入電極、層間絶縁層等が形成された基板上に、上
記基部の材料よりなる基部層を、好ましくは樹脂膜やS
OG膜はスピンコート法やロールコート法で、絶縁膜や
半導体膜はスパッタ法やCVD法で、金属膜は蒸着法等
により形成し、さらに、上記同様に、基部層上に感光性
を有するオーバーハング部層を形成する。このオーバー
ハング部層を露光、現像してパターニングすると同時、
またはその後に、前記基部層をエッチングし、かつこの
基部層がオーバーハング部層より小さくなるようにオー
バーエッチングさせてオーバーハング体とすればよい。
基部の形成にスパッタ法を用いる場合、その条件等は上
記層間絶縁層と同様である。また、基部やオーバーハン
グ部を樹脂等で形成する際の形成方法は、上記層間絶縁
層で説明したフォトレジストの手法等に準じればよい。
In order to form an element isolation structure, first, a base layer made of the above-mentioned base material is formed on a substrate on which a hole injection electrode, an interlayer insulating layer and the like are formed, preferably by using a resin film or an S film.
The OG film is formed by a spin coating method or a roll coating method, the insulating film or the semiconductor film is formed by a sputtering method or a CVD method, the metal film is formed by a vapor deposition method, and the like. A hang portion layer is formed. At the same time as exposing, developing and patterning this overhanging layer,
Alternatively, thereafter, the base layer may be etched, and the base layer may be over-etched so as to be smaller than the overhang portion layer to form an overhang body.
When a sputtering method is used to form the base, the conditions and the like are the same as those of the above-mentioned interlayer insulating layer. The method of forming the base portion and the overhang portion with a resin or the like may be in accordance with the photoresist method described for the interlayer insulating layer or the like.

【0031】本発明の有機EL素子は、マトリクスタイ
プのディスプレイやセグメントタイプのディスプレイ
等、種々の有機EL素子を用いたディスプレイに応用す
ることができる。
The organic EL device of the present invention can be applied to displays using various organic EL devices, such as a matrix type display and a segment type display.

【0032】次に、本発明の有機EL素子を構成する有
機EL構造体について説明する。
Next, the organic EL structure constituting the organic EL device of the present invention will be described.

【0033】ホール注入電極は、通常基板側から発光し
た光を取り出す構成であるため、透明ないし半透明な電
極が好ましい。透明電極としては、ITO(錫ドープ酸
化インジウム)、IZO(亜鉛ドープ酸化インジウ
ム)、ZnO、SnO2 、In23 等が挙げられる
が、好ましくはITO(錫ドープ酸化インジウム)、I
ZO(亜鉛ドープ酸化インジウム)が好ましい。ITO
は、通常In2 3 とSnOとを化学量論組成で含有す
るが、O量は多少これから偏倚していてもよい。
Since the hole injection electrode is generally configured to extract light emitted from the substrate side, a transparent or translucent electrode is preferable. Examples of the transparent electrode include ITO (tin-doped indium oxide), IZO (zinc-doped indium oxide), ZnO, SnO 2 , In 2 O 3, and the like.
ZO (zinc-doped indium oxide) is preferred. ITO
Usually contains In 2 O 3 and SnO in a stoichiometric composition, but the O amount may be slightly deviated from this.

【0034】ホール注入電極の厚さは、ホール注入を十
分行える一定以上の厚さを有すれば良く、好ましくは5
0〜500nm、さらには50〜300nmの範囲が好まし
い。また、その上限は特に制限はないが、あまり厚いと
剥離などの心配が生じる。厚さが薄すぎると、製造時の
膜強度やホール輸送能力、抵抗値の点で問題がある。
The thickness of the hole injecting electrode may be a certain thickness or more for sufficiently injecting holes.
The range is preferably from 0 to 500 nm, more preferably from 50 to 300 nm. The upper limit is not particularly limited, but if the thickness is too large, there is a fear of peeling or the like. If the thickness is too small, there is a problem in the film strength at the time of manufacturing, the hole transport ability, and the resistance value.

【0035】このホール注入電極層は蒸着法等によって
も形成できるが、好ましくはスパッタ法により形成する
ことが好ましい。
This hole injection electrode layer can be formed by a vapor deposition method or the like, but is preferably formed by a sputtering method.

【0036】電子注入電極としては、低仕事関数の物質
が好ましく、例えば、K、Li、Na、Mg、La、C
e、Ca、Sr、Ba、Al、Ag、In、Sn、Z
n、Zr等の金属元素単体、または安定性を向上させる
ためにそれらを含む2成分、3成分の合金系を用いるこ
とが好ましい。合金系としては、例えばAg・Mg(A
g:1〜20at%)、Al・Li(Li:0.3〜14
at%)、In・Mg(Mg:50〜80at%)、Al・
Ca(Ca:5〜20at%)等が好ましい。なお、電子
注入電極は蒸着法やスパッタ法で形成することが可能で
ある。
As the electron injection electrode, a substance having a low work function is preferable. For example, K, Li, Na, Mg, La, C
e, Ca, Sr, Ba, Al, Ag, In, Sn, Z
It is preferable to use a single metal element such as n or Zr, or a two-component or three-component alloy system containing them for improving the stability. As an alloy system, for example, Ag · Mg (A
g: 1 to 20 at%), Al.Li (Li: 0.3 to 14)
at%), In.Mg (Mg: 50-80at%), Al.
Ca (Ca: 5 to 20 at%) and the like are preferable. Note that the electron injection electrode can be formed by an evaporation method or a sputtering method.

【0037】電子注入電極薄膜の厚さは、電子注入を十
分行える一定以上の厚さとすれば良く、0.1nm以上、
好ましくは1nm以上とすればよい。また、その上限値に
は特に制限はないが、通常膜厚は1〜500nm程度とす
ればよい。電子注入電極の上には、さらに保護電極を設
けてもよい。
The thickness of the electron injecting electrode thin film may be a certain thickness or more capable of sufficiently injecting electrons.
Preferably, the thickness may be 1 nm or more. The upper limit is not particularly limited, but the thickness may be generally about 1 to 500 nm. A protective electrode may be further provided on the electron injection electrode.

【0038】保護電極の厚さは、電子注入効率を確保
し、水分や酸素あるいは有機溶媒の進入を防止するた
め、一定以上の厚さとすればよく、好ましくは50nm以
上、さらには100nm以上、特に100〜1000nmの
範囲が好ましい。保護電極層が薄すぎると、その効果が
得られず、また、保護電極層の段差被覆性が低くなって
しまい、端子電極との接続が十分ではなくなる。一方、
保護電極層が厚すぎると、保護電極層の応力が大きくな
るため、ダークスポットの成長速度が速くなってしま
う。
The thickness of the protective electrode may be a certain thickness or more, preferably 50 nm or more, more preferably 100 nm or more, in order to secure electron injection efficiency and to prevent entry of moisture, oxygen or an organic solvent. The range of 100 to 1000 nm is preferred. If the protective electrode layer is too thin, the effect cannot be obtained, and the step coverage of the protective electrode layer is reduced, and the connection with the terminal electrode is not sufficient. on the other hand,
If the protective electrode layer is too thick, the stress of the protective electrode layer increases, so that the growth rate of dark spots increases.

【0039】電子注入電極と保護電極とを併せた全体の
厚さとしては、特に制限はないが、通常100〜100
0nm程度とすればよい。
The total thickness of the electron injecting electrode and the protective electrode is not particularly limited, but is usually 100 to 100.
It may be about 0 nm.

【0040】電極成膜後に、前記保護電極に加えて、S
iOX 等の無機材料、テフロン、塩素を含むフッ化炭素
重合体等の有機材料等を用いた保護膜を形成してもよ
い。保護膜は透明でも不透明であってもよく、保護膜の
厚さは50〜1200nm程度とする。保護膜は、前記の
反応性スパッタ法の他に、一般的なスパッタ法、蒸着
法、PECVD法等により形成すればよい。
After forming the electrode, in addition to the protective electrode, S
inorganic materials iO X such as Teflon, a protective film may be formed using an organic material such as fluorocarbon polymers containing chlorine. The protective film may be transparent or opaque, and the thickness of the protective film is about 50 to 1200 nm. The protective film may be formed by a general sputtering method, an evaporation method, a PECVD method, or the like, in addition to the reactive sputtering method.

【0041】さらに、素子の有機層や電極の酸化を防ぐ
ために、素子上に封止層を形成することが好ましい。封
止層は、湿気の侵入を防ぐために、接着性樹脂層を用い
て、封止板を接着し密封する。封止ガスは、Ar、H
e、N2 等の不活性ガス等が好ましい。また、この封止
ガスの水分含有量は、100ppm以下、より好ましく
は10ppm以下、特には1ppm以下であることが好
ましい。この水分含有量に下限値は特にないが、通常
0.1ppm程度である。
Further, in order to prevent oxidation of the organic layer and the electrodes of the device, it is preferable to form a sealing layer on the device. The sealing layer adheres and seals the sealing plate using an adhesive resin layer in order to prevent moisture from entering. The sealing gas is Ar, H
e, an inert gas such as N 2 and the like are preferable. Further, the moisture content of the sealing gas is preferably 100 ppm or less, more preferably 10 ppm or less, and particularly preferably 1 ppm or less. Although there is no particular lower limit for the water content, it is usually about 0.1 ppm.

【0042】封止板の材料としては、好ましくは平板状
であって、ガラスや石英、樹脂等の透明ないし半透明材
料が挙げられるが、特にガラスが好ましい。このような
ガラス材として、アルカリガラスが好ましいが、この
他、ソーダ石灰ガラス、鉛アルカリガラス、ホウケイ酸
ガラス、アルミノケイ酸ガラス、シリカガラス等のガラ
ス組成のものも好ましい。また、その製板方法として
は、ロールアウト法、ダウンロード法、フュージョン
法、フロート法等が好ましい。ガラス材の表面処理法と
しては、研磨加工処理、SiO2バリヤーコート処理等
が好ましい。これらの中でも、フロート法で製板された
ソーダ石灰ガラスで、表面処理の無いガラス材が安価に
使用でき、好ましい。封止板としては、ガラス板以外に
も、金属板、プラスチック板等を用いることもできる。
The material of the sealing plate is preferably a flat plate, and may be a transparent or translucent material such as glass, quartz, resin, etc., and glass is particularly preferred. As such a glass material, an alkali glass is preferable, and in addition, a glass composition such as soda-lime glass, lead-alkali glass, borosilicate glass, aluminosilicate glass, and silica glass is also preferable. As the plate making method, a roll-out method, a download method, a fusion method, a float method, or the like is preferable. As a surface treatment method for the glass material, a polishing treatment, a SiO 2 barrier coat treatment, or the like is preferable. Among them, soda-lime glass produced by a float method and having no surface treatment can be used at a low cost, and is preferable. As the sealing plate, other than a glass plate, a metal plate, a plastic plate, or the like can be used.

【0043】封止板は、スペーサーを用いて高さを調整
し、所望の高さに保持してもよい。スペーサーの材料と
しては、樹脂ビーズ、シリカビーズ、ガラスビーズ、ガ
ラスファイバー等が挙げられ、特にガラスビーズ等が好
ましい。スペーサーは、通常、粒径の揃った粒状物であ
るが、その形状は特に限定されるものではなく、スペー
サーとしての機能に支障のないものであれば種々の形状
であってもよい。その大きさとしては、円換算の直径が
1〜20μm 、より好ましくは1〜10μm 、特に2〜
8μm が好ましい。このような直径のものは、粒長10
0μm 以下程度であることが好ましく、その下限は特に
規制されるものではないが、通常1μm程度である。
The height of the sealing plate may be adjusted by using a spacer, and may be maintained at a desired height. Examples of the material of the spacer include resin beads, silica beads, glass beads, and glass fibers, and glass beads are particularly preferable. The spacer is usually a granular material having a uniform particle size, but the shape is not particularly limited, and may be various shapes as long as it does not hinder the function as the spacer. As the size, the diameter in terms of a circle is 1 to 20 μm, more preferably 1 to 10 μm, and especially 2 to 20 μm.
8 μm is preferred. Those having such a diameter have a grain length of 10
It is preferably about 0 μm or less, and the lower limit is not particularly limited, but is usually about 1 μm.

【0044】なお、封止板に凹部を形成した場合には、
スペーサーは使用しても、使用しなくてもよい。使用す
る場合の好ましい大きさとしては、前記範囲でよいが、
特に2〜8μm の範囲が好ましい。
When a recess is formed in the sealing plate,
Spacers may or may not be used. The preferred size when used is within the above range,
Particularly, the range of 2 to 8 μm is preferable.

【0045】スペーサーは、予め封止用接着剤中に混入
されていても、接着時に混入してもよい。封止用接着剤
中におけるスペーサーの含有量は、好ましくは0.01
〜30wt%、より好ましくは0.1〜5wt%である。
The spacer may be previously mixed into the sealing adhesive or may be mixed during bonding. The content of the spacer in the sealing adhesive is preferably 0.01
-30 wt%, more preferably 0.1-5 wt%.

【0046】接着剤としては、安定した接着強度が保
て、気密性が良好なものであれば特に限定されるもので
はないが、カチオン硬化タイプの紫外線硬化型エポキシ
樹脂接着剤を用いることが好ましい。
The adhesive is not particularly limited as long as it can maintain stable adhesive strength and has good airtightness, but it is preferable to use a cationic curing type ultraviolet curing epoxy resin adhesive. .

【0047】基板材料としては特に限定するものではな
く、積層する有機EL構造体の電極の材質等により適宜
決めることができ、例えば、Al等の金属材料や、ガラ
ス、石英や樹脂等の透明ないし半透明材料、あるいは不
透明であってもよく、この場合はガラス等のほか、アル
ミナ等のセラミックス、ステンレス等の金属シートに表
面酸化などの絶縁処理を施したもの、フェノール樹脂等
の熱硬化性樹脂、ポリカーボネート等の熱可塑性樹脂な
どを用いることができる。
The substrate material is not particularly limited, and can be appropriately determined depending on the material of the electrodes of the organic EL structure to be laminated. For example, a metal material such as Al or a transparent or transparent material such as glass, quartz or resin is used. The material may be translucent or opaque. In this case, in addition to glass, ceramics such as alumina, metal sheets such as stainless steel are subjected to insulation treatment such as surface oxidation, and thermosetting resins such as phenolic resin And a thermoplastic resin such as polycarbonate.

【0048】次に、有機EL素子に設けられる有機物層
について述べる。発光層は、ホール(正孔)および電子
の注入機能、それらの輸送機能、ホールと電子の再結合
により励起子を生成させる機能を有する。発光層には、
比較的電子的にニュートラルな化合物を用いることが好
ましい。
Next, the organic layer provided in the organic EL device will be described. The light emitting layer has a function of injecting holes (holes) and electrons, a function of transporting them, and a function of generating excitons by recombination of holes and electrons. In the light emitting layer,
It is preferable to use a relatively electronically neutral compound.

【0049】ホール注入輸送層は、ホール注入電極から
のホールの注入を容易にする機能、ホールを安定に輸送
する機能および電子を妨げる機能を有するものであり、
電子注入輸送層は、陰電極からの電子の注入を容易にす
る機能、電子を安定に輸送する機能およびホールを妨げ
る機能を有するものである。これらの層は、発光層に注
入されるホールや電子を増大・閉じこめさせ、再結合領
域を最適化させ、発光効率を改善する。
The hole injection transport layer has a function of facilitating the injection of holes from the hole injection electrode, a function of stably transporting holes, and a function of preventing electrons.
The electron injection / transport layer has a function of facilitating the injection of electrons from the negative electrode, a function of stably transporting electrons, and a function of preventing holes. These layers increase and confine holes and electrons injected into the light emitting layer, optimize the recombination region, and improve luminous efficiency.

【0050】発光層の厚さ、ホール注入輸送層の厚さお
よび電子注入輸送層の厚さは、特に制限されるものでは
なく、形成方法によっても異なるが、通常5〜500nm
程度、特に10〜300nmとすることが好ましい。
The thickness of the light emitting layer, the thickness of the hole injecting and transporting layer, and the thickness of the electron injecting and transporting layer are not particularly limited, and vary depending on the forming method.
It is preferable that the thickness be in the range of 10 to 300 nm.

【0051】ホール注入輸送層の厚さおよび電子注入輸
送層の厚さは、再結合・発光領域の設計によるが、発光
層の厚さと同程度または1/10〜10倍程度とすれば
よい。ホールまたは電子の各々の注入層と輸送層とを分
ける場合は、注入層は1nm以上、輸送層は1nm以上とす
るのが好ましい。このときの注入層、輸送層の厚さの上
限は、通常、注入層で500nm程度、輸送層で500nm
程度である。このような膜厚については、注入輸送層を
2層設けるときも同じである。
The thickness of the hole injecting and transporting layer and the thickness of the electron injecting and transporting layer depend on the design of the recombination / light emitting region, but may be about the same as the thickness of the light emitting layer or about 1/10 to 10 times. When the hole or electron injection layer and the transport layer are separated from each other, it is preferable that the injection layer has a thickness of 1 nm or more and the transport layer has a thickness of 1 nm or more. At this time, the upper limit of the thickness of the injection layer and the transport layer is usually about 500 nm for the injection layer and 500 nm for the transport layer.
It is about. Such a film thickness is the same when two injection / transport layers are provided.

【0052】有機EL素子の発光層には、発光機能を有
する化合物である蛍光性物質を含有させる。このような
蛍光性物質としては、例えば、特開昭63−26469
2号公報に開示されているような化合物、例えばキナク
リドン、ルブレン、スチリル系色素等の化合物から選択
される少なくとも1種が挙げられる。また、トリス(8
−キノリノラト)アルミニウム等の8−キノリノールま
たはその誘導体を配位子とする金属錯体色素などのキノ
リン誘導体、テトラフェニルブタジエン、アントラセ
ン、ペリレン、コロネン、12−フタロペリノン誘導体
等が挙げられる。さらには、特願平6−110569号
のフェニルアントラセン誘導体、特願平6−11445
6号のテトラアリールエテン誘導体等を用いることがで
きる。
The light emitting layer of the organic EL element contains a fluorescent substance which is a compound having a light emitting function. Examples of such a fluorescent substance include, for example, JP-A-63-26469.
No. 2 discloses at least one compound selected from compounds such as quinacridone, rubrene, and styryl dyes. Also, Tris (8
-Quinolinolato) quinoline derivatives such as metal complex dyes having 8-quinolinol or a derivative thereof as a ligand such as aluminum, tetraphenylbutadiene, anthracene, perylene, coronene, and 12-phthaloperinone derivatives. Further, phenylanthracene derivatives disclosed in Japanese Patent Application No. 6-110569, and Japanese Patent Application No. 6-11445.
No. 6 tetraarylethene derivative or the like can be used.

【0053】また、それ自体で発光が可能なホスト物質
と組み合わせて使用することが好ましく、ドーパントと
しての使用が好ましい。このような場合の発光層におけ
る化合物の含有量は0.01〜10wt% 、さらには0.
1〜5wt% であることが好ましい。ホスト物質と組み合
わせて使用することによって、ホスト物質の発光波長特
性を変化させることができ、長波長に移行した発光が可
能になるとともに、素子の発光効率や安定性が向上す
る。
Further, it is preferable to use it in combination with a host substance capable of emitting light by itself, and it is preferable to use it as a dopant. In such a case, the content of the compound in the light emitting layer is 0.01 to 10% by weight, and more preferably 0.1 to 10% by weight.
It is preferably 1 to 5% by weight. When used in combination with a host substance, the emission wavelength characteristics of the host substance can be changed, light emission shifted to a longer wavelength becomes possible, and the luminous efficiency and stability of the device are improved.

【0054】ホスト物質としては、キノリノラト錯体が
好ましく、さらには8−キノリノールまたはその誘導体
を配位子とするアルミニウム錯体が好ましい。このよう
なアルミニウム錯体としては、特開昭63−26469
2号、特開平3−255190号、特開平5−7073
3号、特開平5−258859号、特開平6−2158
74号等に開示されているものを挙げることができる。
As the host substance, a quinolinolato complex is preferred, and an aluminum complex having 8-quinolinol or a derivative thereof as a ligand is preferred. Such an aluminum complex is disclosed in JP-A-63-26469.
No. 2, JP-A-3-255190, JP-A-5-7073
3, JP-A-5-258859, JP-A-6-2158
No. 74 and the like.

【0055】具体的には、まず、トリス(8−キノリノ
ラト)アルミニウム、ビス(8−キノリノラト)マグネ
シウム、ビス(ベンゾ{f}−8−キノリノラト)亜
鉛、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)アルミニウ
ムオキシド、トリス(8−キノリノラト)インジウム、
トリス(5−メチル−8−キノリノラト)アルミニウ
ム、8−キノリノラトリチウム、トリス(5−クロロ−
8−キノリノラト)ガリウム、ビス(5−クロロ−8−
キノリノラト)カルシウム、5,7−ジクロル−8−キ
ノリノラトアルミニウム、トリス(5,7−ジブロモ−
8−ヒドロキシキノリノラト)アルミニウム、ポリ[亜
鉛(II)−ビス(8−ヒドロキシ−5−キノリニル)メ
タン]等がある。
Specifically, first, tris (8-quinolinolato) aluminum, bis (8-quinolinolato) magnesium, bis (benzo {f} -8-quinolinolato) zinc, bis (2-methyl-8-quinolinolato) aluminum Oxide, tris (8-quinolinolato) indium,
Tris (5-methyl-8-quinolinolato) aluminum, 8-quinolinolatolithium, tris (5-chloro-
8-quinolinolato) gallium, bis (5-chloro-8-
Quinolinolato) calcium, 5,7-dichloro-8-quinolinolatoaluminum, tris (5,7-dibromo-
8-hydroxyquinolinolato) aluminum and poly [zinc (II) -bis (8-hydroxy-5-quinolinyl) methane].

【0056】また、8−キノリノールまたはその誘導体
のほかに他の配位子を有するアルミニウム錯体であって
もよく、このようなものとしては、ビス(2−メチル−
8−キノリノラト)(フェノラト)アルミニウム(III)
、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(オルト−
クレゾラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−
8−キノリノラト)(メタークレゾラト)アルミニウム
(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(パラ
−クレゾラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル
−8−キノリノラト)(オルト−フェニルフェノラト)
アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノ
ラト)(メタ−フェニルフェノラト)アルミニウム(II
I) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(パラ−
フェニルフェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−
メチル−8−キノリノラト)(2,3−ジメチルフェノ
ラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キ
ノリノラト)(2,6−ジメチルフェノラト)アルミニ
ウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)
(3,4−ジメチルフェノラト)アルミニウム(III) 、
ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(3,5−ジメ
チルフェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチ
ル−8−キノリノラト)(3,5−ジ−tert−ブチルフ
ェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8
−キノリノラト)(2,6−ジフェニルフェノラト)ア
ルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラ
ト)(2,4,6−トリフェニルフェノラト)アルミニ
ウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)
(2,3,6−トリメチルフェノラト)アルミニウム(I
II) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(2,
3,5,6−テトラメチルフェノラト)アルミニウム(I
II) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(1−ナ
フトラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8
−キノリノラト)(2−ナフトラト)アルミニウム(II
I) 、ビス(2,4−ジメチル−8−キノリノラト)
(オルト−フェニルフェノラト)アルミニウム(III) 、
ビス(2,4−ジメチル−8−キノリノラト)(パラ−
フェニルフェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2,
4−ジメチル−8−キノリノラト)(メタ−フェニルフ
ェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2,4−ジメチ
ル−8−キノリノラト)(3,5−ジメチルフェノラ
ト)アルミニウム(III) 、ビス(2,4−ジメチル−8
−キノリノラト)(3,5−ジ−tert−ブチルフェノラ
ト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−4−エチ
ル−8−キノリノラト)(パラ−クレゾラト)アルミニ
ウム(III) 、ビス(2−メチル−4−メトキシ−8−キ
ノリノラト)(パラ−フェニルフェノラト)アルミニウ
ム(III) 、ビス(2−メチル−5−シアノ−8−キノリ
ノラト)(オルト−クレゾラト)アルミニウム(III) 、
ビス(2−メチル−6−トリフルオロメチル−8−キノ
リノラト)(2−ナフトラト)アルミニウム(III) 等が
ある。
Further, in addition to 8-quinolinol or its derivative, an aluminum complex having another ligand may be used, such as bis (2-methyl-
8-quinolinolato) (phenolato) aluminum (III)
, Bis (2-methyl-8-quinolinolato) (ortho-
Cresolato) aluminum (III), bis (2-methyl-
8-quinolinolato) (meth-cresolate) aluminum
(III), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (para-cresolato) aluminum (III), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (ortho-phenylphenolate)
Aluminum (III), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (meth-phenylphenolato) aluminum (II
I), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (para-
Phenylphenolato) aluminum (III), bis (2-
Methyl-8-quinolinolato) (2,3-dimethylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (2,6-dimethylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl- 8-quinolinolato)
(3,4-dimethylphenolato) aluminum (III),
Bis (2-methyl-8-quinolinolato) (3,5-dimethylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (3,5-di-tert-butylphenolato) aluminum (III) ), Bis (2-methyl-8)
-Quinolinolato) (2,6-diphenylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (2,4,6-triphenylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl- 8-quinolinolato)
(2,3,6-trimethylphenolato) aluminum (I
II), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (2,
3,5,6-tetramethylphenolato) aluminum (I
II), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (1-naphthrat) aluminum (III), bis (2-methyl-8
-Quinolinolato) (2-naphthrat) aluminum (II
I), bis (2,4-dimethyl-8-quinolinolato)
(Ortho-phenylphenolato) aluminum (III),
Bis (2,4-dimethyl-8-quinolinolato) (para-
Phenylphenolato) aluminum (III), bis (2,
4-dimethyl-8-quinolinolato) (meta-phenylphenolato) aluminum (III), bis (2,4-dimethyl-8-quinolinolato) (3,5-dimethylphenolato) aluminum (III), bis (2 4-dimethyl-8
-Quinolinolato) (3,5-di-tert-butylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl-4-ethyl-8-quinolinolato) (para-cresolato) aluminum (III), bis (2-methyl) -4-methoxy-8-quinolinolato) (para-phenylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl-5-cyano-8-quinolinolato) (ortho-cresolato) aluminum (III),
Bis (2-methyl-6-trifluoromethyl-8-quinolinolato) (2-naphthrat) aluminum (III);

【0057】このほか、ビス(2−メチル−8−キノリ
ノラト)アルミニウム(III) −μ−オキソ−ビス(2−
メチル−8−キノリノラト)アルミニウム(III) 、ビス
(2,4−ジメチル−8−キノリノラト)アルミニウム
(III) −μ−オキソ−ビス(2,4−ジメチル−8−キ
ノリノラト)アルミニウム(III) 、ビス(4−エチル−
2−メチル−8−キノリノラト)アルミニウム(III) −
μ−オキソ−ビス(4−エチル−2−メチル−8−キノ
リノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−4
−メトキシキノリノラト)アルミニウム(III) −μ−オ
キソ−ビス(2−メチル−4−メトキシキノリノラト)
アルミニウム(III) 、ビス(5−シアノ−2−メチル−
8−キノリノラト)アルミニウム(III) −μ−オキソ−
ビス(5−シアノ−2−メチル−8−キノリノラト)ア
ルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−5−トリフルオ
ロメチル−8−キノリノラト)アルミニウム(III) −μ
−オキソ−ビス(2−メチル−5−トリフルオロメチル
−8−キノリノラト)アルミニウム(III) 等であっても
よい。
In addition, bis (2-methyl-8-quinolinolato) aluminum (III) -μ-oxo-bis (2-
Methyl-8-quinolinolato) aluminum (III), bis (2,4-dimethyl-8-quinolinolato) aluminum
(III) -μ-oxo-bis (2,4-dimethyl-8-quinolinolato) aluminum (III), bis (4-ethyl-
2-methyl-8-quinolinolato) aluminum (III)-
μ-oxo-bis (4-ethyl-2-methyl-8-quinolinolato) aluminum (III), bis (2-methyl-4
-Methoxyquinolinolato) aluminum (III) -μ-oxo-bis (2-methyl-4-methoxyquinolinolato)
Aluminum (III), bis (5-cyano-2-methyl-
8-quinolinolato) aluminum (III) -μ-oxo-
Bis (5-cyano-2-methyl-8-quinolinolato) aluminum (III), bis (2-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolinolato) aluminum (III) -μ
-Oxo-bis (2-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolinolato) aluminum (III) and the like.

【0058】このほかのホスト物質としては、特願平6
−110569号に記載のフェニルアントラセン誘導体
や特願平6−114456号に記載のテトラアリールエ
テン誘導体なども好ましい。
Other host materials include Japanese Patent Application No.
Also preferred are phenylanthracene derivatives described in -110569 and tetraarylethene derivatives described in Japanese Patent Application No. 6-114456.

【0059】発光層は電子注入輸送層を兼ねたものであ
ってもよく、このような場合はトリス(8−キノリノラ
ト)アルミニウム等を使用することが好ましい。これら
の蛍光性物質を蒸着すればよい。
The light emitting layer may also serve as an electron injection / transport layer. In such a case, it is preferable to use tris (8-quinolinolato) aluminum or the like. These fluorescent substances may be deposited.

【0060】また、発光層は、必要に応じて、少なくと
も1種のホール注入輸送性化合物と少なくとも1種の電
子注入輸送性化合物との混合層とすることも好ましく、
さらにはこの混合層中にドーパントを含有させることが
好ましい。このような混合層における化合物の含有量
は、0.01〜20wt% 、さらには0.1〜15wt% と
することが好ましい。
The light emitting layer is preferably a mixed layer of at least one kind of hole injecting and transporting compound and at least one kind of electron injecting and transporting compound, if necessary.
Further, it is preferable that a dopant is contained in the mixed layer. The content of the compound in such a mixed layer is preferably 0.01 to 20% by weight, more preferably 0.1 to 15% by weight.

【0061】混合層では、キャリアのホッピング伝導パ
スができるため、各キャリアは極性的に有利な物質中を
移動し、逆の極性のキャリア注入は起こりにくくなるた
め、有機化合物がダメージを受けにくくなり、素子寿命
がのびるという利点がある。また、前述のドーパントを
このような混合層に含有させることにより、混合層自体
のもつ発光波長特性を変化させることができ、発光波長
を長波長に移行させることができるとともに、発光強度
を高め、素子の安定性を向上させることもできる。
In the mixed layer, a hopping conduction path of carriers is formed, so that each carrier moves in a polarly advantageous substance, and carrier injection of the opposite polarity is less likely to occur, so that the organic compound is less likely to be damaged. This has the advantage that the element life is extended. Further, by including the above-described dopant in such a mixed layer, the emission wavelength characteristics of the mixed layer itself can be changed, the emission wavelength can be shifted to a longer wavelength, and the emission intensity is increased, The stability of the device can be improved.

【0062】混合層に用いられるホール注入輸送性化合
物および電子注入輸送性化合物は、各々、後述のホール
注入輸送層用の化合物および電子注入輸送層用の化合物
の中から選択すればよい。なかでも、ホール注入輸送層
用の化合物としては、強い蛍光を持ったアミン誘導体、
例えばホール輸送材料であるトリフェニルジアミン誘導
体、さらにはスチリルアミン誘導体、芳香族縮合環を持
つアミン誘導体を用いるのが好ましい。
The hole injecting and transporting compound and the electron injecting and transporting compound used in the mixed layer may be selected from the compounds for the hole injecting and transporting layer and the compounds for the electron injecting and transporting layer described below, respectively. Among them, compounds for the hole injection transport layer include amine derivatives having strong fluorescence,
For example, it is preferable to use a triphenyldiamine derivative which is a hole transport material, a styrylamine derivative, or an amine derivative having an aromatic condensed ring.

【0063】電子注入輸送性の化合物としては、キノリ
ン誘導体、さらには8−キノリノールないしその誘導体
を配位子とする金属錯体、特にトリス(8−キノリノラ
ト)アルミニウム(Alq3)を用いることが好まし
い。また、上記のフェニルアントラセン誘導体、テトラ
アリールエテン誘導体を用いるのも好ましい。
As the compound capable of injecting and transporting electrons, it is preferable to use a quinoline derivative, furthermore a metal complex having 8-quinolinol or its derivative as a ligand, particularly tris (8-quinolinolato) aluminum (Alq3). It is also preferable to use the above-mentioned phenylanthracene derivatives and tetraarylethene derivatives.

【0064】ホール注入輸送層用の化合物としては、強
い蛍光を持ったアミン誘導体、例えば上記のホール輸送
材料であるトリフェニルジアミン誘導体、さらにはスチ
リルアミン誘導体、芳香族縮合環を持つアミン誘導体を
用いるのが好ましい。
As the compound for the hole injecting and transporting layer, an amine derivative having strong fluorescence, for example, a triphenyldiamine derivative which is the above-described hole transporting material, a styrylamine derivative, or an amine derivative having an aromatic condensed ring is used. Is preferred.

【0065】この場合の混合比は、それぞれのキャリア
移動度とキャリア濃度によるが、一般的には、ホール注
入輸送性化合物の化合物/電子注入輸送機能を有する化
合物の重量比が、1/99〜99/1、さらに好ましく
は10/90〜90/10、特に好ましくは20/80
〜80/20程度となるようにすることが好ましい。
The mixing ratio in this case depends on the respective carrier mobilities and carrier concentrations. In general, the weight ratio of the compound of the hole injection / transport compound / the compound having the electron injection / transport function is from 1/99 to less. 99/1, more preferably 10/90 to 90/10, particularly preferably 20/80
It is preferable to set it to about 80/20.

【0066】また、混合層の厚さは、分子層一層に相当
する厚み以上で、有機化合物層の膜厚未満とすることが
好ましい。具体的には1〜85nmとすることが好まし
く、さらには5〜60nm、特には5〜50nmとすること
が好ましい。
The thickness of the mixed layer is preferably not less than the thickness corresponding to one molecular layer and less than the thickness of the organic compound layer. Specifically, the thickness is preferably 1 to 85 nm, more preferably 5 to 60 nm, particularly preferably 5 to 50 nm.

【0067】また、混合層の形成方法としては、異なる
蒸着源より蒸発させる共蒸着が好ましいが、蒸気圧(蒸
発温度)が同程度あるいは非常に近い場合には、予め同
じ蒸着ボード内で混合させておき、蒸着することもでき
る。混合層は化合物同士が均一に混合している方が好ま
しいが、場合によっては、化合物が島状に存在するもの
であってもよい。発光層は、一般的には、有機蛍光物質
を蒸着するか、あるいは、樹脂バインダー中に分散させ
てコーティングすることにより、発光層を所定の厚さに
形成する。
As a method for forming the mixed layer, co-evaporation in which evaporation is performed from different evaporation sources is preferable. However, when the vapor pressures (evaporation temperatures) are about the same or very close, they are mixed in advance in the same evaporation board. Alternatively, it can be deposited. In the mixed layer, it is preferable that the compounds are uniformly mixed, but in some cases, the compounds may exist in an island shape. The light-emitting layer is generally formed to a predetermined thickness by vapor-depositing an organic fluorescent substance or by dispersing and coating the resin in a resin binder.

【0068】また、ホール注入輸送層には、例えば、特
開昭63−295695号公報、特開平2−19169
4号公報、特開平3−792号公報、特開平5−234
681号公報、特開平5−239455号公報、特開平
5−299174号公報、特開平7−126225号公
報、特開平7−126226号公報、特開平8−100
172号公報、EP0650955A1等に記載されて
いる各種有機化合物を用いることができる。例えば、テ
トラアリールベンジシン化合物(トリアリールジアミン
ないしトリフェニルジアミン:TPD)、芳香族三級ア
ミン、ヒドラゾン誘導体、カルバゾール誘導体、トリア
ゾール誘導体、イミダゾール誘導体、アミノ基を有する
オキサジアゾール誘導体、ポリチオフェン等である。こ
れらの化合物は、1種のみを用いても、2種以上を併用
してもよい。2種以上を併用するときは、別層にして積
層したり、混合したりすればよい。
The hole injecting and transporting layer is described in, for example, JP-A-63-295695 and JP-A-2-19169.
4, JP-A-3-792, JP-A-5-234
681, JP-A-5-239455, JP-A-5-299174, JP-A-7-126225, JP-A-7-126226, JP-A-8-100
Various organic compounds described in JP-A-172, EP0650955A1, and the like can be used. For example, a tetraarylbendicine compound (triaryldiamine or triphenyldiamine: TPD), an aromatic tertiary amine, a hydrazone derivative, a carbazole derivative, a triazole derivative, an imidazole derivative, an oxadiazole derivative having an amino group, polythiophene, etc. . These compounds may be used alone or in combination of two or more. When two or more kinds are used in combination, they may be stacked as separate layers or mixed.

【0069】ホール注入輸送層をホール注入層とホール
輸送層とに分けて設層する場合は、ホール注入輸送層用
の化合物のなかから好ましい組合せを選択して用いるこ
とができる。このとき、ホール注入電極(ITO等)側
からイオン化ポテンシャルの小さい化合物の順に積層す
ることが好ましい。また、陽電極表面には薄膜性の良好
な化合物を用いることが好ましい。このような積層順に
ついては、ホール注入輸送層を2層以上設けるときも同
様である。このような積層順とすることによって、駆動
電圧が低下し、電流リークの発生やダークスポットの発
生・成長を防ぐことができる。また、素子化する場合、
蒸着を用いているので1〜10nm程度の薄い膜も均一か
つピンホールフリーとすることができるため、ホール注
入層にイオン化ポテンシャルが小さく、可視部に吸収を
もつような化合物を用いても、発光色の色調変化や再吸
収による効率の低下を防ぐことができる。ホール注入輸
送層は、発光層等と同様に上記の化合物を蒸着すること
により形成することができる。
When the hole injecting and transporting layer is provided separately for the hole injecting and transporting layer, a preferable combination can be selected from the compounds for the hole injecting and transporting layer. At this time, it is preferable to laminate the compounds in order from the hole injecting electrode (ITO or the like) with the smallest ionization potential. Further, it is preferable to use a compound having good thin film property on the surface of the positive electrode. Such a stacking order is the same when two or more hole injection transport layers are provided. With such a stacking order, the driving voltage is reduced, and the occurrence of current leakage and the occurrence and growth of dark spots can be prevented. In addition, when making the device,
Since thin film of about 1 to 10 nm can be made uniform and pinhole-free because of the use of vapor deposition, even if a compound having a small ionization potential in the hole injection layer and having absorption in the visible region is used, light emission can be achieved. It is possible to prevent a decrease in efficiency due to a color tone change or re-absorption. The hole injecting and transporting layer can be formed by vapor deposition of the above compound in the same manner as the light emitting layer and the like.

【0070】また、必要に応じて設けられる電子注入輸
送層には、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム
(Alq3)等の8−キノリノールまたはその誘導体を
配位子とする有機金属錯体などのキノリン誘導体、オキ
サジアゾール誘導体、ペリレン誘導体、ピリジン誘導
体、ピリミジン誘導体、キノキサリン誘導体、ジフェニ
ルキノン誘導体、ニトロ置換フルオレン誘導体等を用い
ることができる。電子注入輸送層は発光層を兼ねたもの
であってもよく、このような場合はトリス(8−キノリ
ノラト)アルミニウム等を使用することが好ましい。電
子注入輸送層の形成は、発光層と同様に、蒸着等によれ
ばよい。
A quinoline derivative such as an organometallic complex having 8-quinolinol such as tris (8-quinolinolato) aluminum (Alq3) or a derivative thereof as a ligand is provided in the electron injection / transport layer provided as needed. An oxadiazole derivative, a perylene derivative, a pyridine derivative, a pyrimidine derivative, a quinoxaline derivative, a diphenylquinone derivative, a nitro-substituted fluorene derivative, or the like can be used. The electron injection / transport layer may also serve as the light emitting layer. In such a case, it is preferable to use tris (8-quinolinolato) aluminum or the like. The electron injecting and transporting layer may be formed by vapor deposition or the like, similarly to the light emitting layer.

【0071】電子注入輸送層を電子注入層と電子輸送層
とに分けて積層する場合には、電子注入輸送層用の化合
物の中から好ましい組み合わせを選択して用いることが
できる。このとき、電子注入電極側から電子親和力の値
の大きい化合物の順に積層することが好ましい。このよ
うな積層順については、電子注入輸送層を2層以上設け
るときも同様である。
In the case where the electron injecting and transporting layer is divided into an electron injecting layer and an electron transporting layer, a preferable combination can be selected from the compounds for the electron injecting and transporting layer. At this time, it is preferable to stack the compounds in descending order of the electron affinity value from the electron injection electrode side. Such a stacking order is the same when two or more electron injection / transport layers are provided.

【0072】基板に色フィルター膜や蛍光性物質を含む
色変換膜、あるいは誘電体反射膜を用いて発光色をコン
トロールしてもよい。
The emission color may be controlled by using a color filter film, a color conversion film containing a fluorescent substance, or a dielectric reflection film on the substrate.

【0073】色フィルター膜には、液晶ディスプレイ等
で用いられているカラーフィルターを用いれば良いが、
有機EL素子の発光する光に合わせてカラーフィルター
の特性を調整し、取り出し効率・色純度を最適化すれば
よい。
As the color filter film, a color filter used in a liquid crystal display or the like may be used.
The characteristics of the color filter may be adjusted in accordance with the light emitted from the organic EL element to optimize the extraction efficiency and the color purity.

【0074】また、EL素子材料や蛍光変換層が光吸収
するような短波長の外光をカットできるカラーフィルタ
ーを用いれば、素子の耐光性・表示のコントラストも向
上する。
When a color filter capable of cutting off short-wavelength external light that is absorbed by the EL element material or the fluorescent conversion layer is used, the light resistance of the element and the contrast of display are improved.

【0075】また、誘電体多層膜のような光学薄膜を用
いてカラーフィルターの代わりにしても良い。
An optical thin film such as a dielectric multilayer film may be used instead of the color filter.

【0076】蛍光変換フィルター膜は、EL発光の光を
吸収し、蛍光変換膜中の蛍光体から光を放出させること
で、発光色の色変換を行うものであるが、組成として
は、バインダー、蛍光材料、光吸収材料の三つから形成
される。
The fluorescent conversion filter film absorbs EL light and emits light from the phosphor in the fluorescent conversion film to convert the color of the emitted light. It is formed from a fluorescent material and a light absorbing material.

【0077】蛍光材料は、基本的には蛍光量子収率が高
いものを用いれば良く、EL発光波長域に吸収が強いこ
とが望ましい。実際には、レーザー色素などが適してお
り、ローダミン系化合物・ペリレン系化合物・シアニン
系化合物・フタロシアニン系化合物(サブフタロシアニ
ン等も含む)ナフタロイミド系化合物・縮合環炭化水素
系化合物・縮合複素環系化合物・スチリル系化合物・ク
マリン系化合物等を用いればよい。
As the fluorescent material, basically, a material having a high fluorescence quantum yield may be used, and it is desirable that the fluorescent material has strong absorption in the EL emission wavelength region. In practice, laser dyes and the like are suitable, and rhodamine compounds, perylene compounds, cyanine compounds, phthalocyanine compounds (including subphthalocyanines, etc.) naphthalimide compounds, condensed ring hydrocarbon compounds, condensed heterocyclic compounds A styryl compound, a coumarin compound or the like may be used.

【0078】バインダーは、基本的に蛍光を消光しない
ような材料を選べば良く、フォトリソグラフィー・印刷
等で微細なパターニングが出来るようなものが好まし
い。また、ITO、IZOの成膜時にダメージを受けな
いような材料が好ましい。
As the binder, a material that does not quench the fluorescence may be basically selected, and a binder that can be finely patterned by photolithography, printing, or the like is preferable. Further, a material that does not suffer damage during the formation of ITO or IZO is preferable.

【0079】光吸収材料は、蛍光材料の光吸収が足りな
い場合に用いるが、必要のない場合は用いなくても良
い。また、光吸収材料は、蛍光性材料の蛍光を消光しな
いような材料を選べば良い。
The light absorbing material is used when the light absorption of the fluorescent material is insufficient, but may be omitted when unnecessary. As the light absorbing material, a material that does not quench the fluorescence of the fluorescent material may be selected.

【0080】ホール注入輸送層、発光層および電子注入
輸送層の形成には、均質な薄膜が形成できることから、
真空蒸着法を用いることが好ましい。真空蒸着法を用い
た場合、アモルファス状態または結晶粒径が0.1μm
以下の均質な薄膜が得られる。結晶粒径が0.1μm を
超えていると、不均一な発光となり、素子の駆動電圧を
高くしなければならなくなり、電荷の注入効率も著しく
低下する。
For forming the hole injection transport layer, the light emitting layer and the electron injection transport layer, a uniform thin film can be formed.
It is preferable to use a vacuum deposition method. When vacuum deposition is used, the amorphous state or the crystal grain size is 0.1 μm
The following homogeneous thin film is obtained. If the crystal grain size exceeds 0.1 μm, the light emission becomes non-uniform, the driving voltage of the device must be increased, and the charge injection efficiency is significantly reduced.

【0081】真空蒸着の条件は特に限定されないが、1
-4Pa以下の真空度とし、蒸着速度は0.01〜1nm/
sec 程度とすることが好ましい。また、真空中で連続し
て各層を形成することが好ましい。真空中で連続して形
成すれば、各層の界面に不純物が吸着することを防げる
ため、高特性が得られる。また、素子の駆動電圧を低く
したり、ダークスポットの発生・成長を抑制したりする
ことができる。
The conditions for vacuum deposition are not particularly limited.
The degree of vacuum is 0 -4 Pa or less, and the deposition rate is 0.01 to 1 nm /
It is preferable to set it to about sec. Further, it is preferable to form each layer continuously in a vacuum. If they are formed continuously in a vacuum, impurities can be prevented from adsorbing at the interface between the layers, so that high characteristics can be obtained. Further, the driving voltage of the element can be reduced, and the occurrence and growth of dark spots can be suppressed.

【0082】これら各層の形成に真空蒸着法を用いる場
合において、1層に複数の化合物を含有させる場合、化
合物を入れた各ボートを個別に温度制御して共蒸着する
ことが好ましい。
In the case where a plurality of compounds are contained in one layer when a vacuum evaporation method is used for forming each of these layers, it is preferable to co-deposit each boat containing the compounds by individually controlling the temperature.

【0083】有機EL素子は、直流駆動やパルス駆動さ
れ、印加電圧は、通常、2〜20V程度である。
The organic EL element is driven by a direct current or a pulse, and the applied voltage is usually about 2 to 20 V.

【0084】[0084]

【実施例】次に実施例を示し、本発明をより具体的に説
明する。 <実施例1>ガラス基板をDCスパッタ装置内に配置
し、錫ドープ酸化インジウム焼結体(SnO:10wt
%)をターゲットとして、ITO電極を100nm成膜し
た。このときの成膜条件は、投入電力100W、スパッ
タ時の圧力0.5Pa、スパッタガスはAr+1%O2
あった。
EXAMPLES Next, the present invention will be described more specifically with reference to examples. Example 1 A glass substrate was placed in a DC sputtering apparatus, and a tin-doped indium oxide sintered body (SnO: 10 wt.
%) As a target, and an ITO electrode was formed to a thickness of 100 nm. At this time, the film forming conditions were as follows: input power: 100 W, pressure during sputtering: 0.5 Pa, and sputtering gas: Ar + 1% O 2 .

【0085】ITOからなるホール注入電極が成膜され
た基板を、中性洗剤、アセトン、エタノールを用いて超
音波洗浄し、煮沸エタノール中から引き上げて乾燥し
た。次いで、表面をUV/O3 洗浄した後、層間絶縁膜
を基板全面に形成した。層間絶縁層にはポリイミドにカ
ーボンブラックを添加したものを用いた。ポリイミドは
非感光性の材料を選び、5%程度の濃度にNMP(N-me
thyl pyrrolidone)で希釈し、これにカーボンブラック
(一次粒径:50nm)を30 mol%添加し、よく撹拌・
混合したものをスピンコート法で塗布し、150℃で3
0分間、さらに300℃で1時間ベークした。このとき
の膜厚は200nmとした。
The substrate on which the hole injection electrode made of ITO was formed was subjected to ultrasonic cleaning using a neutral detergent, acetone and ethanol, pulled out from boiling ethanol and dried. Next, after cleaning the surface with UV / O 3 , an interlayer insulating film was formed on the entire surface of the substrate. As the interlayer insulating layer, a material obtained by adding carbon black to polyimide was used. For polyimide, select a non-photosensitive material and make NMP (N-me
thyl pyrrolidone), add 30 mol% of carbon black (primary particle size: 50 nm) to this, and mix well.
The mixture was applied by a spin coating method,
Baking was performed for 0 minute and at 300 ° C. for 1 hour. The film thickness at this time was 200 nm.

【0086】次いで、フォトリソグラフィーによって、
実際の発光部となるホール注入電極を露出させるための
開口を有するパターンを作り、酸素プラズマにより層間
絶縁膜をエッチングした後、レジストを剥離した。
Next, by photolithography,
A pattern having an opening for exposing a hole injection electrode serving as an actual light emitting portion was formed. After etching the interlayer insulating film with oxygen plasma, the resist was stripped.

【0087】次いで、素子分離構造体の基部を形成する
ため、ITO透明電極と層間絶縁層が成膜された基板上
に、ポリイミドを2μm の厚さに塗布し、続けてオーバ
ーハング部となるポジレジスト層を3μm の厚さに塗布
し、露光し、現像して素子分離構造体を得た。
Next, in order to form the base of the element isolation structure, polyimide is applied to a thickness of 2 μm on the substrate on which the ITO transparent electrode and the interlayer insulating layer have been formed, and then a positive electrode serving as an overhang portion is formed. A resist layer was applied to a thickness of 3 μm, exposed, and developed to obtain an element isolation structure.

【0088】次いで、有機層と、電子注入電極と、配線
電極とを連続して形成した。なお、保護電極(配線電
極)の形成が終了するまで真空を破らなかった。
Next, an organic layer, an electron injection electrode, and a wiring electrode were continuously formed. The vacuum was not broken until the formation of the protective electrode (wiring electrode) was completed.

【0089】次いで、表面をUV/O3 洗浄した後、真
空蒸着装置の基板ホルダーに固定して、槽内を1×10
-4Pa以下まで減圧した。4,4’,4”−トリス(−N
−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ)トリ
フェニルアミン(以下、m−MTDATA)を蒸着速度
0.2nm/sec.で40nmの厚さに蒸着し、ホール注入層
とし、次いで減圧状態を保ったまま、N,N’−ジフェ
ニル−N,N’−m−トリル−4,4’−ジアミノ−
1,1’−ビフェニル(以下、TPD)を蒸着速度0.
2nm/sec.で35nmの厚さに蒸着し、ホール輸送層とし
た。さらに、減圧を保ったまま、トリス(8−キノリノ
ラト)アルミニウム(以下、Alq3 )を蒸着速度0.
2nm/sec.で50nmの厚さに蒸着して、電子注入輸送・
発光層とした。
Next, after the surface was washed with UV / O 3, it was fixed on a substrate holder of a vacuum evaporation apparatus, and the inside of the tank was 1 × 10 3.
The pressure was reduced to -4 Pa or less. 4,4 ', 4 "-tris (-N
-(3-Methylphenyl) -N-phenylamino) triphenylamine (hereinafter, m-MTDATA) was deposited at a deposition rate of 0.2 nm / sec. To a thickness of 40 nm to form a hole injection layer. N, N'-diphenyl-N, N'-m-tolyl-4,4'-diamino-
1,1′-biphenyl (hereinafter referred to as TPD) is deposited at a deposition rate of 0.1%.
It was deposited at a thickness of 35 nm at 2 nm / sec to form a hole transport layer. Further, while maintaining the reduced pressure, tris (8-quinolinolato) aluminum (hereinafter, Alq3) was evaporated at a deposition rate of 0.5.
Vapor deposition at a thickness of 50 nm at 2 nm / sec.
It was a light emitting layer.

【0090】次いで減圧を保ったまま、このEL素子構
造体基板を真空蒸着装置からスパッタ装置に移し、スパ
ッタ圧力1.0PaにてAlLi電子注入電極(Li濃
度:6at%)を50nmの厚さに成膜した。その際スパッ
タガスにはArを用い、投入電力は100W、ターゲッ
トの大きさは4インチ径、基板とターゲットの距離は9
0mmとした。さらに、減圧を保ったまま、このEL素子
基板を他のスパッタ装置に移し、Alターゲットを用い
たDCスパッタ法により、スパッタ圧力0.3PaにてA
l保護電極を200nmの厚さに成膜した。この時スパッ
タガスにはArを用い、投入電力は500W、ターゲッ
トの大きさは4インチ径、基板とターゲットの距離は9
0mmとした。
Then, while maintaining the reduced pressure, the EL element structure substrate was transferred from the vacuum evaporation apparatus to the sputtering apparatus, and the AlLi electron injection electrode (Li concentration: 6 at%) was formed to a thickness of 50 nm at a sputtering pressure of 1.0 Pa. A film was formed. At that time, Ar was used as a sputtering gas, the input power was 100 W, the size of the target was 4 inches in diameter, and the distance between the substrate and the target was 9
0 mm. Further, while maintaining the reduced pressure, the EL element substrate was transferred to another sputtering apparatus, and the sputtering was performed at a sputtering pressure of 0.3 Pa by a DC sputtering method using an Al target.
A protective electrode was formed to a thickness of 200 nm. At this time, Ar was used as a sputtering gas, the input power was 500 W, the size of the target was 4 inches in diameter, and the distance between the substrate and the target was 9
0 mm.

【0091】最後にガラス封止板を貼り合わせ、有機E
Lディスプレイとした。
Lastly, a glass sealing plate is attached, and organic E
L display.

【0092】また、比較サンプルとして層間絶縁層を黒
化しないサンプルを作製した。
As a comparative sample, a sample in which the interlayer insulating layer was not blackened was manufactured.

【0093】得られた各有機ELディスプレイを、大気
中で直流電圧を印加し、10mA/cm2 の定電流密度で連
続駆動させた。画面全体で観察したときの、非発光時と
発光時のコントラスト比が、比較例で1:100であっ
たのに対し、本発明サンプルは1:500と向上してい
た。
Each of the obtained organic EL displays was continuously driven at a constant current density of 10 mA / cm 2 by applying a DC voltage in the air. The contrast ratio between non-light emission and light emission when the entire screen was observed was 1: 100 in the comparative example, whereas the sample of the present invention was improved to 1: 500.

【0094】また、スパッタ法によりFeO、Si、α
−Cにより層間絶縁層を形成し、黒化した場合にも同等
の結果を得ることができた。
Also, FeO, Si, α
An equivalent result could be obtained when an interlayer insulating layer was formed by -C and blackened.

【0095】<実施例2>実施例1において、カーボン
ブラックを添加することなく層間絶縁層を形成した。素
子分離構造体の基部を形成するため、ITO透明電極と
層間絶縁層が成膜された基板上に、ポリイミドを2μm
の厚さに塗布した。ポリイミドは非感光性の材料を選
び、5%程度の濃度にNMP(N-methyl pyrrolidone)
で希釈し、これにカーボンブラック(一次粒径:100
nm)を30 mol%添加し、よく撹拌・混合したものをス
ピンコート法で塗布し、150℃で30分間、さらに3
00℃で1時間ベークした。続けてオーバーハング部と
なるポジレジスト層を3μm の厚さに塗布し、露光し、
現像して素子分離構造体を得た。その他は実施例1と同
様にして有機ELディスプレイを作製した。
<Example 2> In Example 1, an interlayer insulating layer was formed without adding carbon black. In order to form the base of the element isolation structure, 2 μm of polyimide is placed on the substrate on which the ITO transparent electrode and the interlayer insulating layer are formed.
To a thickness of For polyimide, select a non-photosensitive material and make NMP (N-methyl pyrrolidone) to a concentration of about 5%.
And carbon black (primary particle size: 100
nm) was added, and the mixture that had been well stirred and mixed was applied by a spin coating method, and further applied at 150 ° C. for 30 minutes, followed by 3 minutes.
Bake at 00 ° C for 1 hour. Subsequently, a positive resist layer serving as an overhang portion is applied to a thickness of 3 μm, exposed,
Development was performed to obtain an element isolation structure. Otherwise, an organic EL display was manufactured in the same manner as in Example 1.

【0096】また、比較サンプルとして素子分離構造体
の基部を黒化しないサンプルを作製した。
As a comparative sample, a sample in which the base of the element isolation structure was not blackened was manufactured.

【0097】得られた各有機ELディスプレイを、大気
中で直流電圧を印加し、10mA/cm2 の定電流密度で連
続駆動させた。画面全体で観察したときの、非発光時と
発光時のコントラスト比が、比較例で1:100であっ
たのに対し、本発明サンプルは1:400と向上してい
た。
Each of the obtained organic EL displays was continuously driven at a constant current density of 10 mA / cm 2 by applying a DC voltage in the atmosphere. The contrast ratio between the non-emission state and the light emission state when observed over the entire screen was 1: 100 in the comparative example, whereas the sample of the present invention was improved to 1: 400.

【0098】<実施例3>実施例2において、素子分離
構造体の基部を形成するため、ITO透明電極と層間絶
縁層が成膜された基板上に、基部となるFeO膜を2μ
m の厚さに成膜した。スパッタ条件として、RFスパッ
タ法を用い、ターゲットはFeOとし、ターゲット−基
板間の距離:80mm、投入電力:500W、成膜時の圧
力0.3Paで、スパッタガスにはアルゴンを50SCCMの
流量で用いた。
<Example 3> In Example 2, in order to form the base of the element isolation structure, an FeO film serving as a base was formed on a substrate on which an ITO transparent electrode and an interlayer insulating layer were formed by 2 μm.
m was formed. RF sputtering was used as the sputtering conditions, the target was FeO, the distance between the target and the substrate was 80 mm, the input power was 500 W, the pressure during film formation was 0.3 Pa, and argon was used as a sputtering gas at a flow rate of 50 SCCM. Was.

【0099】次いで、オーバーハング部となるポジレジ
スト層を3μm の厚さに塗布し、露光し、現像し、さら
にエッチングして素子分離構造体を得た。その他は実施
例1と同様にして有機ELディスプレイを作製した。
Next, a positive resist layer serving as an overhang portion was applied to a thickness of 3 μm, exposed, developed, and etched to obtain an element isolation structure. Otherwise, an organic EL display was manufactured in the same manner as in Example 1.

【0100】得られた各有機ELディスプレイを、実施
例2と同様にして評価したところほぼ同等の評価が得ら
れた。また、基部の材質をFeOからSi(ターゲッ
ト:Si、成膜後のSi層はアモルファス状態であっ
た。)に変えた場合にも同様の評価が得られた。
When each of the obtained organic EL displays was evaluated in the same manner as in Example 2, almost the same evaluation was obtained. A similar evaluation was obtained when the material of the base was changed from FeO to Si (target: Si, the Si layer after film formation was in an amorphous state).

【0101】<実施例4>実施例2において、素子分離
構造体の基部を形成するため、ITO透明電極と層間絶
縁層が成膜された基板上に、基部となるα−C膜を2μ
m の厚さに成膜、パターニングした。スパッタ条件とし
て、DCスパッタ法を用い、ターゲットはグラファイト
とし、ターゲット−基板間の距離:80mm、投入電力:
500W、成膜時の圧力0.3Paで、スパッタガスには
アルゴンを用い、成膜レート10nm/min で行った。
Example 4 In Example 2, in order to form the base of the element isolation structure, an α-C film serving as a base was formed on a substrate on which an ITO transparent electrode and an interlayer insulating layer were formed by 2 μm.
m was formed and patterned. The sputtering conditions were DC sputtering, the target was graphite, the distance between the target and the substrate was 80 mm, and the power input was:
The film formation was performed at 500 W, a pressure of 0.3 Pa during film formation, and argon as a sputtering gas at a film formation rate of 10 nm / min.

【0102】次いで、オーバーハング部となるポジレジ
スト層を3μm の厚さに塗布し、露光し、現像し、さら
にエッチングして素子分離構造体を得た。その他は実施
例1と同様にして有機ELディスプレイを作製した。
Next, a positive resist layer serving as an overhang portion was applied to a thickness of 3 μm, exposed, developed, and etched to obtain an element isolation structure. Otherwise, an organic EL display was manufactured in the same manner as in Example 1.

【0103】得られた各有機ELディスプレイを、実施
例2と同様にして評価したところほぼ同等の評価が得ら
れた。
When each of the obtained organic EL displays was evaluated in the same manner as in Example 2, almost the same evaluation was obtained.

【0104】[0104]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、コントラ
スト比や視認性を向上させた有機EL素子を提供するこ
とである。また、低コスト化を実現しうる有機EL素子
を提供することである。
As described above, according to the present invention, an object is to provide an organic EL device having improved contrast ratio and visibility. Another object of the present invention is to provide an organic EL device capable of realizing low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の有機EL素子の一構成例を、概念的に
示した断面図である。
FIG. 1 is a sectional view conceptually showing a configuration example of an organic EL device of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2 ホール注入電極 3 層間絶縁層 4 有機層 5 電子注入電極 7 素子分離構造体 7a オーバーハング部 7b 基部 Reference Signs List 1 substrate 2 hole injection electrode 3 interlayer insulating layer 4 organic layer 5 electron injection electrode 7 element isolation structure 7a overhang portion 7b base

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ホール注入電極と電子注入電極と、これ
らの電極間に1種以上の有機層とを有し、 前記ホール注入電極の周囲に形成されている層間絶縁層
および/または素子分離構造体の基部を黒色とした有機
EL素子。
1. An interlayer insulating layer and / or an element isolation structure having a hole injection electrode, an electron injection electrode, and at least one organic layer between these electrodes, and formed around the hole injection electrode. An organic EL device with a black base.
【請求項2】 前記層間絶縁層および/または素子分離
構造体の基部は、酸化第1鉄、シリコンまたはアモルフ
ァス状態の炭素を有する請求項1の有機EL素子。
2. The organic EL device according to claim 1, wherein the base of the interlayer insulating layer and / or the element isolation structure contains ferrous oxide, silicon, or amorphous carbon.
【請求項3】 前記層間絶縁層および/または素子分離
構造体の基部は、ポリイミドとカーボンとを有する請求
項1の有機EL素子。
3. The organic EL device according to claim 1, wherein the base of the interlayer insulating layer and / or the element isolation structure has polyimide and carbon.
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